JP2000077737A - 圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ−タ - Google Patents
圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ−タInfo
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- JP2000077737A JP2000077737A JP25464298A JP25464298A JP2000077737A JP 2000077737 A JP2000077737 A JP 2000077737A JP 25464298 A JP25464298 A JP 25464298A JP 25464298 A JP25464298 A JP 25464298A JP 2000077737 A JP2000077737 A JP 2000077737A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造が容易な積層型の圧電変換素子及び圧電
変換素子の製造方法並びにその圧電変換素子を使用した
アクチエ−タを提供する。 【解決手段】 ２枚の薄板状の圧電素子１１及び１２の
表面にそれぞれ電極１１ａ及び１２ａを形成し、第１の
圧電素子１１の表面電極１１ａの上に第２の圧電素子１
２を積層し、この積層体を中軸１３に巻付けて筒状に構
成する。筒状に構成された圧電素子を焼成し、電極１１
ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の直流高電圧を
印加して分極させ、圧電変換素子１０が完成する。中軸
としては焼成済みの圧電セラミックスなどを使用するこ
とができる。
変換素子の製造方法並びにその圧電変換素子を使用した
アクチエ−タを提供する。 【解決手段】 ２枚の薄板状の圧電素子１１及び１２の
表面にそれぞれ電極１１ａ及び１２ａを形成し、第１の
圧電素子１１の表面電極１１ａの上に第２の圧電素子１
２を積層し、この積層体を中軸１３に巻付けて筒状に構
成する。筒状に構成された圧電素子を焼成し、電極１１
ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の直流高電圧を
印加して分極させ、圧電変換素子１０が完成する。中軸
としては焼成済みの圧電セラミックスなどを使用するこ
とができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、圧電変換素子及
びその製造方法、並びにその製造方法により製造された
圧電変換素子を使用したアクチエ−タに関する。
びその製造方法、並びにその製造方法により製造された
圧電変換素子を使用したアクチエ−タに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧電変換素子を使用したアクチエ−タ
は、供給される電気エネルギを駆動力に変換する変換効
率が高く、小型軽量でありながら発生する駆動力が大き
く、また、駆動力を容易に制御できるため、カメラ、計
測機器、その他の精密機械の被駆動部材の駆動や位置決
めに利用されるようになつてきた。
は、供給される電気エネルギを駆動力に変換する変換効
率が高く、小型軽量でありながら発生する駆動力が大き
く、また、駆動力を容易に制御できるため、カメラ、計
測機器、その他の精密機械の被駆動部材の駆動や位置決
めに利用されるようになつてきた。
【０００３】このようなアクチエ−タで使用される駆動
源である圧電変換素子には、単位の圧電素子を複数枚積
層して構成したものがある。これは、単位の圧電素子に
発生する厚み方向の変位をできるだけ大きくして取り出
すためである。
源である圧電変換素子には、単位の圧電素子を複数枚積
層して構成したものがある。これは、単位の圧電素子に
発生する厚み方向の変位をできるだけ大きくして取り出
すためである。
【０００４】図１１の（ａ）は、前記した単位の圧電素
子を複数枚積層して構成した圧電変換素子の構成の外観
を示す斜視図で、圧電変換素子１００は、厚さが１００
μｍ程度の単位の圧電素子１０１の表面に電極１０２を
設けてこれを複数枚積層して接着し、各単位の圧電素子
１０１の間の電極１０２を１枚置きに図１１の（ｂ）に
示すように結線１０３、１０４して正極及び負極とした
ものである。正極及び負極に電圧を印加するときは厚み
方向に伸縮して変位が発生するから、発生した変位を適
宜の手段で被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆
動や位置決めを行うことができる。
子を複数枚積層して構成した圧電変換素子の構成の外観
を示す斜視図で、圧電変換素子１００は、厚さが１００
μｍ程度の単位の圧電素子１０１の表面に電極１０２を
設けてこれを複数枚積層して接着し、各単位の圧電素子
１０１の間の電極１０２を１枚置きに図１１の（ｂ）に
示すように結線１０３、１０４して正極及び負極とした
ものである。正極及び負極に電圧を印加するときは厚み
方向に伸縮して変位が発生するから、発生した変位を適
宜の手段で被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆
動や位置決めを行うことができる。
【０００５】前記した、従来の単位の圧電素子を複数枚
積層して構成した圧電変換素子は、単位素子それぞれの
表面に電極を設ける工程、積層して接着する工程、各層
の電極を結線する工程という繁雑な作業を経て製造され
るので、コストの高いものであつた。
積層して構成した圧電変換素子は、単位素子それぞれの
表面に電極を設ける工程、積層して接着する工程、各層
の電極を結線する工程という繁雑な作業を経て製造され
るので、コストの高いものであつた。
【０００６】その他の形状の圧電変換素子としては、単
層の中空円筒状に形成した圧電変換素子がある。図１２
は単層の中空円筒状の圧電変換素子の構成の一例を示す
断面図で、単層の中空円筒状の圧電変換素子１１４の表
面には電極１１６及び電極１１７が形成されており、中
空円筒の内面には電極１１８が形成されている。
層の中空円筒状に形成した圧電変換素子がある。図１２
は単層の中空円筒状の圧電変換素子の構成の一例を示す
