JP2000169751A - Photosensitive paste composition for baking, and structural member and substrate using the same - Google Patents

Photosensitive paste composition for baking, and structural member and substrate using the same

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JP2000169751A
JP2000169751A JP34882598A JP34882598A JP2000169751A JP 2000169751 A JP2000169751 A JP 2000169751A JP 34882598 A JP34882598 A JP 34882598A JP 34882598 A JP34882598 A JP 34882598A JP 2000169751 A JP2000169751 A JP 2000169751A
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paste composition
firing
photosensitive
photosensitive paste
inorganic powder
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Isao Kato
功 加藤
Junichi Arai
潤一 新井
Eizaburo Watanabe
英三郎 渡邊
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Toppan Printing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive paste composition for baking applicable to a substrate having a low thermal expansion coefficient such an alkali-free glass for liquid crystal and a structural member fabricated using the composition. SOLUTION: A photosensitive paste composition for baking comprises at least (A) an inorganic powder, (B) a photopolymerization initiator, (C) a photosensitive monomer containing a bifunctional or more acryloyl group, and (D) a photosensitive monomer comprising as a main component a photosensitive monomer containing a monofunctional or more acrloyl group and containing a 4C or more chain, saturated hydrocarbon structure, wherein the inorganic powder (A) includes a glass frit having a thermal expansion coefficient in the temperature range to 50 deg.C-300 deg.C in a range of 50×10-7-100×10-7/ deg.C and a low expansion inorganic powder having a thermal expansion coefficient of not greater than 50×10-7/ deg.C. A structural member is fabricated by a printing method, a transfer method or the like with the use of the composition.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、焼成により無機構
造体を形成するための感光性ペースト組成物に関するも
のである。さらに詳しくは、電子機器などの回路基板、
各種ディスプレイなどの製造において、厚膜形成技術を
活用した絶縁体、誘電体、導電体などの無機構造物の形
成に利用される。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive paste composition for forming an inorganic structure by firing. More specifically, circuit boards for electronic devices,
In the manufacture of various displays and the like, it is used to form inorganic structures such as insulators, dielectrics, and conductors utilizing thick film formation technology.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、絶縁体、誘電体等の無機厚膜
形成方法としてスクリーン印刷等の印刷塗工技術、転写
技術などがある。最終形成材料である無機物およびパタ
ーン成形性を付与する有機物からなるペーストを印刷お
よび転写などによりパターンを基板に形成し、このパタ
ーンを焼成することにより、無機焼成パターンを得てい
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of forming an inorganic thick film such as an insulator or a dielectric, there are a printing coating technique such as screen printing and a transfer technique. A pattern is formed on a substrate by printing and transferring a paste composed of an inorganic substance as a final forming material and an organic substance imparting pattern moldability, and the pattern is fired to obtain an inorganic fired pattern.

【0003】このような焼成用ペーストとして、溶剤型
の非感光性焼成ペーストや同じく溶剤型の感光性焼成ペ
ーストがある。これらは、パターン形成した後に熱乾燥
によりパターンを硬化して成形を行っている。熱乾燥、
冷却を行う必要があるのでタクトタイムが大幅にかかっ
ている。
As such a firing paste, there are a solvent-type non-photosensitive firing paste and a solvent-type photosensitive firing paste. In these methods, after the pattern is formed, the pattern is cured by heat drying to form the pattern. Heat drying,
Tact time is greatly increased because cooling is required.

【0004】このような問題点を解決するため、無溶剤
型の感光性焼成ペーストが特開昭54−13591の実
施例1に開示されている。しかしながら、無溶剤型感光
性焼成ペーストでは、溶剤を用いていないため、構造体
の成形性を高めるためには、有機物が溶剤型と比較して
多く含まれている。このため、焼成時に割れ、剥がれが
発生するという問題点があった。この割れ、剥がれを防
止し、微細パターンの形成に対応できる無溶剤型感光性
焼成ペーストが特開平10−22594号公報に開示さ
れている。また、溶剤型焼成用感光性ペースト組成物で
あっても、溶剤量を最小限にすることによって、上述し
た熱乾燥、冷却の工程を行うことなく、光硬化をはじめ
とする放射線硬化により成形が可能である。
[0004] In order to solve such a problem, a solventless photosensitive firing paste is disclosed in Example 1 of JP-A-54-13591. However, since the solvent is not used in the non-solvent type photosensitive fired paste, an organic substance is contained in a larger amount than the solvent type in order to enhance the moldability of the structure. For this reason, there was a problem that cracking and peeling occurred during firing. Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-22594 discloses a solventless photosensitive firing paste that can prevent the cracking and peeling and can cope with the formation of a fine pattern. In addition, even if the photosensitive paste composition for solvent-type baking, by minimizing the amount of solvent, without performing the above-mentioned heat drying and cooling steps, molding by radiation curing including photocuring. It is possible.

