JP2000047190A - Electro-optic device and its production - Google Patents

Electro-optic device and its production

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JP2000047190A
JP2000047190A JP10217665A JP21766598A JP2000047190A JP 2000047190 A JP2000047190 A JP 2000047190A JP 10217665 A JP10217665 A JP 10217665A JP 21766598 A JP21766598 A JP 21766598A JP 2000047190 A JP2000047190 A JP 2000047190A
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JP
Japan
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ink
electro
optical device
pixel
pixels
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JP10217665A
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Japanese (ja)
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Yukiyasu Sugano
幸保 菅野
Masahiro Fujino
昌宏 藤野
Shinji Nakamura
真治 中村
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To efficiently produce an electro-optic device including a working process for light-shielding by forming a light-shielding layer by a non-contact transfer method to shield at least a part of a region except for pixels from light. SOLUTION: Inks such as a red ink, green ink, blue ink and black ink are injected through ink injection nozzles 7 corresponding to the respective pixel lines formed on a driving substrate 2, and the injection pitch is smaller than the pitch of the pixels. As for the ink, a soln. containing a dye or pigment is used. In this state, the red ink, green ink and blue ink are injected through the ink injection nozzles 7 at one time to the respective pixel lines on the surface of a photosensitive resin film 23A, while the black ink is simultaneously injected on the peripheral part except for the pixels. Thus, the red, green, blue and black inks are directly and simultaneously injected through the ink injection nozzles 7 to the photosensitive substrate 23A.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえばカラー液
晶表示装置など、カラーフィルタを備えた電気光学装置
及びその製造方法に関する。
The present invention relates to an electro-optical device having a color filter, such as a color liquid crystal display device, and a method of manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ、携帯テ
レビ、車載ナビゲーションシステム等の発達に伴ってカ
ラー液晶表示装置の需要が増大している。
2. Description of the Related Art In recent years, with the development of personal computers, portable televisions, on-vehicle navigation systems, and the like, the demand for color liquid crystal display devices has been increasing.

【0003】しかし、その用途を拡大し需要をさらに増
大するために、その製造コストをもっと下げることが切
望されている。中でも、構成部品の一つであるカラーフ
ィルタは、装置全体に占めるコストの割合が高いので、
カラーフィルタのコストダウンに対する要求は強いもの
がある。
[0003] However, in order to expand its use and further increase its demand, there is an urgent need to further reduce its manufacturing cost. Among them, the color filter, which is one of the components, has a high cost ratio in the entire device,
There is a strong demand for cost reduction of color filters.

【0004】カラー液晶表示装置は一般に、画素電極を
含む画素を有する駆動基板と、対向電極及びブラックマ
トリクス等の形成された対向基板とを、液晶材料層を中
に挟んで貼り合わせたような構造を有し、その駆動基板
には各画素を制御するためのTFT(薄膜トランジス
タ)や保持容量等が設けられる。前記カラーフィルタ
は、この駆動基板の画素単位(即ち、赤、緑、青色部)
への入射光線の色分解で基本色(赤、緑、青)を得るた
めのもので、通常、対向基板の内面に形成されている。
In general, a color liquid crystal display device has a structure in which a driving substrate having pixels including pixel electrodes and a counter substrate on which a counter electrode and a black matrix are formed are bonded with a liquid crystal material layer interposed therebetween. The driving substrate is provided with a TFT (thin film transistor) for controlling each pixel, a storage capacitor, and the like. The color filter is a pixel unit of the driving substrate (that is, red, green, and blue portions).
For obtaining basic colors (red, green, and blue) by color separation of incident light to the substrate, and is usually formed on the inner surface of the counter substrate.

【0005】しかしながら、この種のカラーフィルタを
有するカラー液晶表示装置は、駆動基板と対向基板とを
貼り合わせて組み立てる際、その貼り合わせの誤差によ
りカラーフィルタと画素電極との間で色づれが生じ、表
示品位が劣化すると言う問題がある。
However, in a color liquid crystal display device having a color filter of this type, when a drive substrate and a counter substrate are bonded together and assembled, a color error occurs between the color filter and the pixel electrode due to a bonding error. However, there is a problem that display quality is deteriorated.

【0006】この色ずれを防止するためには、駆動基板
と対向基板との間において精密な位置合わせ(アライメ
ント)が必要であるが、画素の高精細化が進むに伴って
精密な位置合わせが困難になっている。なお、対策とし
て遮光領域を拡大して色ずれ部分を隠すことも考えられ
るが、遮光領域の拡大は貼り合わせ後の光の透過率が低
下し、画素部の実効開口率の低下につながるという問題
がある。
In order to prevent the color misregistration, precise alignment (alignment) between the driving substrate and the counter substrate is necessary. However, as the definition of pixels increases, the precise alignment is required. It has become difficult. As a countermeasure, it is conceivable to hide the color misregistration area by enlarging the light-shielding area. There is.

【0007】このようなことから、カラーフィルタを駆
動基板側に形成する所謂オンチップカラーフィルタ構造
が提案されている(例えば特開平2−54217号公報
等)。このオンチップカラーフィルタ構造の液晶表示装
置では、カラーフィルタを対向基板側に形成した構造に
比べ、画素電極とカラーフィルタとの位置合わせ誤差が
殆どなくなり、画素部が微細化しても高開口率を維持で
きると共に、カラーフィルタが個々の画素電極と重なっ
ているので、両者の間に視差が生ずることがなく、画素
部の実効開口率を大きくとることができるという利点が
ある。
For this reason, a so-called on-chip color filter structure in which a color filter is formed on the drive substrate side has been proposed (for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-54217). In the liquid crystal display device having the on-chip color filter structure, there is almost no positioning error between the pixel electrode and the color filter as compared with the structure in which the color filter is formed on the counter substrate side, and a high aperture ratio is obtained even when the pixel portion is miniaturized. In addition, since the color filters overlap the individual pixel electrodes, there is an advantage that parallax does not occur between the two and the effective aperture ratio of the pixel portion can be increased.

【0008】ところで、このようなカラーフィルタを基
板上に形成する方法として、これまで染色法が主流をな
していた。
By the way, as a method for forming such a color filter on a substrate, a dyeing method has hitherto been mainly used.

【0009】この染色法は、感光性の被染色層にフォト
リソグラフィーの方法でパターンを形成し、染色液に浸
して着色し、この工程を繰返して3色のカラーフィルタ
を得るものである。一方、近頃では上記染色法に取って
代わって顔料分散法が普及するようになった。これは、
感光性樹脂に着色用の顔料を分散させ、フォトリソグラ
フィーによりパターンを形成し、この工程を3色につい
て繰返すことによって、カラーフィルタを製造するもの
である。
In this dyeing method, a pattern is formed on a photosensitive layer to be dyed by a photolithography method, and the pattern is immersed in a dyeing solution for coloring. This process is repeated to obtain three color filters. On the other hand, recently, the pigment dispersion method has come into wide use in place of the above-mentioned dyeing method. this is,
A color filter is manufactured by dispersing a coloring pigment in a photosensitive resin, forming a pattern by photolithography, and repeating this process for three colors.