断面図で、単層の中空円筒状の圧電変換素子１１４の表
面には電極１１６及び電極１１７が形成されており、中
空円筒の内面には電極１１８が形成されている。
【０００７】中空円筒状の圧電変換素子１１４は、基台
１１１の左右に設けた支持部材１１２、１１３により支
持されており、中空円筒状の圧電変換素子１１４にはス
ライダ１１５が適当な摩擦力で摩擦結合している。な
お、１１３ａは圧電変換素子１１４の一端に嵌合する嵌
合部を備えたプラグで、プラグ１１３ａを支持部材１１
３にねじ込むことで、圧電変換素子１１４を基台１１１
に固定支持することができる。
１１１の左右に設けた支持部材１１２、１１３により支
持されており、中空円筒状の圧電変換素子１１４にはス
ライダ１１５が適当な摩擦力で摩擦結合している。な
お、１１３ａは圧電変換素子１１４の一端に嵌合する嵌
合部を備えたプラグで、プラグ１１３ａを支持部材１１
３にねじ込むことで、圧電変換素子１１４を基台１１１
に固定支持することができる。
【０００８】この構成において、電極１１６と電極１１
８で構成される第１電極部、電極１１７と電極１１８で
構成される第２電極部を、共に予め半径方向に同方向に
分極させておき、この状態で第１電極部及び第２電極部
に互いに逆極性の鋸歯状波パルスを印加すると、鋸歯状
波パルスの緩やかな立上り部分では、第１電極部では伸
び変位が、第２電極部では縮み変位が発生し、スライダ
１１５を矢印ａ方向に移動することができる。また、鋸
歯状波パルスの急速な立下り部分では、第１電極部では
急速な縮み変位が、第２電極部では急速な伸び変位が発
生するが、スライダ１１５は慣性により中空円筒状の圧
電素子１１４との間の摩擦結合に打ち勝つてその表面を
滑り移動しない。スライダ１１５の移動を適宜の手段で
被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆動や位置決
めを行うことができる。
８で構成される第１電極部、電極１１７と電極１１８で
構成される第２電極部を、共に予め半径方向に同方向に
分極させておき、この状態で第１電極部及び第２電極部
に互いに逆極性の鋸歯状波パルスを印加すると、鋸歯状
波パルスの緩やかな立上り部分では、第１電極部では伸
び変位が、第２電極部では縮み変位が発生し、スライダ
１１５を矢印ａ方向に移動することができる。また、鋸
歯状波パルスの急速な立下り部分では、第１電極部では
急速な縮み変位が、第２電極部では急速な伸び変位が発
生するが、スライダ１１５は慣性により中空円筒状の圧
電素子１１４との間の摩擦結合に打ち勝つてその表面を
滑り移動しない。スライダ１１５の移動を適宜の手段で
被駆動部材に伝達することで被駆動部材の駆動や位置決
めを行うことができる。
【０００９】中空円筒状の圧電変換素子は、比較的機械
的強度が高いという特徴があるにしても、発生する変位
を大きくするには電界強度を高める必要がある。従つ
て、圧電変換素子に印加する電圧に制約がある場合に
は、圧電変換素子の厚みを薄くして電界強度を高めなけ
ればならない。即ち、発生する変位を大きくしようとす
ると圧電変換素子の機械的強度が低下するという不都合
があつた。
的強度が高いという特徴があるにしても、発生する変位
を大きくするには電界強度を高める必要がある。従つ
て、圧電変換素子に印加する電圧に制約がある場合に
は、圧電変換素子の厚みを薄くして電界強度を高めなけ
ればならない。即ち、発生する変位を大きくしようとす
ると圧電変換素子の機械的強度が低下するという不都合
があつた。
【００１０】この対策として、電極が形成された薄板状
の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２の圧
電素子とを積層して構成した積層体を、筒状に巻き取る
ことにより形成された圧電変換素子が、本出願人により
提案されている（特願平１０−１１９９０１号参照）。
の第１の圧電素子と電極が形成された薄板状の第２の圧
電素子とを積層して構成した積層体を、筒状に巻き取る
ことにより形成された圧電変換素子が、本出願人により
提案されている（特願平１０−１１９９０１号参照）。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】しかし、電極が形成さ
れた２枚の薄板状の圧電素子を積層した積層体を中空筒
状に巻いた構成のものは、熱処理により圧電素子が変形
するなどの不都合があり、また、完成した圧電変換素子
をアクチエ−タの駆動軸などの機構部材に接着等により
固定する場合も、圧電変換素子の端部が中空筒であるた
め、十分な取付面積を得ることができず、安定した取り
付けが困難であるなどの不都合があつた。この発明は、
上記課題を解決することを目的とするものである。
れた２枚の薄板状の圧電素子を積層した積層体を中空筒
状に巻いた構成のものは、熱処理により圧電素子が変形
するなどの不都合があり、また、完成した圧電変換素子
をアクチエ−タの駆動軸などの機構部材に接着等により
固定する場合も、圧電変換素子の端部が中空筒であるた
め、十分な取付面積を得ることができず、安定した取り
付けが困難であるなどの不都合があつた。この発明は、
上記課題を解決することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明は上記課題を解
決するもので、請求項１の発明は、表面に電極が形成さ
れたＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分と
する圧電セラミックスからなる薄板状の圧電素子を、中
軸の回りに巻き付けて筒状に構成したことを特徴とする
圧電変換素子である。
決するもので、請求項１の発明は、表面に電極が形成さ
れたＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分と
する圧電セラミックスからなる薄板状の圧電素子を、中
軸の回りに巻き付けて筒状に構成したことを特徴とする
圧電変換素子である。
【００１３】そして、前記薄板状の圧電素子は、表面に
電極が形成された第１及び第２の圧電素子を積層した積
層体で構成するとよい。
電極が形成された第１及び第２の圧電素子を積層した積
層体で構成するとよい。
【００１４】また、前記中軸は、中空軸又は中実軸であ
り、前記第１及び第２の圧電素子と同一材料で形成され
