JP2000067759A - Gas discharge display device - Google Patents

Gas discharge display device

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JP2000067759A
JP2000067759A JP23462998A JP23462998A JP2000067759A JP 2000067759 A JP2000067759 A JP 2000067759A JP 23462998 A JP23462998 A JP 23462998A JP 23462998 A JP23462998 A JP 23462998A JP 2000067759 A JP2000067759 A JP 2000067759A
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layer
protective layer
alkali metal
cesium
discharge
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Soichiro Hidaka
総一郎 日高
Nobuhiro Iwase
信博 岩瀬
Manabu Ishimoto
学 石本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide high brightness and high luminescent efficiency at low discharge voltage by forming a protecting layer containing alkali metal or a protecting layer formed by stacking a layer comprising alkali metal on an electrode on a discharge space side. SOLUTION: As alkali metal, cesium is especially preferable. As a material forming a protecting layer, an oxide and a composite oxide of alkali earth metals or other metal such as lanthanum are listed, but magnesium oxide is most preferable. The thickness of the protecting layer is preferable to be 5000-7500 Å. The alkali metal is contained in the protecting layer or formed as a layer on the protecting layer. In the case contained in the protecting layer, the content of alkali metal is preferable to be 100 ppm or more. In the case forming a layer on the protecting layer, the thickness of the layer is to be 10-100 Å. The layer of alkali metal is preferably formed in a resistance heating vapor deposition method.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明が属する技術分野】本発明は、ガス放電表示装置
に関する。更に詳しくは、本発明は、低放電電圧、高輝
度及び高発光効率のガス放電表示装置に関する。
[0001] The present invention relates to a gas discharge display device. More specifically, the present invention relates to a gas discharge display device having a low discharge voltage, high luminance, and high luminous efficiency.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、密閉された放電空間内に封入
した放電ガスを発光させることにより情報を表示するガ
ス放電表示装置が知られている(例えば、特公昭54−
22068号公報、特開平3−166023号公報参
照)。これら公報の内、前者公報に記載されたガス放電
表示装置は、基板上に設けられた電極をアルミナ、二酸
化珪素又は窒化珪素からなる絶縁層で被覆し、絶縁層上
にセシウムのようなアルカリ金属からなる2次電子放出
層を備えている。このガス放電表示装置では、従来、絶
縁層として使用されていた鉛を含む低融点ガラスを上記
材料に置き換えることにより、アルカリ金属と鉛との反
応の防止と、2次電子放出層による放電電圧の低減を図
っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a gas discharge display device which displays information by causing a discharge gas sealed in a sealed discharge space to emit light (for example, Japanese Patent Publication No. 54-1979).
No. 22068, JP-A-3-16623). Of these publications, the gas discharge display device described in the former publication covers an electrode provided on a substrate with an insulating layer made of alumina, silicon dioxide or silicon nitride, and forms an alkali metal such as cesium on the insulating layer. Is provided. In this gas discharge display device, by replacing the lead-containing low-melting glass conventionally used as an insulating layer with the above-described material, the reaction between alkali metal and lead is prevented, and the discharge voltage of the secondary electron emission layer is reduced. We are trying to reduce it.

【0003】一方、後者公報のガス放電表示装置は、前
者のガス放電表示装置の改良であって、放電空間内にガ
ス状のセシウムを封入することにより、製造時間を短縮
することを目的としている。しかしながら、上記公報の
ガス放電表示装置は、いずれも放電空間に放電時に生じ
るプラズマにより、ガス放電表示装置の構成要素がスパ
ッタされる恐れがある。このスパッタを防止するため、
放電空間に接する部分に、耐スパッタ性に優れた保護層
が一般的に設けられている。
On the other hand, the gas discharge display device of the latter publication is an improvement of the former gas discharge display device, and aims at shortening the manufacturing time by encapsulating gaseous cesium in a discharge space. . However, in any of the gas discharge display devices disclosed in the above publications, there is a possibility that components generated in the gas discharge display device may be sputtered by plasma generated in the discharge space during discharge. To prevent this spatter,
A protective layer having excellent sputter resistance is generally provided in a portion in contact with the discharge space.

