JP2000167435A - Generating method of negative ion and device therefor - Google Patents

Generating method of negative ion and device therefor

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JP2000167435A
JP2000167435A JP34510498A JP34510498A JP2000167435A JP 2000167435 A JP2000167435 A JP 2000167435A JP 34510498 A JP34510498 A JP 34510498A JP 34510498 A JP34510498 A JP 34510498A JP 2000167435 A JP2000167435 A JP 2000167435A
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JP
Japan
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negative ion
electrode
electric field
emitting material
negative ions
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JP34510498A
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Japanese (ja)
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Toshiaki Fujii
井 敏 昭 藤
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Ebara Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a negative ion generating method and the device capable of effectively generating pure negative ion in outside space. SOLUTION: In the negative ion generating method 1 having a photoelectron emitting material 14, an electrode 6 for electric field and an irradiation source 5 for irradiating the photoelectron emitting material with ultraviolet ray and/or radial ray in the space, the photoelectron emitting material 4 and the electrode 6 for electric field are composed of two parts forming different electric fields of the electric fields 4-1, 6-1 for purifying by the removal of the particles and the electric fields 4-2, 6-2 for negative ion generating and a photocatalyst and/or an adsorbent to purify the negative ion generating gas can be installed in the space.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、負イオンの発生に
係り、特に、光電子放出材に紫外線及び/又は放射線を
照射することによる負イオンの発生方法と装置に関す
る。
The present invention relates to the generation of negative ions, and more particularly, to a method and an apparatus for generating negative ions by irradiating a photoelectron emitting material with ultraviolet rays and / or radiation.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、負(陰)イオンを発生せしめる方
法としては、電極にマイナスの高電圧を印加する方法が
知られているが、この方法はオゾンの発生や微粒子の発
生の問題があった。また、高電圧の電気を用いるので安
全性に問題があった。このため、これらの問題点を解決
した新規な方法の出現が期待されていた。即ち、快適な
作業空間(アメニティ)の分野では、才ゾンレスで生体
の代謝機能や生理機能を衰えさせない、生体について快
適でクリーンな空間が要求されている。また、半導体や
液晶等先端産業の分野では、微粒子やガス状汚染物質
(例、有機性ガス、NH3)が存在しないオゾンレスで
電気的に安定な(電位が低い)超清浄な空間(作業空
間)が要求されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of generating negative (negative) ions, a method of applying a negative high voltage to an electrode has been known, but this method has problems of generation of ozone and generation of fine particles. Was. Further, since high voltage electricity is used, there is a problem in safety. For this reason, the appearance of a new method that has solved these problems has been expected. That is, in the field of a comfortable working space (amenity), there is a demand for a comfortable and clean space for the living body that does not impair the metabolic function and physiological function of the living body without any difficulty. In addition, in the field of advanced industries such as semiconductors and liquid crystals, an ozone-free, electrically stable (low potential) ultra-clean space (work space) free of fine particles and gaseous pollutants (eg, organic gas, NH 3 ). ) Is required.

【0003】現状の作業空間においては、正負の両イオ
ンが存在するが、作業内容や自然現象等によリ正イオン
が過剰となる場合が多かった。この原因の1つとして、
負イオンは正イオンに比べて移動度が大きい(移動速度
が早い)ので、負イオンは早く移動するので消費されて
しまう。その結果として、正イオンが過剰になってしま
うと考えられる。即ち、 (1) 密閉された室内や作業空間では負イオンが極端
に減少する。 (2) 気流により通常の浮遊微粒子は正に帯電する。 (3) 半導体工場のクリーンルームでは、高圧電源に
よる空間放電や作業場での分子摩擦等で、正に帯電した
微粒子や空気分子が多い。 また、ガス状汚染物質の制御(除去、管理)は、不十分
であった。この様な雰囲気では、製品の歩留まりの低下
(例、静電気発生による粒子汚染の拡大、基板への有機
物(ガス状汚染物質)汚染による静電気障害の拡大)を
もたらす。
In the current working space, both positive and negative ions are present, but there are many cases where the number of positive ions becomes excessive due to the contents of work and natural phenomena. One of the reasons for this is
Negative ions have higher mobility (moving speed is faster) than positive ions, so negative ions move faster and are consumed. As a result, it is considered that positive ions become excessive. (1) Negative ions are extremely reduced in a closed room or working space. (2) Normal floating fine particles are positively charged by airflow. (3) In a clean room of a semiconductor factory, there are many positively charged fine particles and air molecules due to space discharge by a high-voltage power supply and molecular friction in a work place. In addition, control (removal and management) of gaseous pollutants was insufficient. Such an atmosphere causes a decrease in product yield (eg, an increase in particle contamination due to generation of static electricity, an increase in electrostatic damage due to organic (gaseous pollutant) contamination to the substrate).

【0004】また、人は負イオン濃度の低下により体調
に変化を生ずるといわれる。(不調になる)。即ち、人
体は無数の細胞から形成されており、個々の細胞は細胞
で包まれていて、細胞はその膜を通して栄養分を吸収し
たり、老廃物を排出したりして活動を行っている。この
細胞は外側が正イオン、内側が負イオン性を帯び、負イ
オンが減少し正イオンが過剰となると、栄養分の吸収や
老廃物の排出が困難となる現象が起き、新陳代謝を悪く
し、生理機能の衰えの原因となると考えられている。こ
のような現状に対して、本発明者らは、光電子放出材を
用いた負イオン発生法を先に提案した。提案した発明を
次に例示する。 (1)特公平8−10616号公報、(2)特開平7−
57643号公報、(3)特開平7−293939号公
報 提案したこれらの方法及び装置は、利用先によっては効
果的であるが、利用先によっては、更に改善を行い実用
性を向上させる必要がある。
[0004] It is also said that a person changes their physical condition due to a decrease in the concentration of negative ions. (I get sick). That is, the human body is made up of countless cells, each of which is wrapped in cells, and which absorbs nutrients through its membranes and excretes waste products. These cells have positive ions on the outside and negative ions on the inside, and when the amount of negative ions decreases and the amount of positive ions becomes excessive, a phenomenon occurs in which it becomes difficult to absorb nutrients and excrete waste products. It is thought to cause a decline in function. Under such circumstances, the present inventors have previously proposed a negative ion generation method using a photoelectron emitting material. The proposed invention is illustrated below. (1) JP-B-8-10616, (2) JP-A-7-106
57643, (3) Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-293939 These proposed methods and apparatuses are effective depending on the place of use, but depending on the place of use, it is necessary to further improve and improve the practicality. .

【0005】これらの方法の改善点を説明する。図8
は、粒子除去と負イオン発生を行う空気清浄器(快適空
気発生器)の概略構成図である(特開平7−29393
9号公報)。該空気清浄器は、空気の吸引と吐出を行う
ためのファン2、粗フィルタ3と、光電子放出材4−
1、紫外線ランプ(殺菌ランプ)5−1、光電子放出用
電極6−1、荷電粒子捕集用電極板7より成る光電子に
よる微粒子の荷電・捕集部(A)と、その後方に網状光
電子放出材4−2、紫外線ランプ(殺菌ランプ)5−
2、光電子放出用電極6−2より成る負イオン発生部
(B)より構成される。夫々の作用について説明する。
粗フィルタ3は、空気中の粗い粒子状物質の捕集を行う
ものである。微粒子の荷電・捕集部(A)は、電場下
(50V/cm)で光電子放出材4−1に紫外線ランプ
5−1からの紫外線を照射することにより光電子を発生
させ、該光電子によリ微粒子を荷電し、荷電微粒子を荷
電粒子捕集用電極材7で捕集・除去するものである。電
極(正)6−1は、光電子放出材(負)4−1との間に
電場を形成するためのものである。
The improvement of these methods will be described. FIG.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of an air purifier (comfort air generator) for removing particles and generating negative ions (Japanese Patent Laid-Open No. 7-29393).
No. 9). The air purifier includes a fan 2, a coarse filter 3 for sucking and discharging air, and a photoelectron emission material 4-.
1. An ultraviolet lamp (germicidal lamp) 5-1; a photoelectron emission electrode 6-1; and a charged / collected part (A) for fine particles by photoelectrons, comprising a charged particle collecting electrode plate 7; Material 4-2, UV lamp (germicidal lamp) 5-
2. It comprises a negative ion generator (B) comprising a photoelectron emission electrode 6-2. Each operation will be described.
The coarse filter 3 collects coarse particulate matter in the air. The charging / collecting section (A) for the fine particles generates photoelectrons by irradiating the photoelectron emitting material 4-1 with ultraviolet rays from an ultraviolet lamp 5-1 under an electric field (50 V / cm), and the photoelectrons are regenerated. The fine particles are charged, and the charged fine particles are collected and removed by the charged particle collecting electrode material 7. The electrode (positive) 6-1 is for forming an electric field with the photoelectron emitting material (negative) 4-1.

【0006】また、負イオン発生部(B)は、電場下で
網状光電子放出材4−2に紫外線ランプ5−2からの紫
外線を照射することにより光電子を発生させ、該光電子
により負イオンを生成させるものである。8は入口空
気、9は負イオン富化の除塵空気である。このような構
成となっており、負イオン富化空気9は、光電子による
微粒子の荷電・捕集部(A)の後方に、個別に負イオン
発生部(B)を設置する必要があり、装置の大型化、コ
スト高、保守点検の繁雑化等の問題があり、改善の余地
があった。また、上記では除塵された負イオンが得られ
るが、用途、適用装置によっては、更にガス状汚染物質
の除去が必要となり、改善の余地があった。
The negative ion generating section (B) generates photoelectrons by irradiating the reticulated photoelectron emitting material 4-2 with ultraviolet rays from an ultraviolet lamp 5-2 under an electric field, and generates negative ions by the photoelectrons. It is to let. Numeral 8 denotes inlet air, and numeral 9 denotes negative ion-enriched dust-free air. With such a configuration, the negative ion-enriched air 9 needs to be provided with a separate negative ion generator (B) behind the charge / collection unit (A) for the fine particles by photoelectrons. There were problems such as the increase in size, cost, and complexity of maintenance and inspection, and there was room for improvement. Further, in the above, dust-removed negative ions can be obtained, but depending on the application and the applied device, it is necessary to further remove gaseous pollutants, and there is room for improvement.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点を解決し、清浄な(汚染物質が捕集・除去さ
れた)負イオンが効果的に外部の空間中に発生できる負
イオン発生方法及びその装置を提供することを課題とす
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art and provides a negative electrode capable of effectively generating clean (contaminant-collected and removed) negative ions in an external space. An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for generating ions.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明では、空間中で、光電子放出材と電場用電極
の間に電場を形成し、該電場下に光電子放出材に紫外線
及び/又は放射線を照射する負イオンの発生方法におい
て、該光電子放出材と電場用電極間には、粒子除去によ
る清浄化用と負イオン発生用の二つの異なった電場を形
成することとしたものである。また、本発明では、空間
中に、光電子放出材と電場用電極と該光電子放出材に紫
外線及び/又は放射線を照射する照射源とを有する負イ
オンの発生装置において、該光電子放出材と電場用電極
とは、粒子除去による清浄化用と負イオン発生用の異な
った電場を形成する二つの部分からなることとしたもの
である。前記本発明において、空間には、負イオン発生
気体を清浄化させるための光触媒及び/又は吸着材が設
置され、該空間が清浄化されているのがよい。
According to the present invention, an electric field is formed in a space between a photoelectron emitting material and an electrode for an electric field, and under the electric field, ultraviolet light and ultraviolet light are applied to the photoelectron emitting material. And / or a method for generating negative ions by irradiating radiation, wherein two different electric fields for cleaning by particle removal and for generating negative ions are formed between the photoelectron emitting material and the electric field electrode. is there. Further, according to the present invention, in a negative ion generator having a photoelectron emitting material, an electric field electrode, and an irradiation source for irradiating the photoelectron emitting material with ultraviolet light and / or radiation, the photoelectron emitting material and the electric field The electrode is made up of two parts which form different electric fields for cleaning by particle removal and for generating negative ions. In the present invention, the space may be provided with a photocatalyst and / or an adsorbent for purifying the negative ion generating gas, and the space may be cleaned.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】本発明は、次の4つの知見に基づ
いてなされたものである。 (1) 電場下で、光電子放出材に紫外線及び/又は放
射線を照射すると、該光電子放出材から光電子が放出さ
れ、放出された光電子は負イオンに変化する。〔(a)
特公平8−10616号公報、(b)エアロゾル研究、
第8巻、第3号、P239〜248、1993〕。該負
イオン(負イオン富化気体)は、オゾンレスであるの
で、各分野に好適に利用できる。例えば、 半導体、液晶・精密機械産業における過剰な正イオ
ンの中和ができる。 アメニティ、即ち負イオン富化の空間は、人体に対
して快適感(爽快感)が得られる。 また、食品分野では、食品類の鮮度維持、菌類の増
殖防止に利用できる。負イオンの利用に当たっては、利
用先、装置種類によって清浄化された(粒子状物質やガ
ス状物質が除去)負イオン富化気体が有用である(実用
上好ましい)。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention has been made based on the following four findings. (1) When the photoelectron emitting material is irradiated with ultraviolet light and / or radiation under an electric field, photoelectrons are emitted from the photoelectron emitting material, and the emitted photoelectrons are changed to negative ions. [(A)
JP-B-8-10616, (b) Aerosol research,
Vol. 8, No. 3, P239-248, 1993]. Since the negative ions (negative ion-enriched gas) are ozone-less, they can be suitably used in various fields. For example, it can neutralize excess positive ions in the semiconductor, liquid crystal and precision machinery industries. In the amenity, that is, the space where the negative ions are enriched, a comfortable feeling (exhilaration) is obtained for the human body. In the food field, it can be used to maintain the freshness of foods and to prevent the growth of fungi. In the use of negative ions, a negative ion-enriched gas that has been cleaned (removed of particulate matter and gaseous substances) depending on the place of use and the type of equipment is useful (preferably practical).

