JP2000121526A - 液槽式熱衝撃試験装置 - Google Patents

液槽式熱衝撃試験装置

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JP2000121526A
JP2000121526A JP10293317A JP29331798A JP2000121526A JP 2000121526 A JP2000121526 A JP 2000121526A JP 10293317 A JP10293317 A JP 10293317A JP 29331798 A JP29331798 A JP 29331798A JP 2000121526 A JP2000121526 A JP 2000121526A
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Japan
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temperature
liquid
liquid tank
heat medium
low
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Pending
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JP10293317A
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English (en)
Inventor
Shintaro Masuda
慎太郎 増田
Yasuo Kawamoto
康雄 河本
Hidehiro Sonoda
英博 園田
Hiroyuki Ozeki
弘行 尾関
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】高温液槽および低温液槽の熱媒液が不足したま
ま運転を継続した場合の不十分な試験と、各液槽が過熱
/過冷却となることを防止した液槽式熱衝撃試験装置を
提供する必要がある。 【解決手段】熱媒液を入れた高温液槽と低温液槽を並置
し、被試験品を交互に浸漬する液槽式熱衝撃試験装置に
おいて、熱媒液の不足を検出する方法として各液槽内に
設置した温度検出器にて測定した温度の時間的変化量に
て判定することとした。そして本判定は装置の運転開始
時と運転中のそれぞれの特性にあった方法とした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品などの熱
衝撃試験を行う液槽式熱衝撃試験装置にかかり、特に、
高温および低温液槽の熱媒液の量を管理するのに好適な
液槽式熱衝撃試験装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】半導体部品,装置などの温度ストレスに
対する耐熱性,物理的電気的特性の変化を短時間で評価
するため、液槽式熱衝撃試験装置が用いられ、たとえ
ば、高温液槽側で70℃から150℃の熱媒液と低温液
槽側で0℃から−65℃の熱媒液に交互に繰り返し(た
とえば、各液槽に1000回以上)浸漬することが行わ
れている。
【0003】液槽式熱衝撃試験装置に使用される熱媒液
は、被試験品に熱衝撃以外のストレスを加えないよう
に、フッ素系不活性液体が使用されている。
【0004】このような試験を行う液槽式熱衝撃試験装
置として、たとえば特開平6−3241号公報に開示された
ものが提案されている。
【0005】この液槽式熱衝撃試験装置においては、熱
媒液は試験の進行と共に、一部が蒸発し、あるいは被試
験品に付着して各液槽から持ち出されるために消費され
各液槽の熱媒液の液面が低下する。このため熱媒液の液
面は常時液面高さ検出器(たとえばフロートスイッチ
等)で検出し、熱媒液を適宜補充して熱媒液の不足によ
る試験の中断をなくし、かつ液槽の過熱/過冷却を防止
して装置の信頼性を向上させている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、熱媒液の液面
高さ検出器が破損あるいは誤動作した場合、および熱媒
液の補充が正常に行われないなどの不具合が発生した場
合は、そのまま装置の運転を継続すると、不十分な試験
を行うこと、および各液槽の過熱/過冷却となってしま
う。
【0007】上記の状態に対し、本発明の目的は、各液
槽の熱媒液の液面高さの管理として液面高さ検出器の補
助手段を付加した液槽式熱衝撃試験装置を提供すること
にある。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明は高温液槽および低温液槽内に設置した温度
検出器にて測定した温度の時間的変化量にて、各液槽内
の熱媒液の不足を検出する制御方法を提供するものであ
る。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施内容を図面に
基づいて説明する。
【0010】図1は、液槽式熱衝撃試験装置の正面断面
図である。図において1は筐体で、気密保持できるよう
に形成されている。2は扉で筐体1に開閉可能に支持さ
れて被試験品の出し入れを行う。被試験品を収納する試
料かご3はシリンダ4,6、支持板5で構成される移動
装置で高温液槽7と低温液槽13の間を交互に移動して
熱衝撃試験が行われる。ロッドレス型のシリンダ4は筐
体1に支持されている。支持板5はシリンダ4の可動部
材に固定されている。シリンダ6は支持板5に支持され
ている。
【0011】熱媒液8は高温液槽7に収容されている。
9は加熱器で高温液槽7の外周に固定され熱媒液8を加
熱する。攪拌機10は高温液槽7に支持され、熱媒液8
を攪拌して高温液槽7内の熱媒液8の温度を均一にして
いる。温度検出器11は高温液槽7に支持され高温液槽
7内の熱媒液8の温度を検出する。液面高さ検出器12
は高温液槽7に支持され熱媒液8の液面高さを検出す
る。
【0012】低温液槽13も高温液槽7と同様に、熱媒
液14を収容し、攪拌機16,温度検出器17,液面高
さ検出器18を具備している。15は冷却管で低温液槽
13内に配置し、筐体1の外に配置された図示しない冷
凍装置に接続され、低温冷媒を通過させ熱媒液14を冷
却する。
【0013】図2は高温液槽の詳細を示す図である。液
面高さ検出器12が正常に動作して熱媒液が補充されて
いれば、液槽内の熱媒液8の液面は図中の19の位置で