【0005】また、パターンを形成する基板としては、
焼成に対して耐性がある無機物の基板が用いられるのが
一般的であり、用途によってガラス基板、アルミナ基
板、またはこれらの混合系の材料よりなる基板などが用
いられている。焼成によって無機構造体を製造するに当
たって、降温時のタクトタイムの短縮が課題としてあ
る。熱衝撃係数が小さく、熱膨張係数の大きい基板にお
いては、降温速度を速めると、基板が割れてしまうとい
う問題点がある。このため近年、熱膨張係数の小さい基
板が用いられるようになり、代表例としては、ディスプ
レイ基板として使用されている液晶用無アルカリ基板
(熱膨張係数α=40〜50×10-7/℃)がある。具
体的には、プラズマアドレス液晶ディスプレイにおいて
は、この液晶用無アルカリガラスが基板として用いられ
ている。しかしながら、従来のペースト組成物は、ソー
ダライムガラス用の物であり、低膨張基板に用いること
のできる物はなかった。
Further, as a substrate for forming a pattern,
In general, an inorganic substrate that is resistant to firing is used, and a glass substrate, an alumina substrate, or a substrate made of a mixed material thereof is used depending on the application. In manufacturing an inorganic structure by firing, reduction of the tact time at the time of temperature reduction is an issue. In the case of a substrate having a small thermal shock coefficient and a large thermal expansion coefficient, there is a problem that the substrate is cracked when the cooling rate is increased. For this reason, a substrate having a small thermal expansion coefficient has recently been used, and a typical example is a non-alkali substrate for liquid crystal used as a display substrate (thermal expansion coefficient α = 40 to 50 × 10 −7 / ° C.). There is. Specifically, in a plasma addressed liquid crystal display, the alkali-free glass for liquid crystal is used as a substrate. However, the conventional paste composition is for soda-lime glass, and none of them can be used for a low expansion substrate.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点を解決するためになされたものであり、その課題と
するところは、熱膨張係数の小さい基板に適用でき、熱
乾燥、冷却工程を使用しない焼成用感光性ペースト組成
物とこれを用いて形成した構造体を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in order to solve such a problem, and an object of the present invention is to apply the method to a substrate having a small coefficient of thermal expansion and to perform a heat drying and cooling process. It is an object of the present invention to provide a photosensitive paste composition for firing that does not use any of the above, and a structure formed using the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明はこの課題を解決
するため、まず請求項1は、少なくとも、(A)無機粉
末(B)光重合開始剤(C)2官能以上のアクリロイル
基を含有し、炭素数4以上の鎖式飽和単価水素構造を含
有する感光性モノマーを主成分とする焼成用感光性ペー
スト組成物において、(A)無機粉末が、50℃から3
00℃における熱膨張係数が50から100×10-7
℃の範囲のガラスフリットと熱膨張係数が50×10-7
/℃以下の低膨張無機粉末が含まれることを特徴とする
焼成用感光性ペースト組成物である。
In order to solve the above-mentioned problems, the present invention firstly claims that at least (A) an inorganic powder (B) a photopolymerization initiator (C) containing at least a bifunctional or more acryloyl group. Then, in the photosensitive paste composition for firing mainly containing a photosensitive monomer having a chain type saturated monovalent hydrogen structure having 4 or more carbon atoms, (A) the inorganic powder is heated from 50 ° C to 3 ° C.
The coefficient of thermal expansion at 00 ° C. is 50 to 100 × 10 −7 /
Glass frit in the range of ℃ and thermal expansion coefficient of 50 × 10 -7
A photosensitive paste composition for baking, characterized by containing a low-expansion inorganic powder of at most / ° C.

【0008】請求項2は、少なくとも、(A)無機粉末
(B)光重合開始剤(C)2官能以上のアクリロイル基
を含有する感光性モノマーおよび、(D)1官能以上の
アクリロイル基を含有し炭素数4以上の鎖式飽和単価水
素構造を含有する感光性モノマーを主成分とする焼成用
感光性ペースト組成物において、(A)無機粉末が、5
0℃から300℃における熱膨張係数が50から100
×10-7/℃の範囲のガラスフリットと熱膨張係数が5
0×10-7/℃以下の低膨張無機粉末が含まれることを
特徴とする焼成用感光性ペースト組成物である。
[0008] Claim 2 contains at least (A) an inorganic powder, (B) a photopolymerization initiator, (C) a photosensitive monomer having a bifunctional or higher acryloyl group, and (D) a monofunctional or higher functional acryloyl group. In a photosensitive paste composition for firing mainly containing a photosensitive monomer having a chain type saturated monovalent hydrogen structure having 4 or more carbon atoms, (A) the inorganic powder contains 5
Coefficient of thermal expansion from 0 ° C to 300 ° C is 50 to 100
Glass frit in the range of × 10 -7 / ° C and thermal expansion coefficient of 5
A photosensitive paste composition for baking, characterized by containing a low expansion inorganic powder of 0 × 10 −7 / ° C. or less.