【0010】(2) 本発明者らが既に提案しているU
V/光電子法〔例、前記(1)の文献(b)、(c)エ
バラ時報、No、164、P11〜19、1994〕
は、粒子除去に効果的であり、ファンレスであるため無
騒音な空気処理ができること、オゾンレスなど2次汚染
物質の発生がないことなどの長所がある。また、紫外線
ランプを用いているので、近傍に光触媒を設置すると光
触媒作用により、有害ガス(例、有機ガス)や臭気性ガ
スが同時に除去される〔例、(d)空気清浄、第35
巻、第3号、P51〜58、1997、(e)エバラ時
報、No180、P3〜41、1998〕。また、吸着
材を用いる清浄化部を付加することにより、有害ガスや
臭気ガスが同時処理される。上記清浄化手段としての光
触媒、吸着材としての活性炭やイオン交換繊維の付加
は、適用先(装置種類や形状)、要求仕様、経済性によ
り、UV/光電子法に付加することができる。
(2) U which has already been proposed by the present inventors
V / photoelectron method [eg, documents (b) and (c) Ebara Hourly, No. 164, P11 to 19, 1994 in the above (1)]
Is effective for removing particles, and has no merits such as no-noise air treatment because it is fanless, and no generation of secondary pollutants such as ozone-less. In addition, since an ultraviolet lamp is used, when a photocatalyst is installed in the vicinity, harmful gases (eg, organic gas) and odorous gases are simultaneously removed by photocatalysis [eg, (d) air cleaning, 35th
Vol. 3, No. 5, P51-58, 1997, (e) Ebara Hourly Report, No. 180, P3-41, 1998]. Further, by adding a cleaning unit using an adsorbent, harmful gas and odorous gas are simultaneously treated. The addition of a photocatalyst as the cleaning means and activated carbon or ion exchange fiber as an adsorbent can be added to the UV / photoelectron method depending on the application destination (apparatus type and shape), required specifications, and economy.

【0011】(3) 従来の負イオンの発生法として、
コロナ放電では発生するオゾンによりマイナス効果があ
るため、オゾンレスの負イオンが実用上必要である
〔(f)第12回エアロゾル科学・技術研究討論会、
p.120〜122、1995、(g)空気調和・衛生
工学会学術講演会講演論文集、p.1065〜106
8、1995〕。UV/光電子法による負イオンの発生
は、空気中の微粒子(粒子)濃度を予め1,000万個
/ft3以下にしておくと、効果的である(特開平7−
293939号公報)。これは、放出負イオンは粒子状
物質が高濃度共存すると、該粒子状物質に捕集(消費)
され、減少するためである。 (4) 負イオンの利用では、除塵された負イオン富化
空気が好ましい。そのため、光電子を用いる方式では、
除塵と負イオン発生を行うために、前方に光電子による
除塵部を設置し、次いで後方に、負イオン発生部を設置
していた(図8参照)。これに対して、光電子を用いる
微粒子の荷電部にあける電極(電場)を粒子除去用と負
イオン対出用の2つの部分で構成することにより、コン
パクトな装置で負イオンが外に放出できる。
(3) As a conventional method of generating negative ions,
In corona discharge, ozone generated has a negative effect, so ozone-less negative ions are practically needed [(f) 12th Aerosol Science and Technology Research Symposium,
p. 120-122, 1995, (g) Proceedings of the Air Conditioning and Sanitary Engineering Society Academic Lecture Meeting, p. 1065-106
8, 1995]. The generation of negative ions by the UV / photoelectron method is effective when the concentration of fine particles (particles) in the air is set to 10 million / ft 3 or less in advance (Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-1995).
293939). This is because the released negative ions are collected (consumed) by the particulate matter when the particulate matter coexists in high concentration.
Is to decrease. (4) In the use of negative ions, dust-removed negative ion-enriched air is preferable. Therefore, in the method using photoelectrons,
In order to remove dust and generate negative ions, a dust removing unit using photoelectrons was installed in the front, and then a negative ion generating unit was installed behind (see FIG. 8). On the other hand, by forming the electrode (electric field) in the charged portion of the fine particles using photoelectrons with two parts, one for removing particles and the other for extracting negative ion pairs, negative ions can be emitted to outside with a compact device.

【0012】次に、本発明の夫々の構成を詳細に説明す
る。光電子放出材は、粒子(粒子状物質)の荷電・捕集
のための光電子の発生及び/又はその後方における負イ
オン発生を行う目的で用いる。光電子放出材は、紫外線
及び/又は放射線の照射により光電子を放出するもので
あれば何れでも良く、光電的な仕事関数が小さなもの程
好ましい。効果や経済性の面から、Ba,Sr,Ca,
Y,Gd,La,Ce,Nd,Th,Pr,Be,Z
r,Fe,Ni,Zn,Cu,Ag,Pt,Cd,P
b,Al,C,Mg,Au,In,Bi,Nb,Si,
Ti,Ta,U,B,Eu,Sn,P,Wのいずれか又
はこれらの化合物又は合金又は混合物が好ましく、これ
らは単独で又は2種以上を複合して用いられる。複合材
としては、アマルガムの如く物理的な複合材も用いう
る。
Next, each configuration of the present invention will be described in detail. The photoelectron emitting material is used for the purpose of generating photoelectrons for charging and collecting particles (particulate matter) and / or generating negative ions behind the photoelectrons. The photoelectron emitting material may be any material that emits photoelectrons when irradiated with ultraviolet light and / or radiation, and the smaller the photoelectric work function, the better. In terms of effect and economy, Ba, Sr, Ca,
Y, Gd, La, Ce, Nd, Th, Pr, Be, Z
r, Fe, Ni, Zn, Cu, Ag, Pt, Cd, P
b, Al, C, Mg, Au, In, Bi, Nb, Si,
Any of Ti, Ta, U, B, Eu, Sn, P, and W, or a compound or alloy or a mixture thereof is preferable, and these are used alone or in combination of two or more. As the composite material, a physical composite material such as amalgam can be used.

【0013】例えば、化合物としては酸化物、ほう化
物、炭化物があり、酸化物にはBaO,SrO,Ca
O,Y25,Gd23,Nd23,ThO2,ZrO2
Fe23,ZnO,CuO,Ag2O,La23,Pt
O,PbO,Al2O3,MgO,In23,BiO,
NbO,BeOなどがあり、またほう化物には、Y
6,GdB6,LaB5,NdB6,CeB6,EuB6
PrB6,ZrB2などがあり、さらに炭化物としてはU
C,ZrC,TaC,TiC,NbC,WCなどがあ
る。また、合金としては黄銅、青銅、リン青銅、Agと
Mgとの合金(Mgが2〜20wt%)、CuとBeと
の合金(Beが1〜10wt%)及びBaとAlとの合
金を用いることができ、上記AgとMgとの合金、Cu
とBeとの合金及びBaとAlとの合金が好ましい。酸
化物は金属表面のみを空気中で加熱したり、或いは薬品
で酸化することによっても得ることができる。
For example, compounds include oxides, borides and carbides, and oxides include BaO, SrO, and Ca.
O, Y 2 O 5, Gd 2 O 3, Nd 2 O 3, ThO 2, ZrO 2,
Fe 2 O 3 , ZnO, CuO, Ag 2 O, La 2 O 3 , Pt
O, PbO, Al 2 O3, MgO, In 2 O 3, BiO,
NbO, BeO, etc., and borides include Y
B 6 , GdB 6 , LaB 5 , NdB 6 , CeB 6 , EuB 6 ,
PrB 6 , ZrB 2 and the like.
C, ZrC, TaC, TiC, NbC, WC and the like. In addition, brass, bronze, phosphor bronze, an alloy of Ag and Mg (Mg is 2 to 20 wt%), an alloy of Cu and Be (Be is 1 to 10 wt%), and an alloy of Ba and Al are used as the alloy. The alloy of Ag and Mg, Cu
An alloy of Ba and Be and an alloy of Ba and Al are preferred. The oxide can also be obtained by heating only the metal surface in air or oxidizing it with a chemical.

【0014】さらに、他の方法としては、使用前に加熱
し、表面に酸化層を形成して長期にわたって安定な酸化
層を得ることもできる。この例としては、MgとAgと
の合金を水蒸気中で300〜400℃の温度の条件下
で、その表面に酸化膜を形成させることができ、この酸
化膜は長期間にわたって安定なものである。これらの物
質は、バルク状(固体状、板状)で、また適宜の母材
(支持体)へ付加して使用できる(特開平3−1086
98号公報)。例えば、紫外線透過性物質の表面又は該
表面近傍に付加する(特公平7−93098号公報)こ
ともできる。付加の方法は、紫外線及び/又は放射線の
照射により光電子放出されれば何れでも良い。
Further, as another method, it is possible to obtain an oxide layer which is stable for a long time by heating before use to form an oxide layer on the surface. As an example, an oxide film can be formed on the surface of an alloy of Mg and Ag in water vapor at a temperature of 300 to 400 ° C., and this oxide film is stable for a long period of time. . These substances can be used in bulk (solid or plate) or added to an appropriate base material (support) (Japanese Patent Application Laid-Open No. Hei 3-1086).
No. 98). For example, it can be added to the surface of or near the surface of the ultraviolet ray transmitting substance (Japanese Patent Publication No. 7-93098). The method of addition may be any method as long as photoelectrons are emitted by irradiation of ultraviolet rays and / or radiation.

