JP2000146748A - Vibration generator - Google Patents
Vibration generatorInfo
- Publication number
- JP2000146748A JP2000146748A JP10327204A JP32720498A JP2000146748A JP 2000146748 A JP2000146748 A JP 2000146748A JP 10327204 A JP10327204 A JP 10327204A JP 32720498 A JP32720498 A JP 32720498A JP 2000146748 A JP2000146748 A JP 2000146748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- vibration
- vibration generator
- guide portion
- bearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、振動体の軸を摺動
可能に支持すると共に、垂直方向の静的荷重を支えるよ
う構成された振動発生機に関する。The present invention relates to a vibration generator configured to slidably support a shaft of a vibrating body and to support a vertical static load.
【０００２】[0002]
【従来の技術】多くの技術分野で振動試験機を用いた振
動試験が行なわれている。特に製品開発を行なう研究部
門においては、試作品又は製品の耐久性や強度、信頼性
等を調べるため長時間の振動試験を行なっている。一般
に振動試験機は、試験対象品が搭載される振動台と、振
動台を振動させる振動発生機と、振動発生機を制御する
制御装置とから構成されている。また、制御装置は、振
動発生機で発生させる振動周波数等の振動条件が設定さ
れると、振動発生機の駆動コイルに駆動信号を出力して
設定された振動条件で振動台を振動させる。これによ
り、振動台に搭載された試験対象品は、振動が伝達され
て振動試験が行なわれる。2. Description of the Related Art Vibration tests using a vibration tester are performed in many technical fields. In particular, in the research division that develops products, long-term vibration tests are performed to examine the durability, strength, reliability, etc. of prototypes or products. In general, a vibration tester includes a vibration table on which a test object is mounted, a vibration generator that vibrates the vibration table, and a control device that controls the vibration generator. Further, when vibration conditions such as a vibration frequency generated by the vibration generator are set, the control device outputs a drive signal to a drive coil of the vibration generator to vibrate the vibrating table under the set vibration conditions. As a result, the test object mounted on the shaking table is transmitted with the vibration and the vibration test is performed.
【０００３】この種の従来の振動発生機としては、例え
ば実公平４−２４４３０号公報にみられるような構成と
されたものがある。この公報に記載された振動発生機
は、振動テーブルの軸を油圧軸受けにより軸承するとと
もに、駆動コイルからの電磁力により交番荷重を振動テ
ーブルに付与して任意の振動周波数で振動テーブルを振
動させるよう構成されている。[0003] As a conventional vibration generator of this kind, there is one having a configuration as disclosed in Japanese Utility Model Publication No. 4-24430, for example. The vibration generator described in this publication has a structure in which a shaft of a vibration table is supported by a hydraulic bearing, and an alternating load is applied to the vibration table by electromagnetic force from a drive coil to vibrate the vibration table at an arbitrary vibration frequency. It is configured.
【０００４】また、振動テーブルの軸は、駆動コイルを
保持する固定部に設けられたガイド部により軸方向に摺
動可能に保持されており、且つ油圧ポンプにより加圧さ
れた潤滑油がガイド部との隙間に供給されるため、油膜
により摺動抵抗が軽減される。そして、振動テーブルの
軸が軸方向に振動するため、振動テーブルの軸の端部に
は、軸の振動動作に追従して変形しながら油漏れを防止
するベロフラムが設けられている。このベロフラムは、
ゴム板を湾曲させた状態で成形されており、湾曲部分が
軸の振動動作に伴って変位するようになっている。Further, the shaft of the vibration table is slidably held in the axial direction by a guide portion provided on a fixed portion for holding the drive coil, and lubricating oil pressurized by a hydraulic pump is supplied to the guide portion. And the sliding resistance is reduced by the oil film. Since the shaft of the vibration table vibrates in the axial direction, a bellofram is provided at an end of the shaft of the vibration table to prevent oil leakage while deforming following the vibration operation of the shaft. This belofram,
The rubber plate is formed in a curved state, and the curved portion is displaced with the vibration operation of the shaft.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
振動発生機においては、長時間の振動試験を行なう場
合、ゴム製のベロフラムが振動周波数と同じ周波数で変
位するため、上記湾曲部分が次第に劣化し、やがてひび
割れが生じてしまうことがあった。そのため、従来は、
ベロフラムの寿命が比較的短く、定期的にメンテナンス
する必要があった。However, in a conventional vibration generator, when a long-term vibration test is performed, the rubber belofram is displaced at the same frequency as the vibration frequency, so that the curved portion gradually deteriorates. Eventually, cracking sometimes occurred. Therefore, conventionally,
The life of Belofram was relatively short and required regular maintenance.
【０００６】また、振動試験中にベロフラムが劣化して
破損した場合には、振動試験を中断してベロフラムの交
換作業を行なわなければならず、振動試験を最初からや
り直すことになってしまい、振動試験機としての信頼性
が劣るといった問題があった。さらに、従来の場合、ベ
ロフラムが破損すると、その破損箇所から油が流出して
周囲を汚してしまうばかりか、軸受け部分での油圧不足
を生じて軸が偏磨耗してしまうおそれがあった。If the belofram deteriorates and breaks during the vibration test, the vibration test must be interrupted to replace the belofram, and the vibration test must be restarted from the beginning. There was a problem that the reliability as a test machine was inferior. Further, in the conventional case, when the belofram is broken, not only oil flows out from the damaged portion and soils the surroundings, but also there is a danger that the shaft may be partially worn due to insufficient hydraulic pressure at the bearing portion.
【０００７】そこで、本発明は上記問題を解決した振動
試験機を提供することを目的とする。Therefore, an object of the present invention is to provide a vibration tester which solves the above problems.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
記載の発明は、振動を発生させる駆動源と、該駆動源に
より振動する振動体と、該振動体を摺動可能にガイドす
るガイド部とを備えた振動発生機において、前記ガイド
部に前記振動体の被ガイド部を空気圧で支持する空気軸
受を設け、該空気軸受に所定圧の圧縮空気を供給する空
気供給手段を設けたことを特徴とするものである。In order to solve the above problems, the present invention has the following features. Claim 1
The invention described above is a vibration generator that includes a driving source that generates vibration, a vibrating body that vibrates by the driving source, and a guide unit that slidably guides the vibrating body. An air bearing for supporting a guided portion of the body by air pressure is provided, and air supply means for supplying compressed air of a predetermined pressure to the air bearing is provided.
【０００９】従って、請求項１記載の発明によれば、ガ
イド部に振動体の被ガイド部を空気圧で支持する空気軸
受を設け、この空気軸受に所定圧の圧縮空気を供給する
ため、長時間の振動試験を行なっても従来のようなベロ
フラムの破損による油漏れを生じることがなく、例え空
気漏れが生じても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑不足
になるおそれもないので、振動試験を中断する必要がな
いばかりかメンテナンスも容易となる。Therefore, according to the first aspect of the present invention, the guide portion is provided with an air bearing for supporting the guided portion of the vibrating body with air pressure, and compressed air of a predetermined pressure is supplied to the air bearing. Even if a vibration test is performed, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur as in the past, and even if air leakage occurs, there is no risk of contaminating the surroundings and there is no risk of insufficient lubrication. Not only does it not need to be interrupted, but also makes maintenance easier.
【００１０】また、請求項２記載の発明は、上記請求項
１記載の振動発生機であって、前記空気軸受が、前記ガ
イド部の半径方向の壁部と前記被ガイド部との間に圧縮
空気を供給することを特徴とするものである。従って、
請求項２記載の発明によれば、空気軸受がガイド部の半
径方向の壁部と被ガイド部との間に圧縮空気を供給する
ため、被ガイド部の振動動作を空気圧により安定的に保
持することができる。According to a second aspect of the present invention, in the vibration generator according to the first aspect, the air bearing is compressed between a radial wall portion of the guide portion and the guided portion. It is characterized by supplying air. Therefore,
According to the second aspect of the present invention, since the air bearing supplies compressed air between the radial wall of the guide portion and the guided portion, the vibration operation of the guided portion is stably held by the air pressure. be able to.
