JP2000162622A - Liquid crystal injecting device - Google Patents

Liquid crystal injecting device

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JP2000162622A
JP2000162622A JP10336143A JP33614398A JP2000162622A JP 2000162622 A JP2000162622 A JP 2000162622A JP 10336143 A JP10336143 A JP 10336143A JP 33614398 A JP33614398 A JP 33614398A JP 2000162622 A JP2000162622 A JP 2000162622A
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JP
Japan
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liquid crystal
liquid
vacuum
pump
crystal injection
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Application number
JP10336143A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroaki Nomura
広明 野村
Hiroshi Omatsu
啓 尾松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sharp Corp
Shinko Seiki Co Ltd
Original Assignee
Sharp Corp
Shinko Seiki Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress the occurrence of troubles in vacuum pumps, to improve reliability in a liquid crystal injection treatment by preventing invasion of liquids such as liquid crystal or the like into the vacuum pumps and to realize improvement in throughput by reducing he frequency of maintenance of the device. SOLUTION: A collection machinery 10a is arranged between a vacuum chamber 6 and a forward pump (vacuum pump) 8, and a collecting machinery 10b is arranged between the forward pump 8 and a back pump (vacuum pump) 9, which is set at downstream of the forward pump 8. These collecting machineries 10a, 10b collect liquids which flowod out from the chamber 6, such as water, solvents, liquid crystal, oil or the like, and prevent the imfiltcation of the liquids into the vacuum pumps 8, at the downstream side.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、一対の透明電極基
板が貼り合わされた状態の液晶表示パネルの内部に液晶
を注入する液晶注入装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal injection device for injecting liquid crystal into a liquid crystal display panel in which a pair of transparent electrode substrates are bonded.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示パネルは−対の透明電極基板を
所定の隙間をもって貼り合わせ、内部の隙間に液晶を注
入し、密封することで作製される。図3に、従来の液晶
注入装置を示す。この液晶注入装置は、真空チャンバ
6、その内部に配置された液晶溜容器5、バルブ7、真
空チャンバ6を排気する真空ポンプのフォワードポンプ
8、さらにフォワードポンプ8の下流にあって真空チャ
ンバ6を排気する真空ポンプのバックポンプ9、フォワ
ードポンプ8とバックポンプ9を繋ぐ蛇腹配管14から
構成される。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display panel is manufactured by bonding a pair of transparent electrode substrates with a predetermined gap, injecting a liquid crystal into an internal gap, and sealing. FIG. 3 shows a conventional liquid crystal injection device. This liquid crystal injection device includes a vacuum chamber 6, a liquid crystal reservoir 5, a valve 7, a forward pump 8 for a vacuum pump for exhausting the vacuum chamber 6, and a vacuum chamber 6 downstream of the forward pump 8. It comprises a back pump 9 of a vacuum pump for evacuating, and a bellows pipe 14 connecting the forward pump 8 and the back pump 9.

