JP2000162504A - Enlarging observation device - Google Patents

Enlarging observation device

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JP2000162504A
JP2000162504A JP10335893A JP33589398A JP2000162504A JP 2000162504 A JP2000162504 A JP 2000162504A JP 10335893 A JP10335893 A JP 10335893A JP 33589398 A JP33589398 A JP 33589398A JP 2000162504 A JP2000162504 A JP 2000162504A
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JP
Japan
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image
dimensional image
image data
dimensional
display device
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JP10335893A
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Japanese (ja)
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Hiroshi Kano
浩志 加納
Nobuo Shikai
信雄 鹿井
Hideo Nakamura
英雄 中村
Toru Kumagai
徹 熊谷
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an enlarging observation device constituted so that an image being in focus can be obtained all over the area of an object to be observed and desired to be observed and the stereoscopic shape of the object to be observed can be easily grasped from the image being in focus. SOLUTION: This enlarging observation device is provided with a microscope lens barrel 7 obtaining the optical enlarged image of the object to be observed, an image pickup device 8 picking up the image of the optical enlarged image, the Z-axis feeding mechanism 11 of the lens barrel 7 being as the movement means changing a focusing position with respect to the object to be observed, a two-dimensional image data synthesis part 35 extracting a focusing point area being in focus from the plural pieces of image data picked up at different focus positions, synthesizing the respective focusing point areas and producing two-dimensional image data being in focus over the whole area, a picture display device 51 displaying the two-dimensional image data and a height information holding part 36 being as a stereoscopic information display means displaying the relative height information of the depth direction of a position designated by the two-dimensional image data displayed by the display device 51.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、顕微鏡等の光学機
器を通じて取得した観察対象物の光学拡大像を画像表示
装置に表示する拡大観察装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnifying observation apparatus for displaying, on an image display, an optically magnified image of an observation object obtained through an optical device such as a microscope.

【0002】[0002]

【従来の技術】顕微鏡などの光学機器によって、観察対
象物の立体的な像を拡大観察する場合、被写界深度の範
囲は限られているため、その像の一部がぼやけてしまう
ことがある。この場合には、焦点位置を変化させたり、
倍率を変化させるなどして、焦点を合わせ、観察したい
部分を鮮明にする作業を行なう。
2. Description of the Related Art When a three-dimensional image of an object to be observed is enlarged and observed by an optical device such as a microscope, a part of the image may be blurred because the range of the depth of field is limited. is there. In this case, change the focal position,
By changing the magnification, focusing is performed, and the part to be observed is sharpened.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいて、特に高倍率の顕微鏡などの光学機器では、被写
界深度がきわめて浅いため、像の鮮明な部分がごくわず
かとなってしまい、観察対象物の被写界深度以上の深さ
を有する段差を同時に観察することができない。たとえ
ば、半導体装置における配線パターン等の段差を有する
観察対象物では、段差の高部と低部とを同時に観察でき
ないことがあり、配線パターンの検査を迅速に行うこと
ができない。このため、従来においては、顕微鏡などの
光学機器の有する被写界深度によらず、観察対象物の観
察したい領域の全てについて焦点があった画像を得る技
術への要求が存在した。
However, in the prior art, particularly in optical equipment such as a microscope with a high magnification, the depth of field is extremely shallow, so that a sharp portion of the image is very small, and the object to be observed is very small. Cannot be observed at the same time. For example, in an observation target having a step such as a wiring pattern in a semiconductor device, a high portion and a low portion of the step may not be observed at the same time, so that the wiring pattern cannot be inspected quickly. For this reason, conventionally, there has been a demand for a technique for obtaining a focused image for all the regions to be observed of the observation target object irrespective of the depth of field of an optical device such as a microscope.

【0004】一方、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像が得られたとしても、この画
像は二次元の画像であるため、たとえば、観察対象物を
初めて観察するような場合には、二次元画像から観察対
象物の立体形状を認識するのは困難なこともある。ま
た、観察対象物の二次元画像から立体的な画像を得る技
術については、たとえば、論文”Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer(1992)8:351-360" に開示され
ているが、表示された画像を立体的に認識するために
は、たとえば、立体視化するための左右眼用の特殊眼鏡
を必要とするため、実用的ではなかった。
[0004] On the other hand, even if an image in which all of the region of the object to be observed is focused is obtained, this image is a two-dimensional image. In some cases, it is difficult to recognize the three-dimensional shape of the observation target from the two-dimensional image. For a technique for obtaining a three-dimensional image from a two-dimensional image of an observation target, see, for example, the article “Image processing and
synthesis for extended depth of opticalmicroscope
s, The Visual Computer (1992) 8: 351-360 ". In order to stereoscopically recognize the displayed image, for example, special glasses for the left and right eyes for stereoscopic viewing are used. It was not practical because of the need.

【0005】本発明は、上述の従来の問題に鑑みてなさ
れたものであって、観察対象物の観察したい領域の全て
について焦点があった画像を得ることができ、この画像
から容易に観察対象物の立体形状を把握可能な拡大観察
装置を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned conventional problems, and can obtain an image in which all of a region to be observed of an object to be observed is in focus. It is an object of the present invention to provide a magnifying observation device capable of grasping a three-dimensional shape of an object.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、観察対象物の
光学拡大像を得る光学拡大手段と、前記光学拡大像を撮
像する撮像手段と、前記光学拡大手段の前記観察対象物
に対する焦点位置を変更する移動手段と、異なる焦点位
置で撮像した複数の画像データから焦点の合っている合
焦点領域を抽出し、これら各合焦点領域を合成して全て
の領域で焦点の合っている二次元画像データを生成する
二次元画像データ合成手段と、前記二次元画像データを
表示する画像表示装置と、前記画像表示装置に表示され
た二次元画像の任意位置の深さ方向の相対的高さ情報を
当該画像表示装置に表示する立体情報表示手段とを有す
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention provides an optical magnifying means for obtaining an optically magnified image of an object to be observed, an imaging means for taking the optically magnified image, and a focal position of the optical magnifying means with respect to the object to be observed. Moving means for changing the focal point, extracting a focused in-focus area from a plurality of image data captured at different focal positions, synthesizing each of the focused areas, and focusing on the two-dimensional area in all the areas. Two-dimensional image data synthesizing means for generating image data, an image display device for displaying the two-dimensional image data, and relative height information in a depth direction at an arbitrary position of the two-dimensional image displayed on the image display device Is displayed on the image display device.

【0007】前記立体情報表示手段は、前記各合焦点領
域の各画素情報から得られる前記二次元画像の深さ方向
の相対的な高さ情報を保持しており、前記二次元画像で
指定された位置の高さ情報を前記画像表示装置に出力す
る。
[0007] The three-dimensional information display means holds relative height information in the depth direction of the two-dimensional image obtained from each pixel information of each of the focus areas, and is designated by the two-dimensional image. The height information of the position is output to the image display device.

