JP2000028098A - Cylinder cabinet - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は半導体，液晶などの
電子回路素子の製造に使用するプロセスガスの容器（ボ
ンベ）の保護設備としてのシリンダーキャビネットに関
するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a cylinder cabinet as a facility for protecting a container (cylinder) of a process gas used for manufacturing electronic circuit elements such as semiconductors and liquid crystals.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プロセスガスは一般に有毒，可燃性（爆
発性），腐食性を有する危険性ガスであり、かかる危険
性ガスを使用して半導体，液晶等電子回路素子を製造す
るに当たっては安全且つ安定したガス供給が前提とな
る。2. Description of the Related Art Process gases are generally toxic, flammable (explosive), and corrosive hazardous gases. When such hazardous gases are used to manufacture electronic circuit devices such as semiconductors and liquid crystals, they are safe and harmful. A stable gas supply is assumed.
【０００３】高圧ガス取締法の規制でプロセスガス使用
中のボンベはシリンダーキャビネットに収納することが
義務付けられており、更に、シリンダーキャビネットの
構成条件としては以下の規制がある。 (1) シリンダーキャビネットの構成材料は全て不燃性で
あること。 (2) 密閉系内シリンダーキャビネット内部空間は常時排
気し、（シリンダーキャビネット内部空間を負圧と
し、）そのファンには保安電力を使用する。排気ガスは
ガス除害機に接続し、無害化して大気放出する。 (3) 使用する配管は耐圧，気密試験に合格すること。 (4) ガスの流れを止める緊急遮断装置を付けること。 (5) 漏洩検知警報器の付設すること。 (6) 相互に反応するガスのボンベを同一シリンダーキャ
ビネットに収納しないこと（例えばＳｉＨ4とＮ2Ｏの組
み合わせ）。 (7) その他、保安距離、保安電力、日常点検、設備修理
時の呼吸用保護具の着用。Under the regulations of the High Pressure Gas Control Law, cylinders that are using process gas are required to be stored in a cylinder cabinet. Further, the cylinder cabinet has the following regulations. (1) All components of the cylinder cabinet shall be nonflammable. (2) The inside space of the cylinder cabinet in the closed system is constantly exhausted, and the fan is powered by a safety power (the inside space of the cylinder cabinet is made negative pressure). The exhaust gas is connected to a gas abatement machine, made harmless and released to the atmosphere. (3) The piping used must pass the pressure resistance and airtightness test. (4) Provide an emergency shutoff device to stop gas flow. (5) A leak detection alarm must be provided. (6) Do not store cylinders of mutually reacting gases in the same cylinder cabinet (for example, a combination of SiH 4 and N 2 O). (7) In addition, wear safety protection, safety power, daily inspection, and respiratory protection when repairing equipment.
【０００４】図３は従来のシリンダーキャビネット(20)
の構造を示した図であり、(A)は正面図、(B)は側面図で
ある。図中において、(21)は収納されたボンベであり、
(22)は内部空間の排気のためにシリンダーキャビネット
(20)の上部構造の天井部に設けられた排気口である。(2
3)は、外気をシリンダーキャビネット内に導入するため
の外気吸引開口部である。FIG. 3 shows a conventional cylinder cabinet (20).
1A is a front view, and FIG. 1B is a side view. In the figure, (21) is a stored cylinder,
(22) is a cylinder cabinet for exhausting the internal space
This is an exhaust port provided in the ceiling of the superstructure of (20). (2
3) is an outside air suction opening for introducing outside air into the cylinder cabinet.
【０００５】シリンダーキャビネット(20)の上方には緊
急遮断器，警報器，自動バルブ開閉調節器等の制御系，
差圧計，逆止弁、それらを含めＣＶＤのようなガス消費
設備及び除害機との接続配管が収納されている。シリン
ダーキャビネット(20)の下方にはボンベ(21)が収納され
ている。シリンダーキャビネット(20)内は全く仕切られ
ておらず、ボンベ(21)と制御系機器，接続配管等は全て
同一の空間に収納されていることとなる。通常のボンベ
交換や、点検等の諸作業はシリンダーキャビネット(20)
前側の扉(24)の開閉をもって行われる。[0005] Above the cylinder cabinet (20), control systems such as an emergency circuit breaker, an alarm, an automatic valve opening / closing controller, etc.
