JP2000146521A - 距離測定装置 - Google Patents
距離測定装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速性を損なうことなく、測定対象物表面で
反射された反射光の光強度変化による測定距離精度の劣
化を防止できる距離測定装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源と、受光した光エネルギーを
光の位置と強さに応じた電気信号に変換するＣＣＤセン
サと、前記レーザ光源から照射されたレーザ光の反射光
であって、測定対象物の表面で反射された反射光を前記
ＣＣＤセンサの受光面上に光点として結像させる結像手
段とを備える距離測定装置において、ＣＣＤセンサに結
像する反射光の一部を取り出す光分離手段と、分離手段
により分離された反射光を電気信号に変換する光電変換
部と、光電変換部の出力を時間積分する積分器と、積分
器の出力が所定の閾値を越えたときに信号を出力する比
較器と、比較器からの信号に基づき、レーザ光源の発光
を停止させるレーザ光源制御手段とを備える。
反射された反射光の光強度変化による測定距離精度の劣
化を防止できる距離測定装置を提供する。 【解決手段】 レーザ光源と、受光した光エネルギーを
光の位置と強さに応じた電気信号に変換するＣＣＤセン
サと、前記レーザ光源から照射されたレーザ光の反射光
であって、測定対象物の表面で反射された反射光を前記
ＣＣＤセンサの受光面上に光点として結像させる結像手
段とを備える距離測定装置において、ＣＣＤセンサに結
像する反射光の一部を取り出す光分離手段と、分離手段
により分離された反射光を電気信号に変換する光電変換
部と、光電変換部の出力を時間積分する積分器と、積分
器の出力が所定の閾値を越えたときに信号を出力する比
較器と、比較器からの信号に基づき、レーザ光源の発光
を停止させるレーザ光源制御手段とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、距離測定装置に関
し、特に、反射光量の強さによりレーザ光源の発光を制
御するようにした距離測定装置に関する。
し、特に、反射光量の強さによりレーザ光源の発光を制
御するようにした距離測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種の製造加工装置、測定検査装置等に
組み込まれる距離測定装置（距離センサ）として、非接
触型の距離センサが知られている。非接触型の距離セン
サとしては、超音波センサ、レーザによるレンジセンサ
（レーザレンジセンサ）などがあるが、高速性や高精度
を要求される用途にはレーザレンジセンサが使用されて
いる。図７は、従来のレーザレンジセンサの基本原理を
説明するための図である。同図において、１はレーザ光
源、２はレーザ光源１から照射されたレーザ光、３は測
定対象物、７は測定対象物３の表面で反射した反射光、
８は光学部品、９は受光素子、１０は受光素子９の受光
面である。同図に示すように、従来のレーザレンジセン
サでは、レーザ光源１から照射されたレーザ光２によ
り、測定対象物３の表面に光点を生じさせ、この光点か
らの光（反射光７）を光学部品（受光レンズ）８によっ
て受光素子９の受光面１０に光点として結像させる。こ
のとき、図８に示すように、測定対象物３が近いか遠い
かによって、受光面１０上の結像位置が変化する。この
図８において、測定対象物（３ａ，３ｂ）までの距離と
結像位置の対応関係を、距離が分かっている測定対象物
で予め調べておけば、未知の距離に対して、結像位置か
らその距離を知ることができる。
組み込まれる距離測定装置（距離センサ）として、非接
触型の距離センサが知られている。非接触型の距離セン
サとしては、超音波センサ、レーザによるレンジセンサ
（レーザレンジセンサ）などがあるが、高速性や高精度
を要求される用途にはレーザレンジセンサが使用されて
いる。図７は、従来のレーザレンジセンサの基本原理を
説明するための図である。同図において、１はレーザ光
源、２はレーザ光源１から照射されたレーザ光、３は測
定対象物、７は測定対象物３の表面で反射した反射光、
８は光学部品、９は受光素子、１０は受光素子９の受光
面である。同図に示すように、従来のレーザレンジセン
サでは、レーザ光源１から照射されたレーザ光２によ
り、測定対象物３の表面に光点を生じさせ、この光点か
らの光（反射光７）を光学部品（受光レンズ）８によっ
て受光素子９の受光面１０に光点として結像させる。こ
のとき、図８に示すように、測定対象物３が近いか遠い
かによって、受光面１０上の結像位置が変化する。この
図８において、測定対象物（３ａ，３ｂ）までの距離と
結像位置の対応関係を、距離が分かっている測定対象物
で予め調べておけば、未知の距離に対して、結像位置か
らその距離を知ることができる。
【０００３】ここで、前記受光素子９は、前記受光面１
０に結像した光点位置を電気信号に変換できる素子であ
り、例えば、一次元ＣＣＤ（charge coupled device ）
や一次元ＰＳＤ（posision sensitive device ）で構成
される。今、受光素子９が一次元ＣＣＤにより構成され
ている場合は、受光面１０は直線上に配置された複数の
ピクセルからなり、それぞれのピクセルに受光した光量
を電気信号として得ることができる。したがって、電気
信号処理により、光量のピーク位置か、光量の重み付平
均位置を求めれば、光点の結像位置がどのピクセル位置
に相当しているかが分かる。また、反射光７を案内する
光学部品８としては、ミラー、プリズム、レンズ等が一
般に使用されるが、図７では、光学部品としてレンズの
みを使用したレーザレンジセンサを図示してある。な
お、レーザレンジセンサについては、例えば、特願平８
−２６２９０４号（「距離測定方法および距離測定装
置」）等に記載されている。
０に結像した光点位置を電気信号に変換できる素子であ
り、例えば、一次元ＣＣＤ（charge coupled device ）
や一次元ＰＳＤ（posision sensitive device ）で構成
される。今、受光素子９が一次元ＣＣＤにより構成され
ている場合は、受光面１０は直線上に配置された複数の
ピクセルからなり、それぞれのピクセルに受光した光量
を電気信号として得ることができる。したがって、電気
信号処理により、光量のピーク位置か、光量の重み付平
均位置を求めれば、光点の結像位置がどのピクセル位置
に相当しているかが分かる。また、反射光７を案内する
光学部品８としては、ミラー、プリズム、レンズ等が一
般に使用されるが、図７では、光学部品としてレンズの
みを使用したレーザレンジセンサを図示してある。な
お、レーザレンジセンサについては、例えば、特願平８