【0008】前記立体情報表示手段は、前記二次元画像
で指定された任意の2点間における前記高さ情報を連続
的にグラフ表示する。
[0008] The three-dimensional information display means continuously graph-displays the height information between any two points designated in the two-dimensional image.

【0009】前記画像表示装置の画面上にポインタを表
示し、当該ポインタの画面上での位置を設定し、前記二
次元画像の任意の位置を指定する指示手段を有する。
There is provided instruction means for displaying a pointer on the screen of the image display device, setting a position of the pointer on the screen, and designating an arbitrary position of the two-dimensional image.

【0010】前記移動手段は、前記観察対象物と前記光
学拡大手段との前記二次元画像の深さ方向の相対的な位
置決めを行う。
The moving means performs relative positioning of the observation object and the optical magnifying means in the depth direction of the two-dimensional image.

【0011】前記光学拡大手段は、光学顕微鏡である。The optical magnification means is an optical microscope.

【0012】本発明では、二次元画像データ合成手段に
よって全ての領域で焦点の合った二次元画像が合成さ
れ、この二次元画像は画像表示装置に表示される。この
二次元画像から直接観察対象物の立体形状を把握するこ
とは難しいが、立体情報表示手段によって二次元画像の
指定した位置の深さ方向の相対的高さ情報が画像表示装
置に同時に表示されるため、この高さ情報から観察対象
物の立体形状が容易に把握される。
According to the present invention, the two-dimensional image data synthesizing means synthesizes a focused two-dimensional image in all regions, and this two-dimensional image is displayed on an image display device. Although it is difficult to directly grasp the three-dimensional shape of the observation target from the two-dimensional image, the relative height information in the depth direction at the designated position of the two-dimensional image is simultaneously displayed on the image display device by the three-dimensional information display means. Therefore, the three-dimensional shape of the observation target can be easily grasped from the height information.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。図1は、本発明の一実施
形態に係る顕微鏡拡大観察システムの構成を示す説明図
である。図1において、本実施形態に係る顕微鏡拡大観
察システムは、撮像部1と、画像処理/駆動制御装置3
1と、画像表示装置51とを有する。撮像部1は、ベー
ス2上に設けられたXYテーブル3と、ベース2上に立
設されたコラム9に設けられた顕微鏡鏡筒7と、顕微鏡
鏡筒7に取り付けられた撮像装置8と、顕微鏡鏡筒7に
取り付けられた対物レンズ6と、コラム9に設けられた
照明装置10とを有する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an explanatory diagram illustrating a configuration of a microscope magnification observation system according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a microscope magnification observation system according to the present embodiment includes an imaging unit 1 and an image processing / drive control device 3.
1 and an image display device 51. The imaging unit 1 includes an XY table 3 provided on a base 2, a microscope barrel 7 provided on a column 9 erected on the base 2, an imaging device 8 attached to the microscope barrel 7, It has an objective lens 6 attached to a microscope lens barrel 7 and an illumination device 10 provided in a column 9.

【0014】XYテーブル3は、図示しないスライダに
よってベース2上をX軸およびY軸方向に移動自在に保
持されており、XYテーブル3上に観察対象物Wが載置
される。XYテーブル3には、XYテーブル3をX軸方
向に沿って移動位置決めするためのX軸送り機構4が設
けられている。X軸送り機構4は、たとえば、電動モー
タと送りネジで構成され、送りネジがXYテーブル3の
所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによって
回転駆動されることにより、XYテーブル3がX軸方向
の任意の位置に位置決めされる。また、XYテーブル3
には、XYテーブル3をY軸方向に沿って移動位置決め
するためのY軸送り機構5が設けられている。Y軸送り
機構5は、X軸送り機構4と同様に、たとえば、電動モ
ータと送りネジで構成され、送りネジがXYテーブル3
の所定の部材に螺合され、送りネジが電動モータによっ
て回転駆動されることにより、XYテーブル3がY軸方
向の任意の位置に位置決めされる。
The XY table 3 is movably held in the X-axis and Y-axis directions on the base 2 by a slider (not shown), and the observation object W is placed on the XY table 3. The XY table 3 is provided with an X-axis feed mechanism 4 for moving and positioning the XY table 3 along the X-axis direction. The X-axis feed mechanism 4 is composed of, for example, an electric motor and a feed screw. It is positioned at an arbitrary position in the X-axis direction. XY table 3
Is provided with a Y-axis feed mechanism 5 for moving and positioning the XY table 3 along the Y-axis direction. Like the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5 includes, for example, an electric motor and a feed screw.
The XY table 3 is positioned at an arbitrary position in the Y-axis direction by screwing the feed screw with an electric motor.

【0015】顕微鏡鏡筒7は、観察対象物Wの光学拡大
像を得るためのものであり、たとえば、ズーム式の組み
合わせレンズから構成されている。ズームレンズは顕微
鏡鏡筒7に内蔵された電動モータ等からなる図示しない
ズームレンズ駆動部により駆動される。対物レンズ6
は、観察対象物Wを光学的に拡大するために顕微鏡鏡筒
7の先端に設けられている。顕微鏡鏡筒7は、コラム9
に移動自在に設けられており、コラム9に内蔵された、
たとえば、電動モータと送りネジで構成されるZ軸送り
機構11によってZ軸方向の任意の位置に位置決めされ
る。
The microscope lens barrel 7 is for obtaining an optically enlarged image of the observation object W, and is composed of, for example, a zoom-type combination lens. The zoom lens is driven by a zoom lens driving unit (not shown) including an electric motor and the like built in the microscope lens barrel 7. Objective lens 6
Is provided at the tip of the microscope lens barrel 7 for optically enlarging the observation target W. The microscope lens barrel 7 has a column 9
Movably provided in the column 9,
For example, it is positioned at an arbitrary position in the Z-axis direction by a Z-axis feed mechanism 11 composed of an electric motor and a feed screw.

【0016】撮像装置8は、たとえば、CCD(charge
coupled device) 撮像素子を用いたカラーカメラであ
り、顕微鏡鏡筒7の上端に設けられており、対物レンズ
6および顕微鏡鏡筒7を通じて拡大された観察対象物W
の光学拡大像を撮像する。
The imaging device 8 is, for example, a CCD (charge
coupled device) is a color camera using an image pickup device, is provided at the upper end of the microscope tube 7, and is an observation object W enlarged through the objective lens 6 and the microscope tube 7.
The optical magnified image of is taken.