A differential pressure gauge, a check valve, a gas consuming facility such as CVD including them, and a connection pipe to a scrubber are housed therein. A cylinder (21) is stored below the cylinder cabinet (20). The inside of the cylinder cabinet (20) is not partitioned at all, and the cylinder (21), control system equipment, connection piping, etc. are all housed in the same space. Various operations such as normal cylinder replacement and inspection are performed on the cylinder cabinet (20).
The opening and closing of the front door (24) is performed.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】シリンダーキャビネッ
トを実際に使用する上では、上記のように安全性，稼働
のし易さが十分に保証される必要があるが、それ以外に
も、次のような操業上のランニング経費についての課題
がある。 (1) 半導体，液晶の生産に当たっては通常例えばＣＶＤ
の真近場所にガスの供給源であるシリンダーキャビネッ
トを設置して対応する。即ち、クリーンルーム内にシリ
ンダーキャビネットを置くことになる。そのため、床単
位面積当たり極めて高額な装備費のかかっているクリー
ンルームの一角をシリンダーキャビネットに占有される
ことになり、設備費が高くつく。 (2) シリンダーキャビネットは内部に毒性ガスが滞留し
ないように、常時内部を排気ファンで吸引して負圧にし
ているが、単位時間当たりの排気回数（排気量をシリン
ダーキャビネット内部容積で除したもの）については、
特殊材料ガス等保安対策指針の地方条例で適切な換気
（排気）回数が規定されている（例えば神奈川県条例で
は「１０回以上／時間」と規定されている）。In order to actually use the cylinder cabinet, it is necessary to sufficiently guarantee the safety and the ease of operation as described above. There is an issue on the operational running costs. (1) In the production of semiconductors and liquid crystals, for example, CVD
A cylinder cabinet, which is a gas supply source, is installed in the immediate vicinity of. That is, a cylinder cabinet is placed in the clean room. Therefore, one corner of the clean room, which requires extremely high equipment cost per floor unit area, is occupied by the cylinder cabinet, and the equipment cost is high. (2) In order to prevent toxic gas from staying inside the cylinder cabinet, the inside of the cylinder cabinet is constantly sucked with an exhaust fan to create a negative pressure, but the number of exhausts per unit time (the amount of exhaust is divided by the internal volume of the cylinder cabinet) )about,
Appropriate ventilation (exhaust) times are stipulated in the local ordinance of the security measures guideline for special material gases (for example, the Kanagawa prefecture ordinance stipulates "10 times or more / hour").
【０００７】シリンダーキャビネット内の換気（排気）
は、作業環境維持の面からも好ましい対応ではあるが、
排気に伴いクリーンルーム内のクリーンエアーを吸引す
ることとなる。クリーンエアーは温湿度調整した洗浄空
気であり、それを作り出すために費用がかかっているの
で、クリーンエアーの消費も多くなると、その運転経費
が高くつき、工場稼働上問題となる。[0007] Ventilation (exhaust) in the cylinder cabinet
Is a favorable response in terms of maintaining the working environment,
With the exhaust, the clean air in the clean room is sucked. Clean air is cleaning air whose temperature and humidity have been adjusted, and it is costly to produce it. Therefore, if the consumption of clean air increases, the operating cost increases, which causes a problem in factory operation.
【０００８】尚、単なる外部空気は、温湿度調整，汚染
成分の除去管理がなく、生産上不安が残るのでクリーン
エアーの代わりに使用することはできない。[0008] It should be noted that simple external air cannot be used in place of clean air since there is no temperature / humidity adjustment and no control for removing contaminants, and production concerns remain.
【０００９】このような２つの課題を克服するために
は、条例の基準に適合させつつシリンダーキャビネット
の占有面積をできるだけ小さくすることと、換気（排
気）エアー量を減少させる、即ちシリンダーキャビネッ
ト内部空間容積を減らす必要がある。In order to overcome these two problems, the area occupied by the cylinder cabinet should be reduced as much as possible while conforming to the regulations of the ordinance, and the amount of ventilation (exhaust) air should be reduced, that is, the internal space of the cylinder cabinet. It is necessary to reduce the volume.
【００１０】又、シリンダーキャビネット内部空間容積
を減らすことは、ボンベ交換又は不測のガス漏洩の場合
でも汚染空間が小さくなり事後処理が行い易いというメ
リットもある。Reducing the volume of the internal space of the cylinder cabinet also has the advantage that the contaminated space is reduced and post-treatment can be easily performed even in the event of cylinder replacement or unexpected gas leakage.