【0009】また、請求項3は、請求項1から2記載の
焼成用感光性ペースト組成物に黒色顔料が添加されてい
ることを特徴とする焼成用感光性ペースト組成物であ
る。
A third aspect of the present invention is a photosensitive paste composition for baking, wherein a black pigment is added to the photosensitive paste composition for baking according to the first or second aspect.

【0010】また、請求項4は、請求項1から3のいず
れかに記載の焼成用感光性ペースト組成物をパターニン
グした後、露光硬化させ、その硬化物を焼成することで
形成される構造体である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided a structure formed by patterning the photosensitive paste composition for firing according to any one of the first to third aspects, followed by exposure and curing, and firing the cured product. It is.

【0011】また、請求項5は、請求項1から3のいず
れかに記載の焼成用感光性ペースト組成物を被転写体上
に転写することによって形成される構造体である。
A fifth aspect is a structure formed by transferring the photosensitive paste composition for firing according to any one of the first to third aspects onto an object to be transferred.

【0012】また、請求項6は、熱膨張係数が50×1
-7/℃以下のチタン酸鉛系化合物、あるいはこの鉛の
一部をアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属で置換し
たチタン酸鉛固容体、ムライト、ウイレマイト、コーデ
ィエライト、β−ユークリプタイト、β−スポジュメ
ン、チタン酸アルミニウム、ジルコニア、あるいはこれ
らを2種類以上、含むことを特徴とする、請求項4ある
いは5のいずれかに記載の構造体である。
[0012] Further, claim 6 has a thermal expansion coefficient of 50 × 1.
A lead titanate compound of 0 -7 / ° C or less, or a lead titanate solid solution in which part of the lead is substituted by an alkali metal or an alkaline earth metal, mullite, willemite, cordierite, β-eucryptite, The structure according to claim 4, wherein β-spodumene, aluminum titanate, zirconia, or two or more thereof are included.

【0013】また、請求項7は、請求項4乃至6のいず
れかに記載の構造体が液晶用無アルカリ基板上に形成さ
れていることを特徴とする基板である。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a substrate wherein the structure according to any one of the fourth to sixth aspects is formed on a non-alkali substrate for liquid crystal.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態につき説
明する。
Embodiments of the present invention will be described below.

【0015】本発明における無機粉末は、ガラスフリッ
トと骨材(フィラー)、導電体においては、導電性金
属、非金属から構成される。ガラスフリットは、焼成温
度の低温化のため、低融点であるPbO- B2O3−S
iO2系、PbO−ZnO−B2O3系、PbO−Zn
O−B2O3−SiO2系などを用いることが好まし
い。ただし、これら低融点鉛ガラスフリットの熱膨張係
数は、目的とする低膨張基板に対して、熱膨張係数が大
きくなってしまう。それを補完する目的で、さらに熱膨
張係数が低いフィラーを添加する。フィラーとしては、
低い熱膨張係数のチタン酸鉛系化合物が好ましく、特に
鉛の一部をアルカリ金属あるいはアルカリ土類金属で置
換したチタン酸鉛固容体が好適に用いられる。そのほか
にも、ムライト、ウイレマイト、コーディエライト、β
−ユークリプタイト、β−スポジュメン、チタン酸アル
ミニウム、ジルコニアなどを用いることができる。これ
ら、ガラスフリットと骨材を好適に混合し、無機粉末と
して使用する。導電性金属としては、金、銀、ニッケ
ル、パラジウム、白金、タングステン、モリブデンなど
があり、非金属では、グラファイト、ITO等がある。
適当な導電性を得るためこれら導電性材料を単独あるい
は2種類以上混合して用いることができる。
The inorganic powder in the present invention is composed of a glass frit and an aggregate (filler), and a conductor is made of a conductive metal or a nonmetal. Glass frit is made of PbO-B2O3-S, which has a low melting point due to the lower firing temperature.
iO2, PbO-ZnO-B2O3, PbO-Zn
It is preferable to use O-B2O3-SiO2 or the like. However, the coefficient of thermal expansion of these low-melting-point lead glass frit becomes larger than the target low-expansion substrate. For the purpose of complementing it, a filler having a lower coefficient of thermal expansion is added. As a filler,
A lead titanate-based compound having a low coefficient of thermal expansion is preferable, and a lead titanate solid solution in which part of lead is substituted with an alkali metal or an alkaline earth metal is particularly preferably used. In addition, Mullite, Willemite, Cordierite, β
-Eucryptite, β-spodumene, aluminum titanate, zirconia and the like can be used. These glass frit and aggregate are suitably mixed and used as an inorganic powder. Examples of the conductive metal include gold, silver, nickel, palladium, platinum, tungsten, and molybdenum, and examples of the nonmetal include graphite and ITO.
These conductive materials can be used alone or as a mixture of two or more to obtain appropriate conductivity.