【００１１】また、請求項３記載の発明は、上記請求項
１記載の振動発生機であって、前記空気軸受は、前記ガ
イド部の軸方向の端部と前記被ガイド部の軸方向の端部
との間に形成された空気ばね室に圧縮空気を供給し荷重
を支えることを特徴とするものである。従って、請求項
３記載の発明によれば、空気軸受けがガイド部の軸方向
の端部と被ガイド部の軸方向の端部との間に形成された
空気ばね室に圧縮空気を供給し荷重を支えるため、振動
体の軸方向の荷重を空気ばねにより弾力的に支持するこ
とができる。According to a third aspect of the present invention, in the vibration generator according to the first aspect, the air bearing includes an axial end of the guide portion and an axial end of the guided portion. The compressed air is supplied to an air spring chamber formed between the air spring section and the air spring section to support a load. Therefore, according to the third aspect of the present invention, the air bearing supplies compressed air to the air spring chamber formed between the axial end of the guide portion and the axial end of the guided portion to supply the compressed air. Therefore, the load in the axial direction of the vibrating body can be elastically supported by the air spring.
【００１２】また、請求項４記載の発明は、上記請求項
１記載の振動発生機であって、前記空気軸受は、前記ガ
イド部の軸方向に延在する軸方向空気供給通路と、一端
が前記軸方向空気供給通路に連通され他端が前記ガイド
部の半径方向に延在する複数の水平方向空気供給通路
と、該水平方向空気供給通路に連通され前記ガイド部の
外周に開口する複数の空気吹き出し口とを有することを
特徴とするものである。According to a fourth aspect of the present invention, in the vibration generator according to the first aspect, the air bearing has an axial air supply passage extending in the axial direction of the guide portion, and one end thereof. A plurality of horizontal air supply passages that communicate with the axial air supply passage and have the other ends extending in the radial direction of the guide portion; and a plurality of horizontal air supply passages that communicate with the horizontal air supply passage and open to the outer periphery of the guide portion. An air outlet is provided.
【００１３】従って、請求項４記載の発明によれば、空
気軸受が、軸方向空気供給通路に複数の水平方向空気供
給通路を介して連通された複数の空気吹き出し口がガイ
ド部の外周に開口するため、振動体の被ガイド部を全体
的に均一な空気圧で安定的に支持することができ、特に
高精度に加工された軸受け部分でのガタツキを最小に抑
えることが可能となる。According to the fourth aspect of the present invention, the air bearing has a plurality of air outlets which communicate with the axial air supply passage via the plurality of horizontal air supply passages, and are opened on the outer periphery of the guide portion. As a result, the guided portion of the vibrating body can be stably supported as a whole with a uniform air pressure, and it is possible to minimize backlash particularly at the bearing portion processed with high precision.
【００１４】[0014]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の実施の
形態について説明する。図１は本発明になる振動発生機
の一実施例が振動試験機に適用された概略構成図であ
る。図１に示されるように、振動試験機１１は、振動試
験を行なう試料１３が装着された振動発生機１２と、振
動発生機１２を制御する制御装置１４と、振動発生機１
２の空気軸受（詳細は後述する）へ空気圧を供給する空
圧源ユニット（空気供給手段）１６とから構成されてい
る。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic configuration diagram in which one embodiment of a vibration generator according to the present invention is applied to a vibration tester. As shown in FIG. 1, a vibration tester 11 includes a vibration generator 12 on which a sample 13 to be subjected to a vibration test is mounted, a control device 14 for controlling the vibration generator 12, and a vibration generator 1
And an air pressure source unit (air supply means) 16 for supplying air pressure to a second air bearing (details will be described later).
【００１５】制御装置１４は、大略、振動発生機１２に
より発生された振動の加速度信号が振動検知センサ（図
示せず）から入力されるサイン制御器１８と、サイン制
御器１８から出力された制御信号に基づいて交流（Ａ
Ｃ）の駆動信号を振動発生機１２の駆動コイル（詳細は
後述する）へ出力する電力増幅器２０と、振動発生機１
２の励磁コイル（詳細は後述する）へ直流（ＤＣ）の励
磁信号を出力する励磁電源２２と、電力増幅器２０及び
励磁電源２２へ定電圧を供給する保護回路２４とからな
る。The control device 14 generally includes a sine controller 18 that receives an acceleration signal of the vibration generated by the vibration generator 12 from a vibration detection sensor (not shown) and a control output from the sine controller 18. AC (A
C) a power amplifier 20 that outputs the drive signal of (C) to a drive coil (to be described in detail later) of the vibration generator 12,
An excitation power source 22 outputs a direct current (DC) excitation signal to two excitation coils (details will be described later), and a protection circuit 24 that supplies a constant voltage to the power amplifier 20 and the excitation power source 22.
【００１６】一般に、振動発生機１２の加振力Ｆは、次
式（１）により求まる。 Ｆ＝（Ｍ0 ＋Ｍ1 ＋ｍ）Ａ … （１） 但し、上記（１）式において、Ｍ0 は加振治具及び補助
テーブルの質量、Ｍ1は供試体質量、Ａは試験加速度で
ある。また、試験加速度Ａが不明の場合には、次式
（２）又は（３）により試験加速度Ａ〔Ｇ単位〕を求め
ることができる。Generally, the exciting force F of the vibration generator 12 is obtained by the following equation (1). F = (M 0 + M 1 + m) A (1) In the above equation (1), M 0 is the mass of the vibrating jig and the auxiliary table, M 1 is the mass of the specimen, and A is the test acceleration. When the test acceleration A is unknown, the test acceleration A [G unit] can be obtained by the following equation (2) or (3).
【００１７】Ａ＝２πｆＶ／９８０ … （２） Ａ＝（２πｆ）2 Ｄ／９８０ … （３） 制御装置１４は、上記各式により求められた加振力Ｆが
発生するように振動発生機１２を駆動制御する。従っ
て、振動発生機１２は、予め設定された所定の周波数で
試料１３を振動させることができる。A = 2πfV / 980 (2) A = (2πf) 2 D / 980 (3) The control device 14 controls the vibration generator 12 so that the excitation force F obtained by the above equations is generated. Drive control. Therefore, the vibration generator 12 can vibrate the sample 13 at a predetermined frequency set in advance.
【００１８】図２は振動発生機の構成を示す縦断面図で
ある。図２に示されるように、振動発生機１２は、試料
１３が固定される振動テーブル（振動体）２６と、振動
テーブル２６の筒状軸（被ガイド部）２８を振動方向
（Ａ方向）に摺動可能に支持するガイド部３０と、ガイ
ド部３０に設けられた空気軸受３２と、振動テーブル２
６の外周端部に設けられた駆動コイル（駆動源）３４
と、駆動コイル３４が上方位置に移動したとき外側で対
向するように配置された上部励磁コイル３６と、駆動コ
イル３４が下方位置に移動したとき外側で対向するよう
に配置された下部励磁コイル３８とを有する。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing the structure of the vibration generator. As shown in FIG. 2, the vibration generator 12 moves a vibration table (vibration body) 26 to which the sample 13 is fixed and a cylindrical shaft (guided portion) 28 of the vibration table 26 in a vibration direction (A direction). A guide portion 30 slidably supported, an air bearing 32 provided on the guide portion 30, a vibration table 2
6. A drive coil (drive source) 34 provided at the outer peripheral end of
And an upper exciting coil 36 arranged so as to face outside when the drive coil 34 moves to the upper position, and a lower exciting coil 38 arranged so as to face outside when the drive coil 34 moves to the lower position. And
【００１９】また、筒状軸２８の内周には、ガイド部３
０のガイド軸３０ａが挿入される筒状のシリンダ（被ガ
イド部）３９が嵌合固定されている。駆動コイル３４に
は、電力増幅器２０からの交流（ＡＣ）の駆動信号が供
給されているので、駆動コイル３４からの磁束の方向が
交番的に変化する。そのため、振動テーブル２６は、電
磁石を構成する上部励磁コイル３６及び下部励磁コイル
３８からの磁界に対し、吸引又は反発して軸方向に振動
する。A guide portion 3 is provided on the inner periphery of the cylindrical shaft 28.
A cylindrical cylinder (guided portion) 39 into which the zero guide shaft 30a is inserted is fitted and fixed. Since the drive signal of the alternating current (AC) from the power amplifier 20 is supplied to the drive coil 34, the direction of the magnetic flux from the drive coil 34 changes alternately. Therefore, the vibration table 26 vibrates in the axial direction by attracting or repelling to the magnetic field from the upper excitation coil 36 and the lower excitation coil 38 constituting the electromagnet.
【００２０】さらに、振動発生機１２は、上部励磁コイ
ル３６及び下部励磁コイル３８を収納する上部コイル収
納室４０ａ，下部コイル収納室４０ｂを有するホルダ部
材４０と、上部励磁コイル３６及び下部励磁コイル３８
の内周側に挿通された円筒部材４２，４４とを有する。
そして、上記駆動コイル３４は、薄い円筒状に形成され
ており、ホルダ部材４０の内周と円筒部材４２，４４の
外周との間に形成された隙間に挿通された状態で軸方向
に駆動される。その際、駆動コイル３４は、ホルダ部材
４０及び円筒部材４２，４４に非接触で移動するように
設けられている。Further, the vibration generator 12 includes a holder member 40 having an upper coil storage chamber 40a and a lower coil storage chamber 40b for storing the upper excitation coil 36 and the lower excitation coil 38, and the upper excitation coil 36 and the lower excitation coil 38.