−２６２９０４号（「距離測定方法および距離測定装
置」）等に記載されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記したように、レー
ザレンジセンサは、レーザ光源から照射されるレーザ光
の反射光であって測定対象物表面で反射された光を、受
光素子９（例えば、一次元ＣＣＤセンサ等）で検出して
距離を測定している。しかしながら、測定対象物表面の
状態によっては、反射光の光強度が変化し、受光素子９
で検出できないほど弱くなったり、受光素子９が誤動作
するほど強くなったりするが、どちらの場合において
も、測定した距離の測定精度が著しく劣化する。反射光
の光強度変化による測定距離精度の劣化を防ぐために
は、反射光の強さをフォトダイオード等で測足して、そ
の出力が一定になるようにレーザ光源のレーザ発光量を
制御すれば良い。しかしながら、レーザレンジセンサの
レーザ光源として使用される半導体レーザ素子の性質
上、レーザ光源のレーザ発光量の高速制御は難しく、精
度を向上させるためにレーザ光源のレーザ発光量を制御
しようとすると、制御応答が遅くなってしまい、高速性
を利点とするレーザレンジセンサの特長が損なわれてし
まうという問題点があった。
ザレンジセンサは、レーザ光源から照射されるレーザ光
の反射光であって測定対象物表面で反射された光を、受
光素子９（例えば、一次元ＣＣＤセンサ等）で検出して
距離を測定している。しかしながら、測定対象物表面の
状態によっては、反射光の光強度が変化し、受光素子９
で検出できないほど弱くなったり、受光素子９が誤動作
するほど強くなったりするが、どちらの場合において
も、測定した距離の測定精度が著しく劣化する。反射光
の光強度変化による測定距離精度の劣化を防ぐために
は、反射光の強さをフォトダイオード等で測足して、そ
の出力が一定になるようにレーザ光源のレーザ発光量を
制御すれば良い。しかしながら、レーザレンジセンサの
レーザ光源として使用される半導体レーザ素子の性質
上、レーザ光源のレーザ発光量の高速制御は難しく、精
度を向上させるためにレーザ光源のレーザ発光量を制御
しようとすると、制御応答が遅くなってしまい、高速性
を利点とするレーザレンジセンサの特長が損なわれてし
まうという問題点があった。
【０００５】以下、何故、半導体レーザのレーザ発光量
の高速制御が難しいかを詳細に説明する。半導体レーザ
素子が破壊される原因は、光出力の最大定格超過であ
る。これは非常に厳密であり、一瞬でも定格を越えると
破壊あるいは性能劣化を引き起こす。一般に高速制御の
場合、ある程度のオーバーシュートやアンダーシュート
などの行き過ぎを許容して、制御目標値への高速な追従
を実現する。したがって、定格を越えるオーバーシュー
トが許されない半導体レーザー素子では、高速制御は難
しい。具体的数値を挙げると、レーザレンジセンサで
は、現在実用化されている半導体レーザ素子の制御回路
の立ち上がり時間は数十ナノ秒／ミリワット程度であ
り、２０ミリワット出力の半導体レーザ素子を用いて１
０００ナノ秒で測定を完了することもあるレーザレンジ
センサには遅すぎることが分かる。即ち、例えば、２０
ミリワット出力の半導体レーザ素子を使用し、半導体レ
ーザ素子の制御回路の立ち上がり時間が２０ナノ秒／ミ
リワットであるとすると、半導体レーザ素子の制御回路
の立ち上がり時間は４００ナノ秒となる。これは、半導
体レーザ素子のレーザ発光量が一定となる４００ナノ秒
の間、測定が実行できないことを意味し、例えば、１０
００ナノ秒の測定時間のように、高速性を利点とするレ
ーザレンジセンサの特長が損なわれてしまう。
の高速制御が難しいかを詳細に説明する。半導体レーザ
素子が破壊される原因は、光出力の最大定格超過であ
る。これは非常に厳密であり、一瞬でも定格を越えると
破壊あるいは性能劣化を引き起こす。一般に高速制御の
場合、ある程度のオーバーシュートやアンダーシュート
などの行き過ぎを許容して、制御目標値への高速な追従
を実現する。したがって、定格を越えるオーバーシュー
トが許されない半導体レーザー素子では、高速制御は難
しい。具体的数値を挙げると、レーザレンジセンサで
は、現在実用化されている半導体レーザ素子の制御回路
の立ち上がり時間は数十ナノ秒／ミリワット程度であ
り、２０ミリワット出力の半導体レーザ素子を用いて１
０００ナノ秒で測定を完了することもあるレーザレンジ
センサには遅すぎることが分かる。即ち、例えば、２０
ミリワット出力の半導体レーザ素子を使用し、半導体レ
ーザ素子の制御回路の立ち上がり時間が２０ナノ秒／ミ
リワットであるとすると、半導体レーザ素子の制御回路
の立ち上がり時間は４００ナノ秒となる。これは、半導
体レーザ素子のレーザ発光量が一定となる４００ナノ秒
の間、測定が実行できないことを意味し、例えば、１０
００ナノ秒の測定時間のように、高速性を利点とするレ
ーザレンジセンサの特長が損なわれてしまう。
【０００６】また、制御目標値として半導体レーザ素子
の最大定格まで使用せず、その半分程度までを使い、オ
ーバーシュートが最大定格を越えないようにすれば、あ
る程度の高速制御が可能となるが、反射率の異なる種々
の測定対象物に対応するため、レーザー発光量が大きい
ほど望ましいレーザレンジセンサにおいて、半導体レー
ザ素子の最大定格まで使用できないことは大きな欠点で
ある。さらに、現在の半導体レーザ技術では、可視光短
波長域でレーザレンジセンサ構成に必要な出力の素子は
実用化されたばかりであり、最大定格まで使えない制御
方式を採用することは難しい。本発明は、前記従来技術
の問題点を解決するためになされたものであり、本発明
の目的は、高速性を損なうことなく、測定対象物表面で
反射された反射光の光強度変化による測定距離精度の劣
化を防止することが可能な距離測定装置を提供すること
にある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにす
る。
の最大定格まで使用せず、その半分程度までを使い、オ
ーバーシュートが最大定格を越えないようにすれば、あ
る程度の高速制御が可能となるが、反射率の異なる種々
の測定対象物に対応するため、レーザー発光量が大きい
ほど望ましいレーザレンジセンサにおいて、半導体レー
ザ素子の最大定格まで使用できないことは大きな欠点で
ある。さらに、現在の半導体レーザ技術では、可視光短
波長域でレーザレンジセンサ構成に必要な出力の素子は
実用化されたばかりであり、最大定格まで使えない制御
方式を採用することは難しい。本発明は、前記従来技術
の問題点を解決するためになされたものであり、本発明
の目的は、高速性を損なうことなく、測定対象物表面で
反射された反射光の光強度変化による測定距離精度の劣
