JP2000122281A - Photosensitive resin composition and photoresist ink for production of printed circuit board - Google Patents

Photosensitive resin composition and photoresist ink for production of printed circuit board

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JP2000122281A
JP2000122281A JP28983398A JP28983398A JP2000122281A JP 2000122281 A JP2000122281 A JP 2000122281A JP 28983398 A JP28983398 A JP 28983398A JP 28983398 A JP28983398 A JP 28983398A JP 2000122281 A JP2000122281 A JP 2000122281A
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meth
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ethylenically unsaturated
acid
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a photosensitive resin composition which can reduce such problems of labor safety and hygiene, environmental pollution, fire prevention or the like due to the volatilization of an organic solvent in the formation of a pre-dried coating film after application to a substrate while having high resolution, is useful as a photoresist ink or the like for the production of a printed circuit board, can be made aqueous and is developable with water or an aqueous dilute alkali solution. SOLUTION: The photosensitive resin composition contains (A) a water-soluble photosensitive resin obtained by adding an N-alkylol (meth)acrylamide to a polyvinyl alcohol polymer, (B) a binder polymer which has carboxyl groups, is swollen, dispersed or dissolved in the aqueous dilute alkali solution and does not have an ethylenically unsaturated group capable of photoreaction, (C) a photopolymerization initiator, (D) a photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer and (E) water.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、水性化可能な感光
性樹脂組成物に関し、さらに詳しくは、水又は希アルカ
リ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物であって、特に
プリント配線板製造用フォトレジストインクとして有用
なもの、及びこの感光性樹脂組成物から成るプリント配
線板製造用フォトレジストインクに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition which can be made water-soluble, and more particularly to a photosensitive resin composition which can be developed with water or a dilute aqueous alkaline solution, particularly for the production of printed wiring boards. The present invention relates to a photoresist ink useful as a photoresist ink and a photoresist ink for producing a printed wiring board, comprising the photosensitive resin composition.

【0002】[0002]

【従来の技術】希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレ
ジストインクは、現像時に溶剤を用いる必要がなく、溶
剤現像型のフォトレジストインクに比べ労働安全衛生
面、環境汚染防止性、火災防止性などに優れていること
から、近年、特にプリント配線板製造用インク、グラビ
アロール蝕刻用インク、カラーフィルタ画素製造用イン
ク、スクリーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィ
ルタ保護膜製造用インク等の分野に盛んに利用されてい
る。このような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレ
ジストインクとしては、従来は例えば、特開平5−22
4413号公報、特開5−241340号公報に開示さ
れているような感光性樹脂組成物が用いられていた。
2. Description of the Related Art A photoresist ink which can be developed with a dilute alkaline aqueous solution does not require the use of a solvent at the time of development. Because of its superiority, in recent years, it has been used in the fields of inks for manufacturing printed wiring boards, inks for etching gravure rolls, inks for manufacturing color filter pixels, photosensitive compositions for manufacturing screen printing plates, and inks for manufacturing color filter protective films. It is actively used. Conventionally, a photoresist ink that can be developed with a dilute aqueous alkaline solution is disclosed in, for example, JP-A-5-22
A photosensitive resin composition as disclosed in JP-A-4413 and JP-A-5-241340 has been used.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストイ
ンクは、一般的には、インク成分を基材表面に均一に塗
布して、その後の露光現像過程に供することができるよ
うに、その成分を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させ
たものであり、そのため露光に際しては、あらかじめ予
備乾燥によりこれら有機溶剤を揮発させておく必要があ
った。従って、塗布から予備乾燥塗膜形成の過程におい
ては、有機溶剤に起因する労働安全衛生、環境汚染、火
災防止などの問題は未解決のままであった。
However, a photoresist ink which can be developed with a dilute alkaline aqueous solution as described above generally has a composition in which the ink component is uniformly applied to the surface of the base material and the subsequent exposure and development process. The components are dissolved or dispersed in various organic solvents so that the organic solvents can be used for exposure to light. For this reason, it is necessary to volatilize these organic solvents by preliminary drying before exposure. Therefore, in the process from the application to the formation of the pre-dried coating film, problems such as occupational safety and health, environmental pollution, and fire prevention caused by the organic solvent have not been solved.

【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、高解像性を有しながらも、基材ヘ塗布した後予備
乾燥塗膜を形成する過程における有機溶剤の揮発に起因
する労働安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減
することができ、エッチングレジストインク、めっきレ
ジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングイ
ンク等のプリント配線板製造用フォトレジストインク
や、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、カラ
ーフィルタ画素製造用インク、スクリーン印刷版製造用
感光性組成物、カラーフィルタ保護膜製造用インク等と
して有用であって、水性化が可能であり、水又は希アル
カリ水溶液で現像可能な感光性樹脂組成物及びこの感光
性樹脂組成物からなるプリント配線板製造用フォトレジ
ストインクを提供することを目的とするものである。
[0004] The present invention has been made in view of the above points, and has high resolution, but is caused by volatilization of an organic solvent in a process of forming a pre-dried coating film after being applied to a substrate. It can reduce problems such as occupational safety and health, environmental pollution and fire prevention. Photoresist ink for manufacturing printed wiring boards such as etching resist ink, plating resist ink, solder resist ink, and marking ink, and photo for gravure roll etching It is useful as a resist ink, an ink for producing a color filter pixel, a photosensitive composition for producing a screen printing plate, an ink for producing a color filter protective film, etc., and can be made aqueous, and can be developed with water or a dilute aqueous alkaline solution. Provided are a photosensitive resin composition and a photoresist ink for manufacturing a printed wiring board comprising the photosensitive resin composition. It is an object of the present invention.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本願の請求項1に記載の
感光性樹脂組成物は、(A)ポリビニルアルコール系重
合体にN−アルキロール(メタ)アクリルアミドを付加
してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カルボキシル基を
有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバイ
ンダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽
和基を有さないもの、(C)光重合開始剤、(D)光重
合可能なエチレン性不飽和単量体、及び(E)水を含ん
で成る水又は希アルカリ水溶液で現像可能であることを
特徴とするものでる。
Means for Solving the Problems The photosensitive resin composition according to the first aspect of the present invention comprises a water-soluble photosensitive resin obtained by adding (A) N-alkylol (meth) acrylamide to a polyvinyl alcohol-based polymer. Resin, (B) a binder polymer having a carboxyl group and swelling, dispersing or dissolving in a dilute alkaline aqueous solution, having no photoreactive ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerization initiator , (D) a photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer, and (E) water or a dilute aqueous alkali solution containing water.

【0006】また本願の請求項2に記載の感光性樹脂組
成物は、請求項1の構成に加えて、上記の光重合可能な
エチレン性不飽和単量体(D)として、(d1)分子中
に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個
の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含む
ものを用いて成ることを特徴とする物である。
The photosensitive resin composition according to claim 2 of the present application further comprises, in addition to the constitution of claim 1, (d1) molecules as the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D). A material comprising a compound containing at least one carboxyl group and at least one photoreactive ethylenically unsaturated group.

【0007】また本発明の請求項3に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1又は2の構成に加えて、上記の化合
物(d)として、(d1)分子中に1個のヒドロキシル
基及び1個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化
合物と多価カルボン酸との部分エステル化物を用いて成
ることを特徴とするものである。
The photosensitive resin composition according to claim 3 of the present invention may further comprise, as the compound (d), one hydroxyl group in the molecule (d1), in addition to the constitution of claim 1 or 2. And a partially esterified product of a compound having one photoreactive ethylenically unsaturated group and a polyvalent carboxylic acid.

【0008】また、本発明の請求項4に記載のプリント
配線板製造用フォトレジストインクは、請求項1乃至3
の何れかに記載の感光性樹脂組成物から成ることを特徴
とするものである。
Further, the photoresist ink for manufacturing a printed wiring board according to claim 4 of the present invention is characterized in that:
The photosensitive resin composition according to any one of the above.

【0009】[0009]

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。なお本明細書中において「(メタ)アクリル−」
はアクリル−及び/又はメタクリル−を意味し、例えば
(メタ)アクリル酸はアクリル酸及び/又はメタクリル
酸を、また(メタ)アクリルアミドはアクリルアミド及
び/又はメタクリルアミドを意味するものとする。 <(A)ポリビニルアルコール系重合体にN−アルキロ
ール(メタ)アクリルアミドを付加してなる水溶性の感
光性樹脂>本発明の感光性樹脂組成物は、水溶性の感光
性樹脂として、ポリビニルアルコール系重合体にN−ア
ルキロール(メタ)アクリルアミドを付加してなる水溶
性の感光性樹脂(A)を含むものである。
Embodiments of the present invention will be described below. In this specification, "(meth) acryl-"
Means acryl- and / or methacryl-, for example, (meth) acrylic acid means acrylic acid and / or methacrylic acid, and (meth) acrylamide means acrylamide and / or methacrylamide. <(A) Water-soluble photosensitive resin obtained by adding N-alkylol (meth) acrylamide to a polyvinyl alcohol-based polymer> The photosensitive resin composition of the present invention comprises polyvinyl alcohol as a water-soluble photosensitive resin. It contains a water-soluble photosensitive resin (A) obtained by adding N-alkylol (meth) acrylamide to a system polymer.

【0010】この感光性樹脂(A)の製造に用いられる
ポリビニルアルコール系重合体とは、例えばポリ酢酸ビ
ニルを完全ケン化又は部分ケン化して得られるポリビニ
ルアルコール、並びに完全ケン化或いは部分ケン化ポリ
ビニルアルコール中の−OH基や−OCOCH3基に酸
無水物含有化合物、カルボキシ含有化合物、エポキシ基
含有化合物もしくはアルデヒド基含有化合物等の種々の
化合物を反応して得られる水溶性ポリビニルアルコール
誘導体、並びにポリ酢酸ビニルを部分ケン化又は完全ケ
ン化してなるビニルアルコール単位を有するビニルアル
コール系共重合体であって、酢酸ビニルの共重合体成分
として、例えば(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル
アミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、スチ
レン、エチレン、プロピレン、無水マレイン酸、(メ
タ)アクリロニトリル、(メタ)アクリル酸エステル等
を用いたもの等が挙げられる。
The polyvinyl alcohol-based polymer used in the production of the photosensitive resin (A) includes, for example, polyvinyl alcohol obtained by completely or partially saponifying polyvinyl acetate, and completely or partially saponified polyvinyl. A water-soluble polyvinyl alcohol derivative obtained by reacting various compounds such as an acid anhydride-containing compound, a carboxy-containing compound, an epoxy group-containing compound or an aldehyde group-containing compound with an -OH group or -OCOCH 3 group in an alcohol, A vinyl alcohol-based copolymer having a vinyl alcohol unit obtained by partially or completely saponifying vinyl acetate. Examples of the vinyl acetate copolymer component include (meth) acrylic acid, (meth) acrylamide, N- Methylol (meth) acrylamide, styrene, ethylene, Propylene, maleic anhydride, (meth) acrylonitrile, etc., those using a (meth) acrylic acid esters and the like.

【0011】ここで、このポリビニルアルコール系重合
体中には、その重合単位の内に、ビニルアルコール単位
を60モル%以上含有することが望ましいものであり、
80モル%以上含有するもの乃至ポリ酢酸ビニルの完全
ケン化物の場合は特に水溶性に優れ、水性可能な感光性
樹脂組成物を得るのに最適な結果が得られる。ここでビ
ニルアルコール単位が60モル%に満たないとポリビニ
ルアルコール系重合体は水に溶け難くなり、本発明の感
光性樹脂組成物を良好な水性のものとし難い。
Here, the polyvinyl alcohol polymer desirably contains at least 60 mol% of a vinyl alcohol unit in the polymerized unit.
When the content is 80 mol% or more or a completely saponified polyvinyl acetate, the water-soluble photosensitive resin composition is particularly excellent in water solubility, and an optimum result is obtained. If the content of the vinyl alcohol unit is less than 60 mol%, the polyvinyl alcohol-based polymer is hardly soluble in water, and it is difficult to make the photosensitive resin composition of the present invention a good aqueous one.

【0012】ポリビニルアルコール系重合体にN−アル
キロール(メタ)アクリルアミドを付加してなる水溶性
の感光性樹脂(A)の製造方法は公知であり、例えば特
公昭49−5923号公報、特開昭62−267302
号公報等に開示される方法により合成可能である。
A method for producing a water-soluble photosensitive resin (A) obtained by adding N-alkylol (meth) acrylamide to a polyvinyl alcohol-based polymer is known. For example, JP-B-49-5923, 62-267302
Can be synthesized by a method disclosed in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. H10-133, etc.

【0013】具体的には、例えばN−メチルピロリドン
や水のような、ポリビニルアルコール系重合体の良溶媒
の溶液中又はポリビニルアルコール系重合体の貧溶媒懸
濁液中で無機酸、スルホン酸誘導体等の酸触媒の存在
下、ポリビニルアルコール系重合体とN−アルキロール
(メタ)アクリルアミドとのエーテル化反応により感光
性樹脂(A)が得られる。
Specifically, the inorganic acid or sulfonic acid derivative is dissolved in a solution of a polyvinyl alcohol-based polymer in a good solvent such as N-methylpyrrolidone or water or in a suspension of a polyvinyl alcohol-based polymer in a poor solvent. The photosensitive resin (A) is obtained by an etherification reaction between a polyvinyl alcohol-based polymer and N-alkylol (meth) acrylamide in the presence of an acid catalyst such as

【0014】N−アルキロール(メタ)アクリルアミド
としては、例えば、N−メチロール(メタ)アクリルア
ミド、N−エチロール(メタ)アクリルアミド、N−プ
ロピロール(メタ)アクリルアミド、N−ブチロール
(メタ)アクリルアミド等を挙げることができる。これ
らのN−アルキロール(メタ)アクリルアミド系化合物
は、ポリビニルアルコール系重合体に付加させる際、一
種のみを付加させることができるほか、二種以上を適宜
組み合わせたものを付加させることができる。
Examples of N-alkylol (meth) acrylamide include N-methylol (meth) acrylamide, N-ethylol (meth) acrylamide, N-propylol (meth) acrylamide, N-butyrol (meth) acrylamide and the like. Can be mentioned. When these N-alkylol (meth) acrylamide-based compounds are added to a polyvinyl alcohol-based polymer, only one kind can be added, or a combination of two or more kinds can be added.

【0015】この感光性樹脂(A)においてN−アルキ
ロール(メタ)アクリルアミドの現実の付加率は、感光
性樹脂(A)を構成するビニルアルコール重合単位当
り、0.05〜25モル%であることが好ましい。0.
05モル%よりも少ないと感光性樹脂の重合性が低下
し、逆に25モル%よりも多くなると水溶性が乏しくな
る。また、0.05〜15モル%の場合、光硬化性と水
溶性のバランスが最適な結果が得られる。
The actual addition rate of N-alkylol (meth) acrylamide in the photosensitive resin (A) is 0.05 to 25 mol% per vinyl alcohol polymerized unit constituting the photosensitive resin (A). Is preferred. 0.
When the amount is less than 05 mol%, the polymerizability of the photosensitive resin decreases, while when it exceeds 25 mol%, the water solubility becomes poor. When the content is 0.05 to 15 mol%, an optimal result is obtained in which the balance between photocurability and water solubility is optimal.

