JP2000065634A - 回転機械の異常検出装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】周波数分析によるのではなく、単に設定操作の
みで回転機械のアンバランス異常と軸受けの摩擦異常と
を正確にかつ容易に検出できるようにする。 【解決手段】回転機械の回転動作中に該回転機械から受
ける振動状態を示す加速度を検出する加速度検出部１１
と、前記加速度を速度または変位に変換して回転機械の
アンバランス程度を示す変換値を得る速度／変位変換部
１２と、前記変換値を所定の増幅倍率で増幅し増幅値と
して出力する増幅部１４と、基準値を設定する設定部１
６と、前記回転機械におけるアンバランス異常の検出の
ために前記増幅値を前記基準値と比較する比較部１５と
を具備した構成。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、回転機械の異常検
出装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】モータの回転軸に転がり軸受けを用いか
つギヤ列とかベルトなどを介して排気ファン等を連結し
たような回転機械においては、各種要因例えば軸ぶれ、
ギヤ列不整合、ベルト張力不適合、転がり軸受けのフレ
ーキング、潤滑不良、ファンへの偏荷重、等が存在する
とその回転動作中に異常振動を発生する。この異常振動
はその要因に応じた周波数を有するために、これら各種
要因による異常振動に対応した周波数は広い領域にまた
がる。

【０００３】こうした異常振動を検出する場合、従来の
異常振動検出装置においては、例えば加速度ピックアッ
プを用いて回転機械の振動を加速度で検出し、その加速
度を周波数分析するために、まんべんなく周波数を広く
分布させ、これら広く分布した周波数領域から個々の要
因に対応して異常振動の発生を究明するようにしてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような周波数分析
のための計測装置は、前記周波数分布から各種異常振動
の要因をしらべるために手間が非常にかかる。また、異
常振動の態様も対象となる回転機械に応じて異なるう
え、同一の回転機械であってもその回転機械のどこに加
速度ピックアップを装着させるかでも振動レベルが微妙
に変化してくるからどのような要因による異常振動であ
るかを正確にかつ容易に検出することが困難で誤検出す
る可能性が高いということが課題となっている。また、
このような計測装置の市販価格はたいへん高いというこ
とも課題となっている。

【０００５】したがって、本発明においては、回転機械
の異常振動には、系統的には、軸振れなどによる回転機
械のアンバランス異常と、軸受けのフレーキングとか潤
滑不良などによる摩擦異常であることに着目し、前記ア
ンバランス異常と、軸受けの摩擦異常とについて単なる
設定操作のみで正確にかつ容易に検出できるようにする
ことを目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明第１においては、
回転機械の回転動作中に該回転機械から受ける振動状態
を示す加速度を検出する加速度検出手段と、前記加速度
を速度または変位に変換して回転機械のアンバランス程
度を示す変換値を得る速度／変位変換手段と、前記変換
値を所定の増幅倍率で増幅し増幅値として出力する増幅
手段と、前記増幅値との比較基準となる基準値を設定す
る設定手段と、前記回転機械におけるアンバランス異常
の検出のために前記増幅値を前記基準値と比較する比較
手段とを具備したことによって上述の課題を解決してい
る。

【０００７】本発明第２においては、回転機械の回転動
作中に該回転機械から受ける振動を加速度で検出し、か
つ、前記振動の周波数が共振点のときに共振する加速度
検出手段と、前記加速度のうち前記共振点を含む加速度
を抽出するフィルタ手段と、前記抽出出力を所定の増幅
倍率で増幅し増幅値として出力する増幅手段と、前記増
幅値との比較基準となる基準値を設定する設定手段と、
前記回転機械が有する軸受けにおける摩擦異常の検出の
ために前記増幅値を前記基準値と比較する比較手段とを
具備したことによって上述の課題を解決している。