化を防止することが可能な距離測定装置を提供すること
にある。本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特
徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかにす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、レーザ光源と、受
光した光エネルギーを光の位置と強さに応じた電気信号
に変換するＣＣＤセンサと、前記レーザ光源から照射さ
れたレーザ光の反射光であって、測定対象物の表面で反
射された反射光を前記ＣＣＤセンサの受光面上に光点と
して結像させる結像手段とを備える距離測定装置におい
て、前記ＣＣＤセンサに結像する反射光の一部を取り出
す光分離手段と、前記分離手段により分離された反射光
を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の
出力を時間積分する積分器と、前記積分器の出力が所定
の閾値を越えたときに信号を出力する比較器と、前記比
較器からの信号に基づき、前記レーザ光源の発光を停止
させるレーザ光源制御手段とを備えることを特徴とす
る。また、本発明は、前記ＣＣＤセンサが、一次元ＣＣ
Ｄセンサであることを特徴とする。また、本発明は、前
記ＣＣＤセンサが、二次元ＣＣＤセンサであることを特
徴とする。また、本発明は、スキャナミラーを有し、前
記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走
査するレーザ光走査手段を、さらに備えることを特徴と
する。また、本発明は、第１のスキャナミラーを有し、
前記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に
走査するレーザ光走査手段と、前記第１のスキャナミラ
ーと同期して走査される第２のスキャナミラーを有し、
前記測定対象物からの反射光の進行方向を変える反射光
走査手段とを、さらに備えることを特徴とする。また、
本発明は、前記第１のスキャナミラーと前記第２のスキ
ャナミラーとは一体に構成され、また、前記レーザ光走
査手段は前記反射光走査手段を兼用、あるいは、前記反
射光走査手段は前記レーザ光走査手段を兼用することを
特徴とする。また、本発明は、第１のスキャナミラーを
有し、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸
方向に走査する第１のレーザ光走査手段と、第２のスキ
ャナミラーを有し、前記第１のレーザ光走査手段により
走査されたレーザ光を第２軸方向に走査する第２のレー
ザ光走査手段とを、さらに備えることを特徴とする。ま
た、本発明は、前記比較器の所定の閾値が、外部より変
更可能であることを特徴とする。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、レーザ光源と、受
光した光エネルギーを光の位置と強さに応じた電気信号
に変換するＣＣＤセンサと、前記レーザ光源から照射さ
れたレーザ光の反射光であって、測定対象物の表面で反
射された反射光を前記ＣＣＤセンサの受光面上に光点と
して結像させる結像手段とを備える距離測定装置におい
て、前記ＣＣＤセンサに結像する反射光の一部を取り出
す光分離手段と、前記分離手段により分離された反射光
を電気信号に変換する光電変換部と、前記光電変換部の
出力を時間積分する積分器と、前記積分器の出力が所定
の閾値を越えたときに信号を出力する比較器と、前記比
較器からの信号に基づき、前記レーザ光源の発光を停止
させるレーザ光源制御手段とを備えることを特徴とす
る。また、本発明は、前記ＣＣＤセンサが、一次元ＣＣ
Ｄセンサであることを特徴とする。また、本発明は、前
記ＣＣＤセンサが、二次元ＣＣＤセンサであることを特
徴とする。また、本発明は、スキャナミラーを有し、前
記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走
査するレーザ光走査手段を、さらに備えることを特徴と
する。また、本発明は、第１のスキャナミラーを有し、
前記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に
走査するレーザ光走査手段と、前記第１のスキャナミラ
ーと同期して走査される第２のスキャナミラーを有し、
前記測定対象物からの反射光の進行方向を変える反射光
走査手段とを、さらに備えることを特徴とする。また、
本発明は、前記第１のスキャナミラーと前記第２のスキ
ャナミラーとは一体に構成され、また、前記レーザ光走
査手段は前記反射光走査手段を兼用、あるいは、前記反
射光走査手段は前記レーザ光走査手段を兼用することを
特徴とする。また、本発明は、第１のスキャナミラーを
有し、前記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸
方向に走査する第１のレーザ光走査手段と、第２のスキ
ャナミラーを有し、前記第１のレーザ光走査手段により
走査されたレーザ光を第２軸方向に走査する第２のレー
ザ光走査手段とを、さらに備えることを特徴とする。ま
た、本発明は、前記比較器の所定の閾値が、外部より変
更可能であることを特徴とする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【０００９】なお、実施の形態を説明するための全図に
おいて、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
おいて、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
【００１０】［実施の形態１］図１は、本発明の実施の
形態１の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。同図において、１１はレーザ光源、１２はパルス幅
制御レーザ光源ドライバ、１３は比較器、１４は積分
器、１５はフォトダイオード、１６は光学部品（レン
ズ）１７はハーフミラー、１８はＣＣＤセンサ、１９は
結像位置算出手段、２０は距離算出手段、２１は測定対
象物である。本実施の形態の距離測定装置において、レ
ーザ光源１１から照射されるレーザ光２の反射光であっ
て測定対象物２１の表面で反射された反射光７は、ハー
フミラー１７により、距離測定用のＣＣＤセンサ１８
と、光量測定用のフォトダイオード１５とに分離され
る。なお、本実施の形態では、ハーフミラー１７による
分離なので、ＣＣＤセンサ１８への入射光とフォトダイ
オード１５への入射光の比は一定となる。即ち、本実施
の形態の距離測定装置では、レーザ光源１１から照射さ