【0015】例えば、ガラス板上ヘコーティングして使
用する方法、他の例として板状物質表面近傍へ埋込んで
使用する方法や、板状物質上に付加し更にその上に別の
材料をコーティングして使用する方法、紫外線透過性物
質と光電子を放出する物質を混合して用いる方法等があ
る。また、付加は、薄膜状に付加する方法、網状、線
状、粒状、島状、帯状に付加する方法等適宜用いること
が出来る。光電子を放出する材料の付加の方法は、適宜
の材料の表面に周知の方法でコーティング、あるいは付
着させて作ることができる。例えば、イオンプレーティ
ング法、スパッタリング法、蒸着法、CVD法、メッキ
による方法、塗布による方法、スタンプ印刷による方
法、スクリーン印刷による方法を適宜用いることができ
る。
[0015] For example, a method of coating onto a glass plate for use, as another example, a method of embedding near the surface of a plate-like material, or a method of coating on a plate-like material and further coating another material thereon And a method of using a mixture of an ultraviolet-transmissive substance and a substance that emits photoelectrons. In addition, a method of adding in a thin film shape, a method of adding in a net shape, a linear shape, a granular shape, an island shape, a belt shape, or the like can be appropriately used. A method of adding a material that emits photoelectrons can be made by coating or adhering the surface of an appropriate material by a known method. For example, an ion plating method, a sputtering method, an evaporation method, a CVD method, a plating method, a coating method, a stamp printing method, and a screen printing method can be appropriately used.

【0016】薄膜の厚さは、紫外線又は放射線照射によ
り光電子が放出される厚さであれば良く、5Å〜5,0
00Å、通常20Å〜500Åが一般的である。母材の
使用形状は、板状、プリーツ状、円筒状、棒状、線状、
網状、繊維状、ハニカム状等があり、表面の形状を適宜
凹凸状とし使用することが出来る。また、凸部の先端を
先鋭状あるいは球面状とすることも出来る(特公平6−
74908号公報)。母材への薄膜の付加は、本発明者
らが既に提案したように、1種類又は2種類以上の材料
を1層又は多層重ねて用いることができる。即ち、薄膜
を適宜複数(複合)で使用し、2重構造あるいはそれ以
上の多重構造とすることができる(特開平4−1522
96号公報)。光電子放出材は、後述の光触媒と一体化
して用いると光電子放出材がセルフクリーニング、即ち
汚染物質が付着しても除去されるので適用先によっては
好ましい。このような材料として、Ti材を酸化し、T
iO2を生成させ、その上にAuを付加したものがあ
る。
The thickness of the thin film may be a thickness at which photoelectrons are emitted by irradiation of ultraviolet rays or radiation, and may be 5 to 5,0.
00 °, usually 20 ° to 500 °. The base material can be used in plate, pleated, cylindrical, rod, linear,
There are a net shape, a fiber shape, a honeycomb shape and the like, and the surface shape can be appropriately made uneven to use. Further, the tip of the convex portion may be sharpened or spherical (see Japanese Patent Publication No.
74908). As for the addition of the thin film to the base material, as already proposed by the present inventors, one kind or two or more kinds of materials can be used in a single layer or a multilayer. That is, a plurality of thin films can be used as appropriate (composite) to form a double structure or a multi-layer structure of more than that (Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-1522).
No. 96). It is preferable to use the photoelectron emitting material depending on the application destination because it is self-cleaning, that is, the photoelectron emitting material is removed even if a contaminant adheres, when used integrally with a photocatalyst described later. As such a material, a Ti material is oxidized and T
There is one in which iO 2 is generated and Au is added thereon.

【0017】前記において、光電子放出材の形状は、処
理気体を通過させる形状が好ましい。このような形状と
して網状、繊維状、線状がある。該形状の光電子放出材
を用い処理気体を通り抜けるように設置すると、後述の
光電子放出用の電場が弱くて良い利点を生ずる。これら
の最適な形状や紫外線及び/又は放射線の照射により光
電子を放出する材料の種類や付加法、薄膜厚は、装置の
種類、規模、形状、光電子放出材の種類、母材の種類、
後述電場の強さ、かけ方、効果、経済性等で適宜予備試
験を行い決める事ができる。前記光電子放出材を母材に
付加して使用する場合の母材は、前記した紫外線透過性
物質の他にセラミック、粘土、周知の金属材がある。ま
た、後述の光源の表面に上記光電子放出材を被覆(光源
と光電子放出材を一体化)して行うこともできる(特開
平4−243540号公報)。
In the above, the shape of the photoelectron emitting material is preferably a shape that allows the processing gas to pass through. Such shapes include mesh, fiber, and line. When the photoelectron emission material having such a shape is installed so as to pass through the processing gas, an electric field for photoelectron emission to be described later is advantageously weakened. The optimal shape, the type and addition method of the material that emits photoelectrons by irradiation of ultraviolet light and / or radiation, and the thickness of the thin film are determined by the type, scale, shape, type of photoelectron emitting material, type of base material,
Preliminary tests can be carried out as appropriate according to the strength of the electric field, how to apply the electric field, effects, economy, and the like, which will be described later. When the photoelectron emitting material is used in addition to the base material, the base material may be ceramic, clay, or a well-known metal material in addition to the above-described ultraviolet ray transmitting material. Alternatively, the surface of a light source described below can be coated with the above-mentioned photoelectron emitting material (the light source and the photoelectron emitting material are integrated) (Japanese Patent Laid-Open No. 4-243540).

【0018】次に、光電子放出材への紫外線及び/又は
放射線の照射のための照射源について述べる。該照射源
は、電場下での光電子放出材への照射により、光電子を
発生させるものであれば良い。また、光触媒の付加を行
う場合は、該照射により、光触媒が光触媒作用を発揮す
るものであればよい。紫外線源からの放出紫外線は、光
電子放出材から快適性を有する負イオンを発生させると
同時に、光触媒への照射により、光触媒が光触媒作用を
発揮するようになり、本発明の特徴の1つである。この
ような、紫外線源は、通常、水銀灯、水素放電管、キセ
ノン放電管、ライマン放電管などを適宜使用出来る。光
源の例としては、殺菌ランプ、ブラックライト、蛍光ケ
ミカルランプ、UV−B紫外線ランプ、キセノンランプ
がある。
Next, an irradiation source for irradiating the photoelectron emitting material with ultraviolet light and / or radiation will be described. The irradiation source may be any source that generates photoelectrons by irradiating the photoelectron emitting material under an electric field. In addition, when a photocatalyst is added, any photocatalyst can be used as long as the photocatalyst exerts a photocatalytic action by the irradiation. The ultraviolet light emitted from the ultraviolet light source generates a comfortable negative ion from the photoelectron emitting material, and at the same time, by irradiating the photocatalyst, the photocatalyst exerts a photocatalytic action, which is one of the features of the present invention. . As such an ultraviolet light source, a mercury lamp, a hydrogen discharge tube, a xenon discharge tube, a Lyman discharge tube or the like can be used as appropriate. Examples of the light source include a germicidal lamp, a black light, a fluorescent chemical lamp, a UV-B ultraviolet lamp, and a xenon lamp.

【0019】この内、殺菌ランプ(波長:254nm)
は、粒子(粒子状物質)に共存する浮遊菌類、微生物類
などに殺菌(滅菌)作用があることから好ましい。即
ち、紫外線源として殺菌ランプを用いることにより、粒
子状物質の捕集・除去と同時に、捕集部に捕集された各
種菌類、微生物類への照射による完全殺菌(滅菌)が実
施されるので、適用先(装置の種類)や要求性能によっ
ては好ましい。放射線の照射は、その照射により光電子
放出材が光電子を放出しうるものであれば何れでもよ
く、従来周知の方法で照射できる。例えば、放射線とし
てはα線、β線、γ線などが用いられ、照射手段として
コバルト60,セシウム137,ストロンチウム90な
どの放射性同位元素、又は原子炉内で作られる放射性廃
棄物及びこれに適当な処理加工した放射性物質を線源と
して用いる方法、原子炉を直接線源として用いる方法、
電子線加速器などの粒子加速器を用いる方法などを利用
する。光電子放出材への紫外線及び/又は放射線の照射
による光電子の発生は、光電子放出材(負極)と、後述
の電極(正極)間に電場(電界)を形成して行うと、光
電子放出材からの光電子が効果的に起こる。
Among them, a germicidal lamp (wavelength: 254 nm)
Is preferable because it has a bactericidal (sterilizing) action on suspended fungi and microorganisms coexisting with particles (particulate matter). That is, by using a germicidal lamp as an ultraviolet light source, complete sterilization (sterilization) is performed by irradiating various fungi and microorganisms collected in the collecting portion at the same time as collecting and removing particulate matter. It is preferable depending on the application destination (type of device) and required performance. Irradiation with radiation may be performed by any method as long as the photoelectron emitting material can emit photoelectrons by the irradiation, and the radiation can be performed by a conventionally known method. For example, α-rays, β-rays, γ-rays and the like are used as the radiation, and radioactive isotopes such as cobalt 60, cesium 137, and strontium 90, or radioactive waste produced in a nuclear reactor and appropriate radioactive wastes are used as irradiation means. A method using a radioactive material that has been processed and processed as a source, a method using a nuclear reactor as a direct source,
A method using a particle accelerator such as an electron beam accelerator is used. The generation of photoelectrons by irradiating the photoelectron emitting material with ultraviolet rays and / or radiation is performed by forming an electric field (electric field) between the photoelectron emitting material (negative electrode) and an electrode (positive electrode) described later. Photoelectrons occur effectively.

【0020】次に、本発明の特徴である電極について説
明する。該電極は、電場下で前記の光電子放出材から光
電子の発生を効果的に起こすために設置され、前方(上
流)では光電子(負イオン)を発生させ、それによる荷
電とともに、荷電粒子を効果的に捕集する役目を有す。
一方、後方(下流)の電極では、負イオンの外部への放
出を行うものである。即ち、光電子放出材と電極間の電
場が、前方では粒子除去用(粒子除去部)、後方では負
イオン発生用(負イオン発生部)と2つに大別される部
分で構成されており、本発明の特徴である。この様な電
極は、導電性で不純物(汚染物質)の発生がないもの
で、形状として、板状、網状、波状、プリーツ状、ウー
ル状、多孔状など周知の形状の導電性材料、例えば、S
US、アルミニウム、タングステン、ニッケル、銅、C
u−Zn材を適宜に用いることができる。
Next, an electrode which is a feature of the present invention will be described. The electrode is installed to effectively generate photoelectrons from the photoelectron emitting material under an electric field, generates photoelectrons (negative ions) in front (upstream), and effectively charges the charged particles together with the charge. Has the role of collecting in
On the other hand, the rear (downstream) electrode discharges negative ions to the outside. In other words, the electric field between the photoelectron emitting material and the electrode is mainly composed of two parts, one for particle removal (particle removal part) at the front and the other for negative ion generation (negative ion generation part) at the rear. This is a feature of the present invention. Such an electrode is conductive and does not generate impurities (contaminants), and is formed of a conductive material having a well-known shape such as a plate shape, a net shape, a wavy shape, a pleated shape, a wool shape, and a porous shape. S
US, aluminum, tungsten, nickel, copper, C
A u-Zn material can be used as appropriate.

【0021】これらの電極において、前方の電極は上記
のように荷電粒子の捕集の役目を有するものであり、こ
のための電極は、粒子の荷電及び荷電粒子の捕集の2つ
の機能を長時間にわたり効果的に行えるものであれば良
い。このための電極は、特に表面の形状が凹凸状、波
状、プリーツ状、ウール状、多孔状のように表面積が広
い方が好ましい。特に好ましくは、表面が凹凸状あるい
は多孔状のものが良い。この形状の電極は、周知の導電
性材料を適宜組合わせて作ることができる。例えば、
メッシュサイズの異なる網を積層させた材料、網をコ
ルゲート(ひだ)加工し、コルゲートの方向に角度をも
って交わるように加工した材料(コルゲート加工した複
数の網を、表面積が広くなるように積層させた材料)、
線状金属の変形(曲げた形状)加工により、3次元網
目状骨格をなした導電性金属多孔体、等がある。
In these electrodes, the front electrode has a role of collecting charged particles as described above, and the electrode for this purpose has two functions of charging particles and collecting charged particles. Anything that can be effectively performed over time may be used. The electrode for this purpose preferably has a large surface area, such as an uneven surface, a wavy shape, a pleated shape, a wool shape, or a porous shape. Particularly preferably, the surface is uneven or porous. An electrode of this shape can be made by appropriately combining known conductive materials. For example,
A material in which meshes with different mesh sizes are laminated, a material in which the mesh is corrugated (folded) and processed so as to intersect at an angle in the direction of the corrugate (a plurality of corrugated meshes are laminated so as to have a large surface area. material),
A conductive metal porous body having a three-dimensional network skeleton by deforming (bending) a linear metal is available.