【0016】光重合開始剤としては、アセトフェノン、
2、2’−ジトキシアセトフェノン、ベンジルジメチル
ケタール、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メ
チル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイ
ソブチルエーテル、2−ヒドロキシ−2−メチル−プロ
ピオフェノン、2−メチルチオキサントン、2−クロロ
チオキサントン等を用いることができる。これらは、単
独または2種類以上を混合して用いることができる。
As the photopolymerization initiator, acetophenone,
2,2′-dioxyacetophenone, benzyldimethyl ketal, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether, 2-hydroxy-2-methyl-propiophenone, 2-methylthioxanthone, -Chlorothioxanthone or the like can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

【0017】具体的に、炭素数が4以上の鎖式飽和炭化
水素構造を含有する物質としては、t−ブチル(メタ)
アクリレート、イソステリアル(メタ)アクリレート、
イソアミル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)ア
クリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、等の1
官能のアクリロイル基を含有する感光性モノマーや、
1,4−ブタジオールジ(メタ)アクリレート、1,3
−ブタジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキ
サジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジ
オールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコー
ルジ(メタ)アクリレート、1,10−デカンブジオー
ルジ(メタ)アクリレート等の2官能のアクリロイル基
を含有する感光性モノマーがある。これらは、単独もし
くは2種類以上を混合して用いることができる。
Specifically, as the substance having a chain type saturated hydrocarbon structure having 4 or more carbon atoms, t-butyl (meth)
Acrylate, isosterial (meth) acrylate,
1 such as isoamyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, etc.
A photosensitive monomer containing a functional acryloyl group,
1,4-butadiol di (meth) acrylate, 1,3
-Butadiol di (meth) acrylate, 1,6-hexadiol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,10-decambudiol di (meth) ) There is a photosensitive monomer containing a bifunctional acryloyl group such as acrylate. These can be used alone or in combination of two or more.

【0018】本発明に用いる2官能以上のアクリロイル
基を含有する感光性モノマーは、エポキシアクリレー
ト、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレー
ト、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート系、プ
ロピレン(メタ)アクリレート系、ビスフェノール(メ
タ)アクリレート系、トリメチロールプロパントリ(メ
タ)アクリレート系、ペンタエリスリトール(メタ)ア
クリレート系、ジペンタエリスリトール(メタ)アクリ
レート系等がある。これらは、単独または2種類以上を
混合して用いることができる。
The photosensitive monomer having a bifunctional or higher acryloyl group used in the present invention includes epoxy acrylate, urethane acrylate, polyester acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, propylene (meth) acrylate, and bisphenol (meth). There are acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol (meth) acrylate, dipentaerythritol (meth) acrylate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

【0019】また、粘度調整や光硬化状態を調節する目
的で、以下のような単官能の感光性モノマーを添加して
も良い。これらは、前述した炭素数が4以上の鎖式飽和
炭化水素構造を含有する単官能の感光性モノマー以外の
モノマーである。具体的には、メトキシポリエチレング
リコール(メタ)アクリレート、フェノキシポリエチレ
ングリコール(メタ)アクリレート、2−メトキシエチ
ル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシルカルビト
ール(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)
アクリレート等のエーテル系、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキ
シポロピル(メタ)アクリレート等のヒドロキシ系、そ
の墓にアミン系、ハロゲン系、シリコーン系などの(メ
タ)アクリレート類があげられる。これらは、単独もし
くは2種類以上を混合して用いることができる。
For the purpose of adjusting the viscosity and the state of photocuring, a monofunctional photosensitive monomer as described below may be added. These are monomers other than the above-mentioned monofunctional photosensitive monomer containing a chain saturated hydrocarbon structure having 4 or more carbon atoms. Specifically, methoxypolyethylene glycol (meth) acrylate, phenoxy polyethylene glycol (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl carbitol (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth)
Ethers such as acrylates, hydroxys such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and 2-hydroxy-3-phenoxypolypropyl (meth) acrylate, and (meth) acrylates such as amines, halogens and silicones in the grave Kind. These can be used alone or in combination of two or more.

