JP2000021197A - Semiconductor memory - Google Patents

Semiconductor memory

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JP2000021197A
JP2000021197A JP10183885A JP18388598A JP2000021197A JP 2000021197 A JP2000021197 A JP 2000021197A JP 10183885 A JP10183885 A JP 10183885A JP 18388598 A JP18388598 A JP 18388598A JP 2000021197 A JP2000021197 A JP 2000021197A
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bar signal
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To variably set timing of a write command read time (tRWL) for a RAS bar signal shorter than a specified value and a precharging time (tRP) to be desirably measured by executing operation tests at the tRWL for a RAS bar signal shorter than a specified value and the tRP. SOLUTION: When a RAS bar is set to 'L' (active), an internal RAS bar of an output end (a) becomes active, and a potential of a word line is raised to 'H'. Thereafter, a WE bar signal is set to 'L', and a write operation is started (timing t1). After the WE bar is input, the RAS bar is reset via a Delay 1 to 'H' (timing t2). Thus, the potential of the word line is lowered to the 'L', and writing in the memory cell is ended. Thereafter, an external RAS bar is set to the 'H', and reset (timing t3). A tRWL observed at an external signal is (t3-t2), but in a substantial operation, the tRWL becomes (t2-t1) according to the internal RAS bar signal.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は半導体記憶装置に係
わり、特に装置で決まっている2信号間のタイミング間
隔を定めた規定値よりも短い時間で動作テストを実行す
ることができるようにした半導体記憶装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly, to a semiconductor memory device capable of executing an operation test in a time shorter than a prescribed value that defines a timing interval between two signals determined by the device. It relates to a storage device.

【0002】[0002]

【従来の技術】この種の半導体記憶装置の1つであるダ
イナミックRAM(以下、DRAMと称す)では、メモ
リセルへの微小電荷の充放電によるデータ線の電位変化
をセンスアンプで増幅することで“1”“0”を記憶
し、メモリ動作を行っている。
2. Description of the Related Art In a dynamic RAM (hereinafter, referred to as a DRAM), which is one type of semiconductor memory device, a sense amplifier amplifies a potential change of a data line due to charging / discharging of a small amount of charge to a memory cell. “1” and “0” are stored, and a memory operation is performed.

【0003】例えば、ストレージセルのデータを読み出
すためには、まずロウアドレスによりワード線、つまり
Y方向の行(ロー)を選択し、この選択されたワード線
に接続されているメモリセルのデータをデジット線、つ
まりX方向の列(カラム)に出力する。これらのデータ
をセンスアンプにより、同時に選択されたダミーセルの
データと比較しかつ増幅して先に読み出したメモリセル
へ再書き込みを行う。
For example, to read data from a storage cell, first, a word line, that is, a row (row) in the Y direction is selected by a row address, and data of a memory cell connected to the selected word line is read. It is output to a digit line, that is, a column in the X direction. These data are compared and amplified by the sense amplifier with the data of the dummy cell selected at the same time, and rewritten to the previously read memory cell.

【0004】次にカラムアドレスによりカラムスイッチ
を選択して上述したメモリセルのうちの1つを選択し、
選択されたセルのデータがこのカラムスイッチに接続さ
れたI/Oバス上に読み出される。このI/Oバス上に
読み出されたデータをデータアンプ介して外部へ出力す
る。
Next, a column switch is selected by a column address to select one of the above-mentioned memory cells,
Data of the selected cell is read onto the I / O bus connected to this column switch. The data read onto the I / O bus is output to the outside via a data amplifier.

【0005】書込み動作は、ロウアドレスにより選択し
たメモリセルデータをセンスアンプで増幅し、再書き込
みする動作までは読出し動作と同様である。書込みデー
タはセンスアンプ動作後、カラムアドレスで選択したデ
ジット線へ入力され、目的のメモリセルへデータが書込
まれる。
The write operation is the same as the read operation up to the operation of amplifying the memory cell data selected by the row address with the sense amplifier and rewriting. After the operation of the sense amplifier, the write data is input to the digit line selected by the column address, and the data is written to the target memory cell.

【0006】1ロウアドレスで選択するメモリセル数は
例えば1Mビットのメモリ装置であれば2048個であ
り、1回のメモリサイクルあるいはリフレッシュサイク
ルにおいて、2048個のメモリセルが同時にリフレッ
シュされることになる。
The number of memory cells selected by one row address is, for example, 2048 in the case of a 1-Mbit memory device. In one memory cycle or refresh cycle, 2048 memory cells are simultaneously refreshed. .

【0007】このDRAMにおける制御信号としては、
ロウアドレスストローブ(RAS)バー信号、カラムア
ドレスストローブ(CAS)バー信号、ライトイネーブ
ルバー信号(WE)があり、他にアウトプットイネーブ
ル(OE)バー信号も必要に応じて用意される。
The control signals in this DRAM are as follows:
There are a row address strobe (RAS) bar signal, a column address strobe (CAS) bar signal, and a write enable bar signal (WE). In addition, an output enable (OE) bar signal is prepared as needed.

【0008】RASバー信号は、ロウアドレスをとりこ
込み、該当するワード線を選択し、センスアンプを活性
化、つまりリード、ライトするとともに、入力されたロ
ウアドレスで選択されるメモリセルのリフレッシュも行
う制御信号である。
The RAS bar signal takes in a row address, selects a corresponding word line, activates a sense amplifier, that is, reads and writes, and also refreshes a memory cell selected by the input row address. This is a control signal.

【0009】CASバー信号は、カラムアドレスを取り
込み、既にRASバー信号により活性化されたセンスア
ンプに接続されたデジット線と、半導体記憶装置内部の
I/Oラインを接続させ、データの入出力を制御する制
御信号である。
The CAS bar signal fetches a column address, connects the digit line connected to the sense amplifier already activated by the RAS bar signal to an I / O line inside the semiconductor memory device, and inputs and outputs data. This is a control signal to be controlled.

【0010】WEバー信号は、RASバー信号およびC
ASバー信号を活性化し、リードライト動作を可能にす
る制御信号である。
The WE bar signal is composed of the RAS bar signal and C
This is a control signal that activates the AS bar signal and enables a read / write operation.

【0011】OEバー信号は、リード動作において活性
化することにより、入出力端子を出力状態にする制御信
号である。
The OE bar signal is a control signal that activates a read operation to put an input / output terminal in an output state.

【0012】上述した制御信号により制御されるDRA
Mの電気的特性をテストする場合について、従来例の一
つとしてtRWL(WE↓〜RAS↑)についてテスト
したときの波形図を示した図10を参照して説明する。
DRAMの特性を定める規格値の重要な要素の1つとし
てのRASバー信号に対するライトコマンドリード時間
tRWLがある。
DRA controlled by the above control signal
A case of testing the electrical characteristics of M will be described with reference to FIG. 10 which shows a waveform diagram when testing for tRWL (WE ↓ to RAS ↑) as one of the conventional examples.
There is a write command read time tRWL for the RAS bar signal as one of the important elements of the standard value that determines the characteristics of the DRAM.

【0013】このライトコマンドリード時間tRWL
は、WEバー信号が活性化されその立下りタイミングか
らRASバー信号の立ち上がりタイミングまでの時間を
規定するもので、WEバー信号の立下りタイミング(W
E↓)によりデータ書き込み動作が開始される。また、
RASバー信号の立ち上がりタイミング(RAS↑)に
よりRASのリセット動作が行われる。つまり、テスト
動作のタイミングはこれらの外部信号の入力タイミング
そのもので決定されていることがわかる。
This write command read time tRWL
Defines the time from the fall timing of the activation of the WE bar signal to the rise timing of the RAS bar signal, and the fall timing of the WE bar signal (W
E ↓) starts the data write operation. Also,
The RAS reset operation is performed at the rising timing of the RAS bar signal (RAS #). That is, it can be seen that the timing of the test operation is determined by the input timing of these external signals.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】上述した様に、DRA
Mの電気的特性はRASバー信号、WEバー信号、CA
Sバー信号等の外部信号の入力タイミングで決定されて
いるが、DRAMの電気的特性をテストする測定装置の
制限から、テストしたいタイミングよりも短い間隔で信
号間のタイミングを制御できない場合は、そのタイミン
グについてテストすることは不可能であり、そのため、
測定装置によりテストできないタイミング(スペック)
があった。
As described above, DRA
The electrical characteristics of M are RAS bar signal, WE bar signal, CA
It is determined by the input timing of the external signal such as the S-bar signal. However, if the timing between the signals cannot be controlled at an interval shorter than the timing to be tested due to the limitation of the measuring device for testing the electrical characteristics of the DRAM, It is impossible to test for timing,
Timing that cannot be tested by measuring equipment (spec)
was there.

【0015】その理由は、ある2信号間のタイミングに
ついてテストするとき、内部動作はその2つの信号によ
って制御される機構しか持たないために、最初の入力信
号から次の入力信号まで待たなければいけないからであ
る。
The reason is that when testing for the timing between two signals, the internal operation has only a mechanism controlled by the two signals, so that it is necessary to wait from the first input signal to the next input signal. Because.

【0016】本発明の目的は、上述した従来の欠点に鑑
みなされたものであり、測定装置で決まっている規定値
よりも短い時間のRASバー信号に対するライトコマン
ドリード時間(tRWL)、プリチャージ時間(tR
P)での動作テストを実行することができ、また測定し
たいtRWLおよびtRPのタイミングを可変とするこ
とにある。
An object of the present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks of the related art, and a write command read time (tRWL) and a precharge time for a RAS bar signal for a time shorter than a prescribed value determined by a measuring device. (TR
The operation test in P) can be executed, and the timing of tRWL and tRP to be measured is made variable.

【0017】[0017]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体記憶装置
の特徴は、所定の第1の外部入力信号の変化タイミング
と、続いて入力する所定の第2の外部入力信号の変化タ
イミングとのタイミング間隔があらかじめ所定値に規定
され、この所定値にしたがって動作するように各種制御
信号が設定された半導体記憶装置において、テスト時
に、前記第1の外部入力信号からこの信号よりもパルス
幅の狭いテスト用内部信号を生成し、このテスト用内部
信号により内部回路を擬似的に所望動作させることによ
って、前記第1の外部入力信号の前記タイミング変化を
待たずに前記所定値よりも短い時間で動作させてテスト
時間を短縮するするテスト時間制御手段を有することに
ある。
A feature of the semiconductor memory device according to the present invention is that a timing of a change of a predetermined first external input signal and a timing of a change of a predetermined second external input signal to be inputted subsequently. In a semiconductor memory device in which the interval is defined in advance as a predetermined value and various control signals are set so as to operate according to the predetermined value, at the time of testing, a test is performed based on the first external input signal having a pulse width narrower than this signal. A first internal input signal is generated, and the internal circuit is pseudo-desirably operated by the test internal signal, so that the internal circuit operates in a time shorter than the predetermined value without waiting for the timing change of the first external input signal. Test time control means for reducing the test time.

【0018】また、前記テスト時間制御手段における、
前記第1の外部入力信号が半導体記憶装置内部の動作開
始および活性化を決定するロウアドレスストローブ(R
AS)バー信号でかつ前記第2の外部入力信号がメモリ
セルへの書き込みを許可するライトイネーブル(WE)
バー信号あり、前記WEバー信号の立ち上がりタイミン
グから前記RASバー信号の立下りタイミングまでの前
記所定値に代えて前記WEバー信号の立ち上がりタイミ
ングから前記テスト用内部信号の立下りタイミングまで
のタイミング間隔に設定してテストすることができる。
Further, in the test time control means,
The first external input signal determines a row address strobe (R) for determining the start and activation of operation inside the semiconductor memory device.
AS) Write enable (WE) that is a bar signal and the second external input signal permits writing to a memory cell.
There is a bar signal, and instead of the predetermined value from the rising timing of the WE bar signal to the falling timing of the RAS bar signal, the timing interval from the rising timing of the WE bar signal to the falling timing of the internal signal for testing is changed. Can be set and tested.

【0019】さらに、前記テスト時間制御手段におけ
る、前記第1の外部入力信号がRASバー信号であり、
前記RASバー信号の立ち上がりタイミングから立下り
タイミングまでの前記所定値に代えて前記RASバー信
号の立ち上がりタイミングから前記テスト用内部信号の
立下りタイミングまでのタイミング間隔に設定してテス
トすることもできる。
Further, in the test time control means, the first external input signal is a RAS bar signal,
The test may be performed by setting a timing interval from the rising timing of the RAS bar signal to the falling timing of the test internal signal instead of the predetermined value from the rising timing to the falling timing of the RAS bar signal.

【0020】さらにまた、内部回路に供給される前記R
ASバー信号として、テストおよび通常動作時とも前記
テスト用内部信号により動作させることもできる。
Furthermore, the above R supplied to the internal circuit
As the AS bar signal, the test internal signal can be used for both the test and the normal operation.

【0021】また、前記テスト時間制御手段は、前記R
ASバー信号とこのRASバー信号をあらかじめ定める
時間だけ遅延させた信号の極性反転した信号との論理積
で前記テスト用内部信号を生成する構成とすることがで
きる。
In addition, the test time control means may include the R
The test internal signal may be generated by a logical product of an AS bar signal and a signal obtained by delaying the RAS bar signal by a predetermined time and having a polarity inverted.

【0022】さらに、前記テスト時間制御手段は、前記
RASバー信号の極性反転信号と前記WEバー信号をあ
らかじめ定める時間だけ遅延させた信号との論理積で前
記テスト用内部信号を生成する構成とすることもでき
る。
Further, the test time control means generates the test internal signal by a logical product of a polarity inversion signal of the RAS bar signal and a signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time. You can also.

【0023】さらにまた、前記テスト時間制御手段は、
前記WEバー信号をあらかじめ定める時間だけ遅延させ
た信号の極性反転した信号とテストプログラムで設定す
るテスト信号との論理積結果の極性反転信号とを、さら
に前記RASバー信号の極性反転信号との論理積をと
り、この論理積で前記テスト用内部信号を生成する構成
とすることもできる。
Further, the test time control means includes:
A logical inversion signal of a logical product of a signal obtained by inverting the polarity of the signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time and a test signal set by a test program, and a logical inversion signal of the RAS bar signal. It is also possible to adopt a configuration in which a product is obtained and the test internal signal is generated by this logical product.

【0024】また、前記テスト時間制御手段は、前記R
ASバー信号をセット端子に入力するとともに、リセッ
ト端子に前記WEバー信号の極性反転信号および前記W
Eバー信号をあらかじめ定める時間だけ遅延させた信号
を入力するSRフリップフロップ回路のセット側出力信
号と、前記WEバー信号をあらかじめ定める時間だけ遅
延させた信号の極性反転した信号とテストプログラムで
設定するテスト信号との論理積結果の極性反転信号と
を、さらに論理積をとり、この論理積で前記テスト用内
部信号を生成する構成とすることもできる。
In addition, the test time control means may include the R
An AS bar signal is input to a set terminal, and a polarity inversion signal of the WE bar signal and the W signal are input to a reset terminal.
A set program output signal of the SR flip-flop circuit for inputting a signal obtained by delaying the E-bar signal by a predetermined time, a signal obtained by inverting the polarity of the signal obtained by delaying the WE-bar signal by a predetermined time, and a test program. It is also possible to adopt a configuration in which the logical inversion of the result of the logical product with the test signal is further logically obtained, and the test internal signal is generated by the logical product.

【0025】さらに、前記WEバー信号をあらかじめ定
める時間だけ遅延させた信号の遅延量を可変量とするこ
とができる。
Furthermore, the amount of delay of the signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time can be made variable.

【0026】さらにまた、内部回路に供給される前記R
ASバー信号として、テスト時のみ前記テスト用内部信
号により動作させることもできる。
Furthermore, the above R supplied to the internal circuit
The AS bar signal can be operated by the test internal signal only during a test.

【0027】さらにまた、前記WEバー信号をあらかじ
め定める時間だけ遅延させた信号の変化タイミングから
前記テスト用内部信号の立ち上がり変化タイミングまで
の時間は、通常動作時の信号経路の時間とテスト時の信
号経路の時間とが等しいかまたはテスト時の信号経路の
時間の方が短くなるようにトランジスタのサイズをあら
かじめ設定することにより、製造時のプロセス条件変動
により前記遅延量に変動があっても前記所定値を満たす
ように動作させることができる。
Further, the time from the change timing of the signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time to the rise change timing of the internal signal for test is defined as the time of the signal path in normal operation and the signal in test. By setting the size of the transistor in advance so that the time of the path is equal or the time of the signal path at the time of the test is shorter, even if the delay amount fluctuates due to the process condition fluctuation at the time of manufacture, the predetermined value It can be operated to satisfy the value.

【0028】[0028]

【発明の実施の形態】本発明の要旨は、ある信号間のタ
イミングについてテストを行うとき、最初の信号入力か
ら内部でタイミングを作り、次の信号が入力されたとき
と同様な動作を、次の信号入力を待たずに行いテストと
することである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The gist of the present invention is that when testing the timing between certain signals, the timing is internally generated from the first signal input, and the same operation as when the next signal is input is performed. The test is performed without waiting for the signal input.

【0029】まず本発明の第1の実施の形態を図面を参
照しながら説明する。本発明の実施形態例としてDRA
MにおけるtRWL(WE↓〜RAS↑)をテストする
ときに使用する第1の実施の形態の回路図を示した図1
を参照すると、外部端子から入力されるRASバー信号
(以下、外部RASバー信号と称す)を入力するインバ
ータ1と、外部端子からWEバー信号を入力する遅延素
子(以下、Delayと称す)1(2)と、このDel
ay1(2)の出力端とインバータ1の出力端がそれぞ
れ入力端に接続される2入力NAND3とから構成さ
れ、2入力NAND3の出力端aから内部RASバー信
号a(請求項におけるテスト用内部信号に対応する)を
取り出す。
First, a first embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. DRA as an embodiment of the present invention
FIG. 1 shows a circuit diagram of a first embodiment used when testing tRWL (WE ↓ to RAS ↑) in M.
, An inverter 1 for inputting a RAS bar signal input from an external terminal (hereinafter, referred to as an external RAS bar signal) and a delay element (hereinafter, referred to as a Delay) 1 for inputting a WE bar signal from an external terminal. 2) and this Del
The output terminal of the ay1 (2) and the output terminal of the inverter 1 are respectively connected to the input terminals of the two-input NAND3, and the internal RAS bar signal a from the output terminal a of the two-input NAND3. Take out).

【0030】すなわち、出力端aから出力される内部R
ASバー信号aは、外部から入力される外部RASバー
信号とWEバー信号から作られ、外部RASバー信号が
論理レベルのロウレベル(以下、“L”レベルと称す)
で、かつWEバー信号がハイレベル(以下、“H”レベ
ルと称す)の時に内部RASバー信号aが“L”レベル
となる論理である。
That is, the internal R output from the output terminal a
The AS bar signal a is formed from an externally input external RAS bar signal and WE bar signal, and the external RAS bar signal has a logical low level (hereinafter referred to as “L” level).
And the internal RAS signal a is at the "L" level when the WE signal is at the high level (hereinafter referred to as "H" level).

【0031】上述した構成を用いて本発明の第1の実施
の形態としてtRWLをテストするときの波形図を示し
た図2を参照すると、最初に外部入力信号である外部R
ASバー信号を“L”レベル(活性)とする。この
“L”レベルにより、インバータ1で極性反転される。
この時点ではWEバー信号はまだ活性化されておらず
“H”レベル状態であるから、NAND3の出力端aの
内部RASバー信号aは活性となり、ワード線の電位は
上昇し“H”レベルとなる。
Referring to FIG. 2 showing a waveform diagram when testing tRWL as the first embodiment of the present invention using the above-described configuration, first, an external input signal, that is, external R
The AS bar signal is set to the “L” level (active). The polarity is inverted by the inverter 1 by this “L” level.
At this time, the WE bar signal is not yet activated and is in the "H" level state. Therefore, the internal RAS bar signal a at the output terminal a of NAND3 becomes active, and the potential of the word line rises to "H" level. Become.

【0032】この後、外部入力信号であるWEバー信号
を“L”レベルにして書き込み動作を開始する(タイミ
ングt1)。
Thereafter, the WE signal, which is an external input signal, is set to the "L" level to start the write operation (timing t1).

【0033】WEバー信号入力後、Delay1(2)
を経てNAND3の一方の入力が“L”レベルになり、
内部RASバー信号aはリセットされて“H”レベルに
なる(タイミングt2)。ここで内部RASバー信号a
をリセットすることとは、外部RASバー信号をリセッ
トしたときと同様な動作を行うものとする。
After inputting the WE bar signal, Delay1 (2)
, One input of NAND3 becomes “L” level,
Internal RAS bar signal a is reset to "H" level (timing t2). Here, the internal RAS bar signal a
Is to perform the same operation as when the external RAS bar signal is reset.

【0034】すなわち、外部RASバー信号に関係なく
ワード線の電位を下げるなどのリセット動作を行う。こ
れによりワード線の電位は“L”レベルに下がり、メモ
リセルへの書き込みは終了する。その後外部RASバー
信号を“H”レベルにしてリセットする(タイミングt
3)。
That is, a reset operation such as lowering the potential of the word line is performed regardless of the external RAS signal. As a result, the potential of the word line drops to the “L” level, and the writing to the memory cell ends. Thereafter, the external RAS bar signal is set to the “H” level and reset (at timing t).
3).

【0035】上述した動作では、外部信号でみるtRW
Lは(t3−t1)であるが、実質的な動作では内部R
ASバー信号aによりtRWLは(t2−t1)とな
る。
In the operation described above, tRW seen from an external signal
L is (t3−t1), but in a substantial operation, the internal R
TRWL becomes (t2-t1) by the AS bar signal a.

【0036】デバイスを測定する際の測定装置は、各信
号間の入力の最小タイミングを規定しており、上記のt
RWLを測定する場合にも、WE↓〜RAS↑は測定装
置によりそれぞれ最小の入力タイミングが決まってい
る。装置で決まっているt3−t1よりも短い時間のt
RWLでDRAMの動作をテストしたい場合に、本発明
の回路を動作させることによりテストは可能となる。
The measuring apparatus for measuring a device defines the minimum timing of the input between each signal, and the above-mentioned t
Also when measuring RWL, the minimum input timing of each of WE ↓ to RAS そ れ ぞ れ is determined by the measuring device. T shorter than t3-t1 determined by the device
When it is desired to test the operation of the DRAM by RWL, the test can be performed by operating the circuit of the present invention.

【0037】また、測定したいDRAMのtRWLのタ
イミング(t2−t1)はDelay1(2)によるデ
ィレイ幅を調節することで、可変とすることが出来る。
The tRWL timing (t2-t1) of the DRAM to be measured can be made variable by adjusting the delay width by Delay1 (2).

【0038】本発明の第2の実施の形態として、DRA
Mにおけるプリチャージ時間tRP(RAS↑〜RAS
↓)タイミングについてテストをする場合を説明する。
プリチャージ時間tRPをテストするときに適用する回
路図を示した図3を参照すると、この回路は、外部端子
から外部RASバー信号を一方の入力端に入力するNA
ND6と、外部RASバー信号をディレイするDela
y2(4)と、このDelay2(4)の出力端が接続
され、その出力端がNAND6の他方の入力端に接続さ
れるインバータ5と、NAND6の出力端に接続される
インバータ7とから構成され、インバータ7の出力端
(b)から内部RASバー信号bを取り出す。
As a second embodiment of the present invention, DRA
M for the precharge time tRP (RAS # to RAS)
↓) The case of testing the timing will be described.
Referring to FIG. 3 which shows a circuit diagram applied when testing the precharge time tRP, this circuit includes an NA which inputs an external RAS bar signal from one external terminal to one input terminal.
ND6 and Delay to delay external RAS bar signal
y2 (4), an output terminal of this Delay2 (4) is connected, and the output terminal is composed of an inverter 5 connected to the other input terminal of the NAND 6, and an inverter 7 connected to the output terminal of the NAND6. Then, the internal RAS bar signal b is extracted from the output terminal (b) of the inverter 7.

【0039】すなわち、出力端bから出力される内部R
ASバー信号bは、外部RASバー信号のみから作ら
れ、外部RASバー信号よりも短い期間内部RASバー
信号がb“H”レベルとなる論理である。
That is, the internal R output from the output terminal b
The AS bar signal b is formed from only the external RAS bar signal, and has a logic in which the internal RAS bar signal is at the b "H" level for a shorter period than the external RAS bar signal.

【0040】プリチャージ時間tRPの動作波形図を示
した図4を参照すると、外部RASバー信号の立ち上が
りタイミングによりインバータ7の出力端bの内部RA
Sバー信号bはリセットされる。その後Delay2
(4)およびインバータ5を経て内部RASバー信号b
は再び“L”レベルとなり活性状態となる。
Referring to FIG. 4 showing an operation waveform diagram of the precharge time tRP, the internal RA of the output terminal b of the inverter 7 is changed according to the rising timing of the external RAS bar signal.
The S bar signal b is reset. Then Delay2
(4) and the internal RAS bar signal b via the inverter 5
Attains the "L" level again, and becomes active.

【0041】この動作では、外部RASバー信号が変化
する次の“L”レベルを待たずに、内部ディレイを用い
てtRP動作を行っている。そのときの実質的なtRP
時間は(t5−t4)で表される。
In this operation, the tRP operation is performed using the internal delay without waiting for the next "L" level when the external RAS bar signal changes. Substantial tRP at that time
The time is represented by (t5-t4).

【0042】本発明の第3の実施の形態を示した図5を
参照すると、外部端子から外部RASバー信号を入力す
るインバータ8と、外部端子からWEバー信号を入力す
るDelay3(9)と、このDelay3(9)の出
力端が接続されるインバータ10と、このインバータ1
0の出力端およびテストモード信号TM1の信号線が接
続される2入力NAND11と、この2入力NAND1
1の出力端およびインバータ8の出力端がそれぞれ入力
端に接続される2入力NAND12とから構成され、2
入力NAND12の出力端dから内部RASバー信号d
を取り出す。
Referring to FIG. 5 showing a third embodiment of the present invention, an inverter 8 for inputting an external RAS bar signal from an external terminal, a Delay 3 (9) for inputting a WE bar signal from an external terminal, Inverter 10 to which the output terminal of Delay 3 (9) is connected, and inverter 1
0 input terminal and the signal line of the test mode signal TM1 are connected to the two-input NAND11, and the two-input NAND1
1 and the two-input NAND 12 whose output terminal is connected to the input terminal of the inverter 8 respectively.
From the output terminal d of the input NAND 12 to the internal RAS bar signal d
Take out.

【0043】テストモード信号TM1を使用した場合の
tRWLテストを説明する。このテストモード信号TM
1はテスト装置のテストプログラムにより設定されるも
のである。図5の回路例では常にtRWLの時間が内部
動作で規定されているので、厳しいtRWLタイミング
に内部で設定していると、外部信号によって緩いtRW
Lタイミングで動作を行いたい場合に問題が生じる。
The tRWL test using the test mode signal TM1 will be described. This test mode signal TM
1 is set by a test program of the test apparatus. In the circuit example of FIG. 5, the time tRWL is always defined by the internal operation. Therefore, if the time tRWL is set internally at a strict tRWL timing, a loose tRW is generated by an external signal.
A problem arises when it is desired to operate at L timing.

【0044】この問題を解決するために、tRWLテス
トを行うときのみ本実施の形態例を用いて動作させる、
つまりテストモード動作時のみ動作が本実施の形態が機
能するようにした回路の一例である。この回路例ではテ
ストモード信号TM1を用いる。
In order to solve this problem, the present embodiment is operated only when a tRWL test is performed.
That is, this is an example of a circuit in which the present embodiment functions only in the test mode operation. In this circuit example, the test mode signal TM1 is used.

【0045】この実施形態の回路を用いてtRWLテス
トを行うときには、はじめにテストモードに入り、テス
トモード信号TM1を“H”レベルにする。このときの
tRWL動作は、最初に外部入力信号である外部RAS
バー信号を“L”レベル(活性)とする。この“L”レ
ベルにより、インバータ8で極性反転される。この時点
ではWEバー信号はまだ活性化されておらず“H”レベ
ル状態であるから、NAND12の出力端dの内部RA
Sバー信号dは活性状態となり、ワード線の電位は上昇
し“H”レベルとなる。
When performing a tRWL test using the circuit of this embodiment, the test mode is first entered, and the test mode signal TM1 is set to "H" level. At this time, the tRWL operation is performed by first external RAS which is an external input signal.
The bar signal is set to the “L” level (active). The polarity is inverted by the inverter 8 by this “L” level. At this time, since the WE signal is not yet activated and is in the "H" level state, the internal RA of the output terminal d of the NAND 12 is
The S-bar signal d is activated, and the potential of the word line rises to "H" level.

【0046】この後、外部入力信号であるWEバー信号
を“L”レベルにして書き込み動作を開始する(タイミ
ングt7)。
Thereafter, the WE signal, which is an external input signal, is set to the "L" level to start the write operation (timing t7).

【0047】WEバー信号入力後、Delay3
(9)、インバータ10を経てNAND11の出力が
“L”レベルになり、NAND11の出力である内部R
ASバー信号dはリセットされて“H”レベルになる
(タイミングt8)。前述したように、ここでも内部R
ASバー信号dをリセットすることとは、外部RASバ
ー信号をリセットしたときと同様な動作を行うものとす
る。
After inputting the WE bar signal, delay 3
(9) The output of the NAND 11 goes to the “L” level via the inverter 10, and the output of the internal R
The AS bar signal d is reset to “H” level (timing t8). As mentioned above, here again the internal R
Resetting the AS bar signal d means performing the same operation as resetting the external RAS bar signal.

【0048】すなわち、外部RASバー信号に関係なく
ワード線の電位は“L”レベルに下がり、メモリセルへ
の書き込みは終了する。その後外部RASバー信号を
“H”レベルにしてリセットする(タイミングt9)。
That is, the potential of the word line falls to "L" level regardless of the external RAS bar signal, and the writing to the memory cell ends. Thereafter, the external RAS bar signal is set to the "H" level to reset (timing t9).

【0049】上述した動作では、外部信号でみるtRW
Lは(t9−t7)であるが、実質的な動作では内部R
ASバー信号dによりtRWLは(t8−t7)とな
る。
In the above-described operation, tRW seen from an external signal
L is (t9−t7), but in a substantial operation, the internal R
The tRWL becomes (t8-t7) by the AS bar signal d.

【0050】テストモードを使用しない通常動作では信
号TM1は“L”レベルであり、NAND11の出力端
の電位は“H”レベルになり、したがって、NAND1
1の出力端の内部RASバー信号dは外部RASバー信
号によってのみ動作する。
In a normal operation not using the test mode, signal TM1 is at "L" level, and the potential at the output terminal of NAND11 attains "H" level.
The internal RAS bar signal d at the output terminal 1 operates only by the external RAS bar signal.

【0051】本発明を使用したテストでは、テストした
いタイミングがデバイス内のディレイによって調節され
るが、通常このディレイは製造時のプロセス依存性を伴
っている。これはディレイ幅が変動する可能性があり、
設計値のタイミングと同じ値では必ずしもテストできな
いことを意味する。
In the test using the present invention, the timing to be tested is adjusted by a delay in the device, and this delay usually has a process dependency during manufacturing. This may cause the delay width to fluctuate,
This means that the test cannot always be performed with the same value as the timing of the design value.

【0052】例えばスペック値での動作確認の場合、本
発明の実施の形態によるディレイ幅をスペック値での動
作と同じタイミングになるように設計