【0022】次に、後方の電極について述べる。該電極
は、負イオン発生のためのものであり、ここでの負イオ
ンの発生は、流入する処理気体中の粒子状物質の濃度を
上記の前方で1,000万個/ft3、好ましくは10
0万個/ft3以下まで捕集・除去した後に行うのが良
い。これは、粒子状物質濃度を1,000万個/ft3
以下、好ましくは100万個/ft3以下とすることに
より、出口部分での負イオン発生が効果的になるためで
ある。粒子状物質濃度を予め低減すると、負イオンの生
成が効果的になる理由の詳細は不明であるが、1つの理
由として共存する粒子濃度が多いと、放出された光電子
が該粒子に消費されるためと考えられる。即ち、本発明
の快適性を創出するための負イオンは、以下反応式のよ
うに、微細なサイズの物質の帯電物質であるため、保有
する電荷は少なく1価と考えられる。これに対し、粒
子、例えば0.1〜1μm程度の室内浮遊粒子は5〜1
0価のように多く電荷を保有してしまうので、放出負イ
オンは該粒子に消費されてしまう。
Next, the rear electrode will be described. The electrode is for generating negative ions, and the generation of negative ions is carried out by adjusting the concentration of the particulate matter in the inflowing processing gas to 10 million particles / ft 3 in front of the above, preferably 10
It is preferable to perform the process after collecting and removing up to 100,000 particles / ft 3 or less. This means that the concentration of particulate matter is 10 million particles / ft 3
The reason for this is that by setting the value to 1 million / ft 3 or less, the generation of negative ions at the exit portion becomes effective. The reason why the generation of negative ions is effective when the particulate matter concentration is reduced in advance is unknown, but one reason is that when the coexisting particle concentration is high, the emitted photoelectrons are consumed by the particles. It is thought to be. That is, the negative ion for creating comfort of the present invention is a charged substance of a fine-sized substance as shown in the following reaction formula, and thus has a small charge and is considered to be monovalent. On the other hand, particles, for example, indoor suspended particles having a size of about
The negative ions are consumed by the particles because they retain a large charge such as zero valence.

【0023】負イオン発生部は、気体中粒子濃度が1,
000万個/ft3以下、好ましくは100万個/ft3
以下となった気体を、負イオン濃度3,000個/ml
〜10万個/mlとするところである。負イオンを該濃
度に高めると、快適性(例、人に対してはそう快感、食
品や植物に対しては、鮮度維持)が向上する。ここで、
負イオンの生成は、光電子が電子親和性の大きい水分子
や酸素分子との電子付着やクラスタリングにより、O2 -
(H2O)n、O-(H2O)n、OH-(H2o)nなどの負
イオンクラスターを作るためと考えられる。これらの反
応を次に示す。 O2+e→O2 -2+H2O→O2 -(H2O) ・ ・ ・ O2 -+(H2O)n-1+H2O→O2 -(H2O)n
The negative ion generator has a particle concentration of 1 in the gas.
10 million pieces / ft 3 or less, preferably 1 million pieces / ft 3
The following gases were collected at a negative ion concentration of 3,000 / ml.
100,000 / ml. Increasing the concentration of negative ions improves comfort (eg, pleasure for humans, maintaining freshness for foods and plants). here,
Generating negative ions, photoelectrons by electron attachment and clustering of the electron affinity of the large water molecules and oxygen molecules, O 2 -
It is considered to form negative ion clusters such as (H 2 O) n , O (H 2 O) n , and OH (H 2 o) n . These reactions are shown below. O 2 + e → O 2 - O 2 + H 2 O → O 2 - (H 2 O) · · · O 2 - + (H 2 O) n-1 + H 2 O → O 2 - (H 2 O) n

【0024】負イオンの発生は、上記粒子濃度の気体
を、電場下で光電子放出材への紫外線照射により効果的
に行われる。上記の電場の強さは、前方の粒子除去部で
は気体中の粒子の荷電と捕集を同時に行うため、0.5
KV/cm以上あれば効果的であり、0.5〜10KV
/cmが実用上好ましい範囲である。即ち、一般に10
KV/cm以上の印加では電極形状によっては放電現象
を起こしたり、高電圧のため絶縁構造が複雑になるため
である。一方、後方の負イオン発生部では、負イオン発
生のみで良いことから弱くてよく、0.1V/cm〜1
00V/cmが実用上好ましい範囲である。上記のそれ
ぞれの好適な電場の強さは、装置形状、要求性能等によ
り、適宜の電極を選定し、予備試験を行い、決めること
ができる。
Generation of negative ions is effectively performed by irradiating the gas having the above particle concentration with ultraviolet light to the photoelectron emitting material under an electric field. The strength of the above-mentioned electric field is 0.5% because the particles in the gas are charged and collected at the same time in the front particle removing section.
Effective if KV / cm or more, 0.5 to 10 KV
/ Cm is a practically preferable range. That is, generally 10
This is because an application of KV / cm or more may cause a discharge phenomenon depending on the shape of the electrode, or may complicate the insulating structure due to a high voltage. On the other hand, the rear negative ion generating section may be weak because it only needs to generate negative ions.
00V / cm is a practically preferable range. The appropriate electric field strength can be determined by selecting an appropriate electrode and conducting a preliminary test in accordance with the shape of the device, required performance, and the like.

【0025】次に、光触媒の設置(光触媒による清浄
化)について説明する。光触媒は、前記の粒子除去部、
負イオン発生部に設置でき、紫外線及び/又は放射線の
照射により、気体中の粒子状物質に共存するガス状汚染
物質(有害ガス・臭気性ガス)を分解・除去するもので
あれば何れでも良い。光触媒は、通常、半導体材料が効
果的であり、容易に入手出来、加工性も良いことから好
ましい。効果や経済性の面から、Se,Ge,Si,T
i,Zn,Cu,Al,Sn,Ga,In,P,As,
Sb,C,Cd,S,Te,Ni,Fe,Co,Ag,
Mo,Sr,W,Cr,Ba,Pbのいずれか、又はこ
れらの化合物、又は合金、又は酸化物が好ましく、これ
らは単独で、また2種類以上を複合して用いる。
Next, the installation of the photocatalyst (cleaning by the photocatalyst) will be described. The photocatalyst is the particle removing unit,
Any device may be installed as long as it can be installed in the negative ion generating section and decomposes and removes gaseous pollutants (hazardous gas and odorous gas) coexisting with particulate matter in gas by irradiation with ultraviolet rays and / or radiation. . Photocatalysts are generally preferred because semiconductor materials are effective, readily available, and have good workability. In terms of effects and economy, Se, Ge, Si, T
i, Zn, Cu, Al, Sn, Ga, In, P, As,
Sb, C, Cd, S, Te, Ni, Fe, Co, Ag,
Any of Mo, Sr, W, Cr, Ba, and Pb, or a compound, an alloy, or an oxide thereof is preferable, and these are used alone or in combination of two or more.

【0026】例えば、元素としてはSi,Ge,Se、
化合物としてはAlP,AlAs,GaP,AlSb,
GaAs,InP,GaSb,InAs,InSb,C
dS,CdSe,ZnS,MoS2,WTe2,Cr2
3,MoTe,Cu2S,WS2、酸化物としてはTi
2,Bi23,CuO,Cu2O,ZnO,MoO3
InO3,Ag2O,PbO,SrTiO3,BaTiO3
Co34,FeO3,NiOなどがある。光触媒の固定
化は、適宜の材料(母材)に蒸着法・スパッタリング
法、焼結法、ゾルーゲル法、塗布による方法、焼付け塗
装による方法など、周知の付加方法を適宜に用いること
ができる。付加の形状は、薄膜状、線状、網状、帯状、
くし状、粒状、島状などを後述母材などにより適宜に選
択し、用いることができる。上記TiやZnは、例えば
板状Tiを酸化することにより、光触媒とすることがで
きるので、装置の種類によっては好適に使用できる。
For example, the elements are Si, Ge, Se,
Compounds include AlP, AlAs, GaP, AlSb,
GaAs, InP, GaSb, InAs, InSb, C
dS, CdSe, ZnS, MoS 2 , WTe 2 , Cr 2 T
e 3 , MoTe, Cu 2 S, WS 2 , and Ti as an oxide
O 2 , Bi 2 O 3 , CuO, Cu 2 O, ZnO, MoO 3 ,
InO 3 , Ag 2 O, PbO, SrTiO 3 , BaTiO 3
Co 3 O 4 , FeO 3 , NiO, etc. For the immobilization of the photocatalyst, a well-known addition method such as a vapor deposition method / sputtering method, a sintering method, a sol-gel method, a coating method, or a baking method can be appropriately used for an appropriate material (base material). Additional shapes are thin film, linear, mesh, band,
Comb shape, granular shape, island shape and the like can be appropriately selected and used depending on a base material or the like to be described later. The above-mentioned Ti and Zn can be used as a photocatalyst by, for example, oxidizing plate-like Ti, and thus can be suitably used depending on the type of the device.

【0027】光触媒の固定化の例として、光触媒を母材
として、公知の導電性材料、例えばSUS、Cu−Z
n、Al、又はセラミック、フッ素樹脂、ガラスあるい
はガラス状物質の表面ヘコーティングしたり、光触媒を
板状、粒状、島状、線状、網状、膜あるいは繊維状など
の適宜の材料にコーティングしたり、あるいは包み、又
は挟み込んで固定して用いてもよい。例として、ゾルゲ
ル法によるガラス板への二酸化チタンのコーティングが
ある。光触媒は、粉体状のままでも用いることが出来る
が、焼結、蒸着、スパッタリングなどの周知の方法で適
宜の形状にして用いることができる。また、光触媒作用
の向上のために、上記光触媒にPt,Ag,Pd,Ru
2,Co34の様な物質を加えて使用することも出来
る。該物質の添加は、光触媒作用が促進されるので好ま
しい。これらは、1種類又は複数組合せて用いることが
できる。通常、添加量は、光触媒に対して、0.01〜
10重量%であり、適宜添加物質の種類や要求性能など
により、予備試験を行い適正濃度を選択することができ
る。添加の方法は、含浸法、光還元法、スパッタ蒸着
法、混練法など周知手段を適宜用いることができる。
As an example of fixing the photocatalyst, a known conductive material such as SUS, Cu-Z
n, Al, or coating on the surface of ceramic, fluororesin, glass or glassy substance, or coating the photocatalyst on an appropriate material such as plate, granule, island, line, net, film or fiber Alternatively, it may be wrapped or sandwiched and fixed for use. An example is the coating of titanium dioxide on a glass plate by the sol-gel method. The photocatalyst can be used in the form of a powder, but can be used in an appropriate shape by a known method such as sintering, vapor deposition, or sputtering. Further, in order to improve the photocatalytic action, Pt, Ag, Pd, and Ru are added to the photocatalyst.
A substance such as O 2 or Co 3 O 4 can be added for use. The addition of the substance is preferred because the photocatalysis is promoted. These can be used alone or in combination. Usually, the amount added is 0.01 to
It is 10% by weight, and an appropriate concentration can be selected by conducting a preliminary test according to the type of the added substance and the required performance. Well-known means such as an impregnation method, a photoreduction method, a sputter deposition method, and a kneading method can be appropriately used for the addition method.

