JP2000073949A - 真空ネットワ―クコントロ―ラ - Google Patents
真空ネットワ―クコントロ―ラInfo
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B19/00—Programme-control systems
- G05B19/02—Programme-control systems electric
- G05B19/418—Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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-
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-
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-
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- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 異なる通信プロトコルで動作する構成要素の
使用の調整が容易な真空ネットワークコントローラを提
供する。 【解決手段】 真空ネットワークコントローラ１２は、
ホストコントローラ１６との通信用のホストインタフェ
ース６１と、真空システム構成要素２０，２２，２４，
２６，２８との通信用の構成要素インタフェース６８，
７０と、ソフトウェアコードを記憶するコンピュータ読
み込み可能媒体７５と、前記各要素６１，６８，７０，
７５と通信するプロセッサ７４とを有する。ソフトウェ
アコードは、真空システム構成要素２０，２２，２４，
２６，２８を制御するコマンドを生成し、これらのコマ
ンドを複数の通信プロトコルに翻訳し、この翻訳したコ
マンドを構成要素インタフェース６８，７０に伝達す
る。
使用の調整が容易な真空ネットワークコントローラを提
供する。 【解決手段】 真空ネットワークコントローラ１２は、
ホストコントローラ１６との通信用のホストインタフェ
ース６１と、真空システム構成要素２０，２２，２４，
２６，２８との通信用の構成要素インタフェース６８，
７０と、ソフトウェアコードを記憶するコンピュータ読
み込み可能媒体７５と、前記各要素６１，６８，７０，
７５と通信するプロセッサ７４とを有する。ソフトウェ
アコードは、真空システム構成要素２０，２２，２４，
２６，２８を制御するコマンドを生成し、これらのコマ
ンドを複数の通信プロトコルに翻訳し、この翻訳したコ
マンドを構成要素インタフェース６８，７０に伝達す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空ネットワーク
コントローラに関するものである。
コントローラに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】クライオゼニック真空システムは、一般
的に、少なくとも一つのクライオゼニック真空ポンプ
（クライオポンプ）と、圧縮ヘリウムをクライオポンプ
に供給する少なくとも一つのコンプレッサとを有する。
システムは、また、低真空ポンプ(roughing pump) 、水
ポンプ、ターボポンプ、バルブおよびゲージ等の他の構
成要素を有する。半導体処理用クラスタツール(cluster
tool)のような広範囲のシステムに、クライオゼニック
冷却を提供するために、これらの構成要素は、協同して
動作する。
的に、少なくとも一つのクライオゼニック真空ポンプ
（クライオポンプ）と、圧縮ヘリウムをクライオポンプ
に供給する少なくとも一つのコンプレッサとを有する。
システムは、また、低真空ポンプ(roughing pump) 、水
ポンプ、ターボポンプ、バルブおよびゲージ等の他の構
成要素を有する。半導体処理用クラスタツール(cluster
tool)のような広範囲のシステムに、クライオゼニック
冷却を提供するために、これらの構成要素は、協同して
動作する。
【０００３】クラスタツールは、クラスタツール内の全
システムの最上位の制御を提供するホストコントローラ
を有する。ツールは、ウォータエッチング、化学または
プラズマ蒸着、酸化、焼結、焼なまし等の種々の半導体
製造工程を実行するための一連の工程チャンバを有す
る。これらの工程は、しばしば、分離したチャンバ内で
実行され、各チャンバは、クライオゼニック真空システ
ムのクライオポンプを有する。
システムの最上位の制御を提供するホストコントローラ
を有する。ツールは、ウォータエッチング、化学または
プラズマ蒸着、酸化、焼結、焼なまし等の種々の半導体
製造工程を実行するための一連の工程チャンバを有す
る。これらの工程は、しばしば、分離したチャンバ内で
実行され、各チャンバは、クライオゼニック真空システ
ムのクライオポンプを有する。
【０００４】さらに、従来の真空システムは、一般的
に、ツールを制御するツールホストコントローラとはRS
-232プロトコルで通信し、システム内のクライオポンプ
のネットワークとはビットバス（BitBus) プロトコルで
通信するネットワークインタフェース端末を有する。低
真空ポンプ、コンプレッサ、およびゲートバルブ等の他
の真空システム構成要素は、一般に、ホストコントロー
ラと接続されており、ツールホストコントローラがこれ
らの構成要素の動作を制御するためにコマンドを発行す
ることが、許容されている。
に、ツールを制御するツールホストコントローラとはRS
-232プロトコルで通信し、システム内のクライオポンプ
のネットワークとはビットバス（BitBus) プロトコルで
通信するネットワークインタフェース端末を有する。低
真空ポンプ、コンプレッサ、およびゲートバルブ等の他
の真空システム構成要素は、一般に、ホストコントロー
ラと接続されており、ツールホストコントローラがこれ
らの構成要素の動作を制御するためにコマンドを発行す
ることが、許容されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来のシステム
のネットワークインタフェース端末は、クライオゼニッ
ク真空システムにおけるクライオポンプに対して、応答
制御およびユーザに合わせた制御を提供する。しかし、
従来のシステムの性質は、以下の方法に制限される。第
１に、ネットワークインタフェース端末は、端末が通信
用にプログラムされたプロトコルで通信する真空システ
ム構成要素のみを受け入れる。ネットワークインタフェ
ース端末のクライオポンプとの通信は、一般に、ビット
バスに制限され、一方、ホストコントローラとの通信
は、一般に、RS-232に制限される。しかし、これら以外
の多様なプロトコルが存在し、多くの構成要素がこれら
多様なプロトコルの一つで通信するように設計されてい
る。同様の問題が、ホストコントローラとの通信におい
て存在する。さらに、制御用能力（容量）は、主として
システムのクライオポンプに費やされるので、ネットワ
ークインタフェース端末の制御能力が制限される。さら
に、ネットワークインタフェース端末の制限された能力
は、ホストコントローラに、真空システム構成要素の監
視や制御において、相当の負荷を与える。この負荷は、
一般に、種々の真空システム構成要素とホストコントロ
ーラとをリンクするケーブル束となって表われている。
のネットワークインタフェース端末は、クライオゼニッ
ク真空システムにおけるクライオポンプに対して、応答
制御およびユーザに合わせた制御を提供する。しかし、
従来のシステムの性質は、以下の方法に制限される。第
１に、ネットワークインタフェース端末は、端末が通信
用にプログラムされたプロトコルで通信する真空システ
ム構成要素のみを受け入れる。ネットワークインタフェ
ース端末のクライオポンプとの通信は、一般に、ビット
バスに制限され、一方、ホストコントローラとの通信
は、一般に、RS-232に制限される。しかし、これら以外
の多様なプロトコルが存在し、多くの構成要素がこれら
多様なプロトコルの一つで通信するように設計されてい
る。同様の問題が、ホストコントローラとの通信におい
て存在する。さらに、制御用能力（容量）は、主として
システムのクライオポンプに費やされるので、ネットワ
ークインタフェース端末の制御能力が制限される。さら
に、ネットワークインタフェース端末の制限された能力
は、ホストコントローラに、真空システム構成要素の監
視や制御において、相当の負荷を与える。この負荷は、
一般に、種々の真空システム構成要素とホストコントロ
ーラとをリンクするケーブル束となって表われている。
【０００６】そこで、本発明は、異なる通信プロトコル
で動作する真空システム構成要素の使用の調整が容易な
真空ネットワークコントローラを提供することを目的と
する。
で動作する真空システム構成要素の使用の調整が容易な
真空ネットワークコントローラを提供することを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の真空ネットワークコントローラは、プロセ
ッサと、コンピュータ実行可能ソフトウェアコードを記
憶するコンピュータ読み込み可能媒体と、ホストコント
ローラとの通信用のホストインタフェースと、真空シス
テム構成要素との通信用の構成要素インタフェースとを
有する。両方のインタフェースは、コンピュータ読み込
み可能媒体と同様に、プロセッサと通信する。コンピュ
ータ読み込み可能媒体に記憶されたソフトウェアコード
は、以下の処理を実行する能力を有する。これらの処理
は、構成要素インタフェースとのインタフェースを持つ
真空システム構成要素を制御する複数のコマンドを生成
する処理、これらのコマンドを多数の通信プロトコルに
翻訳する処理、および翻訳したコマンドを構成要素イン
タフェースに伝達する処理である。
に、本発明の真空ネットワークコントローラは、プロセ
ッサと、コンピュータ実行可能ソフトウェアコードを記
憶するコンピュータ読み込み可能媒体と、ホストコント
ローラとの通信用のホストインタフェースと、真空シス
テム構成要素との通信用の構成要素インタフェースとを
有する。両方のインタフェースは、コンピュータ読み込
み可能媒体と同様に、プロセッサと通信する。コンピュ
ータ読み込み可能媒体に記憶されたソフトウェアコード
は、以下の処理を実行する能力を有する。これらの処理
は、構成要素インタフェースとのインタフェースを持つ
真空システム構成要素を制御する複数のコマンドを生成
する処理、これらのコマンドを多数の通信プロトコルに
翻訳する処理、および翻訳したコマンドを構成要素イン
タフェースに伝達する処理である。
【０００８】好ましい実施形態では、ソフトウェアコー
ドは、ホストコントローラからの指示を翻訳することが
でき、これらの翻訳された指示を、コマンド生成の基礎
として用いる。
ドは、ホストコントローラからの指示を翻訳することが
でき、これらの翻訳された指示を、コマンド生成の基礎
として用いる。
【０００９】別の好ましい実施形態では、ソフトウェア
コードは、真空ネットワークコントローラと、ホストコ
ントローラおよび真空システム構成要素の両方との間の
通信を、以下の通信プロトコルの一つ以上に、またはこ
れらの通信プロトコルから翻訳することができる。これ
ら通信プロトコルは、ビットバス、イーサネット、TCP/
IP、RS-233、RS-485、デバイスネット、プロフィバスお
よびエシャロンである。この実施形態では、ソフトウェ
アコードは、さらに、プロセッサが、アナログ形式の構
成要素から転送されたデータを処理することを可能とす
る。
コードは、真空ネットワークコントローラと、ホストコ
ントローラおよび真空システム構成要素の両方との間の
通信を、以下の通信プロトコルの一つ以上に、またはこ
れらの通信プロトコルから翻訳することができる。これ
ら通信プロトコルは、ビットバス、イーサネット、TCP/
IP、RS-233、RS-485、デバイスネット、プロフィバスお
よびエシャロンである。この実施形態では、ソフトウェ
アコードは、さらに、プロセッサが、アナログ形式の構
成要素から転送されたデータを処理することを可能とす
る。
【００１０】さらに別の好ましい実施形態では、ソフト
ウェアコードは、真空システム構成要素からの動作デー
タを処理することによって、真空システムを監視および
制御できる。
ウェアコードは、真空システム構成要素からの動作デー
タを処理することによって、真空システムを監視および
制御できる。
【００１１】さらに別の好ましい実施形態では、ソフト
ウェアコードは、クライオポンプ以外の構成要素を制御
するように、コマンドを生成することができる。種々の
実施形態では、ソフトウェアコードは、低真空ポンプ、
コンプレッサ、ターボポンプおよびゲートバルブ等の制
御構成要素に対するコマンドを生成できる。さらに、ソ
フトウェアコードは、上記の構成要素のほかに、センサ
のような種々の真空システム構成要素から受信したデー
タに対して応答できる。
ウェアコードは、クライオポンプ以外の構成要素を制御
するように、コマンドを生成することができる。種々の
実施形態では、ソフトウェアコードは、低真空ポンプ、
コンプレッサ、ターボポンプおよびゲートバルブ等の制
