JP2000075482A - Alkali developable photosensitive composition and formation of hardened coating using same - Google Patents
Alkali developable photosensitive composition and formation of hardened coating using sameInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、無溶剤でアルカリ
現像型の感光性組成物及びそれを用いた硬化皮膜形成方
法に関する。The present invention relates to a solvent-free, alkali-developable photosensitive composition and a method for forming a cured film using the same.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在、プリント配線板の製造において永
久皮膜に用いられるレジスト材料には、液状感光性組成
物が広く用いられている。またその現像は、環境問題へ
の配慮から、希アルカリ水溶液を用いるアルカリ現像タ
イプが主流になっている。そして、このような希アルカ
リ水溶液を用いるアルカリ現像タイプのレジストとして
は、例えば特開昭61−243869号公報に、ノボラ
ック型エポキシ化合物と不飽和一塩基酸の付加物に酸無
水物を付加した感光性樹脂、光重合開始剤、希釈剤及び
エポキシ化合物からなる液状組成物が開示されている。2. Description of the Related Art At present, a liquid photosensitive composition is widely used as a resist material used for a permanent film in the manufacture of a printed wiring board. For the development, an alkaline development type using a dilute alkaline aqueous solution is mainly used in consideration of environmental problems. As such an alkali developing type resist using a dilute alkali aqueous solution, for example, JP-A-61-243869 discloses a photosensitive composition obtained by adding an acid anhydride to an adduct of a novolak type epoxy compound and an unsaturated monobasic acid. A liquid composition comprising a hydrophilic resin, a photopolymerization initiator, a diluent, and an epoxy compound is disclosed.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】現在市販されているプ
リント配線板製造に用いられる液状アルカリ現像型フォ
トレジストのほとんどが、塗布後、乾燥して得られるタ
ックフリーの塗膜にネガフィルムを接触させ、露光を行
う接触露光タイプである。このタイプのレジストは、塗
布時に液状であるためプリント配線板の回路や穴への追
随性に優れ、かつ、乾燥後ネガフィルムを接触させて露
光し、パターン形成するため、解像性に優れている。さ
らには、光反応における酸素による反応阻害も防止でき
る方法である。しかしながら、この方法では、数分間と
いう乾燥の工程が必要であり、かつ、乾燥時に大量の有
機溶剤を大気中に放出するため、生産性、作業性を低下
させると共に、作業環境や地球環境を悪化させるという
問題がある。Most of the liquid alkali-developable photoresists currently used in the production of printed wiring boards that are currently on the market are coated with a negative film by applying a tack-free coating obtained by drying. And a contact exposure type for performing exposure. This type of resist is liquid at the time of application, so it has excellent followability to circuits and holes in printed wiring boards, and after drying, it is exposed by contacting a negative film to form a pattern, so it has excellent resolution. I have. Furthermore, this is a method that can also prevent reaction inhibition due to oxygen in the photoreaction. However, this method requires a drying step of several minutes, and releases a large amount of organic solvent into the atmosphere during drying, thus lowering productivity and workability and deteriorating the work environment and the global environment. There is a problem of causing.
【0004】一方、このような問題を解決できる方法と
して、希釈剤として有機溶剤ではなく液状の光重合性モ
ノマーを用いる非接触露光タイプや、支持フィルムに感
光性組成物層を形成したドライフィルム法が挙げられる
が、非接触露光タイプでは解像性が劣ること、さらには
回路上の貫通穴からの液のだれ込み等の問題がある。一
方、ドライフィルム法では回路の凹凸や穴への追随性が
接触露光法に比べて劣るという問題がある。On the other hand, as methods for solving such problems, there are a non-contact exposure type using a liquid photopolymerizable monomer instead of an organic solvent as a diluent, and a dry film method in which a photosensitive composition layer is formed on a support film. However, the non-contact exposure type has a problem that the resolution is inferior, and there is a problem that the liquid drips from a through hole on a circuit. On the other hand, the dry film method has a problem that the followability to irregularities and holes in the circuit is inferior to the contact exposure method.
【0005】従って、本発明の目的は、前記したような
従来の液状感光性組成物使用及び接触露光の利点を保持
しつつ、タックフリーの塗膜形成に従来のような乾燥工
程が不要な無溶剤タイプであり、かつ二段階露光によっ
てタックフリーの塗膜の形成と耐熱性、耐薬品性、基材
に対する密着性、電気絶縁性等の諸特性に優れたパター
ン状の硬化皮膜の形成を行なうことができる作業性、解
像性に優れたアルカリ現像型の感光性組成物を提供する
ことにある。さらに本発明の目的は、このような感光性
組成物を用いて、例えばプリント配線板のソルダーレジ
スト、エッチングレジストなど、所定のパターンの耐熱
性、電気絶縁性等の諸特性に優れた硬化皮膜を、作業環
境を悪化させることなく量産性良く形成できる方法を提
供することにある。Accordingly, it is an object of the present invention to provide a tack-free coating film which does not require a conventional drying step, while maintaining the advantages of the conventional liquid photosensitive composition and contact exposure as described above. Solvent-type, two-step exposure to form tack-free coatings and to form patterned cured coatings with excellent properties such as heat resistance, chemical resistance, adhesion to substrates, and electrical insulation. An object of the present invention is to provide an alkali-developable photosensitive composition having excellent workability and resolution. Further, the object of the present invention is to use such a photosensitive composition, for example, a solder resist of a printed wiring board, such as an etching resist, heat resistance of a predetermined pattern, a cured film excellent in various properties such as electrical insulation. Another object of the present invention is to provide a method that can be formed with good mass productivity without deteriorating the working environment.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の一つの側面によれば、無溶剤のアルカリ現
像型感光性組成物が提供され、その第一の態様は、
(A)1分子内に1つのエチレン性不飽和結合と1つ以
上のカルボキシル基を有する室温で液状の光重合性化合
物、(B)下記一般式(1)で表わされる化合物、及び
(C)上記化合物(B)を励起する吸収波長の最長波長
よりも長波長側の波長の活性エネルギー線に感応して上
記光重合性化合物(A)のラジカル重合を開始させるこ
とができる光ラジカル重合開始剤又は増感剤と光ラジカ
ル重合開始剤の混合物を含有することを特徴としてい
る。According to one aspect of the present invention, there is provided a solvent-free, alkali-developable photosensitive composition according to one aspect of the present invention.
(A) a room temperature liquid polymerizable compound having one ethylenically unsaturated bond and one or more carboxyl groups in one molecule, (B) a compound represented by the following general formula (1), and (C) A photoradical polymerization initiator capable of initiating radical polymerization of the photopolymerizable compound (A) in response to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength of the compound (B) to excite the compound (B) Alternatively, it is characterized by containing a mixture of a sensitizer and a photo-radical polymerization initiator.
【化3】 Embedded image
【0007】また、本発明のアルカリ現像型感光性組成
物の第二の態様は、(A)1分子内に1つのエチレン性
不飽和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で
液状の光重合性化合物、(B)前記一般式(1)で表わ
される化合物、(C)上記化合物(B)を励起する吸収
波長の最長波長よりも長波長側の波長の活性エネルギー
線に感応して上記光重合性化合物(A)のラジカル重合
を開始させることができる光ラジカル重合開始剤又は増
感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物、及び(D)1分
子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物を含有する
ことを特徴としている。The second aspect of the alkali-developable photosensitive composition of the present invention is that (A) a liquid liquid at room temperature having one ethylenically unsaturated bond and one or more carboxyl groups in one molecule. A polymerizable compound, (B) a compound represented by the general formula (1), and (C) an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength of the compound (B) to excite the compound (B). A photo-radical polymerization initiator or a mixture of a sensitizer and a photo-radical polymerization initiator capable of initiating radical polymerization of the photo-polymerizable compound (A), and (D) having two or more epoxy groups in one molecule It is characterized by containing a compound.