【００１１】そこで、占有面積が小さく、内部空間容積
の小さなシリンダーキャビネットが望まれている。Therefore, there is a demand for a cylinder cabinet having a small occupied area and a small internal space volume.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１のシリ
ンダーキャビネットは、ボンベ(1)を収納するボンベ収
納部と、該ボンベ収納部の上部に設けられガス供給に使
用する制御系統，配管系統を収納する制御配管系統収納
部(4)を備え、前記ボンベ収納部はボンベ(1)の外径より
若干大きな内径を有する円筒状空間又は該円筒状空間が
２以上組み合わされた形状の空間を備えたボンベ収納外
筒(2)よりなることを特徴とする。According to a first aspect of the present invention, there is provided a cylinder cabinet for storing a cylinder, a control system provided on an upper portion of the cylinder storage and used for gas supply, and a piping. A control piping system storage part (4) for storing a system, wherein the cylinder storage part is a cylindrical space having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the cylinder (1) or a space in which two or more cylindrical spaces are combined. Characterized by comprising a cylinder storage outer cylinder (2) provided with:
【００１３】請求項２のシリンダーキャビネットは、請
求項１のシリンダーキャビネットにおいて、ボンベ収納
外筒(2)の上部は制御配管系統収納部(4)と連通してお
り、該制御配管系統収納部は排気管と接続するための排
気口(5)を有していることを特徴とする。According to a second aspect of the present invention, in the cylinder cabinet of the first aspect, an upper portion of the cylinder housing outer cylinder (2) communicates with a control piping system housing (4), and the control piping system housing is An exhaust port (5) for connecting to an exhaust pipe is provided.
【００１４】これによれば、シリンダーキャビネットの
設置面積を狭くすることができるので、立地面積の有効
化を図ることができる。又、内部空間も狭くなるので、
シリンダーキャビネットの内部空間を十分に（規制量以
上に）換気するに当たり、排気（吸気）する循環空気は
少なくなり運転経費を削減することができる。According to this, since the installation area of the cylinder cabinet can be reduced, the area of the location can be made effective. Also, since the internal space becomes narrower,
In sufficiently ventilating the internal space of the cylinder cabinet (more than the regulated amount), the amount of circulating air exhausted (intake) is reduced, and the operating cost can be reduced.
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】図１は本発明のシリンダーキャビ
ネットを示した正面図であり、図２はそのa-a拡大断面
図である。本発明のシリンダーキャビネットは内部空間
が上下２カ所に分離されている。下部の空間は、ボンベ
(1)を立てて保持するボンベ収納部であり、上部の空間
は緊急遮断器，警報器，自動バルブ開閉調節器等の制御
系，差圧計，逆止弁、それらを含めＣＶＤのようなガス
消費設備及び除害機との接続配管を収納する制御配管系
統収納部(4)である。尚、図中(8)は制御配管系統収納部
(4)の覗き窓である。FIG. 1 is a front view showing a cylinder cabinet of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged sectional view of the cylinder cabinet. The internal space of the cylinder cabinet of the present invention is separated into two upper and lower portions. The lower space is a cylinder
(1) It is a cylinder storage part that stands up and holds it. The upper space is a control system such as an emergency circuit breaker, an alarm, an automatic valve opening / closing controller, a differential pressure gauge, a check valve, and a gas such as CVD including them. This is a control piping system storage section (4) for storing connection pipes for consumption equipment and abatement equipment. (8) in the figure is the control piping system storage section.
This is the viewing window of (4).
【００１６】図中において、(2)はボンベ収納部として
のボンベ収納外筒(2)であり、内径がボンベ(1)の外径よ
り若干大きい円筒状の空間が２つ組み合わされた形状の
空間を備えている。これによりボンベ収納外筒(2)内に
２本のボンベ(1)を収納することができる。尚、図では
２本のボンベを収納するものを示したが、１本又は３本
以上収納可能としても良い。In the figure, reference numeral (2) denotes a cylinder storage outer cylinder (2) as a cylinder storage portion, which has a shape in which two cylindrical spaces whose inner diameter is slightly larger than the outer diameter of the cylinder (1) are combined. It has space. Thereby, two cylinders (1) can be stored in the cylinder storage outer cylinder (2). Although two cylinders are accommodated in the drawing, one or three or more cylinders may be accommodated.