御構成要素に対するコマンドを生成できる。さらに、ソ
フトウェアコードは、上記の構成要素のほかに、センサ
のような種々の真空システム構成要素から受信したデー
タに対して応答できる。
【００１２】本発明の真空ネットワークは、上記の真空
ネットワークコントローラを有し、構成要素インタフェ
ースと通信する多数の真空システム構成要素を有する。
これら多数の構成要素は、異なる通信プロトコルに応答
する構成要素を含む。
ネットワークコントローラを有し、構成要素インタフェ
ースと通信する多数の真空システム構成要素を有する。
これら多数の構成要素は、異なる通信プロトコルに応答
する構成要素を含む。
【００１３】このネットワークの好ましい実施形態で
は、ホストコントローラは、真空ネットワークコントロ
ーラのホストインタフェースと通信する。他の好ましい
実施形態では、クライオポンプ、低真空ポンプ、コンプ
レッサ、またはターボポンプは、真空ネットワークコン
トローラの構成要素インタフェースと通信する。さらに
別の実施形態では、ネットワークは遠隔中央コントロー
ラを有し、この遠隔中央コントローラは、前記真空ネッ
トワークコントローラ、および、このコントローラ以外
の多数の真空ネットワークコントローラと、監視および
制御のために通信する。このネットワークの最後の好ま
しい実施形態では、構成要素インタフェースと通信する
多数のクライオポンプを有し、別個のクライオポンプは
別個のコマンドコードに応答する。
は、ホストコントローラは、真空ネットワークコントロ
ーラのホストインタフェースと通信する。他の好ましい
実施形態では、クライオポンプ、低真空ポンプ、コンプ
レッサ、またはターボポンプは、真空ネットワークコン
トローラの構成要素インタフェースと通信する。さらに
別の実施形態では、ネットワークは遠隔中央コントロー
ラを有し、この遠隔中央コントローラは、前記真空ネッ
トワークコントローラ、および、このコントローラ以外
の多数の真空ネットワークコントローラと、監視および
制御のために通信する。このネットワークの最後の好ま
しい実施形態では、構成要素インタフェースと通信する
多数のクライオポンプを有し、別個のクライオポンプは
別個のコマンドコードに応答する。
【００１４】本発明の真空ネットワーク制御方法は、真
空ネットワークを制御するコントローラで実行されるコ
ンピュータ解釈可能な命令セットで埋められている。こ
の方法は、ホストコントローラから指示を受信する工程
と、真空システム構成要素の制御用コマンドを生成する
ために、指示を処理する工程と、選んだ構成要素ソフト
ウェアドライバで、コマンドを、多数の通信プロトコル
の一つに翻訳する工程と、翻訳したコマンドを、真空シ
ステム構成要素の動作を制御するために、構成要素イン
タフェースに伝達する工程とを有する。
空ネットワークを制御するコントローラで実行されるコ
ンピュータ解釈可能な命令セットで埋められている。こ
の方法は、ホストコントローラから指示を受信する工程
と、真空システム構成要素の制御用コマンドを生成する
ために、指示を処理する工程と、選んだ構成要素ソフト
ウェアドライバで、コマンドを、多数の通信プロトコル
の一つに翻訳する工程と、翻訳したコマンドを、真空シ
ステム構成要素の動作を制御するために、構成要素イン
タフェースに伝達する工程とを有する。
【００１５】本方法の一つの変形例は、さらに、真空シ
ステム構成要素の制御用コマンドを翻訳するドライバを
見つけるために、異なる通信プロトコル用の構成要素ソ
フトウェアドライバのライブラリから、一つの構成要素
ソフトウェアドライバを選ぶ工程を有する。本方法の二
つ目の変形例は、ホストコントローラから受信した指示
を、真空ネットワークコントローラ内で処理するよう
に、内部プロトコルに翻訳する工程を有する。
ステム構成要素の制御用コマンドを翻訳するドライバを
見つけるために、異なる通信プロトコル用の構成要素ソ
フトウェアドライバのライブラリから、一つの構成要素
ソフトウェアドライバを選ぶ工程を有する。本方法の二
つ目の変形例は、ホストコントローラから受信した指示
を、真空ネットワークコントローラ内で処理するよう
に、内部プロトコルに翻訳する工程を有する。
【００１６】本方法の好ましい実施形態では、クライオ
ポンプの動作が制御される。別の好ましい実施形態で
は、第２コマンドが生成され、第２ソフトウェアドライ
バが選ばれて、この第２コマンドを、第１構成要素とは
別個の通信プロトコルを用いて第２構成要素の動作を制
御するために、第２プロトコルに翻訳する。この好まし
い実施形態の種々の変形例において、第２真空システム
構成要素は、低真空ポンプ、コンプレッサ、ゲートバル
ブ、または第２クライオポンプである。本方法の別の好
ましい実施形態では、上記の真空システム構成要素のよ
うな二つの真空システム構成要素からデータを受信する
工程と、このデータを、真空ネットワークにおける障害
を診断するために使用する工程とを有する。次に、真空
システム構成要素は、障害を治療するために、制御され
る。
ポンプの動作が制御される。別の好ましい実施形態で
は、第２コマンドが生成され、第２ソフトウェアドライ
バが選ばれて、この第２コマンドを、第１構成要素とは
別個の通信プロトコルを用いて第２構成要素の動作を制
御するために、第２プロトコルに翻訳する。この好まし
い実施形態の種々の変形例において、第２真空システム
構成要素は、低真空ポンプ、コンプレッサ、ゲートバル
ブ、または第２クライオポンプである。本方法の別の好
ましい実施形態では、上記の真空システム構成要素のよ
うな二つの真空システム構成要素からデータを受信する
工程と、このデータを、真空ネットワークにおける障害
を診断するために使用する工程とを有する。次に、真空
システム構成要素は、障害を治療するために、制御され
る。
【００１７】本方法のさらに別の好ましい実施形態で
は、古い真空システム構成要素の取換えは、古い構成要
素用動作パラメータのファイルを確立して、これらのパ
ラメータを、古い構成要素を取換えるために取り付けら
れた新しい構成要素にロードすることによって、自動コ
ンフィグされる。本方法のさらに別の好ましい実施形態
では、さらに、真空ネットワークにおける真空システム
構成要素を識別する工程と、真空システム構成要素から
のデータを配布するように、かつ、真空ネットワーク動
作用コマンドを真空システム構成要素の識別子に基づい
て配布するように、ルーチングテーブルを確立する工程
とを有する。
は、古い真空システム構成要素の取換えは、古い構成要
素用動作パラメータのファイルを確立して、これらのパ
ラメータを、古い構成要素を取換えるために取り付けら
れた新しい構成要素にロードすることによって、自動コ
ンフィグされる。本方法のさらに別の好ましい実施形態
では、さらに、真空ネットワークにおける真空システム
構成要素を識別する工程と、真空システム構成要素から
のデータを配布するように、かつ、真空ネットワーク動
作用コマンドを真空システム構成要素の識別子に基づい
て配布するように、ルーチングテーブルを確立する工程
とを有する。
【００１８】本発明の装置および方法は、以下の利点を
提供する。第１に、真空ネットワークの制御は、本質的
に、プロトコルに依存しないので、異なる通信プロトコ
ルで動作する構成要素の使用を調整する困難さを十分に
削減できる。プロトコルに依存しないと、構成要素が通
信するプロトコルは制限因子である必要がないので、シ
ステムエンジニアには、構成要素を選ぶ際に、十分なゆ
とりが与えられる。したがって、コストを節約したり、
システム内の機能性を高めることができる。さらに、真
空ネットワークコントローラの高められた性能は、一般
には、極めて負荷が大きい種々の構成要素が接続され
て、ツールホストのソフトウェアを変えることなく、シ
ステムに統合されることを許容する。
提供する。第１に、真空ネットワークの制御は、本質的
に、プロトコルに依存しないので、異なる通信プロトコ
ルで動作する構成要素の使用を調整する困難さを十分に
削減できる。プロトコルに依存しないと、構成要素が通
信するプロトコルは制限因子である必要がないので、シ
ステムエンジニアには、構成要素を選ぶ際に、十分なゆ
とりが与えられる。したがって、コストを節約したり、
システム内の機能性を高めることができる。さらに、真
空ネットワークコントローラの高められた性能は、一般
には、極めて負荷が大きい種々の構成要素が接続され
て、ツールホストのソフトウェアを変えることなく、シ
ステムに統合されることを許容する。
【００１９】第２に、真空ネットワークコントローラ
は、真空ネットワークにより広範囲に統合されるので、
従来のネットワークインタフェース端末に比べて、真空
ネットワークコントローラは、より高い応答性をもっ
て、かつ、障害の検出および診断能力を高めて、ネット
ワークを監視および制御できる。例えば、ポンプ、ゲー
ジおよびバルブのような幾つかの構成要素を監視するこ
とによって、各々からのデータは、障害の発生場所をよ
り良く三角法で測定するのに用いることができる。さら
に、真空ネットワークコントローラの広範囲の統合は、
システム全体にわたる障害が、構成要素（例えば、クラ
イオポンプ）レベルよりも、むしろシステム（真空チャ
ンバおよび補助製造サブシステムを含める）レベルで検
討されることを許容し、相互作用および構成要素間の相
互作用の影響は、より良く監視され、応答され得る。さ
らに、真空ネットワークコントローラの統合された動作
は、単に「トークンを循環」する従来の方式に比べて、
低真空バルブマッピング、供給の管理、および、圧縮ヘ
リウムの分配等の資源の調整の改良された制御を可能と
する。ここで、資源の割当は、固定のスケジュールに従
って、連続的に分配される。
は、真空ネットワークにより広範囲に統合されるので、
従来のネットワークインタフェース端末に比べて、真空
ネットワークコントローラは、より高い応答性をもっ
て、かつ、障害の検出および診断能力を高めて、ネット
ワークを監視および制御できる。例えば、ポンプ、ゲー
ジおよびバルブのような幾つかの構成要素を監視するこ
とによって、各々からのデータは、障害の発生場所をよ
り良く三角法で測定するのに用いることができる。さら
に、真空ネットワークコントローラの広範囲の統合は、
システム全体にわたる障害が、構成要素（例えば、クラ
イオポンプ）レベルよりも、むしろシステム（真空チャ
ンバおよび補助製造サブシステムを含める）レベルで検
討されることを許容し、相互作用および構成要素間の相
互作用の影響は、より良く監視され、応答され得る。さ
らに、真空ネットワークコントローラの統合された動作
は、単に「トークンを循環」する従来の方式に比べて、
低真空バルブマッピング、供給の管理、および、圧縮ヘ
リウムの分配等の資源の調整の改良された制御を可能と
する。ここで、資源の割当は、固定のスケジュールに従
って、連続的に分配される。
【００２０】第３に、真空ネットワークコントローラに
よって果たされるシステム管理におけるより能動的な役
割が、ホストコントローラの処理責任を軽減する。本発
明の真空ネットワークコントローラは、システムの下位
レベルでの制御機能を増加する。すなわち、ホストコン
トローラに制御機能の実行を頼るよりも、多くの制御機
能が、真空ネットワークコントローラによって実施され
る。したがって、ツールホストは、多くの異なる構成要
素に対する分離したアクセスポイントよりも、真空シス
テムの単一アクセスポイントを有することができる。真
空ネットワークコントローラの増加した機能性は、ツー
ルホストコントローラにおいて、他のツール構成要素の
動作に関連する処理タスクと同時に、複数の真空構成要
素から同時に転送されることによって起こる処理輻輳を
軽減する。処理責任のより優れた分配が、また、システ
ムの粗雑さ(robustness)を改良する。あるレベルで処理
の機能停止があっても、処理責任を、しばしば他のレベ
ルに移すことができる。最後に、低レベル処理の強化
は、実行できる処理機能の速度を高める。
よって果たされるシステム管理におけるより能動的な役
割が、ホストコントローラの処理責任を軽減する。本発
明の真空ネットワークコントローラは、システムの下位
レベルでの制御機能を増加する。すなわち、ホストコン
トローラに制御機能の実行を頼るよりも、多くの制御機
能が、真空ネットワークコントローラによって実施され
る。したがって、ツールホストは、多くの異なる構成要
素に対する分離したアクセスポイントよりも、真空シス
テムの単一アクセスポイントを有することができる。真
空ネットワークコントローラの増加した機能性は、ツー
ルホストコントローラにおいて、他のツール構成要素の
動作に関連する処理タスクと同時に、複数の真空構成要
素から同時に転送されることによって起こる処理輻輳を
軽減する。処理責任のより優れた分配が、また、システ
ムの粗雑さ(robustness)を改良する。あるレベルで処理
の機能停止があっても、処理責任を、しばしば他のレベ
ルに移すことができる。最後に、低レベル処理の強化
は、実行できる処理機能の速度を高める。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の方法の特徴およびその他