【0028】光触媒の粒子除去部や負イオン発生部への
設置は、紫外線源及び/又は放射線源からの紫外線及び
/又は放射線が効果的に照射される位置、設置方法であ
れば何れでも良い。例えば、(1)前記光電子放出材と
の一体化(特願平8−132563号)があり、例を挙
げると、前記母材上への光電子を放出する物質と光触媒
とを付加する方法、光電子を放出する物質上へ光触媒を
付加する方法、光触媒上へ光電子を放出する物質を付加
する方法がある。他の例として、(2)前記電場用電極
材との一体化(特願平8−231290号)があり、例
を挙げると、SUS材へ網状あるいは島状に光触媒を付
加(SUSが正極)する方法、セラミックヘ膜状に光触
媒を付加し、目のあらい網状のSUS材で挟み込む(S
USが正極)方法、(3)空気の流れる空間中への光触
媒の設置方法、(4)紫外線ランプ上へ被覆する方法
(特願平8−31231号)等があり、利用先、装置の
タイプ、処理空気の条件(濃度)、要求性能等により、
適宜予備試験を行い、決めることができる。通常、ガス
状汚染物質(例、炭化水素)の濃度が高い場合は、粒子
状物質の荷電部の前方に光触媒の設置を行うと良い。即
ち、該部分に光触媒を設置することにより、ガス状汚染
物質が予め除去されるので、光電子放出材への炭化水素
などの有害物質の付着がなくなるので、性能低下を防止
することができ好ましい。ガス状汚染物質が高い場合は
好ましい形態である。
The photocatalyst can be installed in the particle removing section or the negative ion generating section by any position and installation method as long as the ultraviolet rays and / or radiation from the ultraviolet light source and / or radiation source can be effectively irradiated. For example, there is (1) integration with the photoelectron emitting material (Japanese Patent Application No. 8-132563). For example, a method of adding a substance that emits photoelectrons onto the base material and a photocatalyst, There is a method of adding a photocatalyst to a substance which emits photoelectrons, and a method of adding a substance which emits photoelectrons to the photocatalyst. Another example is (2) integration with the electric field electrode material (Japanese Patent Application No. 8-231290). For example, a photocatalyst is added to a SUS material in a mesh or island shape (SUS is a positive electrode). A method of adding a photocatalyst to a ceramic film and sandwiching it with a reticular SUS material (S
US is a positive electrode), (3) Photocatalyst installation method in space where air flows, (4) Coating method on ultraviolet lamp (Japanese Patent Application No. 8-31231), etc. , Processing air conditions (concentration), required performance, etc.
Preliminary tests can be conducted as appropriate to determine the results. Usually, when the concentration of gaseous pollutants (eg, hydrocarbons) is high, it is preferable to install a photocatalyst in front of the charged portion of the particulate matter. That is, by installing a photocatalyst in this portion, gaseous pollutants are removed in advance, so that harmful substances such as hydrocarbons do not adhere to the photoelectron emission material, and a decrease in performance can be prevented, which is preferable. Higher gaseous contaminants are a preferred form.

【0029】次に、吸着材の設置(吸着材による清浄
化)について説明する。吸着材としては、気体中におけ
るNOX、SOX、HCl、HFのような酸性ガス、アン
モニア、アミンのようなアルカリ性ガスを、低濃度まで
効率良く捕集する材料であれば良い。このような吸着材
として、シリカゲル、ゼオライト、アルミナ、活性炭、
イオン交換繊維があり、この内、活性炭、イオン交換繊
維が効果的であることから好ましい。活性炭としては、
捕集成分(対象ガスの種類)あるいはイオン交換繊維を
組合せる方法などにより、適宜、酸やアルカリの添着炭
を用いることができる。活性炭は、周知の材料を用いる
ことができる。上記吸着材の形状は、適宜の形状で用い
ることができるが、一般に繊維状、網状、ハニカム状が
圧力損失が少ないことから好ましい。
Next, the installation of the adsorbent (cleaning by the adsorbent) will be described. The adsorbent, NO X, SO X in the gas, HCl, acid gases such as HF, ammonia, alkaline gas, such as an amine, may be a material to efficiently collect to low concentrations. Such adsorbents include silica gel, zeolite, alumina, activated carbon,
There are ion exchange fibers, of which activated carbon and ion exchange fibers are preferred because they are effective. As activated carbon,
Acid or alkali impregnated carbon can be used as appropriate depending on the method of combining the trapping components (the type of target gas) or ion exchange fibers. As the activated carbon, a known material can be used. Although the shape of the adsorbent can be used in an appropriate shape, a fibrous shape, a net shape, and a honeycomb shape are generally preferable because of a small pressure loss.

【0030】次に、イオン交換繊維について説明する。
イオン交換繊維は、ガス状汚染物質として気体中のNH
3、アミンのような塩基性物質やSOx、NOx、H
F、HClのような酸性物質などのイオン性汚染物質の
捕集・除去に効果的である。これは天然繊維もしくは合
成繊維又は、これらの混合体等の支持体表面に陽イオン
交換体もしくは陰イオン交換体、又は陽イオン交換基と
陰イオン交換基を併有するイオン交換体を支持させたも
のであり、その方法としては繊維状の支持体に直接支持
させてもよく、織物状、編物状又は植毛状の形態にした
のち、これに支持させることもできる。また、ハニカム
状母材に、イオン交換体を支持させても良い。いずれに
しても最終的にイオン交換体を支持した繊維状のような
圧損の少ない形状となっていればよい。
Next, the ion exchange fiber will be described.
Ion-exchange fibers can be used as gaseous pollutants in gaseous NH.
3. Basic substances such as amines, SOx, NOx, H
It is effective for collecting and removing ionic contaminants such as acidic substances such as F and HCl. This is a material in which a cation exchanger or an anion exchanger, or an ion exchanger having both a cation exchange group and an anion exchange group is supported on the surface of a support such as a natural fiber or a synthetic fiber or a mixture thereof. As a method, the support may be directly supported by a fibrous support, or may be formed into a woven, knitted or flocked form and then supported. Further, an ion exchanger may be supported by the honeycomb-shaped base material. In any case, it is sufficient that the shape finally has a small pressure loss such as a fibrous shape supporting the ion exchanger.

【0031】本発明に用いる、イオン交換繊維の製法と
して、グラフト重合、特に放射線グラフト重合法を利用
して製造したイオン交換繊維が好適である。種々の材質
及び形状の素材を利用することができるからである。さ
て、前記天然繊維としては羊毛、絹等が適用でき、合成
繊維としては炭化水素系重合体を素材とするもの、含フ
ッ素系重合体を素材とするもの、あるいはポリビニルア
ルコール、ポリアミド、ポリエステル、ポリアクリロニ
トリル、セルロース、酢酸セルロースなどが適用でき
る。前記炭化水素系重合体としては、ポリエチレン、ポ
リプロピレン、ポリプチレン、ポリブテン等の脂肪族系
重合体、ポリスチレン、ポリα−メチルスチレン等の芳
香族系重合体、ポリビニルシクロヘキサン等の脂環式系
重合体あるいはこれらの共重合体が用いられる。また、
前記含フッ素系重合体としては、ポリ四フッ化エチレ
ン、ポリフッ化ビニリデン、エチレン−四フッ化エチレ
ン共重合体、四フッ化エチレン−六フッ化プロピレン共
重合体、フッ化ビニリデン−六フッ化プロピレン共重合
体等が用いられる。
As a method for producing ion-exchange fibers used in the present invention, ion-exchange fibers produced by using graft polymerization, particularly radiation graft polymerization, are suitable. This is because various materials and shapes can be used. Well, wool, silk, etc. can be applied as the natural fibers, and synthetic fibers made of a hydrocarbon polymer, those made of a fluorinated polymer, or polyvinyl alcohol, polyamide, polyester, poly Acrylonitrile, cellulose, cellulose acetate and the like can be applied. Examples of the hydrocarbon polymer include polyethylene, polypropylene, polybutylene, aliphatic polymers such as polybutene, polystyrene, aromatic polymers such as poly α-methylstyrene, alicyclic polymers such as polyvinylcyclohexane or These copolymers are used. Also,
Examples of the fluorinated polymer include polytetrafluoroethylene, polyvinylidene fluoride, ethylene-tetrafluoroethylene copolymer, ethylene tetrafluoride-propylene hexafluoride copolymer, vinylidene fluoride-propylene hexafluoride A copolymer or the like is used.

【0032】いずれにしても、前記支持体としてはガス
流との接触面積が大きく、抵抗が小さい形状で、容易に
グラフト化が行え、機械的強度が大で、繊維くずの脱
落、発生や熱の影響が少ない材料であれば良く、使用用
途、経済性、効果等を考慮して適宜に選択出来るが通
常、ポリエチレンが一般的でありポリエチレンやポリエ
チレンとポリプロピレンとの複合体が特に好ましい。次
に、前記イオン交換体としては、特に限定されることな
く種々の陽イオン交換体又は陰イオン交換体が使用でき
る。例えば、カチオン交換の場合を例にとると、カルボ
キシル基、スルホン酸基、リン酸基、フェノール性水酸
基などの陽イオン交換基含有体、第一級〜第三級アミノ
基、第四アンモニウム基などの陰イオン交換基含有体、
あるいは上記陽及び陰両者のイオン交換基を併有するイ
オン交換体が挙げられる。
In any case, the support has a large contact area with the gas flow, a small resistance, a shape that can be easily grafted, a high mechanical strength, a loss of fiber waste, generation of heat and heat. Any material may be used as long as the material has little effect on the application, and it can be appropriately selected in consideration of the intended use, economy, effects, and the like. Usually, polyethylene is generally used, and polyethylene or a composite of polyethylene and polypropylene is particularly preferable. Next, as the ion exchanger, various cation exchangers or anion exchangers can be used without particular limitation. For example, in the case of cation exchange, for example, carboxyl groups, sulfonic acid groups, phosphoric acid groups, cation exchange group-containing substances such as phenolic hydroxyl groups, primary to tertiary amino groups, quaternary ammonium groups and the like Anion exchange group-containing body of
Alternatively, an ion exchanger having both the positive and negative ion exchange groups can be used.

【0033】具体的には、前記繊維上に例えばアクリル
酸、メタクリル酸、ビニルベンゼンスルホン酸、スチレ
ン、ハロメチルスチレン、アシルオキシスチレン、ヒド
ロキシスチレン、アミノスチレン等のスチレン化合物、
ビニルピリジン、2−メチル−5−ビニルピリジン、2−
メチル−5−ビニルイミダゾール、アクリロニトリルを
グラフト重合させた後、必要に応じ硫酸、クロルスルホ
ン酸、スルホン酸などを反応させることにより、陽又は
陰イオン交換基を有する繊維状陰イオン交換体が得られ
る。また、これらのモノマーはジビニルベンゼン、トリ
ビニルベンゼン、ブタジエン、エチレングリコール、ジ
ビニルエーテル、エチレングリコールジメタクリレー
ト、などの2個以上の2重結合を有するモノマーの共存
下に繊維上にグラフト重合させてもよい。この様にし
て、イオン交換繊維が製造される。イオン交換繊維の直
径は、1〜1000μm、好ましくは5〜200μmで
あり、繊維の種類、用途等で適宜決めることが出来る。
Specifically, styrene compounds such as acrylic acid, methacrylic acid, vinylbenzenesulfonic acid, styrene, halomethylstyrene, acyloxystyrene, hydroxystyrene, aminostyrene, etc.
Vinylpyridine, 2-methyl-5-vinylpyridine, 2-
After graft polymerization of methyl-5-vinylimidazole and acrylonitrile, if necessary, sulfuric acid, chlorosulfonic acid, and sulfonic acid are reacted to obtain a fibrous anion exchanger having a cation or anion exchange group. . These monomers can also be graft-polymerized onto fibers in the presence of a monomer having two or more double bonds, such as divinylbenzene, trivinylbenzene, butadiene, ethylene glycol, divinyl ether, ethylene glycol dimethacrylate, and the like. Good. In this way, ion exchange fibers are manufactured. The diameter of the ion-exchange fiber is from 1 to 1000 μm, preferably from 5 to 200 μm, and can be appropriately determined depending on the type and use of the fiber.

