JP2000121484A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
ヘリウムリークディテクタInfo
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- JP2000121484A JP2000121484A JP10292614A JP29261498A JP2000121484A JP 2000121484 A JP2000121484 A JP 2000121484A JP 10292614 A JP10292614 A JP 10292614A JP 29261498 A JP29261498 A JP 29261498A JP 2000121484 A JP2000121484 A JP 2000121484A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ヘリウムイオンと３価の窒素イオンとを明確に
分離して、リーク量測定に係る分解能を高める。 【解決手段】イオンソース２から射出されるイオンを磁
場偏向させ、ヘリウムイオンＨｅ+に固有の軌道の終端
に配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+を
優先的に入射させるように構成するに際して、磁場偏向
の終端付近に隔壁９を配置し、この隔壁９の近傍に各イ
オンの軌道が収束するように設定するとともに、その隔
壁９のうちヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット
９ａを形成したため、ｍ／ｅの値が近似し軌道半径の接
近したヘリウムイオンＨｅ+と３価の窒素イオンＮ3+と
を明確に分離することができる。
分離して、リーク量測定に係る分解能を高める。 【解決手段】イオンソース２から射出されるイオンを磁
場偏向させ、ヘリウムイオンＨｅ+に固有の軌道の終端
に配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+を
優先的に入射させるように構成するに際して、磁場偏向
の終端付近に隔壁９を配置し、この隔壁９の近傍に各イ
オンの軌道が収束するように設定するとともに、その隔
壁９のうちヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット
９ａを形成したため、ｍ／ｅの値が近似し軌道半径の接
近したヘリウムイオンＨｅ+と３価の窒素イオンＮ3+と
を明確に分離することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、密閉検査や封止検
査などを行う際に好適に利用されるヘリウムリークディ
テクタに関するものである。
査などを行う際に好適に利用されるヘリウムリークディ
テクタに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ヘリウムを用いたリークディテクタは、
図３に示すように、分析管ケース５にマグネット６を外
付けしたものであり、分析管ケース５内は、図４および
図５に示すようにイオンソース２とイオンコレクタ４か
ら主として構成されている。イオンソース２は、フィラ
メント１０で生成した熱電子ｅ-をｚ軸に沿ってイオン
チェンバ１に導入し、その熱電子ｅ-をイオンチェンバ
１内に存在するＨｅガスと衝突させてヘリウムイオンＨ
ｅ+を生成するとともに、そのヘリウムイオンＨｅ+を電
極３が生起する電界の作用によってｘ軸に平行に引き出
すようにしたものである。一方、イオンコレクタ４は、
電極３からｙ軸方向へ偏位した部位に設けられ、スリッ
ト４ａを介してヘリウムイオンＨｅ+が入射した際にそ
の量に比例した電気信号を出力することができるもので
ある。すなわち、イオンソース２から磁場空間側に導出
されたヘリウムイオンＨｅ+は、磁場の作用により、フ
レミングの法則に従って磁場偏向を受け、円弧を描いて
イオンコレクタ４に入射するが、その際の円弧の半径は
ヘリウムイオンＨｅ+に固有のものであり、他のイオン
のそれとは異なったものになる。そのため、所定位置に