【0016】このようにして得られる感光性樹脂(A)
を他の成分と共に水(E)もしくは水(E)と水性有機
溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化、又は分散することに
より、本発明の感光性樹脂組成物を調製できる。このよ
うに本発明の感光性樹脂組成物は水性化可能なものであ
る。また感光性樹脂組成物を基材ヘ塗布した後予備乾燥
皮膜を形成する過程において、感光性樹脂組成物の成分
を各種有機溶剤に溶解もしくは分散させたものと比較し
て、有機溶剤の揮発を抑制し、有機溶剤に起因する労働
安全衛生、環境汚染、火災防止等の問題を低減すること
ができるものである。なお、溶解、乳化、分散の方法は
特に限定するものではなく、例えば他の成分中に、感光
性樹脂(A)の水溶液を加えることによって溶解、乳
化、分散させても良いし、感光性樹脂(A)の水溶液に
他の成分を加えることによって溶解、乳化、分散させて
も良い。また溶解、乳化、分散に際しては、ホモミキサ
ー、パイプラインホモミキサー、ビーズミル、ロールミ
ル、ボールミル等の各種の攪拌機、混練機を用いること
ができる。
The photosensitive resin (A) thus obtained
Is dissolved, emulsified, or dispersed in water (E) or a mixed solvent such as water (E) and an aqueous organic solvent together with other components to prepare the photosensitive resin composition of the present invention. Thus, the photosensitive resin composition of the present invention can be made aqueous. Also, in the process of forming a pre-dried film after applying the photosensitive resin composition to the base material, the volatilization of the organic solvent is compared with that in which the components of the photosensitive resin composition are dissolved or dispersed in various organic solvents. It can suppress and reduce problems such as occupational safety and health, environmental pollution and fire prevention caused by organic solvents. The method of dissolving, emulsifying, and dispersing is not particularly limited. For example, the dissolving, emulsifying, and dispersing may be performed by adding an aqueous solution of the photosensitive resin (A) to other components. The solution (A) may be dissolved, emulsified, or dispersed by adding other components to the aqueous solution. For dissolution, emulsification, and dispersion, various types of agitators and kneaders such as a homomixer, a pipeline homomixer, a bead mill, a roll mill, and a ball mill can be used.

【0017】またこれらの感光性樹脂(A)の配合割合
は、本発明の感光性樹脂組成物に用いる水(E)及び有
機溶剤を除いた全成分中の合計量中で0.1〜50重量
%であることが好ましいものであり、更に好ましくは1
〜30重量%である。配合割合が0.1重量%に満たな
い場合は、本発明の感光性樹脂組成物の水性化が困難と
なり、また50重量%を超える場合、本発明の感光性樹
脂組成物の光重合反応による硬化後の硬化皮膜の耐水性
が不足し易く、硬化皮膜の形成時に硬化皮膜の剥がれを
生じ易い。また0.5重量%以上配合した場合には、特
に水による現像が容易となる。 <(B)カルボキシル基を有し、希アルカリ水溶液に膨
潤、分散又は溶解するバインダーポリマーであって、光
反応可能なエチレン性不飽和基を有さないもの>本発明
の感光性樹脂組成物は、カルボキシル基を有し、希アル
カリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダーポリマ
ーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を有さな
いもの(B)を含むものである。
The mixing ratio of the photosensitive resin (A) is 0.1 to 50 in the total amount of all components excluding water (E) and the organic solvent used in the photosensitive resin composition of the present invention. %, More preferably 1% by weight.
3030% by weight. When the compounding ratio is less than 0.1% by weight, it is difficult to make the photosensitive resin composition of the present invention aqueous, and when it exceeds 50% by weight, the photosensitive resin composition of the present invention is subjected to a photopolymerization reaction. The water resistance of the cured film after curing is apt to be insufficient, and the cured film is easily peeled off when the cured film is formed. When the content is 0.5% by weight or more, development with water becomes particularly easy. <(B) a binder polymer having a carboxyl group and swelling, dispersing or dissolving in a dilute alkali aqueous solution and having no photoreactive ethylenically unsaturated group> The photosensitive resin composition of the present invention And a binder polymer having a carboxyl group and swelling, dispersing or dissolving in a dilute alkaline aqueous solution and containing no photoreactive ethylenically unsaturated group (B).

【0018】このバインダーポリマー(B)は、分子中
に充分なカルボキシル基を有するので、希アルカリ水溶
液中で膨潤、分散又は溶解し得るものである。
Since the binder polymer (B) has a sufficient carboxyl group in the molecule, it can swell, disperse or dissolve in a dilute aqueous alkali solution.

【0019】このため、バインダーポリマー(B)を含
んでなる本発明の感光性樹脂組成物は、上記水溶性の感
光性樹脂成分(A)の存在と相俟って、それにより形成
される皮膜が、露光前は水や希アルカリ水溶液で膨潤、
分散又は溶解し得る。したがって、この感光性樹脂組成
物は、形成された皮膜の選択的露光を行なった後、水又
は希アルカリ水溶液による現像を行って、感光性樹脂組
成物の非露光部分を洗い流すと共に、露光部分を残すこ
とにより、画像形成を可能とすることができるものであ
る。
For this reason, the photosensitive resin composition of the present invention containing the binder polymer (B) is combined with the water-soluble photosensitive resin component (A) to form a film formed thereby. However, before exposure, it swells with water or dilute alkaline aqueous solution,
Can be dispersed or dissolved. Therefore, this photosensitive resin composition, after performing selective exposure of the formed film, by performing development with water or a dilute alkaline aqueous solution, while washing away the non-exposed portion of the photosensitive resin composition, the exposed portion By leaving it, image formation can be made possible.

【0020】また、上記の通り、本発明の感光性樹脂組
成物は、(B)成分と共に、ポリビニルアルコール系の
水溶性の感光性樹脂(A)を含むので、組成物を露光に
より光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金
属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビ
ニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離可能
なものである。
Further, as described above, the photosensitive resin composition of the present invention contains a polyvinyl alcohol-based water-soluble photosensitive resin (A) together with the component (B). The cured product formed by waking up can be peeled off with either an aqueous solution such as an alkali metal hydroxide or a peeling agent for a polyvinyl alcohol-based photosensitive agent such as sodium periodate.

【0021】また、バインダーポリマー(B)は、光反
応可能なエチレン性不飽和基を有さないものである。こ
こで光反応可能なエチレン性不飽和基を含まないとは、
バインダーポリマー(B)を合成する際に、光反応可能
なエチレン性不飽和基を積極的には導入しないことを意
味し、バインダーポリマー(B)をラジカル重合によっ
て合成するに際して、ラジカル停止反応における不均化
やその他の要因によって不可避的に生じるわずかなエチ
レン性不飽和結合の存在は許容されるものである。その
ため本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板製造用
フォトレジストインクとして用いる場合において、プリ
ント配線板製造用基板に塗工された本発明の感光性樹脂
組成物を露光硬化させる際に、バインダーポリマー
(B)の様な高分子量の成分が僅かの露光によって光反
応を生じて急激に分子量が増大することを防ぎ、選択的
露光時における、露光部と未露光部分の境界面での僅か
な光の漏れで硬化することを防いで、露光部と未露光部
分の境界面における希アルカリ溶液に対する溶解性、膨
潤性等を向上することができる。そのため、アートワー
クに忠実な、シャープなパターンを形成することがで
き、解像性を向上することができるものである。
The binder polymer (B) does not have a photoreactive ethylenically unsaturated group. Here, it does not contain a photoreactive ethylenically unsaturated group,
This means that a photoreactive ethylenically unsaturated group is not actively introduced when synthesizing the binder polymer (B). The presence of slight ethylenically unsaturated bonds unavoidably caused by leveling and other factors is acceptable. Therefore, when the photosensitive resin composition of the present invention is used as a photoresist ink for manufacturing a printed wiring board, when exposing and curing the photosensitive resin composition of the present invention applied to a substrate for manufacturing a printed wiring board, a binder is used. It prevents a high molecular weight component such as the polymer (B) from causing a photoreaction by a slight exposure to cause a rapid increase in the molecular weight, and a slight exposure at a boundary surface between an exposed portion and an unexposed portion during selective exposure. By preventing curing due to light leakage, it is possible to improve solubility, swelling property, and the like in a dilute alkali solution at the interface between the exposed portion and the unexposed portion. Therefore, a sharp pattern faithful to the artwork can be formed, and the resolution can be improved.

【0022】また、バインダーポリマー(B)はそれ自
体皮膜形成可能であることが望ましいものであり、この
ようなバインダーポリマー(B)と上記の感光性樹脂
(A)を組み合わせた本発明の感光性樹脂組成物を用い
ることにより、感光性樹脂組成物の予備乾燥皮膜は表面
粘着性が無くなり、フォトツールアートワーク等を直接
貼付した場合でも、フォトツールアートワーク等に感光
性樹脂組成物が付着して汚れるようなことがないもので
ある。
It is desirable that the binder polymer (B) itself be capable of forming a film. The photosensitive resin of the present invention comprising such a binder polymer (B) and the above-mentioned photosensitive resin (A) is combined. By using the resin composition, the pre-dried film of the photosensitive resin composition loses surface tackiness, and even when the photo tool artwork or the like is directly applied, the photosensitive resin composition adheres to the photo tool artwork or the like. It does not get dirty.

【0023】ここで本発明の感光性樹脂組成物を希アル
カリ水溶液で現像可能なものとし、また本発明の感光性
樹脂組成物の硬化物をアルカリ水溶液で剥離可能なもの
とするためには、バインダーポリマー(B)の酸価は2
0〜300mgKOH/gであることが好ましく、酸価
が20mgKOH/gに満たない場合、希アルカリ溶液
で短時間に現像することが困難となり、300mgKO
H/gを超える場合には硬化物の希アルカリ溶液に対す
る耐性が低くなり過ぎて、良好なパターン形成が困難と
なる場合がある。また更に好ましくは、バインダーポリ
マー(B)の酸価を40〜250mgKOH/gとする
ものであり、この場合は、短期間の現像が可能で、かつ
特に良好なパターン形成が可能となり、また本発明の感
光性樹脂組成物へバインダーポリマー(B)が乳化、分
散されやすくなり、最適な結果が得られる。
Here, in order to make the photosensitive resin composition of the present invention developable with a dilute alkaline aqueous solution, and to make the cured product of the photosensitive resin composition of the present invention peelable with an alkaline aqueous solution, The acid value of the binder polymer (B) is 2
When the acid value is less than 20 mgKOH / g, it becomes difficult to develop in a short time with a dilute alkali solution.
If it exceeds H / g, the resistance of the cured product to a dilute alkali solution may be too low, making it difficult to form a good pattern. More preferably, the acid value of the binder polymer (B) is from 40 to 250 mgKOH / g. In this case, short-term development is possible and particularly favorable pattern formation is possible. The binder polymer (B) is easily emulsified and dispersed in the photosensitive resin composition of (1), and an optimum result is obtained.

【0024】また、バインダーポリマー(B)の重量平
均分子量は4000〜500000であることが好まし
く、4000に満たない場合には、予備乾燥後の皮膜に
粘着性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備
乾燥皮膜に直接貼りつけて露光した場合にはフォトツー
ルアートワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能
性があるものであり、また500000を超える場合に
は、現像性の低下を招き易い。またバインダーポリマー
(B)の重量平均分子量が4000〜300000であ
るときには、予備乾燥後の皮膜の粘着性が高くなる問題
も生じず、また良好な感度及び現像性を得ることができ
る。更に、20000〜300000である場合に、特
に高い感度と解像性とを兼ね備えたものとなり最適な結
果を生じる。
The weight average molecular weight of the binder polymer (B) is preferably 4,000 to 500,000, and if it is less than 4,000, the film tends to remain tacky after predrying, and the phototool artwork is not easily prepared. When exposed directly to the dry film, exposure may result in the traces of the phototool artwork remaining on the cured film, and when it exceeds 500,000, the developability tends to decrease. When the weight average molecular weight of the binder polymer (B) is from 4,000 to 300,000, there is no problem that the adhesion of the film after the preliminary drying is increased, and good sensitivity and developability can be obtained. Further, when the ratio is 20,000 to 300,000, particularly high sensitivity and resolution are obtained, and an optimum result is obtained.

【0025】これらの性質は、本発明のインクをプリン
ト配線板製造用のフォトエッチングレジストインク、画
像形成可能なめっきレジストインク等として使用する場
合に特に好適なものである。
These properties are particularly suitable when the ink of the present invention is used as a photo-etching resist ink for producing a printed wiring board, a plating resist ink capable of forming an image, and the like.

【0026】また、バインダーポリマー(B)の配合量
は本発明の感光性樹脂組成物から、水(E)及び有機溶
剤を除外した全成分中で5重量%以上であることが好ま
しい。バインダーポリマー(B)の配合量が本発明の感
光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した全成分
中で5重量%に満たない場合、予備乾燥後の皮膜に粘着
性が残りやすく、フォトツールアートワークを予備乾燥
皮膜に直接貼りつけて露光した場合にフォトツールアー
トワークの貼り跡が硬化皮膜に残ってしまう可能性があ
る。
The amount of the binder polymer (B) is preferably at least 5% by weight based on the total weight of the photosensitive resin composition of the present invention except for the water (E) and the organic solvent. When the compounding amount of the binder polymer (B) is less than 5% by weight in all the components excluding water and the organic solvent from the photosensitive resin composition of the present invention, tackiness tends to remain in the film after predrying, When the phototool artwork is directly attached to the preliminary dried film and exposed, there is a possibility that a mark of the phototool artwork remains on the cured film.

【0027】上記のバインダーポリマー(B)として
は、エチレン性不飽和単量体の重合体、共重合体に何ら
かの方法で、充分な量のカルボキシル基を導入してなる
ものを例示できる。具体的には、下記の(B1)乃至
(B3)を示すことができる。 <(B1)1個以上のカルボキシル基を有するエチレン
性不飽和単量体(a)と、このエチレン性不飽和単量体
(a)と共重合可能なエチレン性不飽和単量体成分
(b)とからなる共重合成分を重合してなる共重合体>
ここで、1個以上のカルボキシル基を有するエチレン性
不飽和単量体(a)は、主として、共重合体生成物であ
るバインダーポリマー(B)中に充分なカルボキシル基
を導入することにより、バインダーポリマー(B)を希
アルカリ水溶液中で膨潤、分散もしくは溶解し得るもの
にするために用いられる。
Examples of the binder polymer (B) include those obtained by introducing a sufficient amount of a carboxyl group into a polymer or copolymer of an ethylenically unsaturated monomer by any method. Specifically, the following (B1) to (B3) can be shown. <(B1) an ethylenically unsaturated monomer (a) having one or more carboxyl groups, and an ethylenically unsaturated monomer component (b) copolymerizable with the ethylenically unsaturated monomer (a) A) a copolymer obtained by polymerizing a copolymer component comprising
Here, the ethylenically unsaturated monomer (a) having one or more carboxyl groups is mainly obtained by introducing a sufficient carboxyl group into the binder polymer (B), which is a copolymer product, to form a binder. It is used to make the polymer (B) swell, disperse or dissolve in a dilute aqueous alkaline solution.

【0028】このエチレン性不飽和単量体(a)として
は(メタ)アクリル酸、ケイ皮酸等を例示できる。更に
(a)成分としては、フマル酸、イタコン酸、クロトン
酸及びマレイン酸並びにこれらの無水物、或いはこれら
と飽和アルコールとの部分エステルを例示できる。これ
らのものは単独で又は複数種を適宜組み合わせて用いる
ことができる。
Examples of the ethylenically unsaturated monomer (a) include (meth) acrylic acid and cinnamic acid. Further, examples of the component (a) include fumaric acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, anhydrides thereof, and partial esters of these with saturated alcohols. These can be used alone or in combination of two or more.