And cylindrical members 42 and 44 inserted through the inner peripheral side of the first and second members.
The drive coil 34 is formed in a thin cylindrical shape, and is driven in the axial direction while being inserted into a gap formed between the inner periphery of the holder member 40 and the outer periphery of the cylindrical members 42 and 44. You. At that time, the drive coil 34 is provided so as to move in a non-contact manner with the holder member 40 and the cylindrical members 42 and 44.
【００２１】また、ホルダ部材４０は、上部カバー部材
４６により上部コイル収納室４０ａが閉塞され、下部コ
イル収納室４０ｂが下部カバー部材４８により閉塞され
る。そして、ホルダ部材４０は、支持部材５０により両
側から支持されている。この支持部材５０は、床面に設
置されるベース５０ａと、ベース５０ａの両側より上方
に延在する一対の腕部５０ｂ，５０ｃとからなる。そし
て、腕部５０ｂ，５０ｃの上端には、ホルダ部材４０の
両側面に固定された水平軸５２が挿通されている。その
ため、ホルダ部材４０は、水平軸５２を中心に回動する
ことができる。これにより、振動発生機１２は、振動方
向を垂直方向だけでなく斜め方向あるいは水平方向に発
生させることが可能となる。The upper coil housing chamber 40a of the holder member 40 is closed by the upper cover member 46, and the lower coil housing chamber 40b is closed by the lower cover member 48. The holder member 40 is supported from both sides by the support member 50. The support member 50 includes a base 50a installed on the floor, and a pair of arms 50b and 50c extending above both sides of the base 50a. The horizontal shafts 52 fixed to both side surfaces of the holder member 40 are inserted through the upper ends of the arms 50b and 50c. Therefore, the holder member 40 can rotate around the horizontal shaft 52. Thereby, the vibration generator 12 can generate the vibration direction not only in the vertical direction but also in the oblique direction or the horizontal direction.
【００２２】また、円筒部材４４の中央穴４４ａには、
上記ガイド部３０が挿通された状態で下部カバー部材４
８の底部に取付ボルト５３ａを介して固定された取付板
５３にボルト５５及びナット５７の締結により固着され
る。そして、円筒部材４２の中央穴４２ａには、振動テ
ーブル２６の筒状軸２８と、ガイド部３０のガイド軸３
０ａとが互いに摺動可能に嵌合された状態に収納されて
いる。In the central hole 44a of the cylindrical member 44,
In a state where the guide portion 30 is inserted, the lower cover member 4
8 is fixed to a mounting plate 53 fixed to the bottom of the mounting plate 8 via mounting bolts 53a by fastening bolts 55 and nuts 57. The cylindrical shaft 28 of the vibration table 26 and the guide shaft 3
0a are housed in a state where they are slidably fitted to each other.
【００２３】尚、上記ホルダ部材４０、円筒部材４２，
４４、上部カバー部材４６、下部カバー部材４８は、電
磁石のヨーク（鉄心）を構成している。ガイド部３０
は、軸方向に延在するように形成された軸方向空気供給
通路５４と、一端が軸方向空気供給通路５４に連通され
他端がガイド部３０の半径方向に延在する複数の水平方
向空気供給通路５６と、水平方向空気供給通路５６に連
通されガイド部３０の外周に開口する複数の空気吹き出
し口５８とを有する。The holder member 40, the cylindrical member 42,
The 44, upper cover member 46, and lower cover member 48 constitute a yoke (iron core) of the electromagnet. Guide part 30
An axial air supply passage 54 formed so as to extend in the axial direction, and a plurality of horizontal air supply passages each having one end communicating with the axial air supply passage 54 and the other end extending in the radial direction of the guide portion 30. It has a supply passage 56 and a plurality of air outlets 58 communicating with the horizontal air supply passage 56 and opening on the outer periphery of the guide portion 30.
【００２４】複数の水平方向空気供給通路５６は、軸方
向に所定間隔で平行に配置されると共に、周方向にも所
定角度間隔で放射状に配設されている。そして、ガイド
部３０の外周面と振動テーブル２６のシリンダ３９の内
周面との間は微小な隙間で対向しており、ガイド部３０
の外周面には複数の空気吹き出し口５８が所定間隔で設
けられているため、ガイド部３０とシリンダ３９との間
の全周に均一な空気圧層が形成され、シリンダ３９はガ
イド部３０に対し空気圧層を介して非接触状態で摺動可
能にガイドされる。The plurality of horizontal air supply passages 56 are arranged in parallel at predetermined intervals in the axial direction, and are also radially arranged at predetermined angular intervals in the circumferential direction. The outer peripheral surface of the guide portion 30 and the inner peripheral surface of the cylinder 39 of the vibration table 26 oppose each other with a small gap.
Since a plurality of air outlets 58 are provided at predetermined intervals on the outer peripheral surface of the, a uniform air pressure layer is formed on the entire circumference between the guide portion 30 and the cylinder 39, and the cylinder 39 is It is slidably guided in a non-contact state through the pneumatic layer.
【００２５】このように振動発生機１２においては、空
気軸受３２によりガイド部３０に対しシリンダ３９を軸
方向（Ａ方向）に摺動可能に軸承しているため、従来の
ように長時間の振動試験を行なってもベロフラムの破損
による油漏れを生じることがなく、例え空気漏れが生じ
ても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑不足になるおそれ
もないので、耐久性を向上させることができる。また、
空気軸受３２を用いることにより、従来のようにベロフ
ラムの破損により振動試験を中断する必要がないばかり
かメンテナンスも容易となる。さらに、振動テーブル２
６のシリンダ３９を全体的に均一な空気圧で安定的に支
持することができので、高精度に加工された軸受け部分
でのガタツキを最小に抑えることが可能となる。As described above, in the vibration generator 12, the cylinder 39 is slidably supported in the axial direction (A direction) with respect to the guide portion 30 by the air bearing 32. Even if the test is performed, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur, and even if air leakage occurs, there is no fear of contaminating the surroundings and there is no risk of insufficient lubrication, so that durability can be improved. Also,
By using the air bearing 32, it is not necessary to interrupt the vibration test due to breakage of the belofram as in the related art, and maintenance becomes easy. Further, the vibration table 2
6 can be stably supported as a whole with a uniform air pressure, so that it is possible to minimize backlash in the bearing portion that has been machined with high precision.
【００２６】また、ガイド部３０の軸方向の上端部３０
ｂとシリンダ３９との間には、空気ばね室６０が形成さ
れている。この空気ばね室６０は、上記複数の空気吹き
出し口５８から吹き出された空気圧が溜まるため、空気
ばねとして機能する。そのため、振動テーブル２６の軸
方向の静的荷重は、空気ばね室６０の空気圧により弾力
的に支持される。The upper end 30 of the guide 30 in the axial direction
An air spring chamber 60 is formed between b and the cylinder 39. The air spring chamber 60 functions as an air spring because the air pressure blown out from the plurality of air outlets 58 accumulates. Therefore, the axial static load of the vibration table 26 is elastically supported by the air pressure of the air spring chamber 60.
【００２７】従って、空気ばね室６０の空気圧により振
動テーブル２６が振動したときの衝撃が吸収されて床面
に振動が直接伝播することが防止され、周囲への影響を
緩和できると共に、異常事態により駆動コイル３４の駆
動力が急激に増大した場合でも空気ばね室６０の空気圧
によりガイド部３０の端部３０ｂが振動テーブル２６に
衝突することが防止される。Therefore, the shock when the vibration table 26 vibrates due to the air pressure of the air spring chamber 60 is absorbed, so that the vibration is not directly transmitted to the floor surface, and the influence on the surroundings can be reduced. Even when the driving force of the driving coil 34 increases rapidly, the end portion 30b of the guide portion 30 is prevented from colliding with the vibration table 26 due to the air pressure of the air spring chamber 60.
【００２８】また、ガイド部３０は、軸方向に貫通する
排気通路６２（図２中破線で示す）が設けられている。
すなわち、排気通路６２は上端がガイド部３０の上端部
３０ｂに開口して空気ばね室６０に連通されており、下
端が中央穴４４ａに開口している。そして、中央穴４４
ａには、上記空圧源ユニット１６からの空気供給管路６
４と、排気管路６６が挿入されている。空気供給管路６
４は上記軸方向空気供給通路５４に接続され、排気管路
６６は排気通路６２に接続されている。The guide section 30 is provided with an exhaust passage 62 (shown by a broken line in FIG. 2) penetrating in the axial direction.