配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+のみ
を入射させることで、ヘリウムのみを選択してそのリー
ク量を測定することが可能となる。
図３に示すように、分析管ケース５にマグネット６を外
付けしたものであり、分析管ケース５内は、図４および
図５に示すようにイオンソース２とイオンコレクタ４か
ら主として構成されている。イオンソース２は、フィラ
メント１０で生成した熱電子ｅ-をｚ軸に沿ってイオン
チェンバ１に導入し、その熱電子ｅ-をイオンチェンバ
１内に存在するＨｅガスと衝突させてヘリウムイオンＨ
ｅ+を生成するとともに、そのヘリウムイオンＨｅ+を電
極３が生起する電界の作用によってｘ軸に平行に引き出
すようにしたものである。一方、イオンコレクタ４は、
電極３からｙ軸方向へ偏位した部位に設けられ、スリッ
ト４ａを介してヘリウムイオンＨｅ+が入射した際にそ
の量に比例した電気信号を出力することができるもので
ある。すなわち、イオンソース２から磁場空間側に導出
されたヘリウムイオンＨｅ+は、磁場の作用により、フ
レミングの法則に従って磁場偏向を受け、円弧を描いて
イオンコレクタ４に入射するが、その際の円弧の半径は
ヘリウムイオンＨｅ+に固有のものであり、他のイオン
のそれとは異なったものになる。そのため、所定位置に
配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+のみ
を入射させることで、ヘリウムのみを選択してそのリー
ク量を測定することが可能となる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来のヘリ
ウムリークディテクタでは、１０-12Ｐａ・ｍ3／ｓ以下
の検出感度を得ることが難しいという問題がある。その
原因として、ヘリウムイオンＨ+と特に３価の窒素イオ
ンＮ3+との分離が難しい点、イオン電流に所要のゲイン
が得られない点が挙げられる。先ず、前者について説明
すると、イオンソース２側のスリット８から射出された
イオンは、磁場偏向の作用で円弧を描いてイオンコレク
タ４に向かうが、イオンソース２側ではイオン生成ポイ
ントに応じて射出軸が異なったものになっている。その
ため、従来では射出条件の不揃いを校正すべく、中間隔
壁７を設けて一旦軌道をこの隔壁７付近に収束させ、そ
の中間隔壁７に設けたスリット７ａでヘリウムイオンＨ
ｅ+と軌道半径の異なる他のイオン、例えば水素イオン
等とを分離するようにしている。ところが、このように
軌道を収束させても、ｍ／ｅの値が４であるＨｅ+に対
して空気中に存在しｍ／ｅの値が４．６６であるＮ3+は
極めて近似した軌道を通るため、前記中間隔壁７のスリ
ット７ａを通過し得る。そして、結局このＮ3+のその後
の軌道に射出軸のずれの影響が現れ、本来ならＨｅ+の
みを通過させるように設定されたイオンコレクタ４のス
リット４ａにＮ3+も通過して、イオンコレクタ４がこれ
をＨｅ+と誤って認識し、バックグランド値の上昇によ
る検出感度の低下を招いている実状がある。
ウムリークディテクタでは、１０-12Ｐａ・ｍ3／ｓ以下
の検出感度を得ることが難しいという問題がある。その
原因として、ヘリウムイオンＨ+と特に３価の窒素イオ
ンＮ3+との分離が難しい点、イオン電流に所要のゲイン
が得られない点が挙げられる。先ず、前者について説明
すると、イオンソース２側のスリット８から射出された
イオンは、磁場偏向の作用で円弧を描いてイオンコレク
タ４に向かうが、イオンソース２側ではイオン生成ポイ
ントに応じて射出軸が異なったものになっている。その
ため、従来では射出条件の不揃いを校正すべく、中間隔
壁７を設けて一旦軌道をこの隔壁７付近に収束させ、そ
の中間隔壁７に設けたスリット７ａでヘリウムイオンＨ
ｅ+と軌道半径の異なる他のイオン、例えば水素イオン
等とを分離するようにしている。ところが、このように
軌道を収束させても、ｍ／ｅの値が４であるＨｅ+に対
して空気中に存在しｍ／ｅの値が４．６６であるＮ3+は
極めて近似した軌道を通るため、前記中間隔壁７のスリ
ット７ａを通過し得る。そして、結局このＮ3+のその後
の軌道に射出軸のずれの影響が現れ、本来ならＨｅ+の
みを通過させるように設定されたイオンコレクタ４のス
リット４ａにＮ3+も通過して、イオンコレクタ４がこれ
をＨｅ+と誤って認識し、バックグランド値の上昇によ
る検出感度の低下を招いている実状がある。
【０００４】また、後者について説明すると、イオンコ
レクタ４に入射したイオンは、従来はファラデーカップ
を用いて２次電子を散乱させないようにしており、感度
向上のためにファラデーカップの入口にイオンを収束さ
せるようにしている。しかるに、これのみでは感度向上
に多くを期待できず、また他のイオンが混入することに
よるバックグランド値の上昇も感度低下の要因となって
いる。
レクタ４に入射したイオンは、従来はファラデーカップ
を用いて２次電子を散乱させないようにしており、感度
向上のためにファラデーカップの入口にイオンを収束さ
せるようにしている。しかるに、これのみでは感度向上
に多くを期待できず、また他のイオンが混入することに
よるバックグランド値の上昇も感度低下の要因となって
いる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、先ず第１の構成として、イオンソー
スから射出されるイオンを磁場偏向させ、ヘリウムイオ
ンに固有の軌道の終端に配置したイオンコレクタにヘリ
ウムイオンを優先的に入射させるようにしたものにおい
て、磁場偏向の終端付近に隔壁を配置し、この隔壁の近
傍に各イオンの軌道が収束するように設定するととも
に、その隔壁のうちヘリウムイオン収束部の対応位置に
スリットを形成してなることを特徴とする。
ために、本発明は、先ず第１の構成として、イオンソー
スから射出されるイオンを磁場偏向させ、ヘリウムイオ
ンに固有の軌道の終端に配置したイオンコレクタにヘリ
ウムイオンを優先的に入射させるようにしたものにおい
て、磁場偏向の終端付近に隔壁を配置し、この隔壁の近
傍に各イオンの軌道が収束するように設定するととも
に、その隔壁のうちヘリウムイオン収束部の対応位置に
スリットを形成してなることを特徴とする。
【０００６】このような構成のものであれば、収束点に
おいて各イオン同士の軌道が明確に画されるため、ヘリ
ウムイオンと３価の窒素イオンとでｍ／ｅの値が近似し
ていても、中間隔壁に設けたスリットにヘリウムイオン
のみを通過させ、３価の窒素イオンを的確に遮断するよ
うに構成することが可能となる。また、本発明の第２の
構成として、イオンソースから射出されるイオンを磁場
偏向させ、ヘリウムイオンに固有の軌道の終端に配置し
たイオンコレクタにヘリウムイオンを優先的に入射させ
るようにしたものにおいて、イオンコレクタに入射した
ヘリウムイオンを、入口と出口でイオンの分布状態を極
力変化させることなく静電偏向部において偏向させた
後、次段に配置した増倍管に入射させるようにしたこと
を特徴とする。
おいて各イオン同士の軌道が明確に画されるため、ヘリ
ウムイオンと３価の窒素イオンとでｍ／ｅの値が近似し
ていても、中間隔壁に設けたスリットにヘリウムイオン
のみを通過させ、３価の窒素イオンを的確に遮断するよ
うに構成することが可能となる。また、本発明の第２の
構成として、イオンソースから射出されるイオンを磁場
偏向させ、ヘリウムイオンに固有の軌道の終端に配置し
たイオンコレクタにヘリウムイオンを優先的に入射させ
るようにしたものにおいて、イオンコレクタに入射した
ヘリウムイオンを、入口と出口でイオンの分布状態を極
力変化させることなく静電偏向部において偏向させた
後、次段に配置した増倍管に入射させるようにしたこと
を特徴とする。
【０００７】このような増倍管を用いれば、イオンの入
力に比例して２次電子を大量に発生できるので、感度向
上に有効となる。但し、単にこの増倍管にイオンを入力
するだけでは、ノイズも増幅されることになり、また収
束させて入力すると増倍管が過剰入力となって本来の機
能を有効に営み得ず、結果的に所定のゲインが得られな
いばかりか、局所的な焼損が生じ易いという問題も新た
に生じる。これに対して、本発明は、イオンを静電偏向
させて増倍管に入力するようにしているので、ノイズを
排除することができ、また分散させて入力するようにし
ているので、増倍管に局所的にイオンが過剰入力される
ことがなく、増倍管が持つ本来の２次電子放出作用を随
所において均質且つ有効に営ませることができ、ゲイン
の低下や焼損の問題を効果的に解消することが可能とな
る。
力に比例して２次電子を大量に発生できるので、感度向
上に有効となる。但し、単にこの増倍管にイオンを入力
するだけでは、ノイズも増幅されることになり、また収
束させて入力すると増倍管が過剰入力となって本来の機
能を有効に営み得ず、結果的に所定のゲインが得られな
いばかりか、局所的な焼損が生じ易いという問題も新た
に生じる。これに対して、本発明は、イオンを静電偏向
させて増倍管に入力するようにしているので、ノイズを
排除することができ、また分散させて入力するようにし
ているので、増倍管に局所的にイオンが過剰入力される
ことがなく、増倍管が持つ本来の２次電子放出作用を随
所において均質且つ有効に営ませることができ、ゲイン
の低下や焼損の問題を効果的に解消することが可能とな
る。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１及び図２を
参照して説明する。なお、既に説明した基本構成部分に
ついては、同一符号を付して説明を省略するものとす
る。この実施例のヘリウムリークディテクタは、図１に
示すように、イオンソース２側から射出されるイオンを
磁場偏向させ、ヘリウムイオンＨｅ+に固有の軌道の終
端に配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+
を優先的に入射させるに際して、磁場偏向の終端付近に
新たに隔壁９を配置し、この隔壁９の近傍において特に
ヘリウムイオンＨｅ+と３価の窒素イオンＮ3+の各軌道
が収束するように設定するとともに、その隔壁９のうち
ヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット９ａを形成
しているものである。そのために、図１と図４とを比較
しても明らかなように、イオンソース２におけるイオン
生成ポイントＰが射出軸に沿って一列に配列するような
構造のものにしてあり、これにより軌道全体を軌道中央
からイオンコレクタ４側にシフトさせている。ここで
は、このようなイオン生成に適したものとして、イオン
ソース２にいわゆるＢＡ形イオン源と称されるものを用
いている。また、この実施例では図中ハッチングで示す
領域の磁石を撤去して磁場領域を狭くしており、これに
より３価の窒素イオンＮ3+の収束部近傍の軌道曲率を弱
めて、図１中Ａで示す部分において窒素イオンＮ3+に外
側に逃げていくような軌道をとらしめるようにしてい
る。
参照して説明する。なお、既に説明した基本構成部分に
ついては、同一符号を付して説明を省略するものとす
る。この実施例のヘリウムリークディテクタは、図１に
示すように、イオンソース２側から射出されるイオンを
磁場偏向させ、ヘリウムイオンＨｅ+に固有の軌道の終
端に配置したイオンコレクタ４にヘリウムイオンＨｅ+
を優先的に入射させるに際して、磁場偏向の終端付近に
新たに隔壁９を配置し、この隔壁９の近傍において特に
ヘリウムイオンＨｅ+と３価の窒素イオンＮ3+の各軌道
が収束するように設定するとともに、その隔壁９のうち
ヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット９ａを形成
しているものである。そのために、図１と図４とを比較
しても明らかなように、イオンソース２におけるイオン
生成ポイントＰが射出軸に沿って一列に配列するような
構造のものにしてあり、これにより軌道全体を軌道中央
からイオンコレクタ４側にシフトさせている。ここで
は、このようなイオン生成に適したものとして、イオン
ソース２にいわゆるＢＡ形イオン源と称されるものを用
いている。また、この実施例では図中ハッチングで示す
領域の磁石を撤去して磁場領域を狭くしており、これに
より３価の窒素イオンＮ3+の収束部近傍の軌道曲率を弱
めて、図１中Ａで示す部分において窒素イオンＮ3+に外
側に逃げていくような軌道をとらしめるようにしてい
る。
【０００９】また、本実施例は上記構成に加えて、イオ
ンコレクタ４に入射したヘリウムイオンを、図２に示す
ように入口と出口でイオンの分布状態を極力変化させな
いように構成した静電偏向部１１において偏向させた
後、次段に配置した増倍管１２に入射させるようにして
いる。すなわち、静電偏向部１１は、入口スリット１１
ａと出口スリット１１ｂとを直交配置し、その間を２つ
の方形静電偏向板１１ｃ、１１ｄで包囲して９０°に屈
曲した通路を形成した構造をなしている。出口スリット
１１ｂの次段には、シールド管１３を介して増倍管１２
が配置してあり、この増倍管１２に入射するイオンの量
に比例した大量の２次電子を発生させて、イオン電流Ｉ
として取り出すようにしている。一例として、この実施
例は方形静電偏向板１１ｃに＋２００Ｖを印加し、方形
静電偏向板１１ｄを−２００Ｖ又はグランドとし、シー
ルド管１３をグランドし、増倍管１２を−０．３〜−
２．０ｋＶの範囲で使用する。しかして、入口スリット
１１ａから分散して入射したヘリウムイオンＨｅ+に対
して、９０°の静電偏向を行い、出口スリット１１ｂに
略同一分布密度で導いた後（但し、図示例では反転して
いる）、シールド管１３に導入する。このシールド管１
３は、増倍管１２に至るまでの間に電圧のしみ込み効果
によるレンズ作用によってヘリウムイオンＨｅ+の発散
を抑止し、逆にやや収束させて増倍管１２に一様に入射
させる作用を営む。そして、増倍管１２で随所において
均一に２次電子が発生し、これがイオン電流Ｉとして取
り出される。
ンコレクタ４に入射したヘリウムイオンを、図２に示す
ように入口と出口でイオンの分布状態を極力変化させな
いように構成した静電偏向部１１において偏向させた
後、次段に配置した増倍管１２に入射させるようにして
いる。すなわち、静電偏向部１１は、入口スリット１１
ａと出口スリット１１ｂとを直交配置し、その間を２つ
の方形静電偏向板１１ｃ、１１ｄで包囲して９０°に屈
曲した通路を形成した構造をなしている。出口スリット
１１ｂの次段には、シールド管１３を介して増倍管１２
が配置してあり、この増倍管１２に入射するイオンの量
に比例した大量の２次電子を発生させて、イオン電流Ｉ
として取り出すようにしている。一例として、この実施
例は方形静電偏向板１１ｃに＋２００Ｖを印加し、方形
静電偏向板１１ｄを−２００Ｖ又はグランドとし、シー
ルド管１３をグランドし、増倍管１２を−０．３〜−
２．０ｋＶの範囲で使用する。しかして、入口スリット
１１ａから分散して入射したヘリウムイオンＨｅ+に対
して、９０°の静電偏向を行い、出口スリット１１ｂに
略同一分布密度で導いた後（但し、図示例では反転して
いる）、シールド管１３に導入する。このシールド管１
３は、増倍管１２に至るまでの間に電圧のしみ込み効果
によるレンズ作用によってヘリウムイオンＨｅ+の発散
を抑止し、逆にやや収束させて増倍管１２に一様に入射
させる作用を営む。そして、増倍管１２で随所において
均一に２次電子が発生し、これがイオン電流Ｉとして取
り出される。
【００１０】以上のような構成からなる本実施例のヘリ
ウムリークディテクタは、イオンソース２からのイオン
生成ポイントＰを射出軸に対して直列になるように構成
し、軌道終端近傍に配置した隔壁９の近傍にヘリウムイ
オンＨｅ+及び３価の窒素イオンＮ3+の各軌道を収束さ
せ、ヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット９ａを
設けてヘリウムイオンＨｅ+のみを通過させるようにし
ているものである。このため、特に軌道半径の近似した
両イオンＨｅ+、Ｎ3+を収束点で明確に画して、３価の
窒素イオンＮ3+を確実に分離する分解能を持たせること
が可能となる。
ウムリークディテクタは、イオンソース２からのイオン
生成ポイントＰを射出軸に対して直列になるように構成
し、軌道終端近傍に配置した隔壁９の近傍にヘリウムイ
オンＨｅ+及び３価の窒素イオンＮ3+の各軌道を収束さ
せ、ヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット９ａを
設けてヘリウムイオンＨｅ+のみを通過させるようにし
ているものである。このため、特に軌道半径の近似した
両イオンＨｅ+、Ｎ3+を収束点で明確に画して、３価の
窒素イオンＮ3+を確実に分離する分解能を持たせること
が可能となる。
【００１１】しかも、イオンコレクタ４に入射したヘリ
ウムイオンＨｅ+を、入口スリット１１ａと出口スリッ
ト１１ｂでイオンの分布状態を極力変化させることなく
静電偏向部１１において偏向させた後、次段に配置した
増倍管１２に入射させるようにしているため、ヘリウム
イオンＨｅ+以外のノイズとなる散乱イオンを入口スリ
ット１１ａで反射させ、或いは屈曲した静電磁場中にお
いて徹底的に排除するとともに、シリンドリカルな静電
偏向部のようにイオンを収束させることなく、増倍管１
２に均質に入射させることができる。したがって、増倍
管１２が持つ本来の２次電子放出作用を随所において均
質且つ有効に営ませることができ、増倍管１２において
真にヘリウム量に対応した２次電子を効率良く生成し
て、従来の限界値であった１０-12Ｐａ・ｍ3／ｓを上回
る高感度の測定を追求することが可能となる。
ウムイオンＨｅ+を、入口スリット１１ａと出口スリッ
ト１１ｂでイオンの分布状態を極力変化させることなく
静電偏向部１１において偏向させた後、次段に配置した
増倍管１２に入射させるようにしているため、ヘリウム
イオンＨｅ+以外のノイズとなる散乱イオンを入口スリ
ット１１ａで反射させ、或いは屈曲した静電磁場中にお
いて徹底的に排除するとともに、シリンドリカルな静電
偏向部のようにイオンを収束させることなく、増倍管１
２に均質に入射させることができる。したがって、増倍
管１２が持つ本来の２次電子放出作用を随所において均
質且つ有効に営ませることができ、増倍管１２において
真にヘリウム量に対応した２次電子を効率良く生成し
て、従来の限界値であった１０-12Ｐａ・ｍ3／ｓを上回
る高感度の測定を追求することが可能となる。
【００１２】なお、各部の具体的な構成は、図示実施例
のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱し
ない範囲で種々変形が可能である。例えば、上記実施例
で中間隔壁を廃して、終端隔壁のみでイオンを分別する
ように構成することもできる。また、イオンソースは所
要の射出効果が得られればＢＡ形イオン源に限定される
ものではない。さらに、磁場の制限は直線的ではなく曲
線的に狭くなるように構成してもよい。さらにまた、増
倍管にはセラトロンやマイクロチャンネルプレートを始
め種々のものを用いることができ、印加電圧等も上記以
外に種々の設定が可能である。
のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱し
ない範囲で種々変形が可能である。例えば、上記実施例
で中間隔壁を廃して、終端隔壁のみでイオンを分別する
ように構成することもできる。また、イオンソースは所
要の射出効果が得られればＢＡ形イオン源に限定される
ものではない。さらに、磁場の制限は直線的ではなく曲
線的に狭くなるように構成してもよい。さらにまた、増
倍管にはセラトロンやマイクロチャンネルプレートを始
め種々のものを用いることができ、印加電圧等も上記以
外に種々の設定が可能である。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は先ず、磁
場偏向の終端付近に隔壁を配置し、この隔壁の近傍に各
イオンの軌道が収束するように設定するとともに、その
隔壁のうちヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット
を形成したものである。このため、ｍ／ｅの値が近似し
ている３価の窒素イオンを分離する分解能を持たせて、
検出感度を有効に向上させることが可能となる。
場偏向の終端付近に隔壁を配置し、この隔壁の近傍に各
イオンの軌道が収束するように設定するとともに、その
隔壁のうちヘリウムイオン収束部の対応位置にスリット
を形成したものである。このため、ｍ／ｅの値が近似し
ている３価の窒素イオンを分離する分解能を持たせて、
検出感度を有効に向上させることが可能となる。
【００１４】また、本発明は、イオンコレクタに入射し
たヘリウムイオンを、入口と出口でイオンの分布状態を
極力変化させることなく静電偏向部において偏向させた
後、次段に配置した増倍管に入射させるようにしてい
る。このため、ヘリウムイオンのみを増倍管に均質に分
布させて導き、増倍管全体に効率良く２次電子を生成さ
せて、低バックグランドで高ゲインを得、検出感度を更
に有効に向上させることが可能となる。
たヘリウムイオンを、入口と出口でイオンの分布状態を
極力変化させることなく静電偏向部において偏向させた
後、次段に配置した増倍管に入射させるようにしてい
る。このため、ヘリウムイオンのみを増倍管に均質に分
布させて導き、増倍管全体に効率良く２次電子を生成さ
せて、低バックグランドで高ゲインを得、検出感度を更
に有効に向上させることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す模式図。
【図２】同実施例の要部断面図。
【図３】分析管の一般的構成を示す全体斜視図。
【図４】従来例を示す図１に対応した模式図。
【図５】同従来例の構成を示す概念図。
２…イオンソース ４…イオンコレクタ ９…隔壁 ９ａ…スリット １１…静電偏向部 １１ａ…入口スリット １１ｂ…出口スリット １２…増倍管
Claims (2)
- 【請求項１】イオンソースから射出されるイオンを磁場
偏向させ、ヘリウムイオンに固有の軌道の終端に配置し
たイオンコレクタにヘリウムイオンを優先的に入射させ
るようにしたものにおいて、 磁場偏向の終端付近に隔壁を配置し、この隔壁の近傍に
各イオンの軌道が収束するように設定するとともに、そ
の隔壁のうちヘリウムイオン収束部の対応位置にスリッ
トを形成してなることを特徴とするヘリウムリークディ
テクタ。 - 【請求項２】イオンソースから射出されるイオンを磁場
偏向させ、ヘリウムイオンに固有の軌道の終端に配置し
たイオンコレクタにヘリウムイオンを優先的に入射させ
るようにしたものにおいて、 イオンコレクタに入射したヘリウムイオンを、入口と出
口でイオンの分布状態を極力変化させることなく静電偏
向部において偏向させた後、次段に配置した増倍管に入
射させるようにしたことを特徴とするヘリウムリークデ
ィテクタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10292614A JP2000121484A (ja) | 1998-10-14 | 1998-10-14 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10292614A JP2000121484A (ja) | 1998-10-14 | 1998-10-14 | ヘリウムリークディテクタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000121484A true JP2000121484A (ja) | 2000-04-28 |
Family
ID=17784087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10292614A Pending JP2000121484A (ja) | 1998-10-14 | 1998-10-14 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000121484A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526881A (ja) * | 2003-06-03 | 2006-11-24 | モニター インスツルメンツ カンパニー，エルエルシー | マススペクトロメータと、それに関係するイオナイザ及び方法 |
-
1998
- 1998-10-14 JP JP10292614A patent/JP2000121484A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006526881A (ja) * | 2003-06-03 | 2006-11-24 | モニター インスツルメンツ カンパニー，エルエルシー | マススペクトロメータと、それに関係するイオナイザ及び方法 |
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