JP2000131256A - Deterioration detecting method and device for coating member - Google Patents
Deterioration detecting method and device for coating memberInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、金属の耐久性を向
上するためにコーティングが施工されたコーティング部
材の劣化検出方法及び装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for detecting deterioration of a coated member on which a coating is applied to improve the durability of a metal.
【０００２】[0002]
【従来の技術】機器を構成する金属を高温雰囲気等から
守るためにコーティングが施工されているコーティング
部材における劣化発生のメカニズムについて、図６によ
り説明する。2. Description of the Related Art The mechanism of occurrence of deterioration in a coating member on which a coating is applied to protect a metal constituting an apparatus from a high-temperature atmosphere or the like will be described with reference to FIG.
【０００３】図６において、８１は機器を構成する金属
（ここでは母材と呼ぶ）、８２は直接高温雰囲気等に接
触するトップコーティング、８３は金属８１とトップコ
ーティング８２の接着性を高めるためにその間に設けら
れたアンダーコーティング、８４はアンダーコーティン
グ８３の中に発生したアンダーコーティング材の酸化物
（ここでは酸化物と呼ぶ）である。[0003] In FIG. 6, reference numeral 81 denotes a metal constituting a device (referred to as a base material in this case); 82, a top coating that directly contacts a high-temperature atmosphere or the like; An undercoating 84 provided therebetween is an oxide of the undercoating material generated in the undercoating 83 (hereinafter referred to as an oxide).
【０００４】トップコーティング８２は、母材８１が高
温にさらされることからこれを保護するために設けら
れ、一般的に金属よりも熱伝導率の低いセラミックが材
料として使用され、セラミックの粉末が各種の工法で吹
き付けられて、コーティング膜を生成したものである。
このトップコーティング８２については、母材８１への
接着性を高めるために、近年、母材８１との間に金属の
アンダーコーティング８３が設けられている。[0004] The top coating 82 is provided to protect the base material 81 from being exposed to a high temperature. Generally, a ceramic having a lower thermal conductivity than metal is used as a material, and various kinds of ceramic powder are used. And a coating film is generated.
In recent years, a metal undercoating 83 has been provided between the top coating 82 and the base material 81 in order to enhance the adhesion to the base material 81.
【０００５】通常の状態では、トップコーティング８２
は、アンダーコーティング８３に良好に接着し、アンダ
ーコーティング８３は、母材８１と良好に接着して、母
材８１が高温にさらされるのを防ぐ。このトップコーテ
ィング８２とアンダーコーティング８３の併用は、母材
８１の耐久性を向上する目的で各種工業分野にて適用さ
れている。Under normal conditions, the top coating 82
Adheres well to the undercoat 83, and the undercoating 83 adheres well to the base material 81 to prevent the base material 81 from being exposed to high temperatures. The combined use of the top coating 82 and the under coating 83 is applied in various industrial fields for the purpose of improving the durability of the base material 81.
【０００６】トップコーティング８２及びアンダーコー
ティング８３が施された母材８１は機器を構成してお
り、この機器の稼働中にコーティング材の劣化が発生す
ることがある。[0006] The base material 81 on which the top coating 82 and the under coating 83 are applied constitutes a device, and the coating material may deteriorate during the operation of the device.
【０００７】この劣化原因の一つは、図６に示した酸化
物８４の生成によるものである。前述のようにアンダー
コーティング８３の材質は金属であり、機器の稼働中
（一般的に高温雰囲気中）に、コーティング中に存在す
る酸素もしくは周囲の雰囲気中から入ってきた酸素によ
って、アンダーコーティング材である金属が酸化され、
酸化物８４が生成される。One of the causes of the deterioration is due to the formation of the oxide 84 shown in FIG. As described above, the material of the undercoating 83 is metal, and during operation of the apparatus (generally in a high-temperature atmosphere), the undercoating material is formed by oxygen existing in the coating or oxygen coming from the surrounding atmosphere. Some metals are oxidized,
Oxide 84 is produced.
【０００８】アンダーコーティング８３の表面に酸化物
８４が発生した場合、トップコーティング８２とアンダ
ーコーティング８３の間の接着性が低下し、酸化物８４
が生じた状態で更に稼働を続けると、トップコーティン
グ８２とアンダーコーティング８３の間が剥がれ、更
に、この状態で稼働を続けると、トップコーティング８
２に部分的な脱落が発生し、母材８１に損傷が発生し、
機器全体の運転に支障をきたすことがある。When the oxide 84 is generated on the surface of the undercoating 83, the adhesion between the top coating 82 and the undercoating 83 is reduced, and the oxide 84
If the operation is further continued in a state where the occurrence of the top coating 82 and the under coating 83 are separated, if the operation is continued in this state, the top coating 8
2 is partially dropped, the base material 81 is damaged,
The operation of the entire device may be hindered.
【０００９】したがって、アンダーコーティング８３の
中に発生した酸化物８４の存在の有無は、このような機
器にとっては重要であり、機器の運転が停止されたとき
等に酸化物８４の有無を何らかの方法で調べることは、
機器の寿命延長に大変有効である。Therefore, the presence or absence of the oxide 84 generated in the undercoating 83 is important for such equipment, and when the operation of the equipment is stopped, the presence or absence of the oxide 84 is determined by some method. To find out with
It is very effective in extending the life of the equipment.
【００１０】また、もう一つの劣化原因としては、トッ
プコーティング８２の膜厚の減少が挙げられる。トップ
コーティング８２は、機器の運転時には外部雰囲気等と
接触しており、摩耗等によってその膜厚が減少すること
がある。このトップコーティング８２の膜厚の減少は母
材８１に悪影響を与え、トップコーティング８２の膜厚
が減少した状態で機器の運転を続けた場合、母材８１に
損傷が発生し、機器全体に悪影響を与えることがある。[0010] Another cause of deterioration is a decrease in the thickness of the top coating 82. The top coating 82 is in contact with an external atmosphere or the like during operation of the device, and its thickness may be reduced due to abrasion or the like. This decrease in the thickness of the top coating 82 has an adverse effect on the base material 81. If the operation of the device is continued in a state where the thickness of the top coating 82 is reduced, the base material 81 is damaged, and the entire device is adversely affected. May be given.