That is, the exhaust passage 62 has an upper end opening to the upper end portion 30b of the guide portion 30 and communicating with the air spring chamber 60, and a lower end opening to the central hole 44a. And the central hole 44
a includes an air supply line 6 from the pneumatic source unit 16;
4 and an exhaust pipe 66 are inserted. Air supply line 6
4 is connected to the axial air supply passage 54, and the exhaust pipe 66 is connected to the exhaust passage 62.
【００２９】図３はガイド部３０及び空気軸受３２の構
成を説明するための縦断面図である。図３に示されるよ
うに、ガイド部３０は、垂直方向に延在する円柱状のガ
イド軸３０ａが振動テーブル２６の振動方向をガイドし
ており、その表面は耐磨耗性に優れた硬質クロムメッキ
が施されている。また、筒状軸２８の内周に挿入された
シリンダ３９は、表面にタフラム処理が施されている。
このタフラム処理は、硬質アルマイトに４フッ化エチレ
ン樹脂を含浸させて耐磨耗性、滑り性等を向上させる特
性を持っている。FIG. 3 is a longitudinal sectional view for explaining the structure of the guide portion 30 and the air bearing 32. As shown in FIG. 3, the guide portion 30 has a column-shaped guide shaft 30a extending in the vertical direction, which guides the vibration direction of the vibration table 26. The surface of the guide portion 30 is hard chrome having excellent wear resistance. Plated. The surface of the cylinder 39 inserted into the inner periphery of the cylindrical shaft 28 is subjected to a tuffram treatment.
The taffram treatment has a property of impregnating hard alumite with a tetrafluoroethylene resin to improve abrasion resistance, slipperiness, and the like.
【００３０】このように、互いに対向するガイド軸３０
ａの外周及びシリンダ３９の内周は、夫々表面処理によ
り耐磨耗性及び滑り性が向上しているので、ガイド軸３
０ａとシリンダ３９との摺動抵抗が軽減されている。そ
のため、振動テーブル２６を軸方向に振動させる際、複
数の空気吹き出し口５８から吹き出された空気圧にばら
つきが生じても振動テーブル２６の摺動抵抗による振動
周波数の変動が防止され、振動試験の振動周波数が安定
するようになっている。As described above, the guide shafts 30 facing each other are
The outer circumference of a and the inner circumference of the cylinder 39 have improved abrasion resistance and slipperiness by surface treatment, respectively.
The sliding resistance between the cylinder 0a and the cylinder 39 is reduced. Therefore, when the vibration table 26 is vibrated in the axial direction, fluctuations in the vibration frequency due to the sliding resistance of the vibration table 26 are prevented even if the air pressures blown out from the plurality of air outlets 58 fluctuate. The frequency is stabilized.
【００３１】空気供給管路６４は、空圧源ユニット１６
を構成するコンプレッサ６８の空気タンク６８ａに接続
されている。このコンプレッサ６８は、圧縮空気が貯留
される空気タンク６８ａと、空気タンク６８ａに圧縮空
気を充填する空気圧縮部６８ｂと、空気圧縮部６８ｂを
駆動するモータ６８ｃとからなる。そして、空気タンク
６８ａには、所定圧以上の空気圧が充填されている。そ
のため、上記ガイド部３０の軸方向空気供給通路５４に
は、空気供給管路６４を介してコンプレッサ６８の空気
タンク６８ａに貯留された空気圧が供給されている。The air supply line 64 is connected to the pneumatic source unit 16.
Is connected to the air tank 68a of the compressor 68. The compressor 68 includes an air tank 68a for storing compressed air, an air compressor 68b for filling the air tank 68a with compressed air, and a motor 68c for driving the air compressor 68b. The air tank 68a is filled with air pressure equal to or higher than a predetermined pressure. Therefore, the air pressure stored in the air tank 68 a of the compressor 68 is supplied to the axial air supply passage 54 of the guide section 30 via the air supply pipe 64.
【００３２】さらに、空気吹き出し口５８には、空気の
吹き出し量を制限する絞り７０が設けられている。そし
て、排気管路６６には、空気ばね室６０の空気圧が所定
圧力を保持するように空気ばね室６０から大気中に排気
される空気量を調整する流量調整弁（可変絞り）７２が
配設されている。また、コンプレッサ６８から供給され
た空気圧は、複数の水平方向空気供給通路５６を介して
複数の空気吹き出し口５８に挿入された絞り７０からシ
リンダ３９の内壁とガイド部３０ａの外周との間に形成
される微小な隙間７４全体に供給される。Further, the air outlet 58 is provided with a throttle 70 for limiting the amount of air blown out. A flow control valve (variable throttle) 72 for adjusting the amount of air exhausted from the air spring chamber 60 to the atmosphere is provided in the exhaust pipe 66 so that the air pressure in the air spring chamber 60 maintains a predetermined pressure. Have been. The air pressure supplied from the compressor 68 is formed between the inner wall of the cylinder 39 and the outer periphery of the guide portion 30a from the throttle 70 inserted into the plurality of air outlets 58 through the plurality of horizontal air supply passages 56. Is supplied to the entire minute gap 74.
【００３３】そして、隙間７４に供給された圧縮空気
は、一部が上方の空気ばね室６０に供給され、残りが下
方に流出する。空気ばね室６０には、振動テーブル２６
及び試料１３の荷重がかかるため、流量調整弁７２の弁
開度が調整されることにより空気ばね室６０の空気圧力
が所定圧に保持される。尚、振動テーブル２６は、筒状
部２８の外周から半径方向に放射状に突出するリブ７５
が設けられ、このリブ７５の先端部分に駆動コイル３４
を支持するコイル支持部７６が取り付けられている。そ
して、各リブ７５間には、上記円筒部材４２のリブ４２
ｂが係合しており、これにより振動テーブル２６の周方
向への回動が規制される。Part of the compressed air supplied to the gap 74 is supplied to the upper air spring chamber 60, and the remaining part flows downward. The vibration table 26 is provided in the air spring chamber 60.
Since the load of the sample 13 is applied, the air pressure of the air spring chamber 60 is maintained at a predetermined pressure by adjusting the valve opening of the flow control valve 72. The vibration table 26 has ribs 75 radially protruding from the outer periphery of the cylindrical portion 28 in the radial direction.
The drive coil 34 is provided at the tip of the rib 75.
Is mounted. The ribs 42 of the cylindrical member 42 are provided between the ribs 75.
b is engaged, whereby the rotation of the vibration table 26 in the circumferential direction is restricted.
【００３４】図４は水平方向空気供給通路５６が形成さ
れたガイド部３０ａの横断面図である。図４に示される
ように、ガイド部３０ａの内部中心には、軸方向空気供
給通路５４が設けられ、この軸方向空気供給通路５４か
ら水平方向に分岐する複数の水平方向空気供給通路５６
が外周側へ放射状に形成されている。FIG. 4 is a cross-sectional view of the guide portion 30a in which the horizontal air supply passage 56 is formed. As shown in FIG. 4, an axial air supply passage 54 is provided in the center of the guide portion 30 a, and a plurality of horizontal air supply passages 56 branched from the axial air supply passage 54 in the horizontal direction.
Are formed radially toward the outer peripheral side.
【００３５】尚、図４においては、６本の水平方向空気
供給通路５６が６０°間隔で配置されているが、これに
限らず、６本以下あるいは６本以上の水平方向空気供給
通路５６を設けるようにしても良いのは勿論である。そ
して、排気通路６２は、水平方向空気供給通路５６と交
差しないように各水平方向空気供給通路５６間で軸方向
に貫通するように形成されている。従って、シリンダ３
９の内壁とガイド部３０ａの外周との間に形成される微
小な隙間７４には、等間隔で配置された各水平方向空気
供給通路５６から供給される空気圧が均等に供給される
ことになるため、ガイド部３０ａとシリンダ３９との間
は、隙間７４が全周に亘って一定値となるように保持さ
れる。これにより、振動テーブル２６のシリンダ３９
は、ガイド部３０ａの外周に対し空気軸受３２により非
接触状態のまま軸方向に摺動可能に支持される。In FIG. 4, six horizontal air supply passages 56 are arranged at intervals of 60 °. However, the present invention is not limited to this, and six or less or six or more horizontal air supply passages 56 may be provided. Of course, it may be provided. The exhaust passages 62 are formed so as to penetrate in the axial direction between the horizontal air supply passages 56 so as not to intersect with the horizontal air supply passages 56. Therefore, cylinder 3
The air pressure supplied from each of the horizontal air supply passages 56 arranged at equal intervals is evenly supplied to the minute gap 74 formed between the inner wall of the guide 9 and the outer periphery of the guide portion 30a. Therefore, the gap 74 is maintained between the guide portion 30a and the cylinder 39 so as to have a constant value over the entire circumference. Thereby, the cylinder 39 of the vibration table 26
Is axially slidably supported by an air bearing 32 on the outer periphery of the guide portion 30a in a non-contact state.