【0020】ペーストに必要な流動性を確保するため、
バインダー溶液を添加しても良い。バインダー溶液は一
般にバインダー樹脂を溶剤中に溶解した溶液である。例
えば、バインダー樹脂は、ニトロセルロース、アセチル
セルロース、エチルセルロース、カルボキシメチルセル
ロース、メチルセルロース等のセルロース系高分子、天
然ゴム、ポリブタジエンゴム、クロロプレンゴム、アク
リルゴム、イソプレン系合成ゴム、環化ゴム等の天然高
分子、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリアクリル酸
メチル、ポリメタクリル酸メチル、ポリスチレン、ポリ
ビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリ酢酸ビ
ニル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリアクリル
ニトリル、ポリ塩化ビニル、ポリアミド、ポリウレタン
等の合成高分子。これらの樹脂を単独、混合または共重
合体として用いる。
In order to ensure the necessary fluidity of the paste,
A binder solution may be added. The binder solution is generally a solution in which a binder resin is dissolved in a solvent. For example, the binder resin may be a cellulosic polymer such as nitrocellulose, acetylcellulose, ethylcellulose, carboxymethylcellulose, or methylcellulose, or a natural polymer such as natural rubber, polybutadiene rubber, chloroprene rubber, acrylic rubber, isoprene-based synthetic rubber, or cyclized rubber. Synthetic polymers such as polyethylene, polypropylene, polymethyl acrylate, polymethyl methacrylate, polystyrene, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polyvinyl acetate, polyester, polycarbonate, polyacrylonitrile, polyvinyl chloride, polyamide, and polyurethane. These resins are used alone, as a mixture or as a copolymer.

【0021】溶剤としては、トルエン、キシレンテトラ
リン等の炭化水素系、メタノール、エタノール等のアル
コール系、アセトン、メチルエチルケトン等のケトン
系、酢酸メチル、酢酸エチル等のエステル系、エチレン
グリコール系、ジエチレングリコール系溶剤などが使用
できる。
Examples of the solvent include hydrocarbon solvents such as toluene and xylenetetralin, alcohols such as methanol and ethanol, ketones such as acetone and methyl ethyl ketone, esters such as methyl acetate and ethyl acetate, ethylene glycol solvents and diethylene glycol solvents. Etc. can be used.

【0022】その他に、添加剤としては、イソビタン脂
肪酸エステル、ベンゼンスルホン酸等の分散剤、ブチル
セテアレート、ブチルベンジルフタレート、ジブチルフ
タレート、ジイソデシルフタレート等の可塑剤、湿潤
剤、分散剤、重合禁止剤等を必要に応じて添加してよ
い。
Other additives include dispersants such as isobitane fatty acid ester and benzenesulfonic acid, plasticizers such as butyl cetearate, butyl benzyl phthalate, dibutyl phthalate and diisodecyl phthalate, wetting agents, dispersants, and polymerization inhibitors. Etc. may be added as needed.

【0023】これらの材料をロールミル、ビーズミル、
自動乳鉢等の混合装置を用いて、ペーストに調合する。
A roll mill, a bead mill,
A paste is prepared using a mixing device such as an automatic mortar.

【0024】調合したペーストを用いて、パターニング
を行う。本発明の組成物は、現像性は付与していない。
そのため、紫外線をはじめとする放射線による硬化とい
う特性を生かしたパターン形成が必要となる。従って、
パターン形成方法としては、スクリーン印刷、凹版や剥
離フィルムを利用した転写による方法などがあるが、ど
の方法を用いてもよい。パターン形成後、紫外線などの
放射線で硬化したのちパターン形成後400℃以上の高
温で焼成を行うことによって、所望の形状を持った無機
構造体を作製することができる。この組成物にて作製で
きる構造体は、幅100μm以下の微細でありかつ、複
雑、アスペクト比が3程度の立体構造物の作製も可能で
ある。
Patterning is performed using the prepared paste. The composition of the present invention does not have developability.
Therefore, it is necessary to form a pattern utilizing the property of curing by radiation such as ultraviolet rays. Therefore,
Examples of the pattern forming method include a screen printing method, a transfer method using an intaglio plate and a release film, and the like, but any method may be used. After the pattern is formed, it is cured by radiation such as ultraviolet rays, and then fired at a high temperature of 400 ° C. or more after the pattern is formed, whereby an inorganic structure having a desired shape can be produced. The structure that can be manufactured using this composition is a fine structure with a width of 100 μm or less, a complex structure, and a three-dimensional structure with an aspect ratio of about 3.

【0025】[0025]

【実施例】以下、実施例をもって本発明を説明する。The present invention will be described below with reference to examples.