【0008】好適な態様においては、前記(C)成分と
して、それ自身400nm以上の吸収波長を有する光ラ
ジカル重合開始剤、もしくは400nm以上の波長に吸
収を有する増感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物が用
いられ、また、感光性組成物は、前記(A)〜(D)成
分に加えて、(E)1分子内に1つのエチレン性不飽和
結合を有する化合物及び/又は(F)1分子内に1つの
エチレン性不飽和結合と1つ以上の水酸基を有する化合
物を含有することができ、さらに(G)1分子内に2個
以上のカルボキシル基を有する分子量1,000以上の
化合物を含有することができる。また、塗布作業性やプ
リント配線板の回路や穴への追随性等の点からは、組成
物が室温で1,000ポイズ以下の粘度の液状であるこ
とが好ましい。In a preferred embodiment, as the component (C), a photo-radical polymerization initiator itself having an absorption wavelength of 400 nm or more, or a sensitizer having an absorption at a wavelength of 400 nm or more and a photo-radical polymerization initiator are used. A mixture is used, and the photosensitive composition further comprises (E) a compound having one ethylenically unsaturated bond in one molecule and / or (F) 1 in addition to the components (A) to (D). It can contain a compound having one ethylenically unsaturated bond and one or more hydroxyl groups in the molecule, and (G) a compound having a molecular weight of 1,000 or more and having two or more carboxyl groups in one molecule. Can be contained. The composition is preferably a liquid having a viscosity of 1,000 poise or less at room temperature from the viewpoints of application workability, followability to circuits and holes of a printed wiring board, and the like.
【0009】さらに本発明の他の側面によれば、前記感
光性組成物を基材上に塗布する工程、該工程で得られた
塗膜を、前記一般式(1)で表わされる化合物(B)を
励起する吸収波長の最長波長よりも長波長側の波長の活
性エネルギー線により全面露光してタックフリーの塗膜
を得る一次露光工程、該一次露光工程で得られた塗膜
に、上記化合物(B)を励起する波長を含む活性エネル
ギー線を所定のパターン通りに選択的に照射する二次露
光工程、アルカリ水溶液により現像して二次露光工程の
非露光部を除去して所定のパターンの硬化皮膜を形成す
る現像工程を含むことを特徴とする硬化皮膜形成方法が
提供される。別の態様、特に前記第二態様の感光性組成
物を用いるプリント配線板のソルダーレジストなどの硬
化皮膜の形成においては、前記現像工程の後、さらに活
性エネルギー線照射及び/又は100〜180℃に加熱
する工程を含む。According to still another aspect of the present invention, a step of coating the photosensitive composition on a substrate, and coating the coating film obtained in the step with the compound (B) represented by the general formula (1) A) a primary exposure step in which the entire surface is exposed to an active energy ray having a wavelength longer than the longest wavelength of the absorption wavelength that excites to obtain a tack-free coating film; (B) a secondary exposure step of selectively irradiating an active energy ray containing a wavelength for exciting a predetermined pattern according to a predetermined pattern, and developing with an aqueous alkali solution to remove a non-exposed portion in the secondary exposure step to form a predetermined pattern. There is provided a method for forming a cured film, which comprises a developing step of forming a cured film. In another embodiment, in particular, in the formation of a cured film such as a solder resist for a printed wiring board using the photosensitive composition of the second embodiment, after the development step, irradiation with active energy rays and / or 100 to 180 ° C. Including a step of heating.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】本発明に係る感光性組成物は、前
記した(A)〜(C)成分を組み合わせて含有すること
を基本的な特徴としている。すなわち、従来の液状感光
性組成物使用の際に問題となる乾燥工程及びそれに伴う
溶剤蒸散をなくし、また液状感光性組成物使用の前記し
たような利点を保持するために、光硬化性成分として、
室温(20〜30℃)で液状であり、しかもエチレン性
不飽和結合とカルボキシル基の2種類の官能基を有する
光重合性化合物(A)を含有しており、それによって無
溶剤の組成物とすることができる。しかし、解像性に優
れた接触露光を可能とするためには、組成物を基材上に
塗布した後、選択的露光硬化に先立ってタックフリーの
塗膜とする必要があるが、主成分が上記光重合性化合物
(A)からなり溶剤を含有しない組成物の場合、加熱乾
燥によってタックフリーの塗膜を得ることはできない。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The photosensitive composition according to the present invention is basically characterized by containing the above-mentioned components (A) to (C) in combination. That is, in order to eliminate the drying step and the accompanying solvent evaporation which are problematic when using a conventional liquid photosensitive composition, and to maintain the above-mentioned advantages of using the liquid photosensitive composition, as a photocurable component. ,
It contains a photopolymerizable compound (A) which is liquid at room temperature (20 to 30 ° C) and has two types of functional groups, ie, an ethylenically unsaturated bond and a carboxyl group. can do. However, in order to enable contact exposure with excellent resolution, it is necessary to apply a composition on a substrate and then form a tack-free coating prior to selective exposure curing. Is a composition comprising the photopolymerizable compound (A) and containing no solvent, a tack-free coating film cannot be obtained by heating and drying.
【0011】そこで、本発明の感光性組成物は、上記光
重合性化合物(A)と組み合わせて、前記一般式(1)
で表わされるアクリジン化合物(B)と、該化合物を励
起する吸収波長の最長波長よりも長波長側の波長の活性
エネルギー線に感応して上記光重合性化合物のラジカル
重合を開始させることができる光ラジカル重合開始剤又
は増感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物(C)とを併
用するものである。それによって、まず最初に上記
(C)成分を励起する一次露光と、次いで上記(B)成
分を励起する二次露光の二段階露光が可能となり、一次
露光によりタックフリーの塗膜とし、次いで接触露光に
より解像性良く二次露光を行ない、耐熱性、耐薬品性、
基材に対する密着性、電気絶縁性等の諸特性に優れたパ
ターン状の硬化皮膜を形成することができる。Therefore, the photosensitive composition of the present invention may be combined with the above photopolymerizable compound (A) to obtain a compound of the formula (1)
And a light capable of initiating a radical polymerization of the photopolymerizable compound in response to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength of the acridine compound (B) for exciting the compound. A radical polymerization initiator or a sensitizer is used in combination with a mixture (C) of a photoradical polymerization initiator. As a result, first, two-stage exposure of the primary exposure for exciting the component (C) and then the secondary exposure for exciting the component (B) becomes possible. Performs secondary exposure with good resolution by exposure, heat resistance, chemical resistance,
A patterned cured film having excellent properties such as adhesion to a substrate and electrical insulation can be formed.
【0012】すなわち、本発明の感光性組成物を基材、
例えば回路形成されたプリント配線板に、スクリーン印
刷、ロールコーター、カーテンコーター、スプレーなど
により塗布し、塗布面全面に前記アクリジン化合物
(B)は励起しないが光ラジカル重合開始剤又はその増
感剤との混合物(C)は励起する活性エネルギー線を照
射する。例えば、一般にアクリジン化合物(B)は40
0nm以下の波長の光の照射で励起するので、高圧水銀
灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、キセノンラ
ンプ、ハロゲンランプ等の光を例えば400nm以下の
波長をカットするフィルターを介して照射する(一次露
光)。その結果、前記液状の光重合性化合物(A)がラ
ジカル重合して側鎖にカルボキシル基を有する固形の重
合体になるので、タックフリーの塗膜が得られる。この
重合体は側鎖にカルボキシル基を有するので希アルカリ
水溶液に可溶であり、後の現像工程の際に溶解する成分
となる。That is, the photosensitive composition of the present invention is used as a substrate,
For example, a circuit-formed printed wiring board is applied by screen printing, a roll coater, a curtain coater, a spray, or the like, and the acridine compound (B) is not excited on the entire coated surface, but with a photoradical polymerization initiator or a sensitizer thereof. The mixture (C) is irradiated with an active energy ray to be excited. For example, in general, the acridine compound (B) contains 40
Since excitation is performed by irradiation with light having a wavelength of 0 nm or less, light such as a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, or a halogen lamp is irradiated through a filter that cuts a wavelength of 400 nm or less (primary exposure). . As a result, the liquid photopolymerizable compound (A) undergoes radical polymerization to form a solid polymer having a carboxyl group in a side chain, and thus a tack-free coating film is obtained. Since this polymer has a carboxyl group in the side chain, it is soluble in a dilute aqueous alkaline solution, and becomes a component that will be dissolved in the subsequent development step.
