JP2000146654A - Thermal mass flowmeter - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、測温抵抗の抵抗
値変化を利用して、流体の質量流量を検出する熱式質量
流量計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thermal mass flowmeter for detecting a mass flow rate of a fluid by utilizing a change in resistance value of a resistance temperature sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】内燃機関が吸入する空気量を検出するに
は、通常熱式空気流量センサが用いられる。図４はかか
る流量センサを示す平面図である。すなわち、導電性材
料から構成される発熱抵抗２、この発熱抵抗２と隣り合
い流れに対して上流側に測温抵抗３、下流側に測温抵抗
４、発熱抵抗２の熱の影響を受けずに流体温度を測定す
る流体測温抵抗５が、シリコンまたはセラミックス等の
絶縁材料基板に形成され、流量センサチップ１を構成し
ている。発熱抵抗２は流体測温抵抗５に対し、一定の動
作温度に維持される。流体に流れが生じたとき、下流の
測温抵抗４が温められて抵抗値が変化するのを利用する
か、または発熱抵抗２の抵抗値変化にもとづき流量を検
出する。流れの方向は上流，下流の測温抵抗３，４の変
化の差から検出するようにしている。2. Description of the Related Art A thermal air flow sensor is usually used to detect the amount of air taken in by an internal combustion engine. FIG. 4 is a plan view showing such a flow sensor. That is, the heating resistor 2 made of a conductive material, the temperature measuring resistor 3 on the upstream side, the temperature measuring resistor 4 on the downstream side, and the heat of the heating resistor 2 are not affected by the flow adjacent to the heating resistor 2. A fluid temperature measuring resistor 5 for measuring a fluid temperature is formed on an insulating material substrate such as silicon or ceramics to constitute a flow sensor chip 1. The heating resistor 2 is maintained at a constant operating temperature with respect to the fluid temperature measuring resistor 5. When a flow occurs in the fluid, the flow rate is detected based on the fact that the downstream temperature measuring resistor 4 is warmed and the resistance value changes, or based on the change in the resistance value of the heating resistor 2. The direction of the flow is detected from the difference between the changes in the upstream and downstream temperature measuring resistors 3 and 4.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】かかる流量センサは、
その表面に汚れが付着すると熱容量が変化するため、応
答性の低下，精度低下などの問題がある。そのため、従
来から、（１）流体の流れがない状態のとき、発熱抵抗
に流れる電流を増大させて発熱温度を上昇させ、汚れで
ある水，油分，塵埃等を蒸発させるか、動作温度を上昇
させて塵埃の付着媒体である水，油分を蒸発させる。ま
たは、（２）汚れが流量センサの表面に付き難くなるよ
う、流量センサが設置される流通路を複雑な形状にす
る。などの対策が施されている。SUMMARY OF THE INVENTION
If dirt adheres to the surface, the heat capacity changes, which causes problems such as a decrease in responsiveness and a decrease in accuracy. Therefore, conventionally, (1) when there is no fluid flow, the current flowing through the heating resistor is increased to increase the heat generation temperature, thereby evaporating dirt such as water, oil, and dust, or increasing the operating temperature. Then, water and oil, which are the adhesion medium of the dust, are evaporated. Alternatively, (2) the flow passage in which the flow sensor is installed is formed in a complicated shape so that dirt hardly adheres to the surface of the flow sensor. And other measures have been taken.
