JP2000155047A - Liquid level detecting mechanism for fine grain- containing liquid - Google Patents

Liquid level detecting mechanism for fine grain- containing liquid

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JP2000155047A
JP2000155047A JP10330072A JP33007298A JP2000155047A JP 2000155047 A JP2000155047 A JP 2000155047A JP 10330072 A JP10330072 A JP 10330072A JP 33007298 A JP33007298 A JP 33007298A JP 2000155047 A JP2000155047 A JP 2000155047A
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JP
Japan
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liquid
liquid level
fine particles
detection
storage tank
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Japanese (ja)
Inventor
Takuji Kurozumi
拓司 黒住
Toshiya Ito
俊哉 伊東
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Horiba Ltd
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Horiba Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a float lift type liquid level detecting mechanism with a low-cost structure and having the extremely high reliability of liquid level control by the detection of the highest liquid level and the presence or absence of a liquid. SOLUTION: This liquid level detecting mechanism for a fine grain-containing liquid 2 in a liquid storage tank 3 is provided with a float floating in the fine grain-containing liquid 2 slidably along a vertical guide 32 arranged on the outside of the liquid storage tank 3. A position detecting means A detecting the vertical position of the float 28 due to liquid level changes is arranged on the outside of the liquid storage tank 3. The position detecting means A is composed of a control sensor S1 of the highest liquid level where the supply of the fine grain-containing liquid 2 is stopped based on the detection of the upper limit liquid level of the stored liquid 2 and a control sensor S2 of the lowest liquid level where the supply of the fine grain-containing liquid 2 is resumed based on the detection of the lower limit liquid level of the stored liquid 2.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液に含む微粒子の
粒径分布測定装置などに装備される微粒子含有液の液面
検知機構に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid level detecting mechanism for a liquid containing fine particles, which is provided in an apparatus for measuring the particle size distribution of fine particles contained in the liquid.

【0002】[0002]

【従来の技術】微粒子の測定技術は、薬品、食品、セラ
ミックス、化粧品、塗料、色素など広い分野にわたっ
て、粉末状の物質の性能を決定し、評価する上で不可欠
であり、その他、例えば牛乳などに含まれる微粒子の測
定など、微粒子測定の重要性は日増しに高まっている。
2. Description of the Related Art Fine particle measurement technology is indispensable for determining and evaluating the performance of powdery substances in a wide range of fields such as medicines, foods, ceramics, cosmetics, paints, and pigments. The importance of the measurement of fine particles, such as the measurement of fine particles contained in, is increasing day by day.

【0003】このような微粒子の分布を測定する手法の
一つに、レーザ回折式の粒径分布測定装置がある。この
粒径分布測定装置は、例えば粉体試料(あるいはスラリ
ー)を分散媒と称される液体(例えば純水やアルコール
など)中に分散させて懸濁液とし、或いは、その他牛乳
など、微粒子を含む液をフローセルに導入して、レーザ
光を照射し、そのときの回折/散乱光を検出器によって
検出し、これによって得られる回折/散乱光の強度分布
を求め、フランホーファ回折、ミー散乱理論に基づいて
試料の粒径分布を求めるものである。
One method of measuring the distribution of such fine particles is a laser diffraction type particle size distribution measuring device. This particle size distribution measuring apparatus disperses a powder sample (or slurry) in a liquid called a dispersion medium (for example, pure water or alcohol) to form a suspension, or disperses fine particles such as milk. The liquid containing the solution is introduced into a flow cell, irradiated with laser light, and the diffraction / scattered light at that time is detected by a detector, and the intensity distribution of the obtained diffraction / scattered light is obtained. Based on this, the particle size distribution of the sample is determined.

【0004】ところで、上記のフローセルには、一般に
は、微粒子含有液の収容タンクと液送ポンプとを備えた
液循環ラインが接続され、かつ、前記液収容タンクに、
例えば電磁式の開閉弁を備えた液補給ラインと、タンク
内での収容液の上限ならびに下限の液面検知に基づいて
開閉弁をON・OFF制御する液面検知機構とを備え
て、収容液面を所定の範囲内に納めることで、微粒子含
有液のオーバーフローならびに異常な液不足の防止を図
るようにしている。
In general, the flow cell is connected to a liquid circulation line provided with a storage tank for the liquid containing fine particles and a liquid feed pump.
For example, a liquid supply line provided with an electromagnetic on-off valve, and a liquid level detection mechanism for ON / OFF-controlling the on-off valve based on detection of the upper and lower liquid levels of the stored liquid in the tank are provided. By keeping the surface within a predetermined range, the overflow of the liquid containing fine particles and the abnormal shortage of the liquid are prevented.

【0005】図6は従来の液面検知機構41を概略的に
示すもので、この液面検知機構41は次のように構成さ
れている。即ち、液収容タンク42の内部にガイド支柱
43を立設すると共に、タンク42内の微粒子含有液4
4に浮遊するフロート45を、前記ガイド支柱43に沿
ってスライド可能に設け、かつ、このフロート45に磁
性体46を内蔵する一方、前記ガイド支柱43には、前
記磁性体46の検知に基づいて液面変動に伴うフロート
45の昇降位置を検知する位置検知手段(例えば近接ス
イッチ)47を設けている。
FIG. 6 schematically shows a conventional liquid level detecting mechanism 41. The liquid level detecting mechanism 41 is configured as follows. That is, the guide column 43 is erected inside the liquid storage tank 42 and the fine particle-containing liquid 4
4 is provided so as to be slidable along the guide column 43, and a magnetic body 46 is built in the float 45, while the guide column 43 is provided on the basis of detection of the magnetic body 46. A position detecting means (for example, a proximity switch) 47 for detecting an ascending / descending position of the float 45 due to the liquid level fluctuation is provided.

