JP2000090611A - Servo track writer - Google Patents

Servo track writer

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JP2000090611A
JP2000090611A JP26185898A JP26185898A JP2000090611A JP 2000090611 A JP2000090611 A JP 2000090611A JP 26185898 A JP26185898 A JP 26185898A JP 26185898 A JP26185898 A JP 26185898A JP 2000090611 A JP2000090611 A JP 2000090611A
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JP
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Application
Patent type
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stage
guide
servo track
track writer
linear motor
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Pending
Application number
JP26185898A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kenji Hisamoto
憲司 久本
Original Assignee
Canon Inc
キヤノン株式会社
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Publication date

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a servo track writer which is highly accurate and has a good settlability and a high reproducibility. SOLUTION: The servo track writer is characterized by comprising a movable stage 11 for holding a head, a linear motor 14 for driving the stage 11 in a movement direction, a gravity guide 12 having a reference face for supporting a direction of gravity of the stage 11, a yaw guide 13 for guiding the stage 11 in the movement direction from one side of the stage 11 by a guide face orthogonal to the reference face, a hydrostatic bearing set to the stage 11 to be opposite to the gravity guide 12 and yaw guide 13, and a pre-load mechanism for applying a pre-load to the hydrostatic bearing. Since the stage 11 is supported, guided in a noncontact manner on two faces, the servo track writer can be realized with a large degree of design freedom while the stage is less deformed.

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク型の情報記録媒体に初期情報を記録するリニア駆動方式のサーボトラックライタにおいて、記録密度を高め、高速で高精度に位置決めが可能で、しかもメンテナンスが容易なサーボトラックライタを提供することを目的とする。 BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention provides a servo track writer linear drive system to record initial information on the disk-type information recording medium, increasing the recording density, it can be positioned with high accuracy at high speed, moreover maintenance and to provide easy servo track writer.

【0002】 [0002]

【従来の技術】図4に従来のリニア駆動方式によるサーボトラックライタの概略図を示す。 It shows a schematic diagram of a servo track writer by Conventional linear drive system in FIG.

【0003】ベース101上にディスク104を回転駆動するためのモータ105と、ヘッド104を搭載したステージ111を直線駆動するための位置決め装置11 [0003] base 101 and the motor 105 for the disk 104 is driven to rotate on the positioning device for linearly driving the stage 111 mounted with the head 104 11
4とが配設されている。 4 and are disposed. 本サーボトラックライタは、ディスク104の回転移動とヘッド110の直線移動によって、ディスク104とヘッド110が相対的に移動して、ディスクにトラックが書き込まれる。 This servo track writer, by linear movement of the rotary movement and the head 110 of the disk 104, the disk 104 and the head 110 is moved relative to the track is written to disk.

【0004】図5に上記位置決め装置の案内機構の概略図を示す。 [0004] FIG. 5 shows a schematic view of a guide mechanism of the positioning device.

【0005】112はガイドであり、ステージ111を1軸方向に案内している。 [0005] 112 is a guide, which guides the stage 111 in one axial direction. 121は静圧軸受であり、ガイド112に対向するステージ111の4面に設けられている。 121 is a hydrostatic bearing is provided on the four sides of the stage 111 opposite the guide 112. 静圧軸受は、エアを流出することによって静圧軸受121とガイド112との間に空隙を形成し、ステージ111をガイド112に対して滑動自在に支持している。 Hydrostatic bearing forms an air gap between the hydrostatic bearing 121 and guide 112 by flowing air, it is slidably supported relative to the guide 112 of the stage 111.

【0006】ステージ111は不図示のボールネジにより駆動されている。 [0006] Stage 111 is driven by a ball screw (not shown).