【0013】続いて、上記タックフリーの塗膜を直接又
は所定の露光パターンを形成したフォトマスクを通して
選択的に、前記アクリジン化合物(B)を励起する波長
を含む活性エネルギー線、例えば高圧水銀灯、超高圧水
銀灯、メタルハライドランプ、キセノンランプなどの3
00〜400nmの波長を含む紫外光を照射すると(二
次露光)、露光部はアルカリ水溶液に不溶の硬化皮膜と
なる。この硬化反応機構の詳細については明らかでない
部分もあるが、主として前記光重合性化合物(A)の重
合体の側鎖のカルボキシル基とアクリジン化合物(B)
の反応によって引き起こされるものと考えられる。この
ことは、アクリジン化合物は加熱もしくは紫外線のごと
き活性エネルギー線の照射でカルボキシル基と何らかの
化学反応を引き起こし、特にアクリジン化合物が有する
吸収波長の活性エネルギー線を照射すると瞬時にカルボ
キシル基と反応することからも明らかと考えられる。Subsequently, the tack-free coating film is selectively applied directly or through a photomask having a predetermined exposure pattern formed thereon to an active energy ray containing a wavelength for exciting the acridine compound (B), for example, a high pressure mercury lamp, High pressure mercury lamp, metal halide lamp, xenon lamp, etc.
When ultraviolet light having a wavelength of 00 to 400 nm is irradiated (secondary exposure), the exposed portion becomes a cured film insoluble in an alkaline aqueous solution. Although the details of the curing reaction mechanism are not clear, there are mainly carboxyl groups on the side chains of the polymer of the photopolymerizable compound (A) and the acridine compound (B).
It is thought to be caused by the reaction of This is because the acridine compound causes some chemical reaction with the carboxyl group when heated or irradiated with active energy rays such as ultraviolet rays, and in particular, reacts instantaneously with the carboxyl group when irradiated with active energy rays having the absorption wavelength of the acridine compound. It is also apparent.
【0014】次いで、上記硬化皮膜をアルカリ水溶液で
現像処理すると、二次露光工程で露光されなかった部分
に存在する光重合性化合物の重合体は側鎖にカルボキシ
ル基を有するので、非露光部はアルカリ水溶液により溶
解・除去され、所定パターンの硬化皮膜のみが残存す
る。なお、現像後に不要な現像液の除去のため、水洗や
中和を行なうことが好ましい。また、現像工程後に、硬
化皮膜に活性エネルギー線を照射したり、もしくは10
0〜180℃程度に加熱したり、又はその両方の処理を
行なって完全硬化させることが好ましい。特に、1分子
内に2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ化合
物(D)を含有する感光性組成物の場合には、この加熱
による最終仕上げ硬化によりエポキシ化合物の硬化反応
及びエポキシ基と残存するカルボキシル基の反応も生起
し、電気絶縁性、基材に対する密着性、はんだ耐熱性、
耐酸性、耐アルカリ性等に加えて、めっき耐性、無電解
めっき耐性、耐電触性等の諸特性に優れた硬化皮膜が得
られる。Next, when the cured film is developed with an aqueous alkaline solution, the polymer of the photopolymerizable compound present in the portion not exposed in the secondary exposure step has a carboxyl group in the side chain, and the unexposed portion is It is dissolved and removed by the aqueous alkali solution, leaving only a cured film having a predetermined pattern. After the development, it is preferable to perform washing and neutralization to remove an unnecessary developer. After the development step, the cured film is irradiated with active energy rays, or
It is preferable to heat to about 0 to 180 ° C. or to perform both treatments to completely cure. In particular, in the case of a photosensitive composition containing a polyfunctional epoxy compound (D) having two or more epoxy groups in one molecule, the curing reaction of the epoxy compound and the residual epoxy group due to the final finish curing by heating. The reaction of carboxyl groups that occur also occurs, electrical insulation, adhesion to the substrate, solder heat resistance,
In addition to acid resistance, alkali resistance, etc., a cured film excellent in various properties such as plating resistance, electroless plating resistance, and electric contact resistance can be obtained.
【0015】以下、添付図面を参照しながら、本発明の
硬化皮膜形成方法で採用する二段階露光についてもう少
し具体的に説明する。図1は、前記アクリジン化合物
(B)の一例(旭電化工業社製、商品名アデカOPT
N−1717、前記一般式(1)においてRが−C7 H
14−の化合物)と、光ラジカル重合開始剤又は増感剤と
光ラジカル重合開始剤の混合物(C)の数例(ビス
(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォ
スフィンオキサイド(チバ・スペシャルティ・ケミカル
ズ社製、商品名イルガキュア819);ビス(2,4−
シクロペンタジエン−1−イル)−ビス(2,6−ジフ
ルオロ−3−(1H−ピロール−1−イル)−フェニ
ル)チタニウム(チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社
製、商品名イルガキュア784);及び2−メチル−1
−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノア
ミノプロパノン−1(チバ・スペシャルティ・ケミカル
ズ社製、商品名イルガキュア907)6重量部と2,4
−ジエチルチオキサントン(日本化薬社製、商品名DE
TX)0.2重量部と4,4′−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン(保土谷化学工業社製、商品名EA
B)0.1重量部の混合物)の吸収曲線を示し、図2は
その350〜500nmの波長範囲で吸光度を拡大した
図である。Hereinafter, the two-step exposure employed in the method for forming a cured film of the present invention will be described more specifically with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows an example of the acridine compound (B) (trade name ADEKA OPT manufactured by Asahi Denka Kogyo Co., Ltd.).
N-1717, wherein in the general formula (1), R is -C 7 H
14 - with a compound of) a mixture of a photo-radical polymerization initiator or sensitizer and a photo-radical polymerization initiator (two of C) (bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) - phenyl phosphine oxide (Ciba Manufactured by Specialty Chemicals Co., Ltd., trade name: Irgacure 819);
Cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl) -phenyl) titanium (trade name Irgacure 784, manufactured by Ciba Specialty Chemicals); and 2-methyl -1
6 parts by weight of-[4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinoaminopropanone-1 (trade name Irgacure 907, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) and 2,4
-Diethylthioxanthone (trade name DE manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
TX) 0.2 parts by weight and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone (trade name EA, manufactured by Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd.)
B) shows an absorption curve of 0.1 part by weight of the mixture), and FIG. 2 is an enlarged view of the absorbance in the wavelength range of 350 to 500 nm.
【0016】図1及び図2に示されるように、アクリジ
ン化合物N−1717は、波長400nmを若干超えた
波長にも吸収を有するが、該アクリジン化合物を励起し
て光重合性化合物のカルボキシル基と反応し不溶化する
には至らない。また、400nm以下の波長をカットす
るフィルターを用いると、アクリジン化合物N−171
7の吸収波長の殆どの吸収波長部分がカットされてしま
う。従って、400nm以下の波長をカットするフィル
ターを用い、400nm以上の波長を含む可視光を照射
すると、光ラジカル重合開始剤又は増感剤と光ラジカル
重合開始剤の混合物のみが励起して、光重合性化合物の
ラジカル重合が生起し、側鎖にカルボキシル基を有する
重合体が生成する。要するに、この一次露光工程におい
ては、光ラジカル重合開始剤又は増感剤と光ラジカル重
合開始剤の混合物のみが感応するような波長の活性エネ
ルギー線を照射できればよい。その後、アクリジン化合
物を励起できる400nm以下の波長の紫外線を、フォ
トマスクを介して選択的に露光すると(二次露光)、前
記したようにアクリジン化合物と上記一次露光で生成し
た重合体(及び未反応の光重合性化合物)のカルボキシ
ル基が反応して、二次露光部分のみアルカリ水溶液に不
溶の硬化皮膜となる。なお、この二次露光工程において
は、アクリジン化合物を励起できる波長を含む活性エネ
ルギー線であればよく、この励起に関与しない波長を含
んでいても差し支えない。As shown in FIGS. 1 and 2, the acridine compound N-1717 has an absorption even at a wavelength slightly longer than 400 nm, but excites the acridine compound to form a carboxyl group of the photopolymerizable compound. It does not react and become insoluble. When a filter that cuts a wavelength of 400 nm or less is used, the acridine compound N-171 is used.
Most of the absorption wavelength portion of the absorption wavelength 7 is cut off. Therefore, when a visible light including a wavelength of 400 nm or more is irradiated using a filter that cuts a wavelength of 400 nm or less, only a photo-radical polymerization initiator or a mixture of a sensitizer and a photo-radical polymerization initiator is excited to cause photopolymerization. Radical polymerization of the reactive compound occurs, and a polymer having a carboxyl group in a side chain is generated. In short, in this primary exposure step, it is sufficient that active energy rays having a wavelength such that only the photoradical polymerization initiator or the mixture of the sensitizer and the photoradical polymerization initiator is sensitive can be irradiated. Thereafter, when ultraviolet rays having a wavelength of 400 nm or less capable of exciting the acridine compound are selectively exposed through a photomask (secondary exposure), as described above, the acridine compound and the polymer formed by the primary exposure (and the unreacted polymer) Carboxyl group of the (photopolymerizable compound) reacts to form a cured film insoluble only in the secondary exposure portion in the aqueous alkali solution. In the secondary exposure step, any active energy ray having a wavelength that can excite the acridine compound may be used, and a wavelength not involved in the excitation may be included.