【０００８】本発明第３においては、回転機械の回転動
作中に該回転機械から受ける振動状態を示す加速度を検
出するとともに、前記振動の周波数が共振点のときに共
振する加速度検出手段と、前記加速度を速度または変位
に変換して回転機械のアンバランス程度を示す変換値を
得る速度／変位変換手段と、前記変換値を所定の増幅倍
率で増幅し第１増幅値として出力する第１増幅手段と、
前記第１増幅値との比較基準となる第１基準値を設定す
る第１設定手段と、前記回転機械におけるアンバランス
異常の検出のために前記第１増幅値を前記第１基準値と
比較する第１比較手段と、前記加速度のうち前記共振点
を含む加速度を抽出するフィルタ手段と、前記抽出出力
を所定の増幅倍率で増幅し第２増幅値として出力する第
２増幅手段と、前記第２増幅値との比較基準となる第２
基準値を設定する第２設定手段と、前記回転機械が有す
る軸受けにおける摩擦異常の検出のために前記第２増幅
値を前記第２基準値と比較する第２比較手段とを具備し
たことによって上述の課題を解決している。

【０００９】なお、速度／変位変換部は、加速度を速度
だけに変換する手段、加速度を変位だけに変換する手
段、加速度を速度と変位との両方または一方だけに変換
する手段のいずれも含むものである。フィルタ手段、増
幅手段、設定手段、比較手段はハードウエア構成、ソフ
トウエア構成、いずれの構成も含むものである。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。

【００１１】図１は本実施の形態に係る回転機械の異常
検出装置（以下、本装置という）の外観構成を示し、図
２は、その側面断面構成を示している。本装置は、ケー
シング本体１と蓋体２とからなるケーシング３を備え
る。ケーシング本体１の内部に電子部品が搭載される回
路基板４，５が配備されている。本装置は、ケーシング
本体１の下部のフランジ６でネジでもって回転機械に装
着可能とされ、蓋体２は、ケーシング本体１の上部開口
にピン７でもって開閉可能に設けられている。回路基板
５には回転機械のアンバランス状態の検出のための設定
操作のための第１設定部８（後述の回転式デジタルスイ
ッチで構成されている。）と、軸受けの摩擦状態の検出
のための設定操作のための第２設定部９（後述の回転式
デジタルスイッチで構成されている。）とが外部から操
作可能に設けられている。ケーシング本体１の側面から
はケーブル１０が配備されている。このケーブル１０に
は不図示のプログラマブルコントローラが接続されてお
り、プログラマブルコントローラはこの出力部からの出
力により回転機械の動作を停止させたりする。なお、図
１および図２で示されている本装置は、後述の実施の形
態３の装置の外観構成に対応している。

【００１２】（実施の形態１）本発明の実施の形態１
は、回転機械の軸振れを含むアンバランス異常を検出す
るための装置である。

【００１３】図３は、回転機械の軸振れによるアンバラ
ンス異常を検出するための本装置の内部回路構成を示し
ている。本装置は、回転機械の回転動作中に該回転機械
から受ける振動を加速度で検出する加速度検出部１１
と、前記加速度を速度または変位に変換する速度／変位
変換部１２と、速度／変位変換部１２出力から高調波成
分を除去するフィルタ１３と、速度／変位変換部１２出
力を増幅する増幅部１４と、増幅部１４による増幅値を
基準値と比較する比較部１５と、前記基準値を設定する
設定部１６と、比較部１５出力を出力する出力部１７
と、比較部１５出力を表示する表示部１８とを有してい
る。