【００１１】したがって、トップコーティング８２の膜
厚は、このような機器にとって重要であり、機器の運転
が停止されたとき等にトップコーティング８２の膜厚を
何らかの方法で調べることは、機器の寿命延長に大変有
効である。Therefore, the film thickness of the top coating 82 is important for such a device, and checking the film thickness of the top coating 82 by any method when the operation of the device is stopped or the like is necessary to extend the life of the device. It is very effective for
【００１２】上記各コーティング及び酸化物の電気的な
特性について、以下に説明する。トップコーティングの
材質はセラミックであり、セラミックは絶縁体であるた
め、この電気抵抗率ρt は母材（金属）の電気抵抗率ρ
m にくらべて１０16倍程度大きく、金属の酸化物たとえ
ば酸化アルミ（Ａ１2 Ｏ3 ）の電気抵抗率ρo はトップ
コーティングよりも更に１０3 倍程度大きいことが観察
されている。アンダーコーティング材の電気抵抗率ρu
は、アンダーコーティング材が金属であるため、母材と
ほぼ同一である。The electrical characteristics of each of the above coatings and oxides will be described below. Since the material of the top coating is ceramic and the ceramic is an insulator, the electric resistivity ρ t is the electric resistivity ρ of the base material (metal).
10 16 times greater than the m, the electrical resistivity [rho o metal oxides such as aluminum oxide (A1 2 O 3) has been observed that greater about 10 3 times higher than the top coating. Electric resistivity ρ u of the undercoating material
Is substantially the same as the base material because the undercoating material is metal.
【００１３】また、トップコーティング材及び酸化物の
ように電気抵抗率が極めて大きい物質では誘電率が重要
な特性であり、トップコーティング材については、比誘
電率εｔが３０であり、酸化物たとえば酸化アルミ（Ａ
１2 Ｏ3 ）については、比誘電率εｏは１０が観察され
ている。The dielectric constant is an important characteristic of a substance having an extremely high electric resistivity, such as a top coating material and an oxide. The relative dielectric constant εt of the top coating material is 30 and an oxide such as an oxide. Aluminum (A
As for 1 2 O 3 ), a relative dielectric constant εo of 10 was observed.
【００１４】上記コーティング部材の劣化検出のための
従来の装置としては、図７に示したもの（特開平６−２
７３３６５の例）がある。図７において、１はコーティ
ングを有する被検対象物、１ｃは図６中の８２及び８３
と同様のコーティング、１ｍは図６中の８１と同様の金
属（母材）である。A conventional apparatus for detecting the deterioration of the coating member is shown in FIG. 7 (JP-A-6-2).
73365). In FIG. 7, reference numeral 1 denotes a test object having a coating, and 1c denotes 82 and 83 in FIG.
1m is the same metal (base material) as 81 in FIG.
【００１５】２は検出端である検出コイル、３は検出コ
イル２を内蔵するプローブ、４は検出コイル２を交流で
励磁する励磁電源、５はブリッジ回路、６は検出された
信号を処理するコンピュータ、７は検出された信号を増
幅する受信用増幅器、８は増幅された信号をディジタル
に変換するＡ／Ｄ変換器、９は検出された信号に関係す
る電圧を発生するＤ／Ａ変換器である。Reference numeral 2 denotes a detection coil serving as a detection end, 3 a probe having the detection coil 2 built-in, 4 an excitation power supply for exciting the detection coil 2 with AC, 5 a bridge circuit, 6 a computer for processing a detected signal. , 7 is a receiving amplifier for amplifying the detected signal, 8 is an A / D converter for converting the amplified signal to digital, and 9 is a D / A converter for generating a voltage related to the detected signal. is there.
【００１６】上記装置においては、検出コイル２が励磁
電源４よりブリッジ回路５を介して供給された低周波か
ら高周波までの広い範囲の周波数の電流Ｉｉにより励磁
され、ブリッジ回路５が不平衡出力信号Ｉｏを出力し、
これを入力したコンピュータ６が不平衡補償信号Ｉｃを
ブリッジ回路５に印加しており、周波数の変化に対応し
た検出コイル２のインピーダンスの変動を測定すること
によって、コーティング部材の劣化を検出している。In the above device, the detection coil 2 is excited by the current Ii having a wide range of frequencies from low frequency to high frequency supplied from the excitation power supply 4 via the bridge circuit 5, and the bridge circuit 5 is supplied with the unbalanced output signal. Output Io,
The computer 6 that has input the signal applies the unbalance compensation signal Ic to the bridge circuit 5, and detects the deterioration of the coating member by measuring the change in the impedance of the detection coil 2 corresponding to the change in the frequency. .
【００１７】[0017]
【発明が解決しようとする課題】従来のコーティング部
材の劣化検出装置は、前述のように、励磁電流の周波数
の変化に対応した検出コイルのインピーダンスの変動を
測定してコーティング部材の劣化を検出するもので、一
種の渦電流探傷手法（電磁誘導法）が適用されたもので
あるが、次のような課題があった。以下にその詳細を説
明する。As described above, the conventional deterioration detecting apparatus for a coated member detects the deterioration of the coated member by measuring the fluctuation of the impedance of the detecting coil corresponding to the change in the frequency of the exciting current. Although a kind of eddy current flaw detection method (electromagnetic induction method) is applied, there are the following problems. The details will be described below.
【００１８】前述のように、トップコーティング及び劣
化によってアンダーコーティングに生じる酸化物は絶縁
体であり、この電気抵抗率は母材（金属）の１０16倍程
度と大きい。As described above, the oxide generated in the undercoat due to the top coating and the deterioration is an insulator, and its electrical resistivity is as large as about 10 16 times that of the base material (metal).
【００１９】渦電流探傷法の検出感度は、被検体の中に
発生する渦電流の強度によって左右されるもので、被検
体中に流れる渦電流の強度は、被検体の電気抵抗率が小
さいほど、また比透磁率が大きいほど高くなる。The detection sensitivity of the eddy current flaw detection method depends on the intensity of the eddy current generated in the subject, and the intensity of the eddy current flowing in the subject increases as the electrical resistivity of the subject decreases. The higher the relative magnetic permeability, the higher the relative magnetic permeability.
【００２０】しかしながら、磁性体金属以外の物質で
は、比透磁率は１（空気と同一）であり、劣化検出対象
のトップコーティング及び酸化物は非磁性体のため、比
透磁率については論じる必要がなく、被検体中に流れる
渦電流の強度が左右される電気抵抗率についてのみ検討
すればよい。However, for substances other than magnetic metals, the relative permeability is 1 (same as air), and since the top coating and oxide to be subject to deterioration detection are non-magnetic, it is necessary to discuss the relative permeability. Instead, only the electrical resistivity, which depends on the intensity of the eddy current flowing in the subject, needs to be considered.
