JP2000031377A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JP2000031377A
JP2000031377A JP10210407A JP21040798A JP2000031377A JP 2000031377 A JP2000031377 A JP 2000031377A JP 10210407 A JP10210407 A JP 10210407A JP 21040798 A JP21040798 A JP 21040798A JP 2000031377 A JP2000031377 A JP 2000031377A
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JP
Japan
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semiconductor
semiconductor chip
semiconductor device
leads
lead
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Application number
JP10210407A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiromitsu Hatano
洋充 羽田野
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

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  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a semiconductor device that can have larger memory capacity than conventional chips without increasing the chip size. SOLUTION: Semiconductor chips 11, 12 having connecting parts for connecting the semiconductor integrated circuit and leads 14, 16-18 on both its upper and lower surfaces, and having the upper and lower surfaces only at two opposed sides of four peripheral sides connected with leads, are bonded on the upper and lower surfaces of a base 13. At this time the leads 14, 16 connected to the connecting parts of semiconductor chip 11 on the upper side of the base 13 and the leads 17, 18 connected to the connecting parts of the lower side semiconductor chip 12 are provided perpendicularly to each other.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップを絶
縁体によりパッケージした半導体装置の構造に関し、特
に、両面に半導体集積回路を有する半導体チップを用い
た半導体装置の構造に関する。
The present invention relates to a structure of a semiconductor device in which a semiconductor chip is packaged with an insulator, and more particularly to a structure of a semiconductor device using a semiconductor chip having semiconductor integrated circuits on both sides.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年のコンピュータ関連技術の分野にお
いて、使用される記憶容量は増加の一途を辿っており、
それに伴い記憶に使用される半導体集積回路からなる記
憶素子(メモリ)の記憶容量も拡大されている。図4
は、従来の半導体装置における内部の半導体チップとリ
ードの接続構成の一例を示す斜視図である。図4に示す
従来の半導体装置は、半導体チップ1とリード2と金属
細線3とそれらの封止材4から構成される。半導体チッ
プ1は、その上表面に半導体集積回路によるメモリ等が
形成され、その表面の一部には接続用電極(パッド)が
形成されている。リード2は、半導体装置外部との接続
を可能とする金属製の端子であり、一般的に半導体チッ
プがパッケージングされた後にリードフレームから切り
離されてリードになる。金属細線3は、ワイヤーボンデ
ィングに使用される金等の金属製の細線である。封止材
4は、例えば、エポキシ樹脂やシリコン樹脂等のモール
ド材である。この図4のようにリードが配置される構造
は、デュアルインラインパッケージ(DIP)と称され
る構造であり、リードが外周の4側面のうちの対向する
2面のみから出るようになっている。このDIPは、リ
ードが導出される側面が2面のみに限られているため、
入出力に使用できるピン数も少なくなり、その結果一般
的には内部回路を複雑にできず、そのわりには外径寸法
が大きくなるので外形寸法(実装等に必要な占有体積や
基板上の占有面積等の効率)の点では不利であるが、高
効率で多ピンの小さいパッケージに比べると外形が大き
い分だけ実装等において取り扱いやすく、またリードピ
ンの間隔も広めであってそのままプリント配線板のラン
ドや挿入穴等に載置、挿入できる等の長所から、メモリ
用のパッケージにもよく用いられている。
2. Description of the Related Art In the field of computer-related technology in recent years, the storage capacity used is steadily increasing.
Accordingly, the storage capacity of a storage element (memory) including a semiconductor integrated circuit used for storage has been expanded. FIG.