の詳細は、添付の図面を参照して詳述され、特許請求の
範囲において指摘される。図面において、同一の符号は
同一のものを示す。本発明の特定の実施形態は図面によ
り示されるが、発明をそれに限定するように示したもの
ではないと理解される。本発明の主要な特徴は、本発明
の範囲から外れない範囲で種々の実施形態に用いること
ができる。
の詳細は、添付の図面を参照して詳述され、特許請求の
範囲において指摘される。図面において、同一の符号は
同一のものを示す。本発明の特定の実施形態は図面によ
り示されるが、発明をそれに限定するように示したもの
ではないと理解される。本発明の主要な特徴は、本発明
の範囲から外れない範囲で種々の実施形態に用いること
ができる。
【００２２】図１に、クライオゼニックネットワークを
示す。真空ネットワークは、真空ネットワークコントロ
ーラ１２と、ホストコントローラへのホストリンク１４
とを有する。本実施形態において、ホストコントローラ
は、ツールホストコントローラ１６である。このホスト
コントローラ１６は、半導体処理用クラスタツールの動
作を制御する。ツールホストコントローラ１６は、真空
ネットワークの動作のほかに、クラスタツール内で実行
される各動作（例えば、エッチング、化学蒸着、および
焼なまし）を制御する。
示す。真空ネットワークは、真空ネットワークコントロ
ーラ１２と、ホストコントローラへのホストリンク１４
とを有する。本実施形態において、ホストコントローラ
は、ツールホストコントローラ１６である。このホスト
コントローラ１６は、半導体処理用クラスタツールの動
作を制御する。ツールホストコントローラ１６は、真空
ネットワークの動作のほかに、クラスタツール内で実行
される各動作（例えば、エッチング、化学蒸着、および
焼なまし）を制御する。
【００２３】真空ネットワークは、さらに、１つ以上の
クライオポンプ２０、低真空ポンプ２２、水ポンプ２４
およびターボポンプ２６等の真空システム構成要素に接
続された構成要素リンク１８を有する。ここで、低真空
ポンプは、低い真空度、つまり比較的高い真空圧力を実
現し、クライオポンプでは、高い真空度を達成する。真
空ネットワークは、また、クライオポンプ２０と、クラ
イオポンプ２０によって排気される各チャンバとの間の
通路の開閉を調整するゲートバルブ２８を有する。これ
らの構成要素の各状態は、真空ネットワークコントロー
ラ１２によって監視および制御できる。さらに、一実施
形態では、真空ネットワークコントローラ１２は、残留
ガス分析器、イオンゲージ、およびキャパシタンス圧力
計を含む種々のセンサを有する。システムで予診断を実
行するために、ネットワークに追加される前記センサセ
のような構成要素は、真空ネットワークの能力を高める
追加のデータを提供する。別の実施形態では、各構成要
素に対する通信、および各構成要素からの通信は、クラ
イオポンプ２０の一つに内蔵されたプロセッサにディジ
ーチェインされている。したがって、本実施形態では、
追加の下位レベル処理能力を供給する。
クライオポンプ２０、低真空ポンプ２２、水ポンプ２４
およびターボポンプ２６等の真空システム構成要素に接
続された構成要素リンク１８を有する。ここで、低真空
ポンプは、低い真空度、つまり比較的高い真空圧力を実
現し、クライオポンプでは、高い真空度を達成する。真
空ネットワークは、また、クライオポンプ２０と、クラ
イオポンプ２０によって排気される各チャンバとの間の
通路の開閉を調整するゲートバルブ２８を有する。これ
らの構成要素の各状態は、真空ネットワークコントロー
ラ１２によって監視および制御できる。さらに、一実施
形態では、真空ネットワークコントローラ１２は、残留
ガス分析器、イオンゲージ、およびキャパシタンス圧力
計を含む種々のセンサを有する。システムで予診断を実
行するために、ネットワークに追加される前記センサセ
のような構成要素は、真空ネットワークの能力を高める
追加のデータを提供する。別の実施形態では、各構成要
素に対する通信、および各構成要素からの通信は、クラ
イオポンプ２０の一つに内蔵されたプロセッサにディジ
ーチェインされている。したがって、本実施形態では、
追加の下位レベル処理能力を供給する。
【００２４】全ての真空システム構成要素が真空ネット
ワーク１２に接続されているので、構成要素は、ホスト
コントローラ１６への通知、またはホストコントローラ
１６の再プログラムの必要なしに、真空ネットワークに
追加、または真空ネットワークから外すことができる。
例えば、図２の真空ネットワークに示すように、ネット
ワークインタフェース端末は真空ネットワークコントロ
ーラ１２に置換され、ターボポンプ２６およびターボコ
ントローラ３０が真空ネットワークに取り付けられる。
本実施形態では、ターボポンプ２６との通信は、本発明
で新しく取り付けられた真空ネットワークコントローラ
１２を介して経路選択される。既に取り付けられている
水ポンプ２４との通信も、真空ネットワークコントロー
ラ１２を介して経路選択される。さらに後述するよう
に、真空ネットワークコントローラ１２は、取り付けら
れる構成要素の識別子を検査して、かつ、真空ネットワ
ーク内で動作するようにこれらの構成要素を自動的にコ
ンフィグするようにプログラムされている。したがっ
て、新しく取り付けられたターボポンプ２６の管理責任
は、真空ネットワークコントローラ１２に全てあるの
で、ホストコントローラは、再プログラムの必要はな
く、またはシステムにおけるターボポンプ２６の存在の
認識さえも要求されない。
ワーク１２に接続されているので、構成要素は、ホスト
コントローラ１６への通知、またはホストコントローラ
１６の再プログラムの必要なしに、真空ネットワークに
追加、または真空ネットワークから外すことができる。
例えば、図２の真空ネットワークに示すように、ネット
ワークインタフェース端末は真空ネットワークコントロ
ーラ１２に置換され、ターボポンプ２６およびターボコ
ントローラ３０が真空ネットワークに取り付けられる。
本実施形態では、ターボポンプ２６との通信は、本発明
で新しく取り付けられた真空ネットワークコントローラ
１２を介して経路選択される。既に取り付けられている
水ポンプ２４との通信も、真空ネットワークコントロー
ラ１２を介して経路選択される。さらに後述するよう
に、真空ネットワークコントローラ１２は、取り付けら
れる構成要素の識別子を検査して、かつ、真空ネットワ
ーク内で動作するようにこれらの構成要素を自動的にコ
ンフィグするようにプログラムされている。したがっ
て、新しく取り付けられたターボポンプ２６の管理責任
は、真空ネットワークコントローラ１２に全てあるの
で、ホストコントローラは、再プログラムの必要はな
く、またはシステムにおけるターボポンプ２６の存在の
認識さえも要求されない。
【００２５】図３は、同様の状況であって、ネットワー
クインタフェース端末が真空ネットワークコントローラ
１２に置換されて、水ポンプ２４が真空ネットワークに
取り付けられた場合を示す。本実施形態では、ターボポ
ンプ２６との通信は、以前には、ホストコントローラ１
６とターボコントローラ３０との間のダイレクトリンク
３１を介して経路選択されていたが、本発明で新しく取
り付けられた真空ネットワークコントローラ１２を介し
て経路選択し直される。前述の実施形態と同様に、真空
ネットワークコントローラ１２は、ターボポンプ２６と
水ポンプ２４を監視および制御する全責任を負う。
クインタフェース端末が真空ネットワークコントローラ
１２に置換されて、水ポンプ２４が真空ネットワークに
取り付けられた場合を示す。本実施形態では、ターボポ
ンプ２６との通信は、以前には、ホストコントローラ１
６とターボコントローラ３０との間のダイレクトリンク
３１を介して経路選択されていたが、本発明で新しく取
り付けられた真空ネットワークコントローラ１２を介し
て経路選択し直される。前述の実施形態と同様に、真空
ネットワークコントローラ１２は、ターボポンプ２６と
水ポンプ２４を監視および制御する全責任を負う。
【００２６】図１の真空ネットワークに戻って、ネット
ワークは、また、サブファブリンク３２に接続された補
助製造（サブファブ）サブシステムを有する。サブファ
ブサブシステムは、真空システム構成要素（特に、クラ
イオポンプ２０）の支持に必要な機械装置を有する。本
実施形態では、サブファブサブシステムは、クライオポ
ンプ２０に圧縮ヘリウムガスを供給するコンプレッサ３
４と、コンプレッサ３４を介して冷却水を流す冷凍機３
６と、低真空ポンプ３８とを有する。
ワークは、また、サブファブリンク３２に接続された補
助製造（サブファブ）サブシステムを有する。サブファ
ブサブシステムは、真空システム構成要素（特に、クラ
イオポンプ２０）の支持に必要な機械装置を有する。本
実施形態では、サブファブサブシステムは、クライオポ
ンプ２０に圧縮ヘリウムガスを供給するコンプレッサ３
４と、コンプレッサ３４を介して冷却水を流す冷凍機３
６と、低真空ポンプ３８とを有する。
【００２７】真空ネットワークは、また、真空ネットワ
ークコントローラ１２に遠隔リンク４６を介して連結さ
れたサーバ４４に、モデム４２によって接続された遠隔
中央コントローラ４０を有する。代わりに、遠隔中央コ
ントローラは、ＬＡＮやインターネット等の他の手段に
接続されてもよい。遠隔中央コントローラ４０は、同様
に多数の他の真空ネットワークにリンクされ、遠隔監視
ができ、必要ならば、それぞれの動作を制御できる。
ークコントローラ１２に遠隔リンク４６を介して連結さ
れたサーバ４４に、モデム４２によって接続された遠隔
中央コントローラ４０を有する。代わりに、遠隔中央コ
ントローラは、ＬＡＮやインターネット等の他の手段に
接続されてもよい。遠隔中央コントローラ４０は、同様
に多数の他の真空ネットワークにリンクされ、遠隔監視
ができ、必要ならば、それぞれの動作を制御できる。
【００２８】図４に、真空ネットワークコントローラ１
２のハードウェア構造の概略を示す。データバス７９お
よびアドレスバス８０は、それぞれ図示の構成要素にリ
ンクし、それらの間のデータ通信をサポートする。
２のハードウェア構造の概略を示す。データバス７９お
よびアドレスバス８０は、それぞれ図示の構成要素にリ
ンクし、それらの間のデータ通信をサポートする。
【００２９】真空ネットワークコントローラは、さら
に、バス７９，８０に接続された一連のインタフェース
を有する。第１に、ホストインタフェース６１は、真空
ネットワークコントローラ１２をツールホストコントロ
ーラ１６に結合するための接続を提供する。第２に、構
成要素インタフェースは、ビットバスインタフェース６
８と、真空システム構成要素に対する接続を提供する１
つ以上の他のインタフェース７０との両方を有する。真
空システム構成要素と通信するための種々のインタフェ
ースが、集合的に「構成要素インタフェース」と称され
る。第３に、サービスインタフェース５８は、局所的、
または遠隔的のいずれかのシステムで、技術者が相互作
用できる接続を提供する。各インタフェースの物理的な
構成は、各インタフェースが採用する通信プロトコルの
要求に応じて変わりうる。第４に、ユーザインタフェー
スは、ネットワークのユーザにアクセスできる端末また
はモニタに接続する。
に、バス７９，８０に接続された一連のインタフェース
を有する。第１に、ホストインタフェース６１は、真空
ネットワークコントローラ１２をツールホストコントロ
ーラ１６に結合するための接続を提供する。第２に、構
成要素インタフェースは、ビットバスインタフェース６
８と、真空システム構成要素に対する接続を提供する１
つ以上の他のインタフェース７０との両方を有する。真
空システム構成要素と通信するための種々のインタフェ
ースが、集合的に「構成要素インタフェース」と称され
る。第３に、サービスインタフェース５８は、局所的、
または遠隔的のいずれかのシステムで、技術者が相互作
用できる接続を提供する。各インタフェースの物理的な
構成は、各インタフェースが採用する通信プロトコルの
要求に応じて変わりうる。第４に、ユーザインタフェー
スは、ネットワークのユーザにアクセスできる端末また
はモニタに接続する。
【００３０】プロセッサ７４は、真空ネットワークコン
トローラの動作を駆動する。フラッシュメモリ７５（コ
ンピュータ読み込み可能媒体）は、長時間メモリを提供
し、プロセッサ７４に、初期化プロセス５２（図５）を
実行するモジュールを供給する。メモリ７６は、プロセ
ッサ７４に、短時間メモリ能力を供給する。さらに、プ
ロセッサ７４は拡張ポート７８に結合され、この拡張ポ
ート７８は、図４の構成の平行層が、拡大した処理、メ
モリ記憶、および通信能力に共に結合されることを許容
する。
トローラの動作を駆動する。フラッシュメモリ７５（コ
ンピュータ読み込み可能媒体）は、長時間メモリを提供
し、プロセッサ７４に、初期化プロセス５２（図５）を
実行するモジュールを供給する。メモリ７６は、プロセ
ッサ７４に、短時間メモリ能力を供給する。さらに、プ
ロセッサ７４は拡張ポート７８に結合され、この拡張ポ
ート７８は、図４の構成の平行層が、拡大した処理、メ
モリ記憶、および通信能力に共に結合されることを許容
する。
【００３１】図５に、真空ネットワークコントローラの