【0010】さらに、最近に至って、インクの噴射ノズ
ルを用いる方法が提案された。この方法によれば、噴射
ノズルからインクを噴射することによって、3色を同時
に被染色層の必要箇所に着色することができるので、他
の方法に比べ工程が簡略化されている。
Further, recently, a method using an ink jet nozzle has been proposed. According to this method, since the three colors can be simultaneously colored at required portions of the dyed layer by ejecting ink from the ejection nozzles, the steps are simplified as compared with other methods.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】ところで、カラー液晶
表示装置の表示コントラストを向上させるためには、光
り抜けがないように画素の開口部以外は完全に遮光する
必要がある。そのため、従来では、対向基板にカラーフ
ィルタを形成する場合は画素以外の周辺部、画素と画素
の間をブラックマトリクスで遮光したり、オンチップカ
ラーフィルタを形成する場合は金属膜もしくは黒色レジ
ストで同様の箇所を遮光したりしていたが、フォトリソ
グラフィーなどの工程が増えると言う問題点があった。
By the way, in order to improve the display contrast of a color liquid crystal display device, it is necessary to completely block light except for the openings of the pixels so as to prevent light leakage. Therefore, conventionally, when a color filter is formed on a counter substrate, peripheral portions other than pixels, between pixels are shielded by a black matrix, and when an on-chip color filter is formed, a metal film or a black resist is used. Is shielded from light, but there is a problem that the number of steps such as photolithography increases.

【0012】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的とするところは、カラーフィルタを備え
たカラー液晶表示装置などの電気光学装置において、そ
のカラーフィルタの形成を高効率で行なうだけでなく、
画素以外の領域の遮光を高効率で達成できる、電気光学
装置及びその製造方法を提供することにある。
The present invention has been made in view of such a problem, and an object of the present invention is to form a color filter with high efficiency in an electro-optical device such as a color liquid crystal display device having a color filter. not only,
An object of the present invention is to provide an electro-optical device and a method of manufacturing the same, which can achieve high efficiency of shielding light from a region other than a pixel.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明の電気光学装置
は、複数の画素を含むとともにこれら画素に対応した画
素電極を有する第1の基体と、前記画素電極に対向する
電極を有し、光学材料層を介して前記第1の基体と対向
する第2の基体と、前記第1及び第2の基体の少なくと
もいづれか一方に、前記画素に対応して非接触型転写方
式を用いて形成してなるカラーフィルタと、を具備し、
前記画素以外の領域の少なくとも一部は、前記非接触型
転写方式を用いて形成した遮光層により遮光されてい
る、ことを特徴とする。
An electro-optical device according to the present invention comprises a first base including a plurality of pixels and having pixel electrodes corresponding to the pixels, and an electrode opposed to the pixel electrodes. A second substrate facing the first substrate via a material layer, and at least one of the first and second substrates formed using a non-contact transfer method corresponding to the pixels; And a color filter,
At least a part of a region other than the pixel is shielded from light by a light-shielding layer formed by using the non-contact transfer method.

【0014】又、本発明の電気光学装置の製造方法は、
複数の画素を含むとともにこれら画素に対応した画素電
極を有する第1の基体と、前記画素電極に対向する電極
を有し、光学材料層を介して前記第1の基体と対向する
第2の基体と、前記第1及び第2の基体の少なくともい
づれか一方に、前記画素に対応して非接触型転写方式を
用いて形成されたカラーフィルタとを具備する電気光学
装置を製造する際に、前記画素以外の領域の少なくとも
一部に、前記非接触型転写方式を用いて遮光層を形成す
る、ことを特徴とする。
Further, a method of manufacturing an electro-optical device according to the present invention
A first base including a plurality of pixels and having pixel electrodes corresponding to the pixels, and a second base having an electrode facing the pixel electrodes and facing the first base via an optical material layer And a color filter formed on at least one of the first and second bases using a non-contact transfer method corresponding to the pixel. A light-shielding layer is formed on at least a part of the other region by using the non-contact transfer method.

【0015】このように、本発明ではカラーフィルタの
製造に適用する非接触型転写方式を、そのまま画素以外
の領域の一部又は全体の遮光目的に、すなわち遮光層の
形成に利用するのである。なお、本発明において、上記
のカラーフィルタは赤、緑、青の各色毎に設ける(フル
カラー用)のみならず、これらの基本色の少なくとも1
色で形成してよい(いわゆるモノカラー又はマルチカラ
ー)。
As described above, in the present invention, the non-contact transfer method applied to the manufacture of the color filter is used as it is for the purpose of shielding a part or the whole of the area other than the pixel, that is, for forming the light shielding layer. In the present invention, the above color filters are provided not only for each of red, green and blue (for full color), but also for at least one of these basic colors.
It may be formed in a color (so-called monocolor or multicolor).

【0016】また、上記の画素とは、例えばフルカラー
の場合は赤、緑、青の各色部又はこれらの組(これら3
色で1画素を構成することがある。)を意味し、モノカ
ラーのときは1色が1画素を構成するという意味であ
る。
The above-mentioned pixels are, for example, red, green, and blue color parts or a set of these in the case of full color.
A color may constitute one pixel. ) Means that one color constitutes one pixel in the case of mono color.

【0017】この本発明の新しい工夫によってのみ、従
来ではどうしても低効率であった前記領域の遮光の作業
工程を初めて高効率化することが可能になる。
Only by the new device of the present invention, it becomes possible to increase the efficiency of the light shielding work process of the above-described region for the first time, which has always been low in efficiency.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】本発明においても、特定領域に遮
光膜を形成するには、カラーフィルタを構成する色素受
容層、好ましくは感光性樹脂膜に対し、カラーフィルタ
の形成に用いる同じ非接触型転写方式を用いて、好まし
くは黒や基本色のインクで着色を施すのが好ましい。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS In the present invention, in order to form a light-shielding film in a specific area, the same non-contacting method as used for forming a color filter is applied to a dye-receiving layer, preferably a photosensitive resin film, constituting a color filter. It is preferable to apply coloring using black or a basic color ink using a pattern transfer method.

【0019】こうして遮光したカラーフィルタを装着す
ると、カラー液晶表示装置はその表示コントラストを効
果的に向上させることができるが、本発明の技術思想は
光学材料として液晶を用いるカラー液晶表示装置だけで
なく、たとえばEL(エレクトロルミネセンス)、FE
D(電界放出型ディスプレイ)、LEP(ライトエミッ
ションポリマー)などを利用する電気光学装置に対して
も、適用することが可能である。
When a color filter that is shielded in this way is mounted, the color liquid crystal display device can effectively improve the display contrast. However, the technical idea of the present invention is not only for a color liquid crystal display device using liquid crystal as an optical material but also for a color liquid crystal display device. For example, EL (electroluminescence), FE
The present invention can be applied to an electro-optical device using D (field emission display), LEP (light emission polymer), or the like.