た焼成済みの中軸とするとよい。また、高融点材料で形
成された中軸であつてもよい。
り、前記第１及び第２の圧電素子と同一材料で形成され
た焼成済みの中軸とするとよい。また、高融点材料で形
成された中軸であつてもよい。
【００１５】請求項６の発明は、薄板状に形成されたＰ
ＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3）を主成分とする圧
電セラミックスからなる第１及び第２の圧電素子の表面
に電極を形成する工程と、該第１の圧電素子の電極形成
面と第２の圧電素子の電極非形成面が対向するように積
層して中軸の回りに巻き付けて筒状体に形成する工程
と、形成した筒状体を所定の温度で焼成する工程と、焼
成した筒状体の電極間に所定の電圧を印加して分極させ
る工程とを含むことを特徴とする圧電変換素子の製造方
法である。
ＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3）を主成分とする圧
電セラミックスからなる第１及び第２の圧電素子の表面
に電極を形成する工程と、該第１の圧電素子の電極形成
面と第２の圧電素子の電極非形成面が対向するように積
層して中軸の回りに巻き付けて筒状体に形成する工程
と、形成した筒状体を所定の温度で焼成する工程と、焼
成した筒状体の電極間に所定の電圧を印加して分極させ
る工程とを含むことを特徴とする圧電変換素子の製造方
法である。
【００１６】請求項７の発明は、表面に電極が形成され
たＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とす
る圧電セラミックスからなる薄板状の圧電素子を中軸の
回りに巻き付けて筒状に構成した圧電変換素子と、前記
圧電変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記駆動
部材に摩擦結合した移動部材とを備え、前記圧電変換素
子に鋸歯状波駆動パルスを印加することにより生ずる伸
縮変位を圧電変換素子に固定された駆動部材に伝達して
速度の異なる往復振動を発生させ、駆動部材に摩擦結合
した移動部材を所定の方向に移動させることを特徴とす
る圧電変換素子を使用したアクチエ−タである。
たＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とす
る圧電セラミックスからなる薄板状の圧電素子を中軸の
回りに巻き付けて筒状に構成した圧電変換素子と、前記
圧電変換素子の一端に固定された駆動部材と、前記駆動
部材に摩擦結合した移動部材とを備え、前記圧電変換素
子に鋸歯状波駆動パルスを印加することにより生ずる伸
縮変位を圧電変換素子に固定された駆動部材に伝達して
速度の異なる往復振動を発生させ、駆動部材に摩擦結合
した移動部材を所定の方向に移動させることを特徴とす
る圧電変換素子を使用したアクチエ−タである。
【００１７】そして、前記駆動部材は、前記圧電変換素
子の中軸に固定するとよい。
子の中軸に固定するとよい。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を説
明する。
明する。
【００１９】図１乃至図３は、この発明の第１の実施の
形態の圧電変換素子の構成及び製造過程を説明する図
で、図１は圧電変換素子の外観を示す斜視図、図２は図
１に示す圧電変換素子の断面図、図３はその製造過程に
ある圧電変換素子の斜視図である。
形態の圧電変換素子の構成及び製造過程を説明する図
で、図１は圧電変換素子の外観を示す斜視図、図２は図
１に示す圧電変換素子の断面図、図３はその製造過程に
ある圧電変換素子の斜視図である。
【００２０】図１及び図２に示すように、圧電変換素子
１０は、表面にそれぞれ電極１１ａ及び１２ａが形成さ
れた薄板状の第１の圧電素子１１と第２の圧電素子１２
を、第１の圧電素子１１の電極形成面に第２の圧電素子
１２の電極非形成面を対向して積層し、この積層体を中
軸１３の回りに巻き付けて円筒状に構成したものであ
る。
１０は、表面にそれぞれ電極１１ａ及び１２ａが形成さ
れた薄板状の第１の圧電素子１１と第２の圧電素子１２
を、第１の圧電素子１１の電極形成面に第２の圧電素子
１２の電極非形成面を対向して積層し、この積層体を中
軸１３の回りに巻き付けて円筒状に構成したものであ
る。
【００２１】なお、図２では、中軸と巻き付けた圧電素
子の端部との間に空間があるが、これは説明のために圧
電素子の厚みを拡大して示してあるからであり、実際に
は圧電素子は後述するように厚みの極めて薄い薄板状で
あるから、中軸と巻き付けた圧電素子の端部との間には
殆ど空間はない。
子の端部との間に空間があるが、これは説明のために圧
電素子の厚みを拡大して示してあるからであり、実際に
は圧電素子は後述するように厚みの極めて薄い薄板状で
あるから、中軸と巻き付けた圧電素子の端部との間には
殆ど空間はない。
【００２２】図１に示すように、第１の圧電素子１１と
第２の圧電素子１２を積層するとき、下側に位置する第
１の圧電素子１１の素子の電極１１ａの端部を露出させ
るため、上側に位置する第２の圧電素子１２の端部には
切り欠き部１２ｂが形成されており、下側の素子１１の
電極１１ａにリ−ド線を接続することができるように構
成されている。
第２の圧電素子１２を積層するとき、下側に位置する第
１の圧電素子１１の素子の電極１１ａの端部を露出させ
るため、上側に位置する第２の圧電素子１２の端部には
切り欠き部１２ｂが形成されており、下側の素子１１の
電極１１ａにリ−ド線を接続することができるように構
成されている。
【００２３】次に、その製造工程を説明する。まず、圧
電素子１１及び１２の材料としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒ
Ｏ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電セラミックス
を使用する。このセラミックス粉体を溶剤、分散剤、バ
インダ、可塑剤等と混合し、ブレ−ド等を使用して均一
な平面に作成して一定の厚さ、例えば２０〜１００μｍ
の厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥すると、グ
リ−ンシ−トと呼ばれる柔軟性のあるシ−トを得ること
ができる。
