JP2000046504A - 位置検出装置 - Google Patents

位置検出装置

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JP2000046504A
JP2000046504A JP10209519A JP20951998A JP2000046504A JP 2000046504 A JP2000046504 A JP 2000046504A JP 10209519 A JP10209519 A JP 10209519A JP 20951998 A JP20951998 A JP 20951998A JP 2000046504 A JP2000046504 A JP 2000046504A
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magnetic pole
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magnetic
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Satoshi Hamada
敏 濱田
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 MRセンサを用いる位置検出装置の構成を感
度の低下を招くことなく簡素化する。 【解決手段】 表面にスペーサを貼着したMRセンサを
フレキシブルプリント基板に半田付けし、基板のセンサ
固着部位を板ばねにより背面から弾性付勢してMRセン
サを磁気スケールの磁極面に向けて押圧する位置検出装
置において、板ばねが基板のセンサ固着部位を傾動自在
に保持する構成として、磁極面に対するMRセンサの姿
勢と距離を一定に保つ。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗センサを
用いて位置を検出する位置検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】周囲の磁界に応じて電気抵抗値が変化す
る磁気抵抗(MR)センサを多数のN極とS極が交互に
配列された磁気スケールに対向して配置し、MRセンサ
と磁気スケールの相対位置が磁極の配列方向に変化した
ときにMRセンサの抵抗値が変化することを利用して、
物体の位置を検出する位置検出装置がある。MRセンサ
の抵抗値の変化は電圧の変化として取り出され、MRセ
ンサの出力電圧は、磁極の配列方向へのMRセンサと磁
気スケールの相対移動によって、図10に示したように
正弦波となる。MRセンサの出力電圧の波数と磁気スケ
ールの磁極の配列ピッチから、両者の相対的な移動量が
求められる。
【0003】MRセンサの出力電圧の振幅Vは、MRセ
ンサと磁気スケールの距離およびMRセンサの姿勢によ
って大きく変動する。したがって、位置検出を感度よく
行うためには、磁気スケールに対するMRセンサの距離
および姿勢を、MRセンサの構成に応じて適切に設定
し、常時その状態に維持する必要がある。通常、MRセ
ンサは直方体状に形成され、その一面が磁極面と平行で
一辺が磁極の配列方向と平行な状態にあるときに出力電
圧が最大になるように構成される。
【0004】図11にMRセンサと磁気スケールを模式
的に示す。MRセンサ52の姿勢は、直交する3軸の回
りの回転角すなわちロール角θr、ピッチ角θpおよび
アジマス角θaによって規定される。ロール角θrは磁
気スケール61の磁極の配列方向に平行な軸Xの回りの
角であり、ピッチ角θpは磁極面60に平行で磁極の配
列方向に垂直な軸Yの回りの角である。また、アジマス
角θaは磁極面に垂直な軸Zの回りの角である。
【0005】従来の位置検出装置の要部を図12に示
す。図12において、(a)は位置検出装置51の側面
図、(b)はその分解斜視図である。この位置検出装置
51は、MRセンサ52、MRセンサ52への入力電圧
の供給とその出力電圧の取り出しのための配線が設けら
れたフレキシブルプリント基板53、板バネ54、およ
び貫通孔57を有する保持板56を備えている。板ばね
54と保持板56は、図外の部位において共通の部材に
固定されている。
【0006】MRセンサ52は半田Sによって基板53
に固着され、その配線に接続されている。基板53に固
着されたMRセンサ52は、保持板56の貫通孔57に
挿入された状態で、磁気スケール61の磁極面60に対