【0020】なお、本発明で用いる非接触型転写方式と
は、公知ではあるが、染色法や顔料分散法などと違っ
て、着色を非接触で行なう転写方式であり、下記の三方
式を挙げることができる。 (イ)インク噴射型転写方式:インクの液滴をヒータや
ピエゾ素子などによって噴射ノズルから被着色面に向っ
て高速で噴射する。 (ロ)インク気化又は昇華型転写方式:ヒータなどでイ
ンクをいったん気化もしくは昇華させてミスト状にし、
ノズルから被着色面に向って飛翔させる。 (ハ)インク希釈型転写方式:インクと溶媒をヒータ又
はピエゾ素子などにより膨張させて吐出口付近にて合流
せしめてインクを希釈したのち、この希釈インク液をノ
ズルから被着色面へ噴射する。
The non-contact transfer system used in the present invention is a transfer system in which coloring is performed in a non-contact manner, unlike the dyeing method and the pigment dispersion method, which are known, and include the following three systems. be able to. (A) Ink-jet transfer method: Ink droplets are ejected from an ejection nozzle toward a surface to be colored at high speed by a heater, a piezo element, or the like. (B) Ink vaporization or sublimation type transfer method: The ink is vaporized or sublimated once by a heater or the like to form a mist,
Fly from the nozzle to the surface to be colored. (C) Ink dilution type transfer method: After the ink and the solvent are expanded by a heater or a piezo element or the like and merged near the ejection port to dilute the ink, the diluted ink liquid is ejected from the nozzle to the surface to be colored.

【0021】以下、カラー液晶表示装置及びその製造方
法に基づいて、図面を参照しながら本発明を好ましい実
施の形態につきさらに具体的に説明する。
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described more specifically with reference to the drawings based on a color liquid crystal display device and a method of manufacturing the same.

【0022】図10は本発明の一実施の形態に係るカラ
ー液晶表示装置1の断面構成を表し、図11はこのカラ
ー液晶表示装置1の駆動基板2及び対向基板3を取り出
して、その要部構成を示したものである。この液晶表示
装置1は、駆動基板2とこの駆動基板2に対向する対向
基板3とを貼り合わせ、これら駆動基板2と対向基板3
との間隙に液晶を注入して液晶層4を形成した後、シー
ル剤5により液晶層4を封止することにより製造され
る。
FIG. 10 shows a cross-sectional structure of a color liquid crystal display device 1 according to one embodiment of the present invention. FIG. 11 shows a drive substrate 2 and a counter substrate 3 of the color liquid crystal display device 1, which are taken out and a main part thereof. 2 shows a configuration. The liquid crystal display device 1 includes a driving substrate 2 and an opposing substrate 3 opposed to the driving substrate 2, and the driving substrate 2 and the opposing substrate 3
The liquid crystal layer 4 is formed by injecting a liquid crystal into a gap between the liquid crystal layer and the liquid crystal layer 4, and the liquid crystal layer 4 is sealed with a sealant 5.

【0023】駆動基板2は支持基板としてのガラス基板
21を備え、このガラス基板21上に複数の基本色それ
ぞれに対応した複数の画素単位がマトリクス状に設けら
れ、これら画素単位毎に対応した画素電極制御用のスイ
ッチング素子としてのTFT(Thin film transistor :
薄膜トランジスタ)を含む各画素単位22(以下、単に
TFT22と称する。)からなる画素が複数個設けられ
ている。TFT22上には画素部以外の周辺部を遮光し
たカラーフィルタ層23が形成されている。このカラー
フィルタ層23上に保護膜(図示せず)を介して各画素
に対応して透明の画素電極24が形成され、更にこの画
素電極24上に配向膜25が形成されている。
The drive substrate 2 includes a glass substrate 21 as a support substrate, and a plurality of pixel units corresponding to a plurality of basic colors are provided in a matrix on the glass substrate 21, and a pixel corresponding to each of these pixel units is provided. Thin film transistor (TFT) as a switching element for controlling electrodes
A plurality of pixels each including a pixel unit 22 (hereinafter simply referred to as a TFT 22) including a thin film transistor) are provided. A color filter layer 23 is formed on the TFT 22 so as to shield the peripheral part other than the pixel part from light. A transparent pixel electrode 24 is formed on the color filter layer 23 via a protective film (not shown) for each pixel, and an alignment film 25 is formed on the pixel electrode 24.

【0024】更に、この駆動基板2には、図11に示す
ように、マトリクス状の画素の行方向に沿ってゲート線
26が配設されると共に列方向に沿って列単位でTFT
22に対して画像信号を供給するための信号線27が配
設されている。ゲート線26は複数のTFT22の各ゲ
ート電極に電気的に接続されている。カラーフィルタ層
23は、画素単位としての赤色フィルタ23a、緑色フ
ィルタ23b(図10では図示せず)、青色フィルタ2
3cおよび画素以外の周辺部を遮光した黒色又は基本色
を塗り重ねた遮光層23d(図示せず)が行方向に沿っ
て交互に繰り返し配列されている。カラーフィルタ層2
3は、後述のように、例えば感光性樹脂膜に対してイン
ク(染料または顔料などを含む着色溶液)を直接噴射さ
せることによって形成されたものである。
Further, as shown in FIG. 11, a gate line 26 is provided on the drive substrate 2 along the row direction of the pixels in a matrix, and the TFTs are arranged in columns along the column direction.
A signal line 27 for supplying an image signal to 22 is provided. The gate line 26 is electrically connected to each gate electrode of the plurality of TFTs 22. The color filter layer 23 includes a red filter 23a, a green filter 23b (not shown in FIG. 10), a blue filter 2
3c and a light-shielding layer 23d (not shown) in which peripheral portions other than the pixels are shielded from light by black or a basic color are alternately arranged in the row direction. Color filter layer 2
As described later, No. 3 is formed by, for example, directly jetting ink (a coloring solution containing a dye or a pigment) onto the photosensitive resin film.

【0025】一方、対向基板3では、図10に示したよ
うにガラス基板31上に、駆動基板2側の画素電極24
と共に液晶層4に対して所定の電位を与えるための透明
の対向電極32が形成されると共に、この対向電極32
上に配向膜33が形成されている。なお、図示しない
が、この対向基板3には画素と画素との間の領域に対応
してブラックマトリクス部が形成されている。
On the other hand, as shown in FIG. 10, on the opposite substrate 3, the pixel electrode 24 on the driving substrate 2 side is placed on the glass substrate 31.
At the same time, a transparent counter electrode 32 for applying a predetermined potential to the liquid crystal layer 4 is formed.
An alignment film 33 is formed thereon. Although not shown, a black matrix portion is formed on the counter substrate 3 corresponding to a region between the pixels.