【0029】エチレン性不飽和単量体成分(a)と共重
合可能なエチレン性不飽和単量体成分(b)としては、
例えば(メタ)アクリル酸エステル系不飽和単量体とし
て、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アク
リレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メ
タ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、
t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル
(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレ
ート、n−デシル(メタ)アクリレート、イソデシル
(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレー
ト、ミリスチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)
アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シク
ロヘキシル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メ
タ)アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環族の(メタ)
アクリル酸エステル、及びヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート、メトキシエチル(メタ)アクリレート、エ
トキシエチル(メタ)アクリレート、ジエチレングリコ
ールモノ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコー
ルモノ(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリ
コールモノ(メタ)アクリレート等のエチレングリコー
ルエステル系(メタ)アクリレート及び同様なプロピレ
ングリコール系(メタ)アクリレート、ブチレングリコ
ール系モノ(メタ)アクリレート、グリセロールモノ
(メタ)アクリレート等、及びベンジル(メタ)アクリ
レート等の芳香族系の(メタ)アクリレート、並びに
(メタ)アクリルアミド系不飽和単量体として(メタ)
アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、
N−プロピル(メタ)アクリルアミド、N−t−ブチル
(メタ)アクリルアミド、N−t−オクチル(メタ)ア
クリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド等、
並びにスチレン、α−メチルスチレン、ビニルエーテル
等を挙げることができる。
The ethylenically unsaturated monomer component (b) copolymerizable with the ethylenically unsaturated monomer component (a) includes:
For example, as (meth) acrylate unsaturated monomers, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate,
t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, n-decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, myristyl (meth) acrylate, Cetyl (meta)
Linear, branched or alicyclic (meth) such as acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, and isobornyl (meth) acrylate
Acrylic esters, hydroxyethyl (meth) acrylate, methoxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate, diethylene glycol mono (meth) acrylate, triethylene glycol mono (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol mono (meth) acrylate, etc. Of aromatic glycols such as ethylene glycol ester (meth) acrylate and similar propylene glycol (meth) acrylate, butylene glycol mono (meth) acrylate, glycerol mono (meth) acrylate, and benzyl (meth) acrylate (Meth) acrylate and (meth) acrylamide unsaturated monomer (meth)
Acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide,
N-propyl (meth) acrylamide, Nt-butyl (meth) acrylamide, Nt-octyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide, etc.
And styrene, α-methylstyrene, vinyl ether and the like.

【0030】更に、(a)成分と共重合可能なエチレン
性不飽和単量体成分(b)としては、更に上記以外のも
のとして、例えばN−フェニルマレイミド、N−シクロ
ヘキシルマレイミド等のN−置換マレイミド類等、ビニ
ルピロリドン、(メタ)アクリロニトリル、酢酸ビニル
等を挙げることができる。これらのものは、単独で又は
複数種組み合わせて用いることができる。
Further, as the ethylenically unsaturated monomer component (b) copolymerizable with the component (a), other than the above, N-substituted monomers such as N-phenylmaleimide and N-cyclohexylmaleimide can be used. Examples include maleimides, vinylpyrrolidone, (meth) acrylonitrile, vinyl acetate, and the like. These can be used alone or in combination of two or more.

【0031】上記のような不飽和単量体(a)及び
(b)としては、共に室温で液体又は固体のもののみを
選択して用いると、不飽和単量体(a)及び(b)を混
合し、反応させる処理を、容易に行うことができて、取
り扱い性を向上することができるものであり、また常圧
下で容易に、かつ自由な共重合組成で重合可能なもので
あるため、好ましものである。
As the unsaturated monomers (a) and (b) as described above, if only those which are liquid or solid at room temperature are selected and used, the unsaturated monomers (a) and (b) Are mixed and reacted, and can be easily performed to improve the handleability.In addition, the polymer can be easily polymerized under normal pressure and with a free copolymer composition. , Is what you like.

【0032】またバインダーポリマー(B1)として、
特に好ましいものは共重合体成分として(メタ)アクリ
ル酸エステル系不飽和単量体と(メタ)アクリル酸とを
主成分とすると共に、(メタ)アクリル酸エステル系不
飽和単量体と(メタ)アクリル酸との配合割合を、バイ
ンダーポリマー(B1)の酸価が所望のものになるよう
にしてなる共重合体、或いは共重合体成分として(メ
タ)アクリアミド系不飽和単量体と(メタ)アクリル酸
とを主成分とすると共に、(メタ)アクリアミド系不飽
和単量体と(メタ)アクリル酸との配合割合を、バイン
ダーポリマー(B1)の酸価が所望のものになるように
してなる共重合体であり、この場合、所望の酸化や重合
度を有するバインダーポリマー(B1)を容易に合成す
ることが可能なものである。
As the binder polymer (B1),
Particularly preferred are a copolymer component containing a (meth) acrylate unsaturated monomer and (meth) acrylic acid as main components, and a (meth) acrylate unsaturated monomer and (meth) acrylate. ) The mixing ratio with acrylic acid is adjusted so that the acid value of the binder polymer (B1) becomes a desired value, or a (meth) acrylamide unsaturated monomer as a copolymer component and (meth) ) Acrylic acid as the main component, and the mixing ratio of the (meth) acrylamide-based unsaturated monomer and (meth) acrylic acid is adjusted so that the acid value of the binder polymer (B1) becomes a desired value. In this case, it is possible to easily synthesize a binder polymer (B1) having a desired degree of oxidation or polymerization.

【0033】また、共重合体成分としてマレイン酸若く
はその誘導体とスチレンとを主成分としてなる共重合体
もバインダーポリマー(B1)として特に好ましいもの
であり、この場合も、所望の酸化や重合度を有するバイ
ンダーポリマー(B1)を容易に合成することが可能な
ものである。
Further, a copolymer containing maleic acid or a derivative thereof and styrene as main components as the copolymer component is also particularly preferable as the binder polymer (B1). It is possible to easily synthesize a binder polymer (B1) having the following formula:

【0034】これらの単量体成分を用いて共重合体を得
る方法は、特に限定されるものではなく、溶液重合、乳
化重合、分散重合等の一般的な重合方法を用いることが
できる。また、溶液重合、乳化重合等の場合には、共重
合体樹脂を取り出すことなく溶液又はエマルジヨンのま
ま、本発明の組成物のために配合してもよい。
The method for obtaining the copolymer using these monomer components is not particularly limited, and a general polymerization method such as solution polymerization, emulsion polymerization, dispersion polymerization and the like can be used. In the case of solution polymerization, emulsion polymerization, or the like, the copolymer or resin may be blended for the composition of the present invention in the form of a solution or emulsion without removing the copolymer resin.

【0035】なお、マレイン酸の部分エステルとスチレ
ンとを共重合成分として含む共重合体は、これらの共重
合成分或いはこれらの共重合成分と他の共重合成分を重
合することにより直接得ることもできるが、あらかじめ
スチレンと無水マレイン酸を共重合成分として含む重合
体を得た後、飽和アルコール、特に飽和モノアルコール
を付加することによって、所望の酸化を有するバインダ
ーポリマー(B1)を得るようにしてもよい。
The copolymer containing a maleic acid partial ester and styrene as copolymer components can be directly obtained by polymerizing these copolymer components or these copolymer components and other copolymer components. It is possible to obtain a binder polymer (B1) having a desired oxidation by obtaining a polymer containing styrene and maleic anhydride as copolymerization components in advance, and then adding a saturated alcohol, particularly a saturated monoalcohol. Is also good.

【0036】エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共
重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を
導入してなるものの具体例としては、下記の(B2)を
挙げることができる。 <(B2)ヒドロキシル基を有するエチレン性不飽和単
量体を重合成分として含む重合体或いは共重合体に、多
塩基酸無水物を付加してなるもの>ヒドロキシル基を有
するエチレン性不飽和単量体の例としては、ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)
アクリレート、ジエチレングリコールモノ(メタ)アク
リレート、トリエチレングリコールモノ(メタ)アクリ
レート等のエチレングリコールエステル系(メタ)アク
リレート及び同様なプロピレングリコール系(メタ)ア
クリレート、ブチレングリコール系モノ(メタ)アクリ
レート、グリセロールモノ(メタ)アクリレート等を挙
げることができ、これらのものは、単独で又は複数種組
み合わせて用いることができる。また、これらヒドロキ
シル基を有するエチレン性不飽和単量体とともに、これ
らと共重合可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共
重合してもよい。
Specific examples of a polymer or copolymer of an ethylenically unsaturated monomer having a sufficient amount of carboxyl groups introduced therein by the following method include the following (B2). <(B2) Polymer or copolymer containing a hydroxyl group-containing ethylenically unsaturated monomer as a polymerization component and a polybasic acid anhydride added> Ethylically unsaturated monomer having a hydroxyl group Examples of the body include hydroxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth)
Ethylene glycol ester (meth) acrylates such as acrylate, diethylene glycol mono (meth) acrylate and triethylene glycol mono (meth) acrylate, and similar propylene glycol (meth) acrylates, butylene glycol mono (meth) acrylates, glycerol mono ( And meth) acrylates, and these can be used alone or in combination of two or more. Further, together with these ethylenically unsaturated monomers having a hydroxyl group, other ethylenically unsaturated monomers copolymerizable therewith may be copolymerized.

【0037】ここで重合方法は特に限定されるものでは
なく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重合
方法を用いることができる。
Here, the polymerization method is not particularly limited, and general polymerization methods such as solution polymerization, emulsion polymerization and dispersion polymerization can be used.

【0038】多塩基酸無水物としては、例えば無水コハ
ク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキ
サヒドロ無水フタル酸等の後述する(d1)の合成に用
いられるものを使用可能であり、これらのものは、単独
で又は複数種組み合わせて用いることができる。また、
重合体或いは共重合体と多塩基酸無水物との付加も公知
の方法により可能である。
As the polybasic anhydride, for example, succinic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride and the like used in the synthesis of (d1) described later can be used. These can be used alone or in combination of two or more. Also,
The addition of the polymer or copolymer to the polybasic acid anhydride can be performed by a known method.

【0039】エチレン性不飽和単量体の重合体或いは共
重合体に何らかの方法で、充分な量のカルボキシル基を
導入してなるものの具体例としてはさらに、下記の(B
3)を挙げることができる。 <(B3)エポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体
を重合単位として含む重合体又は共重合体に飽和モノカ
ルボン酸及び多塩基酸無水物を反応させて得られるもの
>このエポキシ基を有するエチレン性不飽和単量体とし
ては、例えばグリシジル(メタ)アクリレート、2−メ
チルグリシジル(メタ)アクリレート等のグリシジル
(メタ)アクリレート類、(3,4−エポキシシクロヘ
キシル)メチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アク
リル酸のエポキシシクロヘキシル誘導体類等が挙げられ
る。これらのものは、単独又は二種以上を適宜組み合わ
せて用いることができる。また、これらエポキシ基を有
するエチレン性不飽和単量体とともに、これらと共重合
可能なその他のエチレン性不飽和単量体を共重合しても
よい。
Specific examples of those obtained by introducing a sufficient amount of a carboxyl group into a polymer or copolymer of an ethylenically unsaturated monomer by any method include the following (B)
3) can be mentioned. <(B3) Obtained by reacting a polymer or copolymer containing an ethylenically unsaturated monomer having an epoxy group as a polymerization unit with a saturated monocarboxylic acid and a polybasic anhydride> Examples of the ethylenically unsaturated monomer include glycidyl (meth) acrylates such as glycidyl (meth) acrylate and 2-methylglycidyl (meth) acrylate, and (3,4-epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate and the like. And epoxycyclohexyl derivatives of (meth) acrylic acid. These can be used alone or in an appropriate combination of two or more. Further, together with these ethylenically unsaturated monomers having an epoxy group, other ethylenically unsaturated monomers copolymerizable therewith may be copolymerized.

【0040】ここで重合方法は、特に限定されるもので
はなく、溶液重合、乳化重合、分散重合等の一般的な重
合方法を用いることができる。
Here, the polymerization method is not particularly limited, and general polymerization methods such as solution polymerization, emulsion polymerization and dispersion polymerization can be used.

【0041】また飽和モノカルボン酸としては、例えば
ギ酸、酢酸、プロピオン酸、グリコール酸、乳酸等を挙
げることができ、これらのものは単独又は二種以上を適
宜組み合わせて用いることができる。
Examples of the saturated monocarboxylic acid include formic acid, acetic acid, propionic acid, glycolic acid, lactic acid and the like, and these can be used alone or in an appropriate combination of two or more.

【0042】また、多塩基酸無水物としては、例えば無
水コハク酸、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル
酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の後述する(d1)の
合成に用いられるものを使用可能であり、これらのもの
は、単独で又は複数種組み合わせて用いることができ
る。
As the polybasic anhydride, for example, succinic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride and the like used in the synthesis of (d1) described later can be used. These can be used alone or in combination of two or more.

【0043】また、飽和モノカルボン酸及び多塩基酸無
水物の付加も公知の方法により可能である。
Further, addition of a saturated monocarboxylic acid and a polybasic anhydride can be performed by a known method.

【0044】なお、上記のような各種のバインダーポリ
マー(B)は、カルボキシル基の一部もしくは全部が、
アルカノールアミン等の有機の塩基性化合物、アンモニ
ア等によって中和されていても良い。 <(C)光重合開始剤>本発明の感光性樹脂組成物は、
光重合開始剤(C)を含むものである。この光重合開始
剤(C)としては、極性溶媒溶解性のもの、或いは非溶
解性のもののいずれも使用することが可能である。例え
ば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイ
ンエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル等
のベンゾインとそのアルキルエーテル類、アセトフェノ
ン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノ
ン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシ
シクロヘキシルフェニルケトン、4−(2−ヒドロキシ
エトキシ)フェニル−(2−ヒドロキシ−2−プロピ
ル)ケトン等のアセトフェノン類、2−メチルアントラ
キノン、2−アミルアントラキノン等のアントラキノン
類、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチ
ルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4
−ジイソプロピルチオキサントン、1−クロロ−4−プ
ロポキシチオキサントン等のチオキサントン類、アセト
フェノンジメチルケタール、ベンジルジメチルケタール
等のケタール類、ベンゾフェノン、3,3−ジメチル−
4−メトキシベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テ
トラ−(tert−ブチルペルオキシルカルボニル)ベ
ンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニ
ルスルフィド等のベンゾフェノン類やキサントン類、2
−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−
モルホリノ−プロパン−1−オン、2−ベンゾイル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−
ブタノン−1、4,4’−ビス−ジエチルアミノベンゾ
フェノン等の窒素原子を含むもの、並びに2,4,6−
トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド
等、並びに、レーザーによる直接描画用として例えばビ
ス(η5−2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−
ビス(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1
−イル)−フェニル)チタニウム等のメタロセン類が挙
げられ、これらの光重合開始剤(C)は各々単独で又は
二以上のものを適宜互いに組み合わせて配合されたもの
を用いることができる。またこれらの光重合開始剤
(C)は、安息香酸系又はp−ジメチルアミノ安息香酸
エチルエステル、p−ジメチルアミノ安息香酸イソアミ
ルエステル、2−ジメチルアミノエチルベンゾエート等
の第三級アミン系等の公知の光重合促進剤及び増感剤等
と併用しても良い。
The above-mentioned various binder polymers (B) have some or all of the carboxyl groups.
It may be neutralized with an organic basic compound such as alkanolamine, ammonia or the like. <(C) Photopolymerization initiator> The photosensitive resin composition of the present invention comprises:
It contains a photopolymerization initiator (C). As the photopolymerization initiator (C), either a polar solvent-soluble or a non-soluble solvent can be used. For example, benzoin such as benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether and its alkyl ethers, acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, Acetophenones such as 1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, and anthraquinones such as 2-methylanthraquinone and 2-amylanthraquinone. , 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4
Thioxanthones such as diisopropylthioxanthone and 1-chloro-4-propoxythioxanthone, ketals such as acetophenone dimethyl ketal and benzyl dimethyl ketal, benzophenone and 3,3-dimethyl-
Benzophenones such as 4-methoxybenzophenone, 3,3 ′, 4,4′-tetra- (tert-butylperoxylcarbonyl) benzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, and xanthones;
-Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-
Morpholino-propan-1-one, 2-benzoyl-2
-Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl)-
Those containing a nitrogen atom such as butanone-1,4,4'-bis-diethylaminobenzophenone, and 2,4,6-
Trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and the like, and for direct drawing by laser, for example, bis (η 5 -2,4-cyclopentadien-1-yl)-
Bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrole-1
And metallocenes such as -yl) -phenyl) titanium. These photopolymerization initiators (C) may be used alone or in combination of two or more as appropriate. These photopolymerization initiators (C) include known benzoic acid-based or tertiary amine-based compounds such as p-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester and 2-dimethylaminoethylbenzoate. And a photopolymerization accelerator and a sensitizer.