【００３６】尚、本実施の形態においては、ガイド部３
０ａの外周に空気軸受３２を形成して振動テーブル２６
のシリンダ３９を摺動可能に支持する構成を一例として
挙げたが、これに限らず、例えば円筒状のガイド部の内
周に空気軸受を形成し、その内周に振動テーブル２６の
軸を挿通して振動テーブル２６を軸方向に摺動可能に支
持する構成のものにも本発明を適用することができる。In this embodiment, the guide 3
An air bearing 32 is formed on the outer periphery of the vibration table 26a.
Although the configuration for slidably supporting the cylinder 39 has been described as an example, the invention is not limited thereto. For example, an air bearing is formed on the inner periphery of a cylindrical guide portion, and the shaft of the vibration table 26 is inserted through the inner periphery. The present invention can also be applied to a configuration in which the vibration table 26 is slidably supported in the axial direction.
【００３７】図５は水平方向空気供給通路５６の空気吹
き出し口５８に挿入される絞り７０を拡大して示す横断
面図である。図５に示されるように、空気吹き出し口５
８に挿入される絞り７０は、その軸心に微小な貫通孔か
らなるオリフィス７０ａを有する。このオリフィス７０
ａの流路面積（あるいは通路内径）によって、隙間７４
及び空気ばね室６０に供給される空気量が設定される。
そのため、試料１３の荷重あるいは振動試験の振動周波
数に応じてオリフィス７０ａの流路面積が異なる絞り７
０を選択することにより空気ばね室６０の空気ばね特性
を変更することができる。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing the throttle 70 inserted into the air outlet 58 of the horizontal air supply passage 56. As shown in FIG.
The aperture 70 inserted into the aperture 8 has an orifice 70a formed of a minute through hole at the axis thereof. This orifice 70
The gap 74 depends on the flow path area (or the passage inner diameter).
And the amount of air supplied to the air spring chamber 60 is set.
Therefore, the diaphragm 7 having a different flow path area of the orifice 70a according to the load of the sample 13 or the vibration frequency of the vibration test.
By selecting 0, the air spring characteristics of the air spring chamber 60 can be changed.
【００３８】図６は空気軸受３２の変形例を示す横断面
図である。図６に示されるように、ガイド部３０ａ及び
シリンダ３９は、横断面形状が四角形に形成されてい
る。ガイド部３０ａには、Ｘ，Ｙ方向に延在する水平方
向空気供給通路５６と、軸心を貫通する排気通路６２と
が設けられている。水平方向空気供給通路５６は、Ｘ，
Ｙ方向の水平方向空気供給通路５６が交差する箇所で軸
方向に延在された軸方向空気供給通路５４に連通される
と共に、各端部がガイド部３０ａの各辺３０ｃに開口す
る空気吹き出し口５８となる。そして、各空気吹き出し
口５８には、上記オリフィス７０ａを有する絞り７０が
挿入されている。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a modification of the air bearing 32. As shown in FIG. 6, the guide section 30a and the cylinder 39 have a rectangular cross section. The guide portion 30a is provided with a horizontal air supply passage 56 extending in the X and Y directions and an exhaust passage 62 penetrating the axis. The horizontal air supply passage 56 has X,
An air outlet that communicates with an axial air supply passage 54 that extends in the axial direction at a location where the horizontal air supply passage 56 in the Y direction intersects, and that opens at each end to each side 30c of the guide portion 30a. 58. A restrictor 70 having the orifice 70a is inserted into each air outlet 58.
【００３９】このように、ガイド部３０ａの各辺３０ｃ
とシリンダ３９の各辺３９ａとの間に形成される微小な
隙間７４には、均一な空気圧が供給されて空気軸受７６
が形成される。この空気軸受７６により振動テーブル２
６のシリンダ３９は、非接触状態のまま軸方向に摺動可
能に支持されると共に、周方向に回動することが規制さ
れ、振動方向である軸方向にのみ摺動可能に支持され
る。As described above, each side 30c of the guide portion 30a
A uniform air pressure is supplied to a minute gap 74 formed between the air bearing 76 and each side 39a of the cylinder 39 so that an air bearing 76 is provided.
Is formed. The vibration table 2 is provided by the air bearing 76.
The cylinder 39 of No. 6 is supported so as to be slidable in the axial direction in a non-contact state, is restricted from rotating in the circumferential direction, and is supported so as to be slidable only in the axial direction which is the vibration direction.
【００４０】図７は空気吹き出し口５８に挿入される絞
り７０の変形例を拡大して示す横断面図である。図７に
示されるように、上記絞り７０の代わりに空気吹き出し
口５８にオネジ７８が螺入される。このオネジ７８は、
ネジ部分７８ａの隙間がオリフィスとして機能してお
り、その先端部分にネジ部分に連通された小孔７８ｂが
斜め方向に貫通するように設けられている。従って、水
平方向空気供給通路５６に供給された圧縮空気は、小孔
７８ｂを通過してオネジ７８のネジ部分７８ａの螺旋状
の隙間に流入し、この螺旋状の隙間を通過してガイド部
３０ａとシリンダ３９との間に形成される微小な隙間７
４に供給される。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a modification of the throttle 70 inserted into the air outlet 58. As shown in FIG. 7, a male screw 78 is screwed into the air outlet 58 in place of the throttle 70. This male screw 78
The gap between the threaded portions 78a functions as an orifice, and a small hole 78b communicated with the threaded portion is provided at an end of the orifice so as to penetrate obliquely. Therefore, the compressed air supplied to the horizontal air supply passage 56 passes through the small hole 78b, flows into the spiral gap of the screw portion 78a of the male screw 78, passes through the spiral gap, and passes through the guide portion 30a. Gap 7 formed between the cylinder and the cylinder 39
4 is supplied.
【００４１】この場合、オネジ７８の外周に形成された
ネジ部分７８ａがオリフィスとなるため、加工が容易に
行なえる。図８は振動発生機１２の変形例を説明するた
めの縦断面図である。図８に示されるように、変形例と
しての振動発生機８０は、水平方向の振動を発生させる
ものであり、加振棒８２の両端近傍が空気軸受８４，８
６により摺動可能に軸承されている。加振棒８２の中央
部分には、駆動コイル支持部８８が固定されており、駆
動コイル支持部８８の外周には駆動コイル９０が取り付
けられている。In this case, since the screw portion 78a formed on the outer periphery of the male screw 78 serves as an orifice, processing can be performed easily. FIG. 8 is a longitudinal sectional view for explaining a modification of the vibration generator 12. As shown in FIG. 8, a vibration generator 80 as a modification generates vibration in the horizontal direction, and air bearings 84 and 8 are provided near both ends of a vibrating rod 82.
The bearing 6 is slidably mounted. A drive coil support 88 is fixed to the center of the vibrating rod 82, and a drive coil 90 is attached to the outer periphery of the drive coil support 88.
【００４２】また、駆動コイル９０の摺動方向（Ａ方
向）の右側外周には励磁コイル９２が配置され、駆動コ
イル９０の摺動方向（Ａ方向）の左側外周には励磁コイ
ル９４が配置されている。左側の空気軸受８４は、後部
プレート９６の内周側に固定されており、右側の空気軸
受８６は、前部プレート９８の内周側に固定されてい
る。また、後部プレート９６と前部プレート９８との間
に装架されたメインヨーク１００，１０２の内周には、
励磁コイル９２，９４が取り付けられている。An excitation coil 92 is arranged on the right outer periphery of the driving coil 90 in the sliding direction (A direction), and an excitation coil 94 is arranged on the left outer periphery of the driving coil 90 in the sliding direction (A direction). ing. The left air bearing 84 is fixed to the inner peripheral side of the rear plate 96, and the right air bearing 86 is fixed to the inner peripheral side of the front plate 98. Also, on the inner periphery of the main yokes 100 and 102 mounted between the rear plate 96 and the front plate 98,
Excitation coils 92 and 94 are attached.