れたレーザ光２により、測定対象物２１の表面に光点を
生じさせ、この光点からの反射光７の一部を光学部品
（レンズ）１６によってＣＣＤセンサ１８の受光面に光
点として結像させる。前記したように、測定対象物２１
までの距離によって、ＣＣＤセンサ１８に入光する位置
が変わるので、結像位置検出手段１９により、ＣＣＤセ
ンサ１８からの出力に対して電気信号処理を施し、光量
のピーク位置、あるいは、光量の重み付平均位置を求
め、光点の結像位置がどのピクセル位置に相当している
かを算出し、当該結像位置検出手段１９で算出された光
点の結像位置に基づき、距離算出手段２０により測定対
象物２１までの距離を測定する。なお、前記測定対象物
までの距離の測定原理については、前記特願平８−２６
２９０４号（「距離測定方法および距離測定装置」）に
記載されている。また、反射光７を案内する光学部品１
６としては、ミラー、プリズム、レンズ等が一般に使用
されるが、図１では、光学部品としてレンズのみを図示
してある。
形態１の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。同図において、１１はレーザ光源、１２はパルス幅
制御レーザ光源ドライバ、１３は比較器、１４は積分
器、１５はフォトダイオード、１６は光学部品（レン
ズ）１７はハーフミラー、１８はＣＣＤセンサ、１９は
結像位置算出手段、２０は距離算出手段、２１は測定対
象物である。本実施の形態の距離測定装置において、レ
ーザ光源１１から照射されるレーザ光２の反射光であっ
て測定対象物２１の表面で反射された反射光７は、ハー
フミラー１７により、距離測定用のＣＣＤセンサ１８
と、光量測定用のフォトダイオード１５とに分離され
る。なお、本実施の形態では、ハーフミラー１７による
分離なので、ＣＣＤセンサ１８への入射光とフォトダイ
オード１５への入射光の比は一定となる。即ち、本実施
の形態の距離測定装置では、レーザ光源１１から照射さ
れたレーザ光２により、測定対象物２１の表面に光点を
生じさせ、この光点からの反射光７の一部を光学部品
（レンズ）１６によってＣＣＤセンサ１８の受光面に光
点として結像させる。前記したように、測定対象物２１
までの距離によって、ＣＣＤセンサ１８に入光する位置
が変わるので、結像位置検出手段１９により、ＣＣＤセ
ンサ１８からの出力に対して電気信号処理を施し、光量
のピーク位置、あるいは、光量の重み付平均位置を求
め、光点の結像位置がどのピクセル位置に相当している
かを算出し、当該結像位置検出手段１９で算出された光
点の結像位置に基づき、距離算出手段２０により測定対
象物２１までの距離を測定する。なお、前記測定対象物
までの距離の測定原理については、前記特願平８−２６
２９０４号（「距離測定方法および距離測定装置」）に
記載されている。また、反射光７を案内する光学部品１
６としては、ミラー、プリズム、レンズ等が一般に使用
されるが、図１では、光学部品としてレンズのみを図示
してある。
【００１１】以下、本発明の特徴部分について説明す
る。本実施の形態の距離測定装置において、レーザ光源
１１は一定の強度で発光するが、測定対象物２１の表面
で反射された反射光７の強度は、測定対象物２１の表面
状態によって異なる。前記したように、測定対象物２１
の表面で反射された反射光７の残り（ＣＣＤセンサ１８
に入射される入射光以外の反射光）は、ハーフミラー１
７によりフォトダイオード１５に入射される。フォトダ
イオード１５は、入射される反射光の光量を電気信号へ
変換し、積分器１４に出力し、積分器１４は、フォトダ
イオード１５から出力される電気信号を積分する。比較
器１３は、積分器１４の出力（積分値）が予め定めた目
標値（閾値；Ｖｈ）になると、それを検出して、レーザ
光源ドライバ１２の発光を停止させる。これにより、本
実施の形態の距離測定装置では、測定対象物２１の表面
で反射された反射光７の強弱に関わらず一定の受光量
（受光強度×時間）が距離測定用のＣＣＤセンサ１８に
入射される。
る。本実施の形態の距離測定装置において、レーザ光源
１１は一定の強度で発光するが、測定対象物２１の表面
で反射された反射光７の強度は、測定対象物２１の表面
状態によって異なる。前記したように、測定対象物２１
の表面で反射された反射光７の残り（ＣＣＤセンサ１８
に入射される入射光以外の反射光）は、ハーフミラー１
７によりフォトダイオード１５に入射される。フォトダ
イオード１５は、入射される反射光の光量を電気信号へ
変換し、積分器１４に出力し、積分器１４は、フォトダ
イオード１５から出力される電気信号を積分する。比較
器１３は、積分器１４の出力（積分値）が予め定めた目
標値（閾値；Ｖｈ）になると、それを検出して、レーザ
光源ドライバ１２の発光を停止させる。これにより、本
実施の形態の距離測定装置では、測定対象物２１の表面
で反射された反射光７の強弱に関わらず一定の受光量
（受光強度×時間）が距離測定用のＣＣＤセンサ１８に
入射される。
【００１２】図２は、本実施の形態の距離測定装置にお
いて、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強
弱に関わらず、一定の受光量（受光強度×時間）がＣＣ
Ｄセンサ１８に入射されることを説明するための図であ
り、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強度
が大きい場合と、小さい場合とにおいて、図１に示す各
部の出力を示す図である。図２に示すように、測定対象
物２１の表面で反射された反射光７の強度が大きい場合
は、フォトダイオード１５の出力が大きく、積分器１４
の出力が予め定めた目標値（Ｖｈ）に到達する時間が短
く、早くレーザ光源１１のレーザ発光が停止する。逆
に、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強度
が小さい場合は、フォトダイオード１５の出力が小さ
く、積分器１４の出力が予め定めた目標値（Ｖｈ）に到
達する時間が長くなるので、レーザ光源１１のレーザ発
光が停止するまでの時間が長くなる。これにより、図２
に示すように、ＣＣＤセンサ１８の受光量（受光強度×
時間）は常に一定に制御される。この場合に、比較器１
３の目標値（Ｖｈ）を外部から調整可能とすることによ
り、ＣＣＤセンサ１８の受光量（受光強度×時間）を任
意の値に設定することが可能となる。このように、本実
施の形態の距離測定装置では、ＣＣＤセンサ１８が時間
積分型の受光素子である性質を利用して、レーザ光源１
１の発光量制御を、レーザ光源１１の点灯時間幅で制御
し、即ち、高速スイッチングしても半導体レーザ素子を
破壊することのない消灯時のタイミングを変えることに
より行なうようにしたので、高速性を損なうことなく、