【0007】 [0007]

【発明が解決しようとする課題】上記の静圧案内機構は、静圧面を4面備えた4面拘束の案内機構である。 [0007] The hydrostatic guide mechanism is a guide mechanism of the four sides constrained with four faces static pressure surface. 4
面拘束の案内機構は、高剛性という点では優れているが、重量が重く、非常に高価である。 Guide mechanism of surface constraints, but in terms of high rigidity is excellent, the weight is heavy, it is very expensive. また、4面拘束の案内機構は、位置決め装置を配置する際、可動部であるステージの重心に推力を与えるような設計が難しい。 The guide mechanism of the four-sided constraint, when placing the positioning device, is difficult to design such as to give a thrust to the center of gravity of a movable unit stage. また、2つの位置決め装置によりステージを挟むようにしてステージの重心に推力を与えるように構成すると、装置全体が大重量となりコストがかかるほか、推力のバランスを調整する必要から制御系が複雑になってしまう。 Also, when constituting the center of gravity of the stage so as to sandwich the stage by two positioning devices to provide a thrust, in addition to expensive whole apparatus becomes heavy, the control system becomes complicated the need to balance the thrust .
あるいは、2つのガイドの間に位置決め装置を配置する構造も考えられるが、コストが高くなり、スペースも大きくなってしまう。 Alternatively, the structure to place a positioning device between the two guide also conceivable, but the cost is high, space is also increased.

【0008】よって、これまでリニア駆動型のサーボトラックライタにおいて、静圧軸受案内機構を採用することは難しかった。 [0008] Therefore, the servo track writer linear drive far, it is difficult to adopt the hydrostatic bearing guide mechanism.

【0009】本発明は、上記従来のサーボトラックライタを改良するものであり、高精度で整定性が良く、再現性の高いサーボトラックライタを実現することを目的としている。 [0009] The present invention is intended to improve the conventional servo track writer, aims at settling performance with high accuracy is good, to achieve highly reproducible servo track writer.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するための本発明のサーボトラックライタは、情報を記録するディスクを回転駆動するモータと、ヘッドを保持し該ヘッドの位置決めを行うステージ装置とを備え、該ヘッドと該ディスクを相対移動させてディスクに情報を記録するサーボトラックライタにおいて、該ステージ装置は、 Servo track writer of the present invention SUMMARY OF THE INVENTION To achieve the above object, a motor for rotating the disk for recording information, a stage device which holds the head to position of the head comprising a, the servo track writer that the head and the disc are moved relative to recording information on the disc, the stage device,
該ヘッドを保持し移動可能なステージと、該ステージを移動方向に駆動するリニアモータと、該ステージの重力方向の支持を行う基準面を有する重力ガイドと、該基準面と直交する案内面により該ステージの片側から該ステージを移動方向に案内するヨーガイドと、該ステージに設けられ、該重力ガイドおよび該ヨーガイドと対向するように設けられた静圧軸受と、該静圧軸受に予圧をかけるための予圧機構とを備えていることを特徴とする。 The a movable stage holding the head, a linear motor for driving the stage in the movement direction, and the gravity guide having a reference surface which provide support in the gravity direction of the stage, the guide surface perpendicular to the reference plane a yaw guide from one side of the stage to guide the stage moving direction, is provided on the stage, the heavy force guide and a hydrostatic bearing that is provided so as to face with said yaw guide, for applying a preload to the static pressure bearing characterized in that it includes a pre-load mechanism.

【0011】前記モータと前記ステージ装置はベース上に設けられており、該ベースに対する該ステージ装置の傾きを調整する機構を有することが望ましい。 [0011] The motor and the stage apparatus is provided on the base, it is desirable to have a mechanism for adjusting the inclination of said stage device to said base.

【0012】また、前記リニアモータは、前記ステージ装置から着脱自在に取付けられていることが望ましく、 Further, the linear motor is desirably mounted detachably from said stage device,
前記リニアモータはスペーサを有しており、該スペーサにより該リニアモータの推進力が発生する位置を調整することができることが好ましい。 The linear motor has a spacer, it is preferable to be able to adjust the position of thrust of the linear motor is generated by the spacers.