FIG. 4 is a perspective view showing an example of a connection configuration between an internal semiconductor chip and leads in a conventional semiconductor device. The conventional semiconductor device shown in FIG. 4 includes a semiconductor chip 1, leads 2, thin metal wires 3, and a sealing material 4 for them. The semiconductor chip 1 has a memory or the like formed by a semiconductor integrated circuit formed on an upper surface thereof, and a connection electrode (pad) formed on a part of the surface. The lead 2 is a metal terminal that enables connection to the outside of the semiconductor device. Generally, the lead 2 is separated from the lead frame after the semiconductor chip is packaged and becomes a lead. The thin metal wire 3 is a thin metal wire such as gold used for wire bonding. The sealing material 4 is, for example, a molding material such as an epoxy resin or a silicon resin. The structure in which the leads are arranged as shown in FIG. 4 is a structure called a dual in-line package (DIP), and the leads come out from only two opposing sides of the four outer peripheral sides. Since this DIP is limited to only two sides from which leads are led out,
The number of pins that can be used for input / output also decreases, and as a result, in general, the internal circuit cannot be complicated, but instead the outer diameter increases, so the external dimensions (occupied volume required for mounting, etc. This is disadvantageous in terms of area and other efficiency, but it is easier to handle in mounting etc. because of its larger outer shape compared to a high-efficiency, small-pin-count package. It is often used for memory packages because of its advantages such as being able to be placed and inserted into a hole or an insertion hole.

【0003】また、一般的な半導体集積回路に形成され
るメモリにおいては、現行のプロセスルールを用いた場
合、メモリの記憶容量が増えれば増えるほどチップサイ
ズを大きくする必要があることが知られている。しか
し、メモリ用LSIについては、入出力に必要なピン数
を記憶容量の増加分に応じて増加させる必要がないこと
から、記憶容量が増加してチップサイズを大きくしても
使用するピン数を増やす必要はない。一般的なICやL
SIのパッケージでは、チップの大きさが大きくなるに
従ってピン数も多くなるが、メモリ用LSIにおいて
は、上記した理由から、チップのサイズが大きくなって
ピン数が増えたとしても使用するピン数をあまり増やす
必要がないため、チップサイズが大きくなったときに使
用しないピン数や同じ入出力に接続するピン数が多くな
り、規定のチップサイズとしてはピン数が過多となる関
係(アンマッチ)が発生する。不要なピンが多くなる
と、誤接続が起きたり、不要ピンが折れ曲がって他の部
品に接触する可能性が出る等、不良の発生源となること
から好ましくない。
It is also known that, in the case of a memory formed in a general semiconductor integrated circuit, when the current process rules are used, the chip size must be increased as the storage capacity of the memory increases. I have. However, for a memory LSI, it is not necessary to increase the number of pins required for input / output according to the increase in the storage capacity. No need to increase. General IC and L
In an SI package, the number of pins increases as the size of a chip increases. However, in the case of a memory LSI, the number of pins to be used is reduced even if the number of pins increases due to the increase in the size of the chip. Since there is no need to increase the number of pins, the number of unused pins or the number of pins connected to the same input / output increases when the chip size increases, resulting in an excessive number of pins (unmatch) as the specified chip size I do. If the number of unnecessary pins increases, it is not preferable because it causes a failure, such as erroneous connection or the possibility that the unnecessary pins are bent and come into contact with other components.