【0004】ここで、保護層を構成する材料に要求され
る特性として、 放電開始電圧を低下させるために、2次電子放出比が
大きいこと 耐スパッタ性に優れ、寿命が長いこと が挙げられる。この特性をほぼ満足させる材料として、
一般的に酸化マグネシウム(MgO)が使用されてい
る。
[0004] Here, characteristics required for the material constituting the protective layer include a high secondary electron emission ratio, excellent spatter resistance, and a long life in order to lower the discharge starting voltage. As a material that almost satisfies this property,
Generally, magnesium oxide (MgO) is used.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ガス放電表示装置は、
カラー化によりテレビとして使用することができる薄型
フルカラー表示装置として、特にハイビジョン映像用の
大型フラットディスプレイとして注目されており、この
用途で使用するためにディスプレイパネルの高精細化や
大画面化が進められている。更に、民生用途への展開、
CRTとの置き換えを考慮すると、広く世間に浸透して
いくには、放電電圧のより低い状態で、更に高輝度及び
高発光効率化を図る必要がある。
SUMMARY OF THE INVENTION A gas discharge display device comprises:
As a thin full-color display device that can be used as a television by colorization, it is attracting attention especially as a large flat display for high-definition video. ing. Furthermore, development for consumer use,
In consideration of replacement with a CRT, it is necessary to achieve higher luminance and higher luminous efficiency in a state of a lower discharge voltage in order to permeate the world widely.

【0006】放電電圧は、保護層の2次電子放出比に大
きく依存することが知られている。この2次電子放出比
が、MgOより低い材料も知られているが、化学的に不
安定又は耐スパッタ性に欠ける等の問題がある。一方、
MgOより耐スパッタ性に優れる材料は、放電電圧が高
いという問題がある。本発明は、放電電圧のより低い状
態で、更に高輝度及び高発光効率化を図ることを目的と
している。
It is known that the discharge voltage largely depends on the secondary electron emission ratio of the protective layer. Although a material having a lower secondary electron emission ratio than MgO is also known, it has problems such as being chemically unstable or lacking in sputter resistance. on the other hand,
Materials having better sputter resistance than MgO have a problem that the discharge voltage is high. An object of the present invention is to achieve higher luminance and higher luminous efficiency at a lower discharge voltage.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の発明者等は、保
護層中又は上にアルカリ金属を存在させることで、保護
層の耐スパッタ性を損なうことなく、放電電圧の低い状
態で、高輝度及び高発光効率化を実現することができる
ことを見いだし本発明に至った。かくして本発明によれ
ば、少なくとも放電空間及び電極と、放電空間側の電極
上に形成されたアルカリ金属を含有する保護層又はアル
カリ金属からなる層が積層された保護層とを備えてなる
ことを特徴とするガス放電表示装置が提供される。
Means for Solving the Problems The present inventors have found that the presence of an alkali metal in or on a protective layer allows the protective layer to have a high discharge voltage at a low discharge voltage without impairing the spatter resistance. The present inventors have found that brightness and high luminous efficiency can be realized, and have reached the present invention. Thus, according to the present invention, at least a discharge space and an electrode, and a protective layer containing an alkali metal formed on the electrode on the discharge space side or a protective layer in which a layer made of an alkali metal is laminated are provided. A gas discharge display device is provided.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】本発明において、放電電圧を下げ
ることができる原理は、以下のように考えられる。セシ
ウムのようなアルカリ金属は、陽電性原子であり、これ
が保護層に吸着されると、セシウムは正、保護層は負に
帯電する。この時、帯電した保護層による空間電荷層が
表面からある深さまで準位を湾曲させる。この湾曲に伴
って、表面準位及び真空準位も引き下げられる。電子親
和力は、χから実効的にχeffに減少することとな
る。湾曲する深さは100Å程度と考えられ、実質的な
電子親和力の減少により、この深さ内で発生した励起電
子の脱出確率は増加する。この結果、放電電圧を下げる
ことができると考えられる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, the principle by which the discharge voltage can be reduced is considered as follows. Alkali metals such as cesium are positively charged atoms, and when this is adsorbed on the protective layer, the cesium is positively charged and the protective layer is negatively charged. At this time, the space charge layer formed by the charged protective layer bends the level from the surface to a certain depth. With this curvature, the surface level and the vacuum level are also reduced. The electron affinity will effectively decrease from χ to χeff. The bending depth is considered to be about 100 °, and the escape probability of excited electrons generated within this depth increases due to the substantial decrease in electron affinity. As a result, it is considered that the discharge voltage can be reduced.