【００２１】トップコーティング及び酸化物の電気抵抗
率は母材に比べて極めて大きいため、この中を流れる渦
電流の強度は母材に流れる渦電流の強度の１０16分の１
程度しか流れず、酸化物では電気抵抗率が更に大きいた
め、この中を流れる渦電流の強度はさらに小さくなる。Since the electrical resistivity of the top coating and the oxide is much higher than that of the base material, the intensity of the eddy current flowing through the top coating and the oxide is 10 16 times smaller than the intensity of the eddy current flowing through the base material.
To the extent that the oxide has a higher electric resistivity, the intensity of the eddy current flowing therethrough is further reduced.
【００２２】したがって、この渦電流探傷法では、トッ
プコーティング及び酸化物に対する感度が極めて低くな
り、検出コイルで検出される検出値には、トップコーテ
ィング及び酸化物に関する情報がほとんど含まれないこ
とになる。Therefore, in this eddy current inspection method, the sensitivity to the top coating and the oxide is extremely low, and the detection value detected by the detection coil hardly includes information on the top coating and the oxide. .
【００２３】このことは、この手法を用いた場合、コー
ティングが電気抵抗率の高いセラミック材等からなるも
のについては、コーティング部材の劣化に対する検出性
が低くなることを示しており、精度のよい劣化状況の検
出は困難であった。本発明は上記の課題を解決しようと
するものである。This indicates that when this method is used, the detectability of deterioration of the coating member is low when the coating is made of a ceramic material or the like having a high electrical resistivity, and the accuracy of the deterioration is high. The situation was difficult to detect. The present invention seeks to solve the above problems.
【００２４】またさらに、上記のコーティング部材の劣
化状況の検出を、被測定物が使用条件等に合わせた高温
環境下に置かれた状態で測定する必要がある場合に対
し、それを可能とすることを課題とするものである。[0024] Furthermore, the above-mentioned deterioration of the coating member can be detected in a case where the object to be measured needs to be measured in a state where the object to be measured is placed in a high-temperature environment suitable for use conditions and the like. That is the task.
【００２５】[0025]
【課題を解決するための手段】（１）請求項１の発明に
係るコーティング部材の劣化検出方法は、一方の表面に
コーティングが施工された被検体である母材の他方の表
面と上記コーティングの表面とにそれぞれ電極を取り付
け、この電極間に周波数を変化させながら電流を流して
電極間の各周波数におけるインピーダンスを測定し、各
周波数における測定値を実数成分の大きさと虚数成分の
大きさにより複素平面に表示して測定値の軌跡を求め、
この測定値の軌跡の大きさから劣化現象の一つである酸
化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角から劣
化現象の一つであるコーティングの肉厚の減少を検出す
ることを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for detecting the deterioration of a coating member, comprising the steps of: Attach electrodes to the surface and measure the impedance at each frequency between the electrodes by passing current while changing the frequency between the electrodes.The measured value at each frequency is complexed by the magnitude of the real component and the magnitude of the imaginary component. Display on the plane to find the trajectory of the measured value,
Detecting the formation of oxides, one of the degradation phenomena, from the magnitude of the locus of the measured values, and detecting the decrease in coating thickness, one of the degradation phenomena, from the inclination angle near the zero point of the locus It is characterized by.
【００２６】上記において、コーティング部材を形成す
る母材は金属であり、良導体であるのに対して、コーテ
ィングは極めて電流の流れにくい不良導体であるため、
電極間のインピーダンスはコーティングのインピーダン
スとほぼ等しく、また、このコーティングのインピーダ
ンスは抵抗と静電容量が並列接続された等価回路と同等
とすることができる。In the above description, the base material forming the coating member is a metal and a good conductor, whereas the coating is a bad conductor in which current does not easily flow.
The impedance between the electrodes is substantially equal to the impedance of the coating, and the impedance of the coating can be equivalent to an equivalent circuit in which the resistance and the capacitance are connected in parallel.
【００２７】そのため、周波数を変化させながら電流を
流すことにより測定された電極間の各周波数におけるイ
ンピーダンスの測定値を複素平面上に表示した場合、そ
の軌跡は所定の大きさの半円形を描く。Therefore, when the measured value of the impedance between the electrodes at each frequency measured by flowing a current while changing the frequency is displayed on a complex plane, the locus of the locus draws a semicircle of a predetermined size.
【００２８】上記コーティングが劣化して酸化物を生成
した場合、この等価回路は上記コーティングのみのとき
の等価回路に酸化物の抵抗と静電容量が並列接続された
等価回路が直列接続されたものとなる。また、この酸化
物はコーティングに比べて更に電流が流れにくくなり、
その厚みが薄いため、電気抵抗率が大きく、比誘電率が
小さい。When the coating is deteriorated to form an oxide, this equivalent circuit is obtained by connecting an equivalent circuit in which the resistance and the capacitance of the oxide are connected in parallel to the equivalent circuit when only the coating is used. Becomes Also, this oxide makes it more difficult for current to flow compared to the coating,
Since its thickness is small, its electric resistivity is large and its relative permittivity is small.
【００２９】そのため、酸化物を生成した場合のインピ
ーダンスの測定値により複素平面上に描かれる半円形の
軌跡は、コーティングのみの場合のものより大きく、こ
の軌跡の大きさの比較により酸化物の生成を検出するこ
とができる。Therefore, the semicircular trajectory drawn on the complex plane by the measured value of the impedance when the oxide is generated is larger than that in the case of only the coating, and the size of this trajectory is compared with the size of the trajectory to generate the oxide. Can be detected.
【００３０】上記コーティングが減肉して肉厚が薄くな
った場合は、コーティングのみの場合に比べて、静電容
量が大きくなり、抵抗は小さくなるため、測定値の軌跡
における周波数が高い部分（インピーダンスがゼロに近
い部分）での傾斜角が小さくなる。When the thickness of the coating is reduced and the thickness is reduced, the capacitance is increased and the resistance is reduced as compared with the case of only the coating, so that the portion of the locus of the measured value where the frequency is high ( (Where the impedance is close to zero).
【００３１】そのため、この傾斜角をコーティングの厚
さが正常なものと比較することにより、減肉の状況を検
出することができる。Therefore, by comparing the angle of inclination with the case where the thickness of the coating is normal, it is possible to detect the state of thinning.