【０００４】しかし、上記（１）の対策の結果、流量セ
ンサの発熱抵抗の寿命を低下させるという新たな問題が
発生する。また、汚れを蒸発させるために、発熱抵抗を
加熱する電流操作を実施するため、流量測定を中断する
必要がある。上記（２）の対策の結果、圧力損失が大き
くなって内燃機関に負担が掛かるだけでなく、コスト高
になるという問題がある。したがって、この発明の課題
は、簡単な構成で、流量測定を中断することなく、流量
センサの表面に汚れが付着するのを防止または除去する
ことにある。However, as a result of the above measure (1), there is a new problem that the life of the heat generating resistor of the flow sensor is shortened. In addition, it is necessary to interrupt the flow measurement in order to perform a current operation for heating the heating resistor in order to evaporate the dirt. As a result of the measure (2), there is a problem that not only the pressure loss is increased and a load is imposed on the internal combustion engine, but also the cost is increased. Accordingly, an object of the present invention is to prevent or remove dirt from adhering to the surface of a flow sensor with a simple configuration without interrupting flow measurement.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
べく、請求項１の発明では、通電されて所定温度に加熱
される発熱抵抗を有し内燃機関の空気量を検出する質量
流量センサと、超音波発生手段とを備え、この超音波発
生手段によって前記質量流量センサを超音波振動させる
ことにより、前記質量流量センサ表面の汚れの付着の防
止、または除去を行なうようにしている。上記請求項１
の発明においては、流体の流れる方向と、超音波によっ
て発生する力の向きとを互いに対向させないようにして
いる（請求項２の発明）。In order to solve such a problem, according to the first aspect of the present invention, there is provided a mass flow sensor for detecting the amount of air in an internal combustion engine having a heat generating resistor which is energized and heated to a predetermined temperature. And an ultrasonic wave generating means, and the mass flow sensor is ultrasonically vibrated by the ultrasonic wave generating means to prevent or remove adhesion of dirt on the surface of the mass flow sensor. Claim 1
In the invention, the direction in which the fluid flows and the direction of the force generated by the ultrasonic waves are not opposed to each other (the invention of claim 2).
【０００６】上記請求項１または２の発明においては、
前記超音波発生手段を、質量流量センサと一体的に、か
つ検出対象となる流体の流れを乱さないように配置する
ことができる（請求項３の発明）。上記請求項１ないし
３のいずれかの発明では、前記超音波発生手段を、バル
ク弾性波を発生するものとすることができ（請求項４の
発明）、または、前記超音波発生手段を、質量流量セン
サが設置された面に表面弾性波を発生するものとするこ
とができる（請求項５の発明）。In the invention of claim 1 or 2,
The ultrasonic generating means can be arranged integrally with the mass flow sensor and so as not to disturb the flow of the fluid to be detected (the invention of claim 3). In any one of the first to third aspects of the present invention, the ultrasonic wave generating means may generate a bulk acoustic wave (the invention of claim 4), or the ultrasonic wave generating means may generate a bulk acoustic wave. A surface acoustic wave can be generated on the surface on which the flow sensor is installed (the invention of claim 5).
【０００７】上記請求項１ないし５のいずれかの発明で
は、前記質量流量センサを一定周期、または連続して超
音波振動させ、流量検出を中断させないことができ（請
求項６の発明）、または、前記内燃機関が所定の駆動状
態になったとき、または内燃機関の変量が所定値以上に
なったとき、質量流量センサを超音波振動させることが
できる（請求項７の発明）。上記請求項７の発明にいう
前記駆動状態は、内燃機関の点火スイッチが遮断された
後、またはスターターがオフした後、若しくは内燃機関
の駆動が終了したときの少なくとも１つであることがで
き（請求項８の発明）、または、前記変量としては、内
燃機関のスタート回数または停止回数、内燃機関の運転
時間、内燃機関の回転数、自動車の走行距離のいずれか
であることができる（請求項９の発明）。According to any one of the first to fifth aspects of the present invention, the mass flow rate sensor can be ultrasonically vibrated at a constant period or continuously so that the flow rate detection is not interrupted (the invention of claim 6). The mass flow sensor can be ultrasonically vibrated when the internal combustion engine is in a predetermined driving state or when a variable of the internal combustion engine is equal to or more than a predetermined value (the invention of claim 7). The driving state according to the invention of claim 7 may be at least one of after the ignition switch of the internal combustion engine is cut off, after the starter is turned off, or when the driving of the internal combustion engine is terminated ( The invention of claim 8) or the variable may be any one of the number of times the internal combustion engine is started or stopped, the operating time of the internal combustion engine, the number of revolutions of the internal combustion engine, and the mileage of the automobile (claim) 9 invention).