【0009】本発明のガス放電表示装置としては、プラ
ズマディスプレイパネル(PDP)、プラズマアドレス
液晶表示装置等のガス放電表示装置が挙げられる。更
に、本発明は、AC型、DC型のいずれのガス放電表示
装置にも適用することができる。アルカリ金属として
は、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セ
シウム及びフランシウム挙げられる。これらアルカリ金
属の内、セシウムが好ましい。
The gas discharge display device of the present invention includes a gas discharge display device such as a plasma display panel (PDP) and a plasma addressed liquid crystal display device. Further, the present invention can be applied to any of an AC type and a DC type gas discharge display device. Alkali metals include lithium, sodium, potassium, rubidium, cesium and francium. Of these alkali metals, cesium is preferred.

【0010】保護層を構成する材料としては、マグネシ
ウム、カルシウム、バリウム及びストロンチウム等のア
ルカリ土類金属、ランタン、イットリウム、セリウム、
ハフニウム等の他の金属の酸化物、及び複合酸化物等が
挙げられる。しかし、本発明では、これら材料に限定さ
れることなく、ガス放電表示装置の保護層に一般に使用
することができる材料をいずれも使用することができ
る。特に好ましい材料はMgOである。保護層の厚さ
は、5000〜7500Åであることが好ましい。
The materials constituting the protective layer include alkaline earth metals such as magnesium, calcium, barium and strontium, lanthanum, yttrium, cerium, and the like.
Examples include oxides of other metals such as hafnium, and composite oxides. However, in the present invention, any material that can be generally used for the protective layer of the gas discharge display device can be used without being limited to these materials. A particularly preferred material is MgO. The thickness of the protective layer is preferably 5000 to 7500 °.

【0011】ここで、アルカリ金属は保護層に含まれて
いてもよく、保護層上に層を形成していてもよい。保護
層に含まれている場合は、アルカリ金属は、100pp
m以上含まれていることが好ましく、500〜1000
ppmで含まれることが更に好ましい。100ppmよ
り少ない場合、放電電圧を低減するという効果が生じな
いので好ましくない。また、1000ppmより多い場
合、保護層を形成することが困難となるので好ましくな
い。保護層上に層を形成している場合、層の厚さは、1
0〜100Åであることが好ましい。10Åより薄い場
合、放電電圧を低減するという効果が生じないと共に均
一に保護層上に存在させることが困難となるので好まし
くない。100Åより厚い場合、保護層からの電子放出
の妨げとなるので好ましくない。特に好ましくは、アル
カリ金属は、500〜1000ppmで保護層に含まれ
るか、10〜100Åの厚さで層として保護層上に存在
するかのいずれかである。
Here, the alkali metal may be contained in the protective layer, or a layer may be formed on the protective layer. When contained in the protective layer, the alkali metal is 100 pp
m or more, preferably 500 to 1000
More preferably, it is contained in ppm. When the amount is less than 100 ppm, the effect of reducing the discharge voltage is not produced, which is not preferable. On the other hand, if it is more than 1000 ppm, it becomes difficult to form a protective layer, which is not preferable. When a layer is formed on the protective layer, the thickness of the layer is 1
Preferably it is 0-100 °. If the thickness is less than 10 °, the effect of reducing the discharge voltage will not be produced, and it will be difficult to uniformly dispose it on the protective layer. When the thickness is more than 100 °, it is not preferable because electron emission from the protective layer is hindered. Particularly preferably, the alkali metal is either contained in the protective layer at 500-1000 ppm or is present on the protective layer as a layer with a thickness of 10-100 °.