【0006】上記の位置検知手段41は、磁性体46の
検知と非検知とに基づいて、タンク42内での収容液の
液面変動を或る幅をもって検知するもので、微粒子含有
液44のオーバーフローを防止するための収容液上限の
液面検知に基づいて、液補給ライン48の開閉弁49を
OFFに制御し、異常な液不足を防止するための収容液
下限の液面検知に基づいて、液補給ライン48の開閉弁
49をONに制御して、収容液面を所定の範囲内に納め
るように構成されている。
The position detecting means 41 detects a change in the liquid level of the liquid stored in the tank 42 with a certain width based on the detection and non-detection of the magnetic substance 46. The open / close valve 49 of the liquid supply line 48 is controlled to be OFF based on the detection of the upper limit of the stored liquid to prevent overflow, and based on the detection of the lower limit of the stored liquid to prevent an abnormal shortage of the liquid. The on-off valve 49 of the liquid supply line 48 is controlled to be ON so that the contained liquid level falls within a predetermined range.

【0007】尚、図中の50は、収容タンク42からフ
ローセル51にわたる液循環ラインで、液送ポンプ52
を備えており、更に、例えば電磁式の開閉弁53を備え
た液排出ライン54が接続されている。
In the drawing, reference numeral 50 denotes a liquid circulation line extending from the storage tank 42 to the flow cell 51.
Further, a liquid discharge line 54 provided with, for example, an electromagnetic on-off valve 53 is connected.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記構成の液面検知機
構41によれば、フロート45の単純な動きによってコ
スト的に安価に、収容液を上下限の範囲内に収める制御
が成されるのであるが、液面制御の対象が微粒子含有液
44であって、この液中でフロート45をスライドさせ
る構成のために、液中の微粒子がフロート45のスライ
ド部分に入り込んで、フロート45のスライドが阻害さ
れることがあり、これが原因で液面制御が不能になっ
て、微粒子含有液44のオーバーフローや異常な液不足
を発生することがあった。
According to the liquid level detecting mechanism 41 having the above-described structure, a simple movement of the float 45 can control the stored liquid within the upper and lower limits at low cost. However, the target of liquid level control is the fine particle-containing liquid 44, and the float 45 slides in this liquid, so that the fine particles in the liquid enter the slide portion of the float 45, and the slide of the float 45 is moved. In some cases, the liquid level control became impossible, which caused an overflow of the fine particle-containing liquid 44 or an abnormal liquid shortage.

【0009】そして、上記の微粒子含有液44の異常な
液不足は、液中の微粒子の凝集を防止するために装備さ
れる分散手段55の超音波振動子を破損させる点で問題
があった。
[0009] The abnormal shortage of the fine particle-containing liquid 44 has a problem in that the ultrasonic vibrator of the dispersing means 55 provided to prevent aggregation of the fine particles in the liquid is damaged.

【0010】即ち、上記の液収容タンク42には、微粒
子含有液44中の微粒子を分散させて微粒子の凝集を防
止するために、一般には、超音波振動子を備えた分散手
段55が装備されるが、異常な液不足によって液収容タ
ンク42が空になると、超音波振動子が破損してしまう
のであった。
That is, the liquid storage tank 42 is generally provided with a dispersing means 55 provided with an ultrasonic vibrator in order to disperse the fine particles in the fine particle-containing liquid 44 to prevent aggregation of the fine particles. However, when the liquid storage tank 42 is emptied due to an abnormal shortage of liquid, the ultrasonic vibrator is damaged.

【0011】液面検知機構41の別なる構成として、図
7に示すように、プリズム57を用いる形態のものがあ
る。この液面検知機構41は、プリズム57を微粒子含
有液44に浸すように配置する一方、このプリズム57
のプリズム面Sに向けて光を照射する光源58と、プリ
ズム面Sで反射した光をキャッチする光検出器59とを
配置して、プリズム57が微粒子含有液44に浸されて
いるときには、光がプリズム面Sを透過し、微粒子含有
液がプリズム面Sよりも下位に減った際には、プリズム
面Sで反射した光が光検出器59によって検知されるこ
とを基にして、微粒子含有液の液面検知を行うものであ
る。
As another configuration of the liquid level detection mechanism 41, there is a configuration using a prism 57 as shown in FIG. The liquid level detection mechanism 41 arranges the prism 57 so as to be immersed in the liquid 44 containing fine particles.
A light source 58 for irradiating light toward the prism surface S and a photodetector 59 for catching light reflected on the prism surface S are arranged. When the prism 57 is immersed in the fine particle-containing liquid 44, Is transmitted through the prism surface S, and when the fine particle-containing liquid is reduced below the prism surface S, the light reflected by the prism surface S is detected by the photodetector 59, and the fine particle-containing liquid is detected. The liquid level is detected.

【0012】かゝる構成の液面検知機構41も、収容液
上限の液面検知に基づいて開閉弁49をOFFに制御
し、収容液下限の液面検知に基づいて開閉弁49をON
に制御するもので、収容液面を所定の範囲内に納めるこ
とができるとされている。
The liquid level detection mechanism 41 having such a configuration also controls the opening / closing valve 49 to be OFF based on the detection of the liquid level at the upper limit of the stored liquid, and to turn the opening / closing valve 49 ON based on the detection of the liquid level at the lower limit of the stored liquid.
It is described that the liquid level can be kept within a predetermined range.

【0013】しかし、かゝる構成の液面検知機構41で
は、プリズム57が高価であってコスト的に高くつくだ
けでなく、プリズム面Sが汚れると、その汚れたプリズ
ム面Sに微粒子含有液が残り易くなるため、微粒子含有
液がプリズム面Sよりも下位に減ったとしても、その残
った微粒子含有液を光検出器59が検知することで、タ
ンク内に微粒子含有液44が存するものと誤動作する問
題があった。
However, in the liquid level detecting mechanism 41 having such a structure, not only is the prism 57 expensive and costly, but also when the prism surface S becomes dirty, the fine particle-containing liquid is applied to the dirty prism surface S. Even if the liquid containing fine particles decreases below the prism surface S, the photodetector 59 detects the remaining liquid containing fine particles, so that the fine particle-containing liquid 44 exists in the tank. There was a problem of malfunction.