【0013】また、前記リニアモータが発生する推進力が、前記ステージの重心を通るように配置されていることが望ましい。 Further, driving force the linear motor is generated, it is preferably so disposed as to pass through the center of gravity of the stage.

【0014】また、前記ステージ装置が有するリニアモータは、1つであることが望ましい。 Further, a linear motor in which the stage apparatus has is desirably one.

【0015】また、前記ステージの前記移動方向に関する位置を計測する位置計測手段を有することが望ましく、前記位置計測手段は、エンコーダであることが好ましい。 Further, it is desirable to have a position measuring means for measuring a position with respect to the moving direction of the stage, the position measuring means is preferably an encoder.

【0016】 [0016]

【発明の実施の形態】図1に本発明におけるサーボトラックライタの実施形態の斜視図を示す。 It shows a perspective view of an embodiment of a servo track writer in the present invention DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION Figure 1.

【0017】1はベースである。 [0017] 1 is the base. ベース上にサブベース2を支持するための柱3が設けられている。 Column 3 for supporting the sub-base 2 on the base is provided. サブベースは、ディスク4を回転駆動するモータ5を保持している。 Sub-base holds the motor 5 for rotating the disk 4. モータ5にはディスク4の回転角度を計測するためのエンコーダ(不図示)が取付けられている。 The motor 5 encoder for measuring the angle of rotation of the disk 4 (not shown) is attached.

【0018】11は不図示のヘッドを搭載し、1軸方向に移動可能なステージである。 [0018] 11 is equipped with head (not shown), a movable stage in one axial direction. 12は、水平な基準面上でステージ11を支持し、ステージ進行方向に対するピッチングおよびローリング方向の姿勢を拘束する重力ガイドである。 12 supports the stage 11 on a horizontal reference plane, the gravitational guide for restraining pitching and rolling directions of the orientation with respect to the stage traveling direction. 重力ガイド12は磁性体からなり、基準面は研磨されている。 Gravity guides 12 is made of magnetic material, the reference surface is polished. 13は、重力ガイド12の基準面と直交する案内面を有するヨーガイドであり、ステージ進行方向に対するヨーイングを拘束する。 13 is a yaw guide having a guide surface perpendicular to the reference plane of gravity guide 12 to restrain the yawing relative to the stage traveling direction. ヨーガイド13 Yaw guide 13
は磁性体からなり、案内面は研磨されている。 Is made of a magnetic material, the guide surface is polished. 重力ガイド12およびヨーガイド13と対向するステージ11の2面には不図示の静圧軸受が設けられ、非接触で支持されている。 The two faces of gravity guides 12 and yaw guide 13 opposed to the stage 11 hydrostatic bearing (not shown) is provided and is supported in a non-contact manner. 静圧軸受によるステージの支持については後述する。 It will be described later support stage by hydrostatic bearings.

【0019】14は、電磁型リニアモータであり、ステージ11を非接触で直線駆動する。 [0019] 14 is an electromagnetic linear motor, a linear driving the stage 11 in a non-contact manner. リニアモータ14 Linear motor 14
は、重力ガイド12と実質的に一体になるように固定されたリニアモータ固定子と、ステージ11と実質的に一体になるように固定されたリニアモータ可動子とを有する。 Includes a gravity guide 12 and substantially linear motor stator is fixed to be integrated, the stage 11 is substantially a linear motor movable element that is fixed so as to become integrated. リニアモータ固定子は、重力ガイドに設けられた凹部に収まるように配置されている。 Linear motor stators are arranged to fit in the recess provided in the gravity guide. また、リニアモータ14はステージ11の内部を貫く形で配置されている。 The linear motor 14 is arranged in a manner penetrating the interior of the stage 11.