【0017】以下、本発明の感光性組成物の各成分につ
いて説明すると、前記1分子内に1つのエチレン性不飽
和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で液状
の光重合性化合物(A)の代表的なものとしては、アク
リル酸、メタアクリル酸、又はヒドロキシエチル(メ
タ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、フェ
ニルグリシジルエーテル(メタ)アクリレートなどの水
酸基含有アクリレートの二塩基酸無水物付加物などが挙
げられ、これら光重合性化合物を単独で又は2種以上を
組み合わせて用いることができる。二塩基酸無水物とし
ては、無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル
酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタ
ル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水コハク
酸、無水マレイン酸、無水イタコン酸、無水ナジック酸
などが挙げられる。Hereinafter, each component of the photosensitive composition of the present invention will be described. A photopolymerizable compound (A) which is liquid at room temperature and has one ethylenically unsaturated bond and one or more carboxyl groups in one molecule. Representative examples include acrylic acid, methacrylic acid, or hydroxyl-containing acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, and phenylglycidyl ether (meth) acrylate. These photopolymerizable compounds can be used alone or in combination of two or more. Examples of dibasic acid anhydrides include phthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride, itaconic anhydride, and nadic anhydride. And the like.
【0018】また、現像性、耐熱性さらには反応性を上
げる目的で、上記光重合性化合物と組み合わせて、1分
子内に1つのエチレン性不飽和結合を有する化合物
(E)及び/又は1分子内に1つのエチレン性不飽和結
合と1つ以上の水酸基を有する化合物(F)など、他の
光重合性成分を用いることができる。1分子内に1つの
エチレン不飽和結合を有する化合物(E)としては、ス
チレン、置換スチレン、酢酸ビニルなどのビニル化合
物、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アク
リレート、ラウリル(メタ)アクリレート、イソプロピ
ル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレ
ートなどのアルキル(メタ)アクリレート類、2−エチ
ルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メ
タ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレー
ト、ベンジル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)
アクリレートなどのアクリル酸エステル類、N−フェニ
ルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミドなどが挙
げられる。For the purpose of increasing the developability, heat resistance and reactivity, the compound (E) having one ethylenically unsaturated bond in one molecule and / or one molecule may be combined with the above photopolymerizable compound. Other photopolymerizable components such as a compound (F) having one ethylenically unsaturated bond and one or more hydroxyl groups therein can be used. Compound (E) having one ethylenically unsaturated bond in one molecule includes styrene, substituted styrene, vinyl compounds such as vinyl acetate, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, isopropyl Alkyl (meth) acrylates such as (meth) acrylate and t-butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, phenyl (meth) acrylate )
Acrylic esters such as acrylate, N-phenylmaleimide, N-cyclohexylmaleimide and the like can be mentioned.
【0019】1分子内に1つのエチレン性不飽和結合と
1つ以上の水酸基を有する化合物(F)としては、ヒド
ロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピ
ル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)ア
クリレート、フェニルグリシジルエーテル(メタ)アク
リレートなどが挙げられる。なお、本明細書中におい
て、(メタ)アクリレートとはアクリレートとメタクリ
レートを総称する用語である。The compound (F) having one ethylenically unsaturated bond and one or more hydroxyl groups in one molecule includes hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, And phenylglycidyl ether (meth) acrylate. In this specification, (meth) acrylate is a general term for acrylate and methacrylate.
【0020】前記一般式(1)で表わされるアクリジン
化合物(B)としては、例えば、1,6−ビス(9−ア
クリジニル)ヘキサン、1,7−ビス(9−アクリジニ
ル)ヘプタン、1,8−ビス(9−アクリジニル)オク
タン、1,9−ビス(9−アクリジニル)ノナン、1,
10−ビス(9−アクリジニル)デカン、1,11−ビ
ス(9−アクリジニル)ウンデカン、1,12−ビス
(9−アクリジニル)ドデカンなどが挙げられ、単独で
又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これ
らのアクリジン化合物は、例えば、ジフェニルアミンと
二価カルボン酸を金属酸化物の存在下に反応させること
によって容易に製造することができる。Examples of the acridine compound (B) represented by the general formula (1) include 1,6-bis (9-acridinyl) hexane, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, and 1,8-bis (9-acridinyl) heptane. Bis (9-acridinyl) octane, 1,9-bis (9-acridinyl) nonane, 1,
Examples include 10-bis (9-acridinyl) decane, 1,11-bis (9-acridinyl) undecane, 1,12-bis (9-acridinyl) dodecane, and the like, which may be used alone or in combination of two or more. it can. These acridine compounds can be easily produced, for example, by reacting diphenylamine with a divalent carboxylic acid in the presence of a metal oxide.
【0021】次に、前記(C)成分としては、(C−
1)それ自身が上記アクリジン化合物を励起する吸収波
長の最長波長よりも長波長側の波長の活性エネルギー線
に感応して前記光重合性成分のラジカル重合を開始させ
ることができる、好ましくは、400nm以上、さらに
好ましくは420nm以上の領域に吸収を持つ光ラジカ
ル重合開始剤、又は(C−2)同様な作用を奏する光ラ
ジカル重合開始剤と増感剤の混合物を用いることができ
る。Next, the component (C) includes (C-
1) It is capable of initiating radical polymerization of the photopolymerizable component in response to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength that excites the acridine compound, preferably 400 nm. As described above, a photo-radical polymerization initiator having absorption in a region of preferably 420 nm or more, or a mixture of a photo-radical polymerization initiator and a sensitizer exhibiting the same action as in (C-2) can be used.
【0022】上記光ラジカル重合開始剤(C−1)とし
ては、カンファーキノン、ベンジル、4,4´−ジメト
キシベンジル等のα−ジケトン類;ミヒラーケトン、
4,4´−ビスジエチルアミノベンゾフェノン等のベン
ゾフェノン類;2−メチルアントラキノン、2−エチル
アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、1−
クロロアントラキノン等のアントラキノン類;2,4−
ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサン
トン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジイソプロ
ピルチオキサントン等のチオキサントン類;2,4,6
−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイ
ド等の(ビス)アシルホスフィンオキサイド類;ビス
(2,4−シクロペンタジエン−1−イル)−ビス
(2,6−ジフルオロ−3−(1H−ピロール−1−イ
ル)−フェニル)チタニウム等のチタノセン類などが挙
げられる。一方、上記混合物(C−2)としては、2−
ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノ
フェニル)−ブタン−1−オン、2−メチル−1−[4
−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノアミノプ
ロパノン−1等のアミノアセトフェノン類とチオキサン
トン類又はアミノベンゾフェノンとの組合せ;ベンゾフ
ェノン類とアミノベンゾフェノン類との組合せ;さらに
はパーオキサイド類とロイコ染料又は4,4−ビスジエ
チルアミノベンゾフェノン等の組合せなど、400nm
以上に吸収を持たない開始剤と400nm以上に吸収を
持つ化合物の増感作用が認められる組合せを使用するこ
とができる。これらの光ラジカル重合開始剤成分(C−
1及びC−2)は単独で又は2種類以上の混合物(もし
くは組合せ混合物)として使用でき、さらにはトリエタ
ノールアミン等の第3アミン、ジメチルアミノ安息香酸
イソアミル、ジメチルアミノエチルメタクリレートなど
の光開始助剤を加えることができる。Examples of the photoradical polymerization initiator (C-1) include α-diketones such as camphorquinone, benzyl and 4,4′-dimethoxybenzyl; Michler's ketone;
Benzophenones such as 4,4'-bisdiethylaminobenzophenone; 2-methylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, 1-
Anthraquinones such as chloroanthraquinone; 2,4-
Thioxanthones such as dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; 2,4,6
-(Bis) acylphosphine oxides such as trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide; bis (2,4-cyclopentadien-1-yl) -bis (2,6-difluoro-3- (1H-pyrrol-1-yl)- And titanocenes such as phenyl) titanium. On the other hand, the mixture (C-2) includes 2-
Benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, 2-methyl-1- [4
-(Methylthio) phenyl] -2-morpholinoaminopropanone-1 and other aminoacetophenones and thioxanthones or aminobenzophenones; benzophenones and aminobenzophenones; peroxides and leuco dyes or 4 , 4-bisdiethylaminobenzophenone, etc.