【0014】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、上記したコスト的に安価な構成のフロート
タイプの液面検知機構を対象にして、これの液面制御の
信頼性を高めることを目的としている。
The present invention has been made in view of such circumstances, and is directed to a float-type liquid level detecting mechanism having a low cost in structure as described above. The purpose is to increase the character.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1記載の発明では、液収容タンク内の微粒
子含有液の液面検知機構として、微粒子含有液に浮遊す
るフロートを、液収容タンク外部に配置の昇降ガイドに
沿ってスライド可能に設けると共に、液面変動に伴うフ
ロートの昇降位置を検知する位置検知手段を、液収容タ
ンク外部に配置した点に特徴がある。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a float floating in the fine particle-containing liquid is used as a liquid level detecting mechanism for the fine particle-containing liquid in the liquid storage tank. It is characterized in that it is provided slidably along a lifting guide arranged outside the liquid storage tank, and that a position detecting means for detecting the elevation position of the float due to the liquid level fluctuation is arranged outside the liquid storage tank.

【0016】請求項2記載の発明では、液収容タンク内
の微粒子含有液の液面検知機構として、微粒子含有液に
浮遊するフロートを、液収容タンク外部に配置の横軸ま
わりで回動可能に設けると共に、液面変動に伴うフロー
トの回動位置を検知する位置検知手段を、液収容タンク
の外部に配置した点に特徴がある。
According to the second aspect of the present invention, as a liquid level detecting mechanism for the fine particle-containing liquid in the liquid storage tank, a float floating in the fine particle-containing liquid is rotatable around a horizontal axis disposed outside the liquid storage tank. It is characterized in that the position detecting means for detecting the rotational position of the float due to the liquid level fluctuation is arranged outside the liquid storage tank.

【0017】即ち、請求項1記載の発明では、フロート
をタンク外部の昇降ガイドに沿わせてスライド可能に設
けた上で、また、請求項2記載の発明では、フロートを
タンク外部の横軸まわりで回動可能に設けた上で、フロ
ート位置の検知手段を液収容タンク外部に配置したこと
で、フロートのスライド部分または回動部分が微粒子含
有液に浸ることによる不都合の一切が解消される。
That is, according to the first aspect of the present invention, the float is slidably provided along the elevating guide outside the tank, and in the second aspect of the present invention, the float is provided around the horizontal axis outside the tank. By arranging the float position detecting means outside the liquid storage tank after being rotatably provided, any inconvenience caused by the slide portion or the rotary portion of the float being immersed in the liquid containing fine particles is eliminated.

【0018】上記の位置検知手段は、例えば、収容液上
限の液面検知に基づいて微粒子含有液の補給を停止させ
る最高液面の制御センサと、収容液下限の液面検知に基
づいて微粒子含有液の補給を再開させる最低液面の制御
センサとによって構成(請求項3)され、或いは、収容
液の上限ならびに下限の液面検知に基づいて微粒子含有
液の補給を停止ならびに再開させる収容液上下限の液面
制御センサによって構成(請求項4)される。
The position detecting means includes, for example, a maximum liquid level control sensor for stopping supply of the fine particle-containing liquid based on the detection of the upper limit of the contained liquid, and a fine particle-containing control sensor based on the detection of the lower limit of the contained liquid. A liquid level control sensor for resuming the supply of liquid (claim 3), or a supply liquid for stopping and restarting the supply of the particulate-containing liquid based on detection of the upper and lower liquid levels of the stored liquid. It is constituted by a lower limit liquid level control sensor (claim 4).

【0019】特に好適には、位置検知手段を、収容液の
上下限を外れる液面検知に基づいて異常事態の発生を検
知するように構成(請求項5)することであって、かゝ
る構成によれば、何らかのトラブルによって収容液の上
下限の液面制御が不能になった場合、その異常事態の発
生検知に基づいて、例えば分散手段の駆動を停止させた
り、異常事態の発生を報知させる等の対応が可能とな
り、液面制御の信頼性が極めて高いものとなる。
It is particularly preferable that the position detecting means is configured to detect the occurrence of an abnormal situation based on the detection of the liquid level outside the upper and lower limits of the contained liquid (claim 5). According to the configuration, when the liquid level control of the upper and lower limits of the contained liquid becomes impossible due to some trouble, for example, the driving of the dispersion unit is stopped or the occurrence of the abnormal situation is notified based on the detection of the occurrence of the abnormal situation. For example, the liquid level control becomes extremely reliable.

【0020】[0020]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1はレーザ回折式の粒径分布測
定装置の構成を概略的に示し、この図において、図中の
1は、測定対象の微粒子を媒液に分散させた液体(以
下、微粒子含有液という)2を収容する透明な容器より
なるフローセルで、図2に示すように、微粒子含有液2
の液収容タンク3とポンプ4とを備えた液循環ライン5
が接続されており、かつ、この液循環ライン5には、測
定対象の微粒子含有液2の交換に際して、微粒子含有液
2を液循環ライン5から排出するために、例えば電磁式
の開閉弁6を備えた排出ライン7が接続されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 schematically shows the configuration of a laser diffraction type particle size distribution measuring apparatus. In this figure, reference numeral 1 denotes a liquid in which fine particles to be measured are dispersed in a medium (hereinafter referred to as fine particle-containing liquid). 2 is a flow cell composed of a transparent container for accommodating the fine particle-containing liquid 2 as shown in FIG.
Liquid circulation line 5 provided with a liquid storage tank 3 and a pump 4
Is connected to the liquid circulating line 5 and, for example, an electromagnetic on-off valve 6 for discharging the fine particle-containing liquid 2 from the liquid circulating line 5 when the fine particle-containing liquid 2 to be measured is replaced. The provided discharge line 7 is connected.

【0021】8は液収容タンク3に対する微粒子含有液
2の補給ラインで、例えば電磁式の開閉弁9を備えてお
り、かつ、この開閉弁9をON・OFF制御するため
に、前記液収容タンク3に液面検知機構10が設けられ
ている。
Reference numeral 8 denotes a replenishment line for the fine particle-containing liquid 2 to the liquid storage tank 3, which is provided with, for example, an electromagnetic on-off valve 9, and controls the on-off operation of the on-off valve 9. 3 is provided with a liquid level detection mechanism 10.

