JP2000040933A - 高周波装置のマッチング方法 - Google Patents
高周波装置のマッチング方法Info
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- JP2000040933A JP2000040933A JP10207394A JP20739498A JP2000040933A JP 2000040933 A JP2000040933 A JP 2000040933A JP 10207394 A JP10207394 A JP 10207394A JP 20739498 A JP20739498 A JP 20739498A JP 2000040933 A JP2000040933 A JP 2000040933A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 負荷の状態に拘わらず、短時間に正確にマッ
チングを行うことが出来る高周波装置のマッチング方法
を実現する。 【解決手段】 Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合
には、連続したモータの制御によってマッチングバリコ
ン（可変コンデンサ）４を正転或いは逆転させる。Ｖｚ
の信号レベルが所定の範囲内の場合には、マッチングバ
リコン４をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイン
トＭｐに近づくように制御を行う。このパルス的駆動を
行う際、制御回路１５は、スレッシュホールドレベル範
囲の駆動パルスのオン時の電圧レベルの絶対値がマッチ
ングポイントに近づくに従って徐々に小さくなっていく
駆動パルス波形に従ってモータを駆動する。
チングを行うことが出来る高周波装置のマッチング方法
を実現する。 【解決手段】 Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合
には、連続したモータの制御によってマッチングバリコ
ン（可変コンデンサ）４を正転或いは逆転させる。Ｖｚ
の信号レベルが所定の範囲内の場合には、マッチングバ
リコン４をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイン
トＭｐに近づくように制御を行う。このパルス的駆動を
行う際、制御回路１５は、スレッシュホールドレベル範
囲の駆動パルスのオン時の電圧レベルの絶対値がマッチ
ングポイントに近づくに従って徐々に小さくなっていく
駆動パルス波形に従ってモータを駆動する。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、インピーダンスのマッ
チングを正確に短時間に行うことが出来る高周波スパッ
タリング装置やエッチング装置等の高周波装置のマッチ
ング方法に関する。
チングを正確に短時間に行うことが出来る高周波スパッ
タリング装置やエッチング装置等の高周波装置のマッチ
ング方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】高周波スパッタリング装置では、２枚の
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニング等を行っている。
又、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波を印加
し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に接近し
て配置された基板上に付着させるようにしている。
電極間に高周波を印加し、一方の電極（試料）をスパッ
タリングし、試料表面のクリーニング等を行っている。
又、別の高周波装置では、２枚の電極間に高周波を印加
し、一方の電極からスパッタされた粒子を電極に接近し
て配置された基板上に付着させるようにしている。
【０００３】図１は、この様な高周波装置の概略を示し
ており、１は高周波発振器である。高周波発振器１から
の高周波は、検出器２を介してマッチングボックス３に
供給される。マッチングボックス３はマッチング可変コ
ンデンサ４，チューニング可変コンデンサ５及びコイル
６から構成されている。マッチングボックス３からの高
周波は、負荷７に供給される。尚、検出器２は、マッチ
ングボックス３に入力する高周波の電圧，電流，及び電
圧と電流の位相差θを検出している。
ており、１は高周波発振器である。高周波発振器１から
の高周波は、検出器２を介してマッチングボックス３に
供給される。マッチングボックス３はマッチング可変コ
ンデンサ４，チューニング可変コンデンサ５及びコイル
６から構成されている。マッチングボックス３からの高
周波は、負荷７に供給される。尚、検出器２は、マッチ
ングボックス３に入力する高周波の電圧，電流，及び電
圧と電流の位相差θを検出している。
【０００４】この様な構成において、検出器２によって
検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダンス
と位相差を求め、インピーダンスの値に基づいてマッチ
ングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容量
を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデンサ
５の容量を変えている。
検出された電圧，電流，位相に基づいてインピーダンス
と位相差を求め、インピーダンスの値に基づいてマッチ
ングボックス３内のマッチング可変コンデンサ４の容量
を変え、位相差に基づいてチューニング可変コンデンサ
５の容量を変えている。
【０００５】即ち、検出器２によって検出されたインピ
ーダンスＺに応じた信号Ｖｚは、比較増幅器８に供給さ
れ基準電圧と比較される。比較増幅器８の出力は、マッ
チング可変コンデンサ４を駆動するモータ９に供給され
る。その結果、インピーダンスＺの値が基準電圧と等し
くなるようにモータ９によりマッチング可変コンデンサ
４が調整される。
ーダンスＺに応じた信号Ｖｚは、比較増幅器８に供給さ
れ基準電圧と比較される。比較増幅器８の出力は、マッ
チング可変コンデンサ４を駆動するモータ９に供給され
る。その結果、インピーダンスＺの値が基準電圧と等し
くなるようにモータ９によりマッチング可変コンデンサ
４が調整される。
【０００６】又、検出器２によって検出された位相差θ
に応じた信号Ｖθは、比較増幅器１０に供給され基準電
圧と比較される。比較増幅器１０の出力は、チューニン
グ可変コンデンサ５を駆動するモータ１１に供給され
る。その結果、位相差θの値が基準電圧（０）と等しく
なるようにモータ１１によりチューニング可変コンデン
サ５が調整される。
に応じた信号Ｖθは、比較増幅器１０に供給され基準電
圧と比較される。比較増幅器１０の出力は、チューニン
グ可変コンデンサ５を駆動するモータ１１に供給され
る。その結果、位相差θの値が基準電圧（０）と等しく
なるようにモータ１１によりチューニング可変コンデン
サ５が調整される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】さて、上記した高周波
装置において、最近、モータ９，１１の制御を連続駆動
とパルス駆動とに切り換えて行う事が試みられている。
図２はモータの駆動波形を示しており、横軸はインピー
ダンス或いは位相の値である。
装置において、最近、モータ９，１１の制御を連続駆動
とパルス駆動とに切り換えて行う事が試みられている。
図２はモータの駆動波形を示しており、横軸はインピー
ダンス或いは位相の値である。
【０００８】図中Ｍｐはマッチングポイントであり、マ
ッチングポイントＭｐから離れた状態（状態Ａ，状態
Ｃ）の時には、モータは連続的に駆動され、インピーダ
ンス或いは位相の値がＭｐに近づいた値Ｘｖ，−Ｘｖの
範囲にある状態（状態Ｂ）の時には、モータはパルス的
に駆動される。
ッチングポイントＭｐから離れた状態（状態Ａ，状態
Ｃ）の時には、モータは連続的に駆動され、インピーダ
ンス或いは位相の値がＭｐに近づいた値Ｘｖ，−Ｘｖの
範囲にある状態（状態Ｂ）の時には、モータはパルス的
に駆動される。
【０００９】この様な制御は、Ｚ，θ信号がマッチング
ポイントＭｐから遠いい所では各モータを最大限に駆動
して短時間にマッチングポイントＭｐに近づけ、マッチ
ングポイントＭｐ付近では、Ｚ，θ信号のレベルに応じ
て各モータをパルス的に駆動し、モータの回転の行き過
ぎを防止している。その結果、短時間に正確にマッチン
グポイントに各コンデンサ４，５を停止させることが出
来る。
ポイントＭｐから遠いい所では各モータを最大限に駆動
して短時間にマッチングポイントＭｐに近づけ、マッチ
ングポイントＭｐ付近では、Ｚ，θ信号のレベルに応じ
て各モータをパルス的に駆動し、モータの回転の行き過
ぎを防止している。その結果、短時間に正確にマッチン
グポイントに各コンデンサ４，５を停止させることが出
来る。
【００１０】図３はこの様なマッチング方法のフローを
示しており、先ず、Ｖｚ＝０或いはＶθ＝０かの判断を
行う。Ｖｚ≠０の場合、Ｖｚの信号のレベルが設定した
範囲Ｘｖ＞Ｖｚ＞−Ｘｖに入っているかどうかの判断を
行う。Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合には、Ｖ
ｚの値が正か負荷により、従来と同様の連続したモータ
の制御によってマッチングバリコン（可変コンデンサ）
４を正転或いは逆転させる。Ｖｚの信号レベルが所定の
範囲内の場合には、マッチングバリコン４をパルス的に
駆動し、徐々にマッチングポイントＭｐに近づくように
制御を行う。次に、Ｖθ≠０の場合、Ｖθの信号のレベ
ルが設定した範囲Ｘｖ＞Ｖθ＞−Ｘｖに入っているかど
うかの判断を行う。Ｖθの信号レベルが所定の範囲外の
場合には、Ｖθの値が正か負荷により、従来と同様の連
続したモータの制御によってチューニングバリコン（可
変コンデンサ）５を正転或いは逆転させる。Ｖθの信号
レベルが所定の範囲内の場合には、チューニングバリコ