As described above, a combination in which an initiator having no absorption and a compound having absorption at 400 nm or more exhibit a sensitizing effect can be used. These photo-radical polymerization initiator components (C-
1 and C-2) can be used alone or as a mixture of two or more kinds (or a combination mixture). Further, a tertiary amine such as triethanolamine, a photoinitiating assistant such as isoamyl dimethylaminobenzoate and dimethylaminoethyl methacrylate can be used. Agents can be added.
【0023】上記アクリジン化合物(B)及び光ラジカ
ル重合開始剤成分(C:C−1及びC−2)の配合割合
としては、アクリジン化合物(B)は前記光重合性化合
物(A)100重量部当たり1〜50重量部が適当であ
り、さらに好ましくは5〜30重量部である。アクリジ
ン化合物の配合量が上記範囲よりも少ないと画像形成が
不可能であり、逆に、上記範囲よりも多いと保存安定性
が悪くなり、経時的にゲル化し易いので好ましくない。
一方、光ラジカル重合開始剤成分(C)の配合割合は、
前記光重合性化合物(A)100重量部当たり0.5〜
30重量部が適当であり、さらに好ましくは1〜20重
量部である。光ラジカル重合開始剤成分の配合量が上記
範囲よりも少ないときには光照射時の反応性が悪く、一
次露光後にも塗膜は濡れたままであり、逆に、上記範囲
よりも多くなると現像性が悪くなり、かつ硬化皮膜の電
気特性が悪くなる傾向がある。また、上記成分(B)と
(C)の関係は、光ラジカル重合開始剤成分(C)の吸
収波長がアクリジン化合物(B)の最も長波長側の吸収
波長よりも10nm以上長波長側にあることが好まし
い。アクリジン化合物(B)の吸収波長は、320nm
〜400nmにあり、かつ最も長波長の吸収波長が光ラ
ジカル重合開始剤成分(C)の最長吸収波長よりも10
nm以上低波長側にあることが好ましい。さらに好まし
いのは、アクリジン化合物(B)の最長の吸収波長より
も20nmよりも長波長側に光ラジカル重合開始剤成分
(C)の吸収波長が存在していることである。The mixing ratio of the acridine compound (B) and the photoradical polymerization initiator component (C: C-1 and C-2) is such that the acridine compound (B) is 100 parts by weight of the photopolymerizable compound (A). The amount is suitably 1 to 50 parts by weight, more preferably 5 to 30 parts by weight. If the amount of the acridine compound is less than the above range, it is impossible to form an image. Conversely, if it is more than the above range, storage stability is deteriorated and gelation tends to occur with time, which is not preferable.
On the other hand, the mixing ratio of the photoradical polymerization initiator component (C) is
0.5 to 100 parts by weight of the photopolymerizable compound (A)
30 parts by weight is suitable, and more preferably 1 to 20 parts by weight. When the amount of the photoradical polymerization initiator component is less than the above range, the reactivity at the time of light irradiation is poor, the coating film remains wet even after the primary exposure, and conversely, when the amount exceeds the above range, the developability is poor. And the electrical properties of the cured film tend to deteriorate. The relationship between the components (B) and (C) is that the absorption wavelength of the photoradical polymerization initiator component (C) is at least 10 nm longer than the longest wavelength of the acridine compound (B). Is preferred. The absorption wavelength of the acridine compound (B) is 320 nm
~ 400 nm, and the longest absorption wavelength is 10 times longer than the longest absorption wavelength of the photo-radical polymerization initiator component (C).
It is preferably on the low wavelength side of at least nm. More preferably, the absorption wavelength of the photo-radical polymerization initiator component (C) exists at a wavelength longer than 20 nm from the longest absorption wavelength of the acridine compound (B).
【0024】本発明の第二態様の感光性組成物は、密着
性、耐熱性、電気特性、塗布性を向上させる目的で、1
分子内に2個以上のエポキシ基を有する化合物(D)を
含有している。このような多官能エポキシ化合物として
は、例えば、ビスフェノールA型、水添ビスフェノール
A型、ビスフェノールF型、ビスフェノールS型、フェ
ノールノボラック型、クレゾールノボラック型、ビスフ
ェノールAのノボラック型、ビフェノール型、ビキシレ
ノール型、N−グリシジル型、トリグリシジルイソシア
ヌレート等の公知慣用のエポキシ化合物を、単独で又は
2種以上組み合わせて用いることができ、その量は光重
合性化合物(A)100重量部当たり0〜300重量部
が適当である。多官能エポキシ化合物の配合量が多すぎ
ると、現像性が低下するので好ましくない。また、この
エポキシ化合物とカルボキシル基の反応促進、エポキシ
基の硬化反応を促進させるために、ジシアンジアミド、
イミダゾール類、トリフェニルホスフィン等の公知慣用
の触媒を加えることができる。なお、本発明の感光性組
成物は、このような熱硬化性成分を配合しない場合には
一液型に組成できるが、熱硬化性成分を配合すると増粘
し易いので、光重合性化合物(A)と光ラジカル重合開
始剤成分(C)を主成分とする主剤と、アクリジン化合
物(B)と多官能エポキシ化合物(D)を主成分とする
硬化剤の二液型に組成することが好ましい。The photosensitive composition according to the second aspect of the present invention has the following properties for the purpose of improving adhesion, heat resistance, electrical properties and coatability.
The compound (D) having two or more epoxy groups in the molecule is contained. Such polyfunctional epoxy compounds include, for example, bisphenol A type, hydrogenated bisphenol A type, bisphenol F type, bisphenol S type, phenol novolak type, cresol novolak type, bisphenol A novolak type, biphenol type, bixylenol type , N-glycidyl type, triglycidyl isocyanurate, and other commonly used epoxy compounds can be used alone or in combination of two or more, and the amount thereof is 0 to 300 parts by weight per 100 parts by weight of the photopolymerizable compound (A). The part is appropriate. If the amount of the polyfunctional epoxy compound is too large, the developability is undesirably reduced. Further, in order to accelerate the reaction between the epoxy compound and the carboxyl group and the curing reaction of the epoxy group, dicyandiamide,
Known and commonly used catalysts such as imidazoles and triphenylphosphine can be added. In addition, the photosensitive composition of the present invention can be formed into a one-part composition when such a thermosetting component is not added, but the photopolymerizable compound ( It is preferable to form a two-part composition of A), a main component mainly composed of a photoradical polymerization initiator component (C), and a curing agent mainly composed of an acridine compound (B) and a polyfunctional epoxy compound (D). .
【0025】本発明の感光性組成物は、さらに必要に応
じて、塗布性、耐熱性、現像性を向上させる目的で、1
分子内に2個以上のカルボキシル基を有する分子量1,
000以上の化合物(G)(オリゴマー、ポリマー)を
含有することができる。代表的な化合物としては、スチ
レンと(メタ)アクリル酸の共重合物、スチレンと無水
マレイン酸の共重合物のアルコール付加物などが挙げら
れ、単独で又は2種以上を組み合わせて使用することが
できる。その添加量は光重合性化合物(A)100重量
部当たり0〜200重量部が適当である。The photosensitive composition of the present invention may further contain, if necessary, one coat for the purpose of improving coatability, heat resistance and developability.
Molecular weight 1, having two or more carboxyl groups in the molecule
It can contain 000 or more compounds (G) (oligomers, polymers). Representative compounds include a copolymer of styrene and (meth) acrylic acid, an alcohol adduct of a copolymer of styrene and maleic anhydride, and the like, and may be used alone or in combination of two or more. it can. The addition amount is suitably from 0 to 200 parts by weight per 100 parts by weight of the photopolymerizable compound (A).