【００４３】従って、励磁コイル９２，９４の磁界に対
し駆動コイル９０の磁束の方向を交番的に切り替えるこ
とにより加振棒８２は、軸方向に振動する。そして、加
振棒８２の両端は、前述した空気軸受３２，７６と同様
に加振棒８２の外周に対し空気圧層を介して摺動可能に
軸承されている。このように加振棒８２を水平方向に振
動させる構成とされた振動発生機８０においても、前述
した振動発生機１１と同様に空気軸受８４，８６により
加振棒８２を軸方向に摺動可能に軸承しているため、従
来のように長時間の振動試験を行なってもベロフラムの
破損による油漏れを生じることがなく、例え空気漏れが
生じても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑不足になるお
それもないので、耐久性を向上させることができる。ま
た、空気軸受８４，８６を用いることにより、従来のよ
うにベロフラムの破損により振動試験を中断する必要が
ないばかりかメンテナンスも容易となる。Therefore, by alternately switching the direction of the magnetic flux of the drive coil 90 with respect to the magnetic fields of the exciting coils 92 and 94, the vibrating rod 82 vibrates in the axial direction. Both ends of the vibrating rod 82 are slidably supported on the outer periphery of the vibrating rod 82 via a pneumatic layer similarly to the air bearings 32 and 76 described above. In the vibration generator 80 configured to vibrate the vibrating rod 82 in the horizontal direction as described above, the vibrating rod 82 can be slid in the axial direction by the air bearings 84 and 86 similarly to the vibration generator 11 described above. As a result, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur even if a long-term vibration test is performed as in the past. Since there is no danger, durability can be improved. Further, by using the air bearings 84 and 86, it is not necessary to interrupt the vibration test due to breakage of the belofram as in the related art, and maintenance becomes easy.
【００４４】[0044]
【発明の効果】上述の如く、上記請求項１記載の発明に
よれば、ガイド部に振動体の被ガイド部を空気圧で支持
する空気軸受けを設け、この空気軸受けに所定圧の空気
を供給するため、長時間の振動試験を行なっても従来の
ようなベロフラムの破損による油漏れを生じることがな
く、軸受の耐久性を向上させることができる。また、例
え空気漏れが生じても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑
不足になるおそれもないので、振動試験を中断する必要
がないばかりかメンテナンスも容易となる。As described above, according to the first aspect of the present invention, the guide portion is provided with an air bearing for supporting the guided portion of the vibrating body by air pressure, and air of a predetermined pressure is supplied to the air bearing. Therefore, even if the vibration test is performed for a long time, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur as in the related art, and the durability of the bearing can be improved. Further, even if an air leak occurs, there is no risk of soiling the surroundings and there is no risk of insufficient lubrication, so that it is not necessary to interrupt the vibration test and maintenance becomes easy.
【００４５】また、請求項２記載の発明によれば、空気
軸受けがガイド部の半径方向の壁部と被ガイド部との間
に空気圧を供給するため、被ガイド部の振動動作を空気
圧により安定的に保持することができる。また、請求項
３記載の発明によれば、空気軸受けがガイド部の軸方向
の端部と被ガイド部の軸方向の端部との間に形成された
空気ばね室に空気圧を供給し荷重を支えるため、振動体
の軸方向の荷重を空気ばねにより弾力的に支持すること
ができる。According to the second aspect of the present invention, since the air bearing supplies air pressure between the radial wall of the guide portion and the guided portion, the vibration operation of the guided portion is stabilized by the air pressure. It can be kept in place. According to the third aspect of the present invention, the air bearing supplies air pressure to the air spring chamber formed between the axial end of the guide portion and the axial end of the guided portion to apply a load. In order to support, the axial load of the vibrating body can be elastically supported by the air spring.
【００４６】また、請求項４記載の発明によれば、空気
軸受けが、軸方向空気供給通路に複数の水平方向空気供
給通路を介して連通された複数の空気吹き出し口がガイ
ド部の外周に開口するため、振動体の被ガイド部を全体
的に均一な空気圧で安定的に支持することができ、特に
高精度に加工された軸受け部分でのガタツキを最小に抑
えることが可能となる。According to the fourth aspect of the present invention, the air bearing has a plurality of air outlets which communicate with the axial air supply passage via the plurality of horizontal air supply passages, and are opened on the outer periphery of the guide portion. As a result, the guided portion of the vibrating body can be stably supported as a whole with a uniform air pressure, and it is possible to minimize backlash particularly at the bearing portion processed with high precision.
【図１】本発明になる振動発生機の一実施例が振動試験
機に適用された概略構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram in which an embodiment of a vibration generator according to the present invention is applied to a vibration tester.
【図２】振動発生機の構成を示す縦断面図である。FIG. 2 is a longitudinal sectional view showing a configuration of a vibration generator.
【図３】ガイド部３０及び空気軸受３２の構成を説明す
るための縦断面図である。FIG. 3 is a longitudinal sectional view for explaining a configuration of a guide portion 30 and an air bearing 32.
【図４】水平方向空気供給通路５６が形成されたガイド
部３０ａの横断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a guide section 30a in which a horizontal air supply passage 56 is formed.
【図５】水平方向空気供給通路５６の空気吹き出し口５
８に挿入される絞り７０を拡大して示す横断面図であ
る。FIG. 5 shows the air outlet 5 of the horizontal air supply passage 56.
FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view showing an aperture 70 inserted into the shutter 8;
【図６】空気軸受３２の変形例を示す横断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing a modification of the air bearing 32.
【図７】空気吹き出し口５８に挿入される絞り７０の変
形例を拡大して示す横断面図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view showing a modified example of the throttle 70 inserted into the air outlet 58.
【図８】振動発生機１２の変形例を説明するための縦断
面図である。FIG. 8 is a longitudinal sectional view for explaining a modified example of the vibration generator 12.
１１，８０ 振動試験機 １２ 振動発生機 １３ 試料 １４ 制御装置 １６ 空圧源ユニット １８ サイン制御器 ２０ 電力増幅器 ２２ 励磁電源 ２６ 振動テーブル ２８ 筒状軸 ３０ ガイド部 ３２，７６ 空気軸受 ３４ 駆動コイル ３６ 上部励磁コイル ３８ 下部励磁コイル ３９ シリンダ ４０ ホルダ部材 ４２，４４円筒部材 ５０ 支持部材 ５４ 軸方向空気供給通路 ５６ 水平方向空気供給通路 ５８ 空気吹き出し口 ６０ 空気ばね室 ６２ 排気通路 ６４ 空気供給管路 ６６ 排気管路 ６８ コンプレッサ ７０ 絞り ７２ 流量調整弁 ７４ 隙間 ８２ 加振棒 ８４，８６ 空気軸受 ８８ 駆動コイル支持部 ９０ 駆動コイル ９２，９４ 励磁コイル Reference Signs List 11,80 Vibration tester 12 Vibration generator 13 Sample 14 Control device 16 Air pressure source unit 18 Sine controller 20 Power amplifier 22 Exciting power supply 26 Vibration table 28 Cylindrical shaft 30 Guide part 32,76 Air bearing 34 Drive coil 36 Upper part Excitation coil 38 Lower excitation coil 39 Cylinder 40 Holder member 42,44 Cylindrical member 50 Support member 54 Axial air supply passage 56 Horizontal air supply passage 58 Air outlet 60 Air spring chamber 62 Exhaust passage 64 Air supply conduit 66 Exhaust pipe Path 68 Compressor 70 Throttle 72 Flow control valve 74 Gap 82 Vibration rod 84, 86 Air bearing 88 Drive coil support 90 Drive coil 92, 94 Exciting coil
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成１１年１２月１７日（１９９９．１２．
１７）[Submission date] December 17, 1999 (1999.12.
17)
【手続補正１】[Procedure amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【特許請求の範囲】[Claims]
【請求項３】 上記請求項１記載の振動発生機であっ
て、 前記空気軸受は、前記ガイド部の軸方向に延在する軸方
向空気供給通路と、一端が前記軸方向空気供給通路に連
通され他端が前記ガイド部の半径方向に延在する複数の
水平方向空気供給通路と、該水平方向空気供給通路に連
通され前記ガイド部の外周に開口する複数の空気吹き出
し口とを有することを特徴とする振動発生機。 3. The vibration generator according to claim 1, wherein the air bearing communicates with an axial air supply passage extending in an axial direction of the guide portion, and one end of the air bearing communicates with the axial air supply passage. The other end has a plurality of horizontal air supply passages extending in the radial direction of the guide portion, and a plurality of air outlets which are communicated with the horizontal air supply passage and open to the outer periphery of the guide portion. Features a vibration generator.
