JP2000137441A - Electromagnetic wave shielding material - Google Patents

Electromagnetic wave shielding material

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JP2000137441A
JP2000137441A JP31255498A JP31255498A JP2000137441A JP 2000137441 A JP2000137441 A JP 2000137441A JP 31255498 A JP31255498 A JP 31255498A JP 31255498 A JP31255498 A JP 31255498A JP 2000137441 A JP2000137441 A JP 2000137441A
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善行 厚地
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正義 島村
Tomokazu Matono
友和 的野
Ryohei Okamoto
良平 岡本
Kojiro Maeda
幸次郎 前田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromagnetic wave shielding material having excellent visibility. SOLUTION: This is an optical filter with an electromagnetic wave shield provided, on a transparent substrate 1, with a metallic pattern layer 2 having a grating pattern part 3 formed in a grating and a grounding part 4 made of a metallic member formed on at least one of the peripheral sides of the grating pattern part 3, and it is possible to easily deaerate bubbles generated at the time of laminating a transparent film on the metallic pattern layer by forming an opening area of the grating in contact with the grounding part 4 of the grating pattern part 3 so that the area is larger than the grating area not in contact with the grounding part 4.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、良好な視認性を有
する電磁波シールド材に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electromagnetic shielding material having good visibility.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、映像表示装置に使用されるガ
ス放電表示パネル、例えば、PDP(プラズマディスプ
レイパネル)などにより放電される電磁波の外部への漏
洩防止対策として、図9に示されるように、透明基材1
0上に格子状に形成された格子パターン部11と、格子
パターン部11の外周に形成された金属部材からなるア
ース部12とを有する金属パターン層を設けて、PDP
の前面に配置する方法が取られている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a measure for preventing electromagnetic waves discharged from a gas discharge display panel used in an image display device, for example, a PDP (plasma display panel), from leaking to the outside, as shown in FIG. , Transparent substrate 1
PDP is provided with a metal pattern layer having a grid pattern portion 11 formed in a grid shape on the first metal plate 0 and an earth portion 12 made of a metal member formed on the outer periphery of the grid pattern portion 11.
The method of arranging in front of is taken.

【0003】しかしながら、この金属パターン層を形成
した電磁波シールド材をPDPなどの表示画面の前面に
設けると、PDPより放出される光及び外光の電磁波シ
ールド材での反射量が増加し、画面の視認性が低下する
といった問題が発生する。そこで、この不具合を防止す
るために、屈折率の異なる光学的薄膜を透明基材上に反
射防止層を形成して、画面の視認性の低下を防止してい
る。その他に、PDPから発生し、リモートコントロー
ラ等の誤動作を引き起こす近赤外線を除去するための近
赤外線吸収層、ニュートンリングの発生により視認性が
低下するのを防止するアンチグレア(AG)層等も必要
となる。
However, when the electromagnetic wave shielding material having the metal pattern layer is provided on the front surface of a display screen such as a PDP, the amount of light emitted from the PDP and the external light reflected by the electromagnetic wave shielding material increases, and the screen is screened. The problem that visibility deteriorates arises. Therefore, in order to prevent this inconvenience, an optical thin film having a different refractive index is formed on a transparent substrate with an antireflection layer to prevent the visibility of the screen from being lowered. In addition, a near-infrared absorbing layer for removing near-infrared rays generated from the PDP and causing malfunction of the remote controller and the like, and an anti-glare (AG) layer for preventing visibility from being degraded due to generation of Newton rings are also required. Become.

【0004】層の形成方法には、反射防止剤を基板上に
塗布する方法と、フィルムを張り付ける方法とがある
が、塗りムラがない、上述した反射防止機能、近赤外線
吸収機能、AG機能を付加しやすい、厚みの調整が可能
等の理由からフィルムを張り付ける方法が好ましい。た
だし、アース部は金属表面を露出させる必要があるため
格子パターン部上にラミネートする。
There are two methods of forming a layer: a method of applying an anti-reflection agent on a substrate and a method of attaching a film. The above-described anti-reflection function, near-infrared absorption function, and AG function have no coating unevenness. Is preferred because a film can be easily added and the thickness can be adjusted. However, since the ground portion needs to expose the metal surface, it is laminated on the lattice pattern portion.

【0005】しかしながら、電磁波シールド材の格子パ
ターン部上にフィルムをラミネートすると、金属パター
ン層により生じる透明基材との凹凸により、図10に示
されるように金属パターン層とフィルム層との間に気泡
が残留するといった問題が起こる。金属パターン層とフ
ィルム層との間に気泡が存在すると、画面の視認性を低
下させるといった不具合を生じる。
However, when a film is laminated on the grid pattern portion of the electromagnetic wave shielding material, air bubbles are generated between the metal pattern layer and the film layer as shown in FIG. There is a problem that remains. The presence of air bubbles between the metal pattern layer and the film layer causes a problem of lowering the visibility of the screen.

