JP2000084828A - Polishing device for inner periphery of glass disk - Google Patents
Polishing device for inner periphery of glass diskInfo
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- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】この発明は、ドーナツ盤状に
中心孔を有するガラスディスクの内周面を研磨するガラ
スディスク内周研磨装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a glass disk inner peripheral polishing apparatus for polishing an inner peripheral surface of a glass disk having a center hole in a donut shape.
【0002】[0002]
【従来の技術】近年、ガラスディスクは、記憶メディア
としての需要が高まりつつあり、その加工精度にも高度
なものが要求されている。そして、ドーナツ盤状に中心
孔を有するガラスディスクの内周面加工は、シャフト状
のダイヤモンド砥石や、同じくシャフト状の研磨ブラシ
を中央孔に挿入し、内周面に当てながら行っている。そ
の内周面加工に際しては、ダイヤモンド砥石や研磨ブラ
シのシャフトの一端はモータ側に固定し、他端は支持せ
ずにフリーな状態で使用している。2. Description of the Related Art In recent years, a demand for a glass disk as a storage medium is increasing, and a high degree of processing accuracy is required. The inner peripheral surface of a glass disk having a center hole in the shape of a donut disk is processed while a shaft-shaped diamond grindstone or a shaft-shaped polishing brush is inserted into the central hole and applied to the inner peripheral surface. In processing the inner peripheral surface, one end of the shaft of the diamond grindstone or the polishing brush is fixed to the motor side, and the other end is used in a free state without being supported.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の内
周面加工のように、シャフト他端を支持せずにフリーな
状態で使用していると、回転とともにシャフト他端(シ
ャフト先端)が振れるため、内周面の加工精度を悪化さ
せる一因となっていた。However, when the shaft is used in a free state without supporting the other end of the shaft as in the above-described conventional inner peripheral surface processing, the other end of the shaft (shaft end) is rotated together with the rotation. Because of the deflection, it has been one of the causes of deteriorating the processing accuracy of the inner peripheral surface.
【0004】例えば、ガラスディスクを積層させ、その
多数のガラスディスクに対して同時に内周面加工を行う
場合、シャフト先端の振れのため、積層ガラスディスク
の上部、中部、下部での各部位間に研磨のバラツキが生
じ、各ガラスディスクの内径についても、その同芯度が
バラツいてしまうという問題点を有していた。For example, when laminating glass disks and simultaneously processing the inner peripheral surface of a large number of the glass disks, a run-out of the shaft tip causes a gap between the upper, middle and lower portions of the laminated glass disk. There has been a problem that polishing variations occur and the concentricity of the inner diameter of each glass disk also varies.
【0005】この発明は上記に鑑み提案されたもので、
ガラスディスクの内周面加工を高精度で行うことができ
るガラスディスク内周研磨装置を提供することを目的と
する。[0005] The present invention has been proposed in view of the above,
An object of the present invention is to provide a glass disk inner peripheral polishing device capable of processing the inner peripheral surface of a glass disk with high accuracy.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1に記載の発明は、ドーナツ盤状に中心孔を
有するガラスディスクの内周面を研磨するガラスディス
ク内周研磨装置において、上記ガラスディスクを積層し
てセッティングするワークセッティング部と、軸回りに
多数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、上記軸付研磨
ブラシをその軸回りに回転させるブラシ回転駆動部と、
上記軸付研磨ブラシを積層方向に移動させて上記積層ガ
ラスディスクの中心孔に出入自在とするブラシ積層方向
駆動部と、上記ブラシ積層方向駆動部によって軸付研磨
ブラシを積層方向一端から積層ガラスディスクの中心孔
に挿入したときの、積層方向他端から突出した軸先端を
回転自在に支持するブラシ先端支持部と、を有し、上記
軸付研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に挿入
し、かつその軸先端を支持した状態で、軸付研磨ブラシ
を回転させて積層ガラスディスクの内周面を研磨するよ
うにした、ことを特徴としている。In order to achieve the above object, an invention according to claim 1 is directed to a glass disk inner peripheral polishing apparatus for polishing an inner peripheral surface of a glass disk having a center hole in a donut shape. A work setting unit for laminating and setting the glass discs, a polishing brush with a shaft having a large number of bristles around an axis, and a brush rotation drive unit for rotating the polishing brush with a shaft around the axis,
A brush laminating direction driving unit that moves the polishing brush with the shaft in the laminating direction to freely enter and exit the center hole of the laminated glass disk; and a polishing glass brush from one end in the laminating direction of the polishing brush with the shaft by the brush laminating direction driving unit. When inserted in the center hole of, the brush tip support portion rotatably supports a shaft tip protruding from the other end in the stacking direction, and has the shaft-mounted polishing brush inserted into the center hole of the laminated glass disk, Further, the polishing apparatus is characterized in that the polishing brush with a shaft is rotated while the tip of the shaft is supported to polish the inner peripheral surface of the laminated glass disk.
【0007】また、請求項2に記載の発明は、上記した
請求項1に記載の発明の構成に加えて、上記ブラシ先端
支持部は、上記軸付研磨ブラシの軸先端を支持しかつ軸
先端の回転とともに自由に回転する回転支持体を有する
ことを特徴としている。According to a second aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first aspect of the invention, the brush tip supporting portion supports the tip of the polishing brush with a shaft and the tip of the shaft. It is characterized by having a rotating support that rotates freely with the rotation of.
【0008】また、請求項3に記載の発明は、上記した
請求項1または2に記載の発明の構成に加えて、上記ブ
ラシ積層方向駆動部は、上記軸付研磨ブラシを積層ガラ
スディスクの中心孔に入れた状態でさらに積層方向に往
復動させ、上記ブラシ先端支持部は、上記軸付研磨ブラ
シの往復動に同期して軸先端と一体に往復動する、こと
を特徴としている。According to a third aspect of the present invention, in addition to the configuration of the first or second aspect of the present invention, the brush laminating direction driving section includes the shaft-attached polishing brush at the center of the laminated glass disk. The brush tip is further reciprocated in the laminating direction while being inserted into the hole, and the brush tip support portion reciprocates integrally with the tip of the shaft in synchronization with the reciprocation of the shaft-mounted polishing brush.