【０００８】上記請求項１ないし５のいずれかの発明で
は、前記質量流量センサの汚染度を検出する汚染度検出
手段を設け、汚染度が所定値以上になったときに、質量
流量センサを超音波振動させることができる（請求項１
０の発明）。この請求項１０の発明においては、前記汚
染度検出手段は、質量流量センサにより検出される空気
流量を積分して空気量を形成する積分手段からなること
ができ（請求項１１の発明）、または、前記汚染度検出
手段は、燃料流量を検出する燃料流量検出手段と、燃料
量を形成する積分手段とからなることができる（請求項
１２の発明）。According to any one of the first to fifth aspects of the present invention, there is provided a pollution degree detecting means for detecting the pollution degree of the mass flow sensor, and when the pollution degree becomes equal to or more than a predetermined value, the mass flow sensor exceeds the predetermined value. It is possible to vibrate sound waves.
0 invention). In the tenth aspect of the present invention, the pollution degree detecting means may comprise an integrating means for integrating the air flow rate detected by the mass flow rate sensor to form an air amount (the invention of the eleventh aspect), or The pollution degree detecting means may include a fuel flow rate detecting means for detecting a fuel flow rate and an integrating means for forming a fuel amount (the invention according to claim 12).
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】図１はこの発明の第１の実施の形
態を示す断面図で、図４のＡ−Ａ断面図を示す。つま
り、平面図は図４と同じであるが、その裏面が図１に示
すように従来のものと異なっている。すなわち、流量セ
ンサチップ１の裏面（図１の右側）に、振動子電極６を
スパッタ等により形成し、その上に圧電素子７を、超音
波の周波数を高くするために例えばスパッタリングによ
り圧電薄膜として形成し、その上に振動子電極８を形成
して超音波振動子９を設け、これにより流量センサチッ
プ１を超音波振動させるようにした点が特徴である。FIG. 1 is a sectional view showing a first embodiment of the present invention, and is a sectional view taken along line AA of FIG. That is, the plan view is the same as FIG. 4, but the back surface is different from the conventional one as shown in FIG. That is, a vibrator electrode 6 is formed on the back surface (the right side in FIG. 1) of the flow sensor chip 1 by sputtering or the like, and a piezoelectric element 7 is formed thereon as a piezoelectric thin film by, for example, sputtering to increase the frequency of ultrasonic waves. It is characterized in that a transducer electrode 8 is formed thereon and an ultrasonic vibrator 9 is provided thereon, whereby the flow rate sensor chip 1 is ultrasonically vibrated.
【００１０】ところで、或る物体に超音波を放射する
と、音響パワーの放射圧ｐによる力Ｆを受けることが知
られており、この発明はこの発生力Ｆを利用して付着の
防止または除去を図るものである。まず、その原理につ
き以下に説明する。超音波の伝播方程式は、次式で表わ
される。 超音波の伝播方程式：ｕ＝Ａ・ｅｘｐ（αｘ）ｅｘｐｊ
（ωｔ−ｋｘ） ここに、Ａ：超音波振幅、ω：角振動数、ｋ＝ω／
Ｖl ：超音波の波数、Ｖl ：音速、α＝ｋ2 ・η／２ρ
Ｖl ：減衰定数、η：付着物の粘度、ρ：付着物の密度 放射圧ｐ〔Ｎ／ｍ2 〕＝１／２・ρ・ω2 ・Ａ2 単位体積当たりの発生力Ｆ〔Ｎ／ｍ3 〕＝ρ・α・ω2
・Ａ2 [0010] By the way, it is known that when an ultrasonic wave is emitted to a certain object, the object receives a force F due to the radiation pressure p of the acoustic power, and the present invention utilizes this generated force F to prevent or remove adhesion. It is intended. First, the principle will be described below. The ultrasonic wave propagation equation is represented by the following equation. Ultrasound propagation equation: u = A · exp (αx) expj
(Ωt−kx) where A: ultrasonic amplitude, ω: angular frequency, k = ω /
V l : ultrasonic wave number, V l : sound speed, α = k 2 · η / 2ρ
V l : damping constant, η: viscosity of the deposit, ρ: density of the deposit, radiation pressure p [N / m 2 ] = 1/2 · ρ · ω 2 · A 2 Force generated per unit volume F [N / m 3 ] = ρ · α · ω 2
・ A 2
【００１１】いま、具体的な例として、例えば、密度
ρ：１×１０3 〔Ｋｇ／ｍ3 〕、音速Ｖl ：１５００
〔ｍ／ｓ〕、粘度η：１．００８×１０-3〔Ｐａ・ｓ〕
の直径１０〔μｍ〕の水滴に対し、振幅Ａ：１０〔Å〕
の超音波周波数を印加したときの発生力Ｆ（Ｎ）は、図
２に示すようになる。なお、同図縦軸の発生力Ｆの１．
０Ｅ−２〜１．０Ｅ−２０は１．０×１０-2 〜１．０
×１０-20 であることを示す。つまり、図２は超音波周
波数ｆ＝１００〔ＭＨｚ〕以上になると、重力以上の力
が付着物に与えられることを示している。ただし、超音
波により発生した発生力にもとづく除去効果は、付着物
表面の状態、付着物の量，種類等によって多大な影響を
受けるので、これらを総合的に勘案して決定することが
望ましい。Now, as specific examples, for example, density ρ: 1 × 10 3 [Kg / m 3 ], sound velocity V l : 1500
[M / s], viscosity η: 1.008 × 10 −3 [Pa · s]
For a water droplet having a diameter of 10 [μm], the amplitude A: 10 [Å]
The generated force F (N) when the ultrasonic frequency is applied is as shown in FIG. It should be noted that the vertical axis of FIG.