【００３２】（２）請求項２の発明に係るコーティング
部材の劣化検出方法は、請求項１に記載のコーティング
部材の劣化検出方法において、前記電極として白金等の
耐高温材を用い、同電極を白金等を主成分とするペース
トで前記母材の他方の表面と前記コーティングの表面と
に取付けてインピーダンス測定装置との間を白金等の耐
高温材をセラミックス材で覆ったケーブルで接続したこ
とを特徴としている。(2) The method for detecting deterioration of a coating member according to the invention of claim 2 is the method for detecting deterioration of a coating member according to claim 1, wherein a high temperature resistant material such as platinum is used as the electrode, and the electrode is Attached to the other surface of the base material and the surface of the coating with a paste containing platinum or the like as a main component, and connected between the impedance measuring device and a cable in which a high temperature resistant material such as platinum is covered with a ceramic material. Features.
【００３３】本発明においては、前記（１）の発明の作
用、効果に加えて、被測定物を高温環境下にに置いた状
態でコーティング部材の劣化の状態を検出できるもので
ある。In the present invention, in addition to the functions and effects of the invention (1), the deterioration of the coating member can be detected while the object to be measured is placed in a high-temperature environment.
【００３４】（３）請求項３の発明に係るコーティング
部材の劣化検出装置は、一方の表面にコーティングが施
工された被検体である母材の他方の表面と上記コーティ
ングの表面とにそれぞれ配設される電極、同それぞれの
電極が接続されたインピーダンス測定装置、および同装
置が測定した各周波数におるけ測定値を入力しそれぞれ
の測定値を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより
複素平面に表示して測定値の軌跡を求めこの軌跡から酸
化物の生成とコーティングの肉厚の減少を検出する処理
及び表示装置を備えたことを特徴としている。(3) An apparatus for detecting deterioration of a coating member according to the third aspect of the present invention is provided on the other surface of the base material, which is a subject having one surface coated, and on the surface of the coating. The electrodes to be measured, the impedance measuring device to which the respective electrodes are connected, and the measured values at the respective frequencies measured by the devices are input, and each measured value is represented by a complex plane according to the magnitude of the real component and the magnitude of the imaginary component. And a process for determining the locus of the measured values and detecting the generation of the oxide and the decrease in the thickness of the coating from the locus, and a display device.
【００３５】本発明においては、インピーダンス測定装
置が周波数を変化させながら電流を電極間に供給し、電
極間の各周波数におけるインピーダンスの実数成分と虚
数成分で示された測定値を測定する。In the present invention, the impedance measuring device supplies a current between the electrodes while changing the frequency, and measures a measured value represented by a real component and an imaginary component of the impedance at each frequency between the electrodes.
【００３６】このインピーダンス測定装置により測定さ
れたインピーダンスの測定値は処理及び表示装置に入力
され、処理及び表示装置はそれぞれの測定値を実数成分
の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面上に表示
し、この複素平面上における測定値の軌跡を求め、求め
られたそれぞれの軌跡の比較を行う。The measured value of the impedance measured by the impedance measuring device is input to a processing and display device, and the processing and display device displays each measured value on a complex plane according to the magnitude of the real component and the magnitude of the imaginary component. Then, the trajectory of the measured value on the complex plane is obtained, and the obtained trajectories are compared.
【００３７】そのため、前記（１）の発明と同様、軌跡
の大きさより酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近
の傾斜角よりコーティングの減肉の状況を検出すること
が可能となる。Therefore, similarly to the invention of the above (1), it is possible to detect the generation of oxide from the size of the locus, and to detect the state of thinning of the coating from the inclination angle near the zero point of the locus.
【００３８】（４）請求項４の発明に係るコーティング
部材の劣化検出装置は、請求項３に記載のコーティング
部材の劣化検出装置において、前記電極が白金等の耐高
温材であり、白金等を主成分とするペーストで前記母材
の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付けられ
インピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセ
ラミックス材で覆ったケーブルで接続されたことを特徴
としている。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the coating member deterioration detecting apparatus according to the third aspect of the present invention, wherein the electrode is a high temperature resistant material such as platinum. It is characterized in that a high-temperature resistant material such as platinum or the like is covered with a ceramics material, and a cable is attached between the other surface of the base material and the surface of the coating with a paste as a main component and the impedance measuring device. I have.
【００３９】本発明においては、前記（３）の発明の作
用、効果に加えて、被測定物を高温環境下にに置いた状
態でコーティング部材の劣化の状態を検出できるもので
ある。In the present invention, in addition to the function and effect of the invention (3), the deterioration state of the coating member can be detected while the object to be measured is placed in a high temperature environment.
【００４０】[0040]
【発明の実施の形態】本発明の実施の一形態に係るコー
ティング部材の劣化検出装置について、図１及び図２に
より説明する。なお、本実施形態は、図６に示したよう
に金属（母材）８１の表面にトップコーティング８２と
アンダーコーティング８３が施されたコーティング部材
の劣化検出に適用されるものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An apparatus for detecting deterioration of a coating member according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. This embodiment is applied to the detection of deterioration of a coating member in which a top coating 82 and an under coating 83 are applied to the surface of a metal (base material) 81 as shown in FIG.
【００４１】図１に示す本実施形態に係る劣化検出装置
は、その表面にトップコーティング８２とアンダーコー
ティング８３が施された母材８１の裏面に配設された電
極１３、上記トップコーティング８２の表面に配設され
た電極１４、同電極１３，１４がそれぞれケーブル１
５，１６を介して接続されたインピーダンス測定装置１
１、および同測定装置１１がケーブル１７を介して接続
され表示画面２１を有する処理及び表示装置１２を備え
ている。The deterioration detecting device according to the present embodiment shown in FIG. 1 has an electrode 13 disposed on the back surface of a base material 81 having a top coating 82 and an under coating 83 on the surface, and a front surface of the top coating 82. The electrodes 14 and the electrodes 13 and 14 are respectively connected to the cable 1.
Impedance measuring device 1 connected via 5 and 16
1 and a processing and display device 12 having a display screen 21 to which the measuring device 11 is connected via a cable 17.
【００４２】上記において、コーティング部材の劣化を
検出する場合、インピーダンス測定装置１１は、２個の
測定端子の間に接続された回路に低い周波数から高い周
波数まで周波数を変化させて電流を供給し、各周波数に
おけるインピーダンスを測定する。In the above, when detecting the deterioration of the coating member, the impedance measuring device 11 supplies the current connected to the circuit connected between the two measuring terminals by changing the frequency from a low frequency to a high frequency, Measure the impedance at each frequency.