【0026】この液晶表示装置1では、駆動基板2側に
カラーフィルタ層23を備えた、所謂オンチップカラー
フィルタ構造となっている。従って、駆動基板2に対し
て対向基板3を貼り合わせる際に、画素電極24とカラ
ーフィルタ層23との位置合わせ誤差が殆どなくなり、
画素部が微細化しても高開口率を維持できる。また、カ
ラーフィルタ層23が個々の画素電極と重なっているた
め、両者の間に視差が生ずることがなく、画素部の実効
開口率を大きくとることができる。
The liquid crystal display device 1 has a so-called on-chip color filter structure in which a color filter layer 23 is provided on the drive substrate 2 side. Therefore, when the opposing substrate 3 is bonded to the driving substrate 2, there is almost no positioning error between the pixel electrode 24 and the color filter layer 23,
A high aperture ratio can be maintained even when the pixel portion is miniaturized. Further, since the color filter layer 23 overlaps with the individual pixel electrodes, no parallax occurs between the two, and the effective aperture ratio of the pixel portion can be increased.

【0027】以下、図1ないし図9に示す工程を参照し
てカラー液晶表示装置1の製造方法について説明する。
ここでは、本発明の特徴である駆動基板2への遮光層及
びカラーフィルタの製造方法を中心に説明し、その他の
工程の具体的な説明は省略する。
Hereinafter, a method of manufacturing the color liquid crystal display device 1 will be described with reference to the steps shown in FIGS.
Here, a method of manufacturing a light-shielding layer and a color filter on the driving substrate 2 which is a feature of the present invention will be mainly described, and specific description of other steps will be omitted.

【0028】まず、図3に示すように、フォトリソグラ
フィー技術等の公知の方法によって、ガラス基板21上
に複数のTFT22を画素毎に形成する。TFT22
は、図6(B)に示したように、ガラス基板21上に例
えばモリブデン(Mo)により形成されると共にゲート
線の一部を構成するゲート電極22aと、このゲート電
極22a上に形成された例えば窒化膜(SiNX )と酸
化膜(SiO2 )との積層膜からなるゲート絶縁膜22
bと、このゲート絶縁膜22b上に形成された多結晶シ
リコン膜22cと、例えば酸化膜(SiO2 )と窒化膜
(SiNX )との積層膜により形成された保護膜22d
とにより構成されている。
First, as shown in FIG. 3, a plurality of TFTs 22 are formed for each pixel on a glass substrate 21 by a known method such as a photolithography technique. TFT22
As shown in FIG. 6B, a gate electrode 22a is formed on the glass substrate 21 by, for example, molybdenum (Mo) and forms a part of a gate line, and is formed on the gate electrode 22a. For example, a gate insulating film 22 composed of a laminated film of a nitride film (SiN x ) and an oxide film (SiO 2 )
b, a polycrystalline silicon film 22c formed on the gate insulating film 22b, and a protective film 22d formed by a laminated film of, for example, an oxide film (SiO 2 ) and a nitride film (SiN x ).
It is composed of

【0029】多結晶シリコン膜22cのゲート電極22
aに対向する領域がTFT22のチャネル領域、また、
このチャネル領域の両側の領域がソース領域又はドレイ
ン領域となっている。多結晶シリコン膜22cのソース
領域は保護膜22dに設けられた接続孔(コンタクトホ
ール)を介して例えばアルミニウム(Al)により形成
された信号線27に電気的に接続されている。なお、多
結晶シリコン膜22cのドレイン領域は、後述のように
接続孔(コンタクトホール)201を介して画素電極2
4と電気的に接続されるようになっている。
Gate electrode 22 of polycrystalline silicon film 22c
The region facing a is the channel region of the TFT 22,
The regions on both sides of the channel region serve as a source region or a drain region. The source region of the polycrystalline silicon film 22c is electrically connected to a signal line 27 made of, for example, aluminum (Al) through a connection hole (contact hole) provided in the protective film 22d. The drain region of the polycrystalline silicon film 22c is connected to the pixel electrode 2 via a contact hole (contact hole) 201 as described later.
4 is electrically connected.

【0030】図3に戻って説明を続ける。この工程で
は、ガラス基板21上にTFT22と同時にアライメン
トマーク28a、28bを形成する。このアライメント
マーク28a、28bは後述するようにカラーフィルタ
層23の形成工程における位置合わせの基準となる。な
お、これらのアライメントマーク28a、28bは駆動
基板2と対向基板3との貼り合わせの基準となるマーク
と兼用することもできる。アライメントマーク28a、
28bは、TFT22の製造プロセスにおいて配線等の
金属層や多結晶シリコン層を形成する際に、少なくとも
その一層を利用して同一工程で形成することができる。
Returning to FIG. 3, the description will be continued. In this step, the alignment marks 28a and 28b are formed on the glass substrate 21 simultaneously with the TFT 22. The alignment marks 28a and 28b serve as a reference for alignment in the step of forming the color filter layer 23 as described later. Note that these alignment marks 28a and 28b can also be used as marks that serve as a reference for bonding the drive substrate 2 and the counter substrate 3. Alignment mark 28a,
28b can be formed in the same step by using at least one layer when forming a metal layer such as wiring or a polycrystalline silicon layer in the manufacturing process of the TFT 22.

【0031】次に、TFT22およびアライメントマー
ク28a、28bが形成された駆動基板2上に、図4に
示したように、スピンコート法やその他の方法によって
膜厚0.5〜5.0μm、例えば1.0μmの感光性樹
脂膜23Aを形成する。この感光性樹脂膜23Aがカラ
ーフィルタ用膜及び画素以外の周辺部の遮光用膜に対応
している。感光性樹膜23Aの材料としては、例えばア
クリル系樹脂およびPVA(ポリビニルアルコール)に
既知の感光剤であるナフトキノンジアジド、トリアゾー
ル等をそれぞれ混合したものが挙げられる。
Next, as shown in FIG. 4, a film thickness of 0.5 to 5.0 μm, for example, is formed on the drive substrate 2 on which the TFT 22 and the alignment marks 28a and 28b are formed by a spin coating method or another method. A photosensitive resin film 23A of 1.0 μm is formed. The photosensitive resin film 23A corresponds to a color filter film and a light shielding film in a peripheral portion other than the pixels. Examples of the material of the photosensitive resin 23A include a mixture of an acrylic resin and PVA (polyvinyl alcohol) with known photosensitizers such as naphthoquinonediazide and triazole.