電素子１１及び１２の材料としては、ＰＺＴ（ＰｂＺｒ
Ｏ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電セラミックス
を使用する。このセラミックス粉体を溶剤、分散剤、バ
インダ、可塑剤等と混合し、ブレ−ド等を使用して均一
な平面に作成して一定の厚さ、例えば２０〜１００μｍ
の厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥すると、グ
リ−ンシ−トと呼ばれる柔軟性のあるシ−トを得ること
ができる。
【００２４】次に、このグリ−ンシ−ト（圧電素子）の
表面に、スクリ−ン印刷等の手段で、ペ−スト状の電極
材料、例えばＰｔ系、Ａｇ−Ｐｄ系の電極材料を１〜数
μｍの厚さに印刷し、電極１１ａ及び１２ａを形成す
る。
表面に、スクリ−ン印刷等の手段で、ペ−スト状の電極
材料、例えばＰｔ系、Ａｇ−Ｐｄ系の電極材料を１〜数
μｍの厚さに印刷し、電極１１ａ及び１２ａを形成す
る。
【００２５】電極が印刷形成された圧電素子を所定の大
きさに切断し、電極１１ａが形成された第１の圧電素子
１１の上に電極１２ａが形成された第２の圧電素子１２
を積層して貼り合わせる。このとき、第１の圧電素子１
１の電極形成面の上に第２の圧電素子１２の電極非形成
面を対向して積層する。また、第２の圧電素子１２の隅
には切り欠き部１２ｂを形成しておく。
きさに切断し、電極１１ａが形成された第１の圧電素子
１１の上に電極１２ａが形成された第２の圧電素子１２
を積層して貼り合わせる。このとき、第１の圧電素子１
１の電極形成面の上に第２の圧電素子１２の電極非形成
面を対向して積層する。また、第２の圧電素子１２の隅
には切り欠き部１２ｂを形成しておく。
【００２６】次に、図３に示すように、焼成済みの圧電
セラミックス、例えばＰＺＴ主成分とする圧電セラミッ
クスの円筒を用意し、この円筒を中軸１３として先に積
層したシ−ト状の圧電素子１１及び１２を巻き付け、筒
状体に形成する。
セラミックス、例えばＰＺＴ主成分とする圧電セラミッ
クスの円筒を用意し、この円筒を中軸１３として先に積
層したシ−ト状の圧電素子１１及び１２を巻き付け、筒
状体に形成する。
【００２７】次に、前記筒状体を所定の温度条件で焼成
し、電極１１ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の
直流高電圧を印加して分極させると、圧電変換素子１０
が完成する。
し、電極１１ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の
直流高電圧を印加して分極させると、圧電変換素子１０
が完成する。
【００２８】焼成する温度条件は、例えば、図４に示す
ように、５時間程度かけて５００℃まで序々に温度を高
め、５００℃で一定時間焼成した後、最初から９時間後
に１２００℃まで序々に温度を高める。さらに、１２０
０℃で約０．３時間焼成した後、６時間程度かけて常温
まで冷却する。
ように、５時間程度かけて５００℃まで序々に温度を高
め、５００℃で一定時間焼成した後、最初から９時間後
に１２００℃まで序々に温度を高める。さらに、１２０
０℃で約０．３時間焼成した後、６時間程度かけて常温
まで冷却する。
【００２９】分極の方向はシ−ト状の圧電素子の厚み方
向とし、例えば、６０℃の環境において、電極１１ａ及
び１２ａの間に１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を２０分間印加
して分極させる。圧電素子を分極させることで、圧電素
子１１及び１２に円筒軸の方向に変位を発生させること
ができる。
向とし、例えば、６０℃の環境において、電極１１ａ及
び１２ａの間に１．５ｋＶ／ｍｍの電圧を２０分間印加
して分極させる。圧電素子を分極させることで、圧電素
子１１及び１２に円筒軸の方向に変位を発生させること
ができる。
【００３０】また、上記した中軸１３は、圧電セラミッ
クスの円筒に限られるものではなく、他のセラミックス
の円筒でもよく、また、炭素やモリブデン、タングステ
ンなど高融点材料の円筒を使用することもできる。
クスの円筒に限られるものではなく、他のセラミックス
の円筒でもよく、また、炭素やモリブデン、タングステ
ンなど高融点材料の円筒を使用することもできる。
【００３１】次に、上記した圧電変換素子を使用したア
クチエ−タの構成を、図５、図６及び図７を参照して説
明する。
クチエ−タの構成を、図５、図６及び図７を参照して説
明する。
【００３２】図５はアクチエ−タの構成を示す断面図で
ある。図５において、１４は基台、１５、１６、１７は
支持ブロツク、１８は駆動軸で、駆動軸１８は、圧電変
換素子１０に発生する軸方向の変位により軸方向（矢印
ａ方向、及びこれと反対方向）に変位可能に支持ブロツ
ク１６と支持ブロツク１７により移動自在に支持されて
いる。
ある。図５において、１４は基台、１５、１６、１７は
支持ブロツク、１８は駆動軸で、駆動軸１８は、圧電変
換素子１０に発生する軸方向の変位により軸方向（矢印
ａ方向、及びこれと反対方向）に変位可能に支持ブロツ
ク１６と支持ブロツク１７により移動自在に支持されて
いる。
【００３３】１０は、前記した製造方法により製造され
た筒状の圧電変換素子である。圧電変換素子１０の一端
は支持ブロツク１５に接着固定され、他端は駆動軸１８
の一端に接着固定される。
た筒状の圧電変換素子である。圧電変換素子１０の一端
は支持ブロツク１５に接着固定され、他端は駆動軸１８
の一端に接着固定される。
【００３４】なお、符号２４は緩やかな立上がり部と急
速な立下がり部、或いは急速な立上がり部と緩やかな立
下がり部を有する鋸歯状波パルスを発生する駆動パルス
発生回路を示し、駆動パルス発生回路２４は、圧電変換
素子１０の電極１１ａと１２ａとの間に駆動パルスを供
給し、圧電変換素子１０を駆動するものである。
速な立下がり部、或いは急速な立上がり部と緩やかな立
下がり部を有する鋸歯状波パルスを発生する駆動パルス
発生回路を示し、駆動パルス発生回路２４は、圧電変換
素子１０の電極１１ａと１２ａとの間に駆動パルスを供
給し、圧電変換素子１０を駆動するものである。
【００３５】図６は、圧電変換素子１０と駆動軸１８と
の接合部分の構成を示す断面図である。図に示すよう
に、駆動軸１８の中心の細径部分１８ａを中軸１３の内