【0012】アルカリ金属は、一般に反応性が高いた
め、均一に成膜することが困難であることが知られてい
る。しかしながら、本発明の装置では、以下の方法によ
り、保護層の表面に均一に存在させることができる。具
体的には、保護層上にアルカリ金属からなる層を形成す
る場合は、その形成方法として、抵抗加熱蒸着法、スパ
ッタ法等が挙げられる。この内、抵抗加熱蒸着法が好ま
しく、その条件は5×10-5〜5×10-4torrの蒸
着圧力、100〜150℃の温度条件下で行うことが好
ましい。保護層にアルカリ金属を含ませる場合は、蒸着
源にアルカリ金属を添加するか又はアルカリ金属のイオ
ンを照射しつつ保護層を蒸着により形成する方法、アル
カリ金属のアルコキシドを含むペーストを使用して保護
層を印刷法で形成する方法等が挙げられる。更に、放電
空間に、放電ガスを導入する際に、同時にアルカリ金属
を加熱して生じるガスを導入することにより、保護層の
上にアルカリ金属を沈着させる方法も挙げられる。この
方法の場合、放電時に放電空間内にガス状のアルカリ金
属を存在させることができるため、放電特性を良好にす
ることができる。
It has been known that alkali metals are generally highly reactive and therefore difficult to form a uniform film. However, the device of the present invention can be uniformly present on the surface of the protective layer by the following method. Specifically, when a layer made of an alkali metal is formed on the protective layer, examples of the formation method include a resistance heating evaporation method and a sputtering method. Among these, the resistance heating evaporation method is preferable, and the conditions are preferably performed under the conditions of an evaporation pressure of 5 × 10 −5 to 5 × 10 −4 torr and a temperature of 100 to 150 ° C. When an alkali metal is contained in the protective layer, a method in which an alkali metal is added to a deposition source or a method in which a protective layer is formed by vapor deposition while irradiating alkali metal ions, protection using a paste containing an alkali metal alkoxide is performed. A method of forming a layer by a printing method and the like can be given. Further, there is also a method of depositing the alkali metal on the protective layer by introducing a gas generated by heating the alkali metal at the same time as introducing the discharge gas into the discharge space. In the case of this method, gaseous alkali metal can be present in the discharge space at the time of discharge, so that discharge characteristics can be improved.

【0013】次に、保護層の下部に存在する電極を構成
する材料は、特に限定されることなく公知の材料をいず
れも使用することができる。そのような材料として、ニ
ッケル、コバルト、銅、亜鉛、クロム、鉄等の金属や、
それら金属の合金が挙げられる。更に、ITO、NES
A等の透明な金属酸化物も電極用の材料として使用する
ことができる。
Next, the material constituting the electrode under the protective layer is not particularly limited, and any known material can be used. Such materials include metals such as nickel, cobalt, copper, zinc, chromium, iron,
Alloys of these metals are mentioned. In addition, ITO, NES
A transparent metal oxide such as A can also be used as a material for the electrode.

【0014】次に、放電空間は、通常、一対の基板間に
形成され、上記電極及び保護層は、少なくとも一方の基
板上に形成されている。本発明に使用することができる
基板としては、特に限定されず、パイレックスガラス基
板、ソーダライムガラス基板、セラミックス基板等の無
機絶縁性基板、表面に無機絶縁性膜の形成されたシリコ
ン基板等の無機半導体基板が挙げられる。この内、無機
絶縁性基板を使用することが好ましい。
Next, a discharge space is usually formed between a pair of substrates, and the electrodes and the protective layer are formed on at least one of the substrates. The substrate that can be used in the present invention is not particularly limited, and may be an inorganic insulating substrate such as a Pyrex glass substrate, a soda lime glass substrate, or a ceramic substrate, or an inorganic insulating substrate such as a silicon substrate having an inorganic insulating film formed on the surface. A semiconductor substrate; Of these, it is preferable to use an inorganic insulating substrate.

【0015】本発明のガス放電表示装置は、誘電体層を
備えたAC型のガス放電表示装置であることが好まし
い。この装置の場合、保護層は誘電体層上に形成され
る。従って、誘電体層を放電空間内に発生するプラズマ
から、保護層により保護することができると共に、保護
層中又は上に存在するアルカリ金属により、放電電圧を
低下させることができる。誘電体層として、通常、低融
点ガラスからなる層が使用される。なお、低融点ガラス
の代わりに、保護層を構成する材料を誘電体層の材料と
して使用してもよい。
The gas discharge display of the present invention is preferably an AC type gas discharge display having a dielectric layer. In this device, the protective layer is formed on the dielectric layer. Therefore, the dielectric layer can be protected from the plasma generated in the discharge space by the protective layer, and the discharge voltage can be reduced by the alkali metal present in or on the protective layer. As the dielectric layer, a layer made of low-melting glass is usually used. Note that, instead of the low melting point glass, a material forming the protective layer may be used as a material of the dielectric layer.