【0034】これらのイオン交換繊維の内、陽イオン交
換基と陰イオン交換基の用い方は、対象処理気体中の被
除去成分の種類や濃度によって決めることができる。例
えば被除去成分を予め測定・評価し、それに見合うイオ
ン交換繊維の種類と量を用いれば良い。アルカリ性ガス
を除去したい場合は、陽イオン交換基(カチオン交換
体)を有するもの、また、酸性ガスを除去したい場合は
陰イオン交換基(アニオン交換体)を有するもの、また
両者の混合ガスでは陽と陰の両方の交換基を有する繊維
を用いることができる。イオン交換繊維は本発明者らが
先に提案したように放射線グラフト重合で製造したもの
を用いると、特に効果が高いので好ましく、適宜用いる
ことができる(特公平5−9123号、特公平5−67
325号、特公平5−43422号、特公平6−246
26号公報)。イオン交換繊維は、イオン性物質(成
分)の捕集に効果的であり、本発明の対象とする酸性ガ
スやアルカリ性ガスはイオン性物質と考えられることか
ら、これらの物質を効率良く捕集・除去できる。
The use of a cation exchange group and an anion exchange group among these ion exchange fibers can be determined depending on the type and concentration of the component to be removed in the target processing gas. For example, the component to be removed may be measured and evaluated in advance, and the type and amount of the ion exchange fiber corresponding to the measurement and evaluation may be used. Those having a cation exchange group (cation exchanger) when removing alkaline gas, those having anion exchange group (anion exchanger) when removing acidic gas, and those having a mixed gas of both. Fibers having both positive and negative exchange groups can be used. As the ion-exchange fibers, those produced by radiation graft polymerization as previously proposed by the present inventors are particularly advantageous because they are highly effective, and can be appropriately used (Japanese Patent Publication No. 5-9123, Japanese Patent Publication No. 67
No. 325, No. 5-43422, No. 6-246
No. 26). The ion-exchange fiber is effective for collecting ionic substances (components), and the acidic gas and alkaline gas targeted by the present invention are considered to be ionic substances. Can be removed.

【0035】特に、放射線グラフト重合により製造され
たイオン交換フィルタ(繊維)は、前記支持体への照射
が奥部まで均一になされるため、イオン交換体(アニオ
ン及び/又はカチオン交換体)が広い面積(高密度に付
加)に、しっかり(強固)と付加されるので、交換容量
が大きくなり、かつ低濃度のイオン性物質が早い速度で
高効率に除去できる効果があり、実用的に有効である。
また、放射線グラフト重合による製造は、製品に近い形
状でできること、室温でできること、気相でできるこ
と、グラフト率大にできること、不純物の少ない吸着フ
ィルタができることなどの利点がある。このため、次の
ような特徴を有する。 放射線照射によるグラフト重合で製造したイオン交
換繊維には、イオン交換体(吸着機能の部分)が均一に
多く付加(付加密度が高い)するので吸着速度が早く、
かっ吸着量が多い。 圧力損失が少ない。
In particular, the ion exchange filter (fiber) produced by radiation graft polymerization has a wide ion exchanger (anion and / or cation exchanger) since the irradiation of the support is uniformly performed to the inner part. Since it is firmly (strongly) added to the area (added at high density), the exchange capacity is large, and there is an effect that low-concentration ionic substances can be efficiently removed at a high speed, and it is practically effective. is there.
In addition, the production by radiation graft polymerization has advantages such as being able to be formed into a shape close to the product, being able to be performed at room temperature, being able to be performed in the gas phase, being able to increase the graft ratio, and being able to produce an adsorption filter with less impurities. Therefore, it has the following features. The ion exchange fiber (part of the adsorption function) is uniformly added to the ion-exchange fiber produced by the graft polymerization by irradiation with radiation (the addition density is high), so the adsorption speed is high,
Large amount of adsorption. Low pressure loss.

【0036】本発明の負イオン発生における光触媒、吸
着材の設置は、適用先(装置種類)、要求性能、経済性
等を考慮して適宜予備試験や検討を行い決めることがで
きる。例えば、 (1) 除塵、除菌とそう快感を得る空気清浄器、食品
や植物の鮮度保持を行う食品ケースでは、負イオン発生
のみを行う空気清浄装置(ユニット)でよい。 (2) (1)において、臭気やアルデヒドのようなガ
ス状汚染物質の除去を行う空気清浄装置では光触媒の設
置を行う。 (3) (1)において、NH3、SO2のようなガス状
汚染物質の除去を行う空気清浄装置では吸着材の設置を
行う。 本発明による負イオン発生は、気体であれば何れでも良
く、空気、N2、Ar、O2等の気体に適用できる。
The installation of the photocatalyst and the adsorbent in the generation of negative ions according to the present invention can be determined by appropriate preliminary tests and studies in consideration of the application destination (type of apparatus), required performance, economy and the like. For example, (1) an air purifier that provides pleasure as well as dust removal and sterilization, and an air purifier (unit) that generates only negative ions may be used in a food case that maintains the freshness of foods and plants. (2) In (1), a photocatalyst is installed in an air purifier that removes gaseous pollutants such as odors and aldehydes. (3) In (1), an adsorbent is installed in an air purifier that removes gaseous pollutants such as NH 3 and SO 2 . The generation of negative ions according to the present invention may be any gas as long as it is a gas, and can be applied to gases such as air, N 2 , Ar, and O 2 .

【0037】[0037]

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明は下記実施例に何ら限定されるものではな
い。 実施例1 図2は、病室10における空気清浄を示す説明図であ
る。図2において、粒子状物質11(塵あい、各種菌
類、微生物含有粒子)を含む空気8は、本発明の空気清
浄器1で処理され、病人12の寝ている清浄空間(c)
に負イオン富化の清浄空気9が供給される。病室10内
では、外部より浸入する粒子状物質、及び病人12から
発生する粒子状物質(例、黄色ぶどう球菌)11により
汚染されている。特に、病室10における病人12は、
菌類(例、黄色ぶどう球菌)の発生があり、病室11内
は菌類が蓄積され高濃度となるので、病人12への見舞
いの人や看護婦への感染の危険性がある。該空気清浄器
1は、図1にその詳細構成を示しており、空気の吸引と
吐出を行うファン2、粗フィルタ3と、光電子放出材4
−1、4−2、紫外線ランプ5、前方のメッシュサイズ
の異なる網を積層した電極6−1、後方の板状電極6−
2より構成される。光電子放出材4−1、4−2は、紫
外線照射窓13にAuを被覆したものである。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described specifically with reference to Examples, but the present invention is not limited to the following Examples. Embodiment 1 FIG. 2 is an explanatory diagram showing air purification in a hospital room 10. In FIG. 2, air 8 containing particulate matter 11 (dust, various fungi, microorganism-containing particles) is treated by the air purifier 1 of the present invention, and a clean space (c) in which a sick person 12 is sleeping.
Is supplied with clean air 9 enriched in negative ions. The inside of the sickroom 10 is contaminated by particulate matter invading from the outside and particulate matter (eg, Staphylococcus aureus) 11 generated from the sick person 12. In particular, the sick person 12 in the sickroom 10
Since fungi (eg, Staphylococcus aureus) are generated and the fungi are accumulated in the sickroom 11 and have a high concentration, there is a risk that the sick 12 may be infected by a visitor or a nurse. FIG. 1 shows a detailed configuration of the air purifier 1. The air purifier 1 includes a fan 2 for sucking and discharging air, a coarse filter 3, and a photoelectric emission material 4.
-1, 4-2, an ultraviolet lamp 5, an electrode 6-1 on which a mesh having a different mesh size in the front is laminated, and a rear plate electrode 6-
It consists of two. The photoelectron emission materials 4-1 and 4-2 are obtained by coating the ultraviolet irradiation window 13 with Au.

【0038】次に、夫々の作用を説明する。粗フィルタ
は、空気中のいわゆるほこりの様な粗い粒子状物質の捕
集を行うものである。病室内10の粒子状物質11は、
ファン2の作動により、粒子の捕集部(粒子の荷電・捕
集部、A)に吸引される。ここでは、1,000V/c
mの電場下〔光電子放出材4−1(−)極と電極6−1
(+)極間の電界〕で、光電子放出材4−1に、紫外線
ランプ5からの紫外線を照射すると光電子14−1が放
出される。荷電・捕集部(A)に吸引された粒子状物質
11は、該光電子14−1により荷電されて荷電粒子
(帯電粒子)15になる。該荷電粒子15は、電荷を有
するので、該電場下で電極6−1方向の力を受け移動
し、電極(荷電粒子捕集材)6−1上に捕集・除去16
される。本例の紫外線ランプ5は殺菌ランプ、電極材6
−1はSUS製のメッシュサイズの異なる3枚の網を重
ねたものである。
Next, each operation will be described. The coarse filter collects coarse particulate matter such as so-called dust in the air. The particulate matter 11 in the sickroom 10 is
By the operation of the fan 2, the particles are sucked into the particle collecting portion (particle charging / collecting portion, A). Here, 1,000 V / c
under an electric field of m [photoelectron emission material 4-1 (-) electrode and electrode 6-1]
When the photoelectron emission material 4-1 is irradiated with ultraviolet rays from the ultraviolet lamp 5 in the (+) electric field between the electrodes, the photoelectrons 14-1 are emitted. The particulate matter 11 attracted to the charging / collecting section (A) is charged by the photoelectrons 14-1 to become charged particles (charged particles) 15. Since the charged particles 15 have an electric charge, they move under the electric field by receiving a force in the direction of the electrode 6-1 and are collected and removed on the electrode (charged particle collecting material) 6-1.
Is done. The ultraviolet lamp 5 of this example is a sterilizing lamp, an electrode material 6
-1 is obtained by stacking three meshes made of SUS having different mesh sizes.

【0039】上記により、病室内空気8中の粒子状物質
11は、電極6−1上に、長時間安定して捕集される。
また、該電極6−1上の捕集粒子状物質16には紫外線
(殺菌ランプ5からの殺菌線:254nm)が、長時間
照射され続けるので、電極6−1上に捕集された生物粒
子(黄色ぶどう球菌、細菌、カビなどの微生物類)は完
全に殺菌(滅菌)される。上記のごとくして粒子除去さ
れた空気は、次いで負イオン発生部(B)にて負イオン
が発生される。ここでは、50V/cmの電場下〔光電
子放出材4−2(−)極と電極6−2(+)極間の電
界〕で、上記のごとく光電子放出材4−2への紫外線照
射により光電子14−2が放出され、負イオンが得られ
る。このようにして、除塵と除菌された安全な負イオン
富化空気9が病室10へ供給される。該清浄空気9は安
全な負イオン富化の高品質空気であり、本発明の特徴で
ある。図2において、17はベット、18はふとんであ
る。
As described above, the particulate matter 11 in the room air 8 is stably collected on the electrode 6-1 for a long time.
In addition, ultraviolet rays (sterilization line from the germicidal lamp 5: 254 nm) are continuously irradiated to the collected particulate matter 16 on the electrode 6-1 for a long time, so that the biological particles collected on the electrode 6-1 are scattered. (Microorganisms such as Staphylococcus aureus, bacteria, and mold) are completely sterilized (sterilized). The air from which particles have been removed as described above is then subjected to negative ion generation in the negative ion generator (B). Here, under the electric field of 50 V / cm [the electric field between the photoelectron emission material 4-2 (-) electrode and the electrode 6-2 (+) electrode], the photoelectron emission material 4-2 is irradiated with the ultraviolet light to irradiate the photoelectrons as described above. 14-2 is released and negative ions are obtained. In this way, safe dust-free and sterilized negative ion-enriched air 9 is supplied to the hospital room 10. The clean air 9 is safe negative ion enriched high quality air and is a feature of the present invention. In FIG. 2, reference numeral 17 denotes a bet, and reference numeral 18 denotes a bed.