【0004】このチップサイズとピン数のアンマッチを
解消するために、現行のプロセスルールを向上させるこ
とによりチップサイズを小さくする様々な取り組みが行
われている。例えば、見かけ上の部品サイズを小さくす
るため、半導体チップの上下両面に集積回路を形成する
方法や、リードフレームの両面に、片面に集積回路を有
した半導体チップを配置する方法や、両面に集積回路が
形成された半導体チップをリードフレームに接着する方
法等を用いた半導体装置が知られている。具体例とし
て、特開平5−75016号公報には、片面に半導体集
積回路と接続電極(接続部)を有する半導体チップを2
個、リードフレームの表面と裏面にダイボンディング
し、各々の半導体チップからリードフレームにワイヤー
ボンディングを行った半導体装置が開示されている。ま
た、特開平5−55446号公報には、リードフレーム
の両面に一対の半導体チップ(片面に半導体集積回路と
接続電極を有する)を配置し、それらの半導体チップと
リード或いは一対の半導体チップ間を接続する接続部材
をワイヤーボンディングにより接続する構成の半導体装
置が開示されている。更に、特開平8−181165号
公報には、上下両面に半導体集積回路とワイヤーボンデ
ィングによる接続電極を有する半導体チップを、ボンデ
ィングワイヤ用の開口部を設けたリードフレームの片面
に接着した半導体装置が開示されている。一方、上記従
来技術では、チップとリードフレームをワイヤーボンデ
ィングにより接続しているが、ワイヤーを用いずチップ
上の全電極(パッド)を特定のバンプや金属リードによ
りパッケージ上の端子に一度にボンディングする方法
(ワイヤレスボンディング)も知られている。この方法
としては、例えば、チップのパッドの上に金属薄膜を介
して半田バンプをメッキや蒸着法により形成するフリッ
プチップ方式や、高分子フィルムのテープの1コマ毎に
リードを写真製版等により形成してリードの先端に金バ
ンプを接合したテープオートメーテッドボンディング
(TAB)方式が知られている。従って、上記の従来技
術の接続部を、ワイヤーボンディングにより接続する代
わりに、例えば、上記TAB方式により接続することが
可能である。
In order to eliminate the mismatch between the chip size and the number of pins, various efforts have been made to reduce the chip size by improving the current process rules. For example, in order to reduce the apparent component size, a method of forming integrated circuits on the upper and lower surfaces of a semiconductor chip, a method of arranging a semiconductor chip having an integrated circuit on one side on both sides of a lead frame, and a method of integrating on both sides 2. Description of the Related Art A semiconductor device using a method of bonding a semiconductor chip on which a circuit is formed to a lead frame or the like is known. As a specific example, JP-A-5-75016 discloses a semiconductor chip having a semiconductor integrated circuit and a connection electrode (connection portion) on one side.
A semiconductor device is disclosed in which individual semiconductor chips are die-bonded to the front and back surfaces, and wire bonding is performed from each semiconductor chip to the lead frame. In Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-55446, a pair of semiconductor chips (having a semiconductor integrated circuit and a connection electrode on one side) are arranged on both sides of a lead frame, and these semiconductor chips and leads or between the pair of semiconductor chips is disposed. A semiconductor device having a configuration in which connecting members to be connected are connected by wire bonding is disclosed. Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-181165 discloses a semiconductor device in which a semiconductor chip having a semiconductor integrated circuit and connection electrodes formed by wire bonding on both upper and lower surfaces is bonded to one surface of a lead frame provided with an opening for a bonding wire. Have been. On the other hand, in the above prior art, the chip and the lead frame are connected by wire bonding, but all electrodes (pads) on the chip are bonded to terminals on the package at once by specific bumps or metal leads without using wires. A method (wireless bonding) is also known. This method includes, for example, a flip chip method in which solder bumps are formed on a chip pad through a thin metal film by plating or vapor deposition, or a lead is formed by photolithography for each frame of a polymer film tape. A tape automated bonding (TAB) system in which a gold bump is bonded to the end of a lead is known. Therefore, instead of connecting the above-mentioned conventional connection parts by wire bonding, it is possible to connect them by, for example, the TAB method.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た何れの接続方法を用いたとしても、従来の半導体装置