【0045】この光重合開始剤(C)の配合量は、本発
明の感光性樹脂組成物から、水及び有機溶剤を除外した
全成分中で0.1〜20重量%であることが望ましい。
0.1重量%に満たない場合は、本発明の感光性樹脂組
成物に十分な光硬化性を与えることが難しく、また、2
0重量%を越えて配合しても、光硬化性をより向上させ
ることに寄与しない。 <(D)光重合可能なエチレン性不飽和単量体>本発明
の感光性樹脂組成物には、光重合可能なエチレン性不飽
和単量体(D)が配合される。
The compounding amount of the photopolymerization initiator (C) is desirably 0.1 to 20% by weight in all components excluding water and the organic solvent from the photosensitive resin composition of the present invention.
If the amount is less than 0.1% by weight, it is difficult to impart sufficient photocurability to the photosensitive resin composition of the present invention.
Even if it is more than 0% by weight, it does not contribute to further improving the photocurability. <(D) Photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer> The photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) is blended with the photosensitive resin composition of the present invention.

【0046】光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)は、本発明の感光性樹脂組成物に充分な光反応性
を付与し、選択的露光により画像形成可能なものとする
ものである。
The photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) imparts sufficient photoreactivity to the photosensitive resin composition of the present invention so that an image can be formed by selective exposure. is there.

【0047】この光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)としては、例えばトリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メ
タ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレ
ート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、
2,2−ビス〔4−((メタ)アクリロキシエトキシ)
フェニル〕プロパン、2,2−ビス〔4−((メタ)ア
クリロキシ・ジエトキシ)フェニル〕プロパン、2−ヒ
ドロキシ−1,3−ジ(メタ)アクリロキシプロパン、
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル
(メタ)アクリレート、フェノキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリコー
ル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メ
タ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル
(メタ)アクリレート、1−メトキシシクロドデカジエ
ニル(メタ)アクリレート、β−(メタ)アクロイルオ
キシエチルハイドロジェンフタレート、β−(メタ)ア
クロイルオキシエチルハイドロジェンサクシネート、3
−クロロ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、ラウリル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)ア
クリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、ビスフ
ェノールA−ジエポキシアクリル酸付加物、(メタ)ア
クリルアミド、N−メトキシメチル(メタ)アクリルア
ミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、(メ
タ)アクリロイルモルホリン、N−メチロール(メタ)
アクリルアミド、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレ
ート、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート、2,2−ビス〔4−
メタクリロイルオキシ・ポリエトキシフェニル〕プロパ
ン等を挙げることができる。これらの化合物は単独又は
二種以上を適宜組み合わせて用いることができるもので
ある。
Examples of the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) include, for example, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol Penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 1,4-butanediol diacrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate,
Tripropylene glycol di (meth) acrylate,
2,2-bis [4-((meth) acryloxyethoxy)
Phenyl] propane, 2,2-bis [4-((meth) acryloxydiethoxy) phenyl] propane, 2-hydroxy-1,3-di (meth) acryloxypropane,
Ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth) acrylate, methoxydiethylene glycol (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) ) Acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate, 1-methoxycyclododecadienenyl (meth) acrylate, β- (meth) acryloyloxyethyl hydrogen phthalate, β- (meth) acryloyloxyethyl hydrogen succinate Nate, 3
-Chloro-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, bisphenol A-diepoxyacrylic acid adduct, (meth) acrylamide, N-methoxymethyl ( (Meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, (meth) acryloylmorpholine, N-methylol (meth)
Acrylamide, hydroxypropyl (meth) acrylate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, methylenebis (meth) acrylamide, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2,2-bis [4-
[Methacryloyloxy-polyethoxyphenyl] propane. These compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0048】また光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)としては、下記の(d)を含むものを用いること
ができる。 <(d)分子中に少なくとも1個のカルボキシル基及び
少なくとも1個の光反応性のエチレン性不飽和基を有す
る化合物>光重合可能なエチレン性不飽和単量体(D)
の一部又は全部として、分子中に少なくとも1個のカル
ボキシル基及び少なくとも1個の光反応性のエチレン性
不飽和基を有する化合物(d)を含むものを用いると、
分子中にカルボキシル基を有する化合物(d)の、本発
明の感光性樹脂組成物中における配合割合を適宜調節す
ることにより、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ
水溶液に対する溶解性の調整が容易となる。この化合物
(d)を使用する場合には、好ましくは光重合可能なエ
チレン性不飽和単量体(D)全量に対して1〜50重量
%となるように配合することが好ましいものである。
As the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D), those containing the following (d) can be used. <(D) Compound having at least one carboxyl group and at least one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule> Photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D)
When a compound containing at least one carboxyl group and at least one photoreactive ethylenically unsaturated group (d) in the molecule is used,
By appropriately adjusting the compounding ratio of the compound (d) having a carboxyl group in the molecule in the photosensitive resin composition of the present invention, the solubility of the photosensitive resin composition of the present invention in a dilute alkaline aqueous solution can be adjusted. It will be easier. When this compound (d) is used, it is preferable that the compound (d) is blended in an amount of preferably 1 to 50% by weight based on the total amount of the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D).

【0049】この化合物(d)としては特に限定はされ
ないが、例えば、分子中に1個のヒドロキシル基及び1
個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多
価カルボン酸との部分エステル化物である化合物(d
1)や、エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個の
み有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化物
(d2)を挙げることができる。 <(d1)分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光
反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物と多価カル
ボン酸との部分エステル化物>化合物(d)として、部
分エステル化物(d1)を用いる場合、その製造方法は
公知であり、例えば、二塩基酸、三塩基酸等の無水物と
分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエ
チレン性不飽和基を有する化合物とを、必要に応じて触
媒を用い、加熱反応させることによって得られる。この
反応は、モノエステル化で留めることが望ましい。
The compound (d) is not particularly restricted but includes, for example, one hydroxyl group and one hydroxyl group in the molecule.
Compounds (d) which are partially esterified compounds of a compound having a photoreactive ethylenically unsaturated group and a polyvalent carboxylic acid
1) and a partially esterified compound (d2) of a compound having only one epoxy group and one ethylenically unsaturated group with a polyvalent carboxylic acid. <(D1) Partially esterified compound of a compound having one hydroxyl group and one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule with a polycarboxylic acid> As the compound (d), a partially esterified compound (d1) ) Is known in the art, for example, it has an anhydride such as a dibasic acid or a tribasic acid and one hydroxyl group and one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule. It can be obtained by subjecting a compound to a heat reaction using a catalyst as necessary. This reaction is desirably stopped by monoesterification.

【0050】上記の二塩基酸、三塩基酸等の無水物とし
ては、例えばコハク酸、フタル酸、マレイン酸、トリメ
リット酸、ピロメリット酸、ナジック酸、メチルナジッ
ク酸、ドテシルコハク酸、クロレンディック酸、ベンゾ
フェノンテトラカルボン酸、エチレングリコールビス
(アンヒドロトリメート)、ポリアゼライン酸、テトラ
ヒドロフタル酸、3−メチルテトラヒドロフタル酸、4
−メチルテトラヒドロフタル酸、3−エチルテトラヒド
ロフタル酸、4−エチルテトラヒドロフタル酸、3−プ
ロピルテトラヒドロフタル酸、4−プロピルテトラヒド
ロフタル酸、3−ブチルテトラヒドロフタル酸、4−ブ
チルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、3
−メチルヘキサヒドロフタル酸、4−メチルヘキサヒド
ロフタル酸、3−エチルヘキサヒドロフタル酸、4−エ
チルヘキサヒドロフタル酸、3−プロピルヘキサヒドロ
フタル酸、4−プロピルヘキサヒドロフタル酸、3−ブ
チルヘキサヒドロフタル酸、4−ブチルヘキサヒドロフ
タル酸等の多価カルボン酸に対応する無水物等を挙げる
ことができる。これらの酸無水物は単独又は二種以上を
適宜組み合わせて用いることができるものである。
The above-mentioned anhydrides such as dibasic acid and tribasic acid include, for example, succinic acid, phthalic acid, maleic acid, trimellitic acid, pyromellitic acid, nadic acid, methylnadic acid, dotesylsuccinic acid, chlorendic Acid, benzophenonetetracarboxylic acid, ethylene glycol bis (anhydrotrimate), polyazeleic acid, tetrahydrophthalic acid, 3-methyltetrahydrophthalic acid,
-Methyltetrahydrophthalic acid, 3-ethyltetrahydrophthalic acid, 4-ethyltetrahydrophthalic acid, 3-propyltetrahydrophthalic acid, 4-propyltetrahydrophthalic acid, 3-butyltetrahydrophthalic acid, 4-butyltetrahydrophthalic acid, hexahydro Phthalic acid, 3
-Methylhexahydrophthalic acid, 4-methylhexahydrophthalic acid, 3-ethylhexahydrophthalic acid, 4-ethylhexahydrophthalic acid, 3-propylhexahydrophthalic acid, 4-propylhexahydrophthalic acid, 3-butyl Examples thereof include anhydrides corresponding to polyvalent carboxylic acids such as hexahydrophthalic acid and 4-butylhexahydrophthalic acid. These acid anhydrides can be used alone or in appropriate combination of two or more kinds.

【0051】また分子中に1個のヒドロキシル基及び1
個の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物とし
ては、例えば2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2
−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、ポリエチレ
ングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレ
ングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリブチレン
グリコールモノ(メタ)アクリレート等との反応物、ポ
リカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等を挙げる
ことができる。これらのものは、単独又は二種以上を適
宜組み合わせて用いることができる。 <(d2)エポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個
のみ有する化合物と多価カルボン酸との部分エステル化
物>化合物(d)として、部分エステル化物(d2)を
用いる場合、この化合物の製造方法は公知であり、例え
ばエポキシ基及びエチレン性不飽和基を各1個のみ有す
るエチレン性不飽和化合物と二塩基酸、三塩基酸等の酸
無水物とを、必要に応じ触媒を用い、加熱反応させるこ
とによって得られる。この反応は、モノエステル化で留
めることが望ましい。
Further, one hydroxyl group and one
Examples of the compound having a photoreactive ethylenically unsaturated group include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate,
-Hydroxybutyl (meth) acrylate, polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, a reaction product with polybutylene glycol mono (meth) acrylate, and the like, and polycaprolactone mono (meth) acrylate and the like. it can. These can be used alone or in an appropriate combination of two or more. <(D2) Partially esterified compound of compound having only one epoxy group and one ethylenically unsaturated group and polycarboxylic acid> When partially esterified compound (d2) is used as compound (d), production of this compound The method is known, for example, by heating an ethylenically unsaturated compound having only one each of an epoxy group and an ethylenically unsaturated group and an acid anhydride such as dibasic acid and tribasic acid, using a catalyst as necessary, It is obtained by reacting. This reaction is desirably stopped by monoesterification.

【0052】このエポキシ基を1個のみ有するエチレン
性不飽和化合物としては、例えばグリシジル(メタ)ア
クリレート、2−メチルグリシジル(メタ)アクリレー
ト等のグリシジル(メタ)アクリレート類、(3,4−
エポキシシクロヘキシル)メチル(メタ)アクリレート
等の(メタ)アクリル酸のエポキシシクロヘキシル誘導
体類等が挙げられる。これらのものは、単独又は二種以
上を適宜組み合わせて用いることができる。また多価カ
ルボン酸としては、化合物(d1)の製造に用いる上記
酸無水物に対応するものを用いることができる。
Examples of the ethylenically unsaturated compound having only one epoxy group include glycidyl (meth) acrylates such as glycidyl (meth) acrylate and 2-methylglycidyl (meth) acrylate;
Epoxycyclohexyl derivatives of (meth) acrylic acid such as (epoxycyclohexyl) methyl (meth) acrylate. These can be used alone or in an appropriate combination of two or more. Further, as the polyvalent carboxylic acid, those corresponding to the above-mentioned acid anhydride used for producing compound (d1) can be used.

【0053】上記に示したような光重合可能なエチレン
性不飽和単量体(D)は、上記感光性樹脂(A)と共に
用いられることにより、本発明の感光性樹脂組成物の光
反応性を高めることができる。
The photo-polymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) as described above is used together with the above-mentioned photosensitive resin (A) to form the photo-reactive resin of the present invention. Can be increased.

【0054】光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)の配合割合は、本発明の感光性樹脂組成物から水
及び有機溶剤を除外した全成分に対して、0.05〜7
5重量%であることが望ましい。0.05に満たない
と、硬化被膜の強度が充分なものとならない恐れがあ
り、75重量%を超えると、本発明の感光性樹脂組成物
の予備乾燥後の皮膜の表面粘着性が強くなり、フォトツ
ールアートワーク等を直接貼付した場合に、汚れを生じ
易くなる。特に1.0〜50重量%の場合、硬化被膜強
度が良好であると共に、表面の粘着性も低いので更に好
ましいものである。 <(E)水>本発明の感光性樹脂組成物は水(E)を必
須の媒体としている。その配合割合は本発明の感光性樹
脂組成物全成分に対して10〜97重量%であることが
望ましい。配合割合が10重量%未満の場合、インクの
流動性が不充分となり、塗布性等を良好なものとするの
が困難であり、また97重量%を超えると本発明の感光
性樹脂組成物を基材面に塗布した際の塗布皮膜が薄くな
りすぎ、エッチングレジストインク、めっきレジストイ
ンク、ソルダーレジストインク等として充分な性能を発
揮できなくなり好ましくない。
The mixing ratio of the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) is 0.05 to 7 based on all components excluding water and the organic solvent from the photosensitive resin composition of the present invention.
Desirably, it is 5% by weight. If it is less than 0.05, the strength of the cured film may not be sufficient. If it exceeds 75% by weight, the surface adhesiveness of the film after pre-drying of the photosensitive resin composition of the present invention becomes strong. When a photo tool artwork or the like is directly attached, dirt easily occurs. Particularly, when the content is 1.0 to 50% by weight, the cured film strength is good and the surface tackiness is low, so that it is more preferable. <(E) Water> The photosensitive resin composition of the present invention uses water (E) as an essential medium. The compounding ratio is desirably 10 to 97% by weight based on all components of the photosensitive resin composition of the present invention. If the compounding ratio is less than 10% by weight, the fluidity of the ink becomes insufficient, and it is difficult to improve the coating properties and the like. If the compounding ratio exceeds 97% by weight, the photosensitive resin composition of the present invention cannot be used. When applied to the substrate surface, the coating film becomes too thin, and it is not preferable because it cannot exhibit sufficient performance as an etching resist ink, a plating resist ink, a solder resist ink, or the like.