【0016】ここで、より具体的なAC型で面放電型の
PDPについて、その構成を説明する。一般的な前記P
DPの構成を図1に示す。なお、本発明は、他の駆動方
式及び/又は構造のPDPにも使用することができる。
PDP20は、表示側基板と背面基板とからなる。表示
側基板は、無機基板27(例えば、ガラス基板)上にバ
ス電極となる金属膜26(例えば、Cr/Cu/Crの
積層膜、Al)と透明電極25(例えば、ITO、NE
SA(SnO2))からなる表示電極がストライプ状に
形成され、この電極を覆うように誘電体層24が形成さ
れ、誘電体層24上にはアルカリ金属を含む保護層29
が形成されてなる構成を有している。なお、アルカリ金
属からなる層を形成する場合は、該層は、通常保護層2
9上全面に形成される。一方、背面基板は、無機基板2
3(例えば、ガラス基板)上にアドレス電極Aがストラ
イプ状に形成され、アドレス電極Aが誘電体層28で覆
われ、誘電体層28上に隔壁21が形成され、隔壁21
間の誘電体層28上及び隔壁の壁面をRGBの三原色の
蛍光体22で覆ってなる構成を有している。なお、図1
中、Dは表示面、EUは単位発光素子、EGは1画素を
意味する。
Here, the configuration of a more specific AC type and surface discharge type PDP will be described. General said P
FIG. 1 shows the configuration of the DP. It should be noted that the present invention can be used for PDPs of other driving systems and / or structures.
The PDP 20 includes a display substrate and a rear substrate. The display-side substrate includes a metal film 26 (for example, a laminated film of Cr / Cu / Cr, Al) serving as a bus electrode and a transparent electrode 25 (for example, ITO, NE) on an inorganic substrate 27 (for example, a glass substrate).
A display electrode made of SA (SnO 2 )) is formed in a stripe shape, and a dielectric layer 24 is formed so as to cover the electrode. A protective layer 29 containing an alkali metal is formed on the dielectric layer 24.
Is formed. When a layer made of an alkali metal is formed, the layer is usually formed of a protective layer 2
9 on the entire surface. On the other hand, the back substrate is an inorganic substrate 2
3 (for example, a glass substrate), the address electrodes A are formed in a stripe shape, the address electrodes A are covered with a dielectric layer 28, and the partition 21 is formed on the dielectric layer 28, and the partition 21 is formed.
It has a configuration in which the phosphor layer 22 of the three primary colors of RGB is covered on the dielectric layer 28 therebetween and the wall surface of the partition wall. FIG.
In the figure, D indicates a display surface, EU indicates a unit light emitting element, and EG indicates one pixel.

【0017】[0017]

【実施例】以下、本発明を実施例により更に詳しく説明
する。 実施例1 ソーダライムガラスからなる基板上に、約0.3μmの
厚さの透明電極を形成した。次に、透明電極上に、約3
μmの厚さのバス電極を形成した。次いで、バス電極及
び透明電極を覆うように、約50μmの厚さの誘電体層
を形成した。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples. Example 1 A transparent electrode having a thickness of about 0.3 μm was formed on a substrate made of soda lime glass. Next, on the transparent electrode, about 3
A bus electrode having a thickness of μm was formed. Next, a dielectric layer having a thickness of about 50 μm was formed so as to cover the bus electrode and the transparent electrode.

【0018】更に、誘電体層上に、蒸着法により約60
00ÅのMgOからなる保護層を形成することにより表
示側基板を得た。なお、保護層の形成の際に、蒸着源と
して、セシウムを100ppm含むMgO(純度99.
99%)を使用した。上記表示側基板とは別に、ソーダ
ライムガラス基板上に約2μmの厚さのアドレス電極を
積層した。次いで、公知の手段により誘電体層、隔壁及
び蛍光体層を形成することにより背面基板を製造するこ
とができた。
Further, on the dielectric layer, about 60
A display-side substrate was obtained by forming a protective layer made of MgO of 00 °. When forming the protective layer, MgO containing 100 ppm of cesium (purity 99.
99%). Separately from the display side substrate, an address electrode having a thickness of about 2 μm was laminated on a soda lime glass substrate. Subsequently, a back substrate was able to be manufactured by forming a dielectric layer, partition walls, and a phosphor layer by known means.