【0020】16は、ステージ11の位置を計測するためのエンコーダである。 [0020] 16 is an encoder for measuring the position of the stage 11. エンコーダ16は、ヨーガイド13から離れた位置でステージ11の位置を計測する。 The encoder 16 measures the position of the stage 11 at a position away from the yaw guide 13.
エンコーダ16は、光学式または磁気式のリニアスケールと、検出部であるヘッドを有している。 The encoder 16 has a linear scale of the optical or magnetic, the head is detecting section. 光学式のエンコーダの場合、検出部の光源には耐久性に優れたLED For optical encoder, LED to the detection of the light source with excellent durability
を使用することが望ましい。 It is desirable to use. また、スケールの材料には、石英が使用され、高精度で安定した位置情報を得ることができる。 Further, the material of the scale, quartz is used, it is possible to obtain a stable position information with high accuracy. ステージ11の位置決め制御は、エンコーダ16により計測されたステージ11の位置情報をフィードバックさせてクローズドループにより行われている。 Positioning control of the stage 11 is performed by a closed loop by feeding back the positional information of the stage 11 measured by the encoder 16.

【0021】18は、上記のステージ11を位置決めするためのステージ装置をベース1に対して傾き(チルト)調整するためのマイクロヘッドである。 [0021] 18 is a micro-head for inclination (tilt) adjusting the stage apparatus for positioning the stage 11 to the base 1. マイクロヘッドは、3箇所設けられており、3点でベースに対する高さを調整することによって、ステージ装置のチルト調整を行っている。 Micro head are provided at three positions, by adjusting the height relative to the base at three points, it is performed tilt adjustment of the stage device. ステージ装置のチルト調整を行うことにより、ステージに搭載されている不図示のヘッドとディスク4との平行度を調整することができる。 By performing the tilt adjustment of the stage device, it is possible to adjust the parallelism between the head and the disk 4 (not shown) mounted on the stage. ヘッドとディスクの傾きを調整することにより、ディスクに対するヘッドの浮上量を安定に保つことができる。 By adjusting the head and disc tilt, it is possible to keep the flying height of the head relative to the disk stable.

【0022】図2に本発明で採用している静圧案内機構を示す。 [0022] A hydrostatic guide mechanism employed in the present invention in FIG.

【0023】同図において、21は対向する重力ガイド12またはヨーガイド13に高圧気体を均一に吹き付けて間隙を保ち、非接触でステージ11を支持するための静圧軸受である。 [0023] In the figure, 21 keeps the gap uniformly canned gas gravity guide 12 or yaw guide 13 facing a hydrostatic bearing for supporting the stage 11 in a non-contact manner. 静圧軸受としては、固体潤滑質で多孔質の物質を研磨したものが用いられる。 The hydrostatic bearing, that polished porous material in the solid lubricant quality is used. 23は予圧機構であり、金属のヨークと磁石とを有する。 23 is a preload mechanism, and a metal yoke and the magnet. 予圧機構23 Preload mechanism 23
は、磁性体からなるガイドとの間で吸引力を発生し、静圧軸受が形成する間隙に対して予圧をかけ、バネ剛性を上げている。 Generates a suction force between the guide made of a magnetic material, preloaded against gaps of hydrostatic bearing is formed, it is raised spring stiffness. また、予圧機構23によってステージ11 In addition, the stage 11 by the preload mechanism 23
をヨーガイド方向に予圧することで、ヨーガイド13がステージ11を支持するようになっているので、ヨーガイド13は片面拘束であるが安定してステージ11を案内することができる。 The By preload to yaw guide direction, the yaw guide 13 is adapted to support the stage 11, a yaw guide 13 is a single-sided restraint can guide stage 11 stably. つまり、ステージ11に設けられた静圧軸受21と予圧機構23によって、ステージ11 That is, the hydrostatic bearing 21 and preload mechanism 23 provided in the stage 11, the stage 11
は重力ガイドの基準面とヨーガイドの案内面との2面で拘束されている。 It is restrained by the two planes of the reference surface and the guide surface of the yaw guide gravity guide.

【0024】図3に本発明で使用するステージ装置の概略図を示す。 [0024] shows a schematic view of a stage apparatus used in the present invention in FIG.

【0025】同図において、前述した構成部材については、前図と同一の図番が付いているので、説明を省略する。 [0025] In the figure, the components described above, since the front view of the same figure number is attached, and a description thereof will be omitted.