【0022】図1に戻って、図中の11は、反射ミラー
12を介してフローセル内の微粒子含有液2にレーザ光
を発するレーザ光源であり、13はレーザ光源11とフ
ローセル1との間に設けられた集光レンズで、レーザ光
源11を発したレーザ光は、適宜収斂された光(以下、
集光レーザ光という)となって微粒子含有液2を照射す
る。
Returning to FIG. 1, reference numeral 11 denotes a laser light source that emits a laser beam to the fine particle-containing liquid 2 in the flow cell via a reflection mirror 12, and 13 denotes a laser light source between the laser light source 11 and the flow cell 1. With the provided condenser lens, the laser light emitted from the laser light source 11 is appropriately converged light (hereinafter, referred to as “light”).
The particle-containing liquid 2 is irradiated as a focused laser beam.

【0023】14は光検出器(リングディテクタ)で、
フローセル1を通過した集光レーザ光が焦点を結ぶ位置
に配置されている。この光検出器14は、集光レンズ1
3の光軸を中心として互いに半径の異なるリング状また
は半リング状の受光面をもつフォトセンサを複数個同心
状に配列したもので、フローセル1内の微粒子によって
回折または散乱した集光レーザ光のうち、比較的小さい
角度で散乱/回折した光を各散乱角ごとにそれぞれ受光
して、それらの光強度を測定するものである。15は光
検出器14を構成するフォトセンサの出力を増幅するプ
リアンプである。
Reference numeral 14 denotes a photodetector (ring detector).
It is arranged at a position where the condensed laser light passing through the flow cell 1 is focused. The photodetector 14 includes the condenser lens 1
A plurality of photosensors having ring-shaped or semi-ring shaped light-receiving surfaces having different radii from each other about the optical axis 3 are arranged concentrically. Of these, light scattered / diffracted at a relatively small angle is received at each scattering angle, and the light intensity is measured. Reference numeral 15 denotes a preamplifier for amplifying the output of the photo sensor constituting the photodetector 14.

【0024】前記フローセル1の近傍には、フローセル
1内の微粒子によって回折または散乱した集光レーザ光
のうち比較的大きい角度で散乱/回折した光を、各散乱
角ごとに個別に検出する広角散乱光用光検出群16が設
けられている。
In the vicinity of the flow cell 1, a wide-angle scattering device for individually detecting, at each scattering angle, light scattered / diffracted at a relatively large angle among the condensed laser light diffracted or scattered by the fine particles in the flow cell 1. An optical light detection group 16 is provided.

【0025】この広角散乱光用光検出群16は、光検出
器14と異なる角度で設けられる複数のフォトセンサ1
7〜22からなり、それぞれの配設角度に応じて、フロ
ーセル1内の微粒子による所定角度を超える散乱光を検
出する。
The wide-angle scattered light detection group 16 includes a plurality of photosensors 1 provided at different angles from the photodetector 14.
7 to 22, and detects scattered light exceeding a predetermined angle due to the fine particles in the flow cell 1 according to the respective arrangement angles.

【0026】即ち、フォトセンサ17〜20は前方散乱
光を、フォトセンサ21は側方散乱光を、フォトセンサ
22は後方散乱光をそれぞれ検出する。23はフォトセ
ンサ17〜22をそれぞれ所定の角度で保持する電気回
路基板で、プリアンプを備えている。
That is, the photo sensors 17 to 20 detect forward scattered light, the photo sensor 21 detects side scattered light, and the photo sensor 22 detects back scattered light. Reference numeral 23 denotes an electric circuit board that holds the photo sensors 17 to 22 at a predetermined angle, and includes a preamplifier.

【0027】24はプリアンプ15および電気回路基板
23からの出力を順次取り込み、AD変換器25に順次
送出するマルチプレクサ、26はAD変換器25の出力
が入力される演算処理装置としてのコンピュータであ
る。このコンピュータ26は、デジタル信号に変換され
た光検出器14およびフォトセンサ17〜22の出力
(光強度に関するデジタルデータ)を、フラウンホーフ
ァ回折理論やミー散乱理論に基づいて処理し、微粒子群
における粒径分布を求めるプログラムが格納されてい
る。27は演算結果などを表示するカラーディスプレイ
である。
Reference numeral 24 denotes a multiplexer for sequentially taking in the outputs from the preamplifier 15 and the electric circuit board 23 and sequentially sending them to the AD converter 25. Reference numeral 26 denotes a computer as an arithmetic processing unit to which the output of the AD converter 25 is inputted. The computer 26 processes the outputs (digital data relating to the light intensity) of the photodetector 14 and the photosensors 17 to 22 converted into digital signals based on the Fraunhofer diffraction theory or the Mie scattering theory, A program for obtaining the distribution is stored. Reference numeral 27 denotes a color display for displaying calculation results and the like.

【0028】上述のように構成された粒径分布測定装置
では、フローセル1内の微粒子含有液2に照射された集
光レーザ光は、フローセル1中の微粒子によって回折ま
たは散乱し、散乱角が比較的小さいものは光検出器14
上に結像される。
In the particle size distribution measuring apparatus configured as described above, the condensed laser light applied to the fine particle-containing liquid 2 in the flow cell 1 is diffracted or scattered by the fine particles in the flow cell 1, and the scattering angles are compared. The smaller one is the photodetector 14
Imaged on top.