の半導体チップにおけるリードとのボンディングが可能
な接続電極(パッド)を設置することができるチップの
面は限られており、また、リード間の干渉を避けるため
にリード同士の間隔はあまり狭くできないことから、同
じチップサイズを用いて記憶容量を上記従来技術以上に
増加させることは困難であるという問題があった。本発
明は、上述した如き従来の問題を解決するためになされ
たものであって、チップサイズを大きくしないで記憶容
量を従来以上に増加させることのできる半導体装置を提
供することを目的とする。
However, no matter which of the above connection methods is used, a chip on which a connection electrode (pad) capable of bonding to a lead in a semiconductor chip of a conventional semiconductor device can be provided. Is limited, and the spacing between the leads cannot be so narrow to avoid interference between the leads. Therefore, it is difficult to increase the storage capacity more than the above-described conventional technology using the same chip size. There was a problem. The present invention has been made to solve the above-described conventional problems, and has as its object to provide a semiconductor device capable of increasing the storage capacity more than before without increasing the chip size.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、請求項1の本発明の半導体装置は、リードを接続し
た2個の半導体チップを絶縁基台を挟んだ状態で封止材
によりパッケージした半導体装置であって、前記各半導
体チップは、上下両面に半導体集積回路とリードが接続
される接続部を有し、該接続部にリードを接続した構成
であることを特徴とする。請求項2の本発明は、請求項
1の半導体装置において、前記半導体チップの接続部
は、周囲4辺の内の対向する2辺の上下両面にのみ設け
られ、前記基台の上側の半導体チップの接続部に接続さ
れたリードと下側の半導体チップの接続部に接続された
リードが相互に直角方向に向くように設けられることを
特徴とする。請求項3の本発明は、請求項1または2の
装置において、前記リードは、半導体チップの上面に設
けられた接続部に接続したリードと当該半導体チップの
下面に設けられた接続部に接続したリードが交互に位置
をずらして外部に引き出されるように配置されることを
特徴とする。請求項4の本発明は、請求項1〜3の何れ
か1項の半導体装置において、前記基台は、セラミック
板であることを特徴とする。請求項5の本発明は、請求
項1〜4の何れか1項の半導体装置において、前記接続
部と前記リードとの接続は、導電性接着剤による接合で
あることを特徴とする。請求項6の本発明は、請求項1
〜4の何れか1項の半導体装置において、前記接続部と
前記リードとの接続は、金バンプによる接合であること
を特徴とする。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a semiconductor device according to the first aspect of the present invention, wherein two semiconductor chips to which leads are connected are sealed by an encapsulant with an insulating base interposed therebetween. In the packaged semiconductor device, each of the semiconductor chips has a connection portion on each of upper and lower surfaces to which a semiconductor integrated circuit and a lead are connected, and the connection is connected to the lead. According to a second aspect of the present invention, in the semiconductor device according to the first aspect, the connecting portion of the semiconductor chip is provided only on upper and lower surfaces of two opposing sides of the four surrounding sides, and the semiconductor chip on the upper side of the base is provided. And a lead connected to a connection portion of the lower semiconductor chip is provided so as to be perpendicular to each other. According to a third aspect of the present invention, in the device of the first or second aspect, the lead is connected to a lead connected to a connection portion provided on an upper surface of the semiconductor chip and to a connection portion provided on a lower surface of the semiconductor chip. The lead is arranged so as to be alternately shifted to be drawn out. According to a fourth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to any one of the first to third aspects, the base is a ceramic plate. According to a fifth aspect of the present invention, in the semiconductor device according to any one of the first to fourth aspects, the connection between the connection portion and the lead is a connection using a conductive adhesive. The present invention of claim 6 provides the present invention
5. The semiconductor device according to any one of items 4 to 4, wherein the connection between the connection portion and the lead is bonding by a gold bump.