【0017】照明装置10は、観察対象物Wに光を照ら
すために、顕微鏡鏡筒8に取り付けられている。照明装
置10から照射された光は、顕微鏡鏡筒8および対物レ
ンズ6を通って観察対象物Wを上方から照らす。
The illumination device 10 is mounted on the microscope lens barrel 8 to illuminate the observation object W with light. Light emitted from the illumination device 10 illuminates the observation target W from above through the microscope lens barrel 8 and the objective lens 6.

【0018】画像処理/駆動制御装置31は、上記した
顕微鏡鏡筒7に設けられたズームレンズ駆動部を駆動
し、顕微鏡鏡筒7の光学的な拡大倍率が指定された値に
なるようにズームレンズの位置決め制御を行う。また、
画像処理/駆動制御装置31は、上記した撮像装置8の
撮像した画像データを取り込んで、この画像データに所
定の処理を施し、これを画像表示装置51に表示する。
The image processing / drive control device 31 drives a zoom lens drive unit provided in the microscope barrel 7 so that the optical magnification of the microscope barrel 7 becomes a designated value. Performs lens positioning control. Also,
The image processing / drive control device 31 captures the image data captured by the image capturing device 8 described above, performs a predetermined process on the image data, and displays the image data on the image display device 51.

【0019】さらに、画像処理/駆動制御装置31に
は、マウス40が接続されている。画像処理/駆動制御
装置31は、たとえば、マウス40の操作によって入力
される信号に基づいて、画像表示装置51の画面52に
表示するポインタ38aの位置を設定したり、マウス4
0に設けられた2つの操作ボタン40aおよび40bの
操作に基づく信号によって、各種の処理を行ったりす
る。
Further, a mouse 40 is connected to the image processing / drive control device 31. The image processing / drive control device 31 sets the position of the pointer 38 a displayed on the screen 52 of the image display device 51 based on a signal input by operating the mouse 40,
Various processes are performed by a signal based on the operation of the two operation buttons 40a and 40b provided in “0”.

【0020】画像処理/駆動制御装置31は、たとえ
ば、パーソナルコンピュータ(以下、パソコンという)
に、画像処理用ボードおよび上記の顕微鏡鏡筒7に設け
られたズームレンズ駆動部の有する電動モータやX軸送
り機構4、Y軸送り機構5およびZ軸送り機構11の電
動モータを駆動制御するモーターコントロールボードを
付加し、これらボードを動作させるソフトウェアをパソ
コンに備えることによって構成することができる。画像
表示装置51には、たとえば、パソコン用のモニタを使
用することができる。
The image processing / drive control device 31 is, for example, a personal computer (hereinafter referred to as a personal computer).
Then, the electric motors of the image processing board and the zoom lens driving unit provided in the microscope barrel 7 and the electric motors of the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5, and the Z-axis feed mechanism 11 are controlled. It can be configured by adding a motor control board and providing software for operating these boards in a personal computer. As the image display device 51, for example, a monitor for a personal computer can be used.

【0021】図2は、画像処理/駆動制御装置31の一
構成例を示す説明図である。画像処理/駆動制御装置3
1は、移動制御部32と、画像データ入力部33と、画
像データ記憶部34と、二次元画像データ合成部35
と、高さ情報保持部36と、マウス信号制御部37と、
画像表示部38と、ズームレンズ駆動制御部39を有す
る。
FIG. 2 is an explanatory diagram showing an example of the configuration of the image processing / drive control device 31. Image processing / drive control device 3
1 is a movement control unit 32, an image data input unit 33, an image data storage unit 34, a two-dimensional image data synthesis unit 35
A height information holding unit 36, a mouse signal control unit 37,
An image display unit 38 and a zoom lens drive control unit 39 are provided.

【0022】移動制御部32は、上記したX軸送り機構
4、Y軸送り機構5およびZ軸送り機構11の各電動モ
ータの回転位置制御を行なう制御信号32sをX軸送り
機構4、Y軸送り機構5およびZ軸送り機構11に対し
てそれぞれ出力し、観察対象物Wと顕微鏡鏡筒7とを目
標位置に移動する位置決め制御を行う。Z軸送り機構1
1を駆動することにより、顕微鏡鏡筒7の観察対象物W
に対する焦点位置を任意に変更することができる。ま
た、移動制御部32は、マウス40の操作に基づくマウ
ス信号制御部37からの制御信号37s1 にしたがっ
て、X軸送り機構4、Y軸送り機構5およびZ軸送り機
構11の駆動制御が可能となっている。
The movement control unit 32 sends a control signal 32s for controlling the rotational position of each electric motor of the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5 and the Z-axis feed mechanism 11 to the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 4, and the Y-axis feed mechanism 4. Output is performed to the feed mechanism 5 and the Z-axis feed mechanism 11, respectively, to perform positioning control for moving the observation target W and the microscope lens barrel 7 to target positions. Z-axis feed mechanism 1
1 to drive the observation object W of the microscope lens barrel 7.
Can be changed arbitrarily. In addition, the movement control unit 32 can control the driving of the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5, and the Z-axis feed mechanism 11 according to a control signal 37s1 from the mouse signal control unit 37 based on the operation of the mouse 40. Has become.

【0023】ズームレンズ駆動制御部39は、マウス信
号制御部37から入力された信号37s2 に基づいて、
顕微鏡鏡筒7に内蔵されたズームレンズ駆動部の電動モ
ータの駆動制御を行う拡大率指定信号39sをズームレ
ンズ駆動部に出力する。これにより、顕微鏡鏡筒7の拡
大倍率が指定された倍率となるように、ズームレンズの
位置が制御される。
The zoom lens drive control unit 39 receives a signal 37s2 input from the mouse signal control unit 37,
An enlargement ratio designation signal 39 s for controlling the drive of the electric motor of the zoom lens drive unit built in the microscope lens barrel 7 is output to the zoom lens drive unit. Thereby, the position of the zoom lens is controlled such that the magnification of the microscope lens barrel 7 becomes the designated magnification.

【0024】画像データ入力部33は、顕微鏡鏡筒7に
よる観察対象物Wの光学拡大像の撮像装置8による画像
データを画像処理/駆動制御装置31に取り込む。画像
データ記憶部34は、画像データ入力部33から取り込
まれた複数の画像データを記憶保持する。
The image data input unit 33 takes in the image data of the optically enlarged image of the observation object W by the microscope barrel 7 by the image pickup device 8 into the image processing / drive control device 31. The image data storage unit 34 stores and holds a plurality of image data captured from the image data input unit 33.

【0025】マウス信号制御部37に接続されたマウス
40は、たとえば、マウス40を平面上で移動操作する
ことにより、マウス40の下部に設けられたローラの回
転量および回転方向を検出しこれに応じた信号40sを
出力する。また、マウス40は、左右の操作ボタン40
aおよび40bを有しており、こらら操作ボタン40a
および40bを操作(クリック)することにより、信号
40sをマウス信号制御部37に出力する。
The mouse 40 connected to the mouse signal controller 37 detects the amount and direction of rotation of a roller provided below the mouse 40 by moving the mouse 40 on a plane, for example. The corresponding signal 40s is output. In addition, the mouse 40 has left and right operation buttons 40.
a and 40b, and these operation buttons 40a
By operating (clicking on) and 40b, a signal 40s is output to the mouse signal control unit 37.