【0006】そこで、金属パターン層上にフィルムをラ
ミネートした電磁波シールド材に加圧処理を施し、金属
パターン層内部に混入した気泡を脱気していた。
Therefore, an electromagnetic wave shielding material in which a film is laminated on a metal pattern layer is subjected to a pressure treatment to remove air bubbles mixed in the metal pattern layer.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た金属パターン層上のみにフィルムをラミネートする
と、透明基材とフィルム層との熱伸縮率が異なるため、
熱、湿度等によるフィルムの伸縮に伴い、フィルムの端
に接している金属パターン層に断線が起こり、電磁波シ
ールド性を損なうという問題が発生する。
However, when a film is laminated only on the above-mentioned metal pattern layer, the thermal expansion and contraction ratio between the transparent substrate and the film layer is different.
With the expansion and contraction of the film due to heat, humidity and the like, a break occurs in the metal pattern layer in contact with the edge of the film, which causes a problem that the electromagnetic wave shielding property is impaired.

【0008】そこで、フィルムを格子パターン部の全面
とアース部の格子パターン部と接している側の端部を被
覆するように張り付けることで、フィルムの伸縮による
断線の発生を防止している。しかし、格子パターン部と
アース部の接続部は格子パターンの開口面積が小さくな
りやすく、フィルムをアース部の格子パターン部と接し
ている側の端部を被覆するように張り付けた後で加圧処
理を行っても、アース部と格子パターン部との境界に気
泡が残留してしまう。この気泡はPDPより発生する熱
により膨張し、フクレ、ウキ等の外観上の欠点となり、
また、電磁波シールド材の視認性も低下させる。
Therefore, the film is attached so as to cover the entire surface of the grid pattern portion and the end of the ground portion in contact with the grid pattern portion, thereby preventing the occurrence of disconnection due to expansion and contraction of the film. However, the connection area between the grid pattern part and the grounding part tends to have a small opening area of the grid pattern, and after applying a film so as to cover the end of the ground part in contact with the grid pattern part, pressure treatment is performed. However, air bubbles remain at the boundary between the ground portion and the lattice pattern portion. This bubble expands due to the heat generated from the PDP, and becomes a defect in appearance such as blisters and snow.
Further, the visibility of the electromagnetic wave shielding material is also reduced.

【0009】また、従来の電磁波シールド材は、図11
のAに示されるように格子パターン部を構成する各格子
パターンの格子角を略直角、または図11のBに示され
るように鋭角に形成していたため、格子角に気泡が残留
しやすく、視認性を低下させるといった問題を生じてい
た。
A conventional electromagnetic wave shielding material is shown in FIG.
11A, the lattice angle of each lattice pattern forming the lattice pattern portion is formed to be substantially a right angle or an acute angle as shown in FIG. 11B. However, there has been a problem that the performance is reduced.

【0010】本発明は上記問題点に鑑みてなされたもの
であり、反射防止等の機能を有するフィルムのラミネー
ト時に金属パターン層の格子パターン部に生じる気泡を
容易に脱気することができる電磁波シールド材を提供す
ることを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and is an electromagnetic wave shield capable of easily removing air bubbles generated in a lattice pattern portion of a metal pattern layer when laminating a film having a function such as anti-reflection. The purpose is to provide materials.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】かかる目的を達成するた
めに本発明の電磁波シールド材は、透明基材上に、格子
状に形成された格子パターン部と該格子パターン部の外
周の少なくとも一辺に金属部材からなるアース部とを有
する金属パターン層が設けられた電磁波シールド材であ
って、格子パターン部のアース部に接している格子の開
口面積を、アース部に接していない格子の面積より大き
くしたことを特徴とする。
In order to achieve the above object, an electromagnetic wave shielding material according to the present invention is provided on a transparent base material at a lattice pattern portion formed in a lattice shape and at least one side of an outer periphery of the lattice pattern portion. An electromagnetic wave shielding material provided with a metal pattern layer having a ground portion made of a metal member, wherein the opening area of the grid in contact with the ground portion of the grid pattern portion is larger than the area of the grid not in contact with the ground portion. It is characterized by having done.

【0012】上記の格子パターン部の格子パターンは、
透明基材の面に平行する断面の面積が、透明基材に近づ
く程大きくなるように形成するとよい。
The lattice pattern of the lattice pattern portion is
It is preferred that the area of the cross section parallel to the surface of the transparent base material be increased so as to approach the transparent base material.

【0013】上記の格子パターンの各格子角は、弧状に
形成されているとよい。
Each of the grid angles of the above-mentioned grid pattern is preferably formed in an arc shape.

【0014】上記の電磁波シールド材は、金属パターン
層の格子パターン部と、格子パターン部と接しているア
ース部の端部とに連続して透明な接着層と透明フィルム
層とが順次形成されているとよい。
In the above electromagnetic wave shielding material, a transparent adhesive layer and a transparent film layer are successively formed on the grid pattern portion of the metal pattern layer and the end of the ground portion in contact with the grid pattern portion. Good to be.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】次に添付図面を参照して本発明の
電磁波シールド材の実施の形態を詳細に説明する。図1
〜図8を参照すると本発明の電磁波シールド材の実施形
態が示されている。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a perspective view of an electromagnetic wave shielding material according to an embodiment of the present invention. FIG.
FIG. 8 to FIG. 8 show an embodiment of the electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【0016】まず、図1から図3を参照しならが本発明
に係る電磁波シールド材の第1の実施形態について説明
する。
First, a first embodiment of an electromagnetic wave shielding material according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0017】図1に示された本発明に係る電磁波シール
ド材は、透明基材1上に金属パターン層2が設けられて
いる。この金属パターン層2は、図1に示されるよう
に、格子状に形成された格子パターン部3と、格子パタ
ーン部3の外周の少なくとも一辺に形成された金属部材
からなるアース部4とからなる。また、この金属パター
ン層2の上面には、透明な接着剤による接着層5により
透明フィルム層6が図2に示された格子パターン部の全
面とアース部の格子パターン部と接している側の端部と
に連続して被覆するように張り付けられている。
In the electromagnetic shielding material according to the present invention shown in FIG. 1, a metal pattern layer 2 is provided on a transparent substrate 1. As shown in FIG. 1, the metal pattern layer 2 includes a lattice pattern portion 3 formed in a lattice shape and an earth portion 4 formed of a metal member on at least one side of the outer periphery of the lattice pattern portion 3. . On the upper surface of the metal pattern layer 2, a transparent film layer 6 is provided on the entire surface of the grid pattern portion shown in FIG. It is attached so as to continuously cover the end portion.

【0018】ガラスや樹脂などからなる透明基材1上に
形成される金属パターン層には、例えば、PDPにより
放電される電磁波の外部への漏洩を防止するために、
銅、銀、ニッケル、ITO(酸化インジウム(In2O3)と
二酸化錫の固溶体) 等の高導電率の金属が用いられる。
この金属パターン層2は、格子状に形成された格子パタ
ーン部と、格子パターン部の外周に形成されたアースを
とるための金属部材からなるアース部とからなる。アー
ス部は、格子パターンの外周の一辺のみに設けてもよい
し、2辺または全ての辺に設けてもよい。格子パターン
部の格子パターンは、図1に示された格子角が鋭角に交
叉するパターンだけでなく、図3のAに示されるような
格子角が略直角に形成されたパターンや、図3のBに示
されるような格子により多角形が形成されたパターンで
あってもよい。本実施形態では、図1に示されるように
格子パターン部のアース部に接している格子の開口面積
を、アース部に接していない格子の開口面積よりも大き
くなるように形成している。この金属パターン層の形成
方法としては、無電解めっき法、イオンプレーティング
法、スパッタリング法などにより透明基材の表面に金属
層を形成し、金属層上にレジストを塗布してエッチング
により格子パターン部とアース部とを一体形成する方法
が適当であるが、エッチングにより格子パターン部を形
成し、帯状の金属箔を張り付けてアース部を形成した後
両者を接続するなど、格子パターン部とアース部とを別
々に形成してもよい。
The metal pattern layer formed on the transparent substrate 1 made of glass, resin, or the like is provided with, for example, an electromagnetic wave discharged by the PDP to prevent the electromagnetic wave from leaking to the outside.
Highly conductive metals such as copper, silver, nickel, and ITO (solid solution of indium oxide (In 2 O 3 ) and tin dioxide) are used.
The metal pattern layer 2 includes a grid pattern portion formed in a grid shape, and a ground portion formed on the outer periphery of the grid pattern portion and formed of a metal member for grounding. The ground portion may be provided on only one side of the outer periphery of the lattice pattern, or may be provided on two or all sides. The grid pattern of the grid pattern portion is not only a pattern in which the grid angles shown in FIG. 1 intersect at an acute angle, but also a pattern in which the grid angles shown in FIG. A pattern in which polygons are formed by a lattice as shown in FIG. In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the opening area of the grid in contact with the ground portion of the grid pattern portion is formed to be larger than the opening area of the grid not in contact with the ground portion. As a method of forming the metal pattern layer, a metal layer is formed on the surface of the transparent substrate by an electroless plating method, an ion plating method, a sputtering method, or the like, a resist is applied on the metal layer, and the grid pattern portion is etched by etching. It is appropriate to form the grid pattern part and the ground part integrally.However, the grid pattern part is formed by etching, and the ground part is formed by attaching a band-shaped metal foil to form the ground part. May be formed separately.

【0019】金属パターン層上に形成された透明フィル
ム層6は、透明な樹脂からなるフィルムを金属パターン
層の格子パターン部の全面と、アース部の格子パターン
部と接している側の端部とに連続して被覆するように接
着層5により張り付けられている。透明フィルム層6に
は、反射防止機能、近赤外線吸収機能、AG機能の何れ
か1つまたは2つ以上の機能が付加されている。例え
ば、反射防止機能を有する透明フィルム層を用いると、
PDPより放出される光及び外光が金属パターン層で反
射し、画面の視認性を低下させるという不具合を防止す
ることができる。また、近赤外線吸収機能を有する透明
フィルム層を用いると、PDPより放出される近赤外線
をこの透明フィルム層で吸収することができる。また、
AG機能を有する透明フィルム層を用いると、ニュート
ンリングの発生により視認性が低下するのを防止するこ
とができる。
The transparent film layer 6 formed on the metal pattern layer is made of a transparent resin film formed on the entire surface of the grid pattern portion of the metal pattern layer and the end of the ground portion in contact with the grid pattern portion. Is adhered by an adhesive layer 5 so as to be continuously coated. The transparent film layer 6 is provided with one or more of an antireflection function, a near-infrared absorption function, and an AG function. For example, when using a transparent film layer having an anti-reflection function,
It is possible to prevent a problem that light emitted from the PDP and external light are reflected by the metal pattern layer, thereby lowering the visibility of the screen. When a transparent film layer having a near-infrared absorption function is used, near-infrared rays emitted from PDP can be absorbed by this transparent film layer. Also,
When a transparent film layer having an AG function is used, it is possible to prevent a decrease in visibility due to the generation of Newton rings.

【0020】上記構成の電磁波シールド材は、透明フィ
ルム層を格子パターン部の全面とアース部の格子パター
ン部と接している側の端部とに連続して被覆するように
設けたことにより、フィルムの伸縮に伴い金属パターン
層に断線が起こり、電磁波シールド性を損なうといった
問題の発生を防止することができる。
The electromagnetic wave shielding material having the above-described structure is provided so that the transparent film layer is provided so as to continuously cover the entire surface of the grid pattern portion and the end of the ground portion in contact with the grid pattern portion. Breakage of the metal pattern layer accompanying expansion and contraction of the metal pattern layer can be prevented, and the problem of impairing the electromagnetic wave shielding property can be prevented.

【0021】また、透明フィルムを格子パターン部の全
面とアース部の格子パターン部と接している側の端部と
に連続して被覆するように張り付けたことにより、透明
フィルム層を金属パターン層上に張り付けた際に生じる
気泡を脱気しにくくなるが、図1に示されるように格子
パターン部のアース部に接している格子パターンの開口
面積を、アース部に接していない格子パターンの開口面
積よりも大きくなるように形成したことにより、後工程
で加圧処理を施した際に、アース部との境界部に残留す
る気泡を脱気することができ、電磁波シールド材の視認
性を向上させることができる。なお、図1に示された実
施形態では、アース部に接する開口領域の形状を5角形
としているが、本発明は開口領域の形ではなく面積に主
眼をおいているので、開口領域の形は種々変形実施する
ことが可能である。また、この開口領域の面積は透明フ
ィルムをラミネートしただけで気泡が混入することがな
い大きさに取るとよい。
Further, the transparent film is stuck so as to continuously cover the entire surface of the grid pattern portion and the end of the ground portion in contact with the grid pattern portion, so that the transparent film layer is formed on the metal pattern layer. Although it is difficult to deaerate bubbles generated when the grid pattern is adhered to the grid pattern, as shown in FIG. 1, the opening area of the grid pattern in contact with the ground portion of the grid pattern portion is changed to the opening area of the grid pattern not in contact with the ground portion. By forming so as to be larger than that, when a pressure treatment is performed in a later step, bubbles remaining at a boundary portion with the ground portion can be degassed, and the visibility of the electromagnetic wave shielding material is improved. be able to. In the embodiment shown in FIG. 1, the shape of the opening region in contact with the ground portion is a pentagon, but the present invention focuses on the area, not the shape of the opening region. Various modifications can be made. Further, the area of the opening region is preferably set to a size that does not cause air bubbles to mix only by laminating a transparent film.

【0022】次に、本発明に係る電磁波シールド材の第
2の実施形態について、図4から図7を参照しながら説
明する。
Next, a second embodiment of the electromagnetic wave shielding material according to the present invention will be described with reference to FIGS.

【0023】この第2の実施形態も透明基材1上に金属
パターン層2と透明フィルム層とが順次形成された電磁
波シールド材である。また、金属パターン層2も上述し
たように格子状に形成された格子パターン部3と、格子
パターン部の外周の少なくとも一辺に形成された金属部
材からなるアース部4とにより構成されている。
The second embodiment is also an electromagnetic shielding material in which a metal pattern layer 2 and a transparent film layer are sequentially formed on a transparent substrate 1. The metal pattern layer 2 also includes the grid pattern portion 3 formed in a grid shape as described above, and the ground portion 4 made of a metal member formed on at least one side of the outer periphery of the grid pattern portion.

【0024】この電磁波シールド材は、透明基材上に金
属パターン層を形成してから、その金属パターン層の上
面に透明フィルム層を形成するのであるが、金属パター
ン層の上面に透明フィルム層を張り付けると、金属パタ
ーン層の凹凸により金属パターン層と透明フィルムとの
間に気泡が発生する。特に、金属パターン層を構成する
格子パターン部の格子角に溜まった気泡は、図9に示さ
れた従来の格子パターン部の構成では、容易には脱気す
ることができなかった。
In this electromagnetic wave shielding material, a metal pattern layer is formed on a transparent substrate, and then a transparent film layer is formed on the upper surface of the metal pattern layer. When attached, air bubbles are generated between the metal pattern layer and the transparent film due to the unevenness of the metal pattern layer. In particular, air bubbles collected at the grid angles of the grid pattern portion forming the metal pattern layer could not be easily degassed by the conventional structure of the grid pattern portion shown in FIG.

【0025】そこで、この第2の実施形態では、図4に
示されるように、金属パターン層を構成する格子パター
ン部の格子パターンを、透明基材の面に平行する断面の
面積が透明基材に近づく程大きくなるように形成し、ま
た、図5に示されるように格子パターンの各格子角を弧
状に形成している。このように格子パターン部を形成す
ることにより、格子角に溜まった気泡が抜けやすくな
り、後加工の加圧処理により容易に脱気することができ
る。なお、視認性を低下させない範囲で弧状を形成すれ
ば良いが、弧状に形成する格子角の角度は、以下に示す
式に従って算出された値をもとに形成するとよい。D=
T×Kなお、Tは金属パターンの膜厚を表し、Dは格子
の中心に向かって曲線を描く格子パターンに図6に示さ
れるような2つが直交する接線を引いた時に、この2つ
の接線の交点から接点までの距離を表し、Kはこの格子
角の角度を調整する定数値を表し、1〜10、好ましく
は2〜5の値であるとよい。
Therefore, in the second embodiment, as shown in FIG. 4, the grid pattern of the grid pattern portion constituting the metal pattern layer is formed by changing the area of the cross section parallel to the surface of the transparent base material to the transparent base material. , And each grid angle of the grid pattern is formed in an arc shape as shown in FIG. By forming the lattice pattern portion in this manner, bubbles accumulated at the lattice angle are easily released, and can be easily degassed by a post-processing pressure treatment. Note that the arc shape may be formed within a range that does not reduce the visibility, but the angle of the grid angle formed in the arc shape may be formed based on a value calculated according to the following equation. D =
T × K Here, T represents the thickness of the metal pattern, and D represents the two tangents when two orthogonal tangents as shown in FIG. 6 are drawn in a lattice pattern that curves toward the center of the lattice. Represents the distance from the intersection to the contact point, and K represents a constant value for adjusting the angle of the lattice angle, and may be a value of 1 to 10, preferably 2 to 5.

【0026】この金属パターン層は、以下の工程により
形成される。透明基材上に金属層を形成し、この金属層
上にレジストを塗布する。そして、レジストに格子角が
弧状に形成された格子パターンからなるマスクを被せて
パターン露光し、エッチングを行う。エッチングは、図
7のAに示されるように、格子パターンの透明基材と平
行する断面の面積がレジストパターンの面積と等しくな
った後さらにエッチングを行い、図7のBに示されるよ
うに格子パターンの透明基材と平行する断面の面積が、
透明基材に近づくにつれて大きくなるようにエッチング
を行う。または、図7のCに示されるようにレジスト近
傍の格子パターンの透明基材と平行する切断面の面積が
レジストパターンの面積とほぼ等しくなり、金属パター
ンの透明基材と平行する断面の面積が、透明基材に近づ
くにつれて大きくなるようにエッチングを行う。
This metal pattern layer is formed by the following steps. A metal layer is formed on a transparent substrate, and a resist is applied on the metal layer. Then, the resist is covered with a mask composed of a lattice pattern in which the lattice angle is formed in an arc shape, pattern exposure is performed, and etching is performed. As shown in FIG. 7A, the etching is further performed after the area of the cross section of the grid pattern parallel to the transparent substrate becomes equal to the area of the resist pattern, and as shown in FIG. The area of the cross section parallel to the transparent substrate of the pattern,
Etching is performed so that the size increases as approaching the transparent substrate. Alternatively, as shown in FIG. 7C, the area of the cut surface parallel to the transparent substrate of the lattice pattern near the resist is substantially equal to the area of the resist pattern, and the area of the cross section of the metal pattern parallel to the transparent substrate is reduced. Then, the etching is performed so as to increase as approaching the transparent substrate.

【0027】このようなエッチング方法により、透明基
材の面に平行する断面の面積が、透明基材に近づく程大
きくなり、格子角が弧状に形成された格子パターンから
なる格子パターン部と、アース部とが一体形成された金
属パターン層を形成することができる。
According to such an etching method, the area of the cross section parallel to the surface of the transparent base material becomes larger as approaching the transparent base material. The metal pattern layer in which the portions are integrally formed can be formed.

【0028】この第2の実施形態は、上述した第1の実
施形態との組み合わせが可能である。第1と第2の実施
形態を組み合わせることで、透明フィルムを張り付ける
際に発生する気泡の脱気効果をさらに高めることができ
る。
This second embodiment can be combined with the above-described first embodiment. By combining the first and second embodiments, it is possible to further enhance the degassing effect of bubbles generated when attaching a transparent film.

【0029】次に上述した実施形態の作成実施例の製造
工程を図8に示されたフローチャートを参照しながら説
明する。
Next, the manufacturing process of the embodiment of the above embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG.

【0030】まず、ステップS1にて、透明性に優れた
50〜100μmの厚さのPETフィルム上に200Å
〜2000Åの厚さの銅膜を真空蒸着法、またはスパッ
タリング法により形成する。そして、ステップS2に
て、電気めっき法により銅膜を所定の厚さに形成する。
硫酸銅200g/lと、硫酸60g/lとを溶かした水
溶液にPETフィルムを浸漬して銅膜に電流密度1A/
dm2 で30分間給電し、所望の厚さの銅層を形成す
る。銅層の厚さは4〜10μmが適当である。
First, in step S1, a 200-.mu.m thick PET film having a thickness of 50 to 100 .mu.m was placed on a PET film.
A copper film having a thickness of about 2000 mm is formed by a vacuum evaporation method or a sputtering method. Then, in step S2, a copper film is formed to a predetermined thickness by an electroplating method.
A PET film is immersed in an aqueous solution in which 200 g / l of copper sulfate and 60 g / l of sulfuric acid are dissolved, and a current density of 1 A /
Power is supplied at dm 2 for 30 minutes to form a copper layer having a desired thickness. The thickness of the copper layer is suitably from 4 to 10 μm.

【0031】次にステップS3にて、銅層を形成したP
ETフィルムを透明基板に張り合わせる。透明基材とP
ETフィルムとの接着は透明性に優れた接着剤を25μ
m程度の厚さで設けて接着する。次にステップS4に
て、銅層上にレジストを塗布する。この作成実施例では
レジスト剤として東京応化工業株式会社製、商品名TL
CR−P8008を用いる。透明基材を銅層を上にして
スピナー上に固定し、銅層上にレジストを滴下して15
00rpmで1分間、回転させる。
Next, at step S3, the P on which the copper layer is formed is formed.
Attach the ET film to the transparent substrate. Transparent substrate and P
Adhesion with ET film is 25μ
It is provided with a thickness of about m and adhered. Next, in step S4, a resist is applied on the copper layer. In this embodiment, the resist agent is TL manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.
Use CR-P8008. The transparent substrate is fixed on a spinner with the copper layer facing up, and a resist is dropped on the copper layer to form a transparent substrate.
Spin at 00 rpm for 1 minute.

【0032】次にステップS5にて、レジストを塗布し
た基板をプレベークする。この作成実施例では、90℃
に熱したクリーンオーブンに20分間入れてベークす
る。そしてステップS6にて、プレベークしたレジスト
にマスクを重ねてパターン露光する。第1の実施形態を
作成する際には、アース部に接する格子パターン部の開
口面積が、アース部に接しない格子パターンの開口面積
よりも大きくなるように形成されたマスクを用いる。な
お、この作成実施例では、アース部に接していない格子
パターンの開口面積を100〜200μm角、アース部
に接する格子パターンの開口面積を500μm角となる
ようなマスクを用いた。
Next, in step S5, the substrate coated with the resist is pre-baked. In this embodiment, 90 ° C.
Bake in a clean oven for 20 minutes. Then, in step S6, a pattern is exposed by overlaying a mask on the prebaked resist. When creating the first embodiment, a mask is used that is formed such that the opening area of the grid pattern portion that is in contact with the ground portion is larger than the opening area of the grid pattern that is not in contact with the ground portion. In this example, a mask was used so that the opening area of the grid pattern not in contact with the ground portion was 100 to 200 μm square, and the opening area of the grid pattern in contact with the ground portion was 500 μm square.

【0033】ステップS7にて、現像液に漬けて現像
し、レジストの感光しない部分を剥離する。なお、露光
は120mj/cm2 で、現像は、25℃、0.8%の
KOH水溶液に1分間漬けることにより行う。
In step S7, the substrate is immersed in a developing solution and developed, and the unexposed portions of the resist are removed. The exposure is performed at 120 mj / cm 2 , and the development is performed by immersing in a 0.8% KOH aqueous solution at 25 ° C. for 1 minute.

【0034】次に露光、現像した基板をステップS8に
て水洗いし、ステップS9にて、エッチングを行う。こ
の作成実施例では、エッチング液にメルテックス株式会
社製、商品名メルストリップMN−957を用いた。4
0℃のエッチング液を50秒間透明基板の上面にスプレ
イし銅層を所定のパターンに形成する。第2の実施形態
を作成する際には、上述の如く、格子パターンの透明基
材と平行する断面の面積がレジストパターンの面積と等
しくなった後さらにエッチングを行い、図7のBに示さ
れるように格子パターンの透明基材と平行する断面の面
積が、透明基材に近づくにつれて大きくなるようにエッ
チングを行う。または、図7のCに示されるようにレジ
スト近傍の格子パターンの透明基材と平行する切断面の
面積がレジストパターンの面積とほぼ等しくなり、金属
パターンの透明基材と平行する断面の面積が、透明基材
に近づくにつれて大きくなるようにエッチングを行う。
Next, the exposed and developed substrate is washed with water in step S8, and is etched in step S9. In this embodiment, Melstrip MN-957 (trade name) manufactured by Meltex Co., Ltd. was used as an etching solution. 4
An etching solution at 0 ° C. is sprayed on the upper surface of the transparent substrate for 50 seconds to form a copper layer in a predetermined pattern. When the second embodiment is made, as described above, further etching is performed after the area of the cross section of the lattice pattern parallel to the transparent base material becomes equal to the area of the resist pattern, as shown in FIG. 7B. Thus, the etching is performed such that the area of the cross section of the lattice pattern parallel to the transparent substrate becomes larger as approaching the transparent substrate. Alternatively, as shown in FIG. 7C, the area of the cut surface parallel to the transparent substrate of the lattice pattern near the resist is substantially equal to the area of the resist pattern, and the area of the cross section of the metal pattern parallel to the transparent substrate is reduced. Then, the etching is performed so as to increase as approaching the transparent substrate.

【0035】次にステップS10にて、エッチング処理
を施した基板を水洗いし、ステップS11にて、乾燥さ
せる。乾燥は120℃で60秒間行う。
Next, in step S10, the etched substrate is washed with water and dried in step S11. Drying is performed at 120 ° C. for 60 seconds.

【0036】次に、ステップS11にて、乾燥させた基
板の両面に反射防止フィルムをラミネートする。この作
成実施例では、反射防止フィルムとして、旭硝子株式会
社製、商品名ARCTP−UR210を用い、この反射
防止フィルムを5Kg/cm2 で基板の両面にラミネー
トした。なお、この作成実施例では、銅パターンの断線
を防ぐために、銅パターン層上に形成する反射防止フィ
ルムを、アース部に2mm程度重なるように設けた。
Next, in step S11, antireflection films are laminated on both surfaces of the dried substrate. In this example, ARCTP-UR210 (trade name, manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.) was used as an anti-reflection film, and this anti-reflection film was laminated on both sides of the substrate at 5 kg / cm 2 . In this working example, an antireflection film formed on the copper pattern layer was provided so as to overlap with the ground portion by about 2 mm in order to prevent disconnection of the copper pattern.

【0037】次にステップS13にて、反射防止フィル
ムを両面にラミネートした基板に加圧、加熱処理を施
し、反射防止フィルムのラミネート時に発生した気泡を
除去する。この作成実施例では、40℃〜80℃での加
熱処理と、4Kg/cm2 〜5Kg/cm2 での加圧処
理を15分〜30分間行う。これにより、銅パターン層
間および銅パターン層とアース部の間に生じた気泡を脱
気することができる。
Next, in step S13, the substrate on which the antireflection film is laminated on both sides is subjected to pressure and heat treatment to remove bubbles generated during lamination of the antireflection film. In this embodiment, the heat treatment at 40 ° C. to 80 ° C. and the pressure treatment at 4 kg / cm 2 to 5 kg / cm 2 are performed for 15 minutes to 30 minutes. Thereby, bubbles generated between the copper pattern layers and between the copper pattern layer and the ground portion can be degassed.

【0038】なお、上述した実施形態は、本発明の好適
な実施の例である。但し、これに限定されるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形
実施が可能である。
The above-described embodiment is a preferred embodiment of the present invention. However, the present invention is not limited to this, and various modifications can be made without departing from the scope of the present invention.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
の電磁波シールド材は、格子パターン部のアース部に接
している格子の開口面積を、アース部に接していない格
子の面積より大きくしたことにより、透明フィルムを金
属パターン層上に張り付ける際に発生する気泡を容易に
脱気することができる。
As is apparent from the above description, in the electromagnetic wave shielding material of the present invention, the opening area of the lattice contacting the ground portion of the lattice pattern portion is made larger than the area of the lattice not contacting the ground portion. Thereby, air bubbles generated when the transparent film is stuck on the metal pattern layer can be easily degassed.

【0040】また、格子パターン部の格子パターンを、
透明基材の面に平行する断面の面積が透明基材に近づく
程大きくなるように形成したことにより、透明フィルム
を張り付けた際に格子角に溜まりやすかった気泡を容易
に脱気することができる。
Further, the lattice pattern of the lattice pattern portion is
By forming the area of the cross section parallel to the surface of the transparent base material to be larger as approaching the transparent base material, it is possible to easily deaerate bubbles which easily accumulate at the lattice angle when the transparent film is attached. .

【0041】また、格子パターン部の各格子角を弧状に
形成することにより、透明フィルムを張り付けた際に格
子角に溜まりやすかった気泡を容易に脱気することがで
きる。
Further, by forming each grid angle of the grid pattern portion in an arc shape, it is possible to easily deaerate bubbles which tend to accumulate at the grid angles when the transparent film is attached.

【0042】また、透明フィルム層を、格子パターン部
全面及びアース部の格子パターン部と接している側の端
部とに連続して被覆するように透明な接着剤による接着
層を設けて張り付けたことにより、熱、湿度等によりフ
ィルムに伸縮が生じ、フィルムの端に接している金属パ
ターン層が断線し、電磁波シールド性を損なうという不
具合を防止することができる。
Further, an adhesive layer made of a transparent adhesive was provided so that the transparent film layer was continuously coated on the entire surface of the grid pattern portion and the end portion of the ground portion in contact with the grid pattern portion. Accordingly, it is possible to prevent a problem that the film is expanded and contracted due to heat, humidity, and the like, the metal pattern layer in contact with the edge of the film is disconnected, and the electromagnetic wave shielding property is impaired.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の電磁波シールド材の第1の実施形態を
表す平面図である。
FIG. 1 is a plan view illustrating a first embodiment of an electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図2】第1の実施形態の構成を表す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a configuration of the first embodiment.

【図3】第1の実施形態の構成を表す断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a configuration of the first embodiment.

【図4】本発明の電磁波シールド材の第2の実施形態を
表す断面図である。
FIG. 4 is a sectional view showing a second embodiment of the electromagnetic wave shielding material of the present invention.

【図5】第2の実施形態の構成を表す平面図である。FIG. 5 is a plan view illustrating a configuration of a second embodiment.

【図6】格子パターンの格子角の設定方法を説明するた
めの図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a method of setting a grid angle of a grid pattern.

【図7】第2の実施形態の形成方法を表す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a forming method according to a second embodiment.

【図8】作成実施例の製造工程を表すフローチャートで
ある。
FIG. 8 is a flowchart illustrating a manufacturing process of a production example.

【図9】従来の電磁波シールド材の構成を表す平面図で
ある。
FIG. 9 is a plan view illustrating a configuration of a conventional electromagnetic wave shielding material.

【図10】金属パターン層と透明フィルム層との間に発
生する気泡の状態を表す図である。
FIG. 10 is a diagram showing a state of bubbles generated between a metal pattern layer and a transparent film layer.

【図11】従来の格子パターンの構成を表す平面図であ
る。
FIG. 11 is a plan view illustrating a configuration of a conventional grid pattern.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 透明基材 2 金属パターン層 3 格子パターン部 4 アース部 5 接着層 6 透明フィルム層 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transparent base material 2 Metal pattern layer 3 Lattice pattern part 4 Ground part 5 Adhesive layer 6 Transparent film layer

フロントページの続き (72)発明者 的野 友和 東京都文京区小石川四丁目14番12号 共同 印刷株式会社内 (72)発明者 岡本 良平 東京都文京区小石川四丁目14番12号 共同 印刷株式会社内 (72)発明者 前田 幸次郎 東京都文京区小石川四丁目14番12号 共同 印刷株式会社内 Fターム(参考) 4F100 AB01B AR00A AR00G AT00C BA03 BA07 BA10A BA10C DB01B DC15B GB43 JD08 JN01A JN01C JN01G 5C040 GA10 GH10 JA14 LA05 MA08 MA22 5G435 AA01 AA16 BB06 GG33 KK07Continuing on the front page (72) Inventor Tomokazu Motono 4-14-12 Koishikawa, Bunkyo-ku, Tokyo Kyodo Printing Co., Ltd. (72) Inventor Ryohei Okamoto 4-14-12 Koishikawa, Bunkyo-ku, Tokyo Kyodo Printing Co., Ltd. (72) Inventor Kojiro Maeda 4- 14-12 Koishikawa, Bunkyo-ku, Tokyo Kyodo Printing Co., Ltd. MA08 MA22 5G435 AA01 AA16 BB06 GG33 KK07

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明基材上に、格子状に形成された格子
パターン部と該格子パターン部の外周の少なくとも一辺
に金属部材からなるアース部とを有する金属パターン層
が設けられた電磁波シールド材において、 前記格子パターン部の前記アース部に接している格子の
開口面積を、アース部に接していない格子の面積より大
きくしたことを特徴とする電磁波シールド材。
1. An electromagnetic wave shielding material comprising a transparent base material provided with a metal pattern layer having a grid pattern portion formed in a grid and an earth portion made of a metal member on at least one side of an outer periphery of the grid pattern portion. 2. The electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein an opening area of the grid in contact with the ground portion of the grid pattern portion is larger than an area of the grid not in contact with the ground portion.
【請求項2】 前記格子パターン部の格子パターンは、 前記透明基材の面に平行する断面の面積が、前記透明基
材に近づく程大きくなるように形成したことを特徴とす
る請求項1記載の電磁波シールド材。
2. The lattice pattern of the lattice pattern portion is formed such that an area of a cross section parallel to a surface of the transparent base material increases as approaching the transparent base material. Electromagnetic shielding material.
【請求項3】 前記格子パターンの各格子角は、 弧状に形成されていることを特徴とする請求項1または
2記載の電磁波シールド材。
3. The electromagnetic wave shielding material according to claim 1, wherein each grid angle of the grid pattern is formed in an arc shape.
【請求項4】 前記金属パターン層の格子パターン部
と、該格子パターン部と接している前記アース部の端部
とに連続して透明な接着層と透明フィルム層とが順次形
成されていることを特徴とする請求項1から3の何れか
1項に記載の電磁波シールド材。
4. A transparent adhesive layer and a transparent film layer are successively formed continuously on a lattice pattern portion of the metal pattern layer and an end of the ground portion in contact with the lattice pattern portion. The electromagnetic wave shielding material according to any one of claims 1 to 3, wherein:
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