【0007】[0007]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示した実施形態
に基づいて説明する。図1は、本発明の半導体装置の一
実施形態における内部の半導体チップとリードの接続構
成を示す斜視図であり、図2は図1のa−a’断面図、
図3は図1のb−b’断面図である。図1に示す様に、
本実施形態の半導体装置は、上下両面に半導体集積回路
とパッドが形成された第1の半導体チップ11と、同様
に上下両面に半導体集積回路とパッドが形成された第2
の半導体チップ12と、第1の半導体チップ11におけ
る各パッド上と第2の半導体チップ12における各パッ
ド上に設けられた金バンプ15と、その金バンプ15に
より各半導体チップ11、12と接続されるリード1
4、16、17、18と、第1の半導体チップ11と第
2の半導体チップ12の間を電気的に絶縁するセラミッ
クフレーム13と、それらの封止材19から構成され
る。半導体チップ11と12は、その上下両面の表面に
半導体集積回路によるメモリ等が形成され、その表面の
一部には接続用電極(パッド)が形成されている。その
パッド上には金バンプが設けられ、リード14、16、
17、18が接続される。第1の半導体チップ11の上
面側の金バンプにはリード14が接続され、第1の半導
体チップ11の下面側の金バンプにはリード16が接続
される。リード14と16は、第1の半導体チップ11
の周囲4辺の対向する2辺の上下両面に設けられた金バ
ンプに接続される。また、第1の半導体チップ11上の
パッド及びその上に設けられる金バンプは、第1の半導
体チップにおける各リードが接続される2辺において上
面側のリード14と下面側のリード16が半導体装置の
上側から見て交互に外部に出るように配置される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be described based on illustrated embodiments. FIG. 1 is a perspective view showing a connection configuration between an internal semiconductor chip and a lead in one embodiment of the semiconductor device of the present invention. FIG. 2 is a sectional view taken along a line aa ′ of FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line bb 'of FIG. As shown in FIG.
The semiconductor device according to the present embodiment has a first semiconductor chip 11 having semiconductor integrated circuits and pads formed on both upper and lower surfaces, and a second semiconductor chip 11 having semiconductor integrated circuits and pads formed on both upper and lower surfaces.
Semiconductor chip 12, a gold bump 15 provided on each pad of the first semiconductor chip 11 and on each pad of the second semiconductor chip 12, and connected to each semiconductor chip 11, 12 by the gold bump 15. Lead 1
4, 16, 17, 18, a ceramic frame 13 for electrically insulating between the first semiconductor chip 11 and the second semiconductor chip 12, and a sealing material 19 for them. The semiconductor chips 11 and 12 each have a memory or the like formed by a semiconductor integrated circuit formed on the upper and lower surfaces thereof, and a connection electrode (pad) is formed on a part of the surface. Gold bumps are provided on the pads, and leads 14, 16,
17 and 18 are connected. Leads 14 are connected to the gold bumps on the upper surface of the first semiconductor chip 11, and leads 16 are connected to the gold bumps on the lower surface of the first semiconductor chip 11. The leads 14 and 16 are connected to the first semiconductor chip 11
Are connected to gold bumps provided on the upper and lower surfaces of two opposing sides of the four sides. Further, the pads on the first semiconductor chip 11 and the gold bumps provided on the first semiconductor chip 11 have the upper surface side lead 14 and the lower surface side lead 16 on the two sides to which the respective leads of the first semiconductor chip are connected. Are arranged so as to alternately come out as viewed from above.

【0008】第2の半導体チップ12の上面側の金バン
プにはリード17が接続され、第2の半導体チップ12
の下面側の金バンプにはリード18が接続される。リー
ド17と18は、第2の半導体チップ12の周囲4辺の
対向する2辺の上下両面に設けられた金バンプに接続さ
れる。また、第2の半導体チップ12上のパッド及びそ
の上に設けられる金バンプは、第2の半導体チップにお
ける各リードが接続される2辺において上面側のリード
17と下面側のリード18が半導体装置の上側から見て
交互に外部に出るように配置される。セラミックフレー
ム13は、アルミナ系のセラミックの基台であり、その
上側に配置される第1の半導体チップ11と、その下側
に配置される第2の半導体チップ12とを電気的に絶縁
し、その寸法は各半導体チップよりもやや大きくする。
尚、第1の半導体チップ11と第2の半導体チップ12
とを電気的に接続して一体的に使用する場合には、この
セラミックフレーム13にスルーホールや配線パターン
のような電気伝導路を設けることで上側に配置された半
導体チップと下側に配置された半導体チップを電気的に
接続して一体的に使用することができる。
[0008] Leads 17 are connected to the gold bumps on the upper surface of the second semiconductor chip 12.