【0032】続いて、30℃〜120℃の範囲の温度、
例えば60℃で熱処理を施すことにより感光性樹脂膜2
3Aを乾燥させる。次に、フォトマスク(図示せず)を
介して感光性樹脂膜23Aに対して紫外線を照射し、更
に現像液により不要部を選択的に除去することにより、
多結晶シリコン膜22cのドレイン領域に達する接続孔
(コンタクトホール)201を形成した後に水洗いす
る。その後、感光性樹脂膜23Aの再流動(リフロー)
のために、100℃〜300℃の範囲の温度、例えば1
50℃で加熱する。
Subsequently, a temperature in the range of 30 ° C. to 120 ° C.,
For example, the photosensitive resin film 2 is subjected to a heat treatment at 60 ° C.
Dry 3A. Next, the photosensitive resin film 23A is irradiated with ultraviolet rays through a photomask (not shown), and unnecessary portions are selectively removed with a developing solution.
After forming a contact hole (contact hole) 201 that reaches the drain region of the polycrystalline silicon film 22c, it is washed with water. Thereafter, the photosensitive resin film 23A reflows (reflow).
For a temperature in the range of 100 ° C. to 300 ° C., for example 1
Heat at 50 ° C.

【0033】次に、図6に示すように、アライメントス
コープ6a、6bによりアライメントマーク28a、2
8bを検出することにより、インク噴射ノズル7と駆動
基板2との位置合わせを行なう。
Next, as shown in FIG. 6, the alignment scopes 6a and 6b are used to align the alignment marks 28a and 28a.
By detecting 8b, the position of the ink jet nozzle 7 and the drive substrate 2 are aligned.

【0034】インク噴射ノズル7は、駆動基板2上に形
成された画素列毎に対応して例えば赤色のインク7a、
緑色のインク7b、青色のインク7c及び黒色のインク
7dを噴出できるもので、そのピッチは各画素間のピッ
チよりも小さくなっている。インクとしては、染料また
は顔料含む溶液が用いられる。この状態で、インク噴射
ノズル7から感光性樹脂膜23Aの表面に対して画素列
毎に、赤色のインク7a、緑色のインク7b及び青色の
インク7cが同時に噴射されるとともに画素以外の周辺
部に対し、黒色のインク7dが同時に噴射される。この
とき駆動基板2またはインク噴射ノズル7の一方、例え
ば駆動基板2側を走査して、駆動基板2上の感光性樹脂
膜23Aの全面にインクを噴射させる。なお、このとき
の駆動基板2のx、y及びθ方向の位置は、例えば基板
吸着ステージに設けられたレーザ干渉計によって精度良
く検出することができる。また、駆動基板2の移動は例
えばモータあるいはリニアモータ等によって行なうこと
ができる。
The ink jet nozzles 7 correspond to, for example, red ink 7a,
It can eject green ink 7b, blue ink 7c and black ink 7d, and the pitch is smaller than the pitch between pixels. A solution containing a dye or a pigment is used as the ink. In this state, the red ink 7a, the green ink 7b, and the blue ink 7c are simultaneously ejected from the ink ejecting nozzle 7 to the surface of the photosensitive resin film 23A for each pixel row, and the peripheral portion other than the pixels is ejected. On the other hand, the black ink 7d is simultaneously ejected. At this time, one of the driving substrate 2 and the ink jet nozzle 7, for example, the driving substrate 2 side is scanned, and ink is jetted onto the entire surface of the photosensitive resin film 23 </ b> A on the driving substrate 2. At this time, the positions of the drive substrate 2 in the x, y, and θ directions can be accurately detected by, for example, a laser interferometer provided on the substrate suction stage. The drive board 2 can be moved by, for example, a motor or a linear motor.

【0035】感光性樹脂膜23Aに対して各色のインク
を噴出した後、この感光性樹脂膜23Aを例えば120
℃の温度で加熱する。以上の工程によって、図1に示し
たように、感光性樹脂膜23Aにインクが吸収される。
これにより感光性樹脂膜23Aが、画素列毎に対応して
赤色フィルタ23a、緑色フィルタ23bおよび青色フ
ィルタ23cを含むカラーフィルタ層23となるととも
に、画素以外の周辺部に遮光層23dが形成される。
After each color ink is jetted onto the photosensitive resin film 23A, the photosensitive resin film 23A is
Heat at a temperature of ° C. Through the above steps, as shown in FIG. 1, the ink is absorbed by the photosensitive resin film 23A.
As a result, the photosensitive resin film 23A becomes the color filter layer 23 including the red filter 23a, the green filter 23b, and the blue filter 23c corresponding to each pixel column, and the light-shielding layer 23d is formed in the peripheral portion other than the pixels. .

【0036】続いて、図7、図8及び図9に示すように
例えばスピンコート法によって駆動基板2上のカラーフ
ィルタ層23を覆うように、例えば膜厚0.3〜2.0
μmの保護膜としての感光性樹脂膜29を形成する。次
いで、フォトマスク(図示せず)を介して感光性樹脂膜
29に対して紫外線を照射し、更に現像液によって接続
孔201に対応する領域および不要部を選択的に除去す
ることにより、多結晶シリコン膜22cのドレイン領域
に達する接続孔(コンタクトホール)202を形成した
後に水洗いする。その後、感光性樹脂膜29の再流動
(リフロー)のために、100℃〜300℃の範囲の温
度、例えば200℃で加熱する。次いで、コンタクトホ
ール202内に堆積した染料等の残渣および有機物を除
去するために、酸素プラズマによるエッチングを行い、
更に、酸素プラズマによって形成された酸素膜を除去す
るために、例えば希ふっ酸によりエッチングする。
Subsequently, as shown in FIGS. 7, 8 and 9, for example, a film thickness of 0.3 to 2.0 is applied so as to cover the color filter layer 23 on the driving substrate 2 by, for example, spin coating.
A photosensitive resin film 29 as a μm protective film is formed. Next, the photosensitive resin film 29 is irradiated with ultraviolet rays through a photomask (not shown), and further, a region corresponding to the connection hole 201 and an unnecessary portion are selectively removed with a developing solution, so that the polycrystal is removed. After forming a contact hole (contact hole) 202 reaching the drain region of the silicon film 22c, the contact hole is washed with water. Thereafter, the photosensitive resin film 29 is heated at a temperature in the range of 100 ° C. to 300 ° C., for example, 200 ° C., for reflow (reflow). Next, in order to remove a residue such as a dye and organic matter deposited in the contact hole 202, etching by oxygen plasma is performed.
Further, in order to remove the oxygen film formed by the oxygen plasma, etching is performed using, for example, dilute hydrofluoric acid.