【0026】マウス信号制御部37は、マウス40の移
動および操作ボタン40a、40bの操作による信号4
0sの内容に応じて、X軸送り機構4、Y軸送り機構5
およびZ軸送り機構11の制御信号37s1 を適宜生成
する。たとえば、画像表示装置51の画面52の所定の
位置に表示されたX軸送り機構4、Y軸送り機構5およ
びZ軸送り機構11の位置決めの操作スイッチにマウス
ポインタ38aを移動させ、マウス40の操作ボタン4
0aまたは40bをクリックすることにより、制御信号
37s1 を生成する構成とすることができる。このよう
な構成とすることにより、マウス40の操作で観察対象
物Wの見たい位置を所望の焦点位置として撮像すること
ができる。
The mouse signal control unit 37 outputs a signal 4 by moving the mouse 40 and operating the operation buttons 40a and 40b.
0s, X-axis feed mechanism 4, Y-axis feed mechanism 5
And a control signal 37s1 for the Z-axis feed mechanism 11 is appropriately generated. For example, the mouse pointer 38 a is moved to an operation switch for positioning the X-axis feed mechanism 4, the Y-axis feed mechanism 5, and the Z-axis feed mechanism 11 displayed at a predetermined position on the screen 52 of the image display device 51. Operation button 4
By clicking on 0a or 40b, the control signal 37s1 can be generated. With such a configuration, a desired position of the observation target W can be imaged as a desired focal position by operating the mouse 40.

【0027】また、マウス信号制御部37は、画像表示
装置51の画面52でのマウスポインタ38aの座標位
置を保持しており、マウス40からの信号40sに基づ
いて、マウスポインタ38aの位置を設定するためのマ
ウス位置設定信号37s3 を生成して画像表示部38に
出力したり、マウス40からの信号40sに基づいて、
ズームレンズ駆動制御部39に対して出力する拡大率指
定信号37s2 を生成する。
The mouse signal control unit 37 holds the coordinate position of the mouse pointer 38a on the screen 52 of the image display device 51, and sets the position of the mouse pointer 38a based on the signal 40s from the mouse 40. To generate a mouse position setting signal 37s3 for output to the image display unit 38, and based on a signal 40s from the mouse 40,
An enlargement ratio designation signal 37s2 output to the zoom lens drive controller 39 is generated.

【0028】また、マウス信号制御部39は、マウス4
0からの信号40sに基づいて、高さ情報保持部36に
対して画像表示装置51の画面52に表示された2次元
画像の位置を指定する位置指定信号37s4 を出力す
る。たとえば、マウスポインタ38aを画像表示装置5
1の画面52上の所望の位置に位置させて、この位置で
操作ボタン40aをダブルクリックすることにより、2
次元画像の位置を指定する位置指定信号37s4 を生成
する構成とすることができる。なお、上記のマウス信号
制御部39のマウス40の操作内容に応じた各種処理内
容は、ソフトウエアの変更によって任意に設定すること
ができる。
Further, the mouse signal control unit 39 controls the mouse 4
Based on the signal 40s from 0, a position designation signal 37s4 for designating the position of the two-dimensional image displayed on the screen 52 of the image display device 51 is output to the height information holding unit 36. For example, the mouse pointer 38a is moved to the image display device 5
By positioning the operation button 40a at a desired position on the first screen 52 and double-clicking the operation button 40a at this position, 2
A configuration for generating a position designation signal 37s4 for designating the position of the two-dimensional image may be employed. The various processing contents according to the operation contents of the mouse 40 of the mouse signal control unit 39 can be arbitrarily set by changing software.

【0029】二次元画像データ合成部35は、画像デー
タ記憶部34に記憶された焦点位置の異なる複数の画像
データから、焦点の合っている合焦点領域を抽出し、こ
れら各合焦点領域を合成することによって全ての領域で
焦点の合った二次元画像データを生成する。
The two-dimensional image data synthesizing section 35 extracts a focused in-focus area from a plurality of pieces of image data having different focal positions stored in the image data storage section 34 and synthesizes each of these in-focus areas. By doing so, two-dimensional image data focused on all areas is generated.

【0030】高さ情報保持部36は、二次元画像データ
合成部35において生成された全ての領域で焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の深さ方向の相対的な高さ
データHdを二次元画像データ合成部35から取得し、
これを保持している。また、高さ情報保持部36は、マ
ウス信号制御部37から入力される位置指定信号37s
4 にしたがって、全ての領域で焦点の合った二次元画像
データの指定された座標位置の高さ情報36sを画像表
示部38に出力する。
The height information holding unit 36 stores the relative height data Hd in the depth direction of each pixel of the two-dimensional image data focused on all the regions generated by the two-dimensional image data synthesizing unit 35. Acquired from the two-dimensional image data synthesis unit 35,
I hold this. Further, the height information holding unit 36 is provided with a position designation signal 37s input from the mouse signal control unit 37.
According to 4, height information 36 s of the designated coordinate position of the two-dimensional image data focused on all the areas is output to the image display unit 38.

【0031】画像表示部38は、二次元画像データ合成
部35から出力される二次元画像データ35sを画像表
示装置51の画面52に表示する。また、高さ情報保持
部36から出力された高さ情報36sを所定の形式で画
像表示装置51の画面52に表示する。また、マウス信
号制御37からのマウス位置設定信号37s3 にしたが
って、画像表示装置51の画面52のマウスポインタ3
8aの表示位置を更新する。さらに、各種の操作スイッ
チ、ウィンドウ等の種々の画面表示を行う。画像表示部
38は、たとえば、グラフィックソフトウエアや画像処
理を行うグラフィック回路から構成することができる。
The image display section 38 displays the two-dimensional image data 35 s output from the two-dimensional image data synthesizing section 35 on the screen 52 of the image display device 51. Also, the height information 36s output from the height information holding unit 36 is displayed on the screen 52 of the image display device 51 in a predetermined format. Further, in accordance with the mouse position setting signal 37s3 from the mouse signal control 37, the mouse pointer 3 on the screen 52 of the image display device 51 is displayed.
The display position of 8a is updated. Furthermore, various screen displays such as various operation switches and windows are performed. The image display unit 38 can be composed of, for example, graphic software or a graphic circuit for performing image processing.