【００４３】この測定結果については、インピーダンス
の絶対値及び位相角の値をセットにして、又はインピー
ダンスの実数成分の値及び虚数成分の値をセットにして
処理及び表示装置１２に入力され、処理及び表示装置１
２は測定結果を表示画面２１に測定例２２のように表示
する。The measurement result is input to the processing and display device 12 by setting the absolute value of the impedance and the value of the phase angle or by setting the value of the real component and the value of the imaginary component of the impedance. Display device 1
2 displays the measurement result on the display screen 21 as in Measurement Example 22.
【００４４】図２（ａ）は、上記処理及び表示装置１２
の表示画面２１だけを示したものであり、この表示画面
は、横軸に測定したインピーダンスの実数成分の大き
さ、縦軸に虚数成分の大きさが表示され、測定した各周
波数のインピーダンスの値が測定点の１点として表示さ
れる。図２（ａ）において、２１は表示画面であり、３
１は各周波数に対応する測定値、３２は各周波数の測定
値３１の間を結んでできた表示線であり、３１と３２を
総称して、測定結果２２と呼ぶ。FIG. 2A shows the above processing and display device 12.
This display screen only shows the magnitude of the real component of the measured impedance on the horizontal axis and the magnitude of the imaginary component of the impedance on the vertical axis, and the measured impedance value of each frequency. Is displayed as one of the measurement points. In FIG. 2A, reference numeral 21 denotes a display screen;
1 is a measured value corresponding to each frequency, 32 is a display line connecting between the measured values 31 of each frequency, and 31 and 32 are collectively called a measurement result 22.
【００４５】この処理及び表示装置１２については、そ
の表示画面２１に、図２（ｂ）に示すような拡大表示も
できる機能を有している。図２（ｂ）は、インピーダン
スの測定値がゼロに近づく部分を拡大して表示してい
る。The processing and display device 12 has a function that allows the display screen 21 to perform an enlarged display as shown in FIG. 2B. FIG. 2B shows an enlarged portion where the measured value of the impedance approaches zero.
【００４６】次に、上記インピーダンス部材の劣化検出
装置を使用して行う、酸化物の生成及びトップコーティ
ングの厚みの減少を検出する方法について、図３乃至図
５により説明する。Next, a method for detecting the generation of an oxide and the decrease in the thickness of the top coating, which is performed by using the above-described deterioration detecting device for an impedance member, will be described with reference to FIGS.
【００４７】図３は、アンダーコーティング８３に酸化
物８４が生成されていない場合を示しており、その等価
回路は図３（ｂ）に示すものである。ここで、Ｃｔはト
ップコーティング８２の部分の静電容量、Ｒｔはトップ
コーティング８２の部分の抵抗である。FIG. 3 shows a case where the oxide 84 is not generated in the undercoating 83, and its equivalent circuit is as shown in FIG. 3 (b). Here, Ct is the capacitance of the top coating 82, and Rt is the resistance of the top coating 82.
【００４８】上記静電容量Ｃｔは、トップコーティング
材の比誘電率に比例し、トップコーティング８２の肉厚
の逆数に比例した大きさになる。同様に、抵抗Ｒｔは、
トップコーティング材の電気抵抗率に比例し、トップコ
ーティング８２の肉厚に比例した大きさになる。The capacitance Ct is proportional to the relative dielectric constant of the top coating material and is proportional to the reciprocal of the thickness of the top coating 82. Similarly, the resistance Rt is
The size is proportional to the electrical resistivity of the top coating material and proportional to the thickness of the top coating 82.
【００４９】なお、アンダーコーティング８３及び母材
８１は金属であり、その電気抵抗率はトップコーティン
グ材の１０-16 倍程度であり、このインピーダンスは極
めて小さいため、無視できる。このため、上記等価回路
では、アンダーコーティング８３及び母材８１の抵抗及
び静電容量については省略した。The undercoating 83 and the base material 81 are made of metal, and have an electrical resistivity of about 10 -16 times that of the top coating material. The impedance is extremely small and can be ignored. Therefore, in the above equivalent circuit, the resistance and the capacitance of the undercoating 83 and the base material 81 are omitted.
【００５０】上記等価回路において、静電容量Ｃｔ（ト
ップコーティングの静電容量）のインピーダンスＺｃｔ
は、１／ωＣｔ（ω＝２πｆ、ｆは各周波数）であり、
周波数が低い場合、極めて大きな値になり、抵抗Ｒｔの
インピーダンスＺｒｔよりも大きくなる。抵抗Ｒｔのイ
ンピーダンスＺｒｔは周波数に対して一定（Ｚｒｔ＝Ｒ
ｔ）である。In the above equivalent circuit, the impedance Zct of the capacitance Ct (the capacitance of the top coating)
Is 1 / ωCt (ω = 2πf, f is each frequency),
When the frequency is low, the value becomes extremely large and becomes larger than the impedance Zrt of the resistor Rt. The impedance Zrt of the resistor Rt is constant with respect to the frequency (Zrt = R
t).
【００５１】したがって、周波数を変えて測定した場
合、低周波では抵抗Ｒｔによるインピーダンスを主に測
定する結果になり、周波数を高くするに従って、静電容
量Ｃｔの影響が測定値に現れてくる。更に、高周波にす
ると、静電容量Ｃｔによるインピーダンスを主に測定す
ることになり、極めて高周波では、静電容量Ｃｔの値に
関係せず、インピーダンス値はゼロに近づく。Therefore, when the measurement is performed while changing the frequency, the result of the measurement is mainly the impedance due to the resistance Rt at a low frequency, and the influence of the capacitance Ct appears in the measured value as the frequency is increased. Furthermore, at a high frequency, the impedance due to the capacitance Ct is mainly measured. At a very high frequency, the impedance value approaches zero irrespective of the value of the capacitance Ct.
【００５２】このため、周波数を変化させてインピーダ
ンスを測定した場合、図３（ｃ）に示すように、各周波
数の測定点を結ぶ表示線３２が半円形になって現れる。
この表示線３２の虚数成分側の最も大きい点は、抵抗Ｒ
ｔによるインピーダンス値Ｚｒｔと静電容量Ｃｔによる
インピーダンス値Ｚｃｔが（ある周波数で）等しくなっ
た点である。For this reason, when the impedance is measured by changing the frequency, as shown in FIG. 3C, the display line 32 connecting the measurement points of each frequency appears as a semicircle.
The largest point on the imaginary component side of the display line 32 is the resistance R
The point is that the impedance value Zrt due to t and the impedance value Zct due to the capacitance Ct are equal (at a certain frequency).