【００１４】加速度検出部１１は、圧電素子で構成さ
れ、本装置が回転機械に装着されているときに該回転機
械の振動による加速度を検出出力する。速度／変位変換
部１２は、加速度検出部１１からの加速度を速度または
変位に変換する。ここで、加速度を速度に変換するの
は、この速度が軸振れのエネルギに対応するから本装置
のユーザーにとり後述の設定が容易となるからである。
また、変位に変換するのは、同様に、本装置のユーザー
にとり後述の設定が容易となるからである。また、加速
度検出部１１から出力される加速度には回転機械の各種
要因による振動成分に対応していて周波数的には低周波
から高周波にまたがって広い範囲に分布したものとなっ
ている。そして、速度／変位変換部１２において加速度
を速度変換することで、低周波領域つまり回転機械の軸
振れなどによるアンバランス状態を示す加速度成分が得
られる。また、速度／変位変換部１２において加速度を
変位に変換するときは、より一層の低周波領域つまり回
転機械のアンバランス状態を示す加速度成分が得られ
る。

【００１５】なお、回転機械の回転数が例えば６００ｒ
ｐｍであれば、その回転周波数は１０Ｈｚであり、その
ときの回転周波数１０Ｈｚにおける加速度は回転機械の
アンバランス状態がないか、あってももわずかで正常で
あれば所定の大きさの加速度であるが、軸振れなどのア
ンバランスがあれば、そのアンバランス程度に応じて加
速度が大きく成長してくる。

【００１６】フィルタ１３は、速度／変位変換部１２の
出力に含まれる高周波成分をカットする。例えば回転機
械の回転周波数が上述のように例えば６００ｒｐｍであ
るときは、回転機械のアンバランス状態を示す周波数は
１０Ｈｚであるが、これには高調波成分があるために、
この高調波成分をカットすることでアンバランスの検出
精度を高められるようにしている。

【００１７】増幅部１４は、こうして高調波成分がカッ
トされた速度／変位変換部１２出力を増幅する。比較部
１５は、増幅部１４の増幅値を基準値と比較し、この増
幅値が基準値以上のときは回転機械に軸振れなどのアン
バランスがあることを示すＯＮ出力、基準値以下のとき
はそのような異常が無く正常であることを示すＯＦＦ出
力を出力部１７と表示部１８とに出力する。出力部１７
は、比較部１５からのＯＮ／０ＦＦ出力をケーブルに出
力する。発光ダイオードなどで構成された表示部１８
は、比較部１５からのＯＮ出力で点灯することで回転機
械の軸振れによる異常を表示する。

【００１８】図４にはこれら増幅部１４、比較部１５お
よび設定部１６の回路構成が示されている。増幅部１４
は、第１の増幅器１９と複数の抵抗２０，２１，２２と
で構成された前側増幅段１４ａと、第２の増幅器２３と
複数の抵抗２４，２５，２６とで構成された後側増幅段
１４ｂとで構成されている。比較部１５は、電源＋Ｖｃ
ｃと接地との間で直列接続された抵抗２７，２８と、後
側増幅段１４ｂの第２の増幅器２３の出力部に＋側が、
両抵抗２７，２８間に−側が接続された比較器２９と、
抵抗２８に対して後述の接点の開閉で並列接続が選択さ
れる抵抗３０，３１とで構成されている。

【００１９】設定部１６は、４つの接点１６ａ〜１６ｄ
を備えた４ビット構成の回転式デジタルスイッチでもっ
て構成されており、第１接点１６ａは、前側増幅段１４
ａの抵抗２２に接続され、第２接点１６ｂは後側増幅段
１４ｂの抵抗２６に接続され、第３の接点１６ｃは比較
部１５の抵抗３０に接続され、第４の接点１６ｄは比較
部１５の抵抗３１に接続されている。

【００２０】この回転式デジタルスイッチで構成された
設定部１６について説明する。第１の接点１６ａは最上
位ビット設定用であり、第２の接点１６ｂはその次の位
のビット設定用であり、第３の接点１６ｃはさらにその
次の位のビット設定用であり、第４の接点１６ｄは最下
位ビット設定用である。そして、第１の接点１６ａと第
２の接点１６ｂは増幅倍率設定用として上位２ビットを
構成し、第３の接点１６ｃと第４の接点１６ｄは基準値
設定用として下位２ビットを構成する。このデジタルス
イッチは回転操作すると、上記ビットが「１１１１」か
ら「００００」までに変化するようになっている。