0E- 2 to 1.0E-20 is 1.0 × 10 -2 to 1.0
× 10 -20 . In other words, FIG. 2 shows that when the ultrasonic frequency f is equal to or higher than 100 [MHz], a force higher than gravity is applied to the attached matter. However, the removal effect based on the force generated by the ultrasonic waves is greatly affected by the state of the surface of the adhered substance, the amount and type of the adhered substance, and it is desirable to determine the removal effect comprehensively.
【００１２】そして、上記超音波振動子９を励振するこ
とにより、流量センサチップ１に例えばバルク弾性波を
伝搬させることができる。この伝搬した超音波による発
生力により、測定流体中に含まれる水分，油分，塵埃な
ど、流量センサチップ１の表面に付着した物質を飛散さ
せることができる。なお、流量センサチップ１の表面
は、望ましくは疎水性，疎油性とし、付着物の付き難い
構造にする。図１の場合、超音波により発生する力の方
向は、流体の流れの方向に対して９０度であり、従って
除去した物質を流量センサチップ１に対向する対向板１
０に付着させることにより、再度流量センサチップ１の
表面に付着するのを防止することができる。また、上記
のような関係であれば、超音波振動子９が流体の流れを
乱すおそれもない。By exciting the ultrasonic vibrator 9, for example, a bulk acoustic wave can be propagated to the flow sensor chip 1. The substance generated on the surface of the flow rate sensor chip 1 such as water, oil, and dust contained in the measurement fluid can be scattered by the generated force of the propagated ultrasonic waves. The surface of the flow rate sensor chip 1 is desirably hydrophobic and oleophobic, and has a structure that is hardly adhered to. In the case of FIG. 1, the direction of the force generated by the ultrasonic waves is 90 degrees with respect to the direction of the flow of the fluid.
By attaching to 0, it is possible to prevent the attachment to the surface of the flow rate sensor chip 1 again. Further, with the above relationship, there is no possibility that the ultrasonic transducer 9 disturbs the flow of the fluid.
【００１３】ところで、流量センサチップ１に付着する
物質は微量である。そこで、超音波振動子９を常時、ま
たは一定の時間間隔で励振するようにすれば、付着物が
流量センサチップ１に付着する前に飛散除去可能とな
り、流量測定精度にも問題となるような影響を与えない
ようにすることができる。また、このような操作をして
も測温抵抗３，４，５および発熱抵抗２に流量測定以外
の電気的操作をしていないので、流量測定を中断させる
必要もない。超音波による付着物除去の操作を、内燃機
関の駆動状態や変量と連動させたり、流量センサの汚染
度と連動させることも可能である。By the way, the amount of the substance adhering to the flow sensor chip 1 is very small. Therefore, if the ultrasonic vibrator 9 is excited at all times or at a constant time interval, it becomes possible to remove the attached matter before the attached matter adheres to the flow rate sensor chip 1, and there is a problem with the flow rate measurement accuracy. Can have no effect. In addition, even if such an operation is performed, no electrical operation other than the flow measurement is performed on the temperature measuring resistors 3, 4, 5 and the heat generating resistor 2, so that there is no need to interrupt the flow measurement. It is also possible to link the operation of removing the deposits by ultrasonic waves with the driving state or the variable of the internal combustion engine, or with the degree of contamination of the flow sensor.