動作構成を示す。真空ネットワークコントローラ１２の
通信構成の中心は、真空ネットワークコントローラ１２
内の通信を方向付けるメッセージルータ４８である。コ
ントローラ動作は、パワーアップ診断プロセス５０を開
始する。このパワーアップ診断プロセス５０は、真空ネ
ットワークコントローラ１２に結合された構成要素を識
別し、ネットワークハードウェアおよびソフトウェアの
機能をテストする。このテストの間、真空ネットワーク
コントローラ１２は、真空ネットワーク動作を統治する
ことはできない。以下の構成要素、つまり、中央処理ユ
ニットおよびそれに関連するメモリ、電源回路、計測回
路、リレー、通信等の入出力インタフェースがテストさ
れる。図示のように、パワーアップ診断プロセス５０
は、制御を初期化プロセス５２に渡す。この初期化プロ
セス５２は、パワーアップ診断プロセス５０中に識別さ
れる取り付けられた構成要素の補充(make-up) に基づい
て、真空ネットワークコントローラ１２のハードウェア
／ソフトウェアシステムを初期化する。その間に、フラ
ッシュメモリ７５からモジュール（コンピュータ実行可
能ソフトウェアコード）が読み込まれる。初期化プロセ
ス５２は、また、ルーチングテーブル５４の集まりを作
成する。このルーチングテーブル５４によって、メッセ
ージルータ４８は、情報の配布が可能となり、真空ネッ
トワークコントローラ１２内の情報を直接リンクできる
ようになる。
動作構成を示す。真空ネットワークコントローラ１２の
通信構成の中心は、真空ネットワークコントローラ１２
内の通信を方向付けるメッセージルータ４８である。コ
ントローラ動作は、パワーアップ診断プロセス５０を開
始する。このパワーアップ診断プロセス５０は、真空ネ
ットワークコントローラ１２に結合された構成要素を識
別し、ネットワークハードウェアおよびソフトウェアの
機能をテストする。このテストの間、真空ネットワーク
コントローラ１２は、真空ネットワーク動作を統治する
ことはできない。以下の構成要素、つまり、中央処理ユ
ニットおよびそれに関連するメモリ、電源回路、計測回
路、リレー、通信等の入出力インタフェースがテストさ
れる。図示のように、パワーアップ診断プロセス５０
は、制御を初期化プロセス５２に渡す。この初期化プロ
セス５２は、パワーアップ診断プロセス５０中に識別さ
れる取り付けられた構成要素の補充(make-up) に基づい
て、真空ネットワークコントローラ１２のハードウェア
／ソフトウェアシステムを初期化する。その間に、フラ
ッシュメモリ７５からモジュール（コンピュータ実行可
能ソフトウェアコード）が読み込まれる。初期化プロセ
ス５２は、また、ルーチングテーブル５４の集まりを作
成する。このルーチングテーブル５４によって、メッセ
ージルータ４８は、情報の配布が可能となり、真空ネッ
トワークコントローラ１２内の情報を直接リンクできる
ようになる。
【００３２】制御プロセス５６は、真空ネットワークコ
ントローラ１２の監視および制御機能をサポートする。
サービスインタフェース５８によって、技術者は、真空
ネットワークコントローラ内の動作に、サービスアクセ
スが可能となる。好ましい実施形態では、サービスイン
タフェース５８の通信ポートは、RS-232で通信する。し
かしながら、アーキテクチャは、代わりに種々の通信プ
ロトコルをサポートできる。イベントジェネレータ６０
は、システムイベントの標準セットに加えて、ユーザ定
義のイベントが生成されることを可能とする。ホストイ
ンタフェース６１は、ツールホストコントローラ１６
（図１）への通信、およびツールホストコントローラ１
６からの通信を提供する。グローバル資源制御プロセス
６２は、ヘリウムシステムおよび低真空ポンプ２２（図
１）等の共通資源の動作を調整し、制御する責任を負
う。グローバル資源制御プロセス６２は、種々のネット
ワーク構成要素から集められたデータを分析して、拡張
した実用に対して、これらの共通資源の最も効果的かつ
効率的な割当を決定する。さらに、アーキテクチャは、
真空ネットワークの監視および制御用の追加グローバル
資源を受け入れるように設計されている。
ントローラ１２の監視および制御機能をサポートする。
サービスインタフェース５８によって、技術者は、真空
ネットワークコントローラ内の動作に、サービスアクセ
スが可能となる。好ましい実施形態では、サービスイン
タフェース５８の通信ポートは、RS-232で通信する。し
かしながら、アーキテクチャは、代わりに種々の通信プ
ロトコルをサポートできる。イベントジェネレータ６０
は、システムイベントの標準セットに加えて、ユーザ定
義のイベントが生成されることを可能とする。ホストイ
ンタフェース６１は、ツールホストコントローラ１６
（図１）への通信、およびツールホストコントローラ１
６からの通信を提供する。グローバル資源制御プロセス
６２は、ヘリウムシステムおよび低真空ポンプ２２（図
１）等の共通資源の動作を調整し、制御する責任を負
う。グローバル資源制御プロセス６２は、種々のネット
ワーク構成要素から集められたデータを分析して、拡張
した実用に対して、これらの共通資源の最も効果的かつ
効率的な割当を決定する。さらに、アーキテクチャは、
真空ネットワークの監視および制御用の追加グローバル
資源を受け入れるように設計されている。
【００３３】オンライン／オフライン診断プロセス６４
は、真空ネットワークコントローラ１２および真空ネッ
トワークの適切な動作を確保するためのバックグラウン
ド診断を実行する。オンライン診断は、真空ネットワー
クの動作に侵入しないので、真空ネットワークの動作を
中断することなく実行される。一方、オフライン診断
は、真空ネットワーク内の障害を分離するために提供さ
れる。オフライン診断は、真空ネットワークの動作に侵
入する。したがって、「オフライン」にされた真空ネッ
トワーク内、または「オフライン」にされた真空ネット
ワークの少なくとも一部で実行される。一般に、オフラ
イン診断は、動作情報に関する、より完全な情報を提供
する。
は、真空ネットワークコントローラ１２および真空ネッ
トワークの適切な動作を確保するためのバックグラウン
ド診断を実行する。オンライン診断は、真空ネットワー
クの動作に侵入しないので、真空ネットワークの動作を
中断することなく実行される。一方、オフライン診断
は、真空ネットワーク内の障害を分離するために提供さ
れる。オフライン診断は、真空ネットワークの動作に侵
入する。したがって、「オフライン」にされた真空ネッ
トワーク内、または「オフライン」にされた真空ネット
ワークの少なくとも一部で実行される。一般に、オフラ
イン診断は、動作情報に関する、より完全な情報を提供
する。
【００３４】ほとんどの診断データが、グラフィックユ
ーザインタフェース６６を介してユーザに送出され、ユ
ーザは、真空ネットワークコントローラ１２を監視およ
び制御できる。一実施形態では、真空ネットワークユー
ザのためのインタフェースとして作用するために、スク
リーンまたは端末が特に設けられている。別の実施形態
では、真空ネットワークコントローラ１２に、真空ネッ
トワーク内で他の目的に使用されるスクリーンまたは端
末と通信するためのソフトウェアドライバが設けられて
いる。
ーザインタフェース６６を介してユーザに送出され、ユ
ーザは、真空ネットワークコントローラ１２を監視およ
び制御できる。一実施形態では、真空ネットワークユー
ザのためのインタフェースとして作用するために、スク
リーンまたは端末が特に設けられている。別の実施形態
では、真空ネットワークコントローラ１２に、真空ネッ
トワーク内で他の目的に使用されるスクリーンまたは端
末と通信するためのソフトウェアドライバが設けられて
いる。
【００３５】標準ビットバスインタフェース６８は、ビ
ットバスプロトコルを使用する真空システム構成要素と
通信する。さらに、他の構成要素インタフェース７０
（例えば、デバイスネット(DeviceNet) 、プロフィバス
(ProfiBus)、RS-485、アナログ）が、これらのプロトコ
ルを使用する真空システム構成要素と通信する。各通信
プロトコルは、各ソフトウェアドライバを有する。同一
のインタフェースハードウェア（例えば、同一の物理コ
ネクタ）を共有できるプロトコルがある一方、別のイン
タフェースハードウェア（例えば、異なるピン構成によ
る）を要求するプロトコルもある。
ットバスプロトコルを使用する真空システム構成要素と
通信する。さらに、他の構成要素インタフェース７０
（例えば、デバイスネット(DeviceNet) 、プロフィバス
(ProfiBus)、RS-485、アナログ）が、これらのプロトコ
ルを使用する真空システム構成要素と通信する。各通信
プロトコルは、各ソフトウェアドライバを有する。同一
のインタフェースハードウェア（例えば、同一の物理コ
ネクタ）を共有できるプロトコルがある一方、別のイン
タフェースハードウェア（例えば、異なるピン構成によ
る）を要求するプロトコルもある。
【００３６】最後に、分析のための局所的および／また
は遠隔的に回復させられる真空ネットワーク情報を記憶
する能力を有する記録手段(logger)７２が提供される。
記録手段７２は、基本的には、イベント、状態、および
パラメータ変化を含む真空ネットワークで発生する全て
の記録を保持する。この情報は、局所に、または遠隔サ
イトに記憶され得る。
は遠隔的に回復させられる真空ネットワーク情報を記憶
する能力を有する記録手段(logger)７２が提供される。
記録手段７２は、基本的には、イベント、状態、および
パラメータ変化を含む真空ネットワークで発生する全て
の記録を保持する。この情報は、局所に、または遠隔サ
イトに記憶され得る。
【００３７】これらの動作には、各自のプロセッサを有
する動作もあれば、プロセッサを共有する動作もある。
本発明の真空ネットワークコントローラ１２の一実施形
態の標準動作は、以下の処理を包含する。第１に、上述
のように、パワーアップ診断プロセス５０が、真空ネッ
トワークコントローラ１２の始動で実行される。最初
に、パワーアップ診断プロセス５０が、真空ネットワー
クにおける構成要素を識別する。次に、診断プロセス５
０は、真空ネットワークコントローラ１２に、各構成要
素の動作を管理するのに必要な通信プロトコルおよびコ
マンドコードを通知する。次に、真空ネットワークコン
トローラ１２が、ネットワークに何が接続されているか
の決定に基づいて、ルーチングテーブル５４を確立す
る。パワーアップ診断プロセス５０は、さらに、ネット
ワークにおけるハードウェアおよびソフトウェアを初期
化する。ネットワーク化された構成要素（例えば、クラ
イオポンプ２０）が取換えられると、取換られた構成要
素のコンフィグレーションパラメータを、新しい構成要
素にロードすることによって、新しい構成要素に校正さ
れたパラメータで、新しい構成要素が自動コンフィグさ
れる。
する動作もあれば、プロセッサを共有する動作もある。
本発明の真空ネットワークコントローラ１２の一実施形
態の標準動作は、以下の処理を包含する。第１に、上述
のように、パワーアップ診断プロセス５０が、真空ネッ
トワークコントローラ１２の始動で実行される。最初
に、パワーアップ診断プロセス５０が、真空ネットワー
クにおける構成要素を識別する。次に、診断プロセス５
０は、真空ネットワークコントローラ１２に、各構成要
素の動作を管理するのに必要な通信プロトコルおよびコ
マンドコードを通知する。次に、真空ネットワークコン
トローラ１２が、ネットワークに何が接続されているか
の決定に基づいて、ルーチングテーブル５４を確立す
る。パワーアップ診断プロセス５０は、さらに、ネット
ワークにおけるハードウェアおよびソフトウェアを初期
化する。ネットワーク化された構成要素（例えば、クラ
イオポンプ２０）が取換えられると、取換られた構成要
素のコンフィグレーションパラメータを、新しい構成要
素にロードすることによって、新しい構成要素に校正さ
れたパラメータで、新しい構成要素が自動コンフィグさ
れる。
【００３８】いったんネットワークが初期化されてルー
チングテーブル５４が確立されると、真空ネットワーク
コントローラ１２に対する通信、真空ネットワークコン
トローラ１２からの通信、および真空ネットワークコン
トローラ１２を介した通信が可能となる。ツールホスト
コントローラ１６は、一般に、真空ネットワークの動作
に対する制御のスーパーバイザレベルを維持し、クラス
タツールの真空に関する要求に応答する所定の機能を実
行するために、ネットワークに指示を発行する。ツール
ホストコントローラ１６は、また、真空動作の状態を決
定するために、真空ネットワークからデータを要求して
もよい。指示を発行する場合、ホストコントローラ１６
は、指示（例えば、「真空化」または「クライオパネル
の再生成」）を、真空ネットワークコントローラ１２に
送信し、真空ネットワークコントローラ１２は、ホスト
インタフェースで指示を受信する。
チングテーブル５４が確立されると、真空ネットワーク
コントローラ１２に対する通信、真空ネットワークコン
トローラ１２からの通信、および真空ネットワークコン
トローラ１２を介した通信が可能となる。ツールホスト
コントローラ１６は、一般に、真空ネットワークの動作
に対する制御のスーパーバイザレベルを維持し、クラス