Leads 18 are connected to the gold bumps on the lower surface side of. The leads 17 and 18 are connected to gold bumps provided on the upper and lower surfaces of two opposite sides of the four sides of the second semiconductor chip 12. Further, the pads on the second semiconductor chip 12 and the gold bumps provided on the pads are such that the leads 17 on the upper surface and the leads 18 on the lower surface are formed on two sides of the second semiconductor chip to which the respective leads are connected. Are arranged so as to alternately come out as viewed from above. The ceramic frame 13 is an alumina-based ceramic base, and electrically insulates the first semiconductor chip 11 disposed on the upper side thereof from the second semiconductor chip 12 disposed on the lower side thereof, The dimensions are slightly larger than each semiconductor chip.
The first semiconductor chip 11 and the second semiconductor chip 12
When the ceramic chip 13 is electrically connected and used integrally, the ceramic frame 13 is provided with an electric conduction path such as a through hole or a wiring pattern so that the semiconductor chip arranged on the upper side and the semiconductor chip arranged on the lower side are arranged. Semiconductor chips can be electrically connected and used integrally.

【0009】リード14,16〜18は、半導体装置外
部との接続を可能とする銅や鉄或いはそれらを用いた合
金等の金属製の端子であり、一般的に半導体チップがパ
ッケージングされた後にリードフレームから切り離され
てリードになるが、最初から個別のリードを用いるよう
にしても良い。金バンプ15は、第1の半導体チップ1
1と第2の半導体チップ12の上下両面のパッド上に形
成され、一つの半導体チップの2辺の上下面に形成さ
れ、半導体装置の上側から見て上面側のバンプと下面側
のバンプとが交互になるように配置する。金バンプは、
電気導電性が良く、柔らかく腐食しないことから信頼性
も高いため、高速の信号の授受を行う接続部に適してい
る。なお、バンプは、周知のように接続前の状態では球
形、その他の形状の突起物であるが、ここでは溶融によ
る接合後の状態を図示しているので、平坦化されてい
る。封止材19は、例えば、エポキシ樹脂やシリコン樹
脂等のモールド材である。
The leads 14, 16 to 18 are metal terminals such as copper or iron or an alloy using them for enabling connection to the outside of the semiconductor device, and are generally provided after a semiconductor chip is packaged. Although the lead is separated from the lead frame, individual leads may be used from the beginning. The gold bump 15 is formed on the first semiconductor chip 1.
The bumps are formed on the upper and lower pads of the upper and lower surfaces of the first and second semiconductor chips 12 and are formed on the upper and lower surfaces of two sides of one semiconductor chip. Arrange them alternately. Gold bumps
Since it has good electrical conductivity, is soft and does not corrode, and has high reliability, it is suitable for a connection portion for transmitting and receiving a high-speed signal. As is well known, the bumps are projections having a spherical shape or another shape before connection, but are shown as flat after being joined by fusion. The sealing material 19 is, for example, a molding material such as an epoxy resin or a silicon resin.

【0010】本実施形態の半導体装置を製造する場合に
は、まず第1の半導体チップ11にリード14とリード
16を接続したものを作り、次に第2の半導体チップ1
2にリード17とリード18を接続したものを作り、両
方の半導体チップのリード14及び16と、リード17
及び18が相互に直角方向に向くように、両半導体チッ
プ間にセラミックフレーム13を挟んで積み重なる位置
関係とする。各半導体チップ11及び12とセラミック
フレーム13は一般的なセラミックの接着に用いる接着
剤を用いて接続する。その後、封止材19によりパッケ
ージングを行い、各リードの形状をプリント基板等への
実装に適した形状に加工する。リードフレームを用いて
半導体装置を製造している場合には、リードフフレーム
から必要なリードのみを切断して加工する。尚、上記の
本実施形態では、2個の半導体チップを用いて構成した
が、リードのピッチを狭くでき、各チップのリードを異
なる位置に配設すれば、間にセラミックフレームを配置
することにより、3個以上の半導体チップを用いて構成
することも可能である。また、上記セラミックフレーム
は、絶縁性と放熱性を有していればセラミック以外の材
料を用いて構成しても良く、放熱性を良くするために、
半導体装置の最上面や最下面に追加して配設しても良
い。金バンプについては、伝達される信号の速度が非常
に高速である場合を除いて、代わりに導電性接着剤を用
いるようにしても良い。その場合には、半導体装置の厚
みを薄くでき、コストダウンが可能となる。
In manufacturing the semiconductor device of the present embodiment, first, a semiconductor device in which leads 14 and 16 are connected to a first semiconductor chip 11 is formed, and then a second semiconductor chip 1 is manufactured.