【0040】実施例2 実施例1における図1の空気清浄器1の別の形態を図
3,4に示す。図3,4において、図1,2と同一符号
は同じ意味を示す。次に、夫々の形態について、図1に
対する比較を示す。 (1)図3は、図1の紫外線が照射される部分にガス状
汚染物質として病室ないの臭気(体臭:アルデヒド、高
級脂肪酸、アンモニアなど)の分解・除去を行う光触媒
19の設置を行ったものである。光触媒19は、流路中
に照射紫外線の方向に平行に設置している。これによ
り、粒子と臭気性ガスが除去された負イオン富化空気9
が得られる。 (2)図4は、図1の粗フィルタ3部に、吸着材(活性
炭とイオン交換繊維)20の設置を行ったものである。
吸着材により、病室内の臭気〔体臭:アンモニアやアミ
ン酸のような塩基性ガス(主にイオン交換繊維で捕集)
や脂肪酸のような酸性ガス(主に活性炭で捕集)〕が除
去される。これにより、粒子と臭気性ガスが除去された
負イオン富化空気9が得られる。
Second Embodiment FIGS. 3 and 4 show another embodiment of the air purifier 1 of FIG. 1 in the first embodiment. 3 and 4, the same symbols as those in FIGS. 1 and 2 have the same meaning. Next, a comparison with FIG. 1 will be shown for each embodiment. (1) In FIG. 3, a photocatalyst 19 for decomposing and removing odors (body odors: aldehydes, higher fatty acids, ammonia, etc.) as a gaseous contaminant in a portion exposed to the ultraviolet rays in FIG. 1 was installed. Things. The photocatalyst 19 is provided in the flow path in parallel to the direction of the irradiation ultraviolet light. Thereby, the negative ion-enriched air 9 from which particles and odorous gas have been removed
Is obtained. (2) FIG. 4 shows a case where an adsorbent (activated carbon and ion exchange fiber) 20 is installed in the three coarse filters of FIG.
Odor in hospital room due to adsorbent [body odor: basic gas such as ammonia or amine acid (mainly collected by ion exchange fiber)
And acidic gases such as fatty acids (mainly collected by activated carbon)]. Thereby, the negative ion-enriched air 9 from which particles and odorous gas have been removed is obtained.

【0041】実施例3 図5は、半導体工場のクラス1,000のクリーンルー
ムに設置された粒子除去部(A)と負イオン発生部
(B)を備えた清浄空気発生(除塵された負イオン富化
空気)装置1を示す。該装置1は、クリーンルームの搬
送装置21へ負イオン14−2の供給を行い(除電
用)、電気的に安定な空間を創出するものである。該装
置1は、クリーンルームのクラス1000の空気8の吸
引と本装置1により得られた清浄化された(除塵)負イ
オン富化空気9の吐出を行うファン2、粗フィルタ3
と、光電子放出材4−1,4−2、紫外線ランプ(殺菌
ランプ)5、前方のメッシュサイズの異なる網を積層し
た電極6−1、後方の網状電極6−2より構成される。
光電子放出材4−1,4−2は、板状母体にAuを被覆
したものである。
Embodiment 3 FIG. 5 shows a clean air generation (dust removal of negative ion rich material) equipped with a particle removing section (A) and a negative ion generating section (B) installed in a class 1,000 clean room of a semiconductor factory. 1 shows an apparatus 1 for producing air. The apparatus 1 supplies negative ions 14-2 to the transfer device 21 in the clean room (for static elimination), and creates an electrically stable space. The apparatus 1 comprises a fan 2 for sucking air 1000 of class 1000 in a clean room and discharging the purified (dust-removed) negative ion-enriched air 9 obtained by the apparatus 1;
And a photoelectron emitting material 4-1, 4-2, an ultraviolet lamp (germicidal lamp) 5, an electrode 6-1 in which meshes of different mesh sizes are stacked on the front, and a mesh electrode 6-2 on the rear.
The photoelectron emitting materials 4-1 and 4-2 are obtained by coating a plate-shaped base with Au.

【0042】夫々との作用について説明する。粗フィル
タ3は、ファン2からの発塵等空気中の粗い粒子状物質
の捕集を行うものである。粒子の荷電・捕集部(A)
は、電場下(2,000V/cm)で、光電子放出材4
に紫外線ランプ5からの紫外線を照射することにより光
電子14−1を発生させ、該光電子14−1により粒子
11を荷電し、荷電粒子15を電極6−1(荷電粒子捕
集材)で捕集・除去16するものである。22は紫外線
ランプ5からの紫外線を光電子放出材4−1,4−2に
効率良く照射するための反射面、23は石英ガラス窓で
ある。上記のごとくして上流で粒子除去された空気は、
次いで負イオン発生部(B)において、負イオン14−
2が発生される。
The operation of each will be described. The coarse filter 3 is for collecting coarse particulate matter in the air such as dust generated from the fan 2. Particle charging / collecting unit (A)
Is a photoelectron emission material 4 under an electric field (2,000 V / cm).
Is irradiated with ultraviolet rays from an ultraviolet lamp 5 to generate photoelectrons 14-1, the particles 11 are charged by the photoelectrons 14-1, and the charged particles 15 are collected by an electrode 6-1 (charged particle collecting material).・ Remove 16 Reference numeral 22 denotes a reflection surface for efficiently irradiating the ultraviolet rays from the ultraviolet lamp 5 to the photoelectron emitting materials 4-1 and 4-2, and reference numeral 23 denotes a quartz glass window. As described above, the air from which particles have been removed upstream is
Next, in the negative ion generator (B), the negative ions 14-
2 is generated.

【0043】ここでは、50V/cmの電場下〔光電子
放出材4−2(−)極と、電極6−2間の電界〕で、上
記のごとく光電子放出材4−2への紫外線照射により光
電子が放出され、負イオン14−2が得られる。このよ
うにして、得られた清浄化負イオン富化空気9は、搬送
装置21に供給され、搬送中のガラス基板24は、除電
前(Dの位置)では3,000〜3,500Vの電位を
有するが、除電後(Eの位置)では10V以下まで下が
る。本装置1により、正イオンが多いクラス1,000
のクリーンルーム空気8は、負イオン濃度5,000個
/mlのクラス1(1ft3中粒径0.1μm粒子の粒
子個数)以下の清浄空気9が得られる。該清浄空気9
は、クラス1以下まで除塵されたオゾンレスの負イオン
富化の高品質空気であり、本発明の特徴である。
Here, under the electric field of 50 V / cm [electric field between the photoelectron emission material 4-2 (-) electrode and the electrode 6-2], the photoelectron emission material 4-2 is irradiated with the ultraviolet light as described above to emit the photoelectrons. Is released, and negative ions 14-2 are obtained. The purified negative ion-enriched air 9 thus obtained is supplied to the transfer device 21, and the glass substrate 24 during transfer has a potential of 3,000 to 3,500 V before static elimination (D position). However, the voltage drops to 10 V or less after static elimination (position E). With this device 1, a class with a large number of positive ions of 1,000
Of the clean room air 8 is a clean air 9 having a negative ion concentration of 5,000 particles / ml and a class 1 (particle number of 0.1 μm particles in 1 ft 3 ) or less. The clean air 9
Is ozone-less, high-quality, negative-ion-enriched air that has been dedusted to class 1 or less, and is a feature of the present invention.

【0044】実施例4 実施例3における図5の清浄空気発生装置1の別の形態
を図6,7に示す。図6,7において、図5と同一符号
は同じ意味を示す。次に、夫々の形態について、図5に
対する比較を示す。 (1)図6は、図5の紫外線が照射される部分に、ガス
状汚染物質としてクリーンルーム空気中の有機性ガス
(例、フタル酸エステル)及びアンモニアの除去を行う
光触媒19の設置を行ったものである。光触媒19は、
流路中に照射紫外線の方向に平行に設置している。これ
により、ガス状汚染物質が除去されたクラス1より清浄
な負イオン富化空気9が得られる。 (2)図7は図5の粗フィルタ部3に吸着材(活性炭と
イオン交換繊維)20の設置を行ったものである。吸着
材20により、クリーンルーム空気中のアンモニア、ア
ミンのような塩基性ガス(主にイオン交換繊維で捕集)
や二酸化硫黄や塩化水素、フッ化水素のような酸性ガス
(主に活性炭で捕集)が除去される。これにより、該ガ
ス状汚染物質が除去されたクラス1より清浄な負イオン
富化空気9が得られる。
Embodiment 4 FIGS. 6 and 7 show another embodiment of the clean air generator 1 of Embodiment 3 shown in FIG. 6 and 7, the same reference numerals as those in FIG. 5 indicate the same meanings. Next, a comparison with FIG. (1) In FIG. 6, a photocatalyst 19 for removing organic gas (eg, phthalate ester) and ammonia in the clean room air as gaseous pollutants was installed in a portion irradiated with ultraviolet rays in FIG. Things. The photocatalyst 19 is
It is installed in the flow path in parallel with the direction of the irradiation ultraviolet light. As a result, negative ion-enriched air 9 that is cleaner than class 1 and from which gaseous pollutants are removed is obtained. (2) FIG. 7 shows that the adsorbent (activated carbon and ion exchange fiber) 20 is installed in the coarse filter section 3 of FIG. Basic gas such as ammonia and amine in clean room air by the adsorbent 20 (mainly collected by ion exchange fiber)
Acid gases such as sulfur dioxide, hydrogen chloride and hydrogen fluoride (mainly collected by activated carbon) are removed. Thereby, the negative ion-enriched air 9 which is cleaner than class 1 and from which the gaseous pollutants are removed is obtained.

【0045】実施例5 図1に示した構成の空気清浄器1を12m3の室内に設
置し、電場下で光電子放出材に紫外線照射を行い、室内
の負イオン濃度と粒子濃度を調べた。また、負イオンの
効能を調べるため、発生空気をいちごに暴露し、鮮度保
持について調べた。 空気清浄器の大きさと風量;30×30×60cm,
0.5m3/min、 紫外線ランプ;殺菌灯(主波長:254nm)、 光電子放出材;殺菌灯の上にAuをスパッタリング法に
より富化したもの、 粒子捕集部(A)における電極;SUS製のメッシュの
異なる2枚の網(20メッシュと10メッシュ)を重ね
たもの、 電場:1.5KV/cm、 負イオン発生部(B)における電極;平板状SUS板、 電場:30V/cm、 負イオン濃度測定器;イオンテスター(0.4cm2
V・S以上の電気移動度をもつもの)、 粒子濃度計;粉じん計、
Example 5 The air purifier 1 having the structure shown in FIG. 1 was installed in a room of 12 m 3 , and the photoelectron emission material was irradiated with ultraviolet light under an electric field to examine the negative ion concentration and the particle concentration in the room. In addition, in order to examine the effectiveness of negative ions, the generated air was exposed to strawberries and freshness retention was examined. Size of air purifier and air volume; 30 × 30 × 60cm,
0.5 m 3 / min, ultraviolet lamp; germicidal lamp (main wavelength: 254 nm), photoelectron emission material; germicidal lamp with Au enriched by sputtering method, electrode in particle collecting part (A); SUS Two meshes (20 mesh and 10 mesh) having different meshes are superimposed, electric field: 1.5 KV / cm, electrode in negative ion generating part (B); flat SUS plate, electric field: 30 V / cm, negative Ion concentration meter; Ion tester (0.4 cm 2 /
VS or higher electric mobility), particle concentration meter; dust meter,

【0046】結果 (1)負イオン濃度と粒子濃度 結果を表1に示す。Results (1) Negative ion concentration and particle concentration The results are shown in Table 1.

【表1】 [Table 1]

【0047】(比較例)実施例5の比較として、実施例
5において、粒子捕集部(A)と負イオン発生部(B)
の電場を、同一の電場(1.5KV/cm、又は30V
/cm)を設定し、同様に調べた。結果を表2に示す。
(Comparative Example) As a comparison with Example 5, in Example 5, the particle collecting part (A) and the negative ion generating part (B)
Of the same electric field (1.5 KV / cm or 30 V)
/ Cm) was set and examined in the same manner. Table 2 shows the results.