タツールの真空に関する要求に応答する所定の機能を実
行するために、ネットワークに指示を発行する。ツール
ホストコントローラ１６は、また、真空動作の状態を決
定するために、真空ネットワークからデータを要求して
もよい。指示を発行する場合、ホストコントローラ１６
は、指示（例えば、「真空化」または「クライオパネル
の再生成」）を、真空ネットワークコントローラ１２に
送信し、真空ネットワークコントローラ１２は、ホスト
インタフェースで指示を受信する。
【００３９】図６に、この指示を処理するためのコンピ
ュータソフトウェアに基づいた処理をフローチャートで
示す。ホストインタフェース６１（図４）で指示を受信
した後（ステップ８２）、真空ネットワークコントロー
ラ１２（図１，４および５）は、ライブラリから適切な
ソフトウェアドライバを選ぶ（ステップ８４）。ライブ
ラリは、ビットバス、RS-232、RS-485、デバイスネッ
ト、イーサネット、TCP/IP、プロフィバスおよびエシャ
ロン(Echelon) を、真空ネットワークに対して包括的な
内部プロトコルに翻訳するソフトウェアドライバを有す
る。既に展開されたドライバと同様に、現在存在する他
のプロトコル用ソフトウェアドライバが、展開の必要に
応じてライブラリに同じように取り入れられる。一実施
形態では、包括的な内部プロトコルは、Win32 オペレー
ティングシステム（マイクロソフトコーポレーション）
上で、確立される。しかし、選ばれる内部プロトコルの
識別および性質は、実際には、重要ではない。次に、ソ
フトウェアドライバが、ホストの指示を内部プロトコル
に翻訳する（ステップ８６）。翻訳されたホスト指示
が、プロセッサ７４（図４）によって、処理されて（ス
テップ８８）、特定の動作コマンド（例えば、適切なゲ
ートバルブ２８（図１）を閉じて、適切なクライオポン
プ２０を温める）を、ネットワーク上で動作可能状態に
ある構成要素についての真空ネットワークコントローラ
１２の認識に基づいて、生成する。この動作コマンド
は、ホスト指示によって探索された結果に影響を与え
る。再び、包括的な内部プロトコルを、ビットバス、イ
ーサネット、TCP/IP、RS-232、RS-485、デバイスネッ
ト、プロフィバス、またはエシャロン等（しかし、再
び、これらに限定されるわけではない）の構成要素プロ
コトルに翻訳するために、ドライバのライブラリから適
切なソフトウェアドライバが選ばれ（ステップ９０）、
このソフトウェアドライバが、コマンドを、選んだドラ
イバのプロトコルに翻訳する（ステップ９２）。次に、
翻訳されたコマンドは、構成要素インタフェース６８，
７０（図４）に伝達され（ステップ９４）、このインタ
フェース６８，７０から適切なネットワーク構成要素に
配信される。次に、構成要素がコマンドに応答する。
ュータソフトウェアに基づいた処理をフローチャートで
示す。ホストインタフェース６１（図４）で指示を受信
した後（ステップ８２）、真空ネットワークコントロー
ラ１２（図１，４および５）は、ライブラリから適切な
ソフトウェアドライバを選ぶ（ステップ８４）。ライブ
ラリは、ビットバス、RS-232、RS-485、デバイスネッ
ト、イーサネット、TCP/IP、プロフィバスおよびエシャ
ロン(Echelon) を、真空ネットワークに対して包括的な
内部プロトコルに翻訳するソフトウェアドライバを有す
る。既に展開されたドライバと同様に、現在存在する他
のプロトコル用ソフトウェアドライバが、展開の必要に
応じてライブラリに同じように取り入れられる。一実施
形態では、包括的な内部プロトコルは、Win32 オペレー
ティングシステム（マイクロソフトコーポレーション）
上で、確立される。しかし、選ばれる内部プロトコルの
識別および性質は、実際には、重要ではない。次に、ソ
フトウェアドライバが、ホストの指示を内部プロトコル
に翻訳する（ステップ８６）。翻訳されたホスト指示
が、プロセッサ７４（図４）によって、処理されて（ス
テップ８８）、特定の動作コマンド（例えば、適切なゲ
ートバルブ２８（図１）を閉じて、適切なクライオポン
プ２０を温める）を、ネットワーク上で動作可能状態に
ある構成要素についての真空ネットワークコントローラ
１２の認識に基づいて、生成する。この動作コマンド
は、ホスト指示によって探索された結果に影響を与え
る。再び、包括的な内部プロトコルを、ビットバス、イ
ーサネット、TCP/IP、RS-232、RS-485、デバイスネッ
ト、プロフィバス、またはエシャロン等（しかし、再
び、これらに限定されるわけではない）の構成要素プロ
コトルに翻訳するために、ドライバのライブラリから適
切なソフトウェアドライバが選ばれ（ステップ９０）、
このソフトウェアドライバが、コマンドを、選んだドラ
イバのプロトコルに翻訳する（ステップ９２）。次に、
翻訳されたコマンドは、構成要素インタフェース６８，
７０（図４）に伝達され（ステップ９４）、このインタ
フェース６８，７０から適切なネットワーク構成要素に
配信される。次に、構成要素がコマンドに応答する。
【００４０】真空ネットワークコントローラ１２と真空
システム構成要素との間の通信は、一般に、双方向であ
る。例えば、真空システム構成要素は、一般に、動作状
態と、真空ネットワークコントローラ１２に実行し戻す
測定とに関係するデータを供給する。構成要素は、自ら
進んで、または真空ネットワークコントローラ１２から
のデータ催促に応答して、真空ネットワークコントロー
ラ１２にデータを送信できる。構成要素からのデータ
は、真空ネットワークコントローラ１２の構成要素イン
タフェース６８，７０で受信される。真空ネットワーク
コントローラ１２は、次に、ビットバス、イーサネッ
ト、TCP/IP、RS-232、RS-485、デバイスネット、プロフ
ィバス、エシャロンおよびアナログ信号を、包括的な内
部プロトコルに翻訳するために、ドライバを有するライ
ブラリから適切なソフトウェアドライバを選ぶ。翻訳さ
れたデータは、次に、プロセッサ７４（図４）によっ
て、ホストコントローラ１６に送出されて、および／ま
たは表示もしくは特定の動作コマンドに使用されるため
に、基本的な状態情報に処理される。真空ネットワーク
コントローラ１２が動作コマンド生成のために構成要素
データを処理する一例は、イベントジェネレータ６０の
使用を含む。例えば、イベントジェネレータ６０は、構
成要素の温度を監視するようにプログラムすることがで
き、構成要素の温度が所定値よりも上昇すると、構成要
素をシャットダウンするか、対策手段を開始するか、シ
ステムユーザに通知するかによって、応答するようにプ
ログラムすることができる。この応答の特定の種類は、
ユーザによって予め決定されている。
システム構成要素との間の通信は、一般に、双方向であ
る。例えば、真空システム構成要素は、一般に、動作状
態と、真空ネットワークコントローラ１２に実行し戻す
測定とに関係するデータを供給する。構成要素は、自ら
進んで、または真空ネットワークコントローラ１２から
のデータ催促に応答して、真空ネットワークコントロー
ラ１２にデータを送信できる。構成要素からのデータ
は、真空ネットワークコントローラ１２の構成要素イン
タフェース６８，７０で受信される。真空ネットワーク
コントローラ１２は、次に、ビットバス、イーサネッ
ト、TCP/IP、RS-232、RS-485、デバイスネット、プロフ
ィバス、エシャロンおよびアナログ信号を、包括的な内
部プロトコルに翻訳するために、ドライバを有するライ
ブラリから適切なソフトウェアドライバを選ぶ。翻訳さ
れたデータは、次に、プロセッサ７４（図４）によっ
て、ホストコントローラ１６に送出されて、および／ま
たは表示もしくは特定の動作コマンドに使用されるため
に、基本的な状態情報に処理される。真空ネットワーク
コントローラ１２が動作コマンド生成のために構成要素
データを処理する一例は、イベントジェネレータ６０の
使用を含む。例えば、イベントジェネレータ６０は、構
成要素の温度を監視するようにプログラムすることがで
き、構成要素の温度が所定値よりも上昇すると、構成要
素をシャットダウンするか、対策手段を開始するか、シ
ステムユーザに通知するかによって、応答するようにプ
ログラムすることができる。この応答の特定の種類は、
ユーザによって予め決定されている。
【００４１】真空ネットワークコントローラ１２は、ま
た、グラフィックユーザインタフェース６６を介して、
ネットワークユーザと通信する。さらに、真空ネットワ
ークコントローラ１２は、サービスインタフェース５８
を介して、技術者と通信する。このサービスインタフェ
ース５８は、真空システムおよびその構成要素の手動制
御を可能にするプログラミング能力を設ける。
た、グラフィックユーザインタフェース６６を介して、
ネットワークユーザと通信する。さらに、真空ネットワ
ークコントローラ１２は、サービスインタフェース５８
を介して、技術者と通信する。このサービスインタフェ
ース５８は、真空システムおよびその構成要素の手動制
御を可能にするプログラミング能力を設ける。
【００４２】最後に、真空ネットワークコントローラ１
２は、サーバ４４を介し、モデム４２によって、真空ネ
ットワークから離れたサイトに位置する遠隔中央コント
ローラ４０と通信する。真空ネットワークコントローラ
１２は、遠隔中央コントローラ４０に、ネットワーク動
作に関係する情報を送信する。さらに、遠隔中央コント
ローラ４０は、この情報を要求するために、真空ネット
ワークコントローラ１２に催促を送信できる。遠隔中央
コントローラ４０は、多数の同じような真空ネットワー
クに、同様にリンクされている。その結果、遠隔中央コ
ントローラ４０は、ネットワーク動作の観測の広範なデ
ータベースを展開し、ネットワーク障害を分析するため
に、このデータベースを使う。さらに、遠隔中央コント
ローラ４０は、特定のネットワーク障害に対する種々の
応答の成功を監視して、新しい障害が生じた時に、それ
を取り扱うための応答の発行および促進能力を増大す
る。したがって、真空ネットワーク動作において認識し
た障害に対する診断および応答を援助させるために、真
空ネットワークコントローラ１２は、遠隔中央コントロ
ーラ４０を呼び出すことができる。
２は、サーバ４４を介し、モデム４２によって、真空ネ
ットワークから離れたサイトに位置する遠隔中央コント
ローラ４０と通信する。真空ネットワークコントローラ
１２は、遠隔中央コントローラ４０に、ネットワーク動
作に関係する情報を送信する。さらに、遠隔中央コント
ローラ４０は、この情報を要求するために、真空ネット
ワークコントローラ１２に催促を送信できる。遠隔中央
コントローラ４０は、多数の同じような真空ネットワー
クに、同様にリンクされている。その結果、遠隔中央コ
ントローラ４０は、ネットワーク動作の観測の広範なデ
ータベースを展開し、ネットワーク障害を分析するため
に、このデータベースを使う。さらに、遠隔中央コント
ローラ４０は、特定のネットワーク障害に対する種々の
応答の成功を監視して、新しい障害が生じた時に、それ
を取り扱うための応答の発行および促進能力を増大す
る。したがって、真空ネットワーク動作において認識し
た障害に対する診断および応答を援助させるために、真
空ネットワークコントローラ１２は、遠隔中央コントロ
ーラ４０を呼び出すことができる。
【００４３】また、遠隔中央コントローラ４０は、周期
的に、真空システム構成要素の性能に関係する情報を、
真空ネットワークコントローラ１２に催促する。その結
果、遠隔中央コントローラ４０は、構成要素のエージン
グのような障害を検出するために、予診断を実行でき
る。クライオポンプ２０は、例えば、一般的に耐用寿命
を越えて機能しなくなる前に、エージングのサインを示
す。温度、圧力、排気速度、および／またはモータトル
ク等に関する動作データを分析することによって、遠隔
中央コントローラ４０は、クライオポンプ２０のエージ
ングを認識できる。エージングを認識すると、遠隔中央
コントローラ４０は、真空ネットワークコントローラ１
２に、治療動作（例えば、エージングのクライオポンプ
２０内の排気往復の速度を高める）を採るために指示を
返信し、時期が決められている次回の保守までの間、サ
ービス技術者に、クライオポンプ２０を置換するメッセ
ージを送信する。構成要素障害を即時に検出して予測す
る能力は、時期が決められている保守作業の間に、全て
の必要な保守を実行できるという目標を、大幅に促進す
る。もちろん、構成要素の状態がさし迫った不具合を有
するならば、遠隔中央コントローラ４０は、構成要素が
機能を中止する前に、効率レベルを許容できる時点で、
保守の実行を指図できる。したがって、構成要素故障に
よるネットワーク停止時間の危険は、十分に軽減され
る。
的に、真空システム構成要素の性能に関係する情報を、
真空ネットワークコントローラ１２に催促する。その結
果、遠隔中央コントローラ４０は、構成要素のエージン
グのような障害を検出するために、予診断を実行でき
る。クライオポンプ２０は、例えば、一般的に耐用寿命
を越えて機能しなくなる前に、エージングのサインを示
す。温度、圧力、排気速度、および／またはモータトル
ク等に関する動作データを分析することによって、遠隔
中央コントローラ４０は、クライオポンプ２０のエージ