【0029】この際、光検出器14のうち、外周側のフ
ォトセンサが散乱角の大きい光を受光し、内周側のフォ
トセンサが散乱角の小さい光を受光する。したがって、
外周側のフォトセンサの検出する光強度は微粒子径のよ
り小さい微粒子の量を反映しており、内周側のフォトセ
ンサの検出する光強度は微粒子径のより大きい試料微粒
子の量を反映していることになる。これらの各フォトセ
ンサが検出した光強度はアナログ電気信号に変換され、
更にプリアンプ15を経てマルチプレクサ24に入力さ
れる。
At this time, in the photodetector 14, the photosensor on the outer peripheral side receives light with a large scattering angle, and the photosensor on the inner peripheral side receives light with a small scattering angle. Therefore,
The light intensity detected by the photosensor on the outer peripheral side reflects the amount of fine particles having a smaller particle diameter, and the light intensity detected by the photosensor on the inner peripheral side reflects the amount of sample particles having a larger particle diameter. Will be. The light intensity detected by each of these photo sensors is converted into an analog electric signal,
Further, the signal is input to the multiplexer 24 via the preamplifier 15.

【0030】一方、前記微粒子によって回折または散乱
した集光レーザ光のうち、散乱角が比較的大きいもの
は、広角散乱光用光検出群16によって検出され、その
光強度分布が測定される。この際、前方散乱光用フォト
センサ17〜20、側方散乱光用フォトセンサ21、後
方散乱光用フォトセンサ22の順に、粒径の小さい微粒
子からの散乱光を検出する。これらの各フォトセンサ1
7〜22が検出した光強度はアナログ電気信号に変換さ
れ、更に、電気回路基板23に設けられたプリアンプを
経てマルチプレクサ24に入力される。
On the other hand, among the condensed laser beams diffracted or scattered by the fine particles, those having a relatively large scattering angle are detected by the wide-angle scattered light photodetection group 16 and the light intensity distribution is measured. At this time, scattered light from fine particles having a small particle size is detected in the order of the forward scattered light photosensors 17 to 20, the side scattered light photosensor 21, and the back scattered light photosensor 22. Each of these photo sensors 1
The light intensities detected by 7 to 22 are converted into analog electric signals, and further input to a multiplexer 24 via a preamplifier provided on an electric circuit board 23.

【0031】前記マルチプレクサ24においては、光検
出器14およびフォトセンサ17〜22からの測定デー
タ、つまりアナログ電気信号が所定の順序で順次取り込
まれ、かつ、直列信号にされて、AD変換器25で順次
デジタル信号に変換され、更にコンピュータ26に入力
されて、光検出器14およびフォトセンサ17〜22に
よってそれぞれ得られた各散乱角ごとの光強度データ
が、フラウンホーファ回折理論やミー散乱理論に基づい
て処理される。
In the multiplexer 24, measurement data from the photodetector 14 and the photosensors 17 to 22, that is, analog electric signals, are sequentially taken in a predetermined order and are converted into serial signals. The digital signal is sequentially converted into a digital signal, further input to the computer 26, and the light intensity data for each scattering angle obtained by the photodetector 14 and the photosensors 17 to 22 are obtained based on the Fraunhofer diffraction theory and the Mie scattering theory. It is processed.

【0032】このように、上記粒径分布測定装置におい
ては、微粒子径の大きい粒径範囲についての散乱光の光
強度分布については、光検出器14によって測定し、微
粒子径の小さい粒径範囲についての広角の散乱光の光強
度分布については、フォトセンサ17〜22によって測
定し、これらの光検出器14およびフォトセンサ17〜
22の出力をコンピュータ26において処理しているの
で、微粒子群における粒径分布を、粒径の比較的大きな
ものから粒径の微小なものまで広い範囲にわたって一挙
に求めることができる。
As described above, in the above particle size distribution measuring apparatus, the light intensity distribution of the scattered light in the particle size range where the particle diameter is large is measured by the photodetector 14, and the light intensity distribution in the particle size range where the particle diameter is small is measured. The light intensity distribution of the wide-angle scattered light is measured by the photosensors 17 to 22, and the photodetector 14 and the photosensors 17 to
Since the output of 22 is processed by the computer 26, the particle size distribution in the group of fine particles can be determined all at once in a wide range from a relatively large particle size to a fine particle size.

【0033】次に、微粒子含有液2の液面検知機構10
について、その詳細な構成を図2〜図4に基づいて説明
する。この液面検知機構10は、液収容タンク3に収容
の微粒子含有液2に浮遊するフロート28を、筒状で軽
量の軸体29と中空の浮体30とから形成し、具体的に
は、例えばピペットの胴筒部分を切除したものを中空浮
体30として、この中空浮体30に対して、胴筒部分の
切除による開口を閉じるように筒状の金属製軸体29を
接合して、フロート28を形成する一方、液収容タンク
3の外部にブラケット31を配置している。
Next, the liquid level detecting mechanism 10 for the fine particle-containing liquid 2
Will be described in detail with reference to FIGS. This liquid level detection mechanism 10 forms a float 28 that floats in the fine particle-containing liquid 2 stored in the liquid storage tank 3 from a cylindrical and lightweight shaft 29 and a hollow floating body 30. The pipette with its barrel portion cut off is used as a hollow floating body 30, and a cylindrical metal shaft 29 is joined to this hollow floating body 30 so as to close the opening formed by cutting off the barrel portion, thereby forming a float 28. On the other hand, a bracket 31 is arranged outside the liquid storage tank 3.

【0034】そして、このブラケット31に、内部にボ
ールベアリングaを備えたリニアガイドタイプの昇降ガ
イド32を、それのガイド軸線を上下方向に向けてタン
ク外部に取り付けると共に、この昇降ガイド32に前記
フロート28の軸体29を挿通保持させて、液収容タン
ク3内の微粒子含有液2の液面変動に伴って、前記フロ
ート28を上下にスライドさせるように構成している。
A linear guide type elevating guide 32 having a ball bearing a therein is mounted on the bracket 31 to the outside of the tank with its guide axis oriented in the vertical direction. The float 28 is configured to slide up and down as the level of the particulate-containing liquid 2 in the liquid storage tank 3 fluctuates by inserting and holding the shaft body 29 of the liquid storage tank 3.