【表2】 [Table 2]

【0048】(2)いちごの鮮度保持 鮮度保持効果として、5℃においてカビ発生が認められ
る日数を調べた。結果を表3に示す。表3における比較
例は上記電極の電場が1.5KV/cmの場合である。
(2) Preservation of Freshness of Strawberries As a freshness preserving effect, the number of days at which mold generation is observed at 5 ° C. was examined. Table 3 shows the results. The comparative example in Table 3 is a case where the electric field of the above electrode is 1.5 KV / cm.

【表3】 本空気清浄器で得られた負イオンリッチな細菌処理空気
の効能を、負イオン空気を寒天培地上に吹きつけること
により、雑菌の培養を行い、吹きつけない場合と比較し
て調べた。吹きつけた寒天培地上にはコロニーは生成し
なかったが、吹きつけない寒天培地上にはコロニーが1
5個/10cm2生成していた。
[Table 3] The effectiveness of the negative ion-rich bacteria-treated air obtained by the present air purifier was examined by spraying negative ion air onto an agar medium, thereby cultivating various bacteria, and comparing with the case where no air was blown. No colonies were formed on the sprayed agar medium, but 1 colony was formed on the unsprayed agar medium.
5/10 cm 2 were produced.

【0049】実施例6 実施例5の図1に示した構成の空気清浄器に図3,4の
ごとく、夫々光触媒、吸着材を付加し、(実施例5と同
様に12m3の室内に設置し)運転した。試験は、室内
でタバコ煙を発生させ、夫々の脱臭性能、炭化水素除去
性能、アンモニア除去性能を調べた。 光触媒;石英ガラス板にTiO2をゾルーゲル法で被
覆、 吸着材;活性炭素繊維と下記により製造したイオン交換
繊維を合ねたもの、 アニオン交換繊維;繊維状のポリプロピレンに窒素中で
電子線20Mradを照射し、次いでヒドロキシスチレ
ンモノマーとイソプレンを夫々60%及び40%含む溶
液に浸漬し、35℃の温度に加熱してグラフト重合反応
を行った。反応後、四級アミノ化を行い、アニオン交換
繊維を得た。 臭気濃度;三点比較式におい袋法で測定、 炭化水素濃度;非メタン炭化水素濃度をGC法で測定、 アンモニア濃度;化学発光法で測定、
Embodiment 6 As shown in FIGS. 3 and 4, a photocatalyst and an adsorbent are respectively added to the air purifier having the structure shown in FIG. 1 of Embodiment 5 (installed in a 12 m 3 room as in Embodiment 5). Driving. In the test, tobacco smoke was generated indoors, and their deodorizing performance, hydrocarbon removing performance, and ammonia removing performance were examined. Photocatalyst; Quartz glass plate coated with TiO 2 by sol-gel method; Adsorbent; Combination of activated carbon fiber and ion exchange fiber produced as follows; Anion exchange fiber; Fibrous polypropylene with electron beam 20 Mrad in nitrogen Irradiated, then immersed in a solution containing 60% and 40% of hydroxystyrene monomer and isoprene, respectively, and heated to a temperature of 35 ° C. to perform a graft polymerization reaction. After the reaction, quaternary amination was performed to obtain an anion exchange fiber. Odor concentration; Measured by the three-point comparison odor bag method; Hydrocarbon concentration; Non-methane hydrocarbon concentration measured by the GC method; Ammonia concentration; Measured by the chemiluminescence method;

【0050】結果 結果を表4に示す。Results The results are shown in Table 4.

【表4】 [Table 4]

【0051】[0051]

【発明の効果】本発明によれば次のような効果を奏する
ことができた。 (1)電場用電極を、粒子除去用と負イオン発生用の二
つに分けて構成したことにより、 粒子状物質が除去された負イオン(除塵されたクリ
ーンな負イオン)富化空気が得られた。 光電子放出材、紫外線及び/又は放射線源、電場用
電極からなる一式(1セット)のみの装置によって、除
塵されたクリーンな負イオン富化気体が得られた。即
ち、装置が小型化し、除塵と負イオン発生の2つの機能
を同時に備えたコンパクトな装置となった。また、小型
化したので、保守点検等の装置の維持・管理が容易とな
った。 上記に、光触媒及び/又は吸着材を設置することに
より、ガス状汚染物質もコンパクトな装置で同時に除去
された。それにより適用範囲(装置の種類)が広がっ
た。
According to the present invention, the following effects can be obtained. (1) By separating the electric field electrode into two parts, one for particle removal and the other for negative ion generation, it is possible to obtain negative ion-free air (clean, clean negative ions) from which particulate matter has been removed. Was done. The dust-removed clean negative ion-enriched gas was obtained by only one set (one set) of the photoelectron emission material, the ultraviolet and / or radiation source, and the electric field electrode. That is, the size of the apparatus was reduced, and the apparatus was compact having both functions of dust removal and negative ion generation. In addition, the downsizing has facilitated maintenance and management of the equipment such as maintenance and inspection. As described above, by installing a photocatalyst and / or an adsorbent, gaseous pollutants were also simultaneously removed by a compact apparatus. As a result, the applicable range (the type of device) has been expanded.

【0052】(2)上記により、負イオンを利用する次
の分野の実用性が向上した。 (a)、電気的に安定な空間を作る分野。 (b)、生体の代謝機能や生理機能を衰えさせない生体
に対する快適な作業空間を作る分野。 (c)、アメニティや快適な空気環境を創出する分野。 (d)食品の鮮度維持や菌類の増殖防止の分野。
(2) From the above, the practicality of the next field utilizing negative ions has been improved. (A) The field of creating electrically stable spaces. (B) The field of creating a comfortable working space for a living body that does not impair the metabolic and physiological functions of the living body. (C) Fields that create amenities and a comfortable air environment. (D) The field of maintaining the freshness of food and preventing the growth of fungi.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の一
例を示す断面構成図。
FIG. 1 is a sectional view showing an example of a negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図2】病室における空気清浄を示す説明図。FIG. 2 is an explanatory diagram showing air purification in a hospital room.

【図3】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の他
の例を示す断面構成図。
FIG. 3 is a sectional view showing another example of the negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図4】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の他
の例を示す断面構成図。
FIG. 4 is a sectional view showing another example of the negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図5】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の一
例を設置した搬送装置の断面構成図。
FIG. 5 is a cross-sectional configuration diagram of a transfer device provided with an example of the negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図6】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の他
の例を設置した搬送装置の断面構成図。
FIG. 6 is a cross-sectional configuration diagram of a transfer device provided with another example of the negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図7】本発明の負イオン発生装置(空気清浄器)の他
の例を設置した搬送装置の断面構成図。
FIG. 7 is a cross-sectional configuration diagram of a transfer device provided with another example of the negative ion generator (air purifier) of the present invention.

【図8】公知の負イオン発生装置の断面構成図。FIG. 8 is a cross-sectional configuration diagram of a known negative ion generator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1:負イオン発生装置(空気清浄器)、2:ファン、
3:粗フィルタ、4−1,4−2:光電子放出材、5:
紫外線ランプ、6−1,6−2:電極、8:汚染空気、
9:清浄空気、10:病室、11:粒子状物質、12:
病人、13:紫外線照射窓、14−1,14−2:光電
子、15:荷電粒子、16:捕集粒子、17:ベッド、
18:ふとん、19:光触媒、20:吸着材、21:搬
送装置、22:反射面、23:石英ガラス窓、24:ガ
ラス基板、A:荷電・捕集部、B:負イオン発生部、
C:清浄空間、D:除電前、E:除電後
1: negative ion generator (air purifier), 2: fan,
3: Coarse filter, 4-1 and 4-2: Photoemission material, 5:
UV lamps, 6-1 and 6-2: electrodes, 8: contaminated air,
9: clean air, 10: hospital room, 11: particulate matter, 12:
Sick person, 13: ultraviolet irradiation window, 14-1, 14-2: photoelectron, 15: charged particle, 16: trapped particle, 17: bed,
18: Futon, 19: Photocatalyst, 20: Adsorbent, 21: Conveying device, 22: Reflective surface, 23: Quartz glass window, 24: Glass substrate, A: Charging / collecting unit, B: Negative ion generating unit,
C: clean space, D: before static elimination, E: after static elimination

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】空間中で、光電子放出材と電場用電極の間
に電場を形成し、該電場下に光電子放出材に紫外線及び
/又は放射線を照射する負イオンの発生方法において、
該光電子放出材と電場用電極間には、粒子除去による清
浄化用と負イオン発生用の二つの異なった電場を形成す
ることを特徴とする負イオンの発生方法。
In a method for generating negative ions, an electric field is formed between a photoelectron emitting material and an electric field electrode in a space, and the photoelectron emitting material is irradiated with ultraviolet rays and / or radiation under the electric field.
A method for generating negative ions, wherein two different electric fields for cleaning by particle removal and generating negative ions are formed between the photoelectron emitting material and the electric field electrode.
【請求項2】前記空間は、光触媒及び/又は吸着材の設
置による気体の清浄化によって、清浄化されていること
を特徴とする請求項1記載の負イオンの発生方法。
2. The method for generating negative ions according to claim 1, wherein said space is purified by purifying a gas by installing a photocatalyst and / or an adsorbent.
【請求項3】空間中に、光電子放出材と電場用電極と該
光電子放出材に紫外線及び/又は放射線を照射する照射
源とを有する負イオンの発生装置において、該光電子放
出材と電場用電極とは、粒子除去による清浄化用と負イ
オン発生用の異なった電場を形成する二つの部分からな
ることを特徴とする負イオンの発生装置。
3. A negative ion generator having a photoelectron emitting material, an electrode for an electric field, and an irradiation source for irradiating the photoelectron emitting material with ultraviolet rays and / or radiation in a space, wherein the photoelectron emitting material and the electrode for an electric field are provided. Is an apparatus for generating negative ions, comprising two parts which form different electric fields for cleaning by particle removal and for generating negative ions.
【請求項4】前記空間には、負イオン発生気体を清浄化
させるための光触媒及び/又は吸着材が設置されている
ことを特徴とする請求項3記載の負イオンの発生装置。
4. The negative ion generator according to claim 3, wherein a photocatalyst and / or an adsorbent for purifying the negative ion generating gas is installed in the space.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003012946A1 (en) * 2001-08-01 2003-02-13 Sharp Kabushiki Kaisha Ion generator, and electrical equipment and air conditioner with the ion generator
EP1453162A2 (en) * 2003-01-16 2004-09-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Photoelectron generating plate, negative particle generating device and charge removing device and equipment using such device
KR100468224B1 (en) * 2002-03-05 2005-01-26 주식회사 폴리안나 Anion air-cleaning machine added photocatalyst sterilizing apparatus
US7120006B2 (en) 2001-04-20 2006-10-10 Sharp Kabushiki Kaisha Ion generator and air conditioning apparatus
JP2007021411A (en) * 2005-07-19 2007-02-01 Toshiba Kyaria Kk Electrostatic precipitator and air conditioner

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7120006B2 (en) 2001-04-20 2006-10-10 Sharp Kabushiki Kaisha Ion generator and air conditioning apparatus
WO2003012946A1 (en) * 2001-08-01 2003-02-13 Sharp Kabushiki Kaisha Ion generator, and electrical equipment and air conditioner with the ion generator
KR100468224B1 (en) * 2002-03-05 2005-01-26 주식회사 폴리안나 Anion air-cleaning machine added photocatalyst sterilizing apparatus
EP1453162A2 (en) * 2003-01-16 2004-09-01 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Photoelectron generating plate, negative particle generating device and charge removing device and equipment using such device
EP1453162A3 (en) * 2003-01-16 2009-05-20 Panasonic Corporation Photoelectron generating plate, negative particle generating device and charge removing device and equipment using such device
US7843678B2 (en) 2003-01-16 2010-11-30 Panasonic Corporation Photoelectron generating plate, negative particle generating device and charge removing device and equipment using such device
JP2007021411A (en) * 2005-07-19 2007-02-01 Toshiba Kyaria Kk Electrostatic precipitator and air conditioner

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