【0037】次に、図9に示すように、感光性樹脂膜2
9上に例えばスパッタリング法により、透明導電材料、
例えばITO(Indium-Tin Oxide: インジウムと錫の酸
化物混合膜)を形成し、このITO膜をフォトリソグラ
フィー技術及びエッチングによりパターニングして、透
明の画素電極24を形成する。なお、この画素電極24
は作製するデバイスによってはアルミニウム(Al)や
銀(Ag)等の金属により形成するようにしてもよい。
その後は、既知の方法により配向膜を形成した後、この
駆動基板2と対向基板3との貼り合わせを行なうことに
より液晶表示装置1を製造することができる。
Next, as shown in FIG.
9, a transparent conductive material by, for example, a sputtering method,
For example, ITO (Indium-Tin Oxide: a mixed oxide film of indium and tin) is formed, and the ITO film is patterned by photolithography and etching to form a transparent pixel electrode 24. Note that this pixel electrode 24
May be formed of a metal such as aluminum (Al) or silver (Ag) depending on a device to be manufactured.
After that, after forming an alignment film by a known method, the driving substrate 2 and the counter substrate 3 are bonded to each other, whereby the liquid crystal display device 1 can be manufactured.

【0038】このように本発明の実施の形態では、イン
ク噴射ノズル7から赤、緑、青及び黒のインクを、感光
性樹脂膜23Aに対して、直接、かつ同時に噴射するよ
うにしたので、3色のカラーフィルタ層23及び遮光層
23dを一工程で製造することができ、従来に比べて製
造プロセスが簡略化される。また、インク噴出ノズル7
を用いて駆動基板2側にカラーフィルタ層23を形成す
ることができるので、駆動基板2と対向基板3との貼り
合わせ工程における貼り合わせずれがなくなり、よって
色ずれの発生を防止することができる。
As described above, in the embodiment of the present invention, the red, green, blue and black inks are directly and simultaneously ejected from the ink ejecting nozzles 7 to the photosensitive resin film 23A. The three-color filter layer 23 and the light-shielding layer 23d can be manufactured in one step, and the manufacturing process is simplified as compared with the related art. In addition, the ink ejection nozzle 7
Can be used to form the color filter layer 23 on the drive substrate 2 side, so that there is no sticking misalignment in the step of sticking the drive substrate 2 and the counter substrate 3, thereby preventing the occurrence of color misregistration. .

【0039】更に、この方法では、インク噴射ノズル7
から噴射させるインクを任意に選択することができるの
で、色味の変更が容易である。また、インクを吸収する
感光性樹脂膜23Aの膜厚を変化させることにより、光
学濃度の調製が可能になる。更に、インク噴射ノズル7
を用いて感光性樹脂膜23Aを着色させるようにしたの
で、インクを必要箇所に選択的に噴射でき、インクの使
用量を大幅に削減することができる。
Further, in this method, the ink jet nozzle 7
Since it is possible to arbitrarily select the ink to be ejected from the printer, it is easy to change the color. The optical density can be adjusted by changing the thickness of the photosensitive resin film 23A that absorbs ink. Further, the ink jet nozzle 7
Is used to color the photosensitive resin film 23A, so that the ink can be selectively ejected to a required portion, and the amount of ink used can be greatly reduced.

【0040】また、本発明の実施の形態では、カラーフ
ィルタ層23およびその保護膜を感光性材料により形成
するようにしたので、画素電極24とTFT22との電
気的な接続のための接続孔201、202を容易に形成
することができる。
In the embodiment of the present invention, since the color filter layer 23 and the protective film thereof are formed of a photosensitive material, the connection hole 201 for electrically connecting the pixel electrode 24 and the TFT 22 is formed. , 202 can be easily formed.

【0041】以上、実施の形態を挙げて本発明を説明し
たが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではな
く、種々の変形が可能である。たとえば、遮光層23d
の形成には、図2に示すようにインク噴射ノズルから黒
の代わりに、赤、緑、青の三色のインクを感光性樹脂2
3に噴射して、塗り重ねるようにしてもよい。これでも
黒色インクの場合と同様の遮光効果が得られる。このよ
うな遮光層は、上述の周辺部以外に、或いは周辺部と共
に、画素間の非開口部に設けてもよい。また、上記の遮
光層は駆動基板2ではなく、対向基板3に同様に設けて
よい(この場合は対向基板にカラーフィルタがあっても
よい。)し、両基板2及び3にそれぞれ設けてもよい。
As described above, the present invention has been described with reference to the embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications are possible. For example, the light shielding layer 23d
As shown in FIG. 2, instead of black, three color inks of red, green, and blue are applied to the photosensitive resin 2 from the ink jet nozzle.
3 may be sprayed and applied again. Even in this case, the same light shielding effect as in the case of the black ink can be obtained. Such a light-shielding layer may be provided in a non-opening portion between pixels other than the above-described peripheral portion or together with the peripheral portion. Further, the light-shielding layer may be provided not on the drive substrate 2 but on the counter substrate 3 (in this case, a color filter may be provided on the counter substrate), or may be provided on both substrates 2 and 3 respectively. Good.

【0042】また、遮光層23dの形成に際し、ガラス
基板21を載せるX−Yステージの外周部がインク噴射
ノズルからのインクの噴射により汚れる恐れがあるが、
このような事態を避けるために、図5に示すようにガラ
ス基板21からはみ出たX−Yステージ31の外周面上
を防インクマスク32で覆い、該部分の塗装を避けると
よい。これにより、着色に伴なう基板の裏面ダストの発
生を防ぎ、歩留の向上を達成することができるととも
に、クリーンな着色が可能になる。マスク32を用いな
くても、インク吐出信号の制御によりインクを選択的に
吐出させなければ、上記部分への塗装を同様に避けるこ
とができる。
When the light shielding layer 23d is formed, the outer peripheral portion of the XY stage on which the glass substrate 21 is mounted may be stained by the ejection of ink from the ink ejection nozzle.
In order to avoid such a situation, as shown in FIG. 5, the outer peripheral surface of the XY stage 31 which protrudes from the glass substrate 21 is preferably covered with an ink-proof mask 32 to avoid painting the portion. Thereby, generation of dust on the back surface of the substrate due to coloring can be prevented, yield can be improved, and clean coloring can be performed. Even if the mask 32 is not used, if the ink is not selectively ejected by controlling the ink ejection signal, it is possible to similarly avoid painting on the above-mentioned portions.

【0043】また上記実施の形態では、インク噴射ノズ
ル7を駆動基板2の画素の行方向の全体に渡る長さのも
のとしたが、このインク噴射ノズル7の長さは任意であ
り、適宜短くしてもよい。また、上記実施の形態では、
アレイ状のインク噴射ノズル7により3色のインク7a
〜7cを同時に噴出させるようにしたが、各色毎に対応
した個別のノズルを用いて着色するようにしてもよい。
また、各色の画素に対応するノズル(の噴出口)の数は
任意であり、1の画素に対応して少なくとも1つあれば
よい。
In the above embodiment, the length of the ink jet nozzle 7 is set to be the entire length of the pixels on the drive substrate 2 in the row direction. However, the length of the ink jet nozzle 7 is arbitrary, May be. In the above embodiment,
Three color inks 7a are provided by an array of ink jet nozzles 7.
7c are ejected simultaneously, but coloring may be performed using individual nozzles corresponding to each color.
Also, the number of nozzles (spout ports) corresponding to the pixels of each color is arbitrary, and it is sufficient that at least one nozzle corresponds to one pixel.