【0035】更に、前記フロート28の軸体29に遮光
板33を設ける一方、前記ブラケット31に連設の受け
部材34に、投光器bと受光器cとによる二組の光検出
器35,36を、上下に間隔を隔てて且つ投受光器b,
cを遮光板33の昇降軌跡の両側に位置させる状態で配
置して、前記フロート28の昇降に伴って、投光器bか
ら受光器cにわたる光路が遮光板33によって遮光され
るように構成している。
Further, a light-shielding plate 33 is provided on the shaft 29 of the float 28, and two sets of photodetectors 35 and 36 each including a light projector b and a light receiver c are provided on a receiving member 34 connected to the bracket 31. , The light emitting and receiving devices b,
The light path from the light projector b to the light receiver c is shielded by the light shielding plate 33 as the float 28 is moved up and down. .

【0036】即ち、液収容タンク3内の微粒子含有液2
の液面変動に伴うフロート28の昇降二位置を、上記の
光路遮光に基づいて二組の光検出器35,36で検知す
るように、フロート28の位置検知手段Aを構成してい
るのである。
That is, the liquid 2 containing fine particles in the liquid storage tank 3
The position detecting means A of the float 28 is configured so that two sets of the photodetectors 35 and 36 detect the two rising and falling positions of the float 28 due to the fluctuation of the liquid level based on the above-mentioned light path shading. .

【0037】具体的には、上部側の光検出器35は、規
定された最高液面にまで微粒子含有液2が供給されたこ
とを検知する位置に配置されて、前記遮光板33とによ
って収容液上限の液面を検知する最高液面の制御センサ
S1を構成している。
More specifically, the upper photodetector 35 is disposed at a position where it detects that the fine particle-containing liquid 2 has been supplied to the specified maximum liquid level, and is housed by the light shielding plate 33. The control sensor S1 of the highest liquid level for detecting the liquid level at the upper limit of the liquid is formed.

【0038】一方、上部側の光検出器36は、上記の規
定された最高液面よりも低位で、かつ、不都合を伴う異
常な液不足の液面よりも高位の液面を検知する位置に配
置されて、前記遮光板33とによって収容液下限の液面
を検知する最低液面の制御センサS2を構成している。
On the other hand, the upper photodetector 36 is located at a position for detecting a liquid level lower than the above-specified maximum liquid level and higher than an abnormally insufficient liquid level accompanied by inconvenience. It is arranged and constitutes the control sensor S2 of the minimum liquid level which detects the liquid level of the lower limit of the contained liquid by the light shielding plate 33.

【0039】そして、最高液面制御センサS1は、投光
器bからの光が遮光板33によって遮光されて、タンク
3内の液面が規定された最高液面に達したことの液面検
知情報(収容液上限の液面検知情報)に基づいて、微粒
子含有液2の補給を停止させるように、液補給ライン8
の開閉弁9をOFFに制御し、最低液面の制御センサS
2は、タンク3内の微粒子含有液2が減少し、投光器b
からの光が遮光板33によって遮光されて、タンク3内
の液面が規定の最低液面に達したことの液面検知情報
(収容液下限の液面検知情報)に基づいて、微粒子含有
液2の補給を再開させるように、液補給ライン8の開閉
弁9をONに制御するように構成されている。
Then, the highest liquid level control sensor S1 detects the liquid level from the light emitter b by the light shielding plate 33 and detects the liquid level in the tank 3 reaching the specified maximum liquid level ( The liquid replenishment line 8 is configured to stop the replenishment of the fine particle-containing liquid 2 based on the liquid level detection information on the upper limit of the contained liquid.
Control valve S of the lowest liquid level
2 indicates that the fine particle-containing liquid 2 in the tank 3 is reduced,
Is blocked by the light shielding plate 33, and the liquid containing fine particles is detected based on the liquid level detection information that the liquid level in the tank 3 has reached the specified minimum liquid level (liquid level detection information on the lower limit of the contained liquid). The on / off valve 9 of the liquid supply line 8 is controlled to be ON so that the supply of the liquid 2 is restarted.

【0040】更に、上記のセンサS1,S2を備えた位
置検知手段Aは、収容液の上下限を外れる液面検知に基
づいて異常事態の発生を検知して、液収容タンク3に装
備の超音波振動子による分散手段(図2を参照)37の
駆動を停止させたり、粒径分布測定装置そのものの駆動
を停止させたり、或いは、上記の異常事態の発生を報知
したりするもので、そのための制御手段38が連係され
ている。
Further, the position detecting means A having the above-mentioned sensors S1 and S2 detects the occurrence of an abnormal situation based on the detection of the liquid level outside the upper and lower limits of the stored liquid. It stops the driving of the dispersing means 37 (see FIG. 2) by the sonic transducer, stops the driving of the particle size distribution measuring device itself, or notifies the occurrence of the above abnormal situation. Control means 38 are linked.

【0041】即ち、センサS2が最低液面を検知した際
には、開閉弁9がONされて、タンク3に微粒子含有液
2が供給され、この液供給に伴ってフロート28が上昇
することで、通常ならばセンサS2は、直ちに最低液面
を検知しなくなる。そして、所定の時間を経過して、セ
ンサS1が最高液面を検知すると、開閉弁9がOFFさ
れるのであって、通常ならばセンサS1は最高液面を検
知したままになる。
That is, when the sensor S2 detects the lowest liquid level, the on-off valve 9 is turned on to supply the fine particle-containing liquid 2 to the tank 3, and the float 28 rises with this liquid supply. Normally, the sensor S2 does not immediately detect the lowest liquid level. Then, when a predetermined time has elapsed and the sensor S1 detects the maximum liquid level, the on-off valve 9 is turned off, and the sensor S1 normally detects the maximum liquid level.