【0003】この液晶注入装置を用いて液晶パネルに行
う液晶注入について説明する。液晶パネル1は、一対の
透明電極基板の周縁に液晶注入口3を除いた部分にシー
ル材2を形成し、スペーサを介して貼り合わせたて形成
されている。液晶注入装置を用いて液晶パネル1に行う
液晶注入は、いわゆる真空注入法と呼ばれるものであ
る。すなわち、真空チャンバ6内をフォワードポンプ8
とバックポンプ9を用い、真空チャンバ6内真空度を管
理して、真空チャンバ6内を十分に減圧する。この真空
チャンバ6内に設置された液晶溜容器5の液晶4に、液
晶注入前の液晶表示パネル1の液晶注入口3を浸し、バ
ルブ7を調整しながら、徐々に通常気圧状態に戻すこと
で、液晶溜容器5内の液晶表面にかかる気圧を増してい
く。こうして、液晶注入前液晶表示パネル1内へ液晶4
を流入させることで、液晶注入が完了する。そして、最
後に液晶注入口3付近に封止樹脂を塗布することによっ
て、液晶表示パネル内に液晶を封止する。
A description will be given of liquid crystal injection to a liquid crystal panel using this liquid crystal injection device. The liquid crystal panel 1 is formed by forming a sealing material 2 on the periphery of a pair of transparent electrode substrates except for a liquid crystal injection port 3 and bonding them together via a spacer. The liquid crystal injection into the liquid crystal panel 1 using the liquid crystal injection device is a so-called vacuum injection method. That is, the forward pump 8
And the back pump 9 to control the degree of vacuum in the vacuum chamber 6 to sufficiently reduce the pressure in the vacuum chamber 6. The liquid crystal injection port 3 of the liquid crystal display panel 1 before liquid crystal injection is immersed in the liquid crystal 4 of the liquid crystal storage container 5 installed in the vacuum chamber 6, and the valve 7 is adjusted to gradually return to the normal atmospheric pressure state. Then, the pressure applied to the liquid crystal surface in the liquid crystal storage container 5 is increased. Thus, the liquid crystal 4 is introduced into the liquid crystal display panel 1 before liquid crystal injection.
To complete the liquid crystal injection. Then, finally, a liquid crystal is sealed in the liquid crystal display panel by applying a sealing resin near the liquid crystal injection port 3.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来の液晶注入装置
は、真空チャンバ6と該真空チャンバ6を排気するフォ
ワードボンプ8とバックポンプ9が配管を通じて直接連
結されているのみで、処理材料の出し入れ、液晶注入な
どの工程で発生した水、溶剤、液晶、油などの液体が真
空ポンプ内に侵入することがある。又、真空チャンバ6
内を排気する際に吸引された気体が、排気管外の大気温
度で低下し、配管内で凝縮・液化したり、真空チャンバ
6の排気中、稼動しているフォワードポンプ8とバック
ポンプ9間に圧力差が生じ、配管内で凝集・液化したり
して、真空ポンプ内に侵入することがある。
The conventional liquid crystal injecting apparatus has a vacuum chamber 6, a forward pump 8 for evacuating the vacuum chamber 6, and a back pump 9 which are directly connected through a pipe. Liquids such as water, solvent, liquid crystal, and oil generated in a process such as liquid crystal injection may enter the vacuum pump. Also, vacuum chamber 6
The gas sucked when exhausting the gas is reduced at the atmospheric temperature outside the exhaust pipe, condensed and liquefied in the pipe, or between the operating forward pump 8 and the back pump 9 during the evacuation of the vacuum chamber 6. May cause a pressure difference, which may cause agglomeration and liquefaction in the piping, and may enter the vacuum pump.

【0005】これらの水、溶剤、液晶、油などの液体が
真空ポンプの回転翼の腐食発生原因となり、回転中に回
転翼が破損する危険があった。また回転翼の腐食によ
り、排気能力が低下し到達真空圧力が悪くなることがあ
った。さらに、真空ポンプ内に滞留した水、溶剤、液
晶、油などの液体が、真空排気中に気化することによ
り、到達真空圧力が悪くなることがあった。従って、そ
れに伴う装置メンテナンスの必要性が生じ、メンテナン
スに伴いスループットの低下が生じていた。
[0005] Liquids such as water, solvents, liquid crystals, and oils cause corrosion of the rotating blades of the vacuum pump, and there is a risk that the rotating blades may be damaged during rotation. In addition, due to the corrosion of the rotor blades, the exhaust capacity was reduced, and the ultimate vacuum pressure was sometimes deteriorated. Furthermore, liquids, such as water, a solvent, liquid crystal, and oil, retained in the vacuum pump may evaporate during evacuation, resulting in a lower ultimate vacuum pressure. Therefore, the necessity of the device maintenance accompanying it has arisen, and the throughput has decreased with the maintenance.