ン５をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイントＭ
ｐに近づくように制御を行う。
示しており、先ず、Ｖｚ＝０或いはＶθ＝０かの判断を
行う。Ｖｚ≠０の場合、Ｖｚの信号のレベルが設定した
範囲Ｘｖ＞Ｖｚ＞−Ｘｖに入っているかどうかの判断を
行う。Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合には、Ｖ
ｚの値が正か負荷により、従来と同様の連続したモータ
の制御によってマッチングバリコン（可変コンデンサ）
４を正転或いは逆転させる。Ｖｚの信号レベルが所定の
範囲内の場合には、マッチングバリコン４をパルス的に
駆動し、徐々にマッチングポイントＭｐに近づくように
制御を行う。次に、Ｖθ≠０の場合、Ｖθの信号のレベ
ルが設定した範囲Ｘｖ＞Ｖθ＞−Ｘｖに入っているかど
うかの判断を行う。Ｖθの信号レベルが所定の範囲外の
場合には、Ｖθの値が正か負荷により、従来と同様の連
続したモータの制御によってチューニングバリコン（可
変コンデンサ）５を正転或いは逆転させる。Ｖθの信号
レベルが所定の範囲内の場合には、チューニングバリコ
ン５をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイントＭ
ｐに近づくように制御を行う。
【００１１】しかしながら、上記したパルス制御では、
負荷によって検出信号レベルとその全体の軌跡が異なる
ため、固定したスレッシュホールドレベルＸｖ，−Ｘｖ
がマッチングポイントＭｐから離れている場合がある。
その場合には、パルス制御に切り換えると、マッチング
ポイントに到達するまでの時間が長くなってしまう。逆
に、スレッシュホールドレベルＸｖ，−Ｘｖがマッチン
グポイントＭｐに近づき過ぎている場合には、マッチン
グポイント付近でハンチング現象が生じてしまう。
負荷によって検出信号レベルとその全体の軌跡が異なる
ため、固定したスレッシュホールドレベルＸｖ，−Ｘｖ
がマッチングポイントＭｐから離れている場合がある。
その場合には、パルス制御に切り換えると、マッチング
ポイントに到達するまでの時間が長くなってしまう。逆
に、スレッシュホールドレベルＸｖ，−Ｘｖがマッチン
グポイントＭｐに近づき過ぎている場合には、マッチン
グポイント付近でハンチング現象が生じてしまう。
【００１２】本発明は、この様な問題点を解決する為に
なされたもので、負荷の状態に拘わらず、短時間に正確
にマッチングを行うことが出来る新規な高周波装置のマ
ッチング方法を提供することを目的とするものである。
なされたもので、負荷の状態に拘わらず、短時間に正確
にマッチングを行うことが出来る新規な高周波装置のマ
ッチング方法を提供することを目的とするものである。
【００１３】
【課題を解決するための手段】 本発明の高周波装置の
マッチング方法は、高周波電源と、高周波電源からの高
周波電力が供給される負荷と、高周波電源と負荷との間
に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング
可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックス
と、高周波電源とマッチングボックスとの間に設けられ
た入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位
相を検出する検出器とを備え、検出器より検出されたイ
ンピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量
をモータによって調整し、検出器により検出された位相
に応じてチューニング可変コンデンサの容量をモータに
よって調整するように構成した高周波装置であって、イ
ンピーダンスが所定の値以下、及び、位相の値が所定の
値以下になった場合には、それぞれのモータの駆動をパ
ルス的に行うようにしたマッチング方法において、オン
時の電圧レベルの絶対値がマッチングポイントに近づく
に従って徐々に小さくなっていくパルス列から成る駆動
パルス信号に基づいてモータを駆動するようにした。
マッチング方法は、高周波電源と、高周波電源からの高
周波電力が供給される負荷と、高周波電源と負荷との間
に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング
可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックス
と、高周波電源とマッチングボックスとの間に設けられ
た入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位
相を検出する検出器とを備え、検出器より検出されたイ
ンピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量
をモータによって調整し、検出器により検出された位相
に応じてチューニング可変コンデンサの容量をモータに
よって調整するように構成した高周波装置であって、イ
ンピーダンスが所定の値以下、及び、位相の値が所定の