【0042】ここで、センサS1が収容液上限の液面検
知をしたにも拘らず、何らかのトラブルで液補給ライン
8からの微粒子含有液2の補給が継続された場合は、フ
ロート28ひいては遮光板33が上昇(図3に仮想線X
で示す。)することから、センサS1は直ぐに遮光板3
3を検知しなくなり、このことを基にして、収容液の上
限を越える液面検知を行わせるのであり、一方、センサ
S2が収容液下限の液面検知をしたにも拘らず、何らか
のトラブルで液面低下が継続された場合は、フロート2
8ひいては遮光板33が下降(図3に仮想線Yで示
す。)して、上記した所定の時間を経過しても、センサ
S2が遮光板33を検知しなくなることから、このこと
を基にして収容液の下限を下回る液面検知を行わせるの
であって、この収容液の上下限を外れる液面検知に基づ
いて、制御手段38により異常事態の発生を検知するよ
うにしているのである。
Here, if the supply of the fine particle-containing liquid 2 from the liquid supply line 8 is continued due to some trouble, despite the fact that the sensor S1 detects the liquid level at the upper limit of the contained liquid, the float 28 and hence the light shielding plate 33 rises (the phantom line X in FIG. 3).
Indicated by ), The sensor S1 is immediately
No. 3 is no longer detected, and based on this, the liquid level exceeding the upper limit of the contained liquid is detected. If the liquid level continues to drop, float 2
8 and the light-shielding plate 33 descends (indicated by the imaginary line Y in FIG. 3), and the sensor S2 does not detect the light-shielding plate 33 even after the predetermined time has elapsed. The liquid level detection is performed below the lower limit of the stored liquid, and the occurrence of an abnormal situation is detected by the control means 38 based on the detection of the liquid level falling outside the upper and lower limits of the stored liquid.

【0043】上記構成の液面検知機構10によれば、フ
ロート28の昇降ガイド32をタンク外部に配置して、
フロート28のスライド部分を微粒子含有液2に浸さな
いようにしたことで、液中の微粒子がフロート28のス
ライド部分に入り込むことによるトラブルが解消される
のであって、収容液の上下限の液面検知に基づく液面制
御はもとより、微粒子含有液2のオーバーフローならび
に異常な液不足防止の制御が、信頼性の極めて高い状態
で適正に行われることになる。
According to the liquid level detecting mechanism 10 having the above structure, the lifting guide 32 of the float 28 is disposed outside the tank.
By preventing the slide part of the float 28 from being immersed in the liquid 2 containing fine particles, the trouble caused by the fine particles in the liquid entering the slide part of the float 28 can be solved. In addition to the liquid level control based on the detection, the control of the overflow of the fine particle-containing liquid 2 and the prevention of the abnormal shortage of the liquid are properly performed in a highly reliable state.

【0044】上記の実施の形態では、フロート28を上
下方向にスライド可能に設けて、最高液面と液存否の検
知を行わせるように構成しているが、図5に示すよう
に、液収容タンク3の外部にブラケット31を配置する
と共に、微粒子含有液2に浮遊するフロート28を、前
記ブラケット31に備えた横軸39まわりで回動可能に
設け、かつ、このフロート28に遮光板33を設ける一
方、この遮光板33とによって最高液面検知センサS1
と液存否検知センサS2とを構成する二組の光検出器3
5,36を、前記ブラケット31に配置して、液面検知
機構10を構成してもよいのである。
In the above-described embodiment, the float 28 is provided so as to be slidable in the vertical direction so as to detect the maximum liquid level and the presence or absence of the liquid. However, as shown in FIG. A bracket 31 is arranged outside the tank 3, and a float 28 floating in the fine particle-containing liquid 2 is rotatably provided around a horizontal axis 39 provided on the bracket 31, and a light shielding plate 33 is provided on the float 28. On the other hand, the highest liquid level detection sensor S1
Sets of photodetectors 3 constituting the liquid presence / absence detection sensor S2
The liquid level detecting mechanism 10 may be configured by disposing the brackets 5 and 36 on the bracket 31.

【0045】この図5において、フロート28が自重に
よってほゞ垂下した状態で、異常な液不足の液面検知を
行わせ、これよりもフロート28が順次上昇した状態
で、収容液の下限と上限との液面検知を行わせ、更にフ
ロート28が上昇した状態で、やがては微粒子含有液2
がオーバーフローすることの液面検知を行わせるように
している。
In FIG. 5, when the float 28 is drooping under its own weight, an abnormal liquid shortage level detection is performed. Liquid level detection, and in the state where the float 28 is further raised, the fine particle-containing liquid 2
Is caused to perform liquid level detection of overflow.

【0046】尚、上記の液面検知を収容液の少ない状態
で行わせるために、この実施の形態では、液収容タンク
3を斜めに設置しているが、これは必須の要件ではない
ことは言うまでもない。
In this embodiment, the liquid storage tank 3 is installed obliquely in order to perform the liquid level detection in a state where the amount of the stored liquid is small, but this is not an essential requirement. Needless to say.

【0047】また、上記の各実施の形態では、遮光板3
3と光検出器35,36とによって二組のセンサS1,
S2を構成しているが、例えば遮光板33を磁性体に且
つ光検出器35,36を近接スイッチに置き換えるな
ど、センサS1,S2の構成は各種の変形が可能であ
る。
In each of the above embodiments, the light shielding plate 3
3 and the photodetectors 35 and 36, two sets of sensors S1,
The configuration of the sensors S1 and S2 can be variously modified, for example, by replacing the light shielding plate 33 with a magnetic material and replacing the photodetectors 35 and 36 with proximity switches.

【0048】更に、収容液の上下限の液面制御に際し
て、これに用いる位置検知手段のセンサとして、液収容
タンクでの収容液の液面変動を或る幅をもって検知する
タイプのセンサ、即ち、収容液の上限ならびに下限の液
面検知に基づいて微粒子含有液の補給を停止ならびに再
開させる1個の液面制御センサを用いることが可能であ
る。
Further, when controlling the liquid level of the upper and lower limits of the stored liquid, a sensor of a type for detecting the fluctuation of the liquid level of the stored liquid in the liquid storage tank with a certain width is used as a sensor of the position detecting means used therefor, It is possible to use one liquid level control sensor that stops and restarts the replenishment of the liquid containing fine particles based on the detection of the upper and lower liquid levels of the stored liquid.