ある。しかし、熱媒液の液面高さ検出器12が破損ある
いは誤動作した場合、および熱媒液の補充が正常に行わ
れないなどの不具合が発生した場合、熱媒液8の液面高
さは20の位置となり、温度検出器11は熱媒液8の温
度の検出ができなくなり、また、試料かご3が熱媒液8
に十分浸漬されず、そのまま装置の運転を継続すると、
不十分な試験を行うこと、および液槽の過熱/過冷却と
なってしまう。
【0014】本発明は温度検出器11の温度変化を監視
し、前記の不具合の発生を防止する制御方式を提供する
ものであり、その制御方法を以下に述べる。
【0015】図3は運転開始時の高温液槽7内の検出温
度の変化を示す特性図である。図中の一点鎖線は液槽内
に正常に熱媒液8が収容された場合を示し、運転開始と
共に熱媒液8は加熱器9で加熱されて設定運転温度に向
かって上昇していく場合を示す。しかしながら、図2に
示すように熱媒液8が不足した状態では温度検出器11
は気中にあり、高温液槽7の内面からの放射熱のみで、
加熱されるため検出温度の上昇は少なくなる。この状態
を図3中の実線で示す。したがって、運転開始後の検出
温度の一定時間内(△m)の上昇温度差(TB−TA)を
測定して、熱媒液8の不足が判定できることになる。こ
こでTA は運転開始時A点での測定温度、TB はその後
一定時間△m経過後B点での測定温度である。
【0016】図4はこの運転開始時の熱媒液8の不足を
判定する制御フローチャートを示す。運転開始で本制御
を実行し、(1)で運転開始時の検出温度T0 を測定す
る。(2)で一定時間(△m、たとえば5分)の時間待
ち後、(3)で加熱器9の出力を判断し、(4)では検
出温度TB を測定する。その後、(5)で前記の温度変
化(TB−TA )が基準値(△U)より小さい場合は、
熱媒液が不足と判断し(6)、装置の運転を停止する
(7)ものである。
【0017】次に装置が運転中の熱媒液不足を検出する
制御方法について述べる。図5は運転中の高温液槽7内
の検出温度の変化を示す特性図である。高温液槽7内の
熱媒液8の量が正常であれば、検出温度は設定運転温度
を保持しているが、熱媒液8が不足して温度検出器11
が気中に存在するようになると、その検出温度は図5に
示すように低下する。従って、この温度の低下量が基準
値を超えたことで、熱媒液の不足と判断できることにな
る。
【0018】図6はこの運転中の熱媒液8の不足を判定
する制御フローチャートを示す。本制御は運転開始し
て、熱媒液8の温度が設定運転温度に到達後装置が停止
するまで実行する。
【0019】(イ)で検出温度TC を測定する。(ロ)
で一定時間(△n、たとえば10分)の時間待ち後、
(ハ)で加熱器9の出力を判断し、(ニ)で検出温度T
D を測定する。その後、(ホ)で前記の温度変化(TC
−TD)が基準値(△D)より大きい場合は熱媒液不足
と判断し(へ)、装置の運転を停止する(ト)ものであ
る。(ホ)で温度変化(TC−TD)が基準値(△D)よ
り小さい場合は(イ)へ戻り、装置が運転を停止するま
で本制御を実行するものである。
【0020】低温液槽13内の熱媒液14の不足につい
ても温度検出器17により同様の考えで実行できる。た
だし、低温液槽13の場合は温度の変化の方向が高温液
槽7と逆の方向となる。
【0021】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、熱媒
液を入れた高温液槽と低温液槽とを並置し、被試験品を
高温液槽と低温液槽に交互に浸漬するようにした液槽式
熱衝撃試験装置において、各液槽の温度変化を装置の運
転開始時、および運転中の両方で監視して熱媒液の不足
を検出することにより、不十分な熱衝撃試験の防止およ
び液槽の過熱/過冷却を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明における液槽式熱衝撃試験装置の正面断
面図。
【図2】高温液槽の熱媒液が不足し、液面高さが低下し
た状態を示す側断面図。
【図3】運転開始時の高温液槽の検出温度の変化を示す
特性図。
【図4】運転開始時の熱媒液の不足を判定するフローチ
ャート。
【図5】設定温度で運転中の高温液槽の検出温度の変化
を示す特性図。
【図6】運転中の熱媒液の不足を判定するフローチャー
ト。
【符号の説明】
1…筐体、2…扉、3…試料かご、4,6…シリンダ、
5…支持板、7…高温液槽、8,14…熱媒液、9…加
熱器、10,16…攪拌機、11,17…温度検出器、
12…液面高さ検出器(フロートスイッチ)、13…低
温液槽、15…冷却管、18…液面高さ検出器、19…
熱媒液が適正時の液面高さ、20…熱媒液が不足時の液
面高さ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河本 康雄 静岡県清水市村松390番地 株式会社日立 製作所空調システム事業部内 (72)発明者 園田 英博 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内 (72)発明者 尾関 弘行 静岡県清水市村松390番地 日立清水エン ジニアリング株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】熱媒液を入れた高温液槽と低温液槽を並置
    し、被試験品を高温液槽と低温液槽に交互に浸漬する液
    槽式熱衝撃試験装置において、前記高温液槽と低温液槽
    内に入れられたそれぞれの温度検出器により測定した温
    度の変化状態を判定して、前記熱媒液の不足を検出する
    ことを特徴とする液槽式熱衝撃試験装置。
JP10293317A 1998-10-15 1998-10-15 液槽式熱衝撃試験装置 Pending JP2000121526A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104330321A (zh) * 2014-11-14 2015-02-04 成都市幻多奇软件有限公司 用于计算机的多温度冷热冲击测试器
CN104198148B (zh) * 2014-09-16 2016-09-14 上海化工研究院 带有换热节能补偿的双控双隔离高低温冲击试验系统
KR20210156096A (ko) * 2020-06-17 2021-12-24 (재)대구기계부품연구원 용손 및 열피로 통합 시험장치

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