【００１４】図３はこの発明の第２の実施の形態を示す
構成図で、同図（ａ）は平面図、同図（ｂ）はそのＢ−
Ｂ断面図である。図示のように、流量センサチップ１の
表面側に圧電素子７をスパッタリング等によって形成
し、その上にすだれ状電極１１を形成した超音波振動子
１２を用いる点、つまり一方の面にのみ流量センサと超
音波振動子を配置した点が特徴である。なお、流量セン
サチップ１の表面を、望ましくは疎水性，疎油性とし、
付着物の付き難い構造にするのは図１の場合と同様であ
る。FIGS. 3A and 3B are configuration diagrams showing a second embodiment of the present invention. FIG. 3A is a plan view, and FIG.
It is B sectional drawing. As shown in the drawing, a flow rate sensor is provided only on one surface, in which a piezoelectric element 7 is formed on the surface side of a flow rate sensor chip 1 by sputtering or the like, and an ultrasonic vibrator 12 having an interdigital electrode 11 formed thereon is used. This is characterized in that an ultrasonic transducer is arranged. The surface of the flow sensor chip 1 is preferably made hydrophobic and oleophobic,
The structure in which the attachment is hardly attached is the same as in the case of FIG.
【００１５】このような構成において、超音波振動子１
２を励振することにより、発熱抵抗２，測温抵抗３，４
が存在する流量センサチップ１の表面に表面弾性波を伝
搬させることができる。流量センサチップ１の表面に付
着物が存在する場合、表面を伝搬する表面弾性波は付着
物に漏洩波として伝搬し、或る決まった角度に超音波に
よる力が発生し、付着物を飛散させる。超音波振動子１
２の設置位置を適宜調整することにより、超音波による
力の方向を流体の流れに対して調整し、飛散した物質が
再度流量センサチップ１の表面に付着するのを防止する
ことができる。また、その飛散する方向に図１と同様の
対向板を設けておけば、除去した物質を付着させること
ができる。なお、超音波振動子１２の厚さは十分に薄く
し、設置位置も考慮して、流体の流れを乱すことのない
ようにすることが望ましい。In such a configuration, the ultrasonic vibrator 1
2 excites to generate heat resistance 2, temperature measurement resistance 3, 4
Surface acoustic waves can be propagated to the surface of the flow sensor chip 1 in which the surface acoustic wave exists. When there is an attached matter on the surface of the flow rate sensor chip 1, the surface acoustic wave propagating on the surface propagates as a leaky wave to the attached matter, and a force by an ultrasonic wave is generated at a certain angle to scatter the attached matter. . Ultrasonic transducer 1
By appropriately adjusting the installation position of 2, the direction of the force by the ultrasonic wave can be adjusted with respect to the flow of the fluid, and the scattered substance can be prevented from adhering to the surface of the flow rate sensor chip 1 again. Also, if a facing plate similar to that of FIG. 1 is provided in the scattering direction, the removed substance can be attached. It is desirable that the thickness of the ultrasonic vibrator 12 be sufficiently thin so as not to disturb the flow of the fluid in consideration of the installation position.
【００１６】なお、図３の例においても、、超音波振動
子を常時または一定の時間間隔で励振すること、このよ
うな操作によって流量測定を中断させる必要がないこ
と、超音波による付着物除去の操作を、内燃機関の駆動
状態や変量と連動させたり、流量センサの汚染度と連動
させることが可能なのも図１の場合と同様である。ま
た、上記内燃機関の駆動状態としては、内燃機関の点火
スイッチが遮断された後、またはスターターがオフされ
た後、若しくは内燃機関の駆動が終了したときが考えら
れ、また、内燃機関の変量としては、スタート回数また
は停止回数、運転時間、回転数、自動車の走行距離など
が考えられる。Also in the example shown in FIG. 3, the ultrasonic vibrator is excited at all times or at regular time intervals, there is no need to interrupt the flow rate measurement by such an operation, and the removal of deposits by ultrasonic waves 1 can be linked with the driving state or the variable of the internal combustion engine, or linked with the degree of contamination of the flow sensor as in the case of FIG. The driving state of the internal combustion engine may be considered after the ignition switch of the internal combustion engine is shut off, after the starter is turned off, or when the driving of the internal combustion engine is terminated. The number of starts or the number of stops, the driving time, the number of revolutions, the mileage of the automobile, and the like can be considered.