向する。貫通孔57はMRセンサ52よりも僅かに大き
く形成されており、その内壁面は磁気スケール61の磁
極面60に対して垂直に設定されている。MRセンサ5
2は、4つの側壁が貫通孔57の内壁面に軽く接し、磁
極面60に対して垂直方向に摺動自在に保持される。こ
れにより、磁極面60に沿う方向のMRセンサ52の移
動が防止され、また、ロール角θr、ピッチ角θp、ア
ジマス角θaの変化が防止されて、MRセンサ52の姿
勢が一定に保たれる。
【0007】基板53のMRセンサ52が取り付けられ
た部位は板ばね54によって背面から弾性付勢され、M
Rセンサ52は磁気スケール61に向けて押圧される。
MRセンサ52の磁気スケール61に対向する表面には
均一な厚さのスペーサ55が貼着されており、スペーサ
55が磁気スケール61の磁極面60に密接することに
より、MRセンサ52と磁気スケール61の距離が一定
に保たれる。
【0008】MRセンサ52は配線への接続のために数
カ所で基板53に半田付けされるが、半田の厚さは必ず
しも一定にはならず、部位ごとに差異が生じることが多
い。半田Sの厚さが異なると、MRセンサ52は基板5
3に対して傾いた状態で固着されることになる。しかし
ながら、上記の構成では、貫通孔57がMRセンサ52
の姿勢を規定しそれに応じて基板53の向きが変化する
から、半田Sの厚さの不均一さはMRセンサ52の姿勢
に全く関与しない。したがって、位置検出装置51は、
磁気スケール61に対するMRセンサ52の距離と姿勢
を確実に一定に保つことができ、その検出感度は高い。
【0009】磁気スケールの磁極は100μm程度の小
さな配列ピッチで形成することが可能であり、しかも、
MRセンサの出力を補間処理することにより、磁極の配
列ピッチの1/10程度の精度でMRセンサと磁気スケ
ールの相対位置を検出することができる。したがって、
この方式の位置検出装置は精度がきわめて高く、精密機
器に適しており、例えば、口径数mmの可動レンズを数
mmの駆動範囲にわたって駆動する小型カメラでレンズ
位置の検出に利用されている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の位置
検出装置は、MRセンサと磁気スケールの距離を一定に
保つためにMRセンサを押圧する部材と、MRセンサの
姿勢を規制するための部材(例示した位置検出装置51
ではそれぞれ板ばね54と保持板56)を別々に備えて
いるため、部品点数が多い。このため、高い検出精度が
必要で小型軽量であることが望まれる小型カメラ等の精
密機器の一層の小型軽量化やコスト低減が容易でなくな
っている。
【0011】フレキシブル基板のMRセンサが固着され
た部位を押圧部材に固定して、姿勢規制用の部材を省略
すれば、部品点数を削減することができる。しかしなが
ら、その構成では、基板にMRセンサを固着する半田が
MRセンサの姿勢に影響してしまい、半田Sの厚さに差
異がある場合は、図13に示すように、スペーサ55が
辺縁部のみで磁気スケール61に当接することになる。
【0012】このような状態では、ロール角θrとピッ
チ角θpの一方または両方が変化し、MRセンサ52と
磁気スケール61の距離も変化するから、MRセンサ5
2の出力電圧Vの振幅が小さくなって感度が低下する。
半田Sの厚さが均一であっても、押圧部材である板ばね
54にねじれや湾曲等の変形があったり基板53が板ば
ね54に傾いて固定されたりすると、同様の状態とな
り、感度は低下してしまう。
【0013】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、MRセンサを用いる位置検出装置の構成を感度の
低下を招くことなく簡素化することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、N極とS極が交互に配列された磁極面
に対向して配置され、磁極面に対向する表面にスペーサ
を有する磁気抵抗センサと、磁気抵抗センサの入出力の
ための配線を有し、表面に磁気抵抗センサが固着された
フレキシブル基板と、フレキシブル基板の磁気抵抗セン
サが固着された部位を保持し、そのセンサ固着部位を背
面から付勢してスペーサを介して磁気抵抗センサを磁極
面に押圧する押圧部材とを備え、磁気抵抗センサの出力
の変化に基づいて磁極の配列方向への磁極面と磁気抵抗
センサの相対位置の変化を検出する位置検出装置におい