【0049】[0049]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、フ
ロートをタンク外部でスライドまたは回動可能に設け
て、フロートのスライド部分または回動部分を微粒子含
有液に浸さないようにしたことで、液中の微粒子の入り
込みによるトラブルが確実に解消されるようになり、コ
スト的に安価な構成のフロートタイプの液面検知機構と
して、これの収容液の上下限の液面制御はもとより、微
粒子含有液のオーバーフローならびに異常な液不足防止
の制御が、信頼性の極めて高い状態で適正に行われるも
のにして提供される。
As described above, according to the present invention, the float is provided so as to be slidable or rotatable outside the tank so that the slide portion or the rotatable portion of the float is not immersed in the liquid containing fine particles. As a result, the trouble caused by the intrusion of fine particles in the liquid can be reliably eliminated, and as a float type liquid level detecting mechanism with a low cost structure, not only the liquid level control of the upper and lower limits of the contained liquid, but also the fine particles It is provided that the control of the overflow of the contained liquid and the prevention of the abnormal liquid shortage are appropriately performed in a highly reliable state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】レーザ回折式の粒径分布測定装置を概略的に示
す構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing a laser diffraction type particle size distribution measuring device.

【図2】微粒子含有液の供給系統図である。FIG. 2 is a supply system diagram of a liquid containing fine particles.

【図3】フロート昇降タイプの液面検知機構を示す構成
図である。
FIG. 3 is a configuration diagram showing a float elevating type liquid level detecting mechanism.

【図4】センサ構成例の説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram of a sensor configuration example.

【図5】別の実施の形態によるフロート回動タイプの液
面検知機構を示す構成図である。
FIG. 5 is a configuration diagram illustrating a float rotation type liquid level detection mechanism according to another embodiment.

【図6】従来のフロート昇降タイプの液面検知機構を示
す構成図である。
FIG. 6 is a configuration diagram showing a conventional float elevating type liquid level detecting mechanism.

【図7】従来のプリズムタイプの液面検知機構を示す構
成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram showing a conventional prism type liquid level detection mechanism.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2…微粒子含有液、3…液収容タンク、28…フロー
ト、32…昇降ガイド、39…横軸、S1…最高液面の
制御センサ、S2…最低液面の制御センサ。
2 ... Particle-containing liquid, 3 ... Liquid storage tank, 28 ... Float, 32 ... Elevation guide, 39 ... Horizontal axis, S1 ... Control sensor for maximum liquid level, S2 ... Control sensor for minimum liquid level.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液収容タンク内の微粒子含有液の液面検
知機構であって、微粒子含有液に浮遊するフロートを、
液収容タンク外部に配置の昇降ガイドに沿ってスライド
可能に設けると共に、液面変動に伴うフロートの昇降位
置を検知する位置検知手段を、液収容タンク外部に配置
して成ることを特徴とする微粒子含有液の液面検知機
構。
1. A liquid level detection mechanism for a liquid containing fine particles in a liquid storage tank, comprising:
Fine particles characterized by being provided so as to be slidable along an elevating guide disposed outside the liquid storage tank and having a position detecting means for detecting a rising / lowering position of the float caused by fluctuations in the liquid level outside the liquid storage tank. Liquid level detection mechanism for contained liquid.
【請求項2】 液収容タンク内の微粒子含有液の液面検
知機構であって、微粒子含有液に浮遊するフロートを、
液収容タンク外部に配置の横軸まわりで回動可能に設け
ると共に、液面変動に伴うフロートの回動位置を検知す
る位置検知手段を、液収容タンクの外部に配置して成る
ことを特徴とする微粒子含有液の液面検知機構。
2. A mechanism for detecting the level of a liquid containing fine particles in a liquid storage tank, wherein the float floating on the liquid containing fine particles is
The liquid storage tank is provided so as to be rotatable around a horizontal axis, and a position detecting means for detecting a rotation position of the float due to a liquid level fluctuation is arranged outside the liquid storage tank. Level detection mechanism for the liquid containing fine particles.
【請求項3】 前記位置検知手段が、収容液上限の液面
検知に基づいて微粒子含有液の補給を停止させる最高液
面の制御センサと、収容液下限の液面検知に基づいて微
粒子含有液の補給を再開させる最低液面の制御センサと
から成る請求項1または2に記載された微粒子含有液の
液面検知機構。
3. The control device according to claim 1, wherein said position detecting means stops the replenishment of the liquid containing fine particles based on the liquid level detection of the upper limit of the contained liquid, and a liquid sensor containing fine particles containing liquid based on the detection of the liquid level of the contained liquid lower limit. 3. The liquid level detecting mechanism for fine particle-containing liquid according to claim 1, further comprising a control sensor for controlling a minimum liquid level for resuming the supply of the fine particles.
【請求項4】 前記位置検知手段が、収容液の上限なら
びに下限の液面検知に基づいて微粒子含有液の補給を停
止ならびに再開させる最高ならびに最低の液面制御セン
サから成る請求項1または2に記載された微粒子含有液
の液面検知機構。
4. A liquid level control sensor according to claim 1, wherein said position detecting means comprises a maximum and minimum liquid level control sensor for stopping and restarting the supply of the fine particle-containing liquid based on the detection of the upper and lower liquid levels of the contained liquid. The described liquid level detection mechanism of the fine particle-containing liquid.
【請求項5】 前記位置検知手段が、収容液の上下限を
外れる液面検知に基づいて異常事態の発生を検知するよ
うにした請求項3または4に記載された微粒子含有液の
液面検知機構。
5. The liquid level detection of a fine particle-containing liquid according to claim 3, wherein the position detection means detects occurrence of an abnormal situation based on detection of a liquid level outside the upper and lower limits of the contained liquid. mechanism.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008249724A (en) * 2008-06-06 2008-10-16 Horiba Ltd Device for measuring particle size distribution
CN108955828A (en) * 2018-06-29 2018-12-07 东软威特曼生物科技(沈阳)有限公司 Liquid detection device, container

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008249724A (en) * 2008-06-06 2008-10-16 Horiba Ltd Device for measuring particle size distribution
CN108955828A (en) * 2018-06-29 2018-12-07 东软威特曼生物科技(沈阳)有限公司 Liquid detection device, container

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