【0026】<実施例1>まず、焼成後に高電圧下にお
いて誘電体層として機能する焼成用感光性ペースト組成
物の組成を以下に示す。 無機粉末 ガラスフリット 68重量部 PbO 57重量% SiO2 40重量% B2O3 3重量% フィラー 9重量部 Ca10%置換PbTIO3 有機物 トリメチロールプロパントリメタクリレート 12重量部 ステアリルアクリレート 4重量部 ベンゾフェノン 2重量部 5%エチルセルロース/ジエチレングリコール モノメチルエーテルアセテート溶液 5重量部 上記の組成を、ロールミルにて十分に混練し、ペースト
とした。
Example 1 First, the composition of a photosensitive paste composition for firing that functions as a dielectric layer under a high voltage after firing is shown below. Inorganic powder Glass frit 68 parts by weight PbO 57% by weight SiO2 40% by weight B2O3 3% by weight Filler 9 parts by weight Ca 10% substituted PbTIO3 Organic trimethylolpropane trimethacrylate 12 parts by weight Stearyl acrylate 4 parts by weight Benzophenone 2 parts by weight 5% ethyl cellulose / diethylene glycol Monomethyl ether acetate solution 5 parts by weight The above composition was sufficiently kneaded with a roll mill to obtain a paste.

【0027】上記ペーストを10cm角の液晶用無アル
カリガラス上全面にスクリーン印刷にて10μm厚に塗
布した後、紫外線を2000mJ/cm2照射した。次
に、600℃にて焼成を行った。焼成後、割れ、はがれ
等は発生していなかった。
The paste was applied to the entire surface of a 10 cm square non-alkali glass for liquid crystal by screen printing to a thickness of 10 μm, and then irradiated with ultraviolet rays at 2000 mJ / cm 2. Next, baking was performed at 600 ° C. After firing, no cracks or peeling occurred.

【0028】<実施例2>まず、焼成用感光性ペースト
組成物の組成を以下に示す。 無機粉末 ニッケル粉末(平均粒径10μm) 75重量部 ガラスフリット 4重量部 PbO 57重量% SiO2 40重量 ZnO 2重量% B2O3 1重量% フィラー 1重量部 Ca10%置換PbTIO3 有機物 1,9−ノナンジオールメタクリレート 10重量部 2−メトキシエチルアクリレートアクリレート 3重量部 ベンゾフェノン 1重量部 フタル酸ジフェニル 1重量部 5%エチルセルロース/ジエチレングリコール モノメチルエーテルアセテート溶液 3重量部 上記の組成を、ロールミルにて十分に混練し、ペースト
とした。
Example 2 First, the composition of the photosensitive paste composition for firing is shown below. Inorganic powder Nickel powder (average particle size 10 μm) 75 parts by weight Glass frit 4 parts by weight PbO 57% by weight SiO2 40% ZnO 2% by weight B2O3 1% by weight Filler 1 part by weight Ca 10% substituted PbTIO3 Organic 1,9-nonanediol methacrylate 10 Parts by weight 2-methoxyethyl acrylate acrylate 3 parts by weight Benzophenone 1 part by weight Diphenyl phthalate 1 part by weight 5% ethyl cellulose / diethylene glycol monomethyl ether acetate solution 3 parts by weight The above composition was sufficiently kneaded by a roll mill to obtain a paste.

【0029】このようにして得られた導電性パターン用
のペーストをPETフィルム上にスクリーン印刷によ
り、巾50μm、厚さ5μmの直線パターンを形成した
後、紫外線を2000mJ/cm2照射した。次に、厚
さ5μmでアクリル樹脂系接着剤を塗布した液晶用無ア
ルカリガラスとパターン形成したPETフィルムを1k
gf/cm2の圧力でプレスし、接着剤が固化した後P
ETフィルムを剥がした。次に、形成したパターンを6
00℃で焼成を行って、導電性パターンを形成した。焼
成したパターンは、割れ、剥がれ等が無く、また短絡も
発生していなかった。
The conductive pattern paste thus obtained was screen-printed on a PET film to form a linear pattern having a width of 50 μm and a thickness of 5 μm, and then irradiated with ultraviolet rays at 2000 mJ / cm 2. Next, a 5 μm thick non-alkali glass for liquid crystal coated with an acrylic resin-based adhesive and a patterned PET film were applied for 1k.
gf / cm2 and press after the adhesive has solidified.
The ET film was peeled off. Next, the formed pattern is
Baking was performed at 00 ° C. to form a conductive pattern. The fired pattern was free from cracks, peeling, and the like, and no short circuit occurred.