【0006】本発明の目的は、真空ポンプ内に液晶等の
液体が侵入するのを防ぐことにより、真空ポンプの故障
を少なくし、液晶注入処理の信頼性を向上させ、装置の
メンテナンス回数を減らすことによりスループットの向
上を図ることができる液晶注入装置を提供することにあ
る。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to prevent a liquid such as a liquid crystal from entering a vacuum pump, thereby reducing the failure of the vacuum pump, improving the reliability of liquid crystal injection processing, and reducing the number of maintenance of the apparatus. Accordingly, it is an object of the present invention to provide a liquid crystal injection device capable of improving the throughput.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、真空
チャンバ内で真空注入法により液晶表示パネルに液晶を
注入する液晶注入装置において、前記真空チャンバと該
真空チャンバを排気する真空ポンプとを繋ぐ間に、少な
くとも1つ以上の液体捕集機構が設置されていることを
特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a liquid crystal injection apparatus for injecting liquid crystal into a liquid crystal display panel in a vacuum chamber by a vacuum injection method, wherein the vacuum chamber and a vacuum pump for exhausting the vacuum chamber are provided. , At least one or more liquid collecting mechanisms are installed.

【0008】請求項2の発明は、請求項1記載の液晶注
入装置であって、前記真空チャンバを排気する真空ポン
プとその下流に設置された真空ポンプとを繋ぐ間に、少
なくとも1つ以上の液体捕集機構が設置されていること
を特徴とする。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the liquid crystal injecting apparatus according to the first aspect, wherein at least one or more of the liquid crystal injecting device is connected to a vacuum pump for evacuating the vacuum chamber and a vacuum pump installed downstream thereof. The liquid collecting mechanism is provided.

【0009】請求項3の発明は、請求項1又は2記載の
液晶注入装置であって、前記液体捕集機構には、少なく
とも1つ以上のドレインが設置されていることを特徴と
する。
The invention according to claim 3 is the liquid crystal injection device according to claim 1 or 2, wherein at least one or more drains are provided in the liquid collecting mechanism.

【0010】請求項4の発明は、請求項1、2、又は3
記載の液晶注入装置であって、前記液体捕集機構は、外
筒部と内筒部からなる一体型構造である。前記外筒部
は、上端部において開口部を有し、下端部において前記
内筒部側面まで底板が形成される。前記内筒部は、上端
部において上板が形成され、上端側面に通気口が形成さ
れ、下端部で開口部を有する。外筒部内下方と内筒部の
間に液溜め部が形成され、前記外筒部の開口部から落下
した液体が前記液溜め部に溜まり、前記外筒部の開口部
から流入した気体は前記通気口より前記内筒部内を通過
することを特徴とする。
[0010] The invention of claim 4 is the invention of claim 1, 2, or 3.
In the liquid crystal injection device described above, the liquid collecting mechanism has an integrated structure including an outer cylinder and an inner cylinder. The outer cylinder has an opening at an upper end, and a bottom plate is formed at a lower end to a side surface of the inner cylinder. The inner cylindrical portion has an upper plate formed at an upper end, a vent formed at a side surface at an upper end, and an opening at a lower end. A liquid reservoir is formed between the lower part of the outer cylinder and the inner cylinder, and the liquid that has fallen from the opening of the outer cylinder collects in the liquid reservoir, and the gas that flows in from the opening of the outer cylinder is It is characterized in that it passes through the inside of the inner cylinder from the vent.