値以下になった場合には、それぞれのモータの駆動をパ
ルス的に行うようにしたマッチング方法において、オン
時の電圧レベルの絶対値がマッチングポイントに近づく
に従って徐々に小さくなっていくパルス列から成る駆動
パルス信号に基づいてモータを駆動するようにした。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００１５】図４は本発明のマッチング方法を使用した
高周波装置の概略を示している。図中、前記図１と同一
番号の付されたものは同一構成要素である。この実施の
形態では、検出器２からのインピーダンスの検出信号Ｖ
ｚと、位相の検出信号Ｖθは、コンピュータの如き制御
回路１５に供給される。制御回路１５は、モータ９，１
１の制御を行う。この制御を、前記図３のフローに沿っ
て説明する。
高周波装置の概略を示している。図中、前記図１と同一
番号の付されたものは同一構成要素である。この実施の
形態では、検出器２からのインピーダンスの検出信号Ｖ
ｚと、位相の検出信号Ｖθは、コンピュータの如き制御
回路１５に供給される。制御回路１５は、モータ９，１
１の制御を行う。この制御を、前記図３のフローに沿っ
て説明する。
【００１６】先ず、検出器２からインピーダンスの検出
信号Ｖｚと、位相の検出信号Ｖθが供給されると、制御
回路１５は、先ず、Ｖｚ＝０或いはＶθ＝０かの判断を
行う。Ｖｚ≠０の場合、Ｖｚの信号のレベルが設定した
範囲Ｘｖ＞Ｖｚ＞−Ｘｖに入っているかどうかの判断を
行う。Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合には、Ｖ
ｚの値が正か負荷により、従来と同様の連続したモータ
の制御によってマッチングバリコン（可変コンデンサ）
４を正転或いは逆転させる。Ｖｚの信号レベルが所定の
範囲内の場合には、マッチングバリコン４をパルス的に
駆動し、徐々にマッチングポイントＭｐに近づくように
制御を行う。このパルス的駆動を行う際、制御回路１５
は、前記図２に示す如き駆動パルス波形、即ち、スレッ
シュホールドレベル範囲のオン時（“ハイ”の状態）の
電圧レベルの絶対値が同一（１０Ｖ）の駆動パルス波形
のパルス信号に従ってモータを駆動せずに、図５に示す
様な、スレッシュホールドレベル範囲のオン時の電圧レ
ベルの絶対値がマッチングポイントに近づくに従って徐
々に小さくなっていく駆動パルス波形のパルス信号に従
ってモータを駆動する。この様な駆動により、ハンチン
グの発生が殆ど抑えられるようになる。
信号Ｖｚと、位相の検出信号Ｖθが供給されると、制御
回路１５は、先ず、Ｖｚ＝０或いはＶθ＝０かの判断を
行う。Ｖｚ≠０の場合、Ｖｚの信号のレベルが設定した
範囲Ｘｖ＞Ｖｚ＞−Ｘｖに入っているかどうかの判断を
行う。Ｖｚの信号レベルが所定の範囲外の場合には、Ｖ
ｚの値が正か負荷により、従来と同様の連続したモータ
の制御によってマッチングバリコン（可変コンデンサ）
４を正転或いは逆転させる。Ｖｚの信号レベルが所定の
範囲内の場合には、マッチングバリコン４をパルス的に
駆動し、徐々にマッチングポイントＭｐに近づくように
制御を行う。このパルス的駆動を行う際、制御回路１５
は、前記図２に示す如き駆動パルス波形、即ち、スレッ
シュホールドレベル範囲のオン時（“ハイ”の状態）の
電圧レベルの絶対値が同一（１０Ｖ）の駆動パルス波形
のパルス信号に従ってモータを駆動せずに、図５に示す
様な、スレッシュホールドレベル範囲のオン時の電圧レ
ベルの絶対値がマッチングポイントに近づくに従って徐
々に小さくなっていく駆動パルス波形のパルス信号に従
ってモータを駆動する。この様な駆動により、ハンチン
グの発生が殆ど抑えられるようになる。
【００１７】次に、Ｖθ≠０の場合、Ｖθの信号のレベ
ルが設定した範囲Ｘｖ＞Ｖθ＞−Ｘｖに入っているかど
うかの判断を行う。Ｖθの信号レベルが所定の範囲外の
場合には、Ｖθの値が正か負荷により、従来と同様の連
続したモータの制御によってチューニングバリコン（可
変コンデンサ）５を正転或いは逆転させる。Ｖθの信号
レベルが所定の範囲内の場合には、チューニングバリコ
ン５をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイントＭ
ｐに近づくように制御を行う。このパルス的駆動を行う
際も、制御回路１５は、前記と同様に、図５に示す様
な、スレッシュホールドレベル範囲のオン時の電圧レベ
ルの絶対値がマッチングポイントに近づくに従って徐々
に小さくなっていく駆動パルス波形のパルス信号に従っ
てモータを駆動する。従って、ハンチングの発生が殆ど
抑えられるようになる。
ルが設定した範囲Ｘｖ＞Ｖθ＞−Ｘｖに入っているかど
うかの判断を行う。Ｖθの信号レベルが所定の範囲外の
場合には、Ｖθの値が正か負荷により、従来と同様の連
続したモータの制御によってチューニングバリコン（可
変コンデンサ）５を正転或いは逆転させる。Ｖθの信号
レベルが所定の範囲内の場合には、チューニングバリコ
ン５をパルス的に駆動し、徐々にマッチングポイントＭ
ｐに近づくように制御を行う。このパルス的駆動を行う