【0009】さらに、請求項4に記載の発明は、上記し
た請求項1から3の何れかに記載の発明の構成に加え
て、上記ワークセッティング部は、ガラスディスクを積
層してセッティングするとともに、その積層ガラスディ
スクを、軸付研磨ブラシの回転方向とは逆方向に回転さ
せる、ことを特徴としている。Further, in the invention set forth in claim 4, in addition to the configuration according to any one of claims 1 to 3, the work setting section sets and stacks a glass disk. The laminated glass disk is rotated in a direction opposite to the rotation direction of the shaft-mounted polishing brush.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】以下にこの発明の実施の形態を図
面に基づいて詳細に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【0011】図1はこの発明のガラスディスク内周研磨
装置の正面図、図2は側面図、図3は図2の部分拡大
図、図4はワークセッティング部及びブラシ先端支持部
を詳細に示す図、図5はブラシ先端支持部の部分拡大図
である。これらの図において、ガラスディスク内周研磨
装置1は、ドーナツ盤状のガラスディスク9の内周面9
a(図4)を研磨するための装置であり、装置の枠組み
を構成する架台1Aと、ワーク用基台1Bとに支持され
て構成されている。図2に示すように、架台1Aは、ブ
ラシ回転駆動部4及びブラシ積層方向駆動部5を支持
し、ワーク用基台1Bは、ワークセッティング部2及び
ブラシ先端支持部6を支持している。次に、これらの各
部の構成について順に説明する。FIG. 1 is a front view of a glass disk inner peripheral polishing apparatus of the present invention, FIG. 2 is a side view, FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2, and FIG. 4 shows a work setting section and a brush tip support section in detail. FIG. 5 and FIG. 5 are partial enlarged views of the brush tip support portion. In these figures, the inner peripheral polishing device 1 for a glass disk has an inner peripheral surface 9 of a donut disk-shaped glass disk 9.
a (FIG. 4) is polished, and is supported and supported by a gantry 1A and a work base 1B that form a framework of the apparatus. As shown in FIG. 2, the gantry 1A supports the brush rotation drive unit 4 and the brush stacking direction drive unit 5, and the work base 1B supports the work setting unit 2 and the brush tip support unit 6. Next, the configuration of each of these units will be described in order.
【0012】ブラシ回転駆動部4は、回転駆動部支持基
板(図示省略)にモータ41とブラシ駆動体43とを設
けて成り、モータ41とブラシ駆動体43との間には駆
動ベルト42を係回し、モータ41の回転をブラシ駆動
体43に伝達している。このブラシ駆動体43の下部側
には、軸回りに多数のブラシ毛を植毛して成る軸付研磨
ブラシ3を、着脱自在に取り付けている。The brush rotation driving section 4 is configured by providing a motor 41 and a brush driving body 43 on a rotation driving section support substrate (not shown), and a driving belt 42 is provided between the motor 41 and the brush driving body 43. The rotation of the motor 41 is transmitted to the brush driving body 43. On the lower side of the brush driving body 43, a shaft-attached polishing brush 3 formed by implanting a large number of brush bristles around an axis is detachably attached.
【0013】ブラシ積層方向駆動部5は、架台1Aの最
上部から鉛直下方に、サーボモータ51と、そのサーボ
モータ51の出力軸としてのボールネジ52とを備えて
いる。このボールネジ52の雄ねじ52aに螺嵌してあ
るナットとしての移動体52bには、横設部材を介して
直進移動板56を固設し、またその直進移動板56にも
横設部材を介してブラシ駆動体43を固設している。架
台1Aには、ボールネジ52と並行に二本のガイドレー
ル55,55を設け、そのガイドレール55,55に
は、直進移動板56の背面に突設したガイド片54…が
摺動可能に嵌合している。また、移動体(ナット)52
bには、上記の回転駆動部支持基板を一体的に取り付け
てある。The brush laminating direction drive unit 5 includes a servo motor 51 and a ball screw 52 as an output shaft of the servo motor 51 vertically below the top of the gantry 1A. A linear moving plate 56 is fixed to the moving body 52b as a nut screwed on the male screw 52a of the ball screw 52 via a horizontal member, and the linear moving plate 56 is also fixed to the linear moving plate 56 via a horizontal member. The brush driver 43 is fixed. The base 1A is provided with two guide rails 55, 55 in parallel with the ball screw 52, and guide pieces 54 projecting from the back surface of the rectilinear moving plate 56 are slidably fitted on the guide rails 55, 55. I agree. In addition, a moving body (nut) 52
b, the above-mentioned rotation drive unit support substrate is integrally attached.
【0014】上記のブラシ積層方向駆動部5において、
サーボモータ51が駆動し、雄ねじ52aが回転する
と、その回転に応じて移動体52bが雄ねじ52aに沿
って上下移動を行い、その上下移動に応じて、直進移動
板56はガイドレール55,55に沿って上下移動し、
それに応じてブラシ駆動体43が上下に移動する。ま
た、回転駆動部支持基板も、その基板に設けられたモー
タ41及びブラシ駆動体43とともに一体的に上下移動
を行う。すなわち、ブラシ駆動体43は、モータ41に
よる回転駆動と、サーボモータ51による上下移動を同
時に行える機構となっており、それに応じて軸付研磨ブ
ラシ3も、回転と上下移動を同時に行う。In the above-described brush laminating direction driving unit 5,
When the servomotor 51 is driven and the male screw 52a rotates, the moving body 52b moves up and down along the male screw 52a according to the rotation, and according to the up and down movement, the rectilinear moving plate 56 moves to the guide rails 55 and 55. Move up and down along
The brush driver 43 moves up and down accordingly. Further, the rotation drive unit support substrate also moves up and down integrally with the motor 41 and the brush driving body 43 provided on the substrate. That is, the brush driving body 43 is a mechanism that can simultaneously perform the rotation drive by the motor 41 and the vertical movement by the servomotor 51, and accordingly, the polishing brush 3 with the shaft also performs the rotation and the vertical movement at the same time.