【0026】ステージ11上には、ヘッドを保持するアームアッセンブリ10が搭載されている。 [0026] On stage 11, the arm assembly 10 for holding the head is mounted. ステージ11 Stage 11
および重力ガイド12に進行方向に沿った凹部を設け、 And a recess along the traveling direction provided on gravity guide 12,
これにより構成される空間にリニアモータ14が設けられる。 Thus the linear motor 14 is provided in the space formed. リニアモータ固定子は重力ガイド12に対してネジにより着脱可能に固定され、リニアモータ可動子はステージ11に対してネジにより着脱可能に固定されている。 Linear motor stator is detachably fixed by screws with respect to the gravity guide 12, the linear motor movable element is detachably fixed by screws with respect to the stage 11. つまり、リニアモータ14は、ステージ装置から着脱可能に固定されている。 In other words, the linear motor 14 is detachably fixed from the stage apparatus. リニアモータ14は、ステージの重心部に推進力を与えるように配置されている。 Linear motor 14 is arranged so as to provide propulsion to the center of gravity of the stage. また、リニアモータ可動子にスペーサ24を挿入し、またリニアモータ固定子にスペーサ25を挿入することによって、リニアモータ14がステージに与える推力の位置を調節することが可能である。 Moreover, by inserting the spacer 24 to the linear motor movable element and by inserting the spacer 25 to the linear motor stator, the linear motor 14 is capable of adjusting the position of the thrust applied to the stage. リニアモータ14は、ムービングコイル方式を採用しており、リニアモータ可動子はコイルを有しており、リニアモータ固定子は磁石を有している。 Linear motor 14 employs a moving coil type linear motor movable element has a coil, linear motor stator has a magnet. また、リニアモータ可動子のコイルへの電流供給は、不図示のフラットケーブルからなるフレキシブルケーブルにより行っており、リニアモータ可動子の動作に対する抵抗は微小である。 Further, current supply to the coil of the linear motor movable element is carried by a flexible cable comprising a not shown flat cable, the resistance to operation of the linear motor movable element is very small.

【0027】本実施形態のサーボトラックライタによれば、静圧案内を採用することによって、ステージに搭載したアームアッセンブリに保持される磁気記録ヘッドを、高精度で位置決めができ、整定時間も大幅に短くすることが出きる。 According to the servo track writer of the present embodiment, by adopting the static pressure guide, a magnetic recording head that is held in the arm assembly mounted on the stage, it is positioned with high accuracy, even settling time drastically as possible out to be short. また、静圧案内を採用することにより、摩擦抵抗が減少するため、ステージにより駆動されるヘッドの位置の再現性が非常に良くなる。 Further, by adopting the static pressure guide, the frictional resistance decreases, the reproducibility of the position of the head which is driven by the stage is very good.

【0028】また、ステージの案内を2つの直交する平面から行っているので、案内機構を含めた全体の設計自由度が大きくなる。 Further, since performing guidance stage from two orthogonal planes, the degree of freedom in designing the whole including the guide mechanism is increased. 特に、ステージの重心部にリニアモータの推進力を加えるような構成を設計するとき、1個のリニアモータで推力をステージ重心に配置する設計が容易に可能である。 In particular, when designing the structure as the center of gravity of the stage addition of thrust of the linear motor, it is easy to be designed to place the thrust stage gravity center with one linear motor. また、2つの直交する平面から非接触で支持・案内をしているので、ステージに対して過剰な拘束を行わないため、ステージが変形することがない。 Further, since the two orthogonal planes are the supporting and guiding in a non-contact, since not performed excessive restraint relative to the stage, never stage is deformed.