【００５３】図４は、アンダーコーティング８３に酸化
物８４が生成した場合を示しており、その等価回路は図
４（ｂ）に示すものであり、Ｃｔ、ＲｔにＣｏ、Ｒｏが
加わる。ここで、Ｃｏは酸化物８４による静電容量、Ｒ
ｏは酸化物８４による抵抗である。前述のように、酸化
物８４の電気抵抗率は、トップコーティング材よりも１
０3 倍程度大きく、比誘電率は１／３程度であることが
わかっている。FIG. 4 shows a case where an oxide 84 is generated in the undercoating 83, and its equivalent circuit is as shown in FIG. 4B, in which Co and Ro are added to Ct and Rt. Here, Co is the capacitance of oxide 84, R
o is the resistance of the oxide 84. As described above, the electrical resistivity of the oxide 84 is one more than that of the top coating material.
0 3 times larger, the dielectric constant is found to be about 1/3.
【００５４】一般的に酸化物８４の肉厚はトップコーテ
ィング８２に比べて相当小さい（数十分の１程度）が、
電気抵抗率が大きいため、上記の等価回路においてＲｔ
よりもＲｏの方が相当大きくなる。静電容量について
も、酸化物の方が比誘電率は小さいが、酸化物の肉厚が
小さいため、ＣｔよりもＣｏの方が相当大きくなる。In general, the thickness of the oxide 84 is considerably smaller than the top coating 82 (about several tenths).
Since the electrical resistivity is large, Rt in the above equivalent circuit
Ro is much larger than Ro. As for the capacitance, the oxide has a smaller relative dielectric constant, but the thickness of the oxide is small, so that Co is considerably larger than Ct.
【００５５】この等価回路全体としてのインピーダンス
は、トップコーティング８２による抵抗Ｒｔ及び静電容
量Ｃｔと酸化物８４の抵抗Ｒｏ及び静電容量Ｃｏが合成
されたものになるが、酸化物８４の抵抗が大きいため、
低周波域でのインピーダンス値（静電容量によるインピ
ーダンスが抵抗によるインピーダンスよりも大きくなる
範囲）は、酸化物８４が存在しない場合に比べて大きく
なる。The impedance of the entire equivalent circuit is a combination of the resistance Rt and the capacitance Ct of the top coating 82 and the resistance Ro and the capacitance Co of the oxide 84, but the resistance of the oxide 84 is Because it ’s big,
An impedance value in a low frequency range (a range in which the impedance due to the capacitance is larger than the impedance due to the resistance) is larger than when the oxide 84 is not present.
【００５６】また、抵抗値が大きいため、静電容量によ
るインピーダンスと抵抗によるインピーダンスが一致す
る点の値（虚数成分が最も大きくなる点の値）も大きく
なり、各周波数の測定点３３及びこの測定点３３を結ぶ
表示線３４の軌跡の半径は、酸化物８４が存在しない場
合に比べて大きくなる。Further, since the resistance value is large, the value of the point where the impedance due to the capacitance coincides with the impedance due to the resistance (the value at the point where the imaginary component becomes the largest) also increases, and the measurement point 33 at each frequency and this measurement The radius of the trajectory of the display line 34 connecting the points 33 is larger than when the oxide 84 does not exist.
【００５７】したがって、この測定点及び測定点を結ぶ
線の軌跡の半径の大きさによって、劣化現象の一つであ
る酸化物の生成、存在、厚さを知ることができる。Therefore, the generation, existence, and thickness of the oxide, which is one of the degradation phenomena, can be known from the radius of the locus of the measurement point and the line connecting the measurement points.
【００５８】図５は、トップコーティング８２の肉厚が
薄い場合を示しており、その等価回路は図５（ｂ）に示
すものである。ここで、Ｃｔｓは減肉したトップコーテ
ィング８２の部分の静電容量、Ｒｔｓは抵抗である。FIG. 5 shows a case where the thickness of the top coating 82 is small, and its equivalent circuit is that shown in FIG. 5 (b). Here, Cts is the capacitance of the reduced top coating 82, and Rts is the resistance.
【００５９】トップコーティング８２の肉厚が薄い場
合、静電容量Ｃｔｓは、通常の肉厚のトップコーティン
グ８２の場合に比べて大きくなり、抵抗Ｒｓｔは小さく
なる。静電容量が大きくなれば、インピーダンスは小さ
くなり、抵抗も小さくなるため、特に周波数の高い部分
（インピーダンスがゼロに近づく部分）では、図５
（ｃ）に部分拡大表示するように、測定点３５を結ぶ表
示線３６の傾斜角が小さくなる（正常肉厚では、これよ
りも傾斜角が大きくなる）。When the thickness of the top coating 82 is small, the capacitance Cts becomes larger and the resistance Rst becomes smaller than in the case of the top coating 82 having a normal thickness. As the capacitance increases, the impedance decreases and the resistance also decreases. Therefore, particularly in a high frequency portion (a portion where the impedance approaches zero), FIG.
The inclination angle of the display line 36 connecting the measurement points 35 is reduced so as to be partially enlarged and displayed in (c) (at a normal thickness, the inclination angle is larger than this).
【００６０】したがって、周波数が高い範囲で、測定値
の軌跡の傾斜角を観察することによって、劣化現象の一
つであるトップコーティングの肉厚の減少を検出するこ
とができる。Therefore, by observing the inclination angle of the locus of the measured value in a high frequency range, it is possible to detect a decrease in the thickness of the top coating, which is one of the deterioration phenomena.
【００６１】以上、本発明の実施の一形態について説明
したが、被測定物の測定条件として実使用条件等の高温
環境下での測定を求められる場合がある。As described above, an embodiment of the present invention has been described. However, there are cases where measurement under a high-temperature environment such as actual use conditions is required as a measurement condition of an object to be measured.
【００６２】この場合は、コーティング部のコーティン
グ表面と母材の裏面の金属面に高温用の電極を高温に耐
える材料、方法で取付け、電極とインピーダンス測定装
置を高温用のケーブルで接続する。In this case, a high-temperature electrode is attached to the coating surface of the coating portion and the metal surface on the back surface of the base material using a material and method capable of withstanding high temperatures, and the electrode and the impedance measuring device are connected by a high-temperature cable.