測定対象物２１の表面で反射された反射光７の光強度変
化による測定距離精度の劣化を防止することが可能とな
る。これにより、反射率の異なる種々の対象物までの距
離を、高速かつ高精度に測定することが可能となる。
いて、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強
弱に関わらず、一定の受光量（受光強度×時間）がＣＣ
Ｄセンサ１８に入射されることを説明するための図であ
り、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強度
が大きい場合と、小さい場合とにおいて、図１に示す各
部の出力を示す図である。図２に示すように、測定対象
物２１の表面で反射された反射光７の強度が大きい場合
は、フォトダイオード１５の出力が大きく、積分器１４
の出力が予め定めた目標値（Ｖｈ）に到達する時間が短
く、早くレーザ光源１１のレーザ発光が停止する。逆
に、測定対象物２１の表面で反射された反射光７の強度
が小さい場合は、フォトダイオード１５の出力が小さ
く、積分器１４の出力が予め定めた目標値（Ｖｈ）に到
達する時間が長くなるので、レーザ光源１１のレーザ発
光が停止するまでの時間が長くなる。これにより、図２
に示すように、ＣＣＤセンサ１８の受光量（受光強度×
時間）は常に一定に制御される。この場合に、比較器１
３の目標値（Ｖｈ）を外部から調整可能とすることによ
り、ＣＣＤセンサ１８の受光量（受光強度×時間）を任
意の値に設定することが可能となる。このように、本実
施の形態の距離測定装置では、ＣＣＤセンサ１８が時間
積分型の受光素子である性質を利用して、レーザ光源１
１の発光量制御を、レーザ光源１１の点灯時間幅で制御
し、即ち、高速スイッチングしても半導体レーザ素子を
破壊することのない消灯時のタイミングを変えることに
より行なうようにしたので、高速性を損なうことなく、
測定対象物２１の表面で反射された反射光７の光強度変
化による測定距離精度の劣化を防止することが可能とな
る。これにより、反射率の異なる種々の対象物までの距
離を、高速かつ高精度に測定することが可能となる。
【００１３】［実施の形態２］図３は、本発明の実施の
形態２の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。本実施の形態の距離測定装置は、投光側に、レーザ
光走査手段を構成するスキャナミラー（回転ミラー）３
０を付加し、当該スキャナミラー３０により、レーザ光
源１１から照射されたレーザ光２を任意の１軸方向に走
査するようにした点で、前記実施の形態１の距離測定装
置と相違する。本実施の形態の距離測定装置によれば、
レーザ光走査手段のスキャナミラー３０により、レーザ
光源１１から照射されたレーザ光２を任意の１軸方向に
走査するようにしたので、測定対象物２１の複数箇所の
距離測定が可能となる。
形態２の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。本実施の形態の距離測定装置は、投光側に、レーザ
光走査手段を構成するスキャナミラー（回転ミラー）３
０を付加し、当該スキャナミラー３０により、レーザ光
源１１から照射されたレーザ光２を任意の１軸方向に走
査するようにした点で、前記実施の形態１の距離測定装
置と相違する。本実施の形態の距離測定装置によれば、
レーザ光走査手段のスキャナミラー３０により、レーザ
光源１１から照射されたレーザ光２を任意の１軸方向に
走査するようにしたので、測定対象物２１の複数箇所の
距離測定が可能となる。
【００１４】［実施の形態３］図４は、本発明の実施の
形態３の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。本実施の形態の距離測定装置は、投光側および受光
側共通に、レーザ光走査手段および反射光走査手段を構
成するスキャナミラー４０を付加し、当該スキャナミラ
ー４０により、レーザ光源１１から照射されたレーザ光
２を任意の１軸方向に走査するとともに、測定対象物２
１の表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査するよ
うにした点で、前記実施の形態１の距離測定装置と相違
する。本実施の形態の距離測定装置においても、前記実
施の形態２と同様、測定対象物２１の複数簡所の距離測
定が可能である。しかしながら、本実施の形態の距離測
定装置では、投光側および受光側共通に付加したスキャ
ナミラー４０により、レーザ光源１１から照射されたレ
ーザ光２を任意の１軸方向に走査するとともに、測定対
象物２１の表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査
するようにしたので、本実施の形態の距離測定装置の光
学系は、例えば、前記実施の形態１の距離測定装置の光
学系のように、走査（又は偏光）機構のない光学系と等
価となる。これにより、本実施の形態の距離測定装置で
は、スキャナミラー４０の影響を考慮する必要がないの
で、距離算出手段２０で測定対象物２１までの距離を算
出する際の距離算出演算処理が簡単となる。 ［実施の形態４］図５は、本発明の実施の形態４の距離
測定装置の概略構成を示すブロック図である。本実施の
形態の距離測定装置は、投光側に、レーザ光走査手段を
構成するスキャナミラー５０を付加し、当該スキャナミ
ラー５０により、レーザ光源１１から照射されたレーザ
光２を任意の１軸方向に走査するとともに、受光側に、
反射光走査手段を構成するスキャナミラー４０を付加
し、当該スキャナミラー４０により、測定対象物２１の
表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査するように
した点で、前記実施の形態３の距離測定装置と相違す
る。なお、レーザ光走査手段を構成するスキャナミラー
５０と、反射光走査手段を構成するスキャナミラー４０
とは、同期して制御される。本実施の形態の距離測定装
置でも、スキャナミラー（４０，５０）の影響を考慮す
る必要がないので、距離算出手段２０で測定対象物２１
までの距離を算出する際の距離算出演算処理が簡単とな
る。
形態３の距離測定装置の概略構成を示すブロック図であ
る。本実施の形態の距離測定装置は、投光側および受光
側共通に、レーザ光走査手段および反射光走査手段を構
成するスキャナミラー４０を付加し、当該スキャナミラ
ー４０により、レーザ光源１１から照射されたレーザ光
２を任意の１軸方向に走査するとともに、測定対象物２
１の表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査するよ
うにした点で、前記実施の形態１の距離測定装置と相違