【0032】ここで、上記した二次元画像データ合成部
35の全ての領域で焦点の合っている二次元画像データ
の合成の原理について説明する。たとえば、図3に示す
ように、XYテーブル3上に載置して観察する対象とし
て、四角錐状の観察対象物Wの場合について説明する。
図3において、観察対象物Wに対して先端に対物レンズ
6が設けられた顕微鏡鏡筒7のZ軸方向位置をPA 、P
B およびPC のように変化させ、顕微鏡鏡筒7の焦点位
置を変えてXYテーブル3上に載置された観察対象物W
の光学拡大像を撮像する。
Here, the principle of synthesizing the two-dimensional image data focused on all the regions of the two-dimensional image data synthesizing section 35 will be described. For example, as shown in FIG. 3, a case will be described in which a quadrangular pyramid-shaped observation target object W is placed on the XY table 3 and observed.
In FIG. 3, the Z-axis direction position of the microscope lens barrel 7 provided with the objective lens 6 at the tip with respect to the observation target W is denoted by PA and P.
B and PC, the focal position of the microscope lens barrel 7 is changed, and the observation object W placed on the XY table 3 is changed.
The optical magnified image of is taken.

【0033】図4は、各焦点位置での観察対象物Wの光
学拡大像の撮像データの一例である。顕微鏡鏡筒7をZ
軸方向の位置PA に移動して観察対象物Wの光学拡大像
を撮像した画像データGには、図4(a)に示すよう
に、焦点の合った合焦点領域R1 と焦点の合わないぼや
けた非合焦点領域R2 とが存在する。合焦点領域R1
は、XYテーブル3の載置面と四角錐状の観察対象物W
の錐面の下部領域からなる。
FIG. 4 shows an example of image pickup data of an optically enlarged image of the observation object W at each focal position. Microscope tube 7
As shown in FIG. 4 (a), the image data G obtained by moving to the axial position PA and capturing an optically enlarged image of the observation object W includes, as shown in FIG. Out of focus region R2. Focusing area R1
Is the mounting surface of the XY table 3 and the observation object W in the form of a pyramid.
Consists of the lower region of the conical surface of.

【0034】顕微鏡鏡筒7をZ軸方向の位置PB に移動
して観察対象物Wの光学拡大像を撮像した画像データG
には、図4(b)に示すように、四角錐状の観察対象物
Wの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域R
4 となり、XYテーブル3の載置面と四角錐状の観察対
象物Wの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域R3 およびR5 となる。
Image data G obtained by moving the microscope lens barrel 7 to a position PB in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of the observation object W
As shown in FIG. 4 (b), only the region corresponding to the intermediate region of the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W has the focal region R
4 and the areas corresponding to the lower area and the top area of the mounting surface of the XY table 3 and the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W are out-of-focus areas R3 and R5.

【0035】顕微鏡鏡筒7をZ軸方向の位置PC に移動
して観察対象物Wの光学拡大像を撮像した画像データG
には、図4(c)に示すように、四角錐状の観察対象物
Wの錐面の中間部領域に対応する領域のみ合焦点領域R
4 となり、XYテーブル3の載置面と四角錐状の観察対
象物Wの錐面の下部領域および頂部領域に対応する領域
は、非合焦点領域R3 およびR5 となる。
Image data G obtained by moving the microscope lens barrel 7 to the position PC in the Z-axis direction and capturing an optically enlarged image of the observation object W
As shown in FIG. 4C, only the region corresponding to the intermediate region of the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation target W is focused on the focal point region R.
4 and the areas corresponding to the lower area and the top area of the mounting surface of the XY table 3 and the pyramidal surface of the quadrangular pyramid-shaped observation object W are out-of-focus areas R3 and R5.

【0036】このように、観察対象物Wの顕微鏡鏡筒7
の有する被写界深度に対応する領域のみが合焦点領域と
なり、図4(a)〜図4(c)の合焦点領域を合成する
ことにより、画像データGの全ての領域で焦点の合った
二次元画像データを得ることができる。なお、顕微鏡鏡
筒7の拡大倍率が大きくなるほど被写界深度は浅くなる
ため合焦点領域が狭くなることから、焦点位置の異なる
多数の画像データが必要になるが、観察対象物Wの立体
形状や、顕微鏡鏡筒7の拡大倍率等から必要な画像デー
タ数は適宜決定する。
As described above, the microscope barrel 7 of the observation object W is
Only the area corresponding to the depth of field of the image data G becomes the focused area. By combining the focused areas shown in FIGS. 4A to 4C, all the areas of the image data G are focused. Two-dimensional image data can be obtained. It should be noted that, as the magnification of the microscope lens barrel 7 increases, the depth of field becomes shallower and the focused area becomes narrower. Therefore, a large number of image data having different focal positions are required. The required number of image data is appropriately determined from the magnification of the microscope lens barrel 7 and the like.

【0037】各画像データからの合焦点領域の抽出方法
は、たとえば、論文”Image processing and synthesis
for extended depth of optical microscopes, The Vi
sualComputer(1992)8:351-360" に開示された技術を用
いることができる。上記論文に記載されているように、
一般的に、顕微鏡による光学拡大像の画像データにおい
ては、焦点が合っている領域ほど、高い空間周波数を含
んでおり、焦点の合っていない領域ほど空間周波数が低
いことから、この空間周波数の違いを利用することによ
り、最も焦点の合っている領域を抽出することができ
る。すなわち、複数の画像データの同一のXおよびY座
標において、空間周波数の違いから焦点の合った度合い
を比較することにより、複数の異なる焦点位置の画像デ
ータから最も焦点の合った領域を抽出することができ
る。
A method of extracting a focused area from each image data is described in, for example, the article “Image processing and synthesis”.
for extended depth of optical microscopes, The Vi
sualComputer (1992) 8: 351-360 ". As described in the above paper,
In general, in image data of an optically magnified image obtained by a microscope, a region in focus contains a higher spatial frequency, and a region out of focus has a lower spatial frequency. , The most focused region can be extracted. That is, at the same X and Y coordinates of a plurality of image data, by comparing the degree of focus from the difference in spatial frequency, the most in-focus area is extracted from the image data at a plurality of different focus positions. Can be.

【0038】また、上記した論文に記載されているよう
に、全ての領域で焦点の合った二次元画像データの各画
素(ピクセル)は、図5に示すように、相対的な高さh
の情報を有している。この高さhの情報は、焦点の合っ
た二次元画像データの各画素の焦点の合った度合いに対
応している。したがって、上記した高さ情報保持部36
は、図5に示すような高さ情報を取得することができ、
焦点の合った二次元画像データの各画素の深さ方向の相
対的な高さ情報(Z方向の相対座標値)を保持すること
ができる。
Further, as described in the above-mentioned paper, each pixel of the two-dimensional image data focused on all regions has a relative height h as shown in FIG.
Information. The information of the height h corresponds to the degree of focus of each pixel of the focused two-dimensional image data. Therefore, the above-described height information holding unit 36
Can obtain height information as shown in FIG. 5,
The relative height information (the relative coordinate value in the Z direction) of each pixel of the focused two-dimensional image data in the depth direction can be held.