【0011】本発明においては、液晶注入装置におい
て、真空チャンバと真空ポンプとを繋ぐ間に水、溶剤、
液晶、油の液体捕集機構を設置する。そのため、真空チ
ャンバから排出した水、溶剤、液晶、油等の液体は、こ
の捕集機構によって、捕集されて真空ポンプまで達しな
い。また、真空ポンプと下流に配置された真空ポンプを
繋ぐ間にも液体捕集機構を設置することにより、下流の
真空ポンプに、液体が侵入するのを防ぐことができる。
さらに、捕集機構には、ドレインが設置され、捕集され
た水、溶剤、液晶、油等は、このドレインより外部へ排
出できる。
According to the present invention, in a liquid crystal injection device, water, a solvent,
Install liquid crystal and oil liquid collecting mechanism. Therefore, liquids such as water, solvent, liquid crystal, and oil discharged from the vacuum chamber are collected by the collecting mechanism and do not reach the vacuum pump. In addition, by installing the liquid collecting mechanism between the vacuum pump and the vacuum pump arranged downstream, it is possible to prevent the liquid from entering the downstream vacuum pump.
Further, a drain is provided in the collecting mechanism, and the collected water, solvent, liquid crystal, oil, and the like can be discharged from the drain to the outside.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する.図1は本発明に係る液晶注入
装置の一実施形態を示す構成図である。この液晶注入装
置については、図3の液晶注入装置と同一部分には同一
符号を付し、説明を省略する。図1の液晶注入装置が、
従来の液晶注入装置の構成と異なるのは、真空チャンバ
6と該チャンバを排気するフォワードポンプ8とを繋ぐ
間に、液体捕集機構10aが直列に配置されており、さ
らにフォワードポンプ8とバックポンプ9とを繋ぐ間に
液体捕集機構10bが直列に配置され、蛇腹配管14を
用いていない点である。特に、液体捕集機構10aは真
空チャンバ6とバルブ7の間に配置されている。そし
て、液体捕集機構10a,10bには、ドレイン12
a,12bが接続されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a liquid crystal injection device according to the present invention. In this liquid crystal injection device, the same parts as those of the liquid crystal injection device of FIG. The liquid crystal injection device of FIG.
The difference from the configuration of the conventional liquid crystal injection device is that a liquid collecting mechanism 10a is arranged in series between a vacuum chamber 6 and a forward pump 8 for exhausting the chamber. 9 is that the liquid collecting mechanism 10b is arranged in series between the two, and the bellows piping 14 is not used. In particular, the liquid collecting mechanism 10a is disposed between the vacuum chamber 6 and the valve 7. The drains 12 are provided in the liquid collecting mechanisms 10a and 10b.
a and 12b are connected.

【0013】図2は、液体捕集機構10の構成を示す部
分断面図である。液体捕集機構10は、二重円筒状をな
す一体型構造であり、外筒部20と内筒部30から構成
される。外筒部20は、上端部において開口部21を有
し、下端部において内筒部側面まで底板22が形成され
ている。内筒部30は、上端部において上板30が形成
され、上端側面に通気口31が形成され、下端部で開口
部32を有する。外筒部20の底板22にドレインバル
ブ16を有するドレイン12が接続される。外筒部20
の内周と底板22と内筒部30の外周で囲まれた空間に
液溜め部23を形成している。液体捕集機構10は、上
部のフランジ部25と下部のフランジ部35とで上下の
部品に接続している。接続部には、0リングなどを用
い、気密度を確保する機構となっている。液体捕集機溝
10は一体型構造であることと、ポンプに直接接続でき
ることで、部品構成を少なくすることを実現した。これ
により、さらに確実な気密度を確保することが可能であ
る。
FIG. 2 is a partial sectional view showing the structure of the liquid collecting mechanism 10. As shown in FIG. The liquid collecting mechanism 10 has an integral structure having a double cylindrical shape, and includes an outer cylindrical portion 20 and an inner cylindrical portion 30. The outer cylinder portion 20 has an opening 21 at an upper end portion, and a bottom plate 22 is formed at a lower end portion to a side surface of the inner cylinder portion. The inner cylinder 30 has an upper plate 30 formed at an upper end, a vent 31 formed at an upper side surface, and an opening 32 at a lower end. The drain 12 having the drain valve 16 is connected to the bottom plate 22 of the outer cylinder 20. Outer cylinder 20
A liquid reservoir 23 is formed in a space surrounded by the inner periphery of the base plate 22, the bottom plate 22, and the outer periphery of the inner cylindrical portion 30. The liquid collecting mechanism 10 is connected to upper and lower components by an upper flange 25 and a lower flange 35. The connection portion has a mechanism for securing air tightness by using an O-ring or the like. Since the liquid collector groove 10 has an integral structure and can be directly connected to a pump, the number of components can be reduced. Thereby, it is possible to secure a more reliable airtightness.