【0055】また、任意成分として有機溶剤等の媒体を
配合することもでき、具体的には、水に易溶性の溶剤の
みならず、難溶性、非溶性の有機溶剤を用いることがで
きる。これら有機溶剤の例としてはエタノール、プロパ
ノール、2−プロパノール、ブタノール、2−ブタノー
ル、ヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレング
リコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコ
ール、ジプロピレングリコール、ブチレングリコール、
トリメチロールプロパン、ネオペンチルグリコール、グ
リセリン、1,2,4−ブタントリオール、1,2−ブ
タンジオール、1,4−ブタンジオール、ダイアセトン
アルコール等の直鎖、分岐、2級或いは多価のアルコー
ル類、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレ
ングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール
モノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエ
ーテル類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、
ジエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレ
ングリコールモノメチルエーテル等のポリエチレングリ
コールアルキルエーテル類、プロピレングリコールモノ
メチルエーテル等のプロピレングリコールアルキルエー
テル類、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等
のポリプロピレングリコールアルキルエーテル類、エチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピ
レングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジプロ
ピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、グリ
セリンモノアセテート、グリセリンジアセテート等の酢
酸エステル類、乳酸エチル、乳酸ブチル等の乳酸エステ
ル類、ジエチレングリコールジエチルエーテル等のジア
ルキルグリコールエーテル類、メチルエチルケトン、シ
クロヘキサノン、イソホロン等のケトン類、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素類、スワゾールシリーズ
(丸善石油化学社製)、ソルベッソシリーズ(エクソン
・ケミカル社製)等の石油系芳香族系混合溶剤、もしく
はn−ヘキサン、シクロヘキサン、テトラヒドロフラン
等が挙げられる。これらの媒体は、各々単独で又は二以
上のものを適宜互いに組み合わせて配合される。
Also, a medium such as an organic solvent can be blended as an optional component. Specifically, not only a solvent which is easily soluble in water but also a hardly soluble or insoluble organic solvent can be used. Examples of these organic solvents include ethanol, propanol, 2-propanol, butanol, 2-butanol, hexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, propylene glycol, dipropylene glycol, butylene glycol,
Linear, branched, secondary or polyhydric alcohols such as trimethylolpropane, neopentyl glycol, glycerin, 1,2,4-butanetriol, 1,2-butanediol, 1,4-butanediol, diacetone alcohol , Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol alkyl ethers such as ethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether,
Polyethylene glycol alkyl ethers such as diethylene glycol monoethyl ether and triethylene glycol monomethyl ether; propylene glycol alkyl ethers such as propylene glycol monomethyl ether; polypropylene glycol alkyl ethers such as dipropylene glycol monomethyl ether; ethylene glycol monomethyl ether acetate; diethylene glycol Acetates such as monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, dipropylene glycol monomethyl ether acetate, glycerin monoacetate and glycerin diacetate; lactate esters such as ethyl lactate and butyl lactate; and dialkyl glycols such as diethylene glycol diethyl ether Ether compounds, methyl ethyl ketone, cyclohexanone, ketones such as isophorone, toluene,
Aromatic hydrocarbons such as xylene, petroleum aromatic mixed solvents such as Swazole series (manufactured by Maruzen Petrochemical) and Solvesso series (manufactured by Exxon Chemical), or n-hexane, cyclohexane, tetrahydrofuran, etc. No. These media may be used alone or in combination of two or more.

【0056】また、本発明のフォトレジストインクに
は、光反応可能な基導入された高分子化合物として、例
えばエチレン性不飽和基を導入してなる(メタ)アクリ
ル酸エステル共重合体、(メタ)アクリル酸エステル−
(メタ)アクリル酸共重合体、スチレン−アクリル酸エ
ステル共重合体、スチレン−(メタ)アクリル酸−(メ
タ)アクリル酸エステル共重合体及びスチレン−マレイ
ン酸樹脂等の重合体等、並びに(メタ)アクリル酸を付
加してなるビスフェノールA型エポキシ樹脂、フェノー
ルノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型
エポキシ樹脂及び脂環型エポキシ樹脂、或はこれらにさ
らに飽和若しくは不飽和多塩基酸無水物を付加したもの
等、或いはこれらのエマルジヨンを加えることができ
る。
In the photoresist ink of the present invention, as a polymer compound into which a photoreactive group has been introduced, for example, a (meth) acrylate copolymer having an ethylenically unsaturated group introduced therein, ) Acrylate-
(Meth) acrylic acid copolymer, styrene-acrylic acid ester copolymer, styrene- (meth) acrylic acid- (meth) acrylic acid ester copolymer, polymers such as styrene-maleic acid resin, and (meth) ) Acrylic acid-added bisphenol A type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin and alicyclic type epoxy resin, or those obtained by further adding a saturated or unsaturated polybasic acid anhydride Etc., or these emulsions can be added.

【0057】さらに、本発明の水又は希アルカリ水溶液
で現像可能な感光性樹脂組成物には、印刷適性を調節す
る等の目的で、必要に応じてシリコーン、(メタ)アク
リレート共重合体、フッ素系界面活性剤等のレベリング
剤、アエロジル等のチクソトロピー剤、ハイドロキノ
ン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロー
ル、tert−ブチルカテコール、フェノチアジン等の
重合禁止剤、ハレーション防止剤、難燃剤、耐めっき性
向上剤、消泡剤、酸化防止剤、顔料湿潤剤、有機もしく
は無機の顔料及び染料、天然もしくは合成ゴムの粉末等
の各種添加剤、並びに分散安定性を向上させるための界
面活性剤や高分子分散剤等をさらに加えても良い。
The photosensitive resin composition of the present invention, which can be developed with water or a dilute aqueous alkali solution, may contain a silicone, a (meth) acrylate copolymer, a fluorine Leveling agents such as surfactants, thixotropic agents such as Aerosil, polymerization inhibitors such as hydroquinone, hydroquinone monomethyl ether, pyrogallol, tert-butylcatechol, and phenothiazine, antihalation agents, flame retardants, plating resistance improvers, and defoamers. Agents, antioxidants, pigment wetting agents, organic or inorganic pigments and dyes, various additives such as natural or synthetic rubber powder, and surfactants and polymer dispersants for improving dispersion stability. May be added.

【0058】本発明の感光性樹脂組成物の調製方法は特
に限定されず、各成分を公知の方法を用いて混合するこ
とができる。例えば、他の配合成分中に、感光性樹脂
(A)の水溶液を加えることによって混合、分散等させ
ても良いし、感光性樹脂(A)の水溶液に他の配合成分
を加えることによって混合、分散等させても良い。この
分散、混合に際しては、ホモミキサー、パイプラインホ
モミキサー、ビーズミル、ロールミル、ボールミル等各
種の撹拌機、混練機を用いることもできる。
The method for preparing the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, and each component can be mixed using a known method. For example, mixing and dispersion may be performed by adding an aqueous solution of the photosensitive resin (A) to another compounding component, or mixing and dispersion may be performed by adding the other compounding component to the aqueous solution of the photosensitive resin (A). They may be dispersed. For the dispersion and mixing, various types of agitators and kneaders such as a homomixer, a pipeline homomixer, a bead mill, a roll mill, and a ball mill can be used.

【0059】上記のように本発明の感光性樹脂組成物
は、感光性樹脂(A)を用いて他の成分を水もしくは水
と水性有機溶剤等の混合溶媒中に溶解、乳化又は分散す
ることができて水性化可能なものであり、この感光性樹
脂組成物を露光硬化させた後に非露光部分を水又は希ア
ルカリ水溶液で除去することができるものであって、現
像時に有機溶剤を使用する必要がなく、また感光性樹脂
組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過程
において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を抑
制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、環
境汚染、火災等の問題を低減することができるものであ
る。またこの感光性樹脂組成物の光重合反応により生成
する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する密着性が
良好であり、またエッチング液、めっき液等に対する耐
水性及び耐熱性に優れたものとすることができる。また
この感光性樹脂組成物の硬化物は、過ヨウ素酸ソーダ等
或いはアルカリ金属水酸化物等の水溶液の何れかにより
剥離することも可能なものである。従って本発明の感光
性樹脂組成物は、エッチングレジストインク、めっきレ
ジストインク、ソルダーレジストインク、マーキングイ
ンク等のプリント配線板製造用フォトレジストインク
や、グラビアロール蝕刻用フォトレジストインク、スク
リーン印刷版製造用感光性組成物、カラーフィルタ画素
製造用インク、カラーフィルタ保護膜製造用インク等と
して最適なものである。
As described above, the photosensitive resin composition of the present invention is obtained by dissolving, emulsifying or dispersing other components in water or a mixed solvent of water and an aqueous organic solvent using the photosensitive resin (A). Can be made water-soluble, and the non-exposed portion can be removed with water or a dilute alkaline aqueous solution after exposure and curing of the photosensitive resin composition, and an organic solvent is used during development. It is not necessary, and in the process of forming a pre-dried film after applying the photosensitive resin composition to the base material, the volatilization of the organic solvent from the photosensitive resin composition can be suppressed, and labor caused by the organic solvent can be suppressed. Problems such as safety, environmental pollution, and fire can be reduced. The cured film produced by the photopolymerization reaction of the photosensitive resin composition has a high film hardness, good adhesion to a substrate, and excellent etching resistance, water resistance and heat resistance to a plating solution and the like. can do. The cured product of the photosensitive resin composition can be peeled off by using either an aqueous solution of sodium periodate or the like or an alkali metal hydroxide. Accordingly, the photosensitive resin composition of the present invention can be used as a photoresist ink for manufacturing a printed wiring board such as an etching resist ink, a plating resist ink, a solder resist ink, and a marking ink, a photoresist ink for gravure roll etching, and a screen printing plate. It is most suitable as a photosensitive composition, an ink for producing a color filter pixel, an ink for producing a color filter protective film, and the like.

【0060】本発明の感光性樹脂組成物を用い、基板上
にパターンを成形する方法としては、現像法を用いるこ
とができる。本発明の感光性樹脂組成物を用いて現像法
により基材上にパターンを形成する方法は、特に限定さ
れるものではないが、例えば、以下のような方法を採る
ことができる。 ・塗布工程 基材上に感光性樹脂組成物を浸漬法、スプレー塗装、ス
ピンコート法、ロール塗装、カーテンフロー塗装又はス
クリーン印刷法等により塗布する。ここで本発明の感光
性樹脂組成物をプリント配線板製造用インクとして用い
る場合には、基材として銅張積層板等のプリント配線板
製造用基板等が用いられる。 ・予備乾燥工程 上記の感光性樹脂組成物を、熱風加熱、電磁誘導加熱、
ホットプレス或いは遠赤外線乾燥等を用いて乾燥させ、
予備乾燥皮膜を形成する。 ・露光工程 フォトツールアートワークを上記の予備乾燥した感光性
樹脂組成物の塗膜表面に直接又は間接的に当てがい、タ
ングステンランプ、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧
水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、
メタルハライドランプ等を用いて紫外線を照射して塗膜
表面が選択的に露光される。また、ヘリウムカドミウム
レーザー、アルゴンレーザー、YAGレーザー等を用い
たレーザ直接描画法によって露光しても良い。 ・現像工程 本発明の感光性樹脂組成物は露光工程の後、水もしくは
希アルカリ溶液にて非露光部を洗浄除去することにより
現像することが可能である。
As a method for forming a pattern on a substrate using the photosensitive resin composition of the present invention, a developing method can be used. The method for forming a pattern on a substrate by a development method using the photosensitive resin composition of the present invention is not particularly limited, and for example, the following method can be employed. -Coating process The photosensitive resin composition is coated on the substrate by dipping, spray coating, spin coating, roll coating, curtain flow coating, screen printing, or the like. Here, when the photosensitive resin composition of the present invention is used as an ink for manufacturing a printed wiring board, a substrate for manufacturing a printed wiring board such as a copper-clad laminate is used as a base material. Preliminary drying step The above photosensitive resin composition, hot air heating, electromagnetic induction heating,
Dry using hot press or far infrared drying etc.
Form a pre-dried film. -Exposure process The phototool artwork is applied directly or indirectly to the surface of the pre-dried photosensitive resin composition coating film, and a tungsten lamp, a chemical lamp, a low-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, and an ultra-high-pressure mercury lamp are used. , Xenon lamp,
Ultraviolet rays are irradiated using a metal halide lamp or the like to selectively expose the coating film surface. Alternatively, exposure may be performed by a laser direct writing method using a helium cadmium laser, an argon laser, a YAG laser, or the like. Development Step After the exposure step, the photosensitive resin composition of the present invention can be developed by washing and removing the non-exposed area with water or a dilute alkaline solution.

【0061】ここで、水による場合はその温度は特に限
定はされないが常温水もしくは温水によるのが好まし
い。
Here, when using water, the temperature is not particularly limited, but it is preferable to use room temperature water or hot water.

【0062】また希アルカリ溶液にて現像を行う場合に
は、例えば、ナトリウム、カリウム、リチウム等の水酸
化アルカリ、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム等の炭酸ア
ルカリの水溶液等を用いることができる。
When development is carried out with a dilute alkaline solution, for example, an aqueous solution of an alkali hydroxide such as sodium, potassium or lithium, or an alkali carbonate such as sodium carbonate or potassium carbonate can be used.

【0063】また水もしくは希アルカリ溶液としては、
その溶媒として水単独のみならず、例えば水とアルコー
ル系等の親水性のある有機溶媒を混合したものを用いる
ことも可能である。 ・エッチング、めっき工程 本発明の感光性樹脂組成物をプリント配線板のエッチン
グレジスト又はめっきレジストとして用いる場合には、
例えば、上記の現像法によってプリント配線板製造用基
板上に形成されたレジストパターンをマスクとして、露
出している基板の表面を、エッチング、めっき等の公知
の方法で処理する方法等が挙げられる。
As the water or dilute alkaline solution,
As the solvent, not only water alone but also a mixture of water and a hydrophilic organic solvent such as an alcohol can be used.・ Etching, plating stepWhen the photosensitive resin composition of the present invention is used as an etching resist or a plating resist of a printed wiring board,
For example, there is a method in which the exposed surface of the substrate is treated by a known method such as etching or plating using the resist pattern formed on the substrate for manufacturing a printed wiring board by the above-described developing method as a mask.

【0064】エッチングを行う場合は、基板上の導電性
層の種類に応じて選択されたエッチング剤を用いること
ができる。例えば、塩化第二銅などの酸性エッチング
液、アンモニア系エッチング液等を用いて行うことがで
きる。
When etching is performed, an etching agent selected according to the type of the conductive layer on the substrate can be used. For example, the etching can be performed using an acidic etching solution such as cupric chloride, an ammonia-based etching solution, or the like.