【００２１】そして、仮に今、デジタルスイッチの回転
位置が「１１１１」の位置にあれば、すべての接点１６
ａ〜１６ｄがＯＮしており、そのため前側増幅段１４
ａ、後側増幅段１４ｂ全体の増幅倍率が最大となってお
り、また、基準値は最小となっている。次に、デジタル
スイッチを回転させると、前記ビット構成が「１１１
０」となる。このときは、前側増幅段１４ａ、後側増幅
段１４ｂ全体の増幅倍率が最大となっているが、基準値
は大きくなる。さらにデジタルスイッチを回転させる
と、前記ビット構成が「１１０１」となる。このとき
は、前側増幅段１４ａ、後側増幅段１４ｂ全体の増幅倍
率が最大となっているが、基準値はさらに大きくなる。
この場合、比較部１５の抵抗３０の抵抗値＜抵抗３１の
抵抗値関係にある。

【００２２】こうしてデジタルスイッチを回転させ、前
記ビット構成が「１０１１」となると、前側増幅段１４
ａ、後側増幅段１４ｂのうち、後側増幅段１４ｂの増幅
倍率が小さくなり、全体の増幅倍率は小さくなるが、基
準値は最小となる。このようにしてデジタルスイッチを
回転させることで、増幅倍率と基準値とを連動させて設
定させることができる。例えば回転機械によってはアン
バランスに関する速度／変位変換部１２出力が小さいと
きは、増幅倍率を大きくして、速度／変位変換部１２出
力を増幅してそのアンバランスの検出を可能とし、か
つ、どの程度のアンバランスでもって異常として検出す
るかによって基準値を設定する。そのために、それに対
応した位置にデジタルスイッチを回転操作させる。ま
た、回転機械によってはアンバランスに関する速度／変
位変換部１２出力が大きいときは、増幅倍率を小さくし
て増幅部１４出力が飽和しないようにしてアンバランス
の検出を可能とし、かつ、どの程度のアンバランスでも
って異常として検出するかによって基準値を設定する。
そのために、それに対応した位置にデジタルスイッチを
回転操作させる。

【００２３】このようにしてデジタルスイッチの回転操
作でもって検出すべきアンバランスに応じて増幅倍率の
設定と前記基準値の設定との組み合わせ関係をデジタル
スイッチの操作量に連動して変更して設定することで、
ユーザーは、広いダイナミックレンジで異常振動の検出
の設定を行うことができ、また、単に、それら設定部１
６を操作するだけで誤検出なく確実に回転機械のアンバ
ランスとか軸振れなどの異常を検出することができる。

【００２４】（実施の形態２）本発明の実施の形態２の
装置は、回転機械の軸受けにおける摩擦状態の異常を検
出するための装置である。

【００２５】図５は本発明の実施の形態２に係る本装置
の回路構成を示し、図３と対応する部分には同一の符号
を付している。本実施の形態２においては、回転機械の
回転動作中に該回転機械から受ける振動を加速度で検出
するとともに、前記振動の周波数が共振点のときに共振
する加速度検出部１１と、前記加速度検出部１１出力の
うち前記共振点を含む出力を抽出するフィルタ３２と、
前記フィルタ３２出力を増幅する増幅部１４と、前記増
幅部１４の増幅値を基準値と比較する比較部１５と、前
記基準値を設定する設定部１６と、前記比較部１５出力
から、前記増幅値が前記基準値以上であるとするとき
は、前記回転機械が有する軸受けに摩擦不良があること
を示す信号を出力する出力部１７と、そのことを表示す
る表示部１８とを有している。