する。本実施の形態の距離測定装置においても、前記実
施の形態２と同様、測定対象物２１の複数簡所の距離測
定が可能である。しかしながら、本実施の形態の距離測
定装置では、投光側および受光側共通に付加したスキャ
ナミラー４０により、レーザ光源１１から照射されたレ
ーザ光２を任意の１軸方向に走査するとともに、測定対
象物２１の表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査
するようにしたので、本実施の形態の距離測定装置の光
学系は、例えば、前記実施の形態１の距離測定装置の光
学系のように、走査（又は偏光）機構のない光学系と等
価となる。これにより、本実施の形態の距離測定装置で
は、スキャナミラー４０の影響を考慮する必要がないの
で、距離算出手段２０で測定対象物２１までの距離を算
出する際の距離算出演算処理が簡単となる。 ［実施の形態４］図５は、本発明の実施の形態４の距離
測定装置の概略構成を示すブロック図である。本実施の
形態の距離測定装置は、投光側に、レーザ光走査手段を
構成するスキャナミラー５０を付加し、当該スキャナミ
ラー５０により、レーザ光源１１から照射されたレーザ
光２を任意の１軸方向に走査するとともに、受光側に、
反射光走査手段を構成するスキャナミラー４０を付加
し、当該スキャナミラー４０により、測定対象物２１の
表面からの反射光７を任意の１軸方向に走査するように
した点で、前記実施の形態３の距離測定装置と相違す
る。なお、レーザ光走査手段を構成するスキャナミラー
５０と、反射光走査手段を構成するスキャナミラー４０
とは、同期して制御される。本実施の形態の距離測定装
置でも、スキャナミラー（４０，５０）の影響を考慮す
る必要がないので、距離算出手段２０で測定対象物２１
までの距離を算出する際の距離算出演算処理が簡単とな
る。
【００１５】［実施の形態５］図６は、本発明の実施の
形態５の距離測定装置の概略構成を示す図である。本実
施の形態の距離測定装置は、投光側に、第１のレーザ走
査手段を構成する第１のスキャナミラー３２と、第２の
レーザ走査手段を構成する第２のスキャナミラー３１と
を付加し、また、受光側には、２次元のＣＣＤセンサ２
２を設置した点で、前記実施の形態１の距離測定装置を
相違する。本実施の形態の距離測定装置では、第１のレ
ーザ走査手段を構成する第１のスキャナミラー３２と、
第２のレーザ走査手段を構成する第２のスキャナミラー
３１を制御して、レーザ光源１１から照射されたレーザ
光２をＸ軸方向、およびＹ軸方向に走査することによ
り、測定対象物２１の２次元の領域の距離を測定するこ
とが可能となる。以上、本発明者によってなされた発明
を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発
明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は勿論である。
形態５の距離測定装置の概略構成を示す図である。本実
施の形態の距離測定装置は、投光側に、第１のレーザ走
査手段を構成する第１のスキャナミラー３２と、第２の
レーザ走査手段を構成する第２のスキャナミラー３１と
を付加し、また、受光側には、２次元のＣＣＤセンサ２
２を設置した点で、前記実施の形態１の距離測定装置を
相違する。本実施の形態の距離測定装置では、第１のレ
ーザ走査手段を構成する第１のスキャナミラー３２と、
第２のレーザ走査手段を構成する第２のスキャナミラー
３１を制御して、レーザ光源１１から照射されたレーザ
光２をＸ軸方向、およびＹ軸方向に走査することによ
り、測定対象物２１の２次元の領域の距離を測定するこ
とが可能となる。以上、本発明者によってなされた発明
を、前記実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発
明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その
要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であること
は勿論である。
【００１６】
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）本発明によれば、測定対象物の表面で反射された
反射光の強度に関わらず、距離測定用のＣＣＤセンサに
は一定の光量が入射されるようにしたので、測定対象物
表面で反射された反射光の光強度変化による測定距離精
度の劣化を防止することが可能となる。 （２）本発明によれば、反射率の異なる種々の対象物ま
での距離を、高速かつ高精度に測定することが可能とな
る。
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記の通りである。 （１）本発明によれば、測定対象物の表面で反射された
反射光の強度に関わらず、距離測定用のＣＣＤセンサに
は一定の光量が入射されるようにしたので、測定対象物
表面で反射された反射光の光強度変化による測定距離精
度の劣化を防止することが可能となる。 （２）本発明によれば、反射率の異なる種々の対象物ま
での距離を、高速かつ高精度に測定することが可能とな
る。
【図１】本発明の実施の形態１の距離測定装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施の形態１の距離測定装置におい
て、測定対象物表面で反射された反射光の強弱に関わら
ず、一定の受光量がＣＣＤセンサに入射されることを説
明するための図である。
て、測定対象物表面で反射された反射光の強弱に関わら
ず、一定の受光量がＣＣＤセンサに入射されることを説
明するための図である。
【図３】本発明の実施の形態２の距離測定装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図４】本発明の実施の形態３の距離測定装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施の形態４の距離測定装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図６】本発明の実施の形態５の距離測定装置の概略構
成を示すブロック図である。
成を示すブロック図である。
【図７】従来のレーザレンジセンサの基本原理を説明す
るための図である。
るための図である。
【図８】従来のレーザレンジセンサの距離測定の原理を
説明するための図である。
説明するための図である。
１，１１…レーザ光源、２…レーザ光、３，３ａ，３
ｂ，２１…測定対象物、７…反射光、８，１６…光学部
品、９…受光素子、１０…受光素子９の受光面、１２…
パルス幅制御レーザ光源ドライバ、１３…比較器、１４