【0026】本発明の感光性組成物は、さらに、硫酸バ
リウム、チタン酸バリウム、酸化ケイ素紛、微粉状酸化
ケイ素、無定形シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシ
ウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アル
ミニウム、マイカ等の公知慣用の無機フィラー、またそ
れらと樹脂との濡れ性を向上させるシランカップリング
剤や、チタネート系、アルミニウム系のカップリング剤
も単独で又は複数用いることができる。これらは硬化皮
膜の基材との密着性、硬度などの特性を向上させる点で
有効である。The photosensitive composition of the present invention further comprises barium sulfate, barium titanate, silicon oxide powder, finely divided silicon oxide, amorphous silica, talc, clay, magnesium carbonate, calcium carbonate, aluminum oxide, aluminum hydroxide Known or commonly used inorganic fillers such as mica, mica, etc., silane coupling agents for improving the wettability between them and the resin, and titanate-based and aluminum-based coupling agents can be used alone or in combination. These are effective in improving properties such as adhesion of the cured film to the substrate and hardness.
【0027】さらに、必要に応じてフタロシアニングリ
ーン、フタロシアニンブルー、ジスアゾイエロー、クリ
スタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラックな
どの公知慣用の着色剤、オルベン、ベントン、モンモリ
ロナイトなどの公知慣用の揺変剤、シリコーン系、フッ
素系又は高分子系等の公知慣用の消泡剤、レベリング剤
を加えることもできる。Further, if necessary, known and commonly used coloring agents such as phthalocyanine green, phthalocyanine blue, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide and carbon black, known and commonly used thixotropic agents such as orben, benton and montmorillonite, and silicone-based A known and commonly used antifoaming agent or leveling agent such as a fluorine-based or polymer-based one can also be added.
【0028】以上のような組成を有する液状感光性組成
物は、これを例えばプリント配線板のソルダーレジスト
として用いる場合、回路形成されたプリント配線板にス
クリーン印刷法、カーテンコート法、スプレーコート
法、ロールコート法等の方法により塗布し、例えば40
0nm以下の波長の紫外線をカットするフィルターを介
して塗布面全体に活性エネルギー線を照射し、タックフ
リーの塗膜を形成できる。その後、所定の露光パターン
を形成したフォトマスクを通して選択的に活性エネルギ
ー線により露光し、未露光部を希アルカリ水溶液により
現像してレジストパターンを形成でき、さらに、活性エ
ネルギー線の照射又は120〜180℃の加熱もしくは
その両方で最終硬化させることにより、密着性、硬度、
解像性、はんだ耐熱性、耐薬品性、耐溶剤性、電気絶縁
性の優れたレジスト皮膜が形成される。When the liquid photosensitive composition having the above composition is used as a solder resist for a printed wiring board, for example, a screen printing method, a curtain coating method, a spray coating method, It is applied by a method such as a roll coating method.
By irradiating the entire coated surface with active energy rays through a filter that cuts ultraviolet light having a wavelength of 0 nm or less, a tack-free coating film can be formed. Thereafter, the resist pattern is selectively exposed to active energy rays through a photomask on which a predetermined exposure pattern is formed, and the unexposed portions are developed with a dilute alkaline aqueous solution to form a resist pattern. By final curing by heating at ℃ or both, adhesion, hardness,
A resist film excellent in resolution, solder heat resistance, chemical resistance, solvent resistance, and electrical insulation is formed.
【0029】上記アルカリ水溶液としては、水酸化カリ
ウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウ
ム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、アンモニ
ア、アミン類などのアルカリ水溶液が使用できる。As the alkaline aqueous solution, an alkaline aqueous solution of potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, ammonia, amines and the like can be used.
【0030】また、光硬化させるための照射光源として
は、一次露光には高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ハロゲン
ランプ、キセノンランプ、メタルハライドランプなどが
適当である。その他、可視光、レーザー光線なども露光
用活性光線として利用できる。そして、二次露光の光源
としては、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キ
セノンランプ、メタルハライドランプなどが適当であ
る。さらに、一次露光の際に用いる紫外線をカットする
フィルターは、アクリジン化合物(B)の吸収波長の光
を95%以上カットし、かつ光ラジカル重合開始剤成分
(C)の吸収波長の光を10%以上透過するものが好ま
しい。As an irradiation light source for photocuring, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a halogen lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, and the like are suitable for primary exposure. In addition, visible light, laser light and the like can also be used as active light for exposure. As a light source for the secondary exposure, a low-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, a xenon lamp, a metal halide lamp, and the like are suitable. Further, the filter that cuts ultraviolet rays used in the primary exposure cuts 95% or more of the light having the absorption wavelength of the acridine compound (B) and 10% of the light having the absorption wavelength of the photo-radical polymerization initiator component (C). What transmits above is preferable.
【0031】[0031]
【実施例】以下に実施例及び比較例を示して本発明につ
いて具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定さ
れるものでないことはもとよりである。なお、「部」及
び「%」とあるのは、特に断りのない限り全て重量基準
である。EXAMPLES The present invention will be specifically described below with reference to examples and comparative examples, but it is needless to say that the present invention is not limited to the following examples. Note that “parts” and “%” are all based on weight unless otherwise specified.
【0032】実施例1〜4 下記表1に示す各成分を配合、攪拌し、3本ロールミル
で練肉して感光性組成物を得た。なお、各組成物の粘度
は全て100〜1,000ポイズの範囲内にあり、液状
であった。得られた各感光性組成物について、後述する
方法で現像性、指触乾燥性、はんだ耐熱性について試験
した。その結果を表1に併せて示す。Examples 1 to 4 The components shown in Table 1 below were blended, stirred, and ground with a three-roll mill to obtain a photosensitive composition. The viscosities of each composition were all in the range of 100 to 1,000 poise and were liquid. Each of the obtained photosensitive compositions was tested for developability, dryness to touch, and solder heat resistance by the methods described below. The results are shown in Table 1.
【表1】 [Table 1]
【0033】比較例1 前記実施例4において、カルボキシル基を有する光重合
性化合物CB−MHPを配合しなかった以外は同一組成
及び同一配合割合で感光性組成物を調製したが、この感
光性組成物からは最終的な硬化皮膜を得ることはできな
かった。Comparative Example 1 A photosensitive composition was prepared in the same composition and in the same blending ratio as in Example 4 except that the photopolymerizable compound CB-MHP having a carboxyl group was not blended. No final cured film could be obtained from the product.
【0034】実施例5〜8 下記表2に示す各成分を配合、攪拌し、3本ロールミル
で練肉してそれぞれa液とb液を別個に調製し、試験直
前にa液とb液を混合して得た感光性組成物を試験に用
いた。なお、各感光性組成物の粘度は全て100〜1,
000ポイズの範囲内にあり、液状であった。得られた
各感光性組成物について、後述する方法で現像性、指触
乾燥性、はんだ耐熱性、耐熱性、電気絶縁性、耐電蝕
性、無電解金めっき耐性について試験した。その結果を
表2に併せて示す。Examples 5 to 8 The components shown in Table 2 below were mixed, stirred, and kneaded with a three-roll mill to separately prepare solution a and solution b. The photosensitive composition obtained by mixing was used for the test. The viscosity of each photosensitive composition is 100 to 1,
It was in the range of 000 poise and was liquid. Each of the obtained photosensitive compositions was tested for developability, touch dryness, solder heat resistance, heat resistance, electrical insulation, electrolytic corrosion resistance, and electroless gold plating resistance by the methods described below. The results are also shown in Table 2.
【表2】 [Table 2]
【0035】比較例2 前記実施例5において、アクリジン化合物N−1717
を配合しなかった以外は同一組成及び同一配合割合で感
光性組成物を調製したが、この感光性組成物からは最終
的な硬化皮膜を得ることはできなかった。Comparative Example 2 In Example 5, the acridine compound N-1717 was used.
A photosensitive composition was prepared with the same composition and the same blending ratio except that was not blended, but a final cured film could not be obtained from this photosensitive composition.
【0036】比較例3 前記実施例7において、光ラジカル重合開始剤イルガキ
ュア819を配合しなかった以外は同一組成及び同一配
合割合で感光性組成物を調製したが、この感光性組成物
からは最終的な硬化皮膜を得ることはできなかった。Comparative Example 3 A photosensitive composition was prepared in the same composition and in the same blending ratio as in Example 7 except that the photoradical polymerization initiator Irgacure 819 was not blended. No hardened film could be obtained.