【0019】表示側基板及び背面基板を約200μmの
間隔で貼り合わせて、放電空間に放電ガスを封入するこ
とにより、AC型で面放電型のPDPを得ることができ
た。 実施例2及び3 蒸着源がセシウムを500ppm(実施例2)及び10
00ppm(実施例3)含むこと以外は、実施例1と同
様にしてPDPを作成した。
The display-side substrate and the back substrate were bonded at an interval of about 200 μm, and a discharge gas was filled in the discharge space, whereby an AC type surface discharge type PDP could be obtained. Examples 2 and 3 The vapor deposition source contained 500 ppm of cesium (Example 2) and 10 ppm.
A PDP was prepared in the same manner as in Example 1 except that it contained 00 ppm (Example 3).

【0020】実施例4 セシウムを含まない蒸着源を使用し、蒸着中に、イオン
ガンでセシウムイオンを保護層に照射すること以外は、
実施例1と同様にしてPDPを作成した。イオン照射の
条件は、加速電圧400V、保護層表面での電流密度約
10μA/cm 2 とした。得られた保護層は、2次イオ
ン質量分析法(SIMS)による測定で、約1000p
pmのセシウムを含んでいた。
Example 4 A cesium-free deposition source was used.
Except for irradiating the protective layer with cesium ions with a gun,
A PDP was prepared in the same manner as in Example 1. Of ion irradiation
The conditions are as follows: acceleration voltage 400 V, current density on the protective layer surface
10 μA / cm TwoAnd The resulting protective layer is a secondary ion
Approximately 1000p as measured by mass spectrometry (SIMS)
pm of cesium.

【0021】実施例5 セシウムを含まない蒸着源を使用し、加熱気化したセシ
ウムガスを放電ガスと同時に放電空間へ封入すること以
外は、実施例1と同様にしてPDPを作成した。
Example 5 A PDP was produced in the same manner as in Example 1 except that a cesium gas heated and vaporized was sealed in a discharge space at the same time as a discharge gas using an evaporation source containing no cesium.

【0022】実施例6 セシウムを含まない蒸着源を使用し、保護層上に抵抗加
熱蒸着法により厚さ10Åのセシウムからなる層を形成
すること以外は、実施例1と同様にしてPDPを作成し
た。
Example 6 A PDP was prepared in the same manner as in Example 1, except that a cesium-free deposition source was used, and a layer made of cesium having a thickness of 10 ° was formed on the protective layer by resistance heating deposition. did.

【0023】実施例7 保護層を、成膜後のMgOに対してセシウム濃度が10
00ppmとなるように、セシウムのアルコキシドを添
加したペーストを使用して印刷法により形成すること以
外は、実施例1と同様にしてPDPを作成した。
Example 7 The protective layer was formed such that the cesium concentration was 10
A PDP was produced in the same manner as in Example 1, except that the paste was added by a printing method using a paste to which cesium alkoxide was added so as to be 00 ppm.

【0024】比較例1 セシウムを含まない蒸着源を使用すること以外は、実施
例1と同様にしてPDPを作成した。
Comparative Example 1 A PDP was prepared in the same manner as in Example 1 except that an evaporation source containing no cesium was used.

【0025】比較例2及び3 蒸着源がセシウムを10ppm(比較例2)及び50p
pm(比較例3)含むこと以外は、実施例1と同様にし
てPDPを作成した。上記実施例1〜3及び比較例1〜
3のPDPの放電開始電圧を測定し、セシウムの添加量
との関係を図2に示した。また、実施例4〜7の放電開
始電圧は、それぞれ174V、169V、170V及び
178Vであった。図2及び実施例4〜7により、保護
層中にセシウムを含むか、又は保護層上にセシウムから
なる層を形成すれば、放電開始電圧を低下させることが
できることが判った。
Comparative Examples 2 and 3 Cesium was added at 10 ppm (Comparative Example 2) and 50 p
Except for including pm (Comparative Example 3), a PDP was prepared in the same manner as in Example 1. Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to
The discharge starting voltage of PDP No. 3 was measured, and the relationship with the amount of cesium added was shown in FIG. Further, the discharge starting voltages of Examples 4 to 7 were 174 V, 169 V, 170 V, and 178 V, respectively. From FIG. 2 and Examples 4 to 7, it was found that when cesium was contained in the protective layer, or when a layer made of cesium was formed on the protective layer, the firing voltage could be reduced.