際も、制御回路１５は、前記と同様に、図５に示す様
な、スレッシュホールドレベル範囲のオン時の電圧レベ
ルの絶対値がマッチングポイントに近づくに従って徐々
に小さくなっていく駆動パルス波形のパルス信号に従っ
てモータを駆動する。従って、ハンチングの発生が殆ど
抑えられるようになる。
【図１】 従来の高周波装置の概略を示している。
【図２】 モータの駆動波形を示している。
【図３】 最近行われているマッチング方法のフローを
示している。
示している。
【図４】 本発明のを実施するための高周波装置の一例
を示している。
を示している。
【図５】 本発明に基づくモータの駆動波形を示してい
る。
る。
１…高周波発振器、２…検出器、３…マッチングボック
ス、４…マッチング可変コンデンサ、５…チューニング
可変コンデンサ、７…負荷、９，１１…制御回路
ス、４…マッチング可変コンデンサ、５…チューニング
可変コンデンサ、７…負荷、９，１１…制御回路
Claims (1)
- 【請求項１】 高周波電源と、高周波電源からの高周波
電力が供給される負荷と、高周波電源と負荷との間に配
置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変
コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、
高周波電源とマッチングボックスとの間に設けられた入
力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相を
検出する検出器とを備え、検出器より検出されたインピ
ーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量をモ
ータによって調整し、検出器により検出された位相に応
じてチューニング可変コンデンサの容量をモータによっ
て調整するように構成した高周波装置であって、インピ
ーダンスが所定の値以下、及び、位相の値が所定の値以
下になった場合には、それぞれのモータの駆動をパルス
的に行うようにしたマッチング方法において、オン時の
電圧レベルの絶対値がマッチングポイントに近づくに従
って徐々に小さくなっていくパルス列から成る駆動パル
ス信号に基づいてモータを駆動するようにしたマッチン
グ方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207394A JP2000040933A (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 高周波装置のマッチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10207394A JP2000040933A (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 高周波装置のマッチング方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000040933A true JP2000040933A (ja) | 2000-02-08 |
Family
ID=16539022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10207394A Pending JP2000040933A (ja) | 1998-07-23 | 1998-07-23 | 高周波装置のマッチング方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000040933A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012074361A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc (Asia) | マルチ周波数マッチングのための単一マッチングネットワーク、その構築方法及び当該マッチングネットワークを使用するｒｆパワーサプライヤーシステム |
-
1998
- 1998-07-23 JP JP10207394A patent/JP2000040933A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012074361A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc (Asia) | マルチ周波数マッチングのための単一マッチングネットワーク、その構築方法及び当該マッチングネットワークを使用するｒｆパワーサプライヤーシステム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050526 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050628 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051206 |