【0014】次に、このような構造を有する液体捕集機
構10a,10bの捕集動作について説明する。まず、
液体捕集機構10aは、真空チャンバ6内排気時に、真
空チャンバ6からフォワードポンプ8に液体が流入する
ことを防止している。例えば、真空チャンバ6内の液晶
溜め容器5が破損し、多量の液晶4が下部のバルブ7や
フォワードポンプ8に流入する可能性がある場合や、真
空チャンバ6内を排気する際に吸引された気体が、排気
管内の外気温度で冷やされて液化した場合を想定してみ
る。真空チャンバ6から排気中であると、気体は、外筒
部20の開口部21から、内筒部30の側面通気口31
を通って内筒部内の中空部から開口部32を通過してバ
ルブ7に達する。一方、液体捕集機構10aに流入した
液体は、外筒部20の開口部21から落下して液溜め部
23に溜まる。
Next, the collecting operation of the liquid collecting mechanisms 10a and 10b having such a structure will be described. First,
The liquid collecting mechanism 10a prevents the liquid from flowing from the vacuum chamber 6 to the forward pump 8 when the vacuum chamber 6 is evacuated. For example, when the liquid crystal storage container 5 in the vacuum chamber 6 is damaged and a large amount of liquid crystal 4 may flow into the lower valve 7 or the forward pump 8 or when the inside of the vacuum chamber 6 is evacuated, the liquid crystal is sucked. Let us assume that the gas is cooled and liquefied at the outside air temperature in the exhaust pipe. When the gas is being exhausted from the vacuum chamber 6, the gas flows from the opening 21 of the outer cylinder 20 to the side vent 31 of the inner cylinder 30.
Through the opening portion 32 from the hollow portion in the inner cylindrical portion to reach the valve 7. On the other hand, the liquid that has flowed into the liquid collecting mechanism 10a falls from the opening 21 of the outer cylinder 20 and accumulates in the liquid reservoir 23.

【0015】こうして、捕集機構10aの液溜め部23
に、液体をキャッチすることで、バルブ7への液体の流
出を防ぐことが可能である。液晶溜め容器5が破損した
場合、多量の液晶4及び液晶溜容器5の破片を液溜め部
23に保持して通過させないので、バルブ7のパッキン
部に付着することで、パッキンの劣化進行、破れを引き
起こしたり、フォワードポンプ8への混入により、回転
翼を腐食や損傷を与えるといったトラブルを未然に防止
することを可能にしている。液溜め部23に溜まった多
量の液晶等の液体は、ドレインバルブ16によりドレイ
ン12から外部へ排出し、清掃作業を確実且つ短時間に
完了させることを可能にしている。
Thus, the liquid reservoir 23 of the collecting mechanism 10a
In addition, catching the liquid can prevent the liquid from flowing out to the valve 7. When the liquid crystal storage container 5 is damaged, a large amount of the liquid crystal 4 and fragments of the liquid crystal storage container 5 are retained in the liquid storage portion 23 and do not pass therethrough. And the troubles such as corrosion or damage to the rotor blades caused by mixing in the forward pump 8 can be prevented. A large amount of liquid such as liquid crystal stored in the liquid reservoir 23 is discharged from the drain 12 to the outside by the drain valve 16, thereby making it possible to complete the cleaning operation reliably and in a short time.

【0016】また、液体捕集機横10bは、真空チャン
バ6内排気時に、フォワードポンプ8からバックポンプ
9に液体が流入することを防止している。これは、上述
の液体捕集機構10aで説明したように、液溜め部23
に液体を保持し、気体のみを通過させるからである。そ
して、特に、従来技術のように蛇腹配管14を用いず、
液体捕集機構10bを用いたことにより、さまざまの効
果が得られる。
The liquid collector side 10b prevents liquid from flowing from the forward pump 8 to the back pump 9 when the vacuum chamber 6 is evacuated. This is because, as described in the above-described liquid collecting mechanism 10a, the liquid reservoir 23
This is because the liquid is held in the liquid and only the gas is passed. And in particular, without using the bellows piping 14 unlike the prior art,
Various effects can be obtained by using the liquid collecting mechanism 10b.