【0026】更に、実施例3、4及び7について、放電
電圧の経時変化を測定し、結果を図3に示した。図3よ
り、セシウムをイオン照射又は印刷法により保護層に含
ませる方が、蒸着法により含ませるより、放電電圧の経
時変化が少ないことが判った。実施例3、4及び7の保
護層をSIMSにより測定すると、蒸着法により形成さ
れた保護層は、セシウムの濃度が誘電体層側から徐々に
減少していた。これに対して、セシウムをイオン照射又
は印刷法により保護層に含ませた場合、セシウムの濃度
は変化しなかった。この結果から、保護層中のセシウム
の濃度が変化することが、放電電圧の経時劣化につなが
ることが判った。
Further, with respect to Examples 3, 4 and 7, the change over time in the discharge voltage was measured, and the results are shown in FIG. From FIG. 3, it was found that when cesium was included in the protective layer by ion irradiation or printing, the change in discharge voltage with time was smaller than that in the case where cesium was included by evaporation. When the protective layers of Examples 3, 4 and 7 were measured by SIMS, the protective layer formed by the vapor deposition method had a cesium concentration gradually decreasing from the dielectric layer side. In contrast, when cesium was included in the protective layer by ion irradiation or printing, the cesium concentration did not change. From this result, it was found that a change in the concentration of cesium in the protective layer leads to a temporal deterioration of the discharge voltage.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明によれば、放電電圧のより低い状
態で、高輝度及び高発光効率のガス放電表示装置を得る
ことができる。
According to the present invention, a gas discharge display device having high luminance and high luminous efficiency can be obtained at a lower discharge voltage.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】PDPの概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view of a PDP.

【図2】実施例1〜3及び比較例1〜3のPDPの放電
開始電圧とセシウム添加量の関係を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the discharge starting voltage and the amount of cesium added to the PDPs of Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3.

【図3】実施例3、4及び7のPDPの経時時間毎の放
電電圧を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing the discharge voltage of each of the PDPs of Examples 3, 4 and 7 over time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

20 PDP 21 隔壁 22 蛍光体 23、27 無機基板 24、28 誘電体層 25 透明電極 26 金属膜 29 保護層 A アドレス電極 D 表示面 EU 単位発光素子 EG 1画素 Reference Signs List 20 PDP 21 Partition wall 22 Phosphor 23, 27 Inorganic substrate 24, 28 Dielectric layer 25 Transparent electrode 26 Metal film 29 Protective layer A Address electrode D Display surface EU Unit light emitting element EG 1 pixel

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石本 学 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 5C040 AA01 AA02 DD11  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Manabu Ishimoto 4-1-1 Kamikadanaka, Nakahara-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa F-term in Fujitsu Limited (reference) 5C040 AA01 AA02 DD11

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 少なくとも放電空間及び電極と、放電空
間側の電極上に形成されたアルカリ金属を含有する保護
層又はアルカリ金属からなる層が積層された保護層とを
備えてなることを特徴とするガス放電表示装置。
1. An electrode comprising at least a discharge space and an electrode, and a protective layer containing an alkali metal or a protective layer formed by laminating a layer made of an alkali metal formed on the electrode on the discharge space side. Gas discharge display device.
【請求項2】 アルカリ金属がセシウムであり、保護層
が酸化マグネシウムからなり、セシウムが保護層内に1
00ppm以上の濃度で含まれる請求項1のガス放電表
示装置。
2. The method according to claim 1, wherein the alkali metal is cesium, the protective layer is made of magnesium oxide, and cesium is contained in the protective layer.
The gas discharge display device according to claim 1, which is contained at a concentration of 00 ppm or more.
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