【0039】図6は、上記構成の顕微鏡拡大観察システ
ムの画像表示装置51の表示例を示す説明図である。図
6に示すように、画像表示装置51の画面52上には、
顕微鏡鏡筒7を通じて撮像装置8によって撮像された観
察対象物W、たとえば、回路基板の二次元画像が所定の
拡大倍率で光学的に拡大されて写し出されている。画面
52に表示された二次元画像は全ての領域で焦点が合っ
た画像である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a display example of the image display device 51 of the microscope magnification observation system having the above configuration. As shown in FIG. 6, on a screen 52 of the image display device 51,
An observation target W, for example, a two-dimensional image of a circuit board, captured by the imaging device 8 through the microscope lens barrel 7 is optically enlarged at a predetermined magnification and is displayed. The two-dimensional image displayed on the screen 52 is an image in which all areas are in focus.

【0040】また、画像表示装置51の画面52上に
は、マウスポインタ38aが表示されているとともに、
画面52の右側の座標表示部53には、マウスポインタ
38aで指示された二次元画像の位置PのX,Y,Z方
向の基準位置からの相対位置が表示される。たとえば、
マウスポインタ38aを任意の位置に移動して、当該位
置でマウス40の操作ボタン40aをクリックすると、
二次元画像のZ方向の高さ情報が表示されるようにする
ことができる。二次元画像の深さ方向であるZ方向の高
さ情報が表示されるため、マウス40を操作してマウス
ポインタ38aを二次元画像の任意の位置に移動するこ
とにより、任意の位置のZ方向の高さ情報を簡単に把握
することができる。なお、図6では、位置PのZ方向の
高さ情報を表示しているが、複数の点を指定して同時に
複数の点のZ方向の高さ情報を表示することも可能であ
る。
A mouse pointer 38a is displayed on the screen 52 of the image display device 51.
The coordinate display section 53 on the right side of the screen 52 displays the relative position of the position P of the two-dimensional image pointed by the mouse pointer 38a from the reference position in the X, Y, and Z directions. For example,
When the mouse pointer 38a is moved to an arbitrary position and the operation button 40a of the mouse 40 is clicked at that position,
Height information of the two-dimensional image in the Z direction can be displayed. Since the height information in the Z direction, which is the depth direction of the two-dimensional image, is displayed, the mouse 40 is operated to move the mouse pointer 38a to an arbitrary position in the two-dimensional image, so that the Z direction at an arbitrary position in the Z direction is displayed. Height information can be easily grasped. Although FIG. 6 shows the height information of the position P in the Z direction, it is also possible to specify a plurality of points and display the height information of the plurality of points in the Z direction at the same time.

【0041】図7および図8は、上記構成の顕微鏡拡大
観察システムの画像表示装置51の他の表示例を説明す
るための図である。図7は、マウス40を操作して画面
52に表示された二次元画像の任意の2点P1 ,P2 を
指定した状態を示している。マウス40の操作によっ
て、二次元画像の任意の2点P1 ,P2 を指定すると、
この2点P1 ,P2 のXY座標情報が画像処理/駆動制
御装置31のマウス信号制御部37を通じて高さ情報保
持部36に入力される。高さ情報保持部36では、入力
された2点P1 ,P2 のXY座標情報に基づいて、2点
P1 ,P2 を結ぶ線分間の二次元画像の高さ情報を画像
表示部38に出力する。
FIGS. 7 and 8 are diagrams for explaining other display examples of the image display device 51 of the microscope magnification observation system having the above configuration. FIG. 7 shows a state where two arbitrary points P1 and P2 of the two-dimensional image displayed on the screen 52 are designated by operating the mouse 40. When any two points P1 and P2 of the two-dimensional image are designated by operating the mouse 40,
The XY coordinate information of these two points P1 and P2 is input to the height information holding unit 36 through the mouse signal control unit 37 of the image processing / drive control device 31. The height information holding unit 36 outputs the height information of the two-dimensional image of the line segment connecting the two points P1 and P2 to the image display unit 38 based on the input XY coordinate information of the two points P1 and P2.

【0042】画像表示部38は、2点P1 ,P2 を結ぶ
線分間の二次元画像の高さ情報を、たとえば、図8に示
すように、新たな表示ウィンドウ55を重ねて表示し、
表示ウィンドウ55に2点P1 ,P2 を結ぶ線分間の高
さ情報を連続的にグラフ表示する。これによって、観察
対象物Wの表面形状を把握することができ、二次元画像
の各位置の高さ情報だけでは視覚的には把握が難しい観
察対象物Wの立体形状を容易に把握することができる。
The image display unit 38 displays the height information of the two-dimensional image between the lines connecting the two points P1 and P2 in a new display window 55, for example, as shown in FIG.
In the display window 55, the height information of the line segment connecting the two points P1 and P2 is continuously displayed in a graph. Accordingly, the surface shape of the observation target W can be grasped, and the three-dimensional shape of the observation target W which is difficult to visually grasp only with the height information of each position of the two-dimensional image can be easily grasped. it can.

【0043】以上のように、本実施形態によれば、画像
表示装置51の画面52に表示された全ての領域で焦点
の合った観察対象物Wの二次元画像を見ながら任意の位
置の深さ方向の測長が可能であり、二次元画像から観察
対象物Wの立体形状を把握することが可能となる。すな
わち、顕微鏡等の光学機器のみでは見ることができない
高被写界深度で微細な観察対象物の広い領域を観察でき
ると同時に、観察対象物の二次元画像を見ながら顕微鏡
等の光学機器のみでは難しかった観察対象物の深さ方向
の測長が可能となる。また、二次元画像の位置は、マウ
ス40の操作によって指定できるため、非常に操作が簡
単である。また、画像表示装置51の画面52に表示さ
れた二次元画像は、全ての領域で焦点が合っているた
め、二次元画像におけるZ方向の高さ情報を調べたい位
置の特定が非常に容易となる。また、画像表示装置51
の画面52上で二次元画像の任意の2点P1 ,P2 を指
定して2点P1 ,P2 を結ぶ線分間の高さ情報を連続的
にグラフ表示することで、二次元画像から観察対象物W
の立体形状の把握が一層容易となる。
As described above, according to the present embodiment, while viewing the two-dimensional image of the observation object W focused on all the areas displayed on the screen 52 of the image display device 51, the depth of an arbitrary position is determined. The length measurement in the vertical direction is possible, and the three-dimensional shape of the observation target W can be grasped from the two-dimensional image. That is, it is possible to observe a large area of a fine observation object at a high depth of field that cannot be seen only with an optical device such as a microscope, and at the same time, only with an optical device such as a microscope while viewing a two-dimensional image of the observation object. This makes it difficult to measure the length of the observation target in the depth direction. Further, since the position of the two-dimensional image can be specified by operating the mouse 40, the operation is very simple. Further, since the two-dimensional image displayed on the screen 52 of the image display device 51 is in focus in all areas, it is very easy to specify a position at which height information in the Z direction in the two-dimensional image is to be checked. Become. In addition, the image display device 51
By designating arbitrary two points P1 and P2 of the two-dimensional image on the screen 52 of FIG. 2 and continuously displaying the height information of the line segment connecting the two points P1 and P2 in a graph, the object to be observed from the two-dimensional image is displayed. W
It becomes easier to grasp the three-dimensional shape.