【００１７】さらに、流量センサの汚染度は空気量や燃
料量から推定でき、したがって、検出された空気流量値
を利用するか、または燃料流量検出手段を設け、それぞ
れに対して空気流量または燃料流量を積算する積算手段
を設け、この積算値を所定値と比較するなどして汚染度
を測定し、所定値を越えていたら空気流量検出手段を超
音波振動させることができ、これにより付着物を除去す
ることができる。Further, the degree of contamination of the flow rate sensor can be estimated from the amount of air and the amount of fuel. Therefore, the detected air flow rate value is used, or a fuel flow rate detecting means is provided, and the air flow rate or fuel flow rate Is provided, and the degree of contamination is measured by comparing the integrated value with a predetermined value, and if it exceeds the predetermined value, the air flow rate detecting means can be ultrasonically vibrated, whereby the adhered substance can be removed. Can be removed.
【００１８】[0018]
【発明の効果】この発明によれば、下記のような効果を
期待できる。 （１）流量センサと超音波振動子を一体構造にできるの
で、構造が簡単となり低コスト化が可能となる。 （２）超音波の発振周波数は圧電素子の厚さ、または、
すだれ状電極間隔で変更でき設計が容易である。 （３）特に、請求項５の発明では、流量センサチップの
片面だけに発熱抵抗，測温抵抗および超音波振動子を形
成できることから、製造時のハンドリングが容易であ
り、低コストに製作可能である。 （４）特に、請求項５の発明では、流量センサチップの
片面にだけ電極パッドを有しており、電極取り出しが容
易である。According to the present invention, the following effects can be expected. (1) Since the flow sensor and the ultrasonic vibrator can be integrated, the structure is simple and the cost can be reduced. (2) The oscillation frequency of the ultrasonic wave depends on the thickness of the piezoelectric element or
The design is easy because the interval between the interdigital electrodes can be changed. (3) In particular, according to the fifth aspect of the present invention, since the heat generating resistor, the temperature measuring resistor and the ultrasonic vibrator can be formed only on one side of the flow sensor chip, the handling at the time of manufacturing is easy, and it can be manufactured at low cost. is there. (4) In particular, in the invention of claim 5, since the electrode pad is provided only on one surface of the flow sensor chip, the electrode can be easily taken out.
【図１】この発明の第１の実施の形態を示す断面図であ
る。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a first embodiment of the present invention.
【図２】超音波発生力および重力の周波数特性説明図で
ある。FIG. 2 is an explanatory diagram of frequency characteristics of an ultrasonic wave generating force and gravity.
【図３】この発明の第２の実施の形態を示す構成図であ
る。FIG. 3 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.
【図４】従来例を示す平面図である。FIG. 4 is a plan view showing a conventional example.
１…流量センサチップ、２…発熱抵抗、３，４，５…測
温抵抗、６，８…振動子電極、７…圧電素子、９，１２
…超音波振動子、１０…対向板、１１…すだれ状電極。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flow rate sensor chip, 2 ... Heat generation resistance, 3, 4, 5 ... Temperature measurement resistance, 6, 8 ... Vibrator electrode, 7 ... Piezoelectric element, 9, 12
... Ultrasonic vibrator, 10 ... Optical plate, 11 ... Interdigital electrodes.
Claims (12)
抗を有し内燃機関の空気量を検出する質量流量センサ
と、超音波発生手段とを備え、この超音波発生手段によ
って前記質量流量センサを超音波振動させることによ
り、前記質量流量センサ表面の汚れの付着の防止、また
は除去を行なうことを特徴とする熱式質量流量計。1. A mass flow sensor having a heat generating resistor which is energized and heated to a predetermined temperature and detects an air amount of an internal combustion engine, and an ultrasonic wave generating means, wherein said ultrasonic wave generating means makes said mass flow sensor A thermal mass flowmeter characterized by preventing or removing contamination on the surface of the mass flow sensor by ultrasonically vibrating the mass flow sensor.