2 are connected to the leads 17 and 18, and the leads 14 and 16 of both semiconductor chips and the leads 17
And 18 are stacked so that the ceramic frame 13 is sandwiched between the two semiconductor chips so that the semiconductor chips 18 and 18 are oriented at right angles to each other. Each of the semiconductor chips 11 and 12 and the ceramic frame 13 are connected using an adhesive used for general bonding of ceramics. Thereafter, packaging is performed with the sealing material 19, and the shape of each lead is processed into a shape suitable for mounting on a printed circuit board or the like. When a semiconductor device is manufactured using a lead frame, only necessary leads are cut from the lead frame and processed. In the above embodiment, two semiconductor chips are used, but the pitch of the leads can be narrowed. If the leads of each chip are arranged at different positions, the ceramic frame can be arranged between them. It is also possible to use three or more semiconductor chips. In addition, the ceramic frame may be made of a material other than ceramic as long as it has insulation and heat dissipation, and in order to improve heat dissipation,
It may be additionally provided on the uppermost surface or the lowermost surface of the semiconductor device. For gold bumps, a conductive adhesive may be used instead, except when the speed of the transmitted signal is very high. In that case, the thickness of the semiconductor device can be reduced, and the cost can be reduced.

【0011】[0011]

【発明の効果】上記した本発明の半導体装置では、以下
の効果が得られる。両面に半導体集積回路を形成した半
導体チップをセラミックフレームを挟んで2個使用して
いるので、片面の半導体チップを1個用いた半導体装置
に比べて1/4に使用面積を少なくすることができ、半
導体装置のパッケージの薄型化が可能である。半導体チ
ップ間のセラミックフレームにより放熱できるので放熱
性が確保でき、温度上昇が抑えられることから耐ノイズ
効果を得ることができる。2個の半導体チップのリード
をそれぞれのチップの対向する2辺に接続するように
し、各チップから出るリード同士の向きを相互に直角方
向に向くように配置したので、スペース効率の良いパッ
ケージング構造にできる。隣り合うリードは各半導体チ
ップの上面側と下面側に交互に接続されるので、リード
間が干渉しない一定のピッチを確保した外部端子を形成
できる。金バンプを用いるので、導電性と放熱性及び信
頼性の高い接続とすることができる。
According to the above-described semiconductor device of the present invention, the following effects can be obtained. Since two semiconductor chips with semiconductor integrated circuits formed on both sides are used with a ceramic frame interposed therebetween, the use area can be reduced to 1/4 of a semiconductor device using one semiconductor chip on one side. In addition, the thickness of the package of the semiconductor device can be reduced. Since heat can be dissipated by the ceramic frame between the semiconductor chips, heat dissipation can be ensured, and a rise in temperature can be suppressed, so that noise resistance can be obtained. Since the leads of the two semiconductor chips are connected to two opposite sides of each chip, and the leads coming out of each chip are arranged so as to be perpendicular to each other, a packaging structure with good space efficiency. Can be. Adjacent leads are alternately connected to the upper surface side and the lower surface side of each semiconductor chip, so that it is possible to form external terminals having a fixed pitch that does not cause interference between the leads. Since the gold bumps are used, the connection can be made with high conductivity, heat dissipation, and reliability.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の半導体装置の一実施形態における内部
の半導体チップとリードの接続構成を示す斜視図であ
る。
FIG. 1 is a perspective view showing a connection structure between internal semiconductor chips and leads in an embodiment of a semiconductor device of the present invention.