て、押圧部材はフレキシブル基板のセンサ固着部位を磁
極面に対して傾動自在に保持するものとする。
【0015】磁気抵抗センサはフレキシブル基板に固着
されており両者の位置関係は不変であるが、押圧部材が
基板のセンサ固着部位を磁極面に対して傾動自在に保持
することにより、磁気抵抗センサも磁極面に対して傾動
自在となる。このため、押圧部材の付勢力によって磁極
面に押圧される磁気抵抗センサは、スペーサと磁極面の
接触が点接触から線接触に、線接触から面接触にという
ように、より安定な状態になるように向きを変える。
【0016】したがって、磁気抵抗センサがフレキシブ
ル基板に対して傾いて固着されていても、また、押圧部
材にねじれや湾曲等の変形があっても、磁極面に対する
磁気抵抗センサの傾きは常に一定になる。フレキシブル
基板のセンサ固着部位の傾動の方向が磁極の配列方向で
あればピッチ角が一定となり、傾動の方向が磁極の配列
方向に垂直な方向であればロール角が一定となる。
【0017】フレキシブル基板のセンサ固着部位の傾動
の方向を、磁極の配列方向および磁極の配列方向に対し
て垂直な方向の双方とすることもできる。このとき、ロ
ール角とピッチ角の双方が一定になり、スペーサは磁極
面に密接し、磁気抵抗センサの表面は磁極面と平行にな
る。
【0018】押圧部材がフレキシブル基板のセンサ固着
部位を傾動自在に保持することは、例えば、基板のセン
サ固着部位の背面に当接する突起を押圧部材に設けるこ
とによって、あるいは押圧部材に当接する突起を基板の
センサ固着部位の背面に設けることによって、確実かつ
容易に実現される。突起が傾動の支点となってフレキシ
ブル基板が傾く。突起を直線状とすれば傾きは1方向と
なり、突起を点状とすれば傾きは全方向となる。
【0019】さらに、押圧部材が磁極面に沿う方向への
フレキシブル基板のセンサ固着部位の回動を規制するよ
うにすれば、アジマス角の変化が防止され、磁極の配列
方向に対する磁気抵抗センサの向きも一定になる。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明をレンズ駆動装置に
適用した実施形態について図面を参照しながら説明す
る。図1に本実施形態のレンズ駆動装置1の斜視図を示
し、図2にその分解斜視図を示す。この駆動装置1は小
型カメラのズームレンズに含まれる2つの可動レンズL
1、L2を駆動するもので、レンズL1、L2の位置の
検出のために本発明の位置検出装置を2組備えている。
【0021】レンズL1、L2は光軸を一致させて前後
に配置されており、駆動装置1は、焦点位置の移動を防
止しつつ焦点距離を変化させるためにレンズL1、L2
の相対位置をあらかじめ定められた位置関係に保ちなが
ら、両者を個別に駆動する。レンズL1、L2の駆動範
囲は数mm程度である。
【0022】駆動装置1は、動力源である2つの圧電ア
クチュエータ11a、11b、2本の駆動軸12a、1
2b、基台13、および枠体14より成る。枠体14は
樹脂で一体に形成されており、水平壁14a、水平壁1
4aの中央下部に設けられ前後方向に延びるガイド壁1
4b、水平壁14aの下部に設けられガイド壁14bに
対して垂直な前壁14cおよび後壁14d、ならびに後
壁14dに連らなりガイド壁14bと平行な左右の側壁
14e、14fを有する。ガイド壁14bは、駆動方向
に対して垂直方向のレンズL1、L2の動きを規制す
る。前壁14cおよび後壁14dには、駆動軸12a、
12bの外周面に軽く摺接する貫通孔が設けられてい
る。
【0023】圧電アクチュエータ11a、11bは後端
面を基台13に固定されており、印加電圧に応じて前後
方向に伸縮する。基台13は枠体14の側壁14e、1
4fに固定されている。駆動軸12a、12bはガイド
壁14bの両側に平行に配置され、後端を圧電アクチュ
エータ11a、11bの前端面に固定されている。駆動
軸12a、12bは枠体14の前壁14cと後壁14d
の貫通孔に挿通され、軸方向に摺動自在に支持されてい
る。
【0024】レンズL1、L2はそれぞれレンズ枠21
a、21bに保持されており、レンズ枠21a、21b
の斜め上部には駆動軸12a、12bを通す貫通孔を有
する突部22a、22bが設けられている。突部22
a、22bの内側面には駆動軸12a、12bを露出さ
せる開口が形成されており、また、開口から露出した駆
動軸12a、12bを適度な力で押圧するための板ばね
23a、23bがねじ止めされている。板ばね23a、