【0015】上記の直進移動板56の背面には、上記の
ガイド片54…の他に、支持軸57を突設し、その支持
軸57には、図1及び図3に示すように、所定幅の細長
い板材から成る作動板58を垂下している。この作動板
58の下部の所定位置には、後述するピストン75bが
貫入するピストン用孔58aを穿設している。On the back surface of the linearly moving plate 56, in addition to the above-mentioned guide pieces 54, a support shaft 57 is protruded, and the support shaft 57 has a predetermined shape as shown in FIGS. An operation plate 58 made of an elongated plate is suspended. At a predetermined position below the operation plate 58, a piston hole 58a through which a piston 75b described later penetrates is formed.
【0016】ワークセッティング部2は、図3及び図4
に示すように、ワーク用基台1Bのベース面10上に構
成され、ベース面10上に載設したベース台21と、そ
のベース台21にベアリング21aを介して回転可能に
載設した回転駆動体22と、その回転駆動体22上にセ
ッティングする円筒体状のワーク収納ボックス23とか
ら成っている。The work setting section 2 is shown in FIGS.
As shown in FIG. 2, a base 21 mounted on the base surface 10 of the work base 1B and mounted on the base 10 and a rotary drive rotatably mounted on the base 21 via a bearing 21a. It comprises a body 22 and a cylindrical work storage box 23 set on the rotary driving body 22.
【0017】回転駆動体22の下部にはリングギヤ22
1を嵌設し、このリングギヤ221は、図1及び図4に
示すように、ワーク用基台1Bに配設したモータ222
の出力軸に設けたギヤ223と噛み合い、モータ222
の回転駆動を回転駆動体22に伝達する。A ring gear 22 is provided below the rotary driving body 22.
1 and the ring gear 221 is, as shown in FIGS. 1 and 4, a motor 222 mounted on the work base 1B.
Gear 223 provided on the output shaft of the motor 222
Is transmitted to the rotary driver 22.
【0018】ワーク収納ボックス23の内部にはドーナ
ツ盤状に中心孔を有するガラスディスク9を積層させて
収納し、その積層ガラスディスク90の上端面外周縁
を、押止部材231を介してボルト232…で締めるこ
とで圧接する。これにより、ワーク収納ボックス23に
は、多数のガラスディスク9…がセット可能となる。セ
ット完了したワーク収納ボックス23は回転駆動体22
に載せボルト233…で固定する。A glass disk 9 having a center hole in the form of a donut disk is stacked and stored inside the work storage box 23, and the outer peripheral edge of the upper end surface of the laminated glass disk 90 is bolted 232 through a pressing member 231. Pressing by tightening with. As a result, a large number of glass disks 9 can be set in the work storage box 23. The set work storage box 23 is the rotary drive 22
And fixed with bolts 233.
【0019】このワークセッティング部2の中央には、
貫通孔を設けている。すなわち、ワーク収納ボックス2
3の底部中央には、積層ガラスディスク90の中央孔に
貫挿した軸付研磨ブラシ3を出入自在に収容するための
ブラシ用孔235を穿設し、ベース面10、ベース台2
1及び回転駆動体22には、ブラシ先端支持部6を収容
するための先端支持部用孔25を穿設している。そし
て、先端支持部用孔25の内部における回転駆動体22
の下端面には、その下端面から下方に向けて筒状体のド
レンカバー65aを一体に固設している。At the center of the work setting section 2,
A through hole is provided. That is, the work storage box 2
In the center of the bottom of the base 3, a brush hole 235 for accommodating the shaft-attached polishing brush 3 inserted through the center hole of the laminated glass disk 90 so as to be able to freely enter and exit is formed.
A hole 25 for the tip support portion for accommodating the brush tip support portion 6 is formed in the rotation drive body 1 and the rotary drive body 22. Then, the rotation driving body 22 inside the tip support portion hole 25 is formed.
A drain cover 65a of a cylindrical body is integrally fixed to the lower end face of the lower end face downward.
【0020】ブラシ先端支持部6は、金属板を折曲して
形成した支持プレート60をベースにして構成されてい
る。この支持プレート60は、図1に示すように、正面
幅方向に膨設部分60aを有し、膨設部分背面側に突設
したガイド片61を、ワーク用基台1Bに固定した鉛直
方向のガイドレール62に摺動自在に嵌合している。ま
た、支持プレート60の背面側で軸付研磨ブラシ3の下
方に相当する位置にも、ここでは図示されていないガイ
ド片とガイドレールを設けてあり、二本のガイドレール
62等によって、支持プレート60は垂直姿勢を保持し
たまま、上下方向に摺動するようになっている。The brush tip support section 6 is configured based on a support plate 60 formed by bending a metal plate. As shown in FIG. 1, the support plate 60 has a bulging portion 60a in the front width direction, and a guide piece 61 protruding from the back side of the bulging portion is fixed to the work base 1B in the vertical direction. It is slidably fitted on the guide rail 62. Further, a guide piece and a guide rail (not shown) are provided at a position corresponding to the back side of the support plate 60 and below the polishing brush 3 with a shaft, and the support plate is provided by two guide rails 62 and the like. Numeral 60 slides up and down while maintaining the vertical posture.
【0021】支持プレート60の下端は、ワーク用基台
1Bに固定したストッパ63に当接し、そのストッパ6
3で下方への移動を規制している。The lower end of the support plate 60 contacts a stopper 63 fixed to the work base 1B.