【図2】図1のa−a’断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line a-a 'of FIG.

【図3】図1のb−b’断面図である。FIG. 3 is a sectional view taken along line b-b 'of FIG.

【図4】従来の半導体装置における内部の接続構成の一
例を示す斜視図である。
FIG. 4 is a perspective view showing an example of an internal connection configuration in a conventional semiconductor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、11、12・・・半導体チップ、2、14、16〜
18・・・リード、3・・・金属細線、4、19・・・
封止材、15・・・金バンプ
1, 11, 12 ... semiconductor chip, 2, 14, 16-
18 ... lead, 3 ... metal thin wire, 4, 19 ...
Sealing material, 15 ... gold bump

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 リードを接続した2個の半導体チップに
より基台を挟んだ状態で封止材によりパッケージした半
導体装置であって、前記各半導体チップは、上下両面に
夫々半導体集積回路及びリードが接続される接続部を有
し、該接続部にリードの一端を接続した構成を備えたこ
とを特徴とする半導体装置。
1. A semiconductor device packaged with a sealing material in a state where a base is sandwiched between two semiconductor chips to which leads are connected, wherein each semiconductor chip has a semiconductor integrated circuit and leads on both upper and lower surfaces, respectively. A semiconductor device having a connection portion to be connected and a configuration in which one end of a lead is connected to the connection portion.
【請求項2】 前記半導体チップの接続部は、半導体チ
ップの周囲4辺の内の対向する2辺に沿った上下両面に
のみ設けられ、前記基台の上側の半導体チップの接続部
に接続されたリードと下側の半導体チップの接続部に接
続されたリードが相互に直角方向に向くように設けられ
ていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
2. A connection portion of the semiconductor chip is provided only on upper and lower surfaces along two opposing sides of four sides around the semiconductor chip, and is connected to a connection portion of the semiconductor chip on the upper side of the base. 2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the lead connected to the connecting portion of the lower semiconductor chip is provided so as to be perpendicular to each other.
【請求項3】 前記リードは、半導体チップの上面に設
けられた接続部に接続したリードと当該半導体チップの
下面に設けられた接続部に接続したリードが交互に位置
をずらして外部に引き出されるように配置されているこ
とを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
3. A lead connected to a connecting portion provided on an upper surface of a semiconductor chip and a lead connected to a connecting portion provided on a lower surface of the semiconductor chip are led out to the outside while alternately shifting their positions. 3. The semiconductor device according to claim 1, wherein the semiconductor device is arranged as follows.
【請求項4】 前記基台は、セラミック板であることを
特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体装
置。
4. The semiconductor device according to claim 1, wherein said base is a ceramic plate.
【請求項5】 前記接続部と前記リードとの接続は、導
電性接着剤による接合であることを特徴とする請求項1
〜4の何れか1項に記載の半導体装置。
5. The method according to claim 1, wherein the connection between the connection portion and the lead is made by a conductive adhesive.
The semiconductor device according to any one of claims 1 to 4.
【請求項6】 前記接続部と前記リードとの接続は、金
バンプによる接合であることを特徴とする請求項1〜4
の何れか1項に記載の半導体装置。
6. The method according to claim 1, wherein the connection between the connection portion and the lead is performed by bonding using gold bumps.
The semiconductor device according to claim 1.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6853571B2 (en) * 2002-08-20 2005-02-08 Intel Corporation Stacked non-volatile memory device and method of making the same
JP2013110190A (en) * 2011-11-18 2013-06-06 Toyota Motor Corp Semiconductor unit and manufacturing method of the same
US11721618B2 (en) 2019-07-16 2023-08-08 Tdk Corporation Electronic component package

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