【００６３】電極１３は白金、白金ロジウム、ロジウム
等の耐高温材でできたもので高温（１０００°程度）に
耐えるものとして、白金、白金ロジウム、ロジウム等を
主成分とする高温用ペーストで母材８１の裏面に取りつ
けられ、白金、白金ロジウム、ロジウム等の耐高温材で
その周囲をセラミックス材の膜が施されて覆われ高温
（１０００°Ｃ程度）に耐えられるケーブル１５でイン
ピーダンス測定装置１１の測定端子に接続される。The electrode 13 is made of a high-temperature-resistant material such as platinum, platinum-rhodium, rhodium or the like and is resistant to high temperatures (about 1000 °). Attached to the back surface of the material 81, a high-temperature resistant material such as platinum, platinum-rhodium, rhodium or the like is coated with a ceramic material film around the periphery thereof and covered with a cable 15 capable of withstanding high temperatures (about 1000 ° C.). Connected to the measurement terminal.
【００６４】電極１４も同様に白金、白金ロジウム、ロ
ジウム等の耐高温材でできたものとして、白金、白金ロ
ジウム、ロジウム等を主成分とする高温用ペーストでト
ップコーティング８２の表面に取付けられ、白金、白金
ロジウム、ロジウム等の耐高温材でその周囲をセラミッ
クス材の膜が施されて覆われたケーブル１６でインピー
ダンス測定装置１１の測定端子に接続される。Similarly, the electrode 14 is made of a high temperature resistant material such as platinum, platinum rhodium, rhodium, etc., and is attached to the surface of the top coating 82 with a high temperature paste mainly containing platinum, platinum rhodium, rhodium, etc. A cable 16 whose periphery is covered with a ceramic material film made of a high-temperature resistant material such as platinum, platinum rhodium, and rhodium is connected to a measuring terminal of the impedance measuring device 11.
【００６５】以上のように本実施の形態において、高温
用の電極を高温に耐える材料、方法で取付け、電極とイ
ンピーダンス測定装置を高温用のケーブルで接続するこ
とによって、被測定物を高温環境下に置いた状態でも、
上述した通りのコーティングに於ける酸化物の生成、存
在、厚さ、コーティング厚さの減少等のコーティングの
劣化の状態を容易に検出することができるものである。As described above, in the present embodiment, the high-temperature electrode is attached with a material and a method that can withstand high temperatures, and the electrode and the impedance measuring device are connected by the high-temperature cable, so that the device under test is exposed to the high-temperature environment. Even when placed in
As described above, it is possible to easily detect the state of deterioration of the coating such as the formation, presence, thickness, and reduction of the coating thickness of the oxide in the coating.
【００６６】本実施形態においては、以上説明したよう
に、処理及び表示装置の表示画面を観察することによ
り、コーティングの劣化の一つであるアンダーコーティ
ングに生成される酸化物の有無及びトップコーティング
の肉厚の減少を検出することができ、また高温環境下に
おける検出も可能であり、実用上の効果は大きい。In the present embodiment, as described above, by observing the processing screen and the display screen of the display device, the presence or absence of oxides generated in the undercoating, which is one of the coating deteriorations, It is possible to detect a decrease in wall thickness, and it is also possible to detect it in a high-temperature environment, which has a large practical effect.
【００６７】[0067]
【発明の効果】本発明のコーティング部材の劣化検出方
法及び装置は、被検体である母材の一方の表面に施工さ
れたコーティングの表面と上記母材の他方の表面とにそ
れぞれ電極を取付け、インピーダンス測定装置によりこ
の電極間に周波数が変化する電流を流して各周波数にお
けるインピーダンスの測定値を求め、この測定値を入力
した処理及び表示装置により複素平面上に測定値の軌跡
を描き、この軌跡の大きさからコーティング中における
酸化物の生成を検出し、軌跡のゼロ点付近の傾斜角から
コーティングの減肉状況を検出するものとしたことによ
って、従来の方法及び装置の場合には不可能であったコ
ーティングの劣化状況の高精度の検出が可能となる。According to the method and the apparatus for detecting deterioration of a coating member of the present invention, electrodes are attached to a surface of a coating applied to one surface of a base material as an object and the other surface of the base material, respectively. A current whose frequency changes is passed between the electrodes by an impedance measuring device to obtain a measured value of the impedance at each frequency, and a process of inputting the measured value and a locus of the measured value are drawn on a complex plane by a display device. By detecting the formation of oxides in the coating from the size of the coating and detecting the thinning state of the coating from the inclination angle near the zero point of the trajectory, it is impossible with the conventional method and apparatus. It is possible to detect the deterioration state of the existing coating with high accuracy.
【００６８】また、上記コーティング部材の劣化検出方
法及び装置において、電極を白金等の耐高温材とし、白
金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の表面と
前記コーティングの表面とに取付け、インピーダンス測
定装置との間を白金等の耐高温材をセラミックス材で覆
ったケーブルで接続したものでは、被測定物を高温環境
下に置いた状態でも同様に、コーティングの劣化の状態
を容易に検出することができるものである。In the method and the apparatus for detecting deterioration of the coating member, the electrode is made of a high-temperature resistant material such as platinum, and is attached to the other surface of the base material and the surface of the coating with a paste mainly composed of platinum or the like. In the case where a high-temperature resistant material such as platinum is connected to the impedance measuring device with a cable covered with a ceramic material, the deterioration of the coating can be easily determined even when the object to be measured is placed in a high-temperature environment. It can be detected.
【図１】本発明の実施の一形態に係るコーティング部材
の劣化検出装置の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a deterioration detecting device for a coating member according to an embodiment of the present invention.
【図２】上記一実施形態に係る表示画面の説明図で、
（ａ）はインピーダンスの測定値の軌跡の全体表示の場
合、（ｂ）は部分拡大表示の場合である。FIG. 2 is an explanatory diagram of a display screen according to the embodiment;
(A) shows the case of the entire display of the locus of the measured impedance value, and (b) shows the case of the partial enlarged display.
【図３】上記一実施形態に係るアンダーコーティングに
酸化物が生成されていない場合の説明図で、（ａ）はコ
ーティング部材の側面断面図、（ｂ）は等価回路図、
（ｃ）はインピーダンスの測定値の軌跡の説明図であ
る。FIGS. 3A and 3B are explanatory diagrams of the case where no oxide is generated in the undercoating according to the embodiment; FIG. 3A is a side cross-sectional view of a coating member; FIG.
(C) is an explanatory diagram of the locus of the measured impedance value.
【図４】上記一実施形態に係るアンダーコーティングに
酸化物を生成している場合の説明図で、（ａ）はコーテ
ィング部材の側面断面図、（ｂ）は等価回路図、（ｃ）
はインピーダンスの測定値の軌跡の説明図である。FIGS. 4A and 4B are explanatory diagrams of the case where an oxide is generated in the undercoating according to the embodiment, wherein FIG. 4A is a side sectional view of a coating member, FIG. 4B is an equivalent circuit diagram, and FIG.