3 regulates downward movement.
【0022】また、この膨設部分60aには、図3に示
すように、シリンダ75aが上記の作動板58に臨むよ
うにエアシリンダ75を配設してあり、作動板58が上
下移動を行い、作動板58のピストン用孔58aがシリ
ンダ75aに対向する位置となったとき、エアシリンダ
75を動作させ、シリンダ75aから突出したピストン
75bがそのピストン用孔58aに貫入するようになっ
ている。As shown in FIG. 3, an air cylinder 75 is provided in the bulging portion 60a so that the cylinder 75a faces the above-mentioned operating plate 58, and the operating plate 58 moves up and down. When the piston hole 58a of the operation plate 58 is at a position facing the cylinder 75a, the air cylinder 75 is operated, and the piston 75b projecting from the cylinder 75a penetrates the piston hole 58a.
【0023】支持プレート60の水平基板部分60b
は、図4に示すように、上記の先端支持部用孔25の下
方に相当する位置に通孔601を有し、その通孔601
の外周上面に、中央のコア体64aと外周の外環体64
bとから成る厚肉円板状の基底部64を着設し、さらに
その基底部64の外環体64bの環状上面に、上方に向
けて筒状体のドレンカバー65bをボルトで着設してい
る。このドレンカバー65bはその上部において、上記
のドレンカバー65aを環囲している。一方、通孔60
1の外周下面に、中空状のホースジョイント66を着設
している。The horizontal substrate portion 60b of the support plate 60
Has a through-hole 601 at a position corresponding to a position below the distal end support hole 25 as shown in FIG.
A central core 64a and an outer ring 64
b, and a cylindrical drain cover 65b is bolted upward to the annular upper surface of the outer ring 64b of the base 64 with the bolt. ing. The upper portion of the drain cover 65b surrounds the drain cover 65a. On the other hand, the through hole 60
A hollow hose joint 66 is attached to the lower surface of the outer periphery of the hose 1.
【0024】基底部64のコア体64a上面には、図5
に示すように、略円柱状のベアリングホルダ67をボル
トで着設している。このベアリングホルダ67は、その
上部に凹陥部671を有し、その凹陥部671に、上下
両端にボールベアリング68a,68bを配し中央に孔
681が貫通しているベアリングハウジング68を一体
的に収容している。On the upper surface of the core body 64a of the base 64, FIG.
As shown in FIG. 7, a substantially cylindrical bearing holder 67 is mounted with bolts. The bearing holder 67 has a concave portion 671 at an upper portion thereof, and the concave portion 671 integrally accommodates a bearing housing 68 in which ball bearings 68a and 68b are disposed at upper and lower ends and a hole 681 passes through the center. are doing.
【0025】ベアリングハウジング68には、略円筒状
のブラシ軸支持体71と介設部材72とから成る回転支
持体70を設けてある。すなわち、介設部材72の下面
中央に突設した円柱部分72aをベアリングハウジング
68の中央を貫通する孔681に嵌入し、その介設部材
72の上面にブラシ軸支持体71を固定してある。円柱
部分72aは、孔681の上下に配したボールベアリン
グ68a,68bによって回転自在となり、それによ
り、ブラシ軸支持体71と介設部材72とは一体の回転
支持体70としてベアリングハウジング68に対して回
転自在となる。The bearing housing 68 is provided with a rotary support 70 comprising a substantially cylindrical brush shaft support 71 and an intervening member 72. That is, a cylindrical portion 72a protruding from the center of the lower surface of the interposition member 72 is fitted into a hole 681 passing through the center of the bearing housing 68, and the brush shaft support 71 is fixed to the upper surface of the interposition member 72. The cylindrical portion 72a is rotatable by ball bearings 68a and 68b disposed above and below the hole 681, whereby the brush shaft support 71 and the interposed member 72 are integrated with the bearing housing 68 as a rotary support 70. It becomes rotatable.
【0026】ブラシ軸支持体71には、中央のブラシ軸
支持用孔711に対して放射状に複数のドレン用孔71
2を穿設している。The brush shaft support 71 is provided with a plurality of drain holes 71 radially with respect to the center brush shaft support hole 711.
2 is drilled.
【0027】そして、基底部64から上方に向けて順に
ベアリングホルダ67、ベアリングハウジング68及び
回転支持体70を組み付けて成るブラシ先端支持部6の
主要部は、上下のドレンカバー65a及び65b内に収
まり覆われている。また、このブラシ先端支持部6につ
いては、支持プレート60が二本のガイドレール62等
に沿って自然降下するため、加工を行わない通常の場合
は、図1に示すように、ストッパ63で停止させられた
初期姿勢に保たれている。The main part of the brush tip supporting portion 6 which is assembled with the bearing holder 67, the bearing housing 68 and the rotary supporting member 70 in order from the base portion 64 is accommodated in the upper and lower drain covers 65a and 65b. Covered. In addition, since the support plate 60 naturally descends along the two guide rails 62 and the like, the brush tip support portion 6 stops at the stopper 63 as shown in FIG. It is kept in the initial posture.
【0028】上記構成のガラスディスク内周研磨装置1
において、積層ガラスディスク90の内周面研磨を行う
場合は、下記手順で行う。Glass disk inner circumference polishing apparatus 1 having the above configuration
In the above, when polishing the inner peripheral surface of the laminated glass disk 90, the following procedure is performed.
【0029】先ず図1に示すように、ワーク収納ボック
ス23に多数のガラスディスク9…を積層させてセット
し、セットの完了したワーク収納ボックス23を、図2
に示すように、回転駆動体22上に載置しボルトで固定
する。そして、モータ222を駆動して回転駆動体22
を回転させ、ワーク収納ボックス23内の積層ガラスデ
ィスク90を回転させる。First, as shown in FIG. 1, a large number of glass disks 9 are stacked and set in the work storage box 23, and the set work storage box 23 is set in FIG.