【0029】また、ステージの重心にリニアモータの推進力を与えるため、ステージの共振周波数を高く設定できる。 [0029] In addition, since the center of gravity of the stage giving the driving force of the linear motor, it can be set high resonance frequency of the stage. また、ステージの進行方向に対する姿勢変化(ヨーイング、ピッチング、ローリング)を低く抑えることができる。 Also, attitude change with respect to the traveling direction of the stage (yawing, pitching, rolling) can be suppressed low. そのため、ヘッドの位置決め制御を高速で行うことができる。 Therefore, it is possible to perform positioning control of the head at a high speed.

【0030】また、案内機構を分離することなくリニアモータの着脱が可能なように、水平方向の静圧面の中央付近に進行方向に沿って凹部(溝)を配置してリニアモータを取付けている。 Further, to allow attachment and detachment of the linear motor without separating the guide mechanism, is attached to the linear motor by arranging the recess (groove) along the traveling direction near the center of the horizontal direction of the static pressure surface . したがって、高精度に組み立てられた案内機構を分離・再調整することなくリニアモータのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。 Therefore, the maintenance and replacement of the linear motor can be easily performed without separation and re-adjusting the guide mechanism assembled with high accuracy. また、磁気ヘッドやディスク等の条件よって搭載物の重量が変わり、ステージ重心位置が変化しても、リニアモータのスペーサを交換することにより、リニアモータが発生する推力がステージ重心を通るように調整することができるので、汎用的なサーボトラックライタを構成することができる。 The weight of the payload by conditions such as a magnetic head and a disk is changed, even if the stage gravity center position is changed, by exchanging the spacer of the linear motor, the thrust linear motor generates is adjusted to pass through the stage gravity center it is possible to, it is possible to construct a general-purpose servo track writer.

【0031】また、静圧案内機構に固体潤滑質で多孔質の静圧軸受を採用しているので、万一気体の供給が停止した場合も、静圧面にカジリついてキズを付けることが少ない。 Further, because it uses the static pressure bearing of the porous solid lubricant quality in hydrostatic guide mechanism, even when event stopped the supply of gas, it is hardly scratching with galling to the static pressure surface. また、静圧案内機構により、メンテナンスを長期間行わずに済み、生産性を向上させることができる。 Moreover, the hydrostatic guide mechanism, often without long term maintenance, thereby improving the productivity.

【0032】また、本実施形態では、ステージ側にリニアスケールを設置し、検出部を固定部側に配置したことで、ステージが移動しても検出器の信号ケーブルを引きずらず、位置決め精度や整定時間に与える影響が少なく、ヘッドの位置の再現性も高い。 Further, in the present embodiment, the linear scale is placed on the stage side, by disposing the detecting portion to the fixed portion side, moving stage is not dragged the signal cable of the detector, the positioning accuracy and settling less impact on the time, the reproducibility of the position of the head is also high.

【0033】また、リニアモータはムービングコイル方式を採用しているため、リニアモータ可動子が小さく、 Further, the linear motor because it uses a moving coil type linear motor movable element is small,
可動部であるステージを軽量化することができる。 It is possible to reduce the weight of the stage is a movable portion.

【0034】本実施形態では、予圧機構に磁石を用いたが、これに限るものではなく、例えば真空吸引による吸引力を利用しても良い。 [0034] In the present embodiment uses the magnet preload mechanism is not limited thereto, may be used a suction force for example by vacuum suction. この場合、ガイドの材質は磁性体に限られるものではない。 In this case, the material of the guide is not limited to the magnetic material.

【0035】また、ステージの位置計測にエンコーダを用いたが、これに限るものではなく、例えば、レーザ干渉計を用いて計測した位置情報をフィードバックしても良い。 Further, although using an encoder for position measurement of a stage, not limited to this, for example, it may be fed back position information measured using a laser interferometer.

【0036】また、本実施形態では、ムービングコイル方式のリニアモータを用いたが、これに限るものではなく、ムービングマグネット方式のリニアモータを用いても良い。 Further, in this embodiment uses a linear motor of the moving coil type, not limited to this, it may be used a linear motor of the moving magnet type. この場合、可動体であるステージ側には磁石が固定されるので、電流供給のための配線を必要とせず、 In this case, since the stage side are movable body magnet is fixed, without the need for wires for current supply,
高精度な位置決めを行うことができる。 Highly accurate positioning can be performed.