【0017】図3に示す従来の液晶注入装置では、フォ
ワードポンプ8とバックポンプ9を繋ぐのに蛇腹配管1
4を用いていたので、蛇腹の溝に水、油が付着しやすか
った。特に、蛇腹配管14は溝部の含水量が多く、真空
チャンバー6内減圧の際、含水液体が気化する作用によ
り、到達真空度の低下につながる。また、蛇腹配管14
の清掃所要時間についても、従来は有機溶剤でのディッ
プ洗浄の後、乾燥する工程で時間を必要としていた。
In the conventional liquid crystal injection device shown in FIG. 3, a bellows pipe 1 is used to connect the forward pump 8 and the back pump 9.
Since No. 4 was used, water and oil easily adhered to the groove of the bellows. In particular, the bellows pipe 14 has a large water content in the groove, and when the pressure inside the vacuum chamber 6 is reduced, the action of vaporizing the water-containing liquid leads to a decrease in the ultimate vacuum. In addition, bellows piping 14
Conventionally, the time required for cleaning required a time in a drying step after dip cleaning with an organic solvent.

【0018】これに対し液体捕集機構10bは、一定周
期で解体清掃することで、減圧ロスを解消することがで
きる。そのため、付着した水、油の気化作用による真空
チャンバ内の真空度低下がなくなり、真空度を維持する
為の作動時間が減少するため、消費電力減少の効果が現
れるからである。また、清掃は、液体捕集機構10bに
おいては、拭き取り清掃の後、乾燥させることで完了す
る。これにより、液晶注入装置のスループット低下を滅
少させることが可能となった。
On the other hand, the liquid collecting mechanism 10b can eliminate the decompression loss by performing dismantling and cleaning at a constant cycle. As a result, the degree of vacuum in the vacuum chamber due to the vaporization of the attached water and oil is not reduced, and the operation time for maintaining the degree of vacuum is reduced, thereby reducing the power consumption. In the liquid collecting mechanism 10b, the cleaning is completed by drying after wiping and cleaning. This makes it possible to reduce a decrease in the throughput of the liquid crystal injection device.

【0019】液溜め部23は、真空チャンバ排気時に発
生する液体をキャッチするだけでなく、例えばフォワー
ドポンプ8の内部部品である、ローター部−ギヤ部間の
シール破れなどで生じたフォワードポンプ8の潤滑油が
ローター内に潰入した際、液溜め部23で潤滑油をキャ
ッチすると共に、シール破片等の固体異物をキャッチす
ることが可能となった。
The liquid reservoir 23 not only catches the liquid generated when the vacuum chamber is evacuated, but also, for example, an internal component of the forward pump 8 such as a broken seal between the rotor and the gear. When the lubricating oil squeezed into the rotor, the lubricating oil can be caught by the liquid reservoir 23 and solid foreign matter such as seal fragments can be caught.

【0020】この装置を用いた液晶注入法に関しては、
従来技術で説明した通りであるので、ここでは説明を省
略する。
Regarding the liquid crystal injection method using this device,
Since it is as described in the prior art, the description is omitted here.

【0021】[0021]

【発明の効果】本発明によれば、液体捕集機構を真空ポ
ンプの上流に配置したことにより、液晶注入時に発生す
る液体及び液晶が液体捕集機構に捕らえられ、真空チャ
ンバ下流の排気系に流入して真空ポンプの性能低下する
のを防ぐ。また真空チャンバ中の液晶溜め容器が破摸し
た場合など、大量の液晶が下流の排気系に流入するのを
防ぎ、またメンテナンス作業性の向上を図り、装置稼働
時間を延ばすことが可能となる。
According to the present invention, by arranging the liquid collecting mechanism upstream of the vacuum pump, the liquid and liquid crystal generated at the time of liquid crystal injection are caught by the liquid collecting mechanism and provided to the exhaust system downstream of the vacuum chamber. This prevents the vacuum pump from flowing and deteriorating the performance of the vacuum pump. Further, when the liquid crystal storage container in the vacuum chamber is destroyed, it is possible to prevent a large amount of liquid crystal from flowing into the downstream exhaust system, improve maintenance workability, and extend the operation time of the apparatus.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る液晶注入装置の一実施形態を示す
構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram showing one embodiment of a liquid crystal injection device according to the present invention.