As shown in (2), it is placed on the rotary drive 22 and fixed with bolts. Then, the motor 222 is driven to
To rotate the laminated glass disk 90 in the work storage box 23.
【0030】次に、サーボモータ51及びモータ41を
駆動させることで、軸付研磨ブラシ3を、上記の積層ガ
ラスディスク90の回転とは逆方向に回転させつつ、下
方に降下させ、図3に示すように、軸付研磨ブラシ3を
積層ガラスディスク90の中央孔に挿入していく。この
とき、軸付研磨ブラシ3と一体に、軸付研磨ブラシ3が
降下した距離と同じ距離だけ、作動板58が降下する。
作動板58のピストン用孔58aが、上記した初期姿勢
に保たれているブラシ先端支持部6のシリンダ75aに
対向する位置(最低位置)に達すると、その最低位置で
軸付研磨ブラシ3及び作動板58の降下を停止し、エア
シリンダ75を動作させて、ピストン75bをピストン
用孔58aに貫入させる。Next, by driving the servo motor 51 and the motor 41, the shaft-mounted polishing brush 3 is lowered downward while rotating in the opposite direction to the rotation of the laminated glass disk 90, as shown in FIG. As shown, the polishing brush 3 with a shaft is inserted into the central hole of the laminated glass disk 90. At this time, the operating plate 58 is lowered integrally with the shaft-mounted polishing brush 3 by the same distance as the distance that the shaft-mounted polishing brush 3 has been lowered.
When the piston hole 58a of the operation plate 58 reaches a position (lowest position) opposed to the cylinder 75a of the brush tip support portion 6 maintained in the above-mentioned initial posture, the polishing brush 3 with the shaft and the operation at the lowest position. The lowering of the plate 58 is stopped, and the air cylinder 75 is operated to cause the piston 75b to penetrate the piston hole 58a.
【0031】一方、作動板58が上記の最低位置近傍ま
で降下すると、軸付研磨ブラシ3の軸先端3aは、ワー
ク収納ボックス23から突き出して、ブラシ軸支持体7
1のブラシ軸支持用孔711に回転しつつ進入し、その
ブラシ軸支持体71で支持されるようになる。このと
き、ブラシ軸支持体71と介設部材72とから成る回転
支持体70は、軸先端3aの回転に応じて自在に回転
し、一方、その下方のベアリングハウジング68及びベ
アリングホルダ67は固定されて静止したままである。
すなわち、軸付研磨ブラシ3の回転は、軸先端3aから
回転支持体70まで伝達され、回転支持体70は、軸先
端3aとともに連れ回るようになる。On the other hand, when the operation plate 58 is lowered to the vicinity of the lowest position, the tip 3a of the shaft-equipped polishing brush 3 protrudes from the work storage box 23, and the brush shaft support 7
While rotating into the first brush shaft support hole 711, the brush shaft is supported by the brush shaft support 71. At this time, the rotation support 70 composed of the brush shaft support 71 and the interposed member 72 rotates freely according to the rotation of the shaft tip 3a, while the bearing housing 68 and the bearing holder 67 below the rotation support 70 are fixed. And remain stationary.
That is, the rotation of the polishing brush 3 with shaft is transmitted from the shaft tip 3a to the rotation support 70, and the rotation support 70 rotates together with the shaft tip 3a.
【0032】その後、サーボモータ51の駆動を再開さ
せ、図3に示すように、軸付研磨ブラシ3のブラシ毛を
積層ガラスディスク90の内周面90aに当てながら、
上下動(往復動)させつつ、また軸付研磨ブラシ3と積
層ガラスディスク90とを互いに逆方向に回転させつ
つ、積層ガラスディスク90の内周面加工を行う。その
場合、軸付研磨ブラシ3と同期して作動板58も一体に
上下動する。したがって、ピストン75bを介して、図
3の実線位置と二点鎖線位置で示すように、支持プレー
ト60上に構成したブラシ先端支持部6も一体に、軸付
研磨ブラシ3の移動距離と同じ距離だけ上下動する。す
なわち、軸付研磨ブラシ3の軸先端3aは、ブラシ軸支
持用孔711に回転自在に支持された状態で、そのブラ
シ軸支持用孔711と一体に上下動し、軸付研磨ブラシ
3が往復動してもその回転支持の状態が継続する。Then, the driving of the servo motor 51 is restarted, and the brush bristles of the shaft-mounted polishing brush 3 are applied to the inner peripheral surface 90a of the laminated glass disk 90 as shown in FIG.
The inner peripheral surface processing of the laminated glass disk 90 is performed while moving vertically (reciprocating) and rotating the polishing brush 3 with a shaft and the laminated glass disk 90 in directions opposite to each other. In this case, the operating plate 58 also moves up and down integrally with the polishing brush 3 with the shaft. Therefore, as shown by the solid line position and the two-dot chain line position in FIG. 3, the brush tip support portion 6 formed on the support plate 60 is also integrally moved through the piston 75 b by the same distance as the moving distance of the shaft-mounted polishing brush 3. Only move up and down. That is, the shaft tip 3a of the polishing brush 3 with a shaft moves up and down integrally with the hole 711 for supporting a brush shaft while being rotatably supported by the hole 711 for supporting a brush shaft, and the polishing brush 3 with a shaft reciprocates. Even if it moves, the state of the rotation support continues.