…積分器、１５…フォトダイオード、１７…ハーフミラ
ー、１８，２２…ＣＣＤセンサ、１９…結像位置算出手
段、２０…距離算出手段、３０，３１，３２，４０，５
０…スキャナミラー。
ｂ，２１…測定対象物、７…反射光、８，１６…光学部
品、９…受光素子、１０…受光素子９の受光面、１２…
パルス幅制御レーザ光源ドライバ、１３…比較器、１４
…積分器、１５…フォトダイオード、１７…ハーフミラ
ー、１８，２２…ＣＣＤセンサ、１９…結像位置算出手
段、２０…距離算出手段、３０，３１，３２，４０，５
０…スキャナミラー。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１１年８月２６日（１９９９．８．２
６）
６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００７】
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、測定対象物にレー
ザ光を照射するレーザ光源と、受光した光エネルギーを
光の位置と強さに応じた電気信号に変換するＣＣＤセン
サと、前記レーザ光源から照射されたレーザ光の反射光
であって、前記測定対象物の表面で反射された反射光を
前記ＣＣＤセンサの受光面上に光点として結像させる結
像手段とを備える距離測定装置において、前記ＣＣＤセ
ンサに結像する反射光の一部を取り出す光分離手段と、
前記分離手段により分離された反射光を電気信号に変換
する光電変換部と、前記光電変換部の出力を時間積分す
る積分器と、前記積分器の出力が所定の閾値を越えたと
きに信号を出力する比較器と、前記比較器からの信号に
基づき、前記レーザ光源の発光を停止させるレーザ光源
制御手段とを備えることを特徴とする。また、本発明
は、前記ＣＣＤセンサが、一次元ＣＣＤセンサであるこ
とを特徴とする。また、本発明は、前記ＣＣＤセンサ
が、二次元ＣＣＤセンサであることを特徴とする。ま
た、本発明は、スキャナミラーを有し、前記レーザ光源
から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査するレーザ
光走査手段を、さらに備えることを特徴とする。また、
本発明は、第１のスキャナミラーを有し、前記レーザ光
源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査するレー
ザ光走査手段と、前記第１のスキャナミラーと同期して
走査される第２のスキャナミラーを有し、前記測定対象
物からの反射光の進行方向を変える反射光走査手段と
を、さらに備えることを特徴とする。また、本発明は、
前記第１のスキャナミラーと前記第２のスキャナミラー
とは一体に構成され、また、前記レーザ光走査手段は前
記反射光走査手段を兼用、あるいは、前記反射光走査手
段は前記レーザ光走査手段を兼用することを特徴とす
る。また、本発明は、第１のスキャナミラーを有し、前
記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走
査する第１のレーザ光走査手段と、第２のスキャナミラ
ーを有し、前記第１のレーザ光走査手段により走査され
たレーザ光を第２軸方向に走査する第２のレーザ光走査
手段とを、さらに備えることを特徴とする。また、本発
明は、前記比較器の所定の閾値が、外部より変更可能で
あることを特徴とする。
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記の通りである。即ち、本発明は、測定対象物にレー
ザ光を照射するレーザ光源と、受光した光エネルギーを
光の位置と強さに応じた電気信号に変換するＣＣＤセン
サと、前記レーザ光源から照射されたレーザ光の反射光
であって、前記測定対象物の表面で反射された反射光を
前記ＣＣＤセンサの受光面上に光点として結像させる結
像手段とを備える距離測定装置において、前記ＣＣＤセ
ンサに結像する反射光の一部を取り出す光分離手段と、
前記分離手段により分離された反射光を電気信号に変換
する光電変換部と、前記光電変換部の出力を時間積分す
る積分器と、前記積分器の出力が所定の閾値を越えたと
きに信号を出力する比較器と、前記比較器からの信号に
基づき、前記レーザ光源の発光を停止させるレーザ光源
制御手段とを備えることを特徴とする。また、本発明
は、前記ＣＣＤセンサが、一次元ＣＣＤセンサであるこ
とを特徴とする。また、本発明は、前記ＣＣＤセンサ
が、二次元ＣＣＤセンサであることを特徴とする。ま
た、本発明は、スキャナミラーを有し、前記レーザ光源
から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査するレーザ
光走査手段を、さらに備えることを特徴とする。また、
本発明は、第１のスキャナミラーを有し、前記レーザ光
源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査するレー
ザ光走査手段と、前記第１のスキャナミラーと同期して
走査される第２のスキャナミラーを有し、前記測定対象
物からの反射光の進行方向を変える反射光走査手段と
を、さらに備えることを特徴とする。また、本発明は、
前記第１のスキャナミラーと前記第２のスキャナミラー
とは一体に構成され、また、前記レーザ光走査手段は前
記反射光走査手段を兼用、あるいは、前記反射光走査手
段は前記レーザ光走査手段を兼用することを特徴とす
る。また、本発明は、第１のスキャナミラーを有し、前
記レーザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走
査する第１のレーザ光走査手段と、第２のスキャナミラ
ーを有し、前記第１のレーザ光走査手段により走査され
たレーザ光を第２軸方向に走査する第２のレーザ光走査
手段とを、さらに備えることを特徴とする。また、本発
明は、前記比較器の所定の閾値が、外部より変更可能で
あることを特徴とする。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA06 DD06 FF01 GG06 JJ02 JJ03 JJ25 JJ26 LL13 LL46 MM16 NN02 NN19 PP22 QQ14 UU01 UU06 2F112 AA01 BA05 CA12 DA09 DA15 EA09
Claims (8)
- 【請求項１】 レーザ光源と、 受光した光エネルギーを光の位置と強さに応じた電気信
号に変換するＣＣＤセンサと、 前記レーザ光源から照射されたレーザ光の反射光であっ
て、測定対象物の表面で反射された反射光を前記ＣＣＤ
センサの受光面上に光点として結像させる結像手段とを
備える距離測定装置において、 前記ＣＣＤセンサに結像する反射光の一部を取り出す光