【００２６】実施の形態２が実施の形態１と異なるの
は、加速度検出部１１、共振周波数抽出フィルタ３２で
ある。加速度検出部１１は、図６で示すように横軸を周
波数、縦軸を加速度とし、回転機械の軸受けがフレーキ
ングとか潤滑不良もなく摩擦状態が正常の場合ではの
波形となり、フレーキングとか潤滑不良で摩擦状態が異
常の場合はの波形となる。摩擦状態が正常の場合では
加速度検出部１１の圧電素子における共振周波数（共振
点）での振動は、前記の波形で示されるように、それ
以外の要因による共振周波数以下の振動のレベル以下程
度となっている。そして、摩擦状態が異常の場合では、
摩擦抵抗が増大し、その増大による振動の影響は共振点
も含め全周波数帯域にわたるため、その素子の共振点と
なる周波数の振動がそれ以外の要因による共振点の周波
数以下の振動レベルより大きくなって前記の波形とな
る。その結果、加速度検出部１１からは摩擦状態の異常
が、共振点で波形のレベルが大きくなってあらわれる。
共振周波数抽出フィルタ３２は、図７で示される抽出特
性を有しており、これによって、加速度検出部１１から
の前記ととの抽出出力の差異は大きくなる。したが
って、増幅部１４の増幅値は前記では小さく、前記
では大きくなる。そのため、増幅部１４の増幅値を比較
部１５で基準値と比較するとき、その基準値を前記に
対応させていると、比較部１５からのＯＮ／０ＦＦ出力
は、前記の場合はＯＮ出力とし、前記の場合はＯＦ
Ｆ出力となるので、出力部１７からは軸受けの摩擦状態
の正常、異常によるＯＮ／０ＦＦ出力を出力させること
ができる一方、表示部１８で摩擦状態の正常、異常を表
示させることができる。

【００２７】この実施の形態２では図６で示すように加
速度検出部１１の圧電素子の共振周波数を１０ｋＨｚ以
上としているので、外乱振動が多い数ｋＨｚまでの振動
を検出する必要がなくなり誤検出を効果的に防止するこ
とができる。

【００２８】（実施の形態３）本発明の実施の形態３
は、回転機械の軸振れなどのアンバランス異常と、該回
転機械が備える軸受けの摩擦異常とをともに検出可能と
したものである。

【００２９】図８を参照して、本発明の実施の形態３に
係る装置は、実施の形態１と２それぞれの回路を備えて
構成されており、これによって出力部からは回転機械の
アンバランス異常、軸受けの摩擦異常に対応した出力が
得られるものとなっている。

【００３０】詳しく説明すると、実施の形態３の装置に
おいては、回転機械の回転動作中に該回転機械から受け
る振動状態を示す加速度を検出するとともに、前記振動
の周波数が共振点のときに共振する加速度検出部１１
と、前記加速度を速度または変位に変換して回転機械の
アンバランス程度を示す変換値を得る速度／変位変換部
１２と、フィルタ１３と、前記変換値を所定の増幅倍率
で増幅した第１増幅値として出力する第１増幅部１４
と、第１基準値を設定する第１設定部１６（図２の第１
設定部８に対応）と、前記回転機械におけるアンバラン
ス異常の検出のために前記第１増幅値を前記第１基準値
と比較する第１比較部１５と、前記加速度のうち前記共
振点を含む加速度を抽出するフィルタ３２と、前記抽出
出力を所定の増幅倍率で増幅した第２増幅値として出力
する第２増幅部１４’と、第２基準値を設定する第２設
定部１６’（図２の第２設定部９に対応）と、前記回転
機械が有する軸受けにおける摩擦異常の検出のために前
記第２増幅値を前記第２基準値と比較する第２比較部１
５’と、を具備している。

【００３１】したがって、実施の形態３においては、実
施の形態１と実施の形態２の回路構成を備えているため
に、回転機械のアンバランス異常についての検出結果は
比較部１５から出力されて出力部１７および表示部１８
に入力され、回転機械の軸受けにおける摩擦異常につい
て検出結果は比較部１５’から出力されて出力部１７お
よび表示部１８に入力される。