23bの押圧力により突部22a、22bの貫通孔の内
面は駆動軸12a、12bに摺接する。
【0025】圧電アクチュエータ11a、11bへの印
加電圧の例を図9に示す。印加電圧が急激に変化すると
圧電アクチュエータ11a、11bは急激に伸張または
収縮し、印加電圧が徐々に変化すると圧電アクチュエー
タ11a、11bは徐々に伸張または収縮する。駆動軸
12a、12bに摺接しているに過ぎないレンズ枠21
a、21bは駆動軸上を摺動するが、駆動軸12a、1
2bの変位が低速であればその変位に追随して変位し、
駆動軸12a、12bの変位が高速であればその変位に
追随し得ず、元の位置に留まる。
【0026】したがって、圧電アクチュエータ11a、
11bへの印加電圧を、図9(a)のように急激に上昇
させ緩やかに下降させることを繰り返すことにより、レ
ンズL1、L2を一方向に駆動することができ、逆に、
図9(b)のように緩やかに上昇させ急激に下降させる
ことを繰り返すことにより、レンズL1、L2を逆方向
に駆動することができる。レンズL1、L2の駆動速度
は圧電アクチュエータ11a、11bの印加電圧の大き
さおよび周期により調節可能である。圧電アクチュエー
タ11a、11bの印加電圧は個別に制御され、レンズ
L1、L2は個別に駆動されて所定の位置関係に保たれ
る。
【0027】レンズL1、L2の位置を検出するため
に、レンズ枠21a、21bの突部22a、22bの外
側面には、平板状の磁気スケール31a、31bが駆動
軸12a、12bと平行に取り付けられており、枠体1
4には位置検出装置10a、10bが取り付けられてい
る。磁気スケール31a、31bは磁化材料を含有した
樹脂より成り、100μm程度の一定ピッチで多数のN
極とS極が交互に着磁された磁極面30a、30bを有
する。
【0028】位置検出装置10a、10bは磁気抵抗
(MR)センサ32a、32b、フレキシブルプリント
基板33a、33bおよび押圧部材である板ばね34
a、34bより成る。フレキシブルプリント基板33
a、33bにはMRセンサ32a、32bの入出力のた
めの配線が設けられており、MRセンサ32a、32b
は半田によって基板33a、33bの表面に固着され配
線に接続されている。板ばね34a、34bは端部を枠
体14の側壁14e、14fにねじ止めされており、ま
た、フレキシブルプリント基板33a、33bのMRセ
ンサ32a、32bが固着された部位を保持している。
板ばね34a、34bによって基板33a、33bのセ
ンサ固着部位を保持する構成については後述する。
【0029】MRセンサ32a、32bは磁気スケール
31a、31bの磁極面30a、30bに対向して配置
されており、板ばね34a、34bはフレキシブルプリ
ント基板33a、33bを背面から弾性付勢してMRセ
ンサ32a、32bを磁極面30a、30bに向けて押
圧する。図1、2には示していないが、MRセンサ32
a、32bの磁極面30a、30bに対向する表面には
均一な厚さのスペーサ35a、35b(図3の符号35
参照)が貼着されており、MRセンサ32a、32bが
板ばね34a、34bによって押圧されることにより、
スペーサ35a、35bが磁極面30a、30bに接す
る。
【0030】板ばね34a、34bの押圧力は基板33
a、33b、MRセンサ32a、32b、スペーサ35
a、35b、および磁気スケール31a、31bを介し
てレンズ枠21a、21bの突部22a、22bに伝わ
り、突部22a、22bはガイド壁14bに接する。こ
れにより、駆動方向に対して垂直方向のレンズ枠21
a、21bの動きが規制され、また、レンズL1、L2
の光軸が同一直線上に保たれる。
【0031】MRセンサ32a、32bの周囲には、磁
気スケール31a、31bの磁極面30a、30bによ
り、レンズL1、L2の駆動方向に沿って一定周期で磁
界が形成される。レンズL1、L2の駆動により磁気ス
ケール31a、31bが移動すると、MRセンサ32
a、32bの磁気環境は周期的に変化し、MRセンサ3
2a、32bの出力電圧も図10のように周期的に変化
する。MRセンサ32a、32bの出力電圧の波数と磁
気スケール31a、31bの磁極の配列ピッチからレン
ズL1、L2の駆動量が算出され、所定の基準位置から
の駆動量を積算することにより、レンズL1、L2の位
置が求められる。
【0032】実際には、MRセンサ32a、32bの出
力電圧の最大や最小を計数するだけでなく、MRセンサ