分離手段と、 前記分離手段により分離された反射光を電気信号に変換
する光電変換部と、 前記光電変換部の出力を時間積分する積分器と、 前記積分器の出力が所定の閾値を越えたときに信号を出
力する比較器と、 前記比較器からの信号に基づき、前記レーザ光源の発光
を停止させるレーザ光源制御手段とを備えることを特徴
とする距離測定装置。 - 【請求項２】 前記ＣＣＤセンサは、一次元ＣＣＤセン
サであることを特徴とする請求項１に記載の距離測定装
置。 - 【請求項３】 前記ＣＣＤセンサは、二次元ＣＣＤセン
サであることを特徴とする請求項１に記載の距離測定装
置。 - 【請求項４】 スキャナミラーを有し、前記レーザ光源
から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査するレーザ
光走査手段を、さらに備えることを特徴とする請求項１
ないし請求項３に記載の距離測定装置。 - 【請求項５】 第１のスキャナミラーを有し、前記レー
ザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査する
レーザ光走査手段と、 前記第１のスキャナミラーと同期して走査される第２の
スキャナミラーを有し、前記測定対象物からの反射光の
進行方向を変える反射光走査手段とを、さらに備えるこ
とを特徴とする請求項１ないし請求項３に記載の距離測
定装置。 - 【請求項６】 前記第１のスキャナミラーと前記第２の
スキャナミラーとは一体に構成され、また、前記レーザ
光走査手段は前記反射光走査手段を兼用、あるいは、前
記反射光走査手段は前記レーザ光走査手段を兼用するこ
とを特徴とする請求項５に記載の距離測定装置。 - 【請求項７】 第１のスキャナミラーを有し、前記レー
ザ光源から照射されるレーザ光を第１軸方向に走査する
第１のレーザ光走査手段と、 第２のスキャナミラーを有し、前記第１のレーザ光走査
手段により走査されたレーザ光を第２軸方向に走査する
第２のレーザ光走査手段とを、さらに備えることを特徴
とする請求項３に記載の距離測定装置。 - 【請求項８】 前記比較器の所定の閾値は、外部より変
更可能であることを特徴とする請求項１ないし請求項７
のいずれか１項に記載の距離測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31269298A JP2989593B1 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 距離測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31269298A JP2989593B1 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 距離測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2989593B1 JP2989593B1 (ja) | 1999-12-13 |
| JP2000146521A true JP2000146521A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18032289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31269298A Expired - Fee Related JP2989593B1 (ja) | 1998-11-04 | 1998-11-04 | 距離測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989593B1 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007322177A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ光照射測定装置 |
| JP2008505696A (ja) * | 2004-07-09 | 2008-02-28 | ヴィスクス インコーポレイテッド | 走査レーザー眼手術装置用のレーザーパルス位置モニター |
| JP2016057066A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | パイオニア株式会社 | 判定装置、走行レーン判定方法、及び、走行レーン判定プログラム |
| JP2016205884A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| KR20210017311A (ko) * | 2019-08-07 | 2021-02-17 | 박원일 | 실시간으로 모니터링되는 저장 탱크 적재물 부피 측정장치 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001249019A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 距離測定装置 |
-
1998
- 1998-11-04 JP JP31269298A patent/JP2989593B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008505696A (ja) * | 2004-07-09 | 2008-02-28 | ヴィスクス インコーポレイテッド | 走査レーザー眼手術装置用のレーザーパルス位置モニター |
| JP2007322177A (ja) * | 2006-05-30 | 2007-12-13 | Pulstec Industrial Co Ltd | レーザ光照射測定装置 |
| JP2016057066A (ja) * | 2014-09-05 | 2016-04-21 | パイオニア株式会社 | 判定装置、走行レーン判定方法、及び、走行レーン判定プログラム |
| JP2016205884A (ja) * | 2015-04-17 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | レーザレーダ装置 |
| KR20210017311A (ko) * | 2019-08-07 | 2021-02-17 | 박원일 | 실시간으로 모니터링되는 저장 탱크 적재물 부피 측정장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989593B1 (ja) | 1999-12-13 |
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