【手続補正２】[Procedure amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００８[Correction target item name] 0008
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は以下のような特徴を有する。上記請求項１
記載の発明は、振動を発生させる駆動源と、該駆動源に
より駆動されて振動する振動体と、該振動体を摺動可能
にガイドするガイド部とを備えた振動発生機において、
前記ガイド部に嵌合する前記振動体の被ガイド部を空気
圧により摺動自在に支持する空気軸受と、該空気軸受に
所定圧の圧縮空気を供給する空気供給手段と、前記空気
軸受に連通し、前記空気軸受から排出された圧縮空気が
貯留される空気ばね室と、該空気ばね室の空気を外部に
排気する排気通路と、前記空気ばね室の圧力が前記振動
体の荷重を支える所定圧を維持するように該排気通路か
ら排気される空気量を調整する調整手段と、を備えてな
ることを特徴とするものである。In order to solve the above problems, the present invention has the following features. Claim 1
The described invention is a vibration generator including a driving source that generates vibration, a vibrating body that is driven by the driving source and vibrates, and a guide unit that slidably guides the vibrating body.
An air bearing for slidably supported by pneumatically guided portion of the vibrating member to be fitted to the guide portion, the air bearing
Air supply means for supplying compressed air at a predetermined pressure;
The compressed air discharged from the air bearing communicates with the bearing
The stored air spring chamber and the air in the air spring chamber
The pressure of the exhaust passage and the air spring chamber is reduced by the vibration.
The exhaust passage is designed to maintain a predetermined pressure that supports the body load.
Adjusting means for adjusting the amount of air exhausted from the fuel cell .
【手続補正３】[Procedure amendment 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００９[Correction target item name] 0009
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【０００９】従って、請求項１記載の発明によれば、ガ
イド部に振動体の被ガイド部を空気圧で支持する空気軸
受を設け、この空気軸受に所定圧の圧縮空気を供給する
ため、長時間の振動試験を行なっても従来のようなベロ
フラムの破損による油漏れを生じることがなく、例え空
気漏れが生じても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑不足
になるおそれもないので、振動試験を中断する必要がな
いばかりかメンテナンスも容易となる。また、空気軸受
けがガイド部の軸方向の端部と被ガイド部の軸方向の端
部との間に形成された空気ばね室に圧縮空気を供給し荷
重を支えるため、振動体の軸方向の荷重を空気ばねによ
り弾力的に支持することができる。従って、振動体の振
動方向の荷重を空気ばね室の圧力により調整できるの
で、加振時に絶えず、該振動機の有する機械的最大振幅
で加振することができ、効率的な振動試験できる。さら
に、空気ばね室の圧力が振動体の荷重を支える所定圧を
維持するように排気通路から排気される空気量を調整す
るため、振動体の振動荷重を空気ばね室の圧力により安
定的に支えることができる。Therefore, according to the first aspect of the present invention, the guide portion is provided with an air bearing for supporting the guided portion of the vibrating body with air pressure, and compressed air of a predetermined pressure is supplied to the air bearing. Even if a vibration test is performed, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur as in the past, and even if air leakage occurs, there is no risk of contaminating the surroundings and there is no risk of insufficient lubrication. Not only does it not need to be interrupted, but also makes maintenance easier. Also air bearing
The axial end of the injured guide and the axial end of the guided part
Supply compressed air to the air spring chamber formed between
To support the weight, the axial load of the vibrating body is
It can be elastically supported. Therefore, the vibration of the vibrating body
The load in the moving direction can be adjusted by the pressure of the air spring chamber.
And the mechanical maximum amplitude of the vibrator constantly during excitation.
And vibration can be efficiently tested. Further
In addition, the pressure in the air spring chamber should
Adjust the amount of air exhausted from the exhaust passage to maintain
Therefore, the vibration load of the vibrating body is reduced by the pressure of the air spring chamber.
Can support regularly .
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１１[Correction target item name] 0011
【補正方法】削除[Correction method] Deleted
【手続補正５】[Procedure amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１２[Correction target item name] 0012
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１２】また、請求項３記載の発明は、上記請求項
１記載の振動発生機であって、前記空気軸受は、前記ガ
イド部の軸方向に延在する軸方向空気供給通路と、一端
が前記軸方向空気供給通路に連通され他端が前記ガイド
部の半径方向に延在する複数の水平方向空気供給通路
と、該水平方向空気供給通路に連通され前記ガイド部の
外周に開口する複数の空気吹き出し口とを有することを
特徴とするものである。According to a third aspect of the present invention, in the vibration generator according to the first aspect, the air bearing has an axial air supply passage extending in the axial direction of the guide portion, and one end thereof. A plurality of horizontal air supply passages that communicate with the axial air supply passage and have the other ends extending in the radial direction of the guide portion; and a plurality of horizontal air supply passages that communicate with the horizontal air supply passage and open to the outer periphery of the guide portion. An air outlet is provided.
【手続補正６】[Procedure amendment 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００１３】従って、請求項３記載の発明によれば、空
気軸受が、軸方向空気供給通路に複数の水平方向空気供
給通路を介して連通された複数の空気吹き出し口がガイ
ド部の外周に開口するため、振動体の被ガイド部を全体
的に均一な空気圧で安定的に支持することができ、特に
高精度に加工された軸受け部分でのガタツキを最小に抑
えることが可能となる。According to the third aspect of the present invention, the air bearing has a plurality of air outlets which communicate with the axial air supply passage via the plurality of horizontal air supply passages, and are opened on the outer periphery of the guide portion. As a result, the guided portion of the vibrating body can be stably supported as a whole with a uniform air pressure, and it is possible to minimize backlash particularly at the bearing portion processed with high precision.
【手続補正７】[Procedure amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４４[Correction target item name] 0044
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００４４】[0044]
【発明の効果】上述の如く、上記請求項１記載の発明に
よれば、ガイド部に振動体の被ガイド部を空気圧で支持
する空気軸受けを設け、この空気軸受けに所定圧の空気
を供給するため、長時間の振動試験を行なっても従来の
ようなベロフラムの破損による油漏れを生じることがな
く、軸受の耐久性を向上させることができる。また、例
え空気漏れが生じても周囲を汚す心配がなく、且つ潤滑
不足になるおそれもないので、振動試験を中断する必要
がないばかりかメンテナンスも容易となる。また、空気
軸受けがガイド部の軸方向の端部と被ガイド部の軸方向
の端部との間に形成された空気ばね室に圧縮空気を供給
し荷重を支えるため、振動体の軸方向の荷重を空気ばね
により弾力的に支持することができる。従って、振動体
の振動方向の荷重を空気ばね室の圧力により調整できる
ので、加振時に絶えず、該振動機の有する機械的最大振
幅で加振することができ、効率的な振動試験できる。さ
らに、空気ばね室の圧力が振動体の荷重を支える所定圧
を維持するように排気通路から排気される空気量を調整
するため、振動体の振動荷重を空気ばね室の圧力により
安定的に支えることができる。As described above, according to the first aspect of the present invention, the guide portion is provided with an air bearing for supporting the guided portion of the vibrating body by air pressure, and air of a predetermined pressure is supplied to the air bearing. Therefore, even if the vibration test is performed for a long time, oil leakage due to breakage of the belofram does not occur as in the related art, and the durability of the bearing can be improved. Further, even if an air leak occurs, there is no risk of soiling the surroundings and there is no risk of insufficient lubrication, so that it is not necessary to interrupt the vibration test and maintenance becomes easy. Also air
Bearing is axial end of guide part and axial direction of guided part
Supply compressed air to the air spring chamber formed between
To support the load, the axial load of the vibrating body is
Can be elastically supported. Therefore, the vibrating body
The load in the vibration direction can be adjusted by the pressure of the air spring chamber.
As a result, the maximum mechanical vibration of the vibrator
Vibration can be applied by width, and efficient vibration test can be performed. Sa
In addition, the pressure in the air spring chamber is
Adjust the amount of air exhausted from the exhaust passage to maintain
The vibration load of the vibrating body by the pressure of the air spring chamber.
It can be stably supported .
【手続補正８】[Procedure amendment 8]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４５[Correction target item name] 0045
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００４５】また、請求項２記載の発明によれば、空気
軸受けがガイド部の半径方向の壁部と被ガイド部との間
に空気圧を供給するため、被ガイド部の振動動作を空気
圧により安定的に保持することができる。According to the second aspect of the present invention, since the air bearing supplies air pressure between the radial wall of the guide portion and the guided portion, the vibration operation of the guided portion is stabilized by the air pressure. It can be kept in place.