側に嵌合し、駆動軸１８の端面と圧電変換素子１０の端
面とを接着剤１８ｂにより接合する。この構成により駆
動軸１８と圧電変換素子１０とは中軸１３を介して正確
な位置決めをした上で接合することができ、作業効率を
高めることができる。
の接合部分の構成を示す断面図である。図に示すよう
に、駆動軸１８の中心の細径部分１８ａを中軸１３の内
側に嵌合し、駆動軸１８の端面と圧電変換素子１０の端
面とを接着剤１８ｂにより接合する。この構成により駆
動軸１８と圧電変換素子１０とは中軸１３を介して正確
な位置決めをした上で接合することができ、作業効率を
高めることができる。
【００３６】１９はスライダで、スライダ１９と駆動軸
１８とは適当な摩擦力で摩擦結合している。図７は、ス
ライダ１９と駆動軸１８との摩擦結合部の構成を示す断
面図で、スライダ１９には駆動軸１８が貫通しており、
スライダ１９の駆動軸１８が貫通している下部には、開
口部１９ａが形成され、駆動軸１８の下半分が露出して
いる。また、この開口部１９ａには駆動軸１８の下半分
に当接するパツド２０が嵌挿され、パツド２０は板ばね
２１により押し上げられていて、駆動軸１８とスライダ
１９及びパツド２０は板ばね２１の付勢力Ｆにより圧接
され、適当な摩擦力で摩擦結合している。また、スライ
ダ１９には、図示しないテ−ブル等の被駆動部材が結合
されているものとする。
１８とは適当な摩擦力で摩擦結合している。図７は、ス
ライダ１９と駆動軸１８との摩擦結合部の構成を示す断
面図で、スライダ１９には駆動軸１８が貫通しており、
スライダ１９の駆動軸１８が貫通している下部には、開
口部１９ａが形成され、駆動軸１８の下半分が露出して
いる。また、この開口部１９ａには駆動軸１８の下半分
に当接するパツド２０が嵌挿され、パツド２０は板ばね
２１により押し上げられていて、駆動軸１８とスライダ
１９及びパツド２０は板ばね２１の付勢力Ｆにより圧接
され、適当な摩擦力で摩擦結合している。また、スライ
ダ１９には、図示しないテ−ブル等の被駆動部材が結合
されているものとする。
【００３７】その動作を説明する。圧電変換素子１０の
電極１１ａと１２ａを駆動パルス発生回路２４に接続
し、電極１１ａと１２ａの間に数１０ｋＨｚの鋸歯状波
駆動パルスを印加すると、圧電変換素子１０には軸方向
に伸縮変位が生じるので、圧電変換素子１０に結合した
駆動軸１８には軸方向に速度の異なる往復振動が発生す
る。これにより駆動軸１８に摩擦結合したスライダ１９
は、駆動軸１８上を滑りながら駆動軸の往復振動の非対
称性により速度の遅い振動方向に移動し、スライダに結
合されたテ−ブル等の被駆動部材を移動させることがで
きる。
電極１１ａと１２ａを駆動パルス発生回路２４に接続
し、電極１１ａと１２ａの間に数１０ｋＨｚの鋸歯状波
駆動パルスを印加すると、圧電変換素子１０には軸方向
に伸縮変位が生じるので、圧電変換素子１０に結合した
駆動軸１８には軸方向に速度の異なる往復振動が発生す
る。これにより駆動軸１８に摩擦結合したスライダ１９
は、駆動軸１８上を滑りながら駆動軸の往復振動の非対
称性により速度の遅い振動方向に移動し、スライダに結
合されたテ−ブル等の被駆動部材を移動させることがで
きる。
【００３８】以上説明した圧電変換素子は、ＰＺＴを主
成分とする圧電セラミックスを材料とした圧電素子の表
面に電極を形成し、この薄板状の第１の圧電素子及び第
２の圧電素子を中軸の回りに巻き付けて筒状に構成した
ものである。中軸があるため、圧電変換素子に発生する
変位量が影響を受けるか否かを実験により確かめたとこ
ろ、影響は小さいことが確かめられた。また、中軸は、
中実軸よりも中空軸のほうが影響を受けることが少ない
ことも確かめられた。
成分とする圧電セラミックスを材料とした圧電素子の表
面に電極を形成し、この薄板状の第１の圧電素子及び第
２の圧電素子を中軸の回りに巻き付けて筒状に構成した
ものである。中軸があるため、圧電変換素子に発生する
変位量が影響を受けるか否かを実験により確かめたとこ
ろ、影響は小さいことが確かめられた。また、中軸は、
中実軸よりも中空軸のほうが影響を受けることが少ない
ことも確かめられた。
【００３９】更に、圧電素子を積層して筒状に構成する
とき、中軸の回りに巻き付けることで、緩み無く巻上げ
ることができ、また、巻上げ作業を自動化しやすくな
る。
とき、中軸の回りに巻き付けることで、緩み無く巻上げ
ることができ、また、巻上げ作業を自動化しやすくな
る。
【００４０】さらに、中軸として焼成済みの圧電セラミ
ックスを使用するときは、焼成により圧電素子に発生す
る収縮を巻き締めに利用できるので、圧電素子積層体を
緩みの無い筒状に形成することができる。焼成作業の際
に中軸が無い場合は、圧電素子に発生する収縮のため、
焼成された圧電素子積層体に歪みが生じ、また、巻上げ
た積層体が緩んだり変形することが確かめられた。
ックスを使用するときは、焼成により圧電素子に発生す
る収縮を巻き締めに利用できるので、圧電素子積層体を
緩みの無い筒状に形成することができる。焼成作業の際
に中軸が無い場合は、圧電素子に発生する収縮のため、
焼成された圧電素子積層体に歪みが生じ、また、巻上げ
た積層体が緩んだり変形することが確かめられた。
【００４１】なお、中軸としては、上記した焼成済みの
圧電セラミックスや炭素やモリブデン、タングステンな
ど高融点材料の円筒のほか、１０００℃以下で蒸発する
材料の中軸を利用することもできるが、材料の選定によ
つては蒸発時の圧力により変形する可能性もある。１０
００℃以下で蒸発する材料としては、自然界に存在する
繊維材料が適当である。
圧電セラミックスや炭素やモリブデン、タングステンな
ど高融点材料の円筒のほか、１０００℃以下で蒸発する
材料の中軸を利用することもできるが、材料の選定によ
つては蒸発時の圧力により変形する可能性もある。１０
００℃以下で蒸発する材料としては、自然界に存在する
繊維材料が適当である。
【００４２】次に、圧電変換素子の第２の実施の形態に
ついて説明する。第２の実施の形態では、第１の実施の
形態で説明した圧電セラミックスを材料としたグリ−ン
シ−ト（圧電素子）の表面に電極を形成するとき、圧電
変換素子の仕上り形状である筒状体の軸方向両端部に電
極の無い絶縁部が形成されるように電極を形成したもの
である。
ついて説明する。第２の実施の形態では、第１の実施の