32a、32bの出力電圧を補間処理する演算を行っ
て、磁極面30a、30bに対するMRセンサ32a、
32bの位置をより精密に求める。これにより、磁気ス
ケール31a、31bの磁極の配列ピッチの1/10
(10μm程度)以下の高精度で、レンズL1、L2の
位置を検出することができる。
【0033】フレキシブルプリント基板33a、33b
のセンサ固着部位およびセンサ固着部位を保持する板ば
ね34a、34bの構造を図3に示し、センサ固着部位
を保持した状態の板ばね34a、34bを図4に示す。
これらの図および以下の説明において、符号10は位置
検出装置10aまたは10bを、符号32、33、3
4、35はそれぞれそのMRセンサ、フレキシブルプリ
ント基板、板ばね、スペーサを表している。また、符号
31は磁気スケール31aまたは31bを、符号30は
その磁極面を表している。
【0034】フレキシブルプリント基板33は帯状であ
り、MRセンサ32が固着されたセンサ固着部位33s
の近傍の両側部に切り欠き部33cが形成されている。
板ばね34は基板33よりも幅の広い帯状であり、両側
辺にそれぞれ2つの切り込みが入れられ、切り込みに挟
まれた部位が垂直に折曲げられて折曲げ部34cとされ
ている。また、板ばね34のセンサ固着部位33sに対
向する部位の中央には、背面からの打ち出しにより半球
状の突起34dが形成されている。折曲げ部34cを切
り欠き部33cに挿入することにより、基板33のセン
サ固着部位33sは板ばね34に保持される。
【0035】板ばね34の折曲げ部34cと基板33の
切り欠き部33cの長さは略等しく、折曲げ部34c間
の板ばね34の幅と切り欠き部33c間の基板33の幅
も略等しく設定されている。この寸法設定により、基板
33のセンサ固着部位33sは、板ばね34の板面に平
行な方向への移動および回動を規制され、しかも、板ば
ね34の板面に垂直な方向に移動自在かつ板ばね34の
板面に対して傾動自在となっている。
【0036】センサ固着部位33sは、対向する板ばね
34の表面全体ではなく突起34dのみに当接し、突起
34dを支点としてあらゆる方向に自由に傾き得る。し
たがって、板ばね34の付勢力によって磁気スケールに
押圧されるMRセンサ32は、スペーサ35の全面が磁
極面に接した状態で安定になり、磁極面に対向する表面
は磁極面と平行になる。
【0037】このように、板ばね34がフレキシブルプ
リント基板33のセンサ固着部位33sを磁極面に対し
て傾動自在に保持することにより、MRセンサ32のロ
ール角θrとピッチθpが一定となり、しかも、MRセ
ンサ32と磁極面との距離が一定に保たれる。また、前
述のように、板ばね34がその板面に沿う方向のセンサ
固着部位33sの回動を規制することにより、MRセン
サ32のアジマス角θaが一定となる。こうして位置検
出装置10は、磁極面に対するMRセンサ32の距離お
よび姿勢を一定にすることができる。
【0038】MRセンサ32をフレキシブルプリント基
板33に固着するための半田Sの厚さが均一でなく、M
Rセンサ32が基板33に対して傾いた状態で固着され
た場合の、位置検出装置10と磁気スケール31の関係
を図5に示す。基板33のセンサ固着部位33sは磁極
面30に対して傾くが、MRセンサ32は磁極面30に
対して傾くことなく磁極面30と平行に保持される。
【0039】なお、ここでは板ばね34の幅をフレキシ
ブルプリント基板33の幅よりも広くしているが、逆
に、フレキシブルプリント基板33の幅を板ばね34の
幅よりも広くしてもよい。その場合、図6に示すよう
に、板ばね34の両側に突出部を設けてこれらを折曲げ
て折曲げ部34cとすればよい。また、板ばね34に切
り欠き部33cのような切り欠き部を形成し、フレキシ
ブルプリント基板33に折曲げ部34cのような折曲げ
部を形成して、両者を係合させるようにようにしてもよ
い。
【0040】センサ固着部位33sが傾動自在であるこ
とは折曲げ部34cと切り欠き部33cの係合によって
達成されており、したがって、突起34dがなくてもM
Rセンサ32は磁極面30に平行な安定状態を取り得
る。しかしながら、本実施形態のように突起34dを設
けて板ばね34とセンサ固着部位33sを点接触させる
ことで、より確実にMRセンサ32を磁極面30に平行
に保つことができる。板ばね34の表面に設ける突起
を、円柱を中心軸に沿って分割したような棒状として、
板ばね34とセンサ固着部位33sを線接触させること