【００１７】ボンベ収納外筒(2)の上部に配された制御
配管系統収納部(4)は、４本の支柱(10)，(11)により支
持されている。支柱の内の２本(11)は背部に配されてお
り、他の２本(10a)，(10b)はボンベ収納外筒(2)に接し
て設けられている。The control piping system storage section (4) disposed above the cylinder storage cylinder (2) is supported by four columns (10) and (11). Two of the columns (11) are arranged on the back, and the other two (10a) and (10b) are provided in contact with the cylinder housing cylinder (2).
【００１８】シリンダーキャビネット底部(7)、すなわ
ち床への設置部は四角平面よりなり、又、ボンベ(1)が
安定して直立できるようボンベ底形にあわせた凹みを有
している。The bottom (7) of the cylinder cabinet, that is, the installation portion on the floor, has a rectangular flat surface, and has a recess conforming to the shape of the cylinder bottom so that the cylinder (1) can stably stand upright.
【００１９】ボンベ収納外筒(2)は大きく分けて３つの
カバー部材よりなっている。(2a)は２本のボンベの背部
に位置する背部カバー、(2b)は左側のボンベの前に位置
する左前部カバー、(2c)は右側のボンベの前に位置する
右前部カバーである。左前部カバー(2b)は左側方におい
てカバー連結部材としての蝶番(9)により背部カバー(2
a)と連結されている。同様に、右前部カバー(2c)も、右
側方において蝶番(9)により背部カバー(2a)と連結され
ている。The cylinder housing cylinder (2) is roughly composed of three cover members. (2a) is a back cover located behind the two cylinders, (2b) is a left front cover located in front of the left cylinder, and (2c) is a right front cover located in front of the right cylinder. The left front cover (2b) is hinged on the left side with a hinge (9) as a cover connecting member.
linked to a). Similarly, the right front cover (2c) is also connected to the back cover (2a) on the right side by a hinge (9).
【００２０】背部カバー(2a)はボンベ収納外筒(2)に接
して設けられた支柱の内、背部に位置する支柱(10b)に
固定されている。左前部カバー(2b)と右前部カバー(2c)
の背部カバー(2a)と連結されていない側の端部には閉止
部材としての磁石(6)が備えられており、磁石(6)が前部
の支柱(10a)に磁着することにより左前部カバー(2b)と
右前部カバー(2c)を閉じた状態に維持することができ
る。これにより、左前部カバー(2b)と右前部カバー(2c)
は開閉可能となっている。The back cover (2a) is fixed to a support (10b) located at the back of the support provided in contact with the cylinder housing cylinder (2). Left front cover (2b) and right front cover (2c)
At the end not connected to the back cover (2a), a magnet (6) as a closing member is provided, and the magnet (6) is magnetically attached to the front support (10a) so that the left front end is provided. The part cover (2b) and the right front cover (2c) can be kept closed. As a result, the left front cover (2b) and the right front cover (2c)
Can be opened and closed.
【００２１】(12)は左前部カバー(2b)と右前部カバー(2
c)に取り付けられている把手である。ボンベ交換等の際
には、把手(12)を掴んで引くと磁石(6)が前部の支柱(10
a)から引き離され、左前部カバー(2b)と右前部カバー(2
c)を蝶番(9)部を支点として手前側に回転させる。これ
によりボンベ収納外筒(2)の前部が開放され、ボンベ(1)
の交換作業を行うことができる。このとき、上方の制御
配管系統収納部(4)の扉を開ける必要はなく、ボンベ収
納外筒(2)のみ開ければよい。(12) is a left front cover (2b) and a right front cover (2
The handle attached to c). When replacing the cylinder, etc., pull the handle (12) and pull the magnet (6) so that the front column (10
a), left front cover (2b) and right front cover (2
Rotate c) forward with the hinge (9) as a fulcrum. As a result, the front of the cylinder housing cylinder (2) is opened, and the cylinder (1)
Can be replaced. At this time, it is not necessary to open the door of the upper control piping system storage section (4), but only the cylinder storage outer cylinder (2).
【００２２】被覆材としてのボンベ収納外筒(2)は内部
の負圧を保ち、万一のガス漏洩が生じてもガスが外部に
出ないようにパッキングを用いてガスタイト構造になっ
ている。すなわち、ボンベ収納外筒(2)の上部は上方の
制御配管系統収納部(4)の底部と連通しており、ボンベ
収納外筒と上部収納部との接合箇所も同様にパッキング
によるガスタイト構造になっている。又、ボンベ収納外
筒(2)の下部とシリンダーキャビネット底部(7)との間も
パッキングによるガスタイト構造になっている。尚、(1
3)はＣＶＤ装置等と接続される配管であり、制御配管系
統収納部(4)から外部に突出しているが、この配管の突
出箇所もパッキングによるガスタイト構造になってい
る。The cylinder housing outer cylinder (2) as a coating material has a gas tight structure by using packing so as to keep the internal negative pressure and prevent gas from leaking to the outside even in the event of gas leakage. That is, the upper part of the cylinder storage outer cylinder (2) communicates with the bottom of the upper control piping system storage part (4), and the joint between the cylinder storage outer cylinder and the upper storage part also has a gas tight structure by packing. Has become. A gas tight structure is also provided between the lower portion of the cylinder housing outer cylinder (2) and the bottom of the cylinder cabinet (7) by packing. In addition, (1
Reference numeral 3) denotes a pipe connected to a CVD apparatus or the like, which protrudes outside from the control pipe system storage section (4). The protruding portion of this pipe also has a gas tight structure by packing.
【００２３】シリンダーキャビネット内部空間の負圧保
持に当たり、外部新鮮空気取り入れ孔としてボンベ収納
外筒(2)の下部には外気吸引開口部(3)が設けられてい
る。又、内部空間の排気のためにシリンダーキャビネッ
トの上部構造（制御配管系統収納部）の天井部に排気口
(5)を設け、排気口(5)は排気ファンを通じて排ガス除害
機に接続されている。An external air suction opening (3) is provided at the lower part of the cylinder housing outer cylinder (2) as an external fresh air intake hole for maintaining a negative pressure in the internal space of the cylinder cabinet. In addition, an exhaust port is provided on the ceiling of the upper structure of the cylinder cabinet (control piping system storage section) to exhaust the internal space.
(5) is provided, and the exhaust port (5) is connected to an exhaust gas abatement machine through an exhaust fan.
【００２４】すなわち、シリンダーキャビネットの換気
は、ボンベ収納外筒(2)の下部の外気吸引開口部(3)から
吸気され、ボンベ収納外筒(2)内のボンベ(1)との隙間を
通って制御配管系統収納部(4)に至り、更にはその天井
部の排気口(5)から排気されることにより行われる。That is, the ventilation of the cylinder cabinet is performed by suctioning air from the outside air suction opening (3) below the cylinder housing cylinder (2) and passing through the gap between the cylinder housing cylinder (2) and the cylinder (1). This is performed by reaching the control piping system storage section (4) and further exhausting from the exhaust port (5) in the ceiling.
【００２５】シリンダーキャビネットの保守作業は、ボ
ンベ交換については先述の如くボンベ収納外筒(2)のみ
の開閉、制御系作業については制御配管系統収納部(4)
に設けられた扉のみの開閉で行う。そのため、シリンダ
ーキャビネット内部空間の排気、外部への漏洩危険性
は、ボンベと制御配管系統を同一空間に収納して内部空
間を全て外部に開放していた従来のシリンダーキャビネ
ットに比べて大幅に少なくなる。The maintenance work of the cylinder cabinet includes the opening and closing of only the cylinder housing outer cylinder (2) as described above for cylinder replacement, and the control piping system housing part (4) for control system work.
Opening and closing only the door provided in Therefore, the danger of exhausting the internal space of the cylinder cabinet and leaking to the outside is greatly reduced compared to the conventional cylinder cabinet in which the cylinder and the control piping system are housed in the same space and the entire internal space is open to the outside. .
【００２６】尚、ボンベ収納外筒の開閉構造は上記のも
のに限られず、他の構造、例えば蝶番を用いずにボルト
やクランプ等の固定具によりボンベ収納外筒の前部と背
部を固定し、ボンベ交換等の際に該固定具を解いてボン
ベ収納外筒前部を背部から完全に分離するような構造と
しても良い。The opening / closing structure of the cylinder housing cylinder is not limited to the above-described one, and other structures, such as fixing the front part and the back part of the cylinder housing cylinder with a fixing tool such as a bolt or a clamp without using a hinge. Alternatively, the structure may be such that the fixing device is released to completely separate the front part of the cylinder housing outer cylinder from the back part when replacing the cylinder.
【００２７】［実施例］本実施例の基本構造は上記に示
したとおりである。高圧ガス容器として一般的な最大内
容積４８リットルのボンベを例に取ると、その外径は25
0mmφで、長さ（高さ）は1500ｍｍよりなっている。本
実施例はこの４８リットルのボンベ２本を収納するシリ
ンダーキャビネットとした。[Embodiment] The basic structure of this embodiment is as described above. For example, a typical cylinder having a maximum internal volume of 48 liters as a high-pressure gas container has an outer diameter of 25
It is 0mmφ and its length (height) is 1500mm. In this embodiment, a cylinder cabinet containing two 48-liter cylinders is used.
【００２８】ボンベを立地させるための620×300×0.5
（厚）mmの底板（占有面積0.186ｍ2）を有しており、そ
の上にボンベを収納するためのボンベ収納外筒(2)を設
ける。620 × 300 × 0.5 for placing cylinder
It has a (thickness) mm bottom plate (occupied area: 0.186 m 2 ), on which a cylinder storage cylinder (2) for storing cylinders is provided.
【００２９】本実施例ではボンベ収納外筒(2)の材料と
して通常0.5mm厚のＳＵＳ材を使用したが、その厚みに
は特に制限がなく、材質としては腐食性ガスの使用のた
めFe−Ni系合金を使用し、更に内外面にわたってフェノ
ール系，フラン系，エポキシ系の如きポリマー塗料を施
す。ボンベ収納外筒(2)の寸法は310mmφ×1650(高さ)mm
であり、２本より構成されており、その中に上記の４８
リットルボンベ(1)が１本づつ（計２本）収納される。In this embodiment, a 0.5 mm thick SUS material is usually used as the material of the cylinder housing cylinder (2). However, the thickness is not particularly limited. A Ni-based alloy is used, and a phenol-based, furan-based, or epoxy-based polymer paint is applied over the inner and outer surfaces. The dimensions of the cylinder storage cylinder (2) are 310 mm φ × 1650 (height) mm
, And is composed of two pieces, in which the above-mentioned 48
One liter cylinder (1) is stored one by one (two in total).
【００３０】このボンベ収納部の上部に620×300×300m
mの制御配管系統収納部(4)が配されており、この箇所に
消費設備への配管，流量計，緊急遮断器，警報機，自動
バルブ開閉調節器が収納されている。620 × 300 × 300 m above the cylinder storage
The control piping system storage part (4) of m is arranged, and the piping to the consumption equipment, the flow meter, the emergency circuit breaker, the alarm, and the automatic valve opening / closing controller are stored in this location.
【００３１】更に、シリンダーキャビネットの天井に10
0mmφの排気口(5)と、それに接続する配管があり、排気
ファンを介して排ガス除害設備に接続されている。In addition, 10
There is an exhaust port (5) of 0 mmφ and a pipe connected to it, and it is connected to an exhaust gas abatement system via an exhaust fan.
【００３２】本実施例のシリンダーキャビネットの寸法
は、床面積として横幅620mm，奥行300mm，高さ1950mmと
なり、この場合の床面積はシリンダーキャビネット設置
占有面積として0.186m2となる。これは下記の従来品よ
りも0.263m2縮小され、従来品の４１％の床面積とな
る。The dimensions of the cylinder cabinet of this embodiment are 620 mm in width, 300 mm in depth and 1950 mm in height as the floor area. In this case, the floor area is 0.186 m 2 as the occupied area of the cylinder cabinet. It is 0.263M 2 reduced than conventional products below the 41% of the floor area of the conventional product.
【００３３】又、空間容積としては上部収納部分（制御
配管系統収納部）が、 (620)(300)(300)mm＝55.8リットル…（Ｉ） 下部ボンベ立空間が、 1500π[(310/2)2−(250/2)2]= 39.6リットル…(II) ボンベ収納外筒内のボンベ上部の空間が、 π(310/2)2(1650-1500)mm＝ 11.3リットル…(III) したがってシリンダーキャビネットの内部空間容積はＩ
＋II＋III＝１０６．７リットルとなる。As for the space volume, the upper storage part (control piping system storage part) is (620) (300) (300) mm = 55.8 liters ... (I) The lower cylinder standing space is 1500π [(310/2) ) 2 − (250/2) 2 ] = 39.6 liters… (II) The space above the cylinder inside the cylinder storage cylinder is π (310/2) 2 (1650-1500) mm = 11.3 liters… (III) The internal space volume of the cylinder cabinet is I
+ II + III = 106.7 liters.
【００３４】これは下記する従来品の空間容積732.15リ
ットルに比べて（732.15−106.7＝）625.5リットル減少
したことになる。従来品に比べて１５％弱（14.６％）
に迄容積縮小したことになる。This means that the space volume is reduced by (732.15-106.7 =) 625.5 liters compared to the space volume of the conventional product described below (732.15 liters). Less than 15% (14.6%) compared to conventional products
This means that the volume has been reduced to.
【００３５】排気ファンより風量0.03m3/minでシリンダ
ーキャビネット内部空間を常時排気するとすれば、
（０．０３×６０）／０．１０６７≒１７（回／hr）、
すなわち１時間当たり１７回の排気回数で内部空間を新
鮮な外部空気で換気していることになり、神奈川県条例
の１０回／hrという制限条件を大きく越えた回数とな
る。しかも、高価なクリーンルームの外部空気（クリー
ンエアー）は僅かに1.8m3/hrしか消費していない。If the internal space of the cylinder cabinet is constantly exhausted with an air flow of 0.03 m 3 / min from the exhaust fan,
(0.03 × 60) /0.1067≒17 (times / hr),
That is, the internal space is ventilated with fresh external air at the number of exhausts of 17 times per hour, which is a number that greatly exceeds the limit of 10 times / hr in the Kanagawa Prefecture Ordinance. Moreover, the external air (clean air) of the expensive clean room consumes only 1.8 m 3 / hr.
【００３６】尚、本実施例では２本のボンベを収納して
いるが、１本又は３本以上収納するようにしてもよく、
１本収納の場合はボンベ収納外筒の内部空間は円筒状、
３本以上収納の場合は本実施例のように円筒状空間を組
み合わせた空間形状とするとよい。In this embodiment, two cylinders are stored. However, one or three or more cylinders may be stored.
In the case of single storage, the internal space of the cylinder storage cylinder is cylindrical,
In the case of storing three or more, it is preferable to adopt a space shape combining cylindrical spaces as in this embodiment.
【００３７】［比較例］上記実施例と同じ容積４８リッ
トルのボンベ２本を収納する従来の標準的なシリンダー
キャビネットは横幅820mm，奥行550mm，高さ1950mmであ
るので、その床面積は0.451m2、容積は820×550×1950m
m＝879.45リットルとなる。[0037] [Comparative Example] The above embodiments and the same volume of 48 liters conventional standard cylinder cabinet housing the two cylinders of width 820 mm, depth 550 mm, since the height 1950 mm, the floor area of 0.451M 2 , Volume is 820 × 550 × 1950m
m = 879.45 liters.
【００３８】その容積から４８リットル容量のボンベ２
本の容積を削除した実質の空間容積は879.45−(73.6×
2)＝約732リットルである。From the volume, a cylinder 2 of 48 liter capacity was prepared.
The actual volume of space from which the volume of books has been deleted is 879.45-(73.6 x
2) = about 732 liters.
【００３９】このシリンダーキャビネットにおいて、実
施例と同じ風量、すなわち0.03m3/minで換気すれば
（０．０３×６０）／０．７３２＝０．１８（回／hr）
となり、規制の１０回／hrを大きく下回る。In this cylinder cabinet, if ventilating at the same air volume as the embodiment, that is, 0.03 m 3 / min, (0.03 × 60) /0.732=0.18 (times / hr)
, Which is far below the regulation of 10 times / hr.
【００４０】又、実施例と同様に１５回／hrの換気を実
現しようとすれば１５×０．７３２／６０＝０．１８３
m3/minの換気風量となり、実施例に比べクリーンルーム
の外気を（０．１８３／０．０３＝）６．１倍多く必要
とすることになる。If it is intended to achieve a ventilation of 15 times / hr as in the embodiment, 15 × 0.732 / 60 = 0.183
The ventilation air volume is m 3 / min, which requires (0.183 / 0.03 =) 6.1 times more outside air in the clean room than in the embodiment.