【0033】上記の内周面加工時に、軸付研磨ブラシ3
と積層ガラスディスク90との間には、ここでは図示さ
れていない装置を用いて、研磨剤を混合したスラリーが
適時供給される。そのスラリーは、ワーク収納ボックス
23から下方のブラシ用孔235に流出し、ドレンカバ
ー65a,65bで外部への飛散を防止されつつ落下
し、ホースジョイント66に接続したホース(図示省
略)から排出される。また、軸先端3aに沿ってブラシ
軸支持用孔711に入ったスラリーは、ドレン用孔71
2…から流出し、同様にドレンカバー65a,65bで
外部への飛散を防止されつつ落下していく。At the time of processing the inner peripheral surface, the polishing brush 3
A slurry in which an abrasive is mixed is supplied as needed between the and the laminated glass disk 90 using an apparatus not shown here. The slurry flows out of the work storage box 23 into the lower brush hole 235, falls while being prevented from being scattered outside by the drain covers 65a and 65b, and is discharged from a hose (not shown) connected to the hose joint 66. You. Further, the slurry that has entered the brush shaft support hole 711 along the shaft tip 3 a is drained by the drain hole 71.
2 and similarly fall while being prevented from scattering to the outside by the drain covers 65a and 65b.
【0034】以上述べたように、この実施形態では、積
層ガラスディスク90の内周面加工を、軸付研磨ブラシ
3の軸先端3aを回転自在に支持しつつ行うようにした
ので、軸先端3aの振れを防止でき、したがって、高精
度で内周面加工を行うことができる。また、積層ガラス
ディスク90の上部、中部、下部での各部位の研磨も均
等に行うことができ、したがって、各ガラスディスク9
の内径寸法もほぼ均等に仕上がり、ディスク間の同心度
のバラツキも非常に小さく抑えることができる。As described above, in this embodiment, the inner peripheral surface of the laminated glass disk 90 is processed while the shaft tip 3a of the shaft-mounted polishing brush 3 is rotatably supported. And the inner peripheral surface can be machined with high accuracy. In addition, the polishing of the respective portions at the upper, middle and lower portions of the laminated glass disk 90 can be performed uniformly, so that each glass disk 9
The inner diameter of the disks is almost evenly finished, and the variation in concentricity between the disks can be kept very small.
【0035】また、軸先端3aを支持する回転支持体7
0を、軸先端3aとともに連れ回るように構成したの
で、軸先端3aの摩耗を抑制でき、軸先端3aの寸法精
度も長期間にわたって高精度に保つことができる。また
軸先端3aと回転支持体70との間の摩擦はほとんど発
生せず、したがって、電力消費を低く抑えることができ
る。A rotary support 7 for supporting the shaft tip 3a
Since the shaft 0 is configured to rotate together with the shaft tip 3a, the wear of the shaft tip 3a can be suppressed, and the dimensional accuracy of the shaft tip 3a can be kept high over a long period of time. Also, almost no friction occurs between the shaft tip 3a and the rotary support 70, and therefore, power consumption can be reduced.
【0036】さらに、軸付研磨ブラシ3を回転とともに
往復動させて内周面加工を行うので、短時間で所定の仕
上げ精度まで研磨でき、加工効率を向上させることがで
き、またその場合でも、軸先端3aの回転支持をその往
復動に合わせて常時継続して行うように構成したので、
上記の軸先端支持に伴う加工精度の向上を維持しつつ、
往復動による加工効率の向上を発揮させることができ
る。Furthermore, since the inner peripheral surface is processed by reciprocating the shaft-equipped polishing brush 3 together with the rotation, it can be polished to a predetermined finishing accuracy in a short time, and the processing efficiency can be improved. Since the rotation support of the shaft tip 3a is always performed continuously in accordance with the reciprocation,
While maintaining the improvement in machining accuracy associated with the shaft tip support described above,
The improvement of processing efficiency by reciprocating motion can be exhibited.
【0037】また、積層ガラスディスク90と軸付研磨
ブラシ3とを互いに逆方向に回転っせつつ、内周面加工
を行うので、この点からも、加工効率を向上させること
ができる。Further, since the inner peripheral surface is processed while rotating the laminated glass disk 90 and the polishing brush 3 with the shaft in directions opposite to each other, the processing efficiency can be improved also from this point.
【0038】また、無数本のブラシ毛を持つ軸付研磨ブ
ラシ3で研磨するようにしたので、個々のガラスディス
ク9の内周面全域にブラシ毛が入り込み、積層状態であ
っても、均一かつ高精度に内周面加工を行うことができ
る。Further, since the polishing is performed with the polishing brush 3 having a number of brush bristles having a number of brush bristles, the brush bristles enter the entire inner peripheral surface of each glass disk 9 and are uniform and even in a laminated state. The inner peripheral surface can be processed with high accuracy.
【0039】さらに、ガラスディスク9の内周面にはブ
ラシ毛が接触するので、比較的割れやすいガラスディス
クではあっても、ほとんど破損することはなく、不良率
も大幅に低減でき、それだけ歩留まりを向上させること
ができる。Furthermore, since the brush hairs come into contact with the inner peripheral surface of the glass disk 9, even if the glass disk is relatively fragile, it is hardly damaged, the defect rate can be greatly reduced, and the yield can be reduced accordingly. Can be improved.
【0040】[0040]
【発明の効果】この発明は上記した構成からなるので、
以下に説明するような効果を奏することができる。Since the present invention has the above-described configuration,
The following effects can be obtained.
【0041】請求項1に記載の発明では、積層ガラスデ
ィスクの内周面加工を、軸付研磨ブラシの軸先端を回転
自在に支持しつつ行うようにしたので、軸先端の振れを
防止でき、したがって、高精度で内周面加工を行うこと
ができる。また、積層ガラスディスクの上部、中部、下
部での各部位の研磨も均等に行うことができ、したがっ
て、各ガラスディスク9内径寸法もほぼ均等に仕上が
り、ディスク間の同心度のバラツキも非常に小さく抑え
ることができる。According to the first aspect of the present invention, the inner peripheral surface of the laminated glass disk is processed while the shaft end of the shaft-mounted polishing brush is rotatably supported. Therefore, the inner peripheral surface can be processed with high accuracy. In addition, the upper, middle and lower portions of the laminated glass disk can be polished uniformly, so that the inner diameter of each glass disk 9 can be almost evenly finished, and the concentricity between the disks is very small. Can be suppressed.