【0065】まためっきを行う場合には、例えば、硫酸
銅めっき、ピロリン酸銅めっき等の銅めっき、ハイスロ
ーはんだめっき等のはんだめっき、スルファミン酸ニッ
ケルめっき等のニッケルめっき、ソフト金めっき、ハー
ド金めっき等の金めっき等を行うことができる。 ・剥離工程 本発明の感光性樹脂組成物は、ソルダーレジスト、マー
キングインクとして用いる場合、その硬化物を残存させ
て用いることもできるが、エッチングレジスト又はめっ
きレジスト等として用いる場合には、その硬化物を最終
的に剥離することもできる。ここで硬化物は硬化物中の
感光性樹脂(A)由来部分を過ヨウ素酸ソーダ、次亜塩
素酸ソーダ等で分解することにより剥離できる。
In the case of plating, for example, copper plating such as copper sulfate plating and copper pyrophosphate plating, solder plating such as high throw solder plating, nickel plating such as nickel sulfamate plating, soft gold plating, and hard gold plating Etc. can be performed. -Peeling step The photosensitive resin composition of the present invention may be used as a solder resist or a marking ink, and the cured product thereof may be used, but when used as an etching resist or a plating resist, the cured product may be used. Can be finally peeled off. Here, the cured product can be peeled off by decomposing a portion derived from the photosensitive resin (A) in the cured product with sodium periodate, sodium hypochlorite, or the like.

【0066】また、上記現像工程に用いるアルカリ溶液
により剥離することもでき、この場合には現像に用いた
ものよりさらに強アルカリ性の溶液を用いることが好ま
しい。
In addition, it is also possible to peel off with an alkali solution used in the developing step. In this case, it is preferable to use a stronger alkali solution than that used for the development.

【0067】[0067]

【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて説明する
が、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、
以下に使用される「部」及び「%」は、特に示さない限
り、全て重量基準である。また、「重量平均分子量」
は、下記測定条件に基づきGPC(ゲル・パーミテーシ
ョン・クロマトグラフィー)により測定されたものであ
る。 〔GPC測定法〕各試料を固型分について10mg/m
lとなる様にTHF(テトラヒドロフラン)溶液を調製
し、各々インジェクション量100μlにて測定した。 ・測定条件 GPC測定装置:昭和電工社製、商品名「SHODEX
SYSTEM 11」 カラム :昭和電工社製、商品名「SHODEX
KF−800P」、「SHODEX KF−80
5」、「SHODEX KF−803」及び「SHOD
EX KF−801」の4本直列 移動層 :THF 流 量 :1ミリリットル/分 カラム温度 :45℃ 検出器 :RI 換 算 :ポリスチレン 〔合成例1〕部分ケン化ポリ酢酸ビニル(重合度170
0、ケン化度88モル%、日本合成化学工業(株)製、
商品名「ゴーセノールGH−17」)200gを水10
00gに溶解した。この水溶液にN−メチロールアクリ
ルアミド40gを溶解し、0.1%メトキシハイドロキ
ノン水溶液2g、85%リン酸3gを添加後、60℃で
20時間反応させた。反応終了後、5%カセイソーダー
で中和し、さらに水にて溶液の総量を1500gとなる
ように調整し、ポリビニルアルコール系重合体のN−メ
チロールアクリルアミド付加物(感光性樹脂(A)に相
当)の水溶液(N−1)を得た。 〔合成例2〕酢酸ビニル重合体−不飽和カルボン酸Na
共重合体部分ケン化物(重合度1800、ケン化度88
モル%、(株)クラレ製、商品名「ポバールKL31
8」)に200gを水1000gに溶解した。この水溶
液にN−メチロールアクリルアミド60gを溶解し、
0.1%メトキシハイドロキノン水溶液2g、85%リ
ン酸3gを添加後、80℃で5時間反応した。反応終了
後、5%カセイソーダーで中和し、さらに水にて溶液の
総量を1625gとなるように調整し、ポリビニルアル
コール系重合体のN−メチロールアクリルアミド付加物
(感光性樹脂(A)に相当)の水溶液(N−2)を得
た。 〔合成例3〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル
酸20部、メチルメタクリレート80部、メチルエチル
ケトン100部、アゾビスイソブチロニトリル1部を加
え、窒素気流下に加熱し、75℃において5時間重合を
行ない、50%バインダーポリマー溶液(P−1)(バ
インダーポリマー(B1)に相当するアクリル酸エステ
ル系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリ
マーの重量平均分子量は110000、酸価は130m
gKOH/gであった。 〔合成例4〕スチレン−無水マレイン酸共重合体(エル
フアトケム社製、商品名「SMA−1000A」)15
0部をメチルエチルケトン152部に加熱溶解したもの
に、空気を吹き込みながら、撹拌下にn−ブチルアルコ
ール56部、ハイドロキノン0.1部、ジメチルベンジ
ルアミン3.0部を加え、常法により80℃で24時間
反応させ、57%溶液(P−2)(バインダーポリマー
(B1)に相当するスチレン−マレイン酸エステル系共
重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリマーの
重量平均分子量は7400、酸価は203mgKOH/
gであった。 〔合成例5〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、ヒドロキシ
エチルメタクリレート25部、メチルメタクリレート7
5部、メチルエチルケトン100部、ラウリルメルカプ
タン0.5部、アゾビスイソブチロニトリル3部を加
え、窒素気流下に加熱し、75℃において5時間重合を
行ない、50%共重合体溶液を得た。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In addition,
All “parts” and “%” used below are by weight unless otherwise indicated. Also, "weight average molecular weight"
Is a value measured by GPC (gel permeation chromatography) under the following measurement conditions. [GPC measurement method] Each sample was 10 mg / m
A THF (tetrahydrofuran) solution was prepared so as to be 1 l, and each was measured at an injection volume of 100 μl.・ Measurement conditions GPC measurement device: Showa Denko KK, trade name “SHOdex”
"SYSTEM 11" Column: "SHOdex" manufactured by Showa Denko KK
KF-800P "," SHOdex KF-80
5 "," SHOdex KF-803 "and" SHOD
EX KF-801 ”in series Moving bed: THF flow rate: 1 ml / min Column temperature: 45 ° C. Detector: RI conversion: polystyrene [Synthesis Example 1] partially saponified polyvinyl acetate (polymerization degree 170
0, saponification degree 88 mol%, manufactured by Nippon Synthetic Chemical Industry Co., Ltd.
200 g of water (trade name "Gohsenol GH-17")
00g. 40 g of N-methylolacrylamide was dissolved in this aqueous solution, 2 g of a 0.1% methoxyhydroquinone aqueous solution and 3 g of 85% phosphoric acid were added, and the mixture was reacted at 60 ° C. for 20 hours. After completion of the reaction, the mixture was neutralized with 5% caustic soda, and further adjusted with water so that the total amount of the solution became 1500 g. An N-methylolacrylamide adduct of a polyvinyl alcohol polymer (corresponding to the photosensitive resin (A)) )) Was obtained. [Synthesis Example 2] Vinyl acetate polymer-unsaturated carboxylic acid Na
Partially saponified copolymer (degree of polymerization 1800, degree of saponification 88
Mol%, manufactured by Kuraray Co., Ltd., trade name "Poval KL31
8 ") was dissolved in 1000 g of water. Dissolve 60 g of N-methylolacrylamide in this aqueous solution,
After adding 2 g of a 0.1% methoxyhydroquinone aqueous solution and 3 g of 85% phosphoric acid, the mixture was reacted at 80 ° C. for 5 hours. After completion of the reaction, the mixture was neutralized with 5% caustic soda, and further adjusted with water so that the total amount of the solution became 1625 g. The N-methylolacrylamide adduct of a polyvinyl alcohol polymer (corresponding to the photosensitive resin (A)) )) Was obtained. [Synthesis Example 3] In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, a glass tube for purging nitrogen, and a stirrer, 20 parts of methacrylic acid, 80 parts of methyl methacrylate, 100 parts of methyl ethyl ketone, and azobisisobutyronitrile 1 Then, the mixture was heated under a nitrogen stream and polymerized at 75 ° C. for 5 hours, and a 50% binder polymer solution (P-1) (a solution of an acrylate copolymer corresponding to the binder polymer (B1)) was added. Obtained. The weight average molecular weight of the obtained binder polymer is 110,000, and the acid value is 130 m.
gKOH / g. [Synthesis Example 4] Styrene-maleic anhydride copolymer (trade name "SMA-1000A", manufactured by Elphatochem) 15
0 parts was heated and dissolved in 152 parts of methyl ethyl ketone, and while blowing air, 56 parts of n-butyl alcohol, 0.1 part of hydroquinone and 3.0 parts of dimethylbenzylamine were added with stirring, and the mixture was heated at 80 ° C. by a conventional method. The reaction was carried out for 24 hours to obtain a 57% solution (P-2) (a solution of a styrene-maleic ester copolymer corresponding to the binder polymer (B1)). The weight average molecular weight of the obtained binder polymer was 7400, and the acid value was 203 mgKOH /
g. [Synthesis Example 5] A four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, a glass tube for purging nitrogen and a stirrer was charged with 25 parts of hydroxyethyl methacrylate and 7 parts of methyl methacrylate.
5 parts, 100 parts of methyl ethyl ketone, 0.5 parts of lauryl mercaptan, and 3 parts of azobisisobutyronitrile were added, and the mixture was heated under a nitrogen stream and polymerized at 75 ° C. for 5 hours to obtain a 50% copolymer solution. .

【0068】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、メチルエチルケトン25部、テトラヒド
ロ無水フタル酸20部、ジメチルベンジルアミン2.0
部を加え、80℃で空気を吹き込みながら10時間付加
反応を行い、50%バインダーポリマー溶液(P−3)
(バインダーポリマー(B2)の溶液に相当)を得た。
To the above 50% copolymer solution, 0.05 part of hydroquinone, 25 parts of methyl ethyl ketone, 20 parts of tetrahydrophthalic anhydride, 2.0 parts of dimethylbenzylamine
Part, and an addition reaction is performed for 10 hours while blowing air at 80 ° C., and a 50% binder polymer solution (P-3)
(Corresponding to a solution of the binder polymer (B2)) was obtained.

【0069】得られたバインダーポリマーの重量平均分
子量は20000、酸価は61mgKOH/gであっ
た。 〔合成例6〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジル
メタクリレート70部、メチルメタクリレート10部、
tert−ブチルメタクリレート20部、メチルエチル
ケトン100部、ラウリルメルカプタン0.5部、アゾ
ビスイソブチロニトリル3部を加え、窒素気流下に加熱
し、75℃において5時間重合を行ない、50%共重合
体溶液を得た。
The weight average molecular weight of the obtained binder polymer was 20,000, and the acid value was 61 mgKOH / g. [Synthesis Example 6] In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, a glass tube for nitrogen replacement, and a stirrer, 70 parts of glycidyl methacrylate, 10 parts of methyl methacrylate,
20 parts of tert-butyl methacrylate, 100 parts of methyl ethyl ketone, 0.5 parts of lauryl mercaptan and 3 parts of azobisisobutyronitrile were added, and the mixture was heated under a nitrogen stream, polymerized at 75 ° C. for 5 hours, and subjected to a 50% copolymer. A solution was obtained.

【0070】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、プロピオン酸39部、ジメチルベンジル
アミン2.0部を加え、80℃で空気を吹き込みながら
24時間付加反応を行い、続いてテトラヒドロ無水フタ
ル酸38部及びメチルエチルケトン77部を加えて80
℃で10時間反応させ、50%バインダーポリマー溶液
(P−4)(バインダーポリマー(B3)の溶液に相
当)を得た。
To the above 50% copolymer solution were added 0.05 parts of hydroquinone, 39 parts of propionic acid, and 2.0 parts of dimethylbenzylamine, and the mixture was subjected to an addition reaction at 80 ° C. for 24 hours while blowing air thereinto. Add 38 parts of phthalic anhydride and 77 parts of methyl ethyl ketone and add 80 parts.
The mixture was reacted at 10 ° C. for 10 hours to obtain a 50% binder polymer solution (P-4) (corresponding to a solution of the binder polymer (B3)).

【0071】得られた感光性プレポリマーの重量平均分
子量は21000、酸価は79mgKOH/gであっ
た。 〔合成例7〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、メタクリル
酸20部、メチルメタクリレート80部、カルビトール
アセテート100部、アゾビスイソブチロニトリル1部
を加え、窒素気流下に加熱し、80℃において5時間重
合を行ない、50%バインダーポリマー溶液(P−5)
(バインダーポリマー(B1)に相当するアクリル酸エ
ステル系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダー
ポリマーの重量平均分子量は95000、酸価は130
mgKOH/gであった。 〔合成例8〕スチレン−無水マレイン酸共重合体(エル
フアトケム社製、商品名「SMA−1000A」)15
0部をカルビトールアセテート152部に加熱溶解した
ものに、空気を吹き込みながら、撹拌下にn−ブチルア
ルコール56部、ハイドロキノン0.1部、ジメチルベ
ンジルアミン3.0部を加え、常法により80℃で24
時間反応させ、57%溶液(P−6)(バインダーポリ
マー(B1)に相当するスチレン−マレイン酸エステル
系共重合体の溶液)を得た。得られたバインダーポリマ
ーの重量平均分子量は7400、酸価は203mgKO
H/gであった。 〔合成例9〕還流冷却器、温度計、窒素置換用ガラス管
及び撹拌機を取り付けた四ツ口フラスコに、グリシジル
メタクリレート70部、tert−ブチルメタクリレー
ト30部、カルビトールアセテート100部、ラウリル
メルカプタン0.3部、アゾビスイソブチロニトリル3
部を加え、窒素気流下に加熱し、80℃において5時間
重合を行ない、50%共重合体溶液を得た。
The obtained photosensitive prepolymer had a weight average molecular weight of 21,000 and an acid value of 79 mgKOH / g. [Synthesis Example 7] In a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, a glass tube for purging nitrogen, and a stirrer, 20 parts of methacrylic acid, 80 parts of methyl methacrylate, 100 parts of carbitol acetate, and azobisisobutyro were used. One part of nitrile was added, and the mixture was heated under a nitrogen stream, and polymerized at 80 ° C. for 5 hours, and a 50% binder polymer solution (P-5)
(Acrylic ester-based copolymer solution corresponding to binder polymer (B1)) was obtained. The weight average molecular weight of the obtained binder polymer is 95,000, and the acid value is 130.
mg KOH / g. [Synthesis Example 8] Styrene-maleic anhydride copolymer (trade name "SMA-1000A", manufactured by Elphatochem) 15
Of n-butyl alcohol, 0.1 part of hydroquinone and 3.0 parts of dimethylbenzylamine were added to a solution prepared by heating and dissolving 0 parts in 152 parts of carbitol acetate while blowing air, and 80 parts were added thereto by a conventional method. 24 at ° C
The reaction was carried out for an hour to obtain a 57% solution (P-6) (a solution of a styrene-maleic acid ester-based copolymer corresponding to the binder polymer (B1)). The weight average molecular weight of the obtained binder polymer is 7400, and the acid value is 203 mg KO.
H / g. Synthesis Example 9 70 parts of glycidyl methacrylate, 30 parts of tert-butyl methacrylate, 100 parts of carbitol acetate, 100 parts of lauryl mercaptan were placed in a four-necked flask equipped with a reflux condenser, a thermometer, a glass tube for purging nitrogen, and a stirrer. .3 parts, azobisisobutyronitrile 3
The polymerization was carried out at 80 ° C. for 5 hours to obtain a 50% copolymer solution.