【0030】<実施例3>まず、焼成用感光性ペースト
組成物の組成を以下に示す。この系は、実施例2に対し
て、無機粉末に黒色顔料を添加した系である。 無機粉末 ガラスフリット 67重量部 PbO 57重量% SiO2 40重量 B2O3 3重量% 黒色顔料 Fe−Cu−Cr系 2重量部 フィラー 8重量部 Ca10%置換PbTIO3 有機物 エチレンオキサイド付加トリメチロール プロパントリアクリレート(n=10) 11重量部 メトキシポリエチレングリコールメタアクリレート(n=10) 6重量部 ラウリルアクリレート 4重量部 ベンゾフェノン 3重量部 フタル酸ジフェニル 2重量部 上記組成を、ロールミルにて混練し、ペーストとした。
Example 3 First, the composition of the photosensitive paste composition for firing is shown below. This system differs from Example 2 in that a black pigment is added to an inorganic powder. Inorganic powder 67 parts by weight Glass frit 67 parts by weight PbO 57 parts by weight SiO2 40 parts by weight B2O3 3 parts by weight Black pigment Fe-Cu-Cr system 2 parts by weight Filler 8 parts by weight Ca 10% substituted PbTIO3 organic substance Ethylene oxide added trimethylol propane triacrylate (n = 10) 11 parts by weight Methoxy polyethylene glycol methacrylate (n = 10) 6 parts by weight Lauryl acrylate 4 parts by weight Benzophenone 3 parts by weight Diphenyl phthalate 2 parts by weight The above composition was kneaded by a roll mill to obtain a paste.

【0031】このようにして得られた絶縁体パターン用
のペーストを、格子形状の凹型(巾50μm、高さ12
0μm、ピッチ180μm)の金型に埋め込み、ドクタ
ーを用いて埋め込んだ。ペーストを被覆した面から紫外
線を2000mJ/cm2照射した。次に、厚さ5μm
でアクリル樹脂系接着剤を塗布した液晶用無アルカリガ
ラスとペーストを埋め込んだ金型を1kgf/cm2の
圧力でプレスし、接着剤が固化した後金型を剥がした。
次に、形成したパターンを600℃で焼成を行って、絶
縁体パターンを形成した。焼成したパターンは、割れ、
剥がれが発生しなかった。。
The paste for an insulator pattern obtained in this manner is applied to a grid-shaped concave mold (width 50 μm, height 12 μm).
(0 μm, pitch 180 μm) and embedded using a doctor. Ultraviolet rays of 2000 mJ / cm2 were irradiated from the surface coated with the paste. Next, a thickness of 5 μm
The mold in which the paste was embedded with alkali-free glass for liquid crystal coated with an acrylic resin-based adhesive and a paste was pressed at a pressure of 1 kgf / cm2, and the mold was peeled off after the adhesive was solidified.
Next, the formed pattern was fired at 600 ° C. to form an insulator pattern. The fired pattern cracks,
No peeling occurred. .

【0032】<比較例1>実施例1記述の無機粉末にお
いて、骨材を添加しないでペーストを作製した。このペ
ーストを実施例1と同様にパターン形成を行い、600
℃で焼成を行った。その結果全面で割れ、はがれが発生
した。
Comparative Example 1 A paste was prepared from the inorganic powder described in Example 1 without adding an aggregate. This paste was subjected to pattern formation in the same manner as in Example 1 and
Firing was performed at ℃. As a result, cracking and peeling occurred on the entire surface.

【0033】[0033]

【発明の効果】本発明の焼成感光性ペースト組成物によ
れば、印刷や転写法による構造物の形成方法において
も、液晶用無アルカリ基板を代表とする熱膨張係数が5
0×10 -7/℃以下の基板上に、微細、複雑、立体的な
誘電体、絶縁体などを熱乾燥、冷却の工程を利用するこ
となく形成することができる。
According to the fired photosensitive paste composition of the present invention,
Then, in the method of forming the structure by printing or transfer method
Has a coefficient of thermal expansion of 5 as represented by an alkali-free substrate for liquid crystal.
0x10 -7/ Compact, three-dimensional
Use thermal drying and cooling processes for dielectrics and insulators.
It can be formed without any problem.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H090 JB02 JC11 KA18 LA02 4J038 AA011 FA121 FA141 FA231 FA251 FA261 FA281 HA061 HA211 HA241 HA481 HA551 KA03 KA08 NA18 PA17 PA19 PB09 PC03 5C040 FA09 GC18 GD07 GF18 GH07 KA01 KA04 KA08 KA09 KA16 KB03 KB04 KB11 KB14 KB17 KB19 MA26  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F term (reference) 2H090 JB02 JC11 KA18 LA02 4J038 AA011 FA121 FA141 FA231 FA251 FA261 FA281 HA061 HA211 HA241 HA481 HA551 KA03 KA08 NA18 PA17 PA19 PB09 PC03 5C040 FA09 GC18 GD07 GF18 KA07 KB 04 KB KB11 KB14 KB17 KB19 MA26