も可能である。その場合、センサ固着部位33sは一方
向に傾動自在となり、MRセンサ32のロール角θrと
ピッチθpのいずれか一方を一定にすることができる。
【0041】板ばね34に突起34dを設けることに代
えて、図7に示すように、基板33のセンサ固着部位3
3sの背面に半球状の突起33dを設けてもよい。突起
33dが板ばね34の表面に当接し、センサ固着部位3
3sは突起33dを支点に傾動して、MRセンサ32の
姿勢は半田Sの厚さの不均一さの影響を受けることなく
一定に保たれる。
【0042】センサ固着部位33sを板ばね34の表面
に沿う方向への移動や回動を防止しつつ傾動自在に保持
することは、切り欠き部33cと折曲げ部34cの係合
以外の構成でも実現可能である。一例として、突起と孔
の係合によってセンサ固着部位33sを保持する構成を
図8に示す。フレキシブルプリント基板33のセンサ固
着部位33sの近傍には、MRセンサ32を間にして磁
極の配列方向に沿って2つの円形の貫通孔33eが形成
されており、板ばね34の表面には、貫通孔33eに対
向する位置に、2つの円柱状の突起34eが形成されて
いる。突起34eは貫通孔33eに挿入される。
【0043】貫通孔の33eの直径と突起34eの直径
は略等しく設定されており、貫通孔33eと突起34e
は摺接する。センサ固着部位33sは2点で係合するこ
とにより板ばね34の板面に沿う方向への移動や回動を
防止され、また、板ばね34に対して垂直方向に移動自
在にかつ板ばね34の板面に対して傾動自在に保持され
る。板ばね34の表面には半球状の突起34dが形成さ
れており、センサ固着部位33sは突起34dを支点と
してあらゆる方向に傾動する。
【0044】この構成でも、半田の厚さの不均一さにか
かわりなく、MRセンサ32のロール角θr、ピッチθ
pおよびアジマス角θaは一定に保たれ、MRセンサ3
2と磁極面との距離も一定に保たれる。なお、貫通孔3
3eと突起34eを2組ともセンサ固着部位33sの近
傍に設ける必要はなく、1組はセンサ固着部位33sか
ら遠い部位に設けてもよい。板ばね34に突起34dを
形成することに代えて、フレキシブルプリント基板33
のセンサ固着部位33sの背面に突起33dを形成して
よいことは前述のとおりである。
【0045】本実施形態では位置検出装置を固定し磁気
スケールが移動する構成としたが、磁気スケールを固定
して位置検出装置が移動する構成としてもよい。また、
押圧部材として板ばねを用いる例を掲げたが、押圧部材
は、適度な弾性力を有し、フレキシブルプリント基板の
センサ固着部位を磁極面に沿う方向への移動と回動を防
止しつつ傾動自在に保持するものであれば、他の構造で
あってもよい。
【0046】
【発明の効果】本発明の位置検出装置では、磁気抵抗セ
ンサを磁極面に押圧して両者間の距離を一定にする押圧
部材が、磁極面に対する磁気抵抗センサの傾きを規制す
る部材を兼ねており、磁気抵抗センサの傾きの規制ため
の部材を別途備える必要がない。このため、部品点数が
減少して構成が簡素になり、装置が小型軽量になる。ま
た、製造コストも低く抑えられる。しかも、磁気抵抗セ
ンサがフレキシブル基板に傾いて固着されても、あるい
は押圧部材にねじれや撓み等の変形があっても、磁極面
に対する磁気抵抗センサの傾きや距離はそれらの影響を
受け難い。したがって、装置の組み立てが容易であり、
組み立てに多少の誤差があっても磁気抵抗センサの出力
電圧の振幅を大きく保つことができて良好な検出感度が
得られる。
【0047】特に、フレキシブル基板のセンサ固着部位
を磁極の配列方向および磁極の配列方向に対して垂直な
方向の双方に傾動自在とすることにより、磁極面に対す
る磁気抵抗センサの傾きを皆無にすることができ、高い
検出感度が保証される。
【0048】押圧部材あるいはフレキシブル基板に傾動
の支点となる突起を設ける構成では、容易かつ確実に磁
気抵抗センサを磁極面に対して傾動自在とすることがで
きる。
【0049】また、押圧部材が磁極面に沿う方向の磁気
抵抗センサの回動を規制するようにすると、磁気抵抗セ
ンサの方向を磁極の配列方向に合致させることができ
て、検出感度が一層高くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の位置検出装置を備えたレンズ駆動装
置の斜視図。
【図2】 上記レンズ駆動装置の分解斜視図。
【図3】 位置検出装置を成す板ばねとフレキシブルプ