形態で説明した圧電セラミックスを材料としたグリ−ン
シ−ト（圧電素子）の表面に電極を形成するとき、圧電
変換素子の仕上り形状である筒状体の軸方向両端部に電
極の無い絶縁部が形成されるように電極を形成したもの
である。
【００４３】図８は、第２の実施の形態の圧電変換素子
の構成を示す斜視図であつて、第１の実施の形態の構成
と同一部分には同一符号を付してある。図８において、
第１の圧電素子１１と第２の圧電素子１２は、それぞれ
その表面に電極１１ａ及び１２ａが形成される。このと
き、シ−トを巻上げて筒状体を形成したとき、その筒状
体の軸方向両端部に電極の形成されていない絶縁部３
１、及び３２が形成されるように電極１１ａ及び１２ａ
を形成する。
の構成を示す斜視図であつて、第１の実施の形態の構成
と同一部分には同一符号を付してある。図８において、
第１の圧電素子１１と第２の圧電素子１２は、それぞれ
その表面に電極１１ａ及び１２ａが形成される。このと
き、シ−トを巻上げて筒状体を形成したとき、その筒状
体の軸方向両端部に電極の形成されていない絶縁部３
１、及び３２が形成されるように電極１１ａ及び１２ａ
を形成する。
【００４４】次に、上記のように電極が形成された第１
の圧電素子１１と第２の圧電素子１２を、第１の圧電素
子１１の電極形成面に第２の圧電素子１２の電極非形成
面を対向して積層し、この積層体を中軸１３の回りに巻
き付けて筒状に構成し、所定の温度条件で焼成し、電極
１１ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の直流高電
圧を印加して分極させ、圧電変換素子１０を完成する。
これ等の工程は、先に説明した第１の実施の形態の圧電
変換素子と変わらない。
の圧電素子１１と第２の圧電素子１２を、第１の圧電素
子１１の電極形成面に第２の圧電素子１２の電極非形成
面を対向して積層し、この積層体を中軸１３の回りに巻
き付けて筒状に構成し、所定の温度条件で焼成し、電極
１１ａ及び１２ａにリ−ド線を接続して所定の直流高電
圧を印加して分極させ、圧電変換素子１０を完成する。
これ等の工程は、先に説明した第１の実施の形態の圧電
変換素子と変わらない。
【００４５】また、圧電素子の材料も、第１の実施の形
態のものと同じくＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉ
Ｏ3 ）を主成分とする圧電セラミックスを使用する。
態のものと同じくＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉ
Ｏ3 ）を主成分とする圧電セラミックスを使用する。
【００４６】この構成の圧電変換素子は、筒状に形成さ
れた圧電変換素子の筒状端部に電極が露出しないから電
極が短絡するおそれが無く、電極短絡の防止のため端部
に絶縁材料を塗布して絶縁層を形成するなどの処理を必
要としない。
れた圧電変換素子の筒状端部に電極が露出しないから電
極が短絡するおそれが無く、電極短絡の防止のため端部
に絶縁材料を塗布して絶縁層を形成するなどの処理を必
要としない。
【００４７】次に、圧電変換素子の第３の実施の形態に
ついて説明する。第３の実施の形態は、圧電セラミック
スを材料とした圧電素子の表裏両面に電極を形成し、こ
の圧電素子を絶縁体シ−トと重ねて中軸に巻き付けて筒
状に構成したものである。
ついて説明する。第３の実施の形態は、圧電セラミック
スを材料とした圧電素子の表裏両面に電極を形成し、こ
の圧電素子を絶縁体シ−トと重ねて中軸に巻き付けて筒
状に構成したものである。
【００４８】図９及び図１０は第３の実施の形態の圧電
変換素子の構成を示すもので、図９は筒状に構成する前
の素子の斜視図、図１０は中軸の回りに巻き付けて筒状
に構成した状態を示す斜視図である。図９及び図１０に
おいて、４１は圧電セラミックスを材料とした圧電素
子、４２及び４３はそれぞれ圧電素子４２の表面及び裏
面に形成された電極を示す。また、４４は絶縁体シ−
ト、４５は中軸である。
変換素子の構成を示すもので、図９は筒状に構成する前
の素子の斜視図、図１０は中軸の回りに巻き付けて筒状
に構成した状態を示す斜視図である。図９及び図１０に
おいて、４１は圧電セラミックスを材料とした圧電素
子、４２及び４３はそれぞれ圧電素子４２の表面及び裏
面に形成された電極を示す。また、４４は絶縁体シ−
ト、４５は中軸である。
【００４９】その製造工程を説明する。まず、第１の実
施の形態と同じく、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ
3 ）を主成分とする圧電セラミックスの粉体を溶剤、分
散剤、バインダ、可塑剤等と混合し、ブレ−ド等を使用
して均一な平面に作成して一定の厚さ、例えば２０〜１
００μｍの厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥
し、グリ−ンシ−トと呼ばれる柔軟性のあるシ−トを得
る。
施の形態と同じく、ＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ
3 ）を主成分とする圧電セラミックスの粉体を溶剤、分
散剤、バインダ、可塑剤等と混合し、ブレ−ド等を使用
して均一な平面に作成して一定の厚さ、例えば２０〜１
００μｍの厚さに引き伸ばす。溶剤を蒸発させて乾燥
し、グリ−ンシ−トと呼ばれる柔軟性のあるシ−トを得
る。
【００５０】次に、このグリ−ンシ−ト（圧電素子）の
表裏両面に、スクリ−ン印刷等の手段で、ペ−スト状の
電極材料、例えばＰｔ系、Ａｇ−Ｐｄ系の電極材料を１
〜数μｍの厚さに印刷し、電極４２及び４３を形成す
る。
表裏両面に、スクリ−ン印刷等の手段で、ペ−スト状の
電極材料、例えばＰｔ系、Ａｇ−Ｐｄ系の電極材料を１
〜数μｍの厚さに印刷し、電極４２及び４３を形成す
る。
【００５１】電極４２、４３が印刷形成された圧電素子
４１を所定の大きさに切断し、裏面の電極４３の下側に
絶縁体シ−ト４４を配置して重ね合わせる。焼成済みの
圧電セラミックス、例えばＰＺＴ主成分とする圧電セラ
ミックスの円筒を用意し、この円筒を中軸４５として、
圧電素子４１及びこれに重ね合わせられた絶縁体シ−ト
４４を一体として巻き付け、筒状体に形成する。
４１を所定の大きさに切断し、裏面の電極４３の下側に