生する力の向きとを互いに対向させないことを特徴とす
る請求項１に記載の熱式質量流量計。2. The thermal mass flowmeter according to claim 1, wherein the direction in which the fluid flows and the direction of the force generated by the ultrasonic waves are not opposed to each other.
と一体的に、かつ検出対象となる流体の流れを乱さない
ように配置することを特徴とする請求項１または２のい
ずれかに記載の熱式質量流量計。3. The apparatus according to claim 1, wherein the ultrasonic wave generating means is disposed integrally with the mass flow sensor and so as not to disturb the flow of the fluid to be detected. Thermal mass flowmeter.
発生するものとすることを特徴とする請求項１ないし３
のいずれかに記載の熱式質量流量計。4. The apparatus according to claim 1, wherein said ultrasonic wave generating means generates a bulk acoustic wave.
The thermal mass flowmeter according to any one of the above.
が設置された面に表面弾性波を発生するものとすること
を特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の熱式
質量流量計。5. The thermal mass flow according to claim 1, wherein said ultrasonic wave generating means generates a surface acoustic wave on a surface on which a mass flow sensor is installed. Total.
連続して超音波振動させ、流量検出を中断させないこと
を特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の熱式
質量流量計。6. The thermal mass flowmeter according to claim 1, wherein the mass flow sensor is ultrasonically vibrated at a constant period or continuously so that flow detection is not interrupted.
とき、または内燃機関の変量が所定値以上になったと
き、質量流量センサを超音波振動させることを特徴とす
る請求項１ないし５のいずれかに記載の熱式質量流量
計。7. The mass flow sensor according to claim 1, wherein said mass flow sensor is ultrasonically oscillated when said internal combustion engine is in a predetermined driving state or when a variable of said internal combustion engine is equal to or more than a predetermined value. The thermal mass flowmeter according to any one of the above.
チが遮断された後、またはスターターがオフした後、若
しくは内燃機関の駆動が終了したときの少なくとも１つ
であることを特徴とする請求項７に記載の熱式質量流量
計。8. The driving state is at least one of after an ignition switch of the internal combustion engine is turned off, after a starter is turned off, or when driving of the internal combustion engine is terminated. 7. The thermal mass flowmeter according to 7.
回数または停止回数、内燃機関の運転時間、内燃機関の
回転数、自動車の走行距離のいずれかであることを特徴
とする請求項７に記載の熱式質量流量計。9. The variable according to claim 7, wherein the variable is any one of the number of times of starting or stopping the internal combustion engine, the operating time of the internal combustion engine, the number of revolutions of the internal combustion engine, and the mileage of the automobile. Thermal mass flowmeter.
る汚染度検出手段を設け、汚染度が所定値以上になった
ときに、質量流量センサを超音波振動させることを特徴
とする請求項１ないし５のいずれかに記載の熱式質量流
量計。10. The mass flow sensor according to claim 1, further comprising: a contamination degree detecting means for detecting the degree of contamination of the mass flow sensor, wherein the mass flow sensor is ultrasonically vibrated when the degree of contamination becomes equal to or more than a predetermined value. 6. A thermal mass flowmeter according to any one of claims 1 to 5.
サにより検出される空気流量を積分して空気量を形成す
る積分手段からなることを特徴とする請求項１０に記載
の熱式質量流量計。11. The thermal mass flow meter according to claim 10, wherein said pollution degree detecting means comprises integrating means for forming an air amount by integrating an air flow rate detected by a mass flow rate sensor. .
出する燃料流量検出手段と、燃料量を形成する積分手段
とからなることを特徴とする請求項１０に記載の熱式質
量流量計。12. The thermal mass flowmeter according to claim 10, wherein said pollution degree detecting means comprises a fuel flow rate detecting means for detecting a fuel flow rate and an integrating means for forming a fuel quantity.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10323501A JP2000146654A (en) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | Thermal mass flowmeter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10323501A JP2000146654A (en) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | Thermal mass flowmeter |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000146654A true JP2000146654A (en) | 2000-05-26 |
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ID=18155406
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10323501A Pending JP2000146654A (en) | 1998-11-13 | 1998-11-13 | Thermal mass flowmeter |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000146654A (en) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1998
- 1998-11-13 JP JP10323501A patent/JP2000146654A/en active Pending
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