【0037】(1)現像性評価 前記各実施例の組成物を、パターン形成された銅箔基板
上にスクリーン印刷で全面印刷し、400nm以下の波
長をカットするフィルターを用いてメタルハライドラン
プ80W3灯、コンベアスピード3m/minの条件で
全面露光し、乾いた塗膜を形成させた。その後、スプレ
ー圧2kg/cm2 の1%炭酸ソーダ水溶液で60秒現
像し、塗膜の現像性を調べた。判定基準は以下のとおり
である。 ○:基板上に塗膜が全く残っていない。 △:銅箔上のみ塗膜が残っている。 ×:基板上の全面に塗膜が残っている。(1) Evaluation of Developability The composition of each of the above Examples was entirely printed on a patterned copper foil substrate by screen printing, and a metal halide lamp 80W3 using a filter for cutting a wavelength of 400 nm or less, The entire surface was exposed under the condition of a conveyor speed of 3 m / min to form a dry coating film. Thereafter, the film was developed with a 1% aqueous solution of sodium carbonate at a spray pressure of 2 kg / cm 2 for 60 seconds, and the developability of the coating film was examined. The criteria are as follows. :: No coating film remains on the substrate. Δ: The coating film remains only on the copper foil. ×: The coating film remains on the entire surface of the substrate.
【0038】(2)指触乾燥性 前記各実施例の組成物を、パターン形成された銅箔基板
上にスクリーン印刷で全面印刷し、400nm以下の波
長をカットするフィルターを用いてメタルハライドラン
プ80W3灯、コンベアスピード3m/minの条件で
全面露光し、乾いた塗膜を形成させた。その乾燥塗膜を
指で押さえつけ、乾いた状態を評価した。判定基準は以
下のとおりである。 ○:べたつかず、指紋が全く残っていない。 ×:べたつき、指紋が残る。(2) Drying to the touch The composition of each of the above examples was entirely printed on a patterned copper foil substrate by screen printing, and a metal halide lamp 80W3 using a filter that cuts a wavelength of 400 nm or less. The entire surface was exposed at a conveyor speed of 3 m / min to form a dry coating film. The dried film was pressed with a finger, and the dried state was evaluated. The criteria are as follows. :: no stickiness, no fingerprint left X: Stickiness and fingerprint remain.
【0039】特性試験:前記各実施例の組成物を、パタ
ーン形成された銅箔基板上にスクリーン印刷で全面印刷
し、400nm以下の波長をカットするフィルターを用
いてメタルハライドランプ80W3灯、コンベアスピー
ド3m/minの条件で全面露光し、乾いた塗膜を形成
させた。この基板にネガフィルムを当て、レジストパタ
ーンを超高圧水銀灯で露光し、スプレー圧2kg/cm
2 の炭酸ソーダ水溶液で現像し、パターン形成した。こ
の基板を、UVコンベア炉にて積算露光量1000mJ
/cm2 の条件で紫外線照射し、さらに150℃で30
分熱硬化して評価基板を作製した。得られた評価基板に
ついて、以下の各特性について試験した。Characteristic test: The composition of each of the above examples was entirely printed on a copper foil substrate on which a pattern was formed by screen printing, and a metal halide lamp 80W3 using a filter that cuts a wavelength of 400 nm or less, and a conveyor speed 3m. The whole surface was exposed under the condition of / min to form a dry coating film. A negative film was applied to this substrate, and the resist pattern was exposed with an ultra-high pressure mercury lamp, and the spray pressure was 2 kg / cm.
The pattern was formed by developing with an aqueous sodium carbonate solution of No. 2 . This substrate is integrated in a UV conveyor furnace with an integrated exposure of 1000 mJ.
/ Cm 2 at 150 ° C. for 30 seconds.
An evaluation substrate was prepared by heat curing. The obtained evaluation board was tested for the following characteristics.
【0040】(3)はんだ耐熱性 ロジン系フラックスを塗布した評価基板を、予め260
℃に設定したはんだ槽に30秒間浸漬し、変性アルコー
ルでフラックスを洗浄した後、目視によるレジスト層の
膨れ・剥れ・変色について評価した。判定基準は以下の
とおりである。 ○:全く変化が認められないもの △:ほんの僅か変化したもの ×:塗膜に膨れ、剥れがあるもの(3) Solder heat resistance The evaluation substrate coated with the rosin-based flux was
After immersing in a solder bath set at 30 ° C. for 30 seconds and washing the flux with denatured alcohol, the blistering, peeling and discoloration of the resist layer were evaluated visually. The criteria are as follows. :: no change observed at all △: slight change ×: swelling and peeling of coating film
【0041】(4)耐酸性 上記の評価基板を、常温の10vol%の硫酸水溶液に
10分間浸漬し、水洗後、セロハン粘着テープによるピ
ールテストを行い、レジスト層の剥れ・変色について評
価した。判定基準は以下のとおりである。 ○:全く変化が認められないもの △:ほんの僅か変化したもの ×:塗膜に剥れがあるもの(4) Acid Resistance The above evaluation substrate was immersed in a 10 vol% sulfuric acid aqueous solution at room temperature for 10 minutes, washed with water, and then subjected to a peel test with a cellophane adhesive tape to evaluate the peeling and discoloration of the resist layer. The criteria are as follows. :: no change observed at all △: slight change ×: peeling of coating film
【0042】(5)絶縁特性 IPC B−25のクシ型電極Bクーポンを用い、上記
の条件で評価基板を作製し、このクシ型電極にDC50
0Vのバイアスを印加し、絶縁抵抗値を測定した。(5) Insulation Characteristics An evaluation substrate was prepared under the above conditions using a comb electrode B coupon of IPC B-25, and DC50 was applied to the comb electrode.
A bias of 0 V was applied, and the insulation resistance was measured.
【0043】(6)耐電蝕性 IPC B−25のクシ型電極Bクーポンを用い、上記
の条件で評価基板を作製し、このクシ型電極にDC10
0Vのバイアスを印加し、60℃、90%R.H.の恒
温恒湿槽にて500時間後のマイグレーションの有無を
確認した。判定基準は以下のとおりである。 ○:全く変化が認められないもの △:ほんの僅か変化したもの ×:マイグレーションが発生しているもの(6) Electric Corrosion Resistance An evaluation substrate was prepared under the above-mentioned conditions using a comb electrode B coupon of IPC B-25, and DC10 was applied to the comb electrode.
0V bias, 60 ° C., 90% R.C. H. Was checked for migration after 500 hours in a constant temperature / humidity bath. The criteria are as follows. :: no change observed at all △: slight change ×: migration occurred
【0044】(7)無電解金めっき耐性 市販品の無電解ニッケルめっき浴及び無電解金めっき浴
を用いてニッケル5μm、金μmの条件でめっきを行
い、テープピーリングにより、レジスト層の剥れの有無
やめっき液の基板とレジスト層との間への滲み込みの有
無を評価した。判定基準は以下のとおりである。 ○:全く変化が認められないもの △:ほんの僅かに剥れ、滲み込みしたもの ×:レジスト層に剥れがあるもの(7) Electroless Gold Plating Resistance Using a commercially available electroless nickel plating bath and electroless gold plating bath, plating is performed under the conditions of nickel 5 μm and gold μm, and peeling of the resist layer is performed by tape peeling. The presence / absence and the presence / absence of seepage of the plating solution between the substrate and the resist layer were evaluated. The criteria are as follows. :: No change was observed at all △: Slight peeling and seepage ×: Peeling of resist layer
【0045】[0045]
【発明の効果】以上のように、本発明の感光性組成物
は、タックフリーの塗膜形成に従来のような乾燥工程が
不要な無溶剤タイプであり、かつ二段階露光によってタ
ックフリーの塗膜の形成と耐熱性、耐薬品性、基材に対
する密着性、電気絶縁性等の諸特性に優れたパターン状
の硬化皮膜の形成を行なうことができる作業性、解像性
に優れたアルカリ現像型の感光性組成物である。従っ
て、本発明の感光性組成物を用いることにより、例えば
プリント配線板のソルダーレジスト、エッチングレジス
トなど、所定のパターンの耐熱性、電気絶縁性等の諸特
性に優れた硬化皮膜を、作業環境を悪化させることなく
量産性良く形成できる。As described above, the photosensitive composition of the present invention is a solvent-free type which does not require a drying step as in the prior art for forming a tack-free coating film, and has a tack-free coating by two-step exposure. Alkaline development with excellent workability and resolution that can form a patterned cured film with excellent properties such as film formation and heat resistance, chemical resistance, adhesion to substrates, electrical insulation, etc. A photosensitive composition. Therefore, by using the photosensitive composition of the present invention, for example, a cured film excellent in various properties such as heat resistance of a predetermined pattern and electrical insulation properties, such as a solder resist of a printed wiring board and an etching resist, can reduce the working environment. It can be formed with good mass productivity without deterioration.