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】少なくとも、 (A)無機粉末 (B)光重合開始剤 (C)2官能以上のアクリロイル基を含有し、炭素数4
以上の鎖式飽和単価水素構造を含有する感光性モノマー を主成分とする焼成用感光性ペースト組成物において、
(A)無機粉末に、50℃から300℃における熱膨張
係数が50から100×10-7/℃の範囲のガラスフリ
ットと熱膨張係数が50×10-7/℃以下の低膨張無機
粉末が含まれることを特徴とする焼成用感光性ペースト
組成物。
(1) At least (A) an inorganic powder, (B) a photopolymerization initiator, (C) a bifunctional or more acryloyl group, and having 4 carbon atoms.
In the photosensitive paste composition for firing mainly containing a photosensitive monomer having the above-mentioned chain type saturated monovalent hydrogen structure,
(A) The inorganic powder includes a glass frit having a coefficient of thermal expansion in the range of 50 to 100 × 10 −7 / ° C. at 50 ° C. to 300 ° C. and a low-expansion inorganic powder having a coefficient of thermal expansion of 50 × 10 −7 / ° C. or less. A photosensitive paste composition for firing, characterized by being included.
【請求項2】少なくとも、 (A)無機粉末 (B)光重合開始剤 (C)2官能以上のアクリロイル基を含有する感光性モ
ノマーおよび、 (D)1官能以上のアクリロイル基を含有し炭素数4以
上の鎖式飽和単価水素構造を含有する感光性モノマー を主成分とする焼成用感光性ペースト組成物において、
(A)無機粉末が、50℃から300℃における熱膨張
係数が50から100×10-7/℃の範囲のガラスフリ
ットと熱膨張係数が50×10-7/℃以下の低膨張無機
粉末が含まれることを特徴とする焼成用感光性ペースト
組成物。
2. A photosensitive monomer having at least (A) an inorganic powder, (B) a photopolymerization initiator, (C) a difunctional or higher functional acryloyl group, and (D) a monofunctional or higher functional acryloyl group-containing carbon atom. In a photosensitive paste composition for firing mainly containing a photosensitive monomer having a chain-type saturated monovalent hydrogen structure of 4 or more,
(A) The inorganic powder comprises a glass frit having a thermal expansion coefficient in the range of 50 to 100 × 10 −7 / ° C. at 50 ° C. to 300 ° C. and a low expansion inorganic powder having a thermal expansion coefficient of 50 × 10 −7 / ° C. or less. A photosensitive paste composition for firing, characterized by being included.
【請求項3】請求項1または2のいずれかに記載の焼成
用感光性ペースト組成物に無機系黒色顔料が添加されて
いることを特徴とする焼成用感光性ペースト組成物。
3. A photosensitive paste composition for firing according to claim 1, wherein an inorganic black pigment is added to the photosensitive paste composition for firing according to claim 1.
【請求項4】請求項1から3のいずれかに記載の焼成用
感光性ペースト組成物をパターニングした後、露光硬化
させ、その硬化物を焼成することで形成される構造体。
4. A structure formed by patterning the photosensitive paste composition for firing according to any one of claims 1 to 3, curing by exposure, and firing the cured product.
【請求項5】請求項1から3のいずれかに記載の焼成用
感光性ペースト組成物を被転写体上に転写することによ
って形成される構造体。
5. A structure formed by transferring the photosensitive paste composition for firing according to any one of claims 1 to 3 onto an object to be transferred.
【請求項6】熱膨張係数が50×10-7/℃以下のチタ
ン酸鉛系化合物、あるいはこの鉛の一部をアルカリ金属
あるいはアルカリ土類金属で置換したチタン酸鉛固容
体、ムライト、ウイレマイト、コーディエライト、β−
ユークリプタイト、β−スポジュメン、チタン酸アルミ
ニウム、ジルコニア、あるいはこれらを2種類以上、含
むことを特徴とする、請求項4あるいは5のいずれかに
記載の構造体。
6. A lead titanate compound having a coefficient of thermal expansion of 50.times.10.sup.- 7 / .degree. C. or less, or a solid solution of lead titanate in which a part of the lead is replaced by an alkali metal or an alkaline earth metal, mullite, willemite , Cordierite, β-
The structure according to claim 4, wherein the structure comprises eucryptite, β-spodumene, aluminum titanate, zirconia, or two or more thereof.
【請求項7】請求項4乃至6のいずれかに記載の構造体
が液晶用無アルカリ基板上に形成されていることを特徴
とする基板。
7. A substrate, wherein the structure according to claim 4 is formed on a non-alkali substrate for liquid crystal.
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