絶縁体シ−ト４４を配置して重ね合わせる。焼成済みの
圧電セラミックス、例えばＰＺＴ主成分とする圧電セラ
ミックスの円筒を用意し、この円筒を中軸４５として、
圧電素子４１及びこれに重ね合わせられた絶縁体シ−ト
４４を一体として巻き付け、筒状体に形成する。
【００５２】次に、前記筒状体を所定の温度条件で焼成
し、電極４２及び４３にリ−ド線を接続して所定の直流
高電圧を印加して分極させると、圧電変換素子４０が完
成する。
し、電極４２及び４３にリ−ド線を接続して所定の直流
高電圧を印加して分極させると、圧電変換素子４０が完
成する。
【００５３】第３の実施の形態の圧電変換素子は、圧電
素子４１の表裏両面に電極を形成するからグリ−ンシ−
トを２枚必要とせず、作業工程を簡略にできる。
素子４１の表裏両面に電極を形成するからグリ−ンシ−
トを２枚必要とせず、作業工程を簡略にできる。
【００５４】なお、第２及び第３の実施の形態の圧電変
換素子を使用したアクチエ−タは、第１の実施の形態の
圧電変換素子を使用したアクチエ−タと同様に構成する
ことができるので、ここでは説明を省略する。
換素子を使用したアクチエ−タは、第１の実施の形態の
圧電変換素子を使用したアクチエ−タと同様に構成する
ことができるので、ここでは説明を省略する。
【００５５】
【発明の効果】以上説明したとおり、請求項１の発明に
係る圧電変換素子は、電極が形成された薄板状の圧電素
子を中軸の回りに巻き付けて筒状に構成したことを特徴
とする圧電変換素子である。薄板状の圧電素子を中軸の
回りに巻き付けて筒状に構成することにより巻上げが容
易となり、特に、中軸として焼成済みの圧電セラミック
スなどを使用するときは、焼成時の圧電素子の収縮を巻
き締めに利用することができるから、巻上げ緩みが無く
なり、巻上げ作業の自動化も容易となる。
係る圧電変換素子は、電極が形成された薄板状の圧電素
子を中軸の回りに巻き付けて筒状に構成したことを特徴
とする圧電変換素子である。薄板状の圧電素子を中軸の
回りに巻き付けて筒状に構成することにより巻上げが容
易となり、特に、中軸として焼成済みの圧電セラミック
スなどを使用するときは、焼成時の圧電素子の収縮を巻
き締めに利用することができるから、巻上げ緩みが無く
なり、巻上げ作業の自動化も容易となる。
【００５６】また、この圧電変換素子を使用したアクチ
エ−タを製作する場合も、圧電変換素子と駆動軸とを接
着固定するときに、中軸を介して正確な位置決めがなさ
れた上で接着固定することができるので、十分な取付面
積を確保して安定して強固に接着できるばかりでなく、
接着作業を効率的に行うことができる。
エ−タを製作する場合も、圧電変換素子と駆動軸とを接
着固定するときに、中軸を介して正確な位置決めがなさ
れた上で接着固定することができるので、十分な取付面
積を確保して安定して強固に接着できるばかりでなく、
接着作業を効率的に行うことができる。
【００５７】また、請求項６の発明に係る圧電変換素子
の製造方法によれば、薄板状の圧電素子を緩み無く巻上
げることができ、巻上げ作業の自動化が可能で、圧電変
換素子の製造が容易となり、価格の安い圧電変換素子を
提供することができる。
の製造方法によれば、薄板状の圧電素子を緩み無く巻上
げることができ、巻上げ作業の自動化が可能で、圧電変
換素子の製造が容易となり、価格の安い圧電変換素子を
提供することができる。
【００５８】さらに、請求項７の発明に係る圧電変換素
子を使用したアクチエ−タは、圧電変換素子と駆動軸と
の接着固定部が、中軸を介して正確な位置決めされて強
固に接着固定されており、信頼性の高いアクチエ−タを
提供することができる。
子を使用したアクチエ−タは、圧電変換素子と駆動軸と
の接着固定部が、中軸を介して正確な位置決めされて強
固に接着固定されており、信頼性の高いアクチエ−タを
提供することができる。
【図１】第１の実施の形態の圧電変換素子の外観を示す
斜視図。
斜視図。
【図２】図１に示す圧電変換素子の断面図。
【図３】図１に示す圧電変換素子の製造過程を示す斜視
図。
図。
【図４】圧電変換素子の焼成温度条件の一例を示す図。
【図５】圧電変換素子を使用したアクチエ−タの構成を
示す断面図。
示す断面図。
【図６】圧電変換素子と駆動軸との接合部分の構成を示
す断面図。
す断面図。
【図７】アクチエ−タのスライダと駆動軸との摩擦結合
部の構成を示す断面図。
部の構成を示す断面図。
【図８】第２の実施の形態の圧電変換素子の構成を示す
斜視図。
斜視図。
【図９】第３の実施の形態の圧電変換素子の筒状に構成
する前の斜視図。
する前の斜視図。
【図１０】第３の実施の形態の圧電変換素子の筒状に構
成された状態の斜視図。
成された状態の斜視図。
【図１１】従来の単位素子を複数枚積層した圧電変換素
子の構成を説明する図。
子の構成を説明する図。
【図１２】従来の単層の中空円筒状の圧電変換素子の構
成の一例を示す断面図。
成の一例を示す断面図。
１０ 圧電変換素子 １１、１２ 圧電素子 １１ａ、１２ａ 電極 １３ 中軸 １４ 基台 １５、１６、１７ 支持ブロツク １８ 駆動軸 １８ａ （駆動軸の）細径部分 １８ｂ 接着剤 １９ スライダ ２０ パッド ３１、３２ 絶縁部 ４０ 圧電変換素子 ４１ 圧電素子 ４２、４３ 電極 ４４ 絶縁体シ−ト ４５ 中軸
Claims (8)
- 【請求項１】 表面に電極が形成されたＰＺＴ（ＰｂＺ
ｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電セラミック
スからなる薄板状の圧電素子を、中軸の回りに巻き付け
て筒状に構成したことを特徴とする圧電変換素子。 - 【請求項２】 前記薄板状の圧電素子は、表面に電極が
形成された第１及び第２の圧電素子を積層した積層体で
あることを特徴とする請求項１記載の圧電変換素子。 - 【請求項３】 前記中軸は、中空軸又は中実軸であるこ
とを特徴とする請求項１記載の圧電変換素子。 - 【請求項４】 前記中軸は、前記第１及び第２の圧電素
子と同一材料で形成された焼成済みの中軸であることを
特徴とする請求項１記載の圧電変換素子。 - 【請求項５】 前記中軸は、高融点材料で形成された中
軸であることを特徴とする請求項１記載の圧電変換素
子。 - 【請求項６】 薄板状に形成されたＰＺＴ（ＰｂＺｒＯ
3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電セラミックスか