【0037】また、本実施形態では、マイクロヘッドによって3箇所で高さ調整することによりステージ装置の傾き角度の調整をしたが、これに限るものではなく、例えば球面台座を用いればマイクロヘッドによる高さ合わせは2箇所で良い。 Further, in the present embodiment, although the adjustment of the tilt angle of the stage device by adjusting the height at three points by the micro head is not limited to this, high by the micro head Using the example spherical base the suit may be the two places.

【0038】 [0038]

【発明の効果】本発明の請求項1記載のサーボトラックライタによれば、ステージの案内を2つの直交する平面から行っているので、サーボトラックライタの設計自由度が大きくなる。 According to the servo track writer of claim 1 wherein the the present invention, since the performing guidance stage from two orthogonal planes, the degree of freedom in designing the servo track writer is increased. また、2つの平面から非接触で支持・ The support of two planes in a non-contact-
案内をしているので、ステージに対して過剰な拘束を行わない。 Because it is a guide, it does not perform excessive restraint with respect to the stage. そのため、ステージの変形が少なく、高精度なサーボトラックライタを実現することができる。 Therefore, it is possible to deformation of the stage is small, to realize a highly precise servo track writer.

【0039】また、請求項2記載のサーボトラックライタによれば、ヘッドとディスクとの傾きを調整することが可能であるので、ヘッドの浮上量を安定させて高精度なサーボトラックライタを提供することができる。 Further, according to the servo track writer according to claim 2, since it is possible to adjust the inclination between the head and disk to provide a highly precise servo track writer to stabilize the flying height of the head be able to.

【0040】また、請求項3記載のサーボトラックライタによれば、リニアモータのメンテナンスや交換を容易に行うことができる。 Further, according to the servo track writer according to claim 3, it is possible to perform the maintenance and replacement of the linear motor easily.

【0041】また、請求項4記載のサーボトラックライタによれば、ステージの搭載物の重量が変わっても対応することができるので、汎用的にサーボトラックライタを使用できる。 Further, according to the servo track writer according to claim 4, it is possible to also change the weight of the mounted object of stages corresponding, universally usable servo track writer.

【0042】また、請求項5記載のサーボトラックライタによれば、ステージの共振周波数を高く設定でき、また、姿勢変化を低く抑えることができるので、ヘッドの位置決め制御を高速に行うことができる。 Further, according to the servo track writer of claim 5 wherein, be set high resonant frequency of the stage, also, it is possible to suppress the attitude change low, it is possible to perform positioning control of the head at a high speed.

【0043】また、請求項6記載のサーボトラックライタによれば、高速高精度のサーボトラックライタを安価で省スペースに実現できる。 Further, according to the servo track writer according to claim 6, can be realized a high-speed, high-precision servo track writer in space at low cost.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明のサーボトラックライタの概略斜視図 Schematic perspective view of a servo track writer of the present invention; FIG

【図2】本発明に採用している静圧案内機構の概略図 Schematic of hydrostatic guide mechanism that employs the invention; FIG

【図3】本発明で使用するステージ装置の概略図 Schematic view of a stage apparatus used in the present invention; FIG

【図4】従来のリニア駆動方式によるサーボトラックライタの概略図 Figure 4 is a schematic diagram of a servo track writer by a conventional linear drive system

【図5】従来のサーボトラックライタの案内機構の概略図 Figure 5 is a schematic view of a guide mechanism of a conventional servo track writer

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 ベース 2 サブベース 3 柱 4 ディスク 5 モータ 10 アームアッセンブリ 11 ステージ 12 重力ガイド 13 ヨーガイド 14 リニアモータ 16 エンコーダ 18 マイクロヘッド 21 静圧軸受 23 予圧機構 24、25 スペーサ 1 base 2 sub-base 3 poster 4 disc 5 motor 10 arm assemblies 11 stage 12 gravity guide 13 yaw guide 14 linear motor 16 encoder 18 micro head 21 hydrostatic bearing 23 preload mechanism 24, 25 spacer