【0042】また、請求項2に記載の発明では、軸先端
を支持する回転支持体を、軸先端とともに連れ回るよう
に構成したので、軸先端の摩耗を抑制でき、軸先端の寸
法精度も長期間にわたって高精度に保つことができる。
また軸先端と回転支持体との間の摩擦はほとんど発生せ
ず、したがって、電力消費増加を低く抑えることができ
る。According to the second aspect of the present invention, since the rotating support for supporting the shaft tip is configured to rotate with the shaft tip, wear of the shaft tip can be suppressed, and the dimensional accuracy of the shaft tip is long. High accuracy can be maintained over the period.
Also, almost no friction occurs between the shaft tip and the rotary support, so that an increase in power consumption can be suppressed.
【0043】さらに、請求項3に記載の発明では、軸付
研磨ブラシを回転とともに往復動させて内周面加工を行
うので、短時間で所定の仕上げ精度まで研磨でき、加工
効率を向上させることができ、またその場合でも、軸先
端の回転支持をその往復動に合わせて常時継続して行う
ように構成したので、軸先端支持に伴う加工精度の向上
を維持しつつ、往復動による加工効率の向上を発揮させ
ることができる。Further, in the invention according to claim 3, since the inner peripheral surface is processed by reciprocating the polishing brush with the shaft together with the rotation, the polishing can be performed to a predetermined finishing accuracy in a short time, and the processing efficiency is improved. Even in such a case, the rotation of the shaft tip is supported continuously in accordance with the reciprocating motion, so the machining efficiency by reciprocating motion is maintained while maintaining the improvement of machining accuracy accompanying the shaft tip support. Can be improved.
【0044】また、請求項4に記載の発明では、積層ガ
ラスディスクと軸付研磨ブラシとを互いに逆方向に回転
っせつつ、内周面加工を行うので、この点からも、加工
効率を向上させることができる。According to the fourth aspect of the present invention, since the inner peripheral surface is processed while rotating the laminated glass disk and the polishing brush with the shaft in directions opposite to each other, the processing efficiency is also improved from this point. Can be done.
【図1】この発明のガラスディスク内周研磨装置の正面
図である。FIG. 1 is a front view of a glass disk inner peripheral polishing apparatus according to the present invention.
【図2】この発明のガラスディスク内周研磨装置の側面
図である。FIG. 2 is a side view of the glass disk inner peripheral polishing apparatus of the present invention.
【図3】図2の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2;
【図4】ワークセッティング部及びブラシ先端支持部を
詳細に示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a work setting section and a brush tip support section in detail.
【図5】ブラシ先端支持部の部分拡大図である。FIG. 5 is a partially enlarged view of a brush tip support portion.
1 ガラスディスク内周研磨装置 1A 架台 1B ワーク用基台 10 ベース面 2 ワークセッティング部 21 ベース台 21a ベアリング 22 回転駆動体 221 リングギヤ 222 モータ 223 ギヤ 23 ワーク収納ボックス 231 押止部材 232 ボルト 233 ボルト 235 ブラシ用孔 25 先端支持部用孔 3 軸付研磨ブラシ 3a 軸先端 4 ブラシ回転駆動部 41 モータ 42 駆動ベルト 43 ブラシ駆動体 5 ブラシ積層方向駆動部 51 サーボモータ 52 ボールネジ 52a 雄ねじ 52b 移動体 54 ガイド片 55 ガイドレール 56 直進移動板 57 支持軸 58 作動板 58a ピストン用孔 6 ブラシ先端支持部 60 支持プレート 60a 膨設部分 60b 水平基板部分 601 通孔 61 ガイド片 62 ガイドレール 63 ストッパ 64 基底部 64a コア体 64b 外環体 65a ドレンカバー 65b ドレンカバー 66 ホースジョイント 67 ベアリングホルダ 671 凹陥部 68 ベアリングハウジング 68a,68b ボールベアリング 681 孔 70 回転支持体 71 ブラシ軸支持体 711 ブラシ軸支持用孔 712 ドレン用孔 72 介設部材 72a 円柱部分 75 エアシリンダ 75a シリンダ 75b ピストン 9 ガラスディスク 9a 内周面 90 積層ガラスディスク 90a 内周面 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Glass disk inner periphery grinding | polishing apparatus 1A gantry 1B Work base 10 Base surface 2 Work setting part 21 Base stand 21a Bearing 22 Rotation drive 221 Ring gear 222 Motor 223 Gear 23 Work storage box 231 Pressing member 232 Bolt 233 Bolt 235 Brush Hole 25 Tip support hole 3 Shaft-equipped polishing brush 3a Shaft tip 4 Brush rotation drive 41 Motor 42 Drive belt 43 Brush drive 5 Brush stacking direction drive 51 Servo motor 52 Ball screw 52a Male screw 52b Moving body 54 Guide piece 55 Guide rail 56 Straight moving plate 57 Support shaft 58 Operating plate 58a Piston hole 6 Brush tip support 60 Support plate 60a Expanding portion 60b Horizontal board portion 601 Through hole 61 Guide piece 62 Guide rail 63 Upper 64 Base 64a Core 64b Outer ring 65a Drain cover 65b Drain cover 66 Hose joint 67 Bearing holder 671 Depressed portion 68 Bearing housing 68a, 68b Ball bearing 681 Hole 70 Rotary support 71 Brush shaft support 711 Brush shaft support Hole 712 Drain hole 72 Intermediate member 72a Column 75 Air cylinder 75a Cylinder 75b Piston 9 Glass disk 9a Inner peripheral surface 90 Laminated glass disk 90a Inner peripheral surface
Claims (4)
ィスクの内周面を研磨するガラスディスク内周研磨装置
において、 上記ガラスディスクを積層してセッティングするワーク
セッティング部と、 軸回りに多数のブラシ毛を持つ軸付研磨ブラシと、 上記軸付研磨ブラシをその軸回りに回転させるブラシ回
転駆動部と、 上記軸付研磨ブラシを積層方向に移動させて上記積層ガ
ラスディスクの中心孔に出入自在とするブラシ積層方向
駆動部と、 上記ブラシ積層方向駆動部によって軸付研磨ブラシを積
層方向一端から積層ガラスディスクの中心孔に挿入した
ときの、積層方向他端から突出した軸先端を回転自在に
支持するブラシ先端支持部と、 を有し、 上記軸付研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に挿
入し、かつその軸先端を支持した状態で、軸付研磨ブラ
シを回転させて積層ガラスディスクの内周面を研磨する