らなる第１及び第２の圧電素子の表面に電極を形成する
工程と、 該第１の圧電素子の電極形成面と第２の圧電素子の電極
非形成面が対向するように積層して中軸の回りに巻き付
けて筒状体に形成する工程と、 形成した筒状体を所定の温度で焼成する工程と、 焼成した筒状体の電極間に所定の電圧を印加して分極さ
せる工程とを含むことを特徴とする圧電変換素子の製造
方法。 - 【請求項７】 表面に電極が形成されたＰＺＴ（ＰｂＺ
ｒＯ3 ・ＰｂＴｉＯ3 ）を主成分とする圧電セラミック
スからなる薄板状の圧電素子を中軸の回りに巻き付けて
筒状に構成した圧電変換素子と、 前記圧電変換素子の一端に固定された駆動部材と、 前記駆動部材に摩擦結合した移動部材とを備え、 前記圧電変換素子に鋸歯状波駆動パルスを印加すること
により生ずる伸縮変位を圧電変換素子に固定された駆動
部材に伝達して速度の異なる往復振動を発生させ、駆動
部材に摩擦結合した移動部材を所定の方向に移動させる
ことを特徴とする圧電変換素子を使用したアクチエ−
タ。 - 【請求項８】 前記駆動部材は、前記圧電変換素子の中
軸に固定されることを特徴とする請求項７記載の圧電変
換素子を使用したアクチエ−タ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25464298A JP2000077737A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ−タ |
| US09/377,836 US6278222B1 (en) | 1998-08-26 | 1999-08-20 | Piezoelectric element, piezoelectric element manufacturing method and actuator using piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25464298A JP2000077737A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ−タ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000077737A true JP2000077737A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17267865
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25464298A Pending JP2000077737A (ja) | 1998-08-26 | 1998-08-26 | 圧電変換素子及びその製造方法並びに圧電変換素子を使用したアクチエ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000077737A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003052182A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP4878345B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2012-02-15 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的な機能ユニット及びその製造方法 |
| KR101327299B1 (ko) | 2012-01-26 | 2013-11-11 | 한국과학기술원 | 고전력 밀도를 가지는 에너지 수확 소자 및 그 제조 방법 |
| JP2022518058A (ja) * | 2019-01-25 | 2022-03-11 | フィジック インストゥルメント（ピーアイ）ゲーエムベーハー アンド ツェーオー．カーゲー | 電気機械式リニアドライブ |
-
1998
- 1998-08-26 JP JP25464298A patent/JP2000077737A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003052182A (ja) * | 2001-08-03 | 2003-02-21 | Nec Tokin Corp | 圧電アクチュエータ及びその製造方法 |
| JP4878345B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2012-02-15 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電気的な機能ユニット及びその製造方法 |
| US8956485B2 (en) | 2004-04-26 | 2015-02-17 | Epcos Ag | Electric functional unit and method for the production thereof |
| KR101327299B1 (ko) | 2012-01-26 | 2013-11-11 | 한국과학기술원 | 고전력 밀도를 가지는 에너지 수확 소자 및 그 제조 방법 |
| JP2022518058A (ja) * | 2019-01-25 | 2022-03-11 | フィジック インストゥルメント（ピーアイ）ゲーエムベーハー アンド ツェーオー．カーゲー | 電気機械式リニアドライブ |
| US11716035B2 (en) | 2019-01-25 | 2023-08-01 | Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg | Electromechanical linear drive with transmission element |
| JP7373574B2 (ja) | 2019-01-25 | 2023-11-02 | フィジック インストゥルメント（ピーアイ）ゲーエムベーハー アンド ツェーオー．カーゲー | 電気機械式リニアドライブ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050613 |