【００３２】（実施の形態４）本発明の実施の形態４
は、回転機械のアンバランス異常と軸受けの摩擦異常と
をともにソフトウエア処理により検出可能とし、かつ、
そのためＣＰＵ（マイクロコンピュータ）を用いて、前
記設定が自動的に行われるようにしている。

【００３３】図９を参照して、本発明の実施の形態４の
装置は、実施の形態３の比較部１５，１５’と設定部１
６，１６’それぞれの機能をＣＰＵ３３のソフトウエア
処理で実現可能に構成し、ＣＰＵ３３には増幅部１４，
１４’出力をＡ／Ｄ変換部３４，３４’を介して入力さ
せるようにしている。そして、ＣＰＵ３３では設定開始
スイッチ３５のＯＮ操作に応答して回転機械の正常時に
おける振動の最大値を演算するとともに、その演算値の
ｋ倍例えば２倍とか３倍とかに基準値をあらかじめ設定
するようにしている。これによって、基準値が自動設定
される。

【００３４】

【発明の効果】以上のように本発明第１によれば、加速
度検出手段により回転機械の回転動作中に該回転機械か
ら受ける振動状態を示す加速度を検出するとともに、速
度／変位変換手段により前記加速度を速度または変位に
変換して回転機械のアンバランス程度を示す変換値を
得、増幅手段により前記変換値を増幅し、比較手段にお
いて増幅値を設定部で設定した基準値と比較することに
より回転機械にアンバランス異常があることを検出可能
に構成されているので、安価な構成が可能で、かつ、上
述した従来のような周波数分析によらずに単に検出レベ
ルの設定操作のみで回転機械のアンバランス状態を正確
にかつ容易に検出できる。

【００３５】本発明第２によれば、加速度検出手段によ
り回転機械の回転動作中に該回転機械から受ける振動を
加速度で検出するとともに、加速度検出手段においては
前記振動の周波数が共振点のときに共振させ、フィルタ
手段により前記加速度のうち前記共振点を含む加速度を
抽出し、増幅手段によりこの抽出出力を増幅し、比較手
段においてその増幅値を基準値と比較することにより回
転機械が有する軸受けに摩擦異常があることを検出可能
に構成されているので、安価な構成が可能で、かつ、上
述した従来のような周波数分析によらずに単に検出レベ
ルの設定操作のみで回転機械の軸受けにおける摩擦異常
を正確にかつ容易に検出できる。

【００３６】本発明第３によれば、回転機械のアンバラ
ンス異常については、加速度検出手段により回転機械の
回転動作中に該回転機械から受ける振動状態を示す加速
度を検出し、速度／変位変換部によりその加速度を速度
または変位に変換して回転機械のアンバランス程度を示
す変換値を得、この変換値を増幅手段により所定の増幅
倍率で増幅した第１増幅値として出力し、前記回転機械
におけるアンバランス異常の検出のために第１比較手段
において第１増幅値を第１設定手段で設定した第１基準
値と比較することにより回転機械のアンバランス異常の
検出が可能であり、また、回転機械の軸受けにおける摩
擦異常については、フィルタ手段により前記加速度のう
ち前記共振点を含む加速度を抽出し、第２増幅手段によ
り前記抽出出力を所定の増幅倍率で増幅した第２増幅値
として出力し、前記回転機械が有する軸受けにおける摩
擦異常の検出のために第２比較手段により第２増幅値を
第２設定手段で設定した第２基準値と比較するので、安
価な構成が可能で、かつ、上述した従来のような周波数
分析によらずに単に検出レベルの設定操作のみで回転機
械のアンバランス異常と回転機械における軸受けの摩擦
異常について正確にかつ容易に検出できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態に係る異常検出装置の外観斜
視図