【００４１】[0041]
【発明の効果】以上述べたように、本発明によりシリン
ダーキャビネットの設置面積を狭くすることができるの
で、立地面積の有効化を図ることができる。又、内部空
間も狭くなるので、シリンダーキャビネットの内部空間
を規制量以上に換気するに当たり、排気（吸気）する循
環空気は少なくなり運転経費を削減することが可能とな
る。更に、シリンダーキャビネットの余裕空間を極限に
まで減縮した形状としているので、万一ガス漏れが起こ
った場合でもガスの滞留空間が少なく危険性を格段に小
さくすることができる。As described above, according to the present invention, the installation area of the cylinder cabinet can be reduced, so that the footprint can be made effective. Further, since the internal space is narrowed, when ventilating the internal space of the cylinder cabinet to a regulated amount or more, the amount of circulating air to be exhausted (intake) is reduced, and the operating cost can be reduced. Further, since the extra space of the cylinder cabinet is formed to a shape that is reduced to the utmost limit, even in the event of a gas leak, there is little gas stagnation space and the danger can be significantly reduced.
【図１】実施例のシリンダーキャビネットを示した正面
図。FIG. 1 is a front view showing a cylinder cabinet of an embodiment.
【図２】図１に示したシリンダーキャビネットのa-a拡
大断面図。FIG. 2 is an enlarged cross-sectional view of the cylinder cabinet shown in FIG.
【図３】従来のシリンダーキャビネットを示した図。FIG. 3 is a diagram showing a conventional cylinder cabinet.
(1) ボンベ (2) ボンベ収納外筒 (2a) 背部カバー (2b) 左前部カバー (2c) 右前部カバー (3) 外気吸引開口部 (4) 制御配管系統収納部 (5) 排気口 (6) 閉止部材（磁石） (7) 底板 (8) のぞき窓 (9) カバー連結部材（蝶番） (10a) 支柱 (10b) 支柱 (11) 支柱 (12) 把手 (13) 配管 (1) Cylinder (2) Cylinder storage cylinder (2a) Back cover (2b) Left front cover (2c) Right front cover (3) External air suction opening (4) Control piping system storage (5) Exhaust port (6 ) Closing member (magnet) (7) Bottom plate (8) Viewing window (9) Cover connecting member (hinge) (10a) Strut (10b) Strut (11) Strut (12) Handle (13) Piping
Claims (2)
ンベ収納部の上部に設けられガス供給に使用する制御系
統，配管系統を収納する制御配管系統収納部を備え、前
記ボンベ収納部はボンベの外径より若干大きな内径を有
する円筒状空間又は該円筒状空間が２以上組み合わされ
た形状の空間を備えたボンベ収納外筒よりなることを特
徴とするシリンダーキャビネット。1. A cylinder storage portion for storing a cylinder, a control piping system storage portion provided above the cylinder storage portion for storing a control system used for gas supply, and storing a piping system, wherein the cylinder storage portion includes a cylinder storage portion. A cylinder cabinet comprising a cylindrical storage space having a cylindrical space having an inner diameter slightly larger than the outer diameter of the cylinder or a space in which two or more cylindrical spaces are combined.
納部と連通しており、該制御配管系統収納部は排気管と
接続するための排気口を有していることを特徴とする請
求項１記載のシリンダーキャビネット。2. An upper portion of the cylinder housing outer cylinder is communicated with a control piping system housing portion, and the control piping system housing portion has an exhaust port for connecting to an exhaust pipe. Item 7. A cylinder cabinet according to item 1.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10198679A JP2000028098A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Cylinder cabinet |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP10198679A JP2000028098A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Cylinder cabinet |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000028098A true JP2000028098A (en) | 2000-01-25 |
Family
ID=16395254
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP10198679A Pending JP2000028098A (en) | 1998-07-14 | 1998-07-14 | Cylinder cabinet |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000028098A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006512542A (en) * | 2002-12-09 | 2006-04-13 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | Cuboid fluid storage and dispensing container |
| US8858685B2 (en) | 2002-12-10 | 2014-10-14 | Advanced Technology Materials, Inc. | Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent |
| US9126139B2 (en) | 2012-05-29 | 2015-09-08 | Entegris, Inc. | Carbon adsorbent for hydrogen sulfide removal from gases containing same, and regeneration of adsorbent |
| US9234628B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-01-12 | Entegris, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
-
1998
- 1998-07-14 JP JP10198679A patent/JP2000028098A/en active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US9518701B2 (en) | 2002-12-10 | 2016-12-13 | Entegris, Inc. | Gas storage and dispensing system with monolithic carbon adsorbent |
| US9234628B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-01-12 | Entegris, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
| US9468901B2 (en) | 2011-01-19 | 2016-10-18 | Entegris, Inc. | PVDF pyrolyzate adsorbent and gas storage and dispensing system utilizing same |
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