ングを認識できる。エージングを認識すると、遠隔中央
コントローラ４０は、真空ネットワークコントローラ１
２に、治療動作（例えば、エージングのクライオポンプ
２０内の排気往復の速度を高める）を採るために指示を
返信し、時期が決められている次回の保守までの間、サ
ービス技術者に、クライオポンプ２０を置換するメッセ
ージを送信する。構成要素障害を即時に検出して予測す
る能力は、時期が決められている保守作業の間に、全て
の必要な保守を実行できるという目標を、大幅に促進す
る。もちろん、構成要素の状態がさし迫った不具合を有
するならば、遠隔中央コントローラ４０は、構成要素が
機能を中止する前に、効率レベルを許容できる時点で、
保守の実行を指図できる。したがって、構成要素故障に
よるネットワーク停止時間の危険は、十分に軽減され
る。
【００４４】以上のとおり、図面を参照しながら好適な
実施形態を説明したが、当業者であれば、本件明細書を
見て、特許請求の範囲に記載した発明の思想から逸脱し
ない範囲内で、種々の変更および修正を容易に想定する
であろう。
実施形態を説明したが、当業者であれば、本件明細書を
見て、特許請求の範囲に記載した発明の思想から逸脱し
ない範囲内で、種々の変更および修正を容易に想定する
であろう。
【００４５】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、真空ネ
ットワークの制御を、本質的に、プロトコルに依存させ
ないので、異なる通信プロトコルで動作する構成要素の
使用を調整する困難さを十分に削減できる。プロトコル
に依存しないと、構成要素が通信するプロトコルは制限
因子である必要がないので、システムエンジニアには、
構成要素を選ぶ際に、十分なゆとりが与えられる。した
がって、コストを節約したり、システム内の機能性を高
めることができる。さらに、真空ネットワークコントロ
ーラの高められた性能は、一般には、極めて負荷が大き
い種々の構成要素が接続されて、ツールホストのソフト
ウェアを変えることなく、システムに統合されることを
許容する。
ットワークの制御を、本質的に、プロトコルに依存させ
ないので、異なる通信プロトコルで動作する構成要素の
使用を調整する困難さを十分に削減できる。プロトコル
に依存しないと、構成要素が通信するプロトコルは制限
因子である必要がないので、システムエンジニアには、
構成要素を選ぶ際に、十分なゆとりが与えられる。した
がって、コストを節約したり、システム内の機能性を高
めることができる。さらに、真空ネットワークコントロ
ーラの高められた性能は、一般には、極めて負荷が大き
い種々の構成要素が接続されて、ツールホストのソフト
ウェアを変えることなく、システムに統合されることを
許容する。
【図１】クライオゼニック真空ネットワークの概略図で
ある。
ある。
【図２】水ポンプが追加されたクライオゼニック真空ネ
ットワークの概略図である。
ットワークの概略図である。
【図３】ターボポンプが追加されたクライオゼニック真
空ネットワークの概略図である。
空ネットワークの概略図である。
【図４】真空ネットワークコントローラにおけるハード
ウェアの概略図である。
ウェアの概略図である。
【図５】真空ネットワークコントローラの動作構成の概
略図である。
略図である。
【図６】本発明の方法で真空ネットワークコントローラ
によって実行される処理ステップを示すフローチャート
である。
によって実行される処理ステップを示すフローチャート
である。
１２…真空ネットワークコントローラ、１６…ホストコ
ントローラ、２０…クライオポンプ（真空システム構成
要素）、２２…低真空ポンプ（真空システム構成要
素）、２４…水ポンプ（真空システム構成要素）、２６
…ターボポンプ（真空システム構成要素）、２８…ゲー
トバルブ（真空システム構成要素）、４０…遠隔中央コ
ントローラ、６１…ホストインタフェース、６８，７０
…構成要素インタフェース、７４…プロセッサ、７５…
コンピュータ読み込み可能媒体。
ントローラ、２０…クライオポンプ（真空システム構成
要素）、２２…低真空ポンプ（真空システム構成要
素）、２４…水ポンプ（真空システム構成要素）、２６
…ターボポンプ（真空システム構成要素）、２８…ゲー
トバルブ（真空システム構成要素）、４０…遠隔中央コ
ントローラ、６１…ホストインタフェース、６８，７０
…構成要素インタフェース、７４…プロセッサ、７５…
コンピュータ読み込み可能媒体。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン・バロン アメリカ合衆国，マサチューセッツ州 02771，シーコンク，モーホーク ドライ ブ 117
Claims (44)
- 【請求項１】 プロセッサと、 ホストコントローラとインタフェースを持つように、プ
ロセッサと通信するホストインタフェースと、 真空システム構成要素とインタフェースを持つように、
プロセッサと通信する構成要素インタフェースと、 プロセッサと通信するコンピュータ読み込み可能媒体と
を備えた真空ネットワークコントローラであって、 前記コンピュータ読み込み可能媒体は、コンピュータ実
行可能ソフトウェアコードを記憶し、このコンピュータ
実行可能ソフトウェアコードは、 真空システム構成要素を制御する複数のコマンドを生成
し、 これらのコマンドを多数の通信プロトコルに翻訳し、 これら翻訳したコマンドを前記構成要素インタフェース
に伝達する真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項２】 請求項１において、前記ソフトウェアコ
ードは、前記ソフトウェア生成コマンドを、ビットバ
ス、イーサネット、TCP/IP、RS-232、RS-485、デバイス
ネット、プロフィバス、およびエシャロンからなる一群
から選ばれた一つ以上の通信プロトコルに翻訳できるも
のである真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項３】 請求項１において、前記ソフトウェアコ
ードは、真空システム構成要素から受信したデータを処
理できるものである真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項４】 請求項３において、前記ソフトウェアコ
ードは、残留ガス分析器、イオンゲージ、およびキャパ
シタンス圧力計からなる一群から選ばれたセンサから受
信したデータを処理できるものである真空ネットワーク
コントローラ。 - 【請求項５】 請求項３において、前記ソフトウェアコ
ードは、低真空ポンプ、コンプレッサ、ターボポンプお
よびゲートバルブからなる一群から選ばれたツールから
受信したデータを処理できるものである真空ネットワー
クコントローラ。 - 【請求項６】 請求項３において、前記ソウトウェアコ
ードは、真空システム構成要素から前記構成要素インタ
フェースに、ビットバス、イーサネット、TCP/IP、RS-2
32、RS-485、デバイスネット、プロフィバス、エシャロ
ンおよびアナログからなる一群から選ばれた一つ以上の
通信プロトコルで送出したデータを、前記プロセッサが
処理できるようにするものである真空ネットワークコン
トローラ。 - 【請求項７】 請求項１において、前記ソフトウェアコ
ードは、さらに、多数の通信プロトコルを、ホストイン
タフェースに、かつホストインタフェースから翻訳でき
るものである真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項８】 請求項７において、前記ソフトウェアコ
ードは、ビットバス、イーサネット、TCP/IP、RS-232、
RS-485、デバイスネット、プロフィバス、およびエシャ
ロンからなる一群から選ばれた一つ以上の通信プロトコ
ルを、ホストインタフェースに、かつホストインタフェ
ースから翻訳できるものである真空ネットワークコント
ローラ。 - 【請求項９】 請求項７において、前記ソフトウェアコ
ードは、さらに、前記ホストコントローラから受信した
指示から導かれたコマンドを生成できるものである真空
ネットワークコントローラ。 - 【請求項１０】 請求項１において、前記コンピュータ
実行可能ソウトウェアコードは、クライオポンプ以外の
構成要素を制御するように、コマンドを生成できるもの
である真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項１１】 請求項１０において、前記コンピュー
タ実行可能ソウトウェアコードは、低真空ポンプを制御
するために、コマンドを生成できるものである真空ネッ
トワークコントローラ。 - 【請求項１２】 請求項１０において、前記コンピュー
タ実行可能ソウトウェアコードは、コンプレッサを制御
するコマンドを生成できるものである真空ネットワーク
コントローラ。 - 【請求項１３】 請求項１０において、前記コンピュー
タ実行可能ソウトウェアコードは、ゲートバルブを制御
するコマンドを生成できるものである真空ネットワーク
コントローラ。 - 【請求項１４】 請求項１０において、前記コンピュー
タ実行可能ソウトウェアコードは、ターボポンプを制御
するコマンドを生成できるものである真空ネットワーク
コントローラ。 - 【請求項１５】 請求項１記載の真空ネットワークコン
トローラと、さらに、前記真空ネットワークコントロー
ラの構成要素インタフェースと通信する多数の真空シス
テム構成要素とを備え、これら多数の構成要素の異なる
構成部分が、別個の通信プロトコルに応答する真空ネッ
トワーク。 - 【請求項１６】 請求項１５において、さらに、前記真
空ネットワークコントローラのホストインタフェースと
通信するホストコントローラを備えた真空ネットワー
ク。 - 【請求項１７】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信するクライオポンプを備え
た真空ネットワーク。 - 【請求項１８】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信する低真空ポンプを備えた
真空ネットワーク。 - 【請求項１９】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信するコンプレッサを備えた
真空ネットワーク。 - 【請求項２０】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信するターボポンプを備えた
真空ネットワーク。 - 【請求項２１】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信するゲートバルブを備えた
真空ネットワーク。 - 【請求項２２】 請求項１５において、さらに、前記真
空ネットワークコントローラと通信する遠隔中央コント
ローラを備えた真空ネットワーク。 - 【請求項２３】 請求項２２において、前記遠隔中央コ
ントローラは、前記真空ネットワークコントローラ以外
の多数の真空ネットワークコントローラと通信する真空
ネットワーク。 - 【請求項２４】 請求項１５において、さらに、前記構
成要素インタフェースと通信する多数のクライオポンプ
を備え、これらクライオポンプが別個のコマンドコード
に応答する真空ネットワーク。 - 【請求項２５】 ツールホストとの通信用のホストイン
タフェースと、 真空ネットワークの構成要素との通信用の構成要素イン
タフェースと、 真空ネットワークの構成要素を制御するようにプログラ
ムされたプロセッサと、 このプロセッサからのコマンドを、真空ネットワークの
構成要素と通信するように、多数の通信プロトコルに翻
訳する手段とを備えた真空ネットワークコントローラ。 - 【請求項２６】 真空ネットワークを制御するように、
コントローラで実行されるコンピュータ解釈可能な命令
セットで埋められた真空ネットワーク制御方法であっ
て、 ａ）ホストコントローラからの指示を受信する工程と、 ｂ）真空システム構成要素の制御用コマンドを生成する
ために、前記指示を処理する工程と、 ｃ）多数の通信プロトコル用の構成要素ソフトウェアド
ライバのライブラリから、一つの構成要素ソフトウェア
ドライバを選ぶ工程と、 ｄ）この選んだ構成要素ソウトウェアドライバで、前記
コマンドを、多数の通信プロトコルの一つに翻訳する工
程と、 ｅ）翻訳したコマンドを、前記真空システム構成要素の
動作を制御するために、構成要素インタフェースに伝達
する工程とを備えた真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項２７】 請求項２６において、前記多数の通信
プロトコルは、ビットバス、イーサネット、TCP/IP、RS
-232、RS-485、デバイスネット、プロフィバス、および
エシャロンからなる一群である真空ネットワーク制御方
法。 - 【請求項２８】 請求項２６において、さらに、 ホストコントローラソフトウェアドライバのライブラリ
から、ホストコントローラソフトウェアドライバを選ぶ
工程と、 選んだホストコントローラソフトウェアドライバで、前
記指示を別のプロトコルに翻訳する工程とを備えた真空
ネットワーク制御方法。 - 【請求項２９】 請求項２６において、クライオポンプ