【図2】この液晶注入装置の捕集機構の構造を示す部分
断面図である。
FIG. 2 is a partial sectional view showing a structure of a collection mechanism of the liquid crystal injection device.

【図3】従来の液晶注入装置の一例を示す構成図であ
る。
FIG. 3 is a configuration diagram illustrating an example of a conventional liquid crystal injection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 液晶パネル 2 シール材 3 液晶注入口 4 液晶 5 液晶溜容器 6 真空チャンバ 7 バルブ 8 フォワードポンプ 9 バックポンプ 10a,10b 液体捕集機構 12a,12b ドレイン DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Liquid crystal panel 2 Sealing material 3 Liquid crystal injection port 4 Liquid crystal 5 Liquid crystal storage container 6 Vacuum chamber 7 Valve 8 Forward pump 9 Back pump 10a, 10b Liquid collection mechanism 12a, 12b Drain

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 尾松 啓 兵庫県神戸市西区高塚台3丁目1番35号 神港精機株式会社内 Fターム(参考) 2H088 FA10 MA20 2H089 NA25 QA12  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of the front page (72) Inventor Kei Omatsu 3-1-1, Takatsukadai, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo F-term in Shinko Seiki Co., Ltd. (Reference) 2H088 FA10 MA20 2H089 NA25 QA12

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 真空チャンバ内で真空注入法により液晶
表示パネルに液晶を注入する液晶注入装置において、 前記真空チャンバと該真空チャンバを排気する真空ポン
プとを繋ぐ間に、少なくとも1つ以上の液体捕集機構が
設置されていることを特徴とする液晶注入装置。
1. A liquid crystal injection device for injecting liquid crystal into a liquid crystal display panel by a vacuum injection method in a vacuum chamber, wherein at least one liquid is connected between the vacuum chamber and a vacuum pump for exhausting the vacuum chamber. A liquid crystal injection device having a collection mechanism.
【請求項2】 前記真空チャンバを排気する真空ポンプ
とその下流に設置された真空ポンプとを繋ぐ間に、少な
くとも1つ以上の液体捕集機構が設置されていることを
特徴とする請求項1記載の液晶注入装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein at least one or more liquid collecting mechanisms are provided between a vacuum pump that exhausts the vacuum chamber and a vacuum pump that is provided downstream of the vacuum pump. The liquid crystal injection device as described in the above.
【請求項3】 前記液体捕集機構には、少なくとも1つ
以上のドレインが設置されていることを特徴とする請求
項1又は2記載の液晶注入装置。
3. The liquid crystal injection device according to claim 1, wherein at least one or more drains are provided in the liquid collecting mechanism.
【請求項4】 前記液体捕集機構は、外筒部と内筒部か
らなる一体型構造であり、 前記外筒部は、上端部において開口部を有し、下端部に
おいて前記内筒部側面まで底板が形成され、 前記内筒部は、上端部において上板が形成され、上端側
面に通気口が形成され、下端部で開口部を有し、 外筒部内周と底板と内筒部外周で囲まれた空間に液溜め
部が形成され、前記外筒部の開口部から落下した液体が
前記液溜め部に溜まり、前記外筒部の開口部から流入し
た気体は前記通気口より前記内筒部内を通過することを
特徴とする請求項1、2、又は3記載の液晶注入装置。
4. The liquid collecting mechanism has an integral structure including an outer cylinder and an inner cylinder, wherein the outer cylinder has an opening at an upper end and a side surface of the inner cylinder at a lower end. A bottom plate is formed up to the inner cylinder portion, an upper plate is formed at an upper end portion, a vent is formed at an upper side surface, and an opening is formed at a lower end portion. A liquid reservoir portion is formed in a space surrounded by, and the liquid dropped from the opening portion of the outer cylinder portion accumulates in the liquid reservoir portion, and gas flowing in from the opening portion of the outer cylinder portion flows into the interior through the vent hole. The liquid crystal injection device according to claim 1, wherein the liquid crystal injection device passes through the inside of the cylindrical portion.
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