【図1】アクリジン化合物、光ラジカル重合開始剤、増
感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物の代表例の吸収曲
線を示すグラフである。FIG. 1 is a graph showing absorption curves of typical examples of an acridine compound, a photoradical polymerization initiator, and a mixture of a sensitizer and a photoradical polymerization initiator.
【図2】図1に示す吸収曲線の350〜500nmの波
長範囲で吸光度を拡大して示したグラフである。FIG. 2 is a graph showing an enlarged absorbance in a wavelength range of 350 to 500 nm of the absorption curve shown in FIG.
フロントページの続き Fターム(参考) 2H025 AA00 AA02 AA04 AA06 AA07 AA08 AA10 AA14 AA20 AB15 AC01 AD01 BC12 BC31 BC33 BC34 BC81 BC85 BC86 BC92 BC94 CA00 CA01 CA28 CC17 FA05 FA06 FA17 FA29 FA30 4J011 QA02 QA03 QA34 QA35 QA37 RA03 RA10 RA11 SA78 SA90 TA03 TA06 UA01 UA02 UA06 UA08 WA01 Continued on front page F term (reference) 2H025 AA00 AA02 AA04 AA06 AA07 AA08 AA10 AA14 AA20 AB15 AC01 AD01 BC12 BC31 BC33 BC34 BC81 BC85 BC86 BC92 BC94 CA00 CA01 CA28 CC17 FA05 FA06 FA17 FA29 FA30 4J011 QA02 QA03 QA03 QA03 QA03 RA37 SA90 TA03 TA06 UA01 UA02 UA06 UA08 WA01
Claims (8)
和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で液状
の光重合性化合物、(B)下記一般式(1)で表わされ
る化合物、及び(C)上記化合物(B)を励起する吸収
波長の最長波長よりも長波長側の波長の活性エネルギー
線に感応して上記光重合性化合物(A)のラジカル重合
を開始させることができる光ラジカル重合開始剤又は増
感剤と光ラジカル重合開始剤の混合物を含有することを
特徴とするアルカリ現像型感光性組成物。 【化1】 (A) a photopolymerizable compound having one ethylenically unsaturated bond and one or more carboxyl groups in one molecule, which is liquid at room temperature; and (B) a compound represented by the following general formula (1). And (C) radical polymerization of the photopolymerizable compound (A) can be initiated in response to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength for exciting the compound (B). An alkali-developable photosensitive composition comprising a photoradical polymerization initiator or a mixture of a sensitizer and a photoradical polymerization initiator. Embedded image
和結合と1つ以上のカルボキシル基を有する室温で液状
の光重合性化合物、(B)下記一般式(1)で表わされ
る化合物、(C)上記化合物(B)を励起する吸収波長
の最長波長よりも長波長側の波長の活性エネルギー線に
感応して上記光重合性化合物(A)のラジカル重合を開
始させることができる光ラジカル重合開始剤又は増感剤
と光ラジカル重合開始剤の混合物、及び(D)1分子内
に2個以上のエポキシ基を有する化合物を含有すること
を特徴とするアルカリ現像型感光性組成物。 【化2】 (A) a photopolymerizable compound having one ethylenically unsaturated bond and one or more carboxyl groups in one molecule, which is liquid at room temperature; and (B) a compound represented by the following general formula (1). (C) light capable of initiating radical polymerization of the photopolymerizable compound (A) in response to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength for exciting the compound (B). An alkali development type photosensitive composition comprising: a radical polymerization initiator or a mixture of a sensitizer and a photoradical polymerization initiator; and (D) a compound having two or more epoxy groups in one molecule. Embedded image
以上の吸収波長を有する光ラジカル重合開始剤、もしく
は400nm以上の波長に吸収を有する増感剤と光ラジ
カル重合開始剤の混合物であることを特徴とする請求項
1又は2に記載の組成物。3. The method according to claim 1, wherein the component (C) has a thickness of 400 nm.
The composition according to claim 1, wherein the composition is a photoradical polymerization initiator having the above absorption wavelength, or a mixture of a sensitizer having absorption at a wavelength of 400 nm or more and a photoradical polymerization initiator.
ン性不飽和結合を有する化合物及び/又は(F)1分子
内に1つのエチレン性不飽和結合と1つ以上の水酸基を
有する化合物を含有することを特徴とする請求項1乃至
3のいずれか一項に記載の組成物。Further, (E) a compound having one ethylenically unsaturated bond in one molecule and / or (F) a compound having one ethylenically unsaturated bond and one or more hydroxyl groups in one molecule. The composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising:
ボキシル基を有する分子量1,000以上の化合物を含
有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項
に記載の組成物。5. The composition according to claim 1, further comprising (G) a compound having a molecular weight of 1,000 or more and having two or more carboxyl groups in one molecule. object.
粘度の液状であることを特徴とする請求項1乃至5のい
ずれか一項に記載の組成物。6. The composition according to claim 1, wherein the composition is a liquid having a viscosity of 1,000 poise or less at room temperature.
載の感光性組成物を基材上に塗布する工程、該工程で得
られた塗膜を、前記一般式(1)で表わされる化合物
(B)を励起する吸収波長の最長波長よりも長波長側の
波長の活性エネルギー線により全面露光してタックフリ
ーの塗膜を得る一次露光工程、該一次露光工程で得られ
た塗膜に、上記化合物(B)を励起する波長を含む活性
エネルギー線を所定のパターン通りに選択的に照射する
二次露光工程、アルカリ水溶液により現像して二次露光
工程の非露光部を除去して所定のパターンの硬化皮膜を
形成する現像工程を含むことを特徴とする硬化皮膜形成
方法。7. A step of applying the photosensitive composition according to claim 1 on a substrate, and a coating film obtained in the step is represented by the general formula (1). Exposure step to obtain a tack-free coating by exposing the entire surface to an active energy ray having a wavelength longer than the longest absorption wavelength of the compound (B) to excite the compound (B) to be excited, and the coating obtained in the primary exposure step A second exposure step of selectively irradiating an active energy ray containing a wavelength for exciting the compound (B) according to a predetermined pattern, and developing with an alkaline aqueous solution to remove a non-exposed portion in the second exposure step. A method for forming a cured film, comprising a developing step of forming a cured film having a predetermined pattern.
ー線照射及び/又は100〜180℃に加熱する工程を
含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。8. The method according to claim 7, further comprising, after the developing step, a step of irradiating with active energy rays and / or heating to 100 to 180 ° C.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25918098A JP2000075482A (en) | 1998-08-31 | 1998-08-31 | Alkali developable photosensitive composition and formation of hardened coating using same |
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Country | Link |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006503335A (en) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | Polymers, methods for their use and methods for their degradation |
WO2011096206A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 太陽ホールディングス株式会社 | Photocurable resin composition, dry film, cured article, and printed wiring board |
JP2014081487A (en) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Toagosei Co Ltd | Composition for forming active energy ray-curable type liquid pattern |
-
1998
- 1998-08-31 JP JP25918098A patent/JP2000075482A/en not_active Withdrawn
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006503335A (en) * | 2002-10-16 | 2006-01-26 | ジョージア テック リサーチ コーポレイション | Polymers, methods for their use and methods for their degradation |
JP2011090335A (en) * | 2002-10-16 | 2011-05-06 | Georgia Tech Research Corp | Polymer, method of use thereof, and method of decomposition thereof |
JP4814522B2 (en) * | 2002-10-16 | 2011-11-16 | ジョージア・テック・リサーチ・コーポレーション | How to use the polymer |
WO2011096206A1 (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 太陽ホールディングス株式会社 | Photocurable resin composition, dry film, cured article, and printed wiring board |
JP2011164270A (en) * | 2010-02-08 | 2011-08-25 | Taiyo Holdings Co Ltd | Photocurable resin composition, dry film, cured article, and printed wiring board |
CN102754030A (en) * | 2010-02-08 | 2012-10-24 | 太阳控股株式会社 | Photocurable resin composition, dry film, cured article, and printed wiring board |
JP2014081487A (en) * | 2012-10-16 | 2014-05-08 | Toagosei Co Ltd | Composition for forming active energy ray-curable type liquid pattern |
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