の動作が制御される真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項３０】 請求項２９において、真空システム構
成要素を制御するように、第２コマンドが生成され、前
記工程（ｃ），（ｄ）および（ｅ）が、第２真空システ
ム構成要素の動作を制御するために繰り返される真空ネ
ットワーク制御方法。 - 【請求項３１】 請求項３０において、前記第２コマン
ドが、第１コマンドが翻訳された通信プロトコルとは異
なる通信プロトコルに翻訳される真空ネットワーク制御
方法。 - 【請求項３２】 請求項３１において、前記第２真空シ
ステム構成要素が低真空ポンプである真空ネットワーク
制御方法。 - 【請求項３３】 請求項３１において、前記第２真空シ
ステム構成要素がコンプレッサである真空ネットワーク
制御方法。 - 【請求項３４】 請求項３１において、前記第２真空シ
ステム構成要素がゲートバルブである真空ネットワーク
制御方法。 - 【請求項３５】 請求項３１において、前記第２真空シ
ステム構成要素が第２クライオポンプである真空ネット
ワーク制御方法。 - 【請求項３６】 請求項３１において、さらに、 前記二つの真空システム構成要素からデータを受信する
工程と、 このデータを真空ネットワークの障害の診断に用いる工
程とを備えた真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項３７】 請求項３６において、さらに、前記診
断された障害を治療するために、前記真空システムの少
なくとも一つの動作を制御する工程を備えた真空ネット
ワーク制御方法。 - 【請求項３８】 請求項３１において、さらに、古い真
空システム構成要素用動作パラメータのファイルを確立
して、これらのパラメータを、古い真空システム構成要
素を取換えるために取り付けられた新しい真空システム
構成要素に、ロードすることで、古い真空システム構成
要素の取換えを自動コンフィグする工程を備えた真空ネ
ットワーク制御方法。 - 【請求項３９】 請求項３１において、さらに、 前記真空ネットワークにおける真空システム構成要素を
識別する工程と、 真空システム構成要素からのデータを配布するように、
かつ、真空ネットワーク動作用コマンドを真空システム
構成要素の識別子に基づいて配布するように、ルーチン
グテーブルを確立する工程とを備えた真空ネットワーク
制御方法。 - 【請求項４０】 請求項２６において、さらに、請求項
３１に記載の真空ネットワーク以外の多数の真空ネット
ワークの他に、請求項３１記載の真空ネットワークも監
視するために、前記中央コントローラを用いる工程を備
えた真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項４１】 請求項４０において、さらに、前記多
数の真空ネットワークを制御するために、前記遠隔中央
コントローラを用いる工程を備えた真空ネットワーク制
御方法。 - 【請求項４２】 請求項４１において、前記遠隔中央コ
ントローラは、前記真空ネットワークを監視している間
に受信したデータを記録し、前記真空ネットワークの一
定構成部分を監視している間に受信した追加データを、
診断のために記録したデータと比較し、この構成部分の
障害を治療する真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項４３】 真空ネットワークを制御するように、
コントローラで実行されるコンピュータ解釈可能な命令
セットで埋められた真空ネットワーク制御方法であっ
て、 ホストコントローラからの指示を受信する工程と、 この指示を内部プロトコルに翻訳する工程と、 真空システム構成要素の制御用コマンドを生成するため
に、翻訳した指示を処理する工程と、 このコマンドを、一つの構成要素プロトコルに翻訳する
工程と、 翻訳したコマンドを、前記真空システム構成要素の動作
を制御するために、構成要素インタフェースに伝達する
工程とを備えた真空ネットワーク制御方法。 - 【請求項４４】 請求項４３において、前記コマンドを
通信プロトコルに翻訳する工程は、 多数の通信プロトコル用の構成要素ソフトウェアドライ
バのライブラリから、一つの構成要素ソフトウェアドラ
イバを選ぶ工程と、 この選んだソフトウェアドライバで、前記コマンドを、
多数の通信プロトコルの一つに翻訳する工程とを有する
真空ネットワーク制御方法。
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|---|---|---|---|
| US09/114,549 US6272400B1 (en) | 1998-07-13 | 1998-07-13 | Vacuum network controller |
| US09/114549 | 1998-07-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008511938A (ja) * | 2004-08-31 | 2008-04-17 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 動作システムの分散された診断システム |
| KR100935646B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2010-01-07 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 헬륨 관리 제어 시스템 |
| US8336318B2 (en) | 2008-05-14 | 2012-12-25 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method for diagnosing the cryopump |
| KR101229755B1 (ko) * | 2010-10-01 | 2013-02-05 | 김성동 | 펌프 제어 시스템 |
| JP2021060034A (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空機器及び真空機器を運転する方法 |
Families Citing this family (41)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7007151B1 (en) * | 2000-10-04 | 2006-02-28 | Nortel Networks Limited | System, device, and method for controlling access to a memory |
| US6996105B1 (en) * | 2000-12-19 | 2006-02-07 | Adaptec, Inc. | Method for processing data packet headers |
| US7016751B2 (en) * | 2001-07-13 | 2006-03-21 | Helix Technology Corporation | Vacuum system central control information server |
| US6864788B2 (en) * | 2001-08-06 | 2005-03-08 | Delphi Technologies, Inc. | Actuator controller for selecting a communication language |
| US20030114942A1 (en) * | 2001-12-17 | 2003-06-19 | Varone John J. | Remote display module |
| DE10243783A1 (de) * | 2002-09-20 | 2004-03-25 | Sick Ag | Elektronische Vorrichtung für ein Bussystem |
| US7467018B1 (en) | 2002-11-18 | 2008-12-16 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Embedded database systems and methods in an industrial controller environment |
| US20060155392A1 (en) * | 2003-06-02 | 2006-07-13 | Abb Research Ltd. | Method and a tool for allocating computational resources in a distributed control system |
| US6920763B2 (en) * | 2003-06-27 | 2005-07-26 | Helix Technology Corporation | Integration of automated cryopump safety purge |
| EP1780414B1 (en) * | 2003-06-27 | 2008-08-13 | Helix Technology Corporation | Integration of automated cryopump safety purge |
| US6895766B2 (en) | 2003-06-27 | 2005-05-24 | Helix Technology Corporation | Fail-safe cryopump safety purge delay |
| US20040261424A1 (en) * | 2003-06-27 | 2004-12-30 | Helix Technology Corporation | Integration of automated cryopump safety purge with set point |
| JP2005048764A (ja) * | 2003-07-29 | 2005-02-24 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 真空ポンプ制御システム |
| US7320224B2 (en) * | 2004-01-21 | 2008-01-22 | Brooks Automation, Inc. | Method and apparatus for detecting and measuring state of fullness in cryopumps |
| GB0412623D0 (en) * | 2004-06-07 | 2004-07-07 | Boc Group Plc | Method controlling operation of a semiconductor processing system |
| US20060133412A1 (en) * | 2004-12-22 | 2006-06-22 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Integration of control and business applications using integration servers |
| US7706895B2 (en) * | 2005-02-25 | 2010-04-27 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Reliable messaging instruction |
| US7565351B1 (en) * | 2005-03-14 | 2009-07-21 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Automation device data interface |
| US7233830B1 (en) * | 2005-05-31 | 2007-06-19 | Rockwell Automation Technologies, Inc. | Application and service management for industrial control devices |
| US7289863B2 (en) | 2005-08-18 | 2007-10-30 | Brooks Automation, Inc. | System and method for electronic diagnostics of a process vacuum environment |
| US8418128B2 (en) * | 2006-06-29 | 2013-04-09 | Honeywell International Inc. | Graphical language compiler system |
| US8112162B2 (en) * | 2006-06-29 | 2012-02-07 | Honeywell International Inc. | System level function block engine |