FIG. 4 is an explanatory diagram of a locus of a measured value of impedance.
【図５】上記一実施形態に係るトップコーティングが減
肉した場合の説明図で、（ａ）はコーティング部材の側
面断面図、（ｂ）は等価回路図、（ｃ）はインピーダン
スの測定値の軌跡の部分拡大表示を示す説明図である。5A and 5B are explanatory diagrams when the top coating according to the embodiment is reduced in thickness, wherein FIG. 5A is a side sectional view of a coating member, FIG. 5B is an equivalent circuit diagram, and FIG. It is explanatory drawing which shows the partial enlarged display of a locus.
【図６】コーティング部材の劣化発生のメカニズムの説
明図である。FIG. 6 is an explanatory view of a mechanism of occurrence of deterioration of a coating member.
【図７】従来の装置の説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram of a conventional device.
１１ インピーダンス測定装置 １２ 処理及び表示装置 １３，１４ 電極 １５，１６，１７ ケーブル ２１ 表示画面 ３１ 測定点 ３２ 表示線 ３３ 測定点 ３４ 表示線 ３５ 測定点 ３６ 表示線 ８１ 母材 ８２ トップコーティング ８３ アンダーコーティング ８４ 酸化物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Impedance measuring device 12 Processing and display device 13,14 Electrode 15,16,17 Cable 21 Display screen 31 Measurement point 32 Display line 33 Measurement point 34 Display line 35 Measurement point 36 Display line 81 Base material 82 Top coating 83 Under coating 84 Oxide
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 実 仙台市青葉区一番町三丁目７番１号 東北 電力株式会社内 (72)発明者 橋本 英雄 仙台市青葉区一番町三丁目７番１号 東北 電力株式会社内 (72)発明者 荒木 保夫 兵庫県高砂市荒井町新浜２丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂研究所内 (72)発明者 高橋 孝二 兵庫県高砂市荒井町新浜２丁目１番１号 三菱重工業株式会社高砂製作所内 Ｆターム(参考） 2F063 AA16 BA30 BB07 DA05 HA03 HA16 2G060 AA10 AE28 AF06 AF07 AF10 AG11 EA05 EA08 GA01 HE03 KA11 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing on the front page (72) Minoru Sato 3-7-1, Ichibancho, Aoba-ku, Sendai City Inside Tohoku Electric Power Co., Inc. (72) Hideo Hashimoto 3-7-1, Ichibancho, Aoba-ku, Sendai City No. 1 Tohoku Electric Power Co., Inc. (72) Inventor Yasuo Araki 2-1-1, Araimachi, Takasago-shi, Hyogo Prefecture Inside the Takasago Research Laboratory, Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. (72) Inventor Koji Takahashi 2-1-1, Araicho, Araicho, Hakugo No. 1 Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. Takasago Plant F-term (reference) 2F063 AA16 BA30 BB07 DA05 HA03 HA16 2G060 AA10 AE28 AF06 AF07 AF10 AG11 EA05 EA08 GA01 HE03 KA11
Claims (4)
被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表
面とにそれぞれ電極を取り付け、この電極間に周波数を
変化させながら電流を流して電極間の各周波数における
インピーダンスを測定し、各周波数における測定値を実
数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面に表
示して測定値の軌跡を求め、この測定値の軌跡の大きさ
から劣化現象の一つである酸化物の生成を検出し、軌跡
のゼロ点付近の傾斜角から劣化現象の一つであるコーテ
ィングの肉厚の減少を検出することを特徴とするコーテ
ィング部材の劣化検出方法。1. An electrode is attached to the other surface of a base material, which is a subject having a coating applied to one surface, and to the surface of the coating. The impedance at each frequency is measured, and the measured value at each frequency is displayed on the complex plane based on the magnitude of the real component and the magnitude of the imaginary component, and the locus of the measured value is obtained. A method for detecting deterioration of a coating member, comprising detecting oxide generation, which is one of the phenomena, and detecting a decrease in coating thickness, which is one of the deterioration phenomena, from an inclination angle near a zero point of a locus. .
化検出方法において、前記電極として白金等の耐高温材
を用い、同電極を白金等を主成分とするペーストで前記
母材の他方の表面と前記コーティングの表面とに取付け
てインピーダンス測定装置との間を白金等の耐高温材を
セラミックス材で覆ったケーブルで接続したことを特徴
とするコーティング部材の劣化検出方法。2. The method for detecting deterioration of a coating member according to claim 1, wherein a high-temperature-resistant material such as platinum is used as the electrode, and the electrode is made of a paste mainly composed of platinum or the like, and the other surface of the base material is made of a paste. A method of detecting deterioration of a coated member, comprising connecting a high-temperature resistant material such as platinum covered with a ceramic material to the impedance measuring device by attaching the cable to a surface of the coating.
被検体である母材の他方の表面と上記コーティングの表
面とにそれぞれ配設される電極、同それぞれの電極が接
続されたインピーダンス測定装置、および同装置が測定
した各周波数におるけ測定値を入力しそれぞれの測定値
を実数成分の大きさと虚数成分の大きさにより複素平面
に表示して測定値の軌跡を求めこの軌跡から酸化物の生
成とコーティングの肉厚の減少を検出する処理及び表示
装置を備えたことを特徴とするコーティング部材の劣化
検出装置。3. An electrode provided on each of the other surface of the base material, which is a subject having a coating applied to one surface thereof, and the surface of the coating, an impedance measuring device to which the respective electrodes are connected, And input the measured value at each frequency measured by the same device, display each measured value on the complex plane by the magnitude of the real component and the magnitude of the imaginary component, obtain the locus of the measured value, and from this locus An apparatus for detecting deterioration of a coating member, comprising: a process and a display device for detecting generation and a decrease in thickness of a coating.
化検出装置において、前記電極が白金等の耐高温材であ
り、白金等を主成分とするペーストで前記母材の他方の
表面と前記コーティングの表面とに取付けられインピー
ダンス測定装置との間を白金等の耐高温材をセラミック
ス材で覆ったケーブルで接続されたことを特徴とするコ
ーティング部材の劣化検出装置。4. The apparatus for detecting deterioration of a coated member according to claim 3, wherein the electrode is a high temperature resistant material such as platinum, and the other surface of the base material is coated with a paste containing platinum or the like as a main component. A deterioration detecting device for a coated member, wherein the device is connected to an impedance measuring device attached to a surface of the coated member by a cable in which a high temperature resistant material such as platinum is covered with a ceramic material.
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