【0044】更に、上記実施の形態において、画素の色
配列はストライプ状や碁盤目状など種々の構成にしてよ
い。画素の色配列は、その他の構成、例えば列方向およ
び行方向共に隣接する画素同士毎に色が異なる構成のも
のであってもよい。
Further, in the above-described embodiment, the color arrangement of the pixels may have various configurations such as a stripe shape or a grid shape. The color arrangement of the pixels may have another configuration, for example, a configuration in which the color differs between adjacent pixels in the column direction and the row direction.

【0045】また、上記実施の形態では、感光性樹脂膜
によりカラーフィルタ及び遮光層を構成するようにした
が、インクの受容可能な材料であれば、その他の材料を
用いることも可能である。但し、上記実施の形態のよう
に画素電極とTFTとの電気的な接続のための接続孔を
形成するには感光性樹脂を用いることが望ましい。
Further, in the above embodiment, the color filter and the light-shielding layer are constituted by the photosensitive resin film, but other materials can be used as long as they can accept ink. However, it is desirable to use a photosensitive resin to form a connection hole for electrical connection between the pixel electrode and the TFT as in the above embodiment.

【0046】また、本発明の電気光学装置は透過型又は
反射型のいずれの液晶表示装置であってよく、駆動方式
も、上述したTFTによるアクティブマトリクス駆動方
式に限らず、パッシブマトリクス駆動方式であってもよ
い。
The electro-optical device of the present invention may be a transmissive liquid crystal display device or a reflective liquid crystal display device. The driving method is not limited to the above-described active matrix driving method using TFTs, but may be a passive matrix driving method. You may.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の電気光学
装置及びその製造方法によれば、カラーフィルタの製造
に適用する非接触型転写方式を、そのまま画素以外の領
域の遮光層の形成に利用するので、これまでは低効率で
あった同領域の遮光の作業工程を含めて電気光学装置を
初めて高効率的に製造することができる。
As described above, according to the electro-optical device and the method of manufacturing the same according to the present invention, the non-contact transfer method applied to the manufacture of a color filter can be used for forming a light-shielding layer in a region other than a pixel as it is. Since it is used, an electro-optical device can be manufactured for the first time with high efficiency, including a work step of shielding light in the same area, which has been low in efficiency.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施の形態に係る液晶表示装置の、
カラーフィルタ及び遮光層の形成工程を示す断面図
(A)及び平面図(B)である。
FIG. 1 illustrates a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention.
It is sectional drawing (A) and top view (B) which show the formation process of a color filter and a light shielding layer.

【図2】本発明の他の実施の形態に係わる液晶表示装置
の、カラーフィルタ及び遮光層の形成工程を示す断面図
(A)及び平面図(B)である。
FIGS. 2A and 2B are a cross-sectional view and a plan view, respectively, showing a step of forming a color filter and a light-shielding layer in a liquid crystal display device according to another embodiment of the present invention.

【図3】図1に示した液晶表示装置におけるTFTの作
製工程を説明するための工程毎の断面図である。
FIGS. 3A to 3C are cross-sectional views for explaining steps of manufacturing a TFT in the liquid crystal display device shown in FIGS.

【図4】図3の工程に続く感光樹脂膜の形成工程を説明
する断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating a step of forming a photosensitive resin film subsequent to the step of FIG. 3;

【図5】本発明のさらに別の実施形態に係わる液晶表示
装置の、カラーフィルタ形成工程を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a color filter forming step of a liquid crystal display device according to still another embodiment of the present invention.

【図6】図4の工程に続く、カラーフィルタ形成工程
(着色)を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a color filter forming step (coloring) following the step of FIG. 4;

【図7】図6の工程で得られたカラーフィルタの平面図
である。
FIG. 7 is a plan view of the color filter obtained in the step of FIG.

【図8】図6の工程につづく感光性樹脂膜の形成工程を
示す断面図である。
8 is a cross-sectional view showing a step of forming a photosensitive resin film subsequent to the step of FIG.

【図9】図8の工程に続く画素電極の形成工程を示す断
面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view illustrating a step of forming a pixel electrode subsequent to the step of FIG. 8;

【図10】本発明のカラー液晶表示装置の概略断面図で
ある。
FIG. 10 is a schematic sectional view of a color liquid crystal display device of the present invention.

【図11】図10の要部の拡大斜視図である。11 is an enlarged perspective view of a main part of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…カラー液晶表示装置、2…、駆動基板、3…対向基
板、4…液晶層、7…ノズル、7a、7b、7c…イン
ク、21…ガラス基板、22…TFT、23…カラーフ
ィルタ層、23A…感光性樹脂膜、23a…赤色フィル
タ、23b…緑色フィルタ、23c…青色フィルタ、2
3d…遮光膜(層)、24…画素電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Color liquid crystal display device, 2 ..., drive substrate, 3 ... counter substrate, 4 ... liquid crystal layer, 7 ... nozzle, 7a, 7b, 7c ... ink, 21 ... glass substrate, 22 ... TFT, 23 ... color filter layer, 23A: photosensitive resin film, 23a: red filter, 23b: green filter, 23c: blue filter, 2
3d: light shielding film (layer), 24: pixel electrode

フロントページの続き (72)発明者 中村 真治 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 Fターム(参考) 2H091 FA02Y FA34Y FA35Y FB02 FB12 FB13 FC01 FC29 FD06 GA13 GA16 LA12 LA17 5C094 AA08 AA16 AA43 AA46 BA03 BA43 CA14 DA13 ED03 Continued on the front page (72) Inventor Shinji Nakamura 6-35 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation F-term (reference) 2H091 FA02Y FA34Y FA35Y FB02 FB12 FB13 FC01 FC29 FD06 GA13 GA16 LA12 LA17 5C094 AA08 AA16 AA43 AA46 BA03 BA43 CA14 DA13 ED03