【図２】図１の装置の断面図

【図３】本発明の実施の形態１の回路図

【図４】図３の回路における増幅部、比較部、設定部の
具体回路図

【図５】本発明の実施の形態２の回路図

【図６】図５における加速度検出部の加速度と周波数と
の関係図

【図７】図５のフィルタの周波数特性図

【図８】本発明の実施の形態３の回路図

【図９】本発明の実施の形態４の回路図

【符号の説明】

１ ケーシング本体 ２ 蓋体 ８，９ デジタルスイッチ １１ 加速度検出部 １２ 速度／変位変換部 １３ フィルタ １４ 増幅部 １５ 比較部 １６ 設定部

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】回転機械の回転動作中に該回転機械から受
   ける振動状態を示す加速度を検出する加速度検出手段
   と、 前記加速度を速度または変位に変換して回転機械のアン
   バランス程度を示す変換値を得る速度／変位変換手段
   と、 前記変換値を所定の増幅倍率で増幅し増幅値として出力
   する増幅手段と、 前記増幅値との比較基準となる基準値を設定する設定手
   段と、 前記回転機械におけるアンバランス異常の検出のために
   前記増幅値を前記基準値と比較する比較手段と、 を具備したことを特徴とする回転機械の異常検出装置。
2. 【請求項２】回転機械の回転動作中に該回転機械から受
   ける振動を加速度で検出し、かつ、前記振動の周波数が
   共振点のときに共振する加速度検出手段と、 前記加速度のうち前記共振点を含む加速度を抽出するフ
   ィルタ手段と、 前記抽出出力を所定の増幅倍率で増幅し増幅値として出
   力する増幅手段と、 前記増幅値との比較基準となる基準値を設定する設定手
   段と、 前記回転機械が有する軸受けにおける摩擦異常の検出の
   ために前記増幅値を前記基準値と比較する比較手段と、 を具備したことを特徴とする回転機械の異常検出装置。
3. 【請求項３】回転機械の回転動作中に該回転機械から受
   ける振動状態を示す加速度を検出するとともに、前記振
   動の周波数が共振点のときに共振する加速度検出手段
   と、 前記加速度を速度または変位に変換して回転機械のアン
   バランス程度を示す変換値を得る速度／変位変換手段
   と、 前記変換値を所定の増幅倍率で増幅し第１増幅値として
   出力する第１増幅手段と、 前記第１増幅値との比較基準となる第１基準値を設定す
   る第１設定手段と、 前記回転機械におけるアンバランス異常の検出のために
   前記第１増幅値を前記第１基準値と比較する第１比較手
   段と、 前記加速度のうち前記共振点を含む加速度を抽出するフ
   ィルタ手段と、 前記抽出出力を所定の増幅倍率で増幅し第２増幅値とし
   て出力する第２増幅手段と、 前記第２増幅値との比較基準となる第２基準値を設定す
   る第２設定手段と、 前記回転機械が有する軸受けにおける摩擦異常の検出の
   ために前記第２増幅値を前記第２基準値と比較する第２
   比較手段と、 を具備したことを特徴とする回転機械の異常検出装置。
4. 【請求項４】請求項１ないし３いずれかにおいて、 前記基準値が、回転機械が正常時における振動検出値の
   ｋ倍に自動設定されることを特徴とする回転機械の異常
   検出装置。
5. 【請求項５】請求項３において、 前記両設定手段それぞれが、ケーシングに対し外部から
   操作可能に配備されていることを特徴とする回転機械の
   異常検出装置。
6. 【請求項６】請求項１ないし５いずれかにおいて、 前記設定手段が、回転式デジタルスイッチで構成されて
   おり、前記デジタルスイッチの回転操作の位置に応じて
   前記基準値と前記増幅倍率とが連動して設定可能とされ
   ていることを特徴とする回転機械の異常検出装置。
7. 【請求項７】請求項２または３において、 前記加速度検出手段の共振周波数が１０ＫＨｚ以上であ
   ることを特徴とする回転機械の異常検出装置。