【0044】上記した実施形態では、顕微鏡鏡筒7を通
じて得た画像データから観察対象物Wの深さ方向(Z軸
方向)の位置情報を得ているが、本発明は、これに限定
されるわけではない。たとえば、XYテーブル3に対し
てレーザー式の測距型のセンサを設け、このレーザー式
の測距型のセンサを、X軸およびY軸方向にスキャニン
グして観察対象物WのZ軸方向の高さ情報を得て、これ
を画像処理/駆動制御装置31の高さ情報保持部36に
保持しておく構成とすることも可能である。この場合に
は、複数の異なる焦点位置で得られた画像データからZ
軸方向の高さ情報を得る場合よりも、精度の良い高さ情
報が得られる。
In the above-described embodiment, the position information in the depth direction (Z-axis direction) of the observation target W is obtained from the image data obtained through the microscope lens barrel 7. However, the present invention is not limited to this. Do not mean. For example, a laser-type distance-measuring sensor is provided for the XY table 3, and the laser-type distance-measuring-type sensor is scanned in the X-axis and Y-axis directions so that the height of the observation target W in the Z-axis direction is increased. It is also possible to adopt a configuration in which the height information is obtained and held in the height information holding unit 36 of the image processing / drive control device 31. In this case, Z is obtained from image data obtained at a plurality of different focal positions.
Height information with higher accuracy can be obtained than when height information in the axial direction is obtained.

【0045】[0045]

【発明の効果】本発明によれば、全ての領域で焦点の合
った二次元画像を観察しながら、観察対象物の深さ方向
の測長が可能になる。この結果、焦点の合った二次元画
像から観察対象物の立体形状を把握することが可能とな
る。また、本発明によれば、画像表示装置に観察対象物
の拡大像が表示されるため、複数の観察者が同時に観察
対象物を観察することができる。
According to the present invention, it is possible to measure the length of an observation object in the depth direction while observing a focused two-dimensional image in all regions. As a result, the three-dimensional shape of the observation target can be grasped from the focused two-dimensional image. Further, according to the present invention, an enlarged image of the observation target is displayed on the image display device, so that a plurality of observers can observe the observation target at the same time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの構成を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a microscope magnification observation system according to an embodiment of the present invention.

【図2】本実施形態に係る画像処理/駆動制御装置の一
構成例を示す説明図である。
FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating a configuration example of an image processing / drive control device according to the embodiment;

【図3】全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タの合成の原理を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of synthesizing two-dimensional image data in focus in all regions.

【図4】各焦点位置での観察対象物Wの光学拡大像の撮
像データの一例である。
FIG. 4 is an example of imaging data of an optically enlarged image of an observation target W at each focal position.

【図5】全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タの各画素から取得される深さ方向の高さ情報を説明す
るための図である。
FIG. 5 is a diagram for explaining height information in the depth direction obtained from each pixel of the two-dimensional image data in focus in all regions.

【図6】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの画像表示装置の表示例を説明するための図であ
る。
FIG. 6 is a diagram for explaining a display example of an image display device of the microscope magnification observation system according to one embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施形態に係る顕微鏡拡大観察シス
テムの画像表示装置の他の表示例を説明するための図で
ある。
FIG. 7 is a diagram for explaining another display example of the image display device of the microscope magnifying observation system according to one embodiment of the present invention.

【図8】図7に示す表示に続く表示例を説明するための
図である。
FIG. 8 is a diagram for explaining a display example following the display shown in FIG. 7;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…撮像部、3…XYテーブル、4…X軸送り機構部、
5…Y軸送り機構部6…対物レンズ、7…顕微鏡鏡筒、
8…撮像装置、31…画像処理/駆動制御装置、32…
移動制御部、33…画像データ入力部、34…画像デー
タ記憶部、35…二次元画像データ合成部、36…高さ
情報保持部、37…マウス信号制御部、38…画像表示
部、39…ズームレンズ駆動制御部、40…マウス、5
1…画像表示装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Image pick-up part, 3 ... XY table, 4 ... X-axis feed mechanism part,
5 Y-axis feed mechanism 6 Objective lens 7 Microscope barrel
8 imaging device 31 image processing / drive control device 32
Movement control unit, 33 image data input unit, 34 image data storage unit, 35 two-dimensional image data synthesis unit, 36 height information storage unit, 37 mouse signal control unit, 38 image display unit, 39 ... Zoom lens drive controller, 40 ... mouse, 5
1. Image display device.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H04N 5/232 H04N 7/18 U 7/18 C G06F 15/62 350A (72)発明者 中村 英雄 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 (72)発明者 熊谷 徹 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 2H052 AF17 AF21 AF25 5B050 BA09 BA13 DA01 EA04 EA19 FA02 FA09 5C022 AA01 AB21 AB65 AB66 AB68 AC01 AC13 AC14 AC31 AC51 AC69 AC74 5C054 CC05 CD03 CF03 CF07 EH01 FC12 FE16 FE19 HA05 5C076 AA19 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) H04N 5/232 H04N 7/18 U 7/18 C G06F 15/62 350A (72) Inventor Hideo Nakamura Tokyo 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku Sony Corporation (72) Inventor Toru Kumagai 6-7-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F-term (reference) 2H052 AF17 AF21 AF25 5B050 BA09 BA13 DA01 EA04 EA19 FA02 FA09 5C022 AA01 AB21 AB65 AB66 AB68 AC01 AC13 AC14 AC31 AC51 AC69 AC74 5C054 CC05 CD03 CF03 CF07 EH01 FC12 FE16 FE19 HA05 5C076 AA19