Claims (19)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数の画素を含むとともにこれら画素に
対応した画素電極を有する第1の基体と、前記画素電極
に対向する電極を有し、光学材料層を介して前記第1の
基体と対向する第2の基体と、前記第1及び第2の基体
の少なくともいづれか一方に、前記画素に対応して非接
触型転写方式を用いて形成してなるカラーフィルタと、
を具備し、 前記画素以外の領域の少なくとも一部は、前記非接触型
転写方式を用いて形成した遮光層により遮光されてい
る、電気光学装置。
A first substrate including a plurality of pixels and having pixel electrodes corresponding to the pixels; an electrode facing the pixel electrodes, facing the first substrate via an optical material layer; A second base, and a color filter formed on at least one of the first and second bases using a non-contact transfer method corresponding to the pixels;
An electro-optical device, comprising: a light-shielding layer formed by using the non-contact transfer method, wherein at least a part of a region other than the pixel is shielded from light.
【請求項2】 複数の基本色に対応した複数の画素を含
む前記第1の基体が、画素電極駆動制御用のスイッチン
グ素子を有する駆動基板であり、この駆動基板に形成し
た色素受容層に非接触型インク転写方式を用いてインク
を転写することによって、前記画素以外の領域の少なく
とも一部が前記非接触型インク転写方式による遮光性イ
ンク膜で遮光されている、請求項1に記載の電気光学装
置。
2. The method according to claim 1, wherein the first substrate including a plurality of pixels corresponding to a plurality of basic colors is a driving substrate having a switching element for controlling driving of a pixel electrode. The electricity according to claim 1, wherein at least a part of a region other than the pixels is shielded from light by a light-shielding ink film formed by the non-contact ink transfer method by transferring ink using a contact ink transfer method. Optical device.
【請求項3】 前記画素で構成される画素部以外の周辺
部が、黒色のインク膜により遮光されている、請求項2
に記載の電気光学装置。
3. A peripheral portion other than a pixel portion composed of the pixels is shielded from light by a black ink film.
An electro-optical device according to claim 1.
【請求項4】 前記画素で構成される画素部以外の周辺
部が、赤、緑、青の三色のインクを重ねたインク膜によ
り遮光されている、請求項2に記載の電気光学装置。
4. The electro-optical device according to claim 2, wherein a peripheral portion other than the pixel portion constituted by the pixels is shielded from light by an ink film in which red, green, and blue inks are overlapped.
【請求項5】 前記非接触型転写方式がインク噴射型転
写方式である、請求項1に記載の電気光学装置。
5. The electro-optical device according to claim 1, wherein the non-contact transfer method is an ink jet transfer method.
【請求項6】 前記非接触型インク転写方式が、インク
気化又は昇華型転写方式である、請求項1に記載の電気
光学装置。
6. The electro-optical device according to claim 1, wherein the non-contact ink transfer system is an ink vaporization or sublimation transfer system.
【請求項7】 前記非接触型インク転写方式が、インク
希釈型転写方式である、請求項1に記載の電気光学装
置。
7. The electro-optical device according to claim 1, wherein the non-contact type ink transfer system is an ink dilution type transfer system.
【請求項8】 アクティブ型又はパッシブ型マトリクス
駆動方式である、請求項1に記載の電気光学装置。
8. The electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical device is of an active type or a passive type.
【請求項9】 前記光学材料層が液晶からなる、請求項
1に記載の電気光学装置。
9. The electro-optical device according to claim 1, wherein the optical material layer is made of a liquid crystal.
【請求項10】 複数の画素を含むとともにこれら画素
に対応した画素電極を有する第1の基体と、前記画素電
極に対向する電極を有し、光学材料層を介して前記第1
の基体と対向する第2の基体と、前記第1及び第2の基
体の少なくともいづれか一方に、前記画素単位に対応し
て非接触型転写方式を用いて形成してなるカラーフィル
タと、を具備する電気光学装置を製造する際に、前記画
素単位以外の領域の少なくとも一部に、前記非接触型転
写方式を用いて遮光層を形成する、電気光学装置の製造
方法。
10. A first base including a plurality of pixels and having pixel electrodes corresponding to these pixels, and an electrode facing the pixel electrodes, wherein the first base has an optical material layer therebetween.
And a color filter formed on at least one of the first and second substrates by using a non-contact transfer method corresponding to the pixel unit. A method for manufacturing an electro-optical device, comprising: forming a light shielding layer on at least a part of a region other than the pixel unit by using the non-contact transfer method when manufacturing the electro-optical device.
【請求項11】 複数の基本色に対応した複数の画素単
位を含む前記基体として、画素電極駆動用のスイッチン
グ素子を有する駆動基板を用い、この駆動基板に形成し
た色素受容層に非接触型インク転写方式を用いてインク
を転写することによって、前記画素単位以外の領域の少
なくとも一部に遮光性インク膜を形成する、請求項10
に記載の電気光学装置の製造方法。
11. A non-contact type ink containing a plurality of pixel units corresponding to a plurality of basic colors, a driving substrate having a switching element for driving a pixel electrode, and a non-contact type ink formed on a dye receiving layer formed on the driving substrate. 11. A light-shielding ink film is formed on at least a part of a region other than the pixel unit by transferring ink using a transfer method.
3. The method for manufacturing an electro-optical device according to claim 1.
【請求項12】 前記画素で構成される画素部以外の周
辺部を、黒色のインク膜により遮光する、請求項11に
記載の電気光学装置の製造方法。
12. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 11, wherein a peripheral portion other than a pixel portion including the pixel is shielded from light by a black ink film.
【請求項13】 前記画素で構成される画素部以外の周
辺部を、赤、緑、青の三色のインクを重ねたインク膜に
より遮光する、請求項11に記載の電気光学装置の製造
方法。
13. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 11, wherein a peripheral portion other than a pixel portion constituted by the pixels is shielded from light by an ink film in which red, green, and blue inks are overlapped. .
【請求項14】 前記非接触型転写方式としてインク噴
射型転写方式を用いる、請求項10に記載の電気光学装
置の製造方法。
14. The method according to claim 10, wherein an ink jet transfer method is used as the non-contact transfer method.
【請求項15】 前記非接触型インク転写方式としてイ
ンク気化又は昇華型転写方式を用いる、請求項10に記
載の電気光学装置の製造方法。
15. The method according to claim 10, wherein an ink vaporization or sublimation transfer method is used as the non-contact ink transfer method.
【請求項16】 前記非接触型インク転写方式としてイ
ンク希釈型転写方式を用いる、請求項10に記載の電気
光学装置の製造方法。
16. The method according to claim 10, wherein an ink dilution transfer method is used as the non-contact ink transfer method.
【請求項17】 アクティブ型又はパッシブ型マトリク
ス駆動方式として構成する、請求項10に記載の電気光
学装置の製造方法。
17. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 10, wherein the method is configured as an active or passive matrix driving method.
【請求項18】 前記光学材料を液晶で形成する、請求
項10に記載の電気光学装置の製造方法。
18. The method according to claim 10, wherein the optical material is formed of a liquid crystal.
【請求項19】 前記非接触型転写方式による転写を行
う際、前記画素で構成される画素部及びその外周辺より
外側の領域をマスクで覆う、請求項10に記載の電気光
学装置の製造方法。
19. The method of manufacturing an electro-optical device according to claim 10, wherein, when the transfer is performed by the non-contact transfer method, a pixel portion including the pixel and a region outside the outer periphery thereof are covered with a mask. .
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN112131918A (en) * 2019-06-25 2020-12-25 采钰科技股份有限公司 Optical fingerprint sensor

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