【0072】上記50%共重合体溶液に、ハイドロキノ
ン0.05部、アクリル酸37部、ジメチルベンジルア
ミン0.4部を加え、105℃で24時間付加反応を行
い、続いてテトラヒドロ無水フタル酸31部及びカルビ
トールアセテート68部を加えて100℃で3時間反応
させ50%感光性プレポリマー溶液(P’−1)を得
た。
To the above 50% copolymer solution were added 0.05 part of hydroquinone, 37 parts of acrylic acid and 0.4 part of dimethylbenzylamine, and an addition reaction was carried out at 105 ° C. for 24 hours, followed by tetrahydrophthalic anhydride 31 And 68 parts of carbitol acetate were added and reacted at 100 ° C. for 3 hours to obtain a 50% photosensitive prepolymer solution (P′-1).

【0073】得られた感光性プレポリマーの重量平均分
子量は18000、酸価は67mgKOH/gであっ
た。 〔実施例1〜4、7〜10、13〜16、19〜22〕
各成分を表1、2に示すような組成に調製したものを攪
拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散し、更に減圧
下で、空気を吹き込みながら有機溶剤成分を留去するこ
とにより水性のフォトレジストインクを調製した。 〔実施例5、6、11、12、17、18、23、2
4〕各成分を表1、2に示すような組成に調製したもの
を攪拌混合した後、ホモミキサーで充分に分散すること
により水性のフォトレジストインクを調製した。 〔比較例1、2〕各成分を表2に示すような組成に調製
したものを、三本ロールにて充分混練しフォトレジスト
インクを調製した。
The obtained photosensitive prepolymer had a weight average molecular weight of 18,000 and an acid value of 67 mgKOH / g. [Examples 1-4, 7-10, 13-16, 19-22]
After stirring and mixing the components prepared in the compositions shown in Tables 1 and 2, the mixture was thoroughly dispersed with a homomixer, and further distilled under reduced pressure to remove the organic solvent component while blowing air, thereby obtaining an aqueous solution. A photoresist ink was prepared. [Examples 5, 6, 11, 12, 17, 18, 23, 2
4) The components prepared as shown in Tables 1 and 2 were stirred and mixed, and then thoroughly dispersed with a homomixer to prepare an aqueous photoresist ink. [Comparative Examples 1 and 2] The components prepared as shown in Table 2 were sufficiently kneaded with three rolls to prepare a photoresist ink.

【0074】[0074]

【表1】 [Table 1]

【0075】[0075]

【表2】 ここで表中において、 (*1)「アロニックスM−309」は、東亞合成化学
工業(株)製のトリメチロールプロパントリアクリレー
ト(エチレン性不飽和単量体(D))の商品名である。
[Table 2] Here, in the table, (* 1) "Aronix M-309" is a trade name of trimethylolpropane triacrylate (ethylenically unsaturated monomer (D)) manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.

【0076】(*2)「アロニックスM−101」は、
東亞合成化学工業(株)製のフェノール変性単官能アク
リレート(エチレン性不飽和単量体(D))の商品名で
ある。
(* 2) "Aronix M-101"
It is a trade name of phenol-modified monofunctional acrylate (ethylenically unsaturated monomer (D)) manufactured by Toagosei Chemical Industry Co., Ltd.

【0077】(*3)「ライトアクリレートHOA−H
H」は、共栄社油脂化学工業(株)製の2−アクリロイ
ルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸(部分エステル化
物(d1))の商品名である。
(* 3) "Light acrylate HOA-H"
"H" is a trade name of 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid (partially esterified product (d1)) manufactured by Kyoeisha Yushi Kagaku Kogyo Co., Ltd.

【0078】(*4)「イルガキュアー907」は、チ
バ・ガイギー(株)製の光重合開始剤の商品名である。
(* 4) "Irgacure 907" is a trade name of a photopolymerization initiator manufactured by Ciba Geigy Corporation.

【0079】(*5)「カヤキュアーDETX」は、日
本化薬(株)製の光重合開始剤の商品名である。
(* 5) "Kayacure DETX" is a trade name of a photopolymerization initiator manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.

【0080】(*6)「ビクトリアピュアブルーBO
H」は、保土ヶ谷化学工業(株)製の有機染料の商品名
である。
(* 6) "Victoria Pure Blue BO"
"H" is a trade name of an organic dye manufactured by Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd.

【0081】上記の実施例1乃至24に示す水性のフォ
トレジストインク及び比較例1及び2のフォトレジスト
インクについて、下記に示すような評価試験を行なっ
た。 〔評価試験〕 〈塗布工程〉 [1]予備乾燥皮膜の膜厚測定 全ての実施例及び比較例のフォトレジストインクを、基
材厚1.6mm、銅箔厚35μmのFR−4両面銅張積
層板(住友ベークライト(株)社製、商品名「ELC
4762」)に縦型ロールコーター((株)ファーネス
社製)を用いて両面に塗布し、熱風対流式乾燥機にて8
0℃の温度で、15分乾燥させた後、室温まで冷却し
た。このとき得られた予備乾燥皮膜の膜厚を測定した。 〈露光・現像工程〉 [2]予備乾燥皮膜の表面粘着性 [1]の操作に続いて、全ての実施例及び比較例につい
て、予備乾燥皮膜が形成された積層板に配線パターンを
描いたフォトツールアートワークを両面から直接貼付
し、超高圧水銀灯を有する両面同時露光機((株)オー
ク製作所製、商品名「オークHMW−201GX」)を
用いて積算光量200mJ/cm2になるように露光
し、露光後において、フォトツールアートワークを予備
乾燥皮膜上からの剥離させる際の予備乾燥皮膜上の張り
跡の有無を観察すると共に、フォトツールアートワーク
の予備乾燥皮膜上からの剥離容易性を評価し、予備乾燥
皮膜の粘着性が小さいために張り跡が無く、フォトツー
ルアートワークが容易に剥離できたものを「良好」とし
て評価した。 [3]現像性 [2]の操作に続いて、全ての実施例及び比較例につい
て、それぞれ下記(i)、(ii)の2条件を用いて現像
性の評価を行った。
The aqueous photoresist inks of Examples 1 to 24 and the photoresist inks of Comparative Examples 1 and 2 were subjected to the following evaluation tests. [Evaluation Test] <Coating Step> [1] Measurement of Preliminary Dry Film Thickness FR-4 double-sided copper-clad laminate of the photoresist inks of all Examples and Comparative Examples having a base material thickness of 1.6 mm and a copper foil thickness of 35 μm. Plate (manufactured by Sumitomo Bakelite Co., Ltd., trade name "ELC
4762 ”) using a vertical roll coater (manufactured by Furness Co., Ltd.), and applying a hot air convection drier to both sides.
After drying at 0 ° C. for 15 minutes, it was cooled to room temperature. The thickness of the preliminary dried film obtained at this time was measured. <Exposure / Development Step> [2] Surface Adhesion of Pre-Dried Film Following the operation of [1], for all Examples and Comparative Examples, a photo showing a wiring pattern drawn on the laminated board with the pre-dried film formed Tool artwork is directly attached from both sides and exposed using a double-sided simultaneous exposure machine (Oak HMW-201GX, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) having an ultra-high pressure mercury lamp so that the integrated light amount becomes 200 mJ / cm 2. After exposure, observe the presence or absence of traces on the pre-dried film when removing the photo tool artwork from the pre-dried film, and check the ease of peeling of the photo tool artwork from the pre-dried film. The pre-dried film was evaluated as “good” if the photo-tool artwork could be easily peeled off because of the small adhesiveness of the pre-dried film and no peeling marks. [3] Developability Following the operation of [2], the developability of all Examples and Comparative Examples was evaluated using the following two conditions (i) and (ii), respectively.

【0082】(i)30℃、1重量%炭酸ソーダ水溶液
を、スプレー圧1.5Kg/cm2で1分間吹きつけて
未露光部分を除去して現像した。
(I) A 1% by weight aqueous solution of sodium carbonate was sprayed at a spray pressure of 1.5 kg / cm 2 for 1 minute at 30 ° C. to remove unexposed portions and developed.

【0083】(ii)30℃の水をスプレー圧1.5kg
/cm2で3分間吹きつけて未露光部分を除去して現像
した。
(Ii) 30 ° C. water spray pressure 1.5 kg
/ Cm 2 for 3 minutes to remove unexposed portions and develop.

【0084】上記(i)及び(ii)について、現像性を
目視で観察し、硬化皮膜が形成された露光部分が残存す
ると共に未露光部分が除去され、現像残りの全く無いも
のを「◎」と判定した。また未露光部分と露光部の境目
のラインにわずかにギザが確認されたものを「○」とし
て評価した。また露光部分と未露光部分が共に除去不能
であったものを「×」として評価した。 [4]粘着テープ剥離試験による密着性の評価 得られたレジストの基材に対する密着性を確認するた
め、硬化皮膜の、JISD 0202−1988の4.
15に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ
剥離試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、
分子にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目の
数を表して評価した。 〈エッチング工程〉 [5]耐エッチング液性(酸性の水溶液に対する耐水
性) [3]の現像処理の後、40重量%塩化第2鉄溶液で4
5℃、240秒エッチングを行い、硬化皮膜の剥がれの
有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として評価
した。 [6]硬化皮膜の皮膜剥離性 [5]の操作に続いて、 (i)実施例1乃至6、13乃至18、並びに比較例1
及び2について、45℃、3%水酸化ナトリウム水溶液
を、スプレー圧2kg/cm2で吹きつけてレジストを
剥離除去した場合の硬化皮膜の剥離を観察した。
Regarding the above (i) and (ii), the developability was visually observed, and the unexposed portion where the exposed portion where the cured film was formed remained and the unexposed portion was removed, and the case where there was no undeveloped portion was evaluated as “◎”. It was determined. In addition, those in which a slight indentation was observed at the line between the unexposed portion and the exposed portion were evaluated as “と し て”. Further, a sample in which both the exposed part and the unexposed part could not be removed was evaluated as “x”. [4] Evaluation of Adhesiveness by Adhesive Tape Peeling Test In order to confirm the adhesiveness of the obtained resist to the substrate, the cured film was subjected to JISD 0202-1988.
Perform cellophane adhesive tape peeling test by cross cut according to No. 15, the number of grids formed on the effective surface in the denominator,
The molecule was evaluated in terms of the number of grids remaining without completely peeling it off. <Etching process> [5] Resistance to etching solution (water resistance to acidic aqueous solution)
Etching was performed at 5 ° C. for 240 seconds, the presence or absence of peeling of the cured film was observed, and those without peeling were evaluated as “good”. [6] Peelability of cured film Following the operation of [5], (i) Examples 1 to 6, 13 to 18, and Comparative Example 1
Regarding the samples Nos. 2 and 3, peeling of the cured film was observed when the resist was peeled off by spraying a 3% aqueous solution of sodium hydroxide at 45 ° C. at a spray pressure of 2 kg / cm 2 .

【0085】(ii)実施例7乃至12、19乃至24、
並びに比較例1及び2について、20℃、3%過ヨウ素
酸水溶液に2分間浸漬後、スプレー圧2kg/cm2
吹きつけてレジストを剥離除去した場合の硬化皮膜の剥
離を観察した。
(Ii) Embodiments 7 to 12, 19 to 24,
In addition, for Comparative Examples 1 and 2, after immersion in a 3% periodic acid aqueous solution at 20 ° C. for 2 minutes, the resist was peeled off by spraying at a spray pressure of 2 kg / cm 2 , and peeling of the cured film was observed.

【0086】上記(i)及び(ii)につき、硬化皮膜が
完全に剥離されるのに要する時間を測定した。また剥離
することができなかったものを「不可」として評価し
た。 [7]エッチング性の評価 [6]により硬化皮膜が剥離された積層板上に形成され
た導体パターンに、断線、欠線、線細り、ピンホール、
ラインキザ(導体の直線パターンの直線性不良)及びエ
ッチングのもぐり等がないものを「良好」として評価し
た。 〈めっき工程〉 [8]耐めっき液性 [3]の現像処理の後、 ・脱脂(メルテックス(株)製、商品名「PC−45
5」の薬剤の25重量%水溶液に30℃で5分間浸漬) ・水洗 ・ソフトエッチング(過硫酸アンモニウムタイプソフト
エッチング剤(三菱ガス化学(株)社製、商品名「NP
E−300」)20重量%水溶液に室温で2分浸漬) ・水洗 ・硫酸洗浄(10重量%硫酸に室温で1分間浸漬) の工程を経た後、ニッケルめっき浴(硫酸ニッケル 3
00g、塩化ニッケル40g、硼酸40g、水620
g)に入れ、ニッケルめっきを45℃,1.5A/dm
2で10分間行った。ニッケルめっき終了後直ちに水洗
し、続いて、金めっき浴(日本高純度化学(株)製、商
品名「オーロブライトHS−2」)を用いて、液温40
℃、1.0A/dm2で10分間金めっきを行った。
With respect to the above (i) and (ii), the time required for completely removing the cured film was measured. Those that could not be peeled were evaluated as "impossible". [7] Evaluation of etching property The conductor pattern formed on the laminated board from which the cured film was peeled off according to [6] showed breaks, missing wires, thin lines, pinholes, and the like.
Those which did not have line scratches (poor linearity of the linear pattern of the conductor) and etching were not rated. <Plating step> [8] Plating solution resistance After development treatment of [3],-Degreasing (trade name "PC-45" manufactured by Meltex Co., Ltd.)
5 immersed in a 25% by weight aqueous solution of the agent at 30 ° C. for 5 minutes) ・ Washing ・ Soft etching (ammonium persulfate type soft etching agent (Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd., trade name “NP
E-300 ") immersed in a 20% by weight aqueous solution at room temperature for 2 minutes)-Washed with water-Sulfuric acid washed (immersed in 10% by weight sulfuric acid at room temperature for 1 minute), and then subjected to a nickel plating bath (nickel sulfate 3)
00 g, nickel chloride 40 g, boric acid 40 g, water 620
g), nickel plating at 45 ° C, 1.5 A / dm
2 for 10 minutes. Immediately after the completion of the nickel plating, the plate was washed with water, and subsequently, a gold plating bath (trade name “Aurobright HS-2” manufactured by Nippon Kojundo Chemical Co., Ltd.) was used to obtain a liquid temperature of 40.
Gold plating was performed at 1.0 A / dm 2 for 10 minutes.

【0087】以上の工程の間における、硬化皮膜の剥が
れの有無を観察し、剥がれの無いものを「良好」として
評価した。 [9]めっき終了後の硬化皮膜の粘着テープ剥離試験 [8]の操作の後、水洗、乾燥を行い、乾燥後の硬化皮
膜について、JISD 0202−1988の4.15
に準拠したクロスカットによるセロハン粘着テープ剥離
試験を行い、分母に有効面に形成した碁盤目の数、分子
にそれに対する完全に剥がれないで残った碁盤目を表し
て評価した。 [10]めっき性評価 続いて、実施例1乃至30、比較例1及び2について、
45℃の3%水酸化ナトリウム水溶液を、スプレー圧2
kg/cm2で吹きつけてレジストを剥離除去した後、
拡大鏡で目視観察し、めっき性が良好で、めっきもぐり
の無いものを「良好」として評価した。 [11]アルカリエッチング後の金の導体パターンの評
価 続いて、アルカリエッチングを行い、銅を剥離した後の
ラインキザ(金の直線パターンの直線性不良)を光学顕
微鏡にて確認し、凹部と凸部の幅の差を測定した。
During the above steps, the presence or absence of peeling of the cured film was observed, and those without peeling were evaluated as “good”. [9] Peeling test of the adhesive tape of the cured film after plating is completed. After the operation of [8], washing and drying are performed, and the cured film after drying is described in 4.15 of JISD0202-1988.
A cellophane pressure-sensitive adhesive tape peeling test was carried out by cross-cutting in accordance with the standards described above, and the number of grids formed on the effective surface of the denominator and the number of grids remaining without completely peeling off the molecule were evaluated. [10] Evaluation of Plating Property Subsequently, for Examples 1 to 30 and Comparative Examples 1 and 2,
A 3% aqueous solution of sodium hydroxide at 45 ° C. was sprayed at a spray pressure of 2
After removing the resist by spraying with kg / cm 2 ,
It was visually observed with a magnifying glass, and those having good plating properties and no plating were evaluated as “good”. [11] Evaluation of Gold Conductor Pattern After Alkali Etching Subsequently, line etching (poor linearity of the linear pattern of gold) after copper was peeled off by alkali etching was confirmed with an optical microscope. Was measured.