リント基板の斜視図。
【図4】 フレキシブルプリント基板を保持した状態の
板ばねの平面図。
【図5】 位置検出装置と磁気スケールの正面図。
【図6】 他の構成の板ばねとフレキシブルプリント基
板の斜視図。
【図7】 さらに他の構成の板ばねとフレキシブルプリ
ント基板の正面図。
【図8】 さらに他の構成の板ばねとフレキシブルプリ
ント基板の斜視図。
【図9】 圧電アクチュエータの印加電圧の例を示す
図。
【図10】 MRセンサの出力電圧の例を示す図。
【図11】 MRセンサと磁気スケールの位置関係を示
す斜視図。
【図12】 従来の位置検出装置の要部の側面図および
分解斜視図。
【図13】 MRセンサを押圧部材に固定した位置検出
装置と磁気スケールの正面図。
【符号の説明】
1 レンズ駆動装置 10、10a、10b 位置検出装置 11a、11b 圧電アクチュエータ 12a、12b 駆動軸 13 基台 14 枠体 14b ガイド壁 14c 前壁 14d 後壁 21a、21b レンズ枠 22a、22b 突部 23a、23b 板ばね 30、30a、30b 磁極面 31、31a、31b 磁気スケール 32、32a、32b MRセンサ 33、33a、33b フレキシブルプリント基板 33s センサ固着部位 33c 切り欠き部 33d 突起 33e 貫通孔 34、34a、34b 板ばね(押圧部材) 34c 折曲げ部 34d 突起 34e 突起 35、35a、35b スペーサ S 半田

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 N極とS極が交互に配列された磁極面に
    対向して配置され、前記磁極面に対向する表面にスペー
    サを有する磁気抵抗センサと、前記磁気抵抗センサの入
    出力のための配線を有し、表面に前記磁気抵抗センサが
    固着されたフレキシブル基板と、前記フレキシブル基板
    の前記磁気抵抗センサが固着された部位を保持し、該部
    位を背面から付勢して前記スペーサを介して前記磁気抵
    抗センサを前記磁極面に押圧する押圧部材とを備え、前
    記磁気抵抗センサの出力の変化に基づいて前記磁極の配
    列方向への前記磁極面と前記磁気抵抗センサの相対位置
    の変化を検出する位置検出装置において、 前記押圧部材はフレキシブル基板の前記部位を前記磁極
    面に対して傾動自在に保持することを特徴とする位置検
    出装置。
  2. 【請求項2】 フレキシブル基板の前記部位の傾動の方
    向は、前記磁極の配列方向および前記磁極の配列方向に
    対して垂直な方向の双方であることを特徴とする請求項
    1に記載の位置検出装置。
  3. 【請求項3】 前記押圧部材はフレキシブル基板の前記
    部位の背面に当接する突起を有し、フレキシブル基板の
    前記部位は前記突起を支点として傾動することを特徴と
    する請求項1に記載の位置検出装置。
  4. 【請求項4】 フレキシブル基板の前記部位は前記押圧
    部材に当接する突起を背面に有し、前記突起を支点とし
    て傾動することを特徴とする請求項1に記載の位置検出
    装置。
  5. 【請求項5】 前記押圧部材は前記磁極面に沿う方向へ
    のフレキシブル基板の前記部位の回動を規制することを
    特徴とする請求項1に記載の位置検出装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005119630A1 (en) * 2004-06-03 2005-12-15 Sharp Kabushiki Kaisha Map data generating device, vehicle equipped with same, and map data generating method
JP2009503338A (ja) * 2005-07-28 2009-01-29 グラコ ミネソタ インコーポレーテッド 電子的にモニタされた空気バルブ及びピストンを有する往復ポンプ
US9677549B2 (en) 2005-07-28 2017-06-13 Graco Minnesota Inc. Reciprocating pump with electronically monitored air valve and piston

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