| US9726392B2 (en) | 2006-06-29 | 2017-08-08 | Honeywell International Inc. | Generic user interface system |
| US7738972B2 (en) * | 2006-06-29 | 2010-06-15 | Honeywell International Inc. | Modular shared-memory resource stage driver system for flexible resource linking in an energy conversion system |
| US8224466B2 (en) * | 2006-11-29 | 2012-07-17 | Honeywell International Inc. | Low-cost controller having a dynamically changeable interface |
| DE102006045022A1 (de) * | 2006-09-23 | 2008-03-27 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Anordnung mit Vakuumgerät und Verfahren zu derem Betrieb |
| US20080078189A1 (en) * | 2006-09-28 | 2008-04-03 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Communication network system |
| US8761196B2 (en) * | 2006-09-29 | 2014-06-24 | Fisher-Rosemount Systems, Inc. | Flexible input/output devices for use in process control systems |
| GB2453120B (en) * | 2007-09-26 | 2009-09-02 | Siemens Magnet Technology Ltd | Intelligent helium compressor |
| US8650306B2 (en) * | 2007-10-24 | 2014-02-11 | Honeywell International Inc. | Interoperable network programmable controller generation system |
| CN101933292B (zh) * | 2008-01-22 | 2015-02-18 | 布鲁克机械公司 | 低温泵网络 |
| US9488992B2 (en) * | 2008-10-16 | 2016-11-08 | Honeywell International Inc. | Wall module configuration tool |
| US8046519B2 (en) * | 2008-10-20 | 2011-10-25 | Daniel Measurement And Control, Inc. | Coupling a specialty system, such as a metering system, to multiple control systems |
| US8538588B2 (en) | 2011-02-28 | 2013-09-17 | Honeywell International Inc. | Method and apparatus for configuring scheduling on a wall module |
| CN103899523B (zh) * | 2012-12-29 | 2016-02-03 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 一种干泵统一电气控制平台系统 |
| US9920944B2 (en) | 2015-03-19 | 2018-03-20 | Honeywell International Inc. | Wall module display modification and sharing |
| EP3096021B1 (de) | 2015-05-20 | 2022-07-20 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Ferndiagnose von vakuumgeräten |
| IT201700042515A1 (it) * | 2017-04-18 | 2018-10-18 | D V P Vacuum Tech S P A | Sistema di monitoraggio di una macchina operatrice pneumofora. |
| CN111295557B (zh) * | 2017-10-29 | 2022-02-22 | 住友(Shi)美国低温研究有限公司 | 用于将需要不同的控制机制的低温装置集成到单个操作平台上的通用控制器 |
| CN107942918B (zh) * | 2017-12-22 | 2023-04-18 | 大连华锐重工集团股份有限公司 | 自适应式干式真空机械泵电控系统及控制方法 |
| GB2594309A (en) * | 2020-04-23 | 2021-10-27 | Edwards Ltd | Monitoring and controlling the monitoring of vacuum systems |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4918930A (en) | 1988-09-13 | 1990-04-24 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
| DE68925271T2 (de) | 1988-10-27 | 1996-08-14 | Texas Instruments Inc | Kommunikations-, Informations-, Wartungsdiagnostik und Ausbildungssystem |
| US5127090A (en) | 1990-09-07 | 1992-06-30 | Square D Company | Map interface unit for industrial programmable logic controllers |
| US5259909A (en) * | 1990-12-21 | 1993-11-09 | Sgs-Thomson Microelectronics S.A. | System and method for the checking of a reactive plasma machine |
| US5176004A (en) | 1991-06-18 | 1993-01-05 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump and network interface |
| JP3309997B2 (ja) * | 1991-09-05 | 2002-07-29 | 株式会社日立製作所 | 複合処理装置 |
| JPH07507893A (ja) | 1992-06-12 | 1995-08-31 | ザ、ダウ、ケミカル、カンパニー | プロセス制御コンピュータ用保安フロントエンド通信システムおよび方法 |
| US5375424A (en) | 1993-02-26 | 1994-12-27 | Helix Technology Corporation | Cryopump with electronically controlled regeneration |
| US5754780A (en) * | 1994-01-19 | 1998-05-19 | Tokyo Electron Limited | Apparatus and method for performing serial communication between master and slave devices |
| US5582017A (en) | 1994-04-28 | 1996-12-10 | Ebara Corporation | Cryopump |
| US5590313A (en) * | 1994-06-30 | 1996-12-31 | International Business Machines Corporation | Multiple protocol device interface subsystem and method |
| KR100234360B1 (ko) * | 1995-09-25 | 1999-12-15 | 윤종용 | 반도체 장치를 위한 진공장치 |
| US5971711A (en) * | 1996-05-21 | 1999-10-26 | Ebara Corporation | Vacuum pump control system |
| US6032203A (en) * | 1997-04-07 | 2000-02-29 | General Electric Company | System for interfacing between a plurality of processors having different protocols in switchgear and motor control center applications by creating description statements specifying rules |
| US6055581A (en) * | 1997-08-18 | 2000-04-25 | International Business Machines Corporation | Vital product data concentrator and protocol converter |
| US5999886A (en) * | 1997-09-05 | 1999-12-07 | Advanced Micro Devices, Inc. | Measurement system for detecting chemical species within a semiconductor processing device chamber |
| US6101419A (en) * | 1998-01-15 | 2000-08-08 | Lam Research Corporation | Modular control system for manufacturing facility |
-
1998
- 1998-07-13 US US09/114,549 patent/US6272400B1/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-07-09 JP JP19596299A patent/JP4555414B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100935646B1 (ko) * | 2001-07-20 | 2010-01-07 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 헬륨 관리 제어 시스템 |
| JP2008511938A (ja) * | 2004-08-31 | 2008-04-17 | ワットロー・エレクトリック・マニュファクチャリング・カンパニー | 動作システムの分散された診断システム |
| US8336318B2 (en) | 2008-05-14 | 2012-12-25 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method for diagnosing the cryopump |
| KR101229755B1 (ko) * | 2010-10-01 | 2013-02-05 | 김성동 | 펌프 제어 시스템 |
| JP2021060034A (ja) * | 2019-10-08 | 2021-04-15 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空機器及び真空機器を運転する方法 |
| JP7005715B2 (ja) | 2019-10-08 | 2022-01-24 | プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー | 真空機器及び真空機器を運転する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6272400B1 (en) | 2001-08-07 |
| JP4555414B2 (ja) | 2010-09-29 |
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