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】観察対象物の光学拡大像を得る光学拡大手
段と、 前記光学拡大像を撮像する撮像手段と、 前記光学拡大手段の前記観察対象物に対する焦点位置を
変更する移動手段と、 異なる焦点位置で撮像した複数の画像データから焦点の
合っている合焦点領域を抽出し、これら各合焦点領域を
合成して全ての領域で焦点の合っている二次元画像デー
タを生成する二次元画像データ合成手段と、 前記二次元画像データを表示する画像表示装置と、 前記画像表示装置に表示された二次元画像の指定した位
置の深さ方向の相対的高さ情報を当該画像表示装置に表
示する立体情報表示手段とを有する拡大観察装置。
1. An optical magnifying means for obtaining an optically magnified image of an observation object, an imaging means for photographing the optical magnified image, and a moving means for changing a focal position of the optical magnifying means with respect to the observation object. A two-dimensional image in which in-focus areas are extracted from a plurality of image data captured at the focal position, and these in-focus areas are combined to generate two-dimensional image data in which all areas are in focus Data combining means; an image display device for displaying the two-dimensional image data; and relative height information in a depth direction at a designated position of the two-dimensional image displayed on the image display device is displayed on the image display device. Magnifying observation device having a three-dimensional information display means for performing the operation.
【請求項2】前記立体情報表示手段は、前記各合焦点領
域の各画素情報から得られる前記二次元画像の深さ方向
の相対的な高さ情報を保持しており、 前記二次元画像で指定された位置の高さ情報を前記画像
表示装置に出力する請求項1に記載の拡大観察装置。
2. The stereoscopic information display means holds relative height information in a depth direction of the two-dimensional image obtained from each pixel information of each of the focus areas. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein height information of a designated position is output to the image display device.
【請求項3】前記立体情報表示手段は、前記二次元画像
で指定された任意の2点間における前記高さ情報を連続
的にグラフ表示する請求項1に記載の拡大観察装置。
3. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein the three-dimensional information display means continuously displays the height information between any two points designated by the two-dimensional image in a graph.
【請求項4】前記画像表示装置の画面上にポインタを表
示し、当該ポインタの画面上での位置を設定し、前記二
次元画像の任意の位置を指定する指示手段を有する請求
項1に記載の拡大観察装置。
4. The apparatus according to claim 1, further comprising an instruction unit for displaying a pointer on a screen of the image display device, setting a position of the pointer on the screen, and specifying an arbitrary position of the two-dimensional image. Magnifying observation device.
【請求項5】前記移動手段は、前記観察対象物と前記光
学拡大手段との前記二次元画像の深さ方向の相対的な位
置決めを行う請求項1に記載の拡大観察装置。
5. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein the moving means performs relative positioning of the observation object and the optical magnifying means in a depth direction of the two-dimensional image.
【請求項6】前記光学拡大手段は、光学顕微鏡である請
求項1に記載の拡大観察装置。
6. The magnifying observation apparatus according to claim 1, wherein said optical magnifying means is an optical microscope.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005518570A (en) * 2002-02-22 2005-06-23 バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド Focusable virtual microscope apparatus and method
JP2005521123A (en) * 2001-10-22 2005-07-14 ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー Method and apparatus for generating three-dimensional image detected by optical microscope
CN100368860C (en) * 2001-09-14 2008-02-13 麦克奥迪实业集团有限公司 Micro-picture laminar-cut scanning method and apparatus
JP2008533554A (en) * 2005-01-27 2008-08-21 アペリオ・テクノロジーズ・インコーポレイテッド System and method for visualizing a three-dimensional virtual slide
JP2009145774A (en) * 2007-12-17 2009-07-02 Olympus Corp Laser scanning microscope apparatus, and surface shape measuring method thereof
CN100574382C (en) * 2003-01-23 2009-12-23 索尼株式会社 Image picking-up apparatus
JP2010170025A (en) * 2009-01-26 2010-08-05 Hamamatsu Photonics Kk Image output system, image output method, and image output program
WO2015156378A1 (en) * 2014-04-10 2015-10-15 Canon Kabushiki Kaisha Image processing apparatus, image processing method, and image processing system
DE102018217782A1 (en) 2017-10-17 2019-04-18 Keyence Corporation Magnification observation device
DE102018217786A1 (en) 2017-10-17 2019-04-18 Keyence Corporation Magnification observation device
CN112738393A (en) * 2020-12-25 2021-04-30 珠海西山居移动游戏科技有限公司 Focusing method and device

Cited By (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100368860C (en) * 2001-09-14 2008-02-13 麦克奥迪实业集团有限公司 Micro-picture laminar-cut scanning method and apparatus
JP2005521123A (en) * 2001-10-22 2005-07-14 ライカ ミクロジュステムス ヴェツラー ゲーエムベーハー Method and apparatus for generating three-dimensional image detected by optical microscope
US8306300B2 (en) 2002-02-22 2012-11-06 Olympus America Inc. Focusable virtual microscopy apparatus and method
JP2009075618A (en) * 2002-02-22 2009-04-09 Bacus Lab Inc Method for forming and using virtual microscope slide
JP2009104162A (en) * 2002-02-22 2009-05-14 Bacus Lab Inc Method for using virtual microscope slide
JP2009104161A (en) * 2002-02-22 2009-05-14 Bacus Lab Inc Method and apparatus for forming virtual microscope slide
JP2009104163A (en) * 2002-02-22 2009-05-14 Bacus Lab Inc Virtual microscope slide data structure
JP2005518570A (en) * 2002-02-22 2005-06-23 バクス リサーチ ラボラトリーズ インコーポレイテッド Focusable virtual microscope apparatus and method
CN100574382C (en) * 2003-01-23 2009-12-23 索尼株式会社 Image picking-up apparatus
JP2008533554A (en) * 2005-01-27 2008-08-21 アペリオ・テクノロジーズ・インコーポレイテッド System and method for visualizing a three-dimensional virtual slide
JP2012084158A (en) * 2005-01-27 2012-04-26 Aperio Technologies Inc System and method for visualizing three-dimensional virtual slide
JP2009145774A (en) * 2007-12-17 2009-07-02 Olympus Corp Laser scanning microscope apparatus, and surface shape measuring method thereof
JP2010170025A (en) * 2009-01-26 2010-08-05 Hamamatsu Photonics Kk Image output system, image output method, and image output program
WO2015156378A1 (en) * 2014-04-10 2015-10-15 Canon Kabushiki Kaisha Image processing apparatus, image processing method, and image processing system
JP2015203704A (en) * 2014-04-10 2015-11-16 キヤノン株式会社 Image processing apparatus, image processing method, and image processing system
US10269103B2 (en) 2014-04-10 2019-04-23 Canon Kabushiki Kaisha Image processing apparatus, image processing method, and image processing system
DE102018217782A1 (en) 2017-10-17 2019-04-18 Keyence Corporation Magnification observation device
DE102018217786A1 (en) 2017-10-17 2019-04-18 Keyence Corporation Magnification observation device
US10816783B2 (en) 2017-10-17 2020-10-27 Keyence Corporation Magnifying observation apparatus
CN112738393A (en) * 2020-12-25 2021-04-30 珠海西山居移动游戏科技有限公司 Focusing method and device

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