【手続補正９】[Procedure amendment 9]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４６[Correction target item name] 0046
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction contents]
【００４６】また、請求項３記載の発明によれば、空気
軸受けが、軸方向空気供給通路に複数の水平方向空気供
給通路を介して連通された複数の空気吹き出し口がガイ
ド部の外周に開口するため、振動体の被ガイド部を全体
的に均一な空気圧で安定的に支持することができ、特に
高精度に加工された軸受け部分でのガタツキを最小に抑
えることが可能となる。According to the third aspect of the present invention, the air bearing has a plurality of air outlets which communicate with the axial air supply passage via the plurality of horizontal air supply passages, and are opened on the outer periphery of the guide portion. As a result, the guided portion of the vibrating body can be stably supported as a whole with a uniform air pressure, and it is possible to minimize backlash particularly at the bearing portion processed with high precision.
Claims (4)
より駆動されて振動する振動体と、該振動体を摺動可能
にガイドするガイド部とを備えた振動発生機において、 前記ガイド部に前記振動体の被ガイド部を空気圧で支持
する空気軸受を設け、 該空気軸受に所定圧の圧縮空気を供給する空気供給手段
を設けたことを特徴とする振動発生機。1. A vibration generator comprising: a driving source for generating vibration; a vibrating body driven by the driving source to vibrate; and a guide unit for slidably guiding the vibrating body. A vibration generator, further comprising: an air bearing for supporting a guided portion of the vibrating body by air pressure; and an air supply means for supplying compressed air of a predetermined pressure to the air bearing.
て、 前記空気軸受は、前記ガイド部の半径方向の壁部と前記
被ガイド部との間に圧縮空気を供給することを特徴とす
る振動発生機。2. The vibration generator according to claim 1, wherein the air bearing supplies compressed air between a radial wall portion of the guide portion and the guided portion. Vibration generator.
て、 前記空気軸受は、前記ガイド部の軸方向の端部と前記被
ガイド部の軸方向の端部との間に形成された空気ばね室
に圧縮空気を供給し荷重を支えることを特徴とする振動
発生機。3. The vibration generator according to claim 1, wherein the air bearing is formed between an axial end of the guide portion and an axial end of the guided portion. A vibration generator characterized by supplying compressed air to an air spring chamber to support a load.
て、 前記空気軸受は、前記ガイド部の軸方向に延在する軸方
向空気供給通路と、一端が前記軸方向空気供給通路に連
通され他端が前記ガイド部の半径方向に延在する複数の
水平方向空気供給通路と、該水平方向空気供給通路に連
通され前記ガイド部の外周に開口する複数の空気吹き出
し口とを有することを特徴とする振動発生機。4. The vibration generator according to claim 1, wherein the air bearing communicates with an axial air supply passage extending in an axial direction of the guide portion, and one end of the air bearing communicates with the axial air supply passage. The other end has a plurality of horizontal air supply passages extending in the radial direction of the guide portion, and a plurality of air outlets which are communicated with the horizontal air supply passage and open to the outer periphery of the guide portion. Features a vibration generator.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327204A JP3035280B1 (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Vibration generator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10327204A JP3035280B1 (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Vibration generator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3035280B1 JP3035280B1 (en) | 2000-04-24 |
| JP2000146748A true JP2000146748A (en) | 2000-05-26 |
Family
ID=18196486
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10327204A Expired - Lifetime JP3035280B1 (en) | 1998-11-17 | 1998-11-17 | Vibration generator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3035280B1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002130362A (en) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Electrokinetic type vibration suppression device for structure |
| WO2004112223A1 (en) * | 2003-06-16 | 2004-12-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Linear motor and process for manufacturing the same, linear compressor and stirling engine |
| KR100487282B1 (en) * | 2002-10-14 | 2005-05-03 | 현대모비스 주식회사 | Vibration endurance test machine having a head expender elevator |
| US7051593B2 (en) * | 2004-05-21 | 2006-05-30 | Ling Dynamic Systems, Inc. | Vibration testing apparatus and a method of vibration testing |
| JP2006207668A (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Asymmetrical fluid bearing |
| JP2017005997A (en) * | 2010-10-16 | 2017-01-05 | エムエスエム クリスタル ゲーベーエール | Electromagnetic linear actuator |
| CN106461499A (en) * | 2014-03-12 | 2017-02-22 | 斯派克塔震动科技与声学德累斯顿有限公司 | Vibration exciter having load compensation |
| CN108183023A (en) * | 2017-12-26 | 2018-06-19 | 苏州东菱振动试验仪器有限公司 | A kind of driving coil technique for coiling |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010092645A1 (en) * | 2009-02-13 | 2010-08-19 | 三菱電機株式会社 | Method and apparatus for separating plastics |
| CN105588695B (en) * | 2015-12-17 | 2018-01-30 | 苏州东菱振动试验仪器有限公司 | A kind of support meanss of jigging platform moving coil |
| CN112146881B (en) * | 2020-09-23 | 2022-09-30 | 温州大学激光与光电智能制造研究院 | Vibration deviation detection device of air bearing |
-
1998
- 1998-11-17 JP JP10327204A patent/JP3035280B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002130362A (en) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | Electrokinetic type vibration suppression device for structure |
| KR100487282B1 (en) * | 2002-10-14 | 2005-05-03 | 현대모비스 주식회사 | Vibration endurance test machine having a head expender elevator |
| WO2004112223A1 (en) * | 2003-06-16 | 2004-12-23 | Sharp Kabushiki Kaisha | Linear motor and process for manufacturing the same, linear compressor and stirling engine |
| US7051593B2 (en) * | 2004-05-21 | 2006-05-30 | Ling Dynamic Systems, Inc. | Vibration testing apparatus and a method of vibration testing |
| JP2006207668A (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | Asymmetrical fluid bearing |
| JP4484109B2 (en) * | 2005-01-27 | 2010-06-16 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | Asymmetric fluid bearing |
| JP2017005997A (en) * | 2010-10-16 | 2017-01-05 | エムエスエム クリスタル ゲーベーエール | Electromagnetic linear actuator |
| CN106461499A (en) * | 2014-03-12 | 2017-02-22 | 斯派克塔震动科技与声学德累斯顿有限公司 | Vibration exciter having load compensation |
| CN108183023A (en) * | 2017-12-26 | 2018-06-19 | 苏州东菱振动试验仪器有限公司 | A kind of driving coil technique for coiling |
| CN108183023B (en) * | 2017-12-26 | 2020-06-30 | 苏州东菱振动试验仪器有限公司 | Driving coil winding process |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3035280B1 (en) | 2000-04-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3035280B1 (en) | Vibration generator | |
| US6508614B1 (en) | Spindle device and machine tool utilizing the same | |
| US5325006A (en) | Sealed magnetic fluid bearing for polygon mirror drive motor | |
| KR101766570B1 (en) | Rolling-bearing testing device | |
| KR101920860B1 (en) | Vibration exciter having load compensation | |
| US5504381A (en) | Vibration control device for rotating machine | |
| CN103047346A (en) | Magnetic suspension zero-stiffness vibration isolator with angular decoupling function by aid of rolling joint bearing and vibration isolation system with magnetic suspension zero-stiffness vibration isolator | |
| US5142172A (en) | Rectilinear-motion driving device for voice coil motor | |
| US7412884B2 (en) | Unbalance measuring device and method for unbalance measurement | |
| WO2015080050A1 (en) | Static load holding device for electrodynamic vibration generator | |
| US20150219538A1 (en) | Test system for dynamically and/or cyclically load testing a sample | |
| US6585462B1 (en) | Device in a tool holding assembly for moving a rotatable shaft in the axial direction | |
| JP3273034B2 (en) | Vibration test equipment | |
| JP2005134332A (en) | Shape measuring apparatus | |
| KR100708925B1 (en) | Discharge-pumped excimer laser device | |
| KR20080029074A (en) | Motion controller with electric actuator for motion control of high precision equipment and motion control system using that | |
| JP4743480B2 (en) | Linear moving device and machine tool | |
| US4266287A (en) | Transducer systems with controlled damping | |
| JP2008111507A (en) | Vibration eliminating device | |
| JP2006177437A (en) | Air balance structure | |
| KR20060016216A (en) | Apparatus for suppling axial direction load of bearing tester | |
| JP3380809B2 (en) | Vibration test equipment | |
| JP7149403B1 (en) | Shaft member, air bearing mechanism, and vibration generator | |
| JPS63210414A (en) | Magnetic bearing device | |
| KR20140017888A (en) | An air bearing system |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080218 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090218 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100218 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110218 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120218 Year of fee payment: 12 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130218 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130218 Year of fee payment: 13 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140218 Year of fee payment: 14 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |