JP2000134857A - Rotating-type motor - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルーム等
で使用される回転形電動機に係り、特に、半導体製造工
程において、ウェハの洗浄装置や、薬液塗布装置、ウェ
ハ搬送装置などに使用される回転形電動機に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a rotary electric motor used in a clean room or the like, and more particularly to a rotary electric motor used in a semiconductor manufacturing process for a wafer cleaning device, a chemical liquid coating device, a wafer transfer device and the like. It relates to an electric motor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】近年、半導体装置の高集積化と高機能化
に伴って、半導体製造工程におけるクリーン化の要求も
ますます厳しくなっている。特に、ウェハ表面に対する
パーティクルによる汚染は、製品の歩留まりの悪化をも
たらすため、重要な問題となっている。そのため、半導
体製造装置は、一般に、クリーン度が厳しく管理された
クリーンルーム内に設置され、ウェハへのパーティクル
の付着を防止している。従来より、回転形電動機は、半
導体の製造工程において、例えば、ウェハの洗浄装置、
薬液塗布装置などのスピナー用や、ウェハ搬送装置の駆
動用などの用途に広く利用されている。しかし、クリー
ン環境下では、必要とするクリーン度に応じた対策を行
っていないと、電動機からのパーティクルの発生を抑え
ることができず、周囲環境を汚染し、ウェハを汚染す
る。電動機の場合、パーティクルの発生原因としては、
構成部品からの錆や、外被の汚れ、塗装の剥離などもあ
るが、電動機内部から放出されるパーティクルが大半で
あり、特に、軸受部からの摩耗粉や、飛散したグリース
などがパーティクルとなって、周囲環境を汚染する。そ
こで、クリーン環境下で使用する従来の回転形電動機で
は、軸受のグリースを飛散が少ないクリーン用グリース
に交換した回転形電動機が用いられていた。2. Description of the Related Art In recent years, as semiconductor devices have become highly integrated and sophisticated, demands for cleanliness in a semiconductor manufacturing process have become more and more severe. In particular, particle contamination on the wafer surface is an important problem because it causes a decrease in product yield. Therefore, the semiconductor manufacturing apparatus is generally installed in a clean room in which the cleanness is strictly controlled to prevent particles from adhering to the wafer. Conventionally, a rotary electric motor has been used in a semiconductor manufacturing process, for example, for cleaning a wafer,
It is widely used for applications such as spinners for chemical liquid coating devices and for driving wafer transfer devices. However, in a clean environment, unless measures are taken in accordance with the required degree of cleanliness, the generation of particles from the electric motor cannot be suppressed, contaminating the surrounding environment and contaminating the wafer. In the case of electric motors,
Although there are rust from the components, dirt on the outer cover, and peeling of the paint, most of the particles are emitted from the inside of the motor.Particularly, abrasion powder from the bearings and scattered grease are particles. And contaminate the surrounding environment. Therefore, in a conventional rotary electric motor used in a clean environment, a rotary electric motor in which the grease of a bearing is replaced with a clean grease with less scattering has been used.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】ところが、クリーン用
グリースを用いた電動機の場合でも、パーティクルの飛
散が無いわけではなく、電動機の回転速度や軸受サイズ
の増加にともなってパーティクルは増加し、より厳しい
クリーン度が要求される場合には、十分対応できないこ
とがあった。また、ウェハ洗浄装置や薬液塗布装置のよ
うな用途においては、腐食性のある気体や薬液のミスト
が存在する雰囲気中で電動機が使用されることもあり、
このような場合には、腐食性のある気体やミストを電動
機内部に吸い込んでしまい、電動機内部の腐食をもたら
し、性能の劣化や錆によるパーティクルの増大を引き起
こすという問題があった。そこで、本発明は、電動機の
内部から外部に向かってのパーティクルの放出がなく、
かつ、周囲雰囲気中の腐食性のある気体やミストが電動
機の外部から内部に向かって侵入することがない回転形
電動機を提供することを目的とするものである。However, even in the case of an electric motor using grease for cleaning, particles are not scattered, but the number of particles increases as the rotational speed of the electric motor and the size of the bearing increase, resulting in a more severe situation. When cleanliness was required, it was not always possible to cope with it. Further, in applications such as a wafer cleaning device and a chemical solution coating device, an electric motor may be used in an atmosphere in which corrosive gas or mist of a chemical solution exists,
In such a case, there is a problem in that corrosive gas or mist is sucked into the electric motor, causing corrosion inside the electric motor, resulting in deterioration of performance and increase of particles due to rust. Therefore, the present invention does not emit particles from the inside of the motor to the outside,
It is another object of the present invention to provide a rotary electric motor in which corrosive gas or mist in the surrounding atmosphere does not enter the electric motor from outside to inside.
【０００４】[0004]
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め、本発明の第１の手段は、筒状のフレームと前記フレ
ームの軸方向両端部に取り付けたブラケットとからなる
外枠と、前記フレームの内面に嵌合される固定子と、前
記ブラケットに軸受を介して回転自在に支承された回転
軸と、前記回転軸の外周面に、前記固定子の内周面と空
隙を介して対向するように取り付けられた回転子とを有
する回転形電動機において、前記外枠で形成される内部
空間に連通する排気路を前記外枠に設けるとともに、前
記排気路を気体の排気を行う排気手段に接続し、かつ前
記外枠に設けた空間形成部材によって、前記ブラケット
の両軸端側で前記回転軸の周りを取り囲む第２の空間を
形成するとともに、前記第２の空間に連通する給気路を
前記空間形成部材に設け、前記給気路を、パーティクル
を含まない清浄で乾燥した気体を給気する給気手段に接
続した構成としたものである。また、本発明の第２の手
段は、前記第１の手段における前記空間形成部材の回転
軸と対向する内周面、あるいは、前記回転軸の前記空間
形成部材と対向する外周面のいずれか一方、あるいは両
方に周溝を形成するとともに、前記周溝に連通する給気
路を前記空間形成部材に設け、前記給気路を、前記給気
手段に接続した構成としたものである。さらに、本発明
の第３の手段は、前記第１の手段における前記空間形成
部材の軸方向端面に同心円状の凹凸を形成するととも
に、前記凹凸と空隙を介して係合する同心円状の凹凸を
有する円板を前記回転軸に取り付けて、非接触のラビリ
ンスシール部を形成し、かつ、前記ラビリンスシール部
に連通する給気路を前記空間形成部材に設け、前記給気
路を、前記給気手段に接続した構成としたものである。
上記手段により、前記外枠で形成される回転形電動機の
内部空間内の圧力は、排気手段によって排気されて負圧
となり、前記第２の空間内の圧力、前記空間形成部材あ
るいは前記回転軸に設けた前記周溝内の圧力、あるい
は、前記カバーと前記回転軸に取り付けた円板により形
成された非接触の前記ラビリンスシール部内の圧力は、
パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体が給気手段
により給気されるので正圧となる。このため、軸受部で
発生した摩耗粉や飛散したグリースをはじめとする電動
機内部で発生したパーティクルは、負圧である回転形電
動機の内部空間側に吸引されて排気路を通って排気され
る。一方、前記第２の空間内、前記周溝内あるいは前記
ラビリンスシール部内は、正圧に保たれているので、回
転形電動機外部の腐食性のある気体やミストを遮断し、
回転形電動機内部に吸い込むことはない。また、前記第
２の空間内、前記周溝内、あるいは前記ラビリンスシー
ル部内の気体が回転形電動機外部に漏れても、この空間
内の気体はパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体
であるので回転形電動機周囲の環境を汚染することはな
い。In order to solve the above problems, a first means of the present invention is to provide an outer frame comprising a cylindrical frame and brackets attached to both ends of the frame in the axial direction; A stator fitted to the inner surface of the frame, a rotating shaft rotatably supported on the bracket via a bearing, and an outer peripheral surface of the rotating shaft facing an inner peripheral surface of the stator with a gap therebetween; A rotary motor having a rotor mounted so that an exhaust path communicating with an internal space formed by the outer frame is provided in the outer frame, and the exhaust path is provided to exhaust means for exhausting gas. A space forming member connected to and provided in the outer frame forms a second space surrounding the rotation axis on both shaft end sides of the bracket, and an air supply passage communicating with the second space. The space forming member Provided, said air supply passage, in which a structure connected to the air supply means for supply of gas a clean and dry free of particles. Also, the second means of the present invention is any one of the inner peripheral surface of the first means facing the rotation axis of the space forming member, or the outer peripheral surface of the rotation shaft facing the space forming member. Alternatively, a circumferential groove is formed in both, and an air supply path communicating with the circumferential groove is provided in the space forming member, and the air supply path is connected to the air supply means. Further, the third means of the present invention is characterized in that, in the first means, concentric irregularities are formed on the axial end surface of the space forming member, and the concentric irregularities engaged with the irregularities via a gap are formed. A disk having a non-contact labyrinth seal portion, and an air supply passage communicating with the labyrinth seal portion is provided in the space forming member, and the air supply passage is provided with the air supply passage. It is configured to be connected to the means.
By the above means, the pressure in the internal space of the rotary electric motor formed by the outer frame is exhausted by the exhaust means and becomes negative pressure, and the pressure in the second space, the space forming member or the rotating shaft is reduced. The pressure in the provided circumferential groove, or the pressure in the non-contact labyrinth seal portion formed by a disk attached to the cover and the rotating shaft,
Since a clean and dry gas containing no particles is supplied by the supply means, the pressure becomes positive. For this reason, particles generated inside the motor, such as abrasion powder generated in the bearing portion and scattered grease, are sucked into the inner space side of the rotary motor, which is negative pressure, and are exhausted through the exhaust passage. On the other hand, the inside of the second space, the inside of the circumferential groove or the inside of the labyrinth seal portion is kept at a positive pressure, so that corrosive gas and mist outside the rotary electric motor are shut off,
It does not suck into the rotary motor. Also, even if the gas in the second space, the peripheral groove, or the labyrinth seal leaks out of the rotary electric motor, the gas in this space is a clean and dry gas containing no particles, It does not pollute the environment around the motor.
【０００５】[0005]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図に基づ
いて説明する。 ［第１の実施例］図１は、本発明の第１の実施例を示す
側断面図であり、例として、永久磁石形同期電動機の場
合を示す。図において、１は回転形電動機、２は前記回
転形電動機の外枠で、筒状のフレーム３と、前記フレー
ム３の軸方向端部に取り付けられブラケット４、５とで
構成されている。６は前記フレームの内面に嵌合された
固定子である。７は回転軸で、前記ブラケット４、５を
貫通するとともに、前記ブラケット４、５に軸受８、９
を介して回転自在に支承されている。１０は回転子で、
前記回転軸７の外周面に、前記固定子６の内周面と空隙
を介して対向するように取り付けられている。１１は前
記フレーム３に設けた排気路で、前記フレーム３と前記
ブラケット４、５とで形成される回転形電動機１の内部
空間（第１の空間）１２に連通し、気体の排気を行う排
気手段１３に接続されている。１４、１５は前記ブラケ
ット４、５に取り付けた空間形成部材で、例えばカバー
で構成し、前記ブラケット４、５の軸端側で前記回転軸
６の周りを取り囲む第２の空間１６、１７を形成してい
る。１８は前記第２の空間１７内に配置された回転形電
動機１の回転速度や位置を検出する検出器部である。１
９、２０は前記第２の空間１６、１７に連通した給気路
で、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給気
する図示しない給気手段２１に接続してある。なお、前
記排気路１１はフレーム３ではなく、ブラケット４、５
に設けてもよく、また、前記第２の空間１６、１７は前
記カバーによらず、ブラケット４、５を変形させること
により形成するようにしてもよい。このような構成にお
ける回転形電動機の動作について以下に説明する。ま
ず、回転形電動機１の運転を開始すると、軸受８、９に
おけるグリースの飛散や摩耗粉をはじめとするパーティ
クルが回転形電動機１の内部で発生する。しかし、排気
手段１３により、フレーム３とブラケット４、５とで形
成される回転形電動機１の内部空間１２を排気すると、
内部空間１２は周囲より負圧となるので、回転形電動機
１の内部で発生したパーティクルは内部空間１２側に吸
引されて排気路１１を通って排出される。このため、回
転形電動機１から周囲雰囲気へパーティクルが放出され
ることはない。パーティクル放出防止だけが目的であれ
ば、排気手段１３の作動だけで十分であるが、このまま
では回転形電動機１の内部圧力が周囲圧力より低いた
め、周囲雰囲気の気体やミストを回転形電動機１の内部
へ吸い込んでしまう。周囲雰囲気の気体やミストに腐食
性があると、回転形電動機１の内部の腐食をもたらし、
性能の劣化や錆によるパーティクルの増大を引き起こ
す。そこで、ブラケット４、５に取り付けた空間形成部
材１４、１５によって形成された第２の空間１６、１７
内へ、給気手段２１により、例えば、高純度の乾燥窒素
や、フィルタにより濾過した乾燥空気などの、パーティ
クルを含まない清浄で乾燥した気体を給気する。その結
果、第２の空間１６、１７内は周囲圧より正圧となり、
周囲雰囲気の気体やミストは回転形電動機１の内部へ侵
入することはできない。一方、回転形電動機１の内部に
おいては、第２の空間１６、１７から内部空間１２を経
由して排気路１１を通って排気される気流が形成され、
内部で発生したパーティクルはこの気流にのって排出さ
れる。また、第２の空間１６、１７内の気体が回転形電
動機１の外部に漏れても、この第２の空間１６、１７内
の気体はパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体で
あるので回転形電動機１の周囲の環境を汚染することは
ない。したがって、本発明の回転形電動機においては、
電動機の内部から外部に向かってのパーティクルの放出
がなく、かつ、周囲雰囲気中の腐食性のある気体やミス
トが回転形電動機１の外部から内部に向かって侵入する
ことがない。 ［第２の実施例］図２は、本発明の第２の実施例を示す
側断面図であり、例として、永久磁石形同期電動機の場
合を示す。なお、図２において、図１と同一符号は、同
一もしくは相当する部材を示し、説明は省略する。この
第２の実施例は、前記第１の手段における前記空間形成
部材１４、１５の回転軸７と対向する内周面に、周溝２
２、２３を形成するとともに、前記周溝２２、２３に連
通する給気路１９、２０を前記空間形成部材１４、１５
に設け、前記給気路１９、２０を、前記給気手段２１に
接続した構成としたものである。このような構成にする
ことにより、前記第１の実施例の作用効果に加え、さら
に次のような作用効果がある。 (1) 周溝２２、２３がラビリンスシール部を形成し、な
おかつ、回転軸７の外周面に対して垂直方向から清浄な
乾燥気体を吹きつけているので、外部の気体のみならず
液体をも回転形電動機１の内部に侵入するのを防止する
ことができる。 (2) 給気を行なう空間の体積が小さいため給気気体の消
費量が少ない。 (3) 軸受部からより離れたところで給気するので、軸受
８、９周辺の汚れた空気を巻き込むことがない。 なお、前記周溝２２、２３は、前記空間形成部材１４、
１５の回転軸７と対向する内周面ではなく、前記回転軸
７の前記空間形成部材１４、１５と対向する外周面に形
成してもよいし、あるいは、空間形成部材１４、１５と
回転軸７の両方に形成するようにしてもよい。 ［第３の実施例］図３は、本発明の第３の実施例を示す
側断面図であり、例として、永久磁石形同期電動機の場
合を示す。なお、図３において、図１および図２と同一
符号は、同一もしくは相当する部材を示し、説明は省略
する。この第３の実施例は、前記第１の実施例における
前記空間形成部材１４、１５の軸方向端面に同心円状の
凹凸部２４、２５を形成するとともに、前記凹凸部２
４、２５と空隙を介して係合する同心円状の凹凸部２
６、２７を有する円板２８、２９を前記回転軸７に取り
付けて、非接触のラビリンスシール部を形成し、かつ、
前記ラビリンスシール部に連通する給気路１９、２０を
前記空間形成部材１４、１５に設け、前記給気路１９、
２０を、前記給気手段２１に接続した構成としたもので
ある。このような構成にすることにより、清浄な乾燥気
体を、最外の軸隙間部から給気することができるので、
外気に対するシール効果をさらに確実なものにすること
ができる。なお、前記各実施例では、前記第２の空間１
６、１７内で、前記給気路１９、２０と前記軸受８、９
との間に非接触のラビリンスシール部は設けていない
が、前記給気路１８、１９と前記軸受７、８との間に非
接触のラビリンスシール部を設けてもよい。ラビリンス
シール部を設けることによって、前記第２の空間１６、
１７内への、給気による前記軸受８、９部からのパーテ
ィクルの巻き込みを確実に防止することができる。ま
た、前記各実施例では、永久磁石形同期電動機の場合を
例として示したが、本発明は、誘導電動機など、他の形
式の回転形電動機にも適用することができる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. [First Embodiment] FIG. 1 is a side sectional view showing a first embodiment of the present invention. As an example, a case of a permanent magnet type synchronous motor is shown. In the drawing, 1 is a rotary electric motor, 2 is an outer frame of the rotary electric motor, and is composed of a cylindrical frame 3 and brackets 4 and 5 attached to axial ends of the frame 3. Reference numeral 6 denotes a stator fitted to the inner surface of the frame. Reference numeral 7 denotes a rotating shaft which penetrates the brackets 4 and 5 and has bearings 8 and 9
It is rotatably supported via. 10 is a rotor,
It is attached to the outer peripheral surface of the rotating shaft 7 so as to face the inner peripheral surface of the stator 6 via a gap. Reference numeral 11 denotes an exhaust passage provided in the frame 3, which communicates with an internal space (first space) 12 of the rotary electric motor 1 formed by the frame 3 and the brackets 4 and 5 to exhaust gas. Connected to the means 13. Reference numerals 14 and 15 denote space forming members attached to the brackets 4 and 5, for example, formed of covers, and form second spaces 16 and 17 surrounding the rotation shaft 6 on the shaft end sides of the brackets 4 and 5. are doing. Reference numeral 18 denotes a detector for detecting the rotational speed and position of the rotary electric motor 1 disposed in the second space 17. 1
Reference numerals 9 and 20 denote air supply paths communicating with the second spaces 16 and 17 and are connected to an air supply means 21 (not shown) for supplying a clean and dry gas containing no particles. The exhaust path 11 is not the frame 3 but the brackets 4, 5, 5.
The second spaces 16 and 17 may be formed by deforming the brackets 4 and 5 without depending on the cover. The operation of the rotary electric motor having such a configuration will be described below. First, when the operation of the rotary electric motor 1 is started, particles such as scattering of grease and wear powder in the bearings 8 and 9 are generated inside the rotary electric motor 1. However, when the exhaust unit 13 exhausts the internal space 12 of the rotary electric motor 1 formed by the frame 3 and the brackets 4 and 5,
Since the internal space 12 has a negative pressure from the surroundings, particles generated inside the rotary electric motor 1 are sucked into the internal space 12 and discharged through the exhaust path 11. Therefore, no particles are emitted from the rotary electric motor 1 to the surrounding atmosphere. If the only purpose is to prevent particle emission, the operation of the exhaust means 13 alone is sufficient. However, since the internal pressure of the rotary electric motor 1 is lower than the ambient pressure in this state, the gas and mist in the ambient atmosphere are removed by the rotary electric motor 1. Inhale inside. If the gas or mist in the surrounding atmosphere is corrosive, it causes corrosion inside the rotary electric motor 1,
It causes deterioration of performance and increase of particles due to rust. Therefore, the second spaces 16, 17 formed by the space forming members 14, 15 attached to the brackets 4, 5, respectively.
A clean and dry gas that does not contain particles, such as high-purity dry nitrogen or dry air filtered by a filter, is supplied into the inside by an air supply unit 21. As a result, the pressure in the second spaces 16 and 17 becomes more positive than the ambient pressure,
Gas and mist in the surrounding atmosphere cannot enter the inside of the rotary electric motor 1. On the other hand, inside the rotary electric motor 1, an airflow is formed that is exhausted from the second spaces 16, 17 through the exhaust passage 11 via the internal space 12, and
Particles generated inside are discharged along this air flow. Further, even if the gas in the second spaces 16 and 17 leaks to the outside of the rotary electric motor 1, the gas in the second spaces 16 and 17 is a clean and dry gas that does not contain particles. The environment surrounding the electric motor 1 is not polluted. Therefore, in the rotary electric motor of the present invention,
No particles are emitted from the inside of the motor to the outside, and corrosive gas or mist in the surrounding atmosphere does not enter from the outside to the inside of the rotary motor 1. [Second Embodiment] FIG. 2 is a side sectional view showing a second embodiment of the present invention, and shows a case of a permanent magnet type synchronous motor as an example. 2, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same or corresponding members, and a description thereof will be omitted. The second embodiment is different from the first embodiment in that a circumferential groove 2 is formed on the inner circumferential surface of the space forming members 14 and 15 facing the rotating shaft 7.
2 and 23, and the air supply passages 19 and 20 communicating with the circumferential grooves 22 and 23 are formed by the space forming members 14 and 15 respectively.
And the air supply passages 19 and 20 are connected to the air supply means 21. With such a configuration, the following operation and effect are obtained in addition to the operation and effect of the first embodiment. (1) Since the circumferential grooves 22 and 23 form a labyrinth seal portion, and a clean dry gas is blown from the vertical direction to the outer peripheral surface of the rotating shaft 7, not only the external gas but also the liquid is discharged. It is possible to prevent entry into the inside of the rotary electric motor 1. (2) Since the volume of the space for supplying air is small, the consumption of supplied gas is small. (3) Since air is supplied at a position farther from the bearing portion, dirty air around the bearings 8 and 9 is not entrained. In addition, the said peripheral groove 22,23 is the said space forming member 14,
15 may be formed on the outer peripheral surface of the rotating shaft 7 facing the space forming members 14 and 15 instead of the inner peripheral surface facing the rotating shaft 7, or the space forming members 14 and 15 and the rotating shaft may be formed. 7 may be formed. [Third Embodiment] FIG. 3 is a side sectional view showing a third embodiment of the present invention, and shows, as an example, a case of a permanent magnet type synchronous motor. 3, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 denote the same or corresponding members, and a description thereof will be omitted. In the third embodiment, concentric concavo-convex portions 24 and 25 are formed on the axial end surfaces of the space forming members 14 and 15 in the first embodiment, and the concavo-convex portion 2 is formed.
Concentric concavo-convex portion 2 engaged with gaps 4 and 25 via a gap
Disks 28, 29 having 6, 27 are attached to the rotating shaft 7 to form a non-contact labyrinth seal portion, and
Air supply paths 19, 20 communicating with the labyrinth seal portion are provided in the space forming members 14, 15, and the air supply paths 19, 20 are provided.
20 is configured to be connected to the air supply means 21. With such a configuration, clean dry gas can be supplied from the outermost shaft gap,
The sealing effect against outside air can be further ensured. In each of the above embodiments, the second space 1
6 and 17, the air supply passages 19 and 20 and the bearings 8 and 9
A non-contact labyrinth seal portion is not provided between the bearings 7 and 8, but a non-contact labyrinth seal portion may be provided between the air supply passages 18 and 19 and the bearings 7 and 8. By providing a labyrinth seal portion, the second space 16,
Particles from the bearings 8 and 9 due to the supply of air into the bearing 17 can be reliably prevented. Further, in each of the above embodiments, the case of the permanent magnet type synchronous motor has been described as an example. However, the present invention can be applied to other types of rotary electric motors such as an induction motor.
【０００６】[0006]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば次の
ような効果がある。 (1) 外枠で形成される回転形電動機の内部空間内の圧力
は、排気手段によって排気されて負圧となり、空間形成
部材により形成された第２の空間内の圧力、前記前記空
間形成部材あるいは回転軸に設けた前記周溝内の圧力、
あるいは、前記カバーと前記回転軸に取り付けた円板に
より形成された非接触の前記ラビリンスシール部内の圧
力は、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体が給
気手段により給気されるので正圧となる。このため、軸
受部で発生した摩耗や飛散したグリースをはじめとする
回転形電動機内部で発生したパーティクルは、負圧であ
る回転形電動機の内部空間側に吸引されて排気路を通っ
て排気されることになり、回転形電動機からパーティク
ルが放出されることはない。 (2) 一方、第２の空間内、前記周溝内あるいは前記ラビ
リンスシール部内は正圧に保たれているので、回転形電
動機外部の腐食性のある気体やミストを遮断し、回転形
電動機内部に吸い込むことはない。また、第２の空間
内、前記周溝内、あるいは前記ラビリンスシール部内の
気体が回転形電動機外部に漏れても、この空間内の気体
はパーティクルを含まない清浄で乾燥した気体であるの
で回転形電動機周囲の環境を汚染することはない。As described above, the present invention has the following effects. (1) The pressure in the internal space of the rotary electric motor formed by the outer frame is exhausted by the exhaust means to become negative pressure, and the pressure in the second space formed by the space forming member, the space forming member Alternatively, the pressure in the circumferential groove provided on the rotating shaft,
Alternatively, the pressure in the non-contact labyrinth seal formed by the cover and the disk attached to the rotating shaft is positive pressure because clean and dry gas containing no particles is supplied by the supply means. Become. Therefore, particles generated inside the rotary electric motor, such as abrasion generated in the bearing portion and scattered grease, are sucked into the internal space side of the rotary electric motor, which is a negative pressure, and are exhausted through the exhaust passage. That is, no particles are emitted from the rotary electric motor. (2) On the other hand, since the inside of the second space, the inside of the circumferential groove or the inside of the labyrinth seal is kept at a positive pressure, corrosive gas and mist outside the rotary electric motor are shut off, and the inside of the rotary electric motor is cut off. Never inhale. Also, even if gas in the second space, in the circumferential groove, or in the labyrinth seal leaks to the outside of the rotary electric motor, the gas in this space is a clean and dry gas containing no particles, so the rotary type It does not pollute the environment around the motor.
【図１】本発明の第１の実施例を示す回転形電動機の側
断面図である。FIG. 1 is a side sectional view of a rotary electric motor according to a first embodiment of the present invention.
【図２】本発明の第２の実施例を示す回転形電動機の側
断面図である。FIG. 2 is a side sectional view of a rotary electric motor according to a second embodiment of the present invention.
【図３】本発明の第３の実施例を示す回転形電動機の側
断面図である。FIG. 3 is a side sectional view of a rotary electric motor according to a third embodiment of the present invention.
１ 回転形電動機、 ２ 外枠、 ３ フレーム、 ４、５ ブラケット、 ６ 固定子、 ７ 回転軸、 ８、９ 軸受、 １０ 回転子、 １１ 排気路、 １２ 内部空間、 １３ 排気手段、 １４、１５ 空間形成部材、 １６、１７ 第２の空間、 １８ 検出器部、 １９、２０ 給気路、 ２１ 給気手段、 ２２、２３ 周溝、 ２４、２５、２６、２７ 凹凸部、 ２８、２９ 円板 1 rotary motor, 2 outer frame, 3 frame, 4, 5 bracket, 6 stator, 7 rotating shaft, 8, 9 bearing, 10 rotor, 11 exhaust path, 12 internal space, 13 exhaust means, 14, 15 space Forming member, 16, 17 Second space, 18 Detector section, 19, 20 Air supply path, 21 Air supply means, 22, 23 Circumferential groove, 24, 25, 26, 27 Irregular part, 28, 29 Disk
Claims (4)
両端部に取り付けたブラケットとからなる外枠と、前記
フレームの内面に嵌合される固定子と、前記ブラケット
に軸受を介して回転自在に支承された回転軸と、前記回
転軸の外周面に、前記固定子の内周面と空隙を介して対
向するように取り付けられた回転子とを有する回転形電
動機において、 前記外枠で形成される内部空間に連通する排気路を前記
外枠に設けるとともに、前記排気路を気体の排気を行う
排気手段に接続し、かつ前記外枠に空間形成部材を設け
て、前記ブラケットの両軸端側で前記回転軸の周りを取
り囲む第２の空間を形成するとともに、前記第２の空間
に連通する給気路を前記空間形成部材に設け、前記給気
路を、パーティクルを含まない清浄で乾燥した気体を給
気する前記給気手段に接続したことを特徴とする回転形
電動機。1. An outer frame comprising a cylindrical frame and brackets attached to both ends of the frame in the axial direction, a stator fitted to the inner surface of the frame, and a rotatable bracket mounted on the bracket via a bearing. A rotary shaft that is mounted on the rotary shaft, and a rotor that is mounted on the outer peripheral surface of the rotary shaft so as to face the inner peripheral surface of the stator via a gap. An exhaust path communicating with the internal space to be provided is provided in the outer frame, the exhaust path is connected to exhaust means for exhausting gas, and a space forming member is provided in the outer frame, and both ends of the bracket A second space surrounding the rotation axis is formed on the side, and an air supply path communicating with the second space is provided in the space forming member, and the air supply path is clean and dry without particles. Supply gas Rotary motor, characterized in that connected to the air supply means that.
る内周面、あるいは、前記回転軸の前記空間形成部材と
対向する外周面のいずれか一方、あるいは両方に周溝を
形成し、前記周溝に連通する給気路を前記空間形成部材
に設け、前記給気路を、前記給気手段に接続したことを
特徴とする請求項１に記載の回転形電動機。2. A circumferential groove is formed on one or both of an inner peripheral surface of the space forming member facing the rotating shaft and an outer peripheral surface of the rotating shaft facing the space forming member, The rotary electric motor according to claim 1, wherein an air supply passage communicating with the circumferential groove is provided in the space forming member, and the air supply passage is connected to the air supply means.
状の凹凸を形成するとともに、前記凹凸と空隙を介して
係合する同心円状の凹凸を有する円板を前記回転軸に取
り付けて、非接触のラビリンスシール部を形成し、か
つ、前記ラビリンスシール部に連通する給気路を前記空
間形成部材に設け、前記給気路を、前記給気手段に接続
したことを特徴とする請求項１に記載の回転形電動機。3. A disk having concentric concavities and convexities formed on the axial end surface of the space forming member and having concentric concavo-convex engaging with the concavities and convexities through a gap is attached to the rotating shaft. 2. A labyrinth seal part for contact is formed, and an air supply path communicating with the labyrinth seal part is provided in the space forming member, and the air supply path is connected to the air supply means. 2. The rotary electric motor according to 1.
軸受との間に非接触のラビリンスシール部を設けたこと
を特徴とする請求項１から３までのいずれかの項に記載
の回転形電動機。4. The non-contact labyrinth seal portion is provided between the air supply passage and the bearing in the second space. The rotary electric motor as described.
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