ようにした、 ことを特徴とするガラスディスク内周研磨装置。1. A glass disk inner peripheral polishing apparatus for polishing an inner peripheral surface of a glass disk having a center hole in the shape of a donut disk, a work setting section for laminating and setting the glass disks, and a number of brushes around an axis. A polishing brush with a shaft having hairs, a brush rotation driving unit for rotating the polishing brush with a shaft around its axis, and a polishing brush with a shaft which is moved in the laminating direction so as to be able to enter and exit the center hole of the laminated glass disk. A brush stacking direction drive unit, and a shaft tip protruding from the other end in the stacking direction when the polishing brush with a shaft is inserted into the center hole of the laminated glass disc from one end in the stacking direction by the brush stacking direction drive unit. And a brush tip supporting portion, wherein the polishing brush with a shaft is inserted into the center hole of the laminated glass disk, and the shaft tip is supported. State in and adapted to polish the inner circumferential surface of the laminated glass disk rotates the polishing brush with axial, glass disc inner edge polishing apparatus characterized by.
ブラシの軸先端を支持しかつ軸先端の回転とともに自由
に回転する回転支持体を有することを特徴とする請求項
1に記載のガラスディスク内周研磨装置。2. The glass according to claim 1, wherein the brush tip support portion has a rotating support that supports the tip of the shaft of the shaft-equipped polishing brush and freely rotates with the rotation of the tip of the shaft. Disk inner circumference polishing device.
研磨ブラシを積層ガラスディスクの中心孔に入れた状態
でさらに積層方向に往復動させ、 上記ブラシ先端支持部は、上記軸付研磨ブラシの往復動
に同期して軸先端と一体に往復動する、 ことを特徴とする請求項1または2に記載のガラスディ
スク内周研磨装置。3. The brush laminating direction drive section further reciprocates in the laminating direction with the shaft-mounted polishing brush inserted into the center hole of the laminated glass disk, and the brush tip support section includes the shaft-mounted polishing brush. 3. The glass disk inner peripheral polishing apparatus according to claim 1, wherein the apparatus reciprocates integrally with the tip of the shaft in synchronization with the reciprocation of the glass disk. 4.
ィスクを積層してセッティングするとともに、その積層
ガラスディスクを、軸付研磨ブラシの回転方向とは逆方
向に回転させる、ことを特徴とする請求項1から3の何
れかに記載のガラスディスク内周研磨装置。4. The work setting unit according to claim 1, wherein the work setting unit sets and stacks the glass disks, and rotates the laminated glass disks in a direction opposite to a rotation direction of the polishing brush with a shaft. 4. The inner peripheral polishing device for a glass disk according to any one of items 1 to 3.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25365498A JP3413362B2 (en) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | Glass disk inner circumference polishing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP25365498A JP3413362B2 (en) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | Glass disk inner circumference polishing device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2000084828A true JP2000084828A (en) | 2000-03-28 |
JP3413362B2 JP3413362B2 (en) | 2003-06-03 |
Family
ID=17254340
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP25365498A Expired - Lifetime JP3413362B2 (en) | 1998-09-08 | 1998-09-08 | Glass disk inner circumference polishing device |
Country Status (1)
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JP (1) | JP3413362B2 (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088322A (en) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | Brush polishing method for inner peripheral end face of substrate for recording medium |
US7959492B2 (en) | 2006-09-11 | 2011-06-14 | Showa Denko K.K. | Disk-shaped substrate inner circumference polishing method |
CN104209832A (en) * | 2014-08-13 | 2014-12-17 | 东莞市力华机械设备有限公司 | Full-automatic weld seam polishing machine |
CN105364692A (en) * | 2015-11-13 | 2016-03-02 | 宁波星箭航天机械有限公司 | Automatic polishing device for spherical joints |
KR20220160206A (en) * | 2021-05-27 | 2022-12-06 | 주식회사 올니스 | Variable Internal Diameter Machining Unit |
-
1998
- 1998-09-08 JP JP25365498A patent/JP3413362B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006088322A (en) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Showa Denko Kk | Brush polishing method for inner peripheral end face of substrate for recording medium |
JP4508982B2 (en) * | 2004-08-26 | 2010-07-21 | 昭和電工株式会社 | Brush polishing method for inner peripheral end face of substrate for recording medium |
US7959492B2 (en) | 2006-09-11 | 2011-06-14 | Showa Denko K.K. | Disk-shaped substrate inner circumference polishing method |
CN104209832A (en) * | 2014-08-13 | 2014-12-17 | 东莞市力华机械设备有限公司 | Full-automatic weld seam polishing machine |
CN105364692A (en) * | 2015-11-13 | 2016-03-02 | 宁波星箭航天机械有限公司 | Automatic polishing device for spherical joints |
KR20220160206A (en) * | 2021-05-27 | 2022-12-06 | 주식회사 올니스 | Variable Internal Diameter Machining Unit |
KR102521396B1 (en) * | 2021-05-27 | 2023-04-18 | 주식회사 올니스 | Variable Internal Diameter Machining Unit |
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