【0088】以上の結果を表3乃至5に示す。The above results are shown in Tables 3 to 5.

【0089】[0089]

【表3】 [Table 3]

【0090】[0090]

【表4】 [Table 4]

【0091】[0091]

【表5】 表1乃至5から明らかなように、水性化可能ではない比
較例1、2のものでは、希アルカリ水溶液では現像でき
たものの、水では現像できなかったのに対し、水性化可
能な実施例の全てのものでは、水と希アルカリ水溶液の
双方によって現像可能することができた。また実施例の
すべてのものにおいて、希アルカリ水溶液での現像性が
比較例1、2のものよりも向上した。また特にバインダ
ーポリマー(B)として、数平均分子量が20000〜
300000のものを用いた実施例1〜5、7〜11、
13〜17、19〜23では、現像性が特に向上した。
[Table 5] As is clear from Tables 1 to 5, in Comparative Examples 1 and 2, which were not water-soluble, development was possible with a dilute aqueous alkaline solution, but not with water. All could be developed with both water and dilute aqueous alkaline solution. In all of the examples, the developability in a dilute aqueous alkaline solution was improved as compared with those of Comparative Examples 1 and 2. Particularly, as the binder polymer (B), the number average molecular weight is 20,000 to 2,000.
Examples 1 to 5, 7 to 11 using 300,000,
In 13 to 17 and 19 to 23, the developability was particularly improved.

【0092】また比較例1、2では硬化皮膜が過ヨウ素
酸ナトリウム溶液により剥離することができなかったの
に対して、実施例のものでは、アルカリ溶液で剥離する
ことができると共に、過ヨウ素酸ナトリウム溶液でも剥
離することができることが確認できた。
In Comparative Examples 1 and 2, the cured film could not be peeled off by the sodium periodate solution, whereas in the Examples, the cured film could be peeled off by the alkali solution and the periodic acid solution was removed. It was confirmed that peeling was possible even with a sodium solution.

【0093】また実施例すべてのものは、予備乾燥皮膜
の粘着性が小さく、また硬化皮膜の基材への密着性が高
いものであった。また耐エッチング液性が高く、また硬
化皮膜をアルカリ溶液により剥離することができ、更に
エッチングレジストとして用いた場合、硬化皮膜が剥離
された積層板上に形成された胴体パターンに断線、欠
線、線細り、ピンホール、ラインギザ及びエッチングも
ぐりがなく、エッチング性が良好であった。まためっき
レジストとして用いた場合、めっきもぐりがなく、めっ
き性が良好であり、アルカリエッチング後の金回路パタ
ーンのラインギザがちいさいことが確認された。これら
の評価結果は、水性化可能ではない比較例1、2のもの
と同等以上のものであった。
In all of the examples, the tackiness of the pre-dried film was small, and the adhesion of the cured film to the substrate was high. In addition, the etchant resistance is high, the cured film can be peeled off with an alkaline solution, and when used as an etching resist, the fuselage pattern formed on the laminated board from which the cured film has been peeled has broken lines, broken lines, There was no line thinning, no pinhole, no line crease and no etching, and the etching property was good. In addition, when used as a plating resist, it was confirmed that there was no plating, the plating property was good, and the line crease of the gold circuit pattern after alkali etching was small. These evaluation results were equal to or higher than those of Comparative Examples 1 and 2, which were not water-soluble.

【0094】従って実施例の全てのものは、現像法を用
いたエッチングレジストインク、めっきレジストイン
ク、ソルダーレジストインク、マーキングインク等とし
て好適なものであることが確認された。
Therefore, it was confirmed that all of the examples were suitable as etching resist inks, plating resist inks, solder resist inks, marking inks and the like using the developing method.

【0095】[0095]

【発明の効果】上記のように本発明の請求項1に記載の
感光性樹脂組成物は、(A)ポリビニルアルコール系重
合体にN−アルキロール(メタ)アクリルアミドを付加
してなる水溶性の感光性樹脂、(B)カルボキシル基を
有し、希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバイ
ンダーポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽
和基を有さないもの、(C)光重合開始剤、(D)光重
合可能なエチレン性不飽和単量体、及び(E)水を含ん
で成り水又は希アルカリ水溶液で現像可能であるため、
感光性樹脂(A)を用いて他の成分を水もしくは水と水
性有機溶媒等との混合溶媒中に溶解、乳化又は分散させ
ることができると共に、バインダーポリマー(B)は、
分子中の充分なカルボキシル基により希アルカリ水溶液
中で膨潤、分散又は溶解し得るものであって、本発明の
感光性樹脂組成物によって形成される皮膜は、露光前は
水や希アルカリ水溶液で膨潤、分散又は溶解し得るもの
であり、したがって、この感光性樹脂組成物は、形成さ
れた皮膜の選択的露光を行なった後、水又は希アルカリ
水溶液による現像を行って、感光性樹脂組成物の非露光
部分を洗い流すと共に、露光部分を残すことにより、画
像形成を可能とすることができるものである。またこの
現像時に有機溶剤を使用する必要がなく、更に感光性樹
脂組成物を基材へ塗布した後予備乾燥皮膜を形成する過
程において、感光性樹脂組成物からの有機溶剤の揮発を
抑制することができ、有機溶剤に起因する労働安全性、
環境汚染、火災等の問題を低減することができるもので
ある。
As described above, the photosensitive resin composition according to the first aspect of the present invention comprises a water-soluble resin (A) obtained by adding N-alkylol (meth) acrylamide to a polyvinyl alcohol-based polymer. Photosensitive resin, (B) a binder polymer having a carboxyl group and swelling, dispersing or dissolving in a dilute aqueous alkali solution and having no photoreactive ethylenically unsaturated group, (C) photopolymerization initiation Agent, (D) a photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer, and (E) water, which can be developed with water or a dilute alkaline aqueous solution.
Using the photosensitive resin (A), other components can be dissolved, emulsified or dispersed in water or a mixed solvent of water and an aqueous organic solvent, and the binder polymer (B)
Sufficient carboxyl groups in the molecule can swell, disperse or dissolve in a dilute aqueous alkaline solution, and the film formed by the photosensitive resin composition of the present invention swells with water or a dilute aqueous alkaline solution before exposure. , Can be dispersed or dissolved, therefore, the photosensitive resin composition, after performing selective exposure of the formed film, by performing development with water or a dilute alkaline aqueous solution, the photosensitive resin composition By washing away the non-exposed portions and leaving the exposed portions, image formation can be performed. In addition, there is no need to use an organic solvent during the development, and in the process of forming a pre-dried film after applying the photosensitive resin composition to the substrate, it is possible to suppress volatilization of the organic solvent from the photosensitive resin composition. Work safety due to organic solvents,
Problems such as environmental pollution and fire can be reduced.

【0096】またこの感光性樹脂組成物の光重合反応に
より生成する硬化皮膜は皮膜硬度が高く、基材に対する
密着性を良好なものとすることができる。
The cured film formed by the photopolymerization reaction of the photosensitive resin composition has a high film hardness and can have good adhesion to the substrate.

【0097】また、本発明の感光性樹脂組成物を露光に
より光反応を起こさせて形成した硬化物は、アルカリ金
属水酸化物等の水溶液又は過ヨウ素酸ソーダ等のポリビ
ニルアルコール系感光剤用の剥離剤の何れかで剥離する
ことができるものである。
A cured product formed by causing a photoreaction by exposing the photosensitive resin composition of the present invention to light is used for an aqueous solution of an alkali metal hydroxide or the like or a polyvinyl alcohol-based photosensitive agent such as sodium periodate. It can be peeled off by any of release agents.

【0098】また本発明の感光性樹脂組成物をプリント
配線板製造用フォトレジストインクとして用いる場合に
おいて、プリント配線板製造用基板に塗工された本発明
の感光性樹脂組成物を露光硬化させる際に、バインダー
ポリマー(B)の様な高分子量の成分が僅かの露光によ
って光反応を生じて急激に分子量が増大することを防
ぎ、選択的露光時における、露光部と未露光部分の境界
面での僅かな光の漏れで硬化することを防いで、露光部
と未露光部分の境界面における希アルカリ溶液に対する
溶解性、膨潤性等を向上することができ、アートワーク
に忠実な、シャープなパターンを形成することができ
て、解像性を向上することができるものである。
In the case where the photosensitive resin composition of the present invention is used as a photoresist ink for manufacturing a printed wiring board, when the photosensitive resin composition of the present invention applied to a substrate for manufacturing a printed wiring board is cured by exposure. Further, it is possible to prevent a high molecular weight component such as the binder polymer (B) from causing a photoreaction due to a slight exposure to rapidly increase the molecular weight. Can prevent hardening due to slight light leakage and improve the solubility and swelling of dilute alkali solution at the boundary between exposed and unexposed areas. Can be formed, and the resolution can be improved.

【0099】また光重合可能なエチレン性不飽和単量体
(D)により本発明の感光性樹脂組成物の光反応性を高
めることができるものである。
Further, the photoreactivity of the photosensitive resin composition of the present invention can be enhanced by the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D).

【0100】また本発明の請求項2に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1の構成に加えて、上記の光重合可能
なエチレン性不飽和単量体(D)として、(d)分子中
に少なくとも1個のカルボキシル基及び少なくとも1個
の光反応性のエチレン性不飽和基を有する化合物を含む
ものを用いるため、このように分子中にカルボキシル基
を有する化合物(d)の、本発明の感光性樹脂組成物中
における配合割合を適宜調節することにより、本発明の
感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対する溶解性を
容易に調整することができるものである。
The photosensitive resin composition according to claim 2 of the present invention further comprises, in addition to the constitution of claim 1, the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) as (d) Since a compound containing at least one carboxyl group and at least one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule is used, the compound (d) having a carboxyl group in the molecule as described above By appropriately adjusting the mixing ratio in the photosensitive resin composition of the present invention, the solubility of the photosensitive resin composition of the present invention in a dilute alkaline aqueous solution can be easily adjusted.

【0101】また本発明の請求項3に記載の感光性樹脂
組成物は、請求項1又は2の構成に加えて、上記の光重
合可能なエチレン性不飽和単量体(D)として、(d)
分子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエ
チレン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との
部分エステル化物を含むものを用いるため、分子中にカ
ルボキシル基を有する化合物(d)の、本発明の感光性
樹脂組成物中における配合割合を適宜調節することによ
り、本発明の感光性樹脂組成物の希アルカリ水溶液に対
する溶解性を容易に調製することができるものである。
The photosensitive resin composition according to claim 3 of the present invention may further comprise, in addition to the constitution of claim 1 or 2, as the photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D): d)
Since a compound containing a partial esterified product of a compound having one hydroxyl group and one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule and a polyvalent carboxylic acid is used, a compound having a carboxyl group in the molecule ( By appropriately adjusting the mixing ratio of d) in the photosensitive resin composition of the present invention, the solubility of the photosensitive resin composition of the present invention in a dilute alkaline aqueous solution can be easily adjusted.

【0102】また本発明の請求項4に記載のプリント配
線板製造用フォトレジストインクは、請求項1乃至3の
いずれかに記載の感光性樹脂組成物からなるため、エッ
チングレジストインク、ソルダーレジストインク、マー
キングインク等として好適なものである。
The photoresist ink for manufacturing a printed wiring board according to the fourth aspect of the present invention comprises the photosensitive resin composition according to any one of the first to third aspects. It is suitable as a marking ink or the like.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AA00 AB15 AC01 AC08 AD01 BC31 BC85 BC86 CA00 CB07 CB43 CB52 CB53 CC03 FA15 4J027 AA05 AB10 AB28 AC02 AC03 AC04 AC06 AE02 AJ08 BA02 BA03 BA07 BA08 BA09 BA12 BA13 BA14 BA19 BA20 BA23 BA24 BA26 BA27 CA02 CA03 CB10 CC05 CC07 CD10 5E339 BE13 CC01 CC02 CD01 CE19 CF16 CF17 CG04 DD02  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page F-term (reference) 2H025 AA00 AB15 AC01 AC08 AD01 BC31 BC85 BC86 CA00 CB07 CB43 CB52 CB53 CC03 FA15 4J027 AA05 AB10 AB28 AC02 AC03 AC04 AC06 AE02 AJ08 BA02 BA03 BA07 BA08 BA09 BA12 BA23 BA26 BA27 CA02 CA03 CB10 CC05 CC07 CD10 5E339 BE13 CC01 CC02 CD01 CE19 CF16 CF17 CG04 DD02

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (A)ポリビニルアルコール系重合体に
N−アルキロール(メタ)アクリルアミドを付加してな
る水溶性の感光性樹脂、(B)カルボキシル基を有し、
希アルカリ水溶液に膨潤、分散又は溶解するバインダー
ポリマーであって、光反応可能なエチレン性不飽和基を
有さないもの、(C)光重合開始剤、(D)光重合可能
なエチレン性不飽和単量体、及び(E)水を含んで成る
水又は希アルカリ水溶液で現像可能であることを特徴と
する感光性樹脂組成物。
1. A (A) water-soluble photosensitive resin obtained by adding N-alkylol (meth) acrylamide to a polyvinyl alcohol-based polymer, (B) a carboxyl group,
A binder polymer which swells, disperses or dissolves in a dilute aqueous alkali solution and does not have a photoreactive ethylenically unsaturated group, (C) a photopolymerization initiator, (D) a photopolymerizable ethylenically unsaturated A photosensitive resin composition which is developable with water or a dilute aqueous alkaline solution comprising a monomer and (E) water.
【請求項2】 上記の光重合可能なエチレン性不飽和単
量体(D)として、(d)分子中に少なくとも1個のカ
ルボキシル基及び少なくとも1個の光反応性のエチレン
性不飽和基を有する化合物を含むものを用いて成ること
を特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
2. The photopolymerizable ethylenically unsaturated monomer (D) comprises (d) at least one carboxyl group and at least one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition comprises a compound having a compound having the same.
【請求項3】 上記の化合物(d)として、(d1)分
子中に1個のヒドロキシル基及び1個の光反応性のエチ
レン性不飽和基を有する化合物と多価カルボン酸との部
分エステル化物を含むものを用いて成ることを特徴とす
る請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
3. A partially esterified product of the compound (d), wherein (d1) a compound having one hydroxyl group and one photoreactive ethylenically unsaturated group in the molecule, and a polycarboxylic acid. 3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the photosensitive resin composition comprises:
【請求項4】 請求項1乃至3の何れかに記載の感光性
樹脂組成物から成ることを特徴とするプリント配線板製
造用フォトレジストインク。
4. A photoresist ink for producing a printed wiring board, comprising the photosensitive resin composition according to claim 1.
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Cited By (7)

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