Claims (8)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 情報を記録するディスクを回転駆動するモータと、 ヘッドを保持し該ヘッドの位置決めを行うステージ装置とを備え、該ヘッドと該ディスクを相対移動させてディスクに情報を記録するサーボトラックライタにおいて、 該ステージ装置は、該ヘッドを保持し移動可能なステージと、 該ステージを移動方向に駆動するリニアモータと、 該ステージの重力方向の支持を行う基準面を有する重力ガイドと、 該基準面と直交する案内面により該ステージの片側から該ステージを移動方向に案内するヨーガイドと、 該ステージに設けられ、該重力ガイドおよび該ヨーガイドと対向するように設けられた静圧軸受と、 該静圧軸受に予圧をかけるための予圧機構とを備えていることを特徴とするサーボトラックライタ。 And 1. A motor for rotating the disk for recording information, and holds the head and a stage apparatus for positioning of the head, servo the head and the disc are relatively moved to record information on the disk in track writer, the stage apparatus includes a movable stage holding the head, a linear motor for driving the stage in the movement direction, and the gravity guide having a reference surface which provide support in the gravity direction of the stage, the a yaw guide for guiding the stage movement direction from one side of the stage by the guide surface perpendicular to the reference plane, provided on the stage, a hydrostatic bearing that is provided so as to face the heavy force guide and said yaw guide, the servo track writer, characterized in that and a preload mechanism for applying a preload to the hydrostatic bearing.
  2. 【請求項2】 前記モータと前記ステージ装置はベース上に設けられており、該ベースに対する該ステージ装置の傾きを調整する機構を有することを特徴とする請求項1記載のサーボトラックライタ。 Wherein said motor and said stage apparatus is provided on the base, a servo track writer according to claim 1, characterized in that it has a mechanism for adjusting the inclination of said stage device to said base.
  3. 【請求項3】 前記リニアモータは、前記ステージ装置から着脱自在に取付けられていることを特徴とする請求項1または2記載のサーボトラックライタ。 Wherein the linear motor according to claim 1 or 2 servo track writer, wherein the attached detachably from the stage apparatus.
  4. 【請求項4】 前記リニアモータはスペーサを有しており、該スペーサにより該リニアモータの推進力が発生する位置を調整することができることを特徴とする請求項3記載のサーボトラックライタ。 Wherein said linear motor has a spacer, a servo track writer according to claim 3, characterized in that it is possible to adjust the position of thrust of the linear motor is generated by the spacers.
  5. 【請求項5】 前記リニアモータが発生する推進力が、 5. A driving force the linear motor is generated,
    前記ステージの重心を通るように配置されていることを特徴とする請求項1〜4いずれか記載のサーボトラックライタ。 Servo track writer according to any one of claims 1 to 4, characterized in that it is arranged to pass through the center of gravity of the stage.
  6. 【請求項6】 前記ステージ装置が有するリニアモータは、1つであることを特徴とする請求項1〜5いずれか記載のサーボトラックライタ。 Linear motor having the wherein said stage apparatus, the servo track writer according to any one of claims 1 to 5, characterized in that one.
  7. 【請求項7】 前記ステージの前記移動方向に関する位置を計測する位置計測手段を有することを特徴とする請求項1〜6いずれか記載のサーボトラックライタ。 7. A servo track writer according to any one of claims 1 to 6, characterized in that it comprises a position measuring means for measuring a position with respect to the moving direction of the stage.
  8. 【請求項8】 前記位置計測手段は、エンコーダであることを特徴とする請求項7記載のサーボトラックライタ。 Wherein said position measurement means, a servo track writer according to claim 7, characterized in that the encoder.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9236083B2 (en) * 2002-07-23 2016-01-12 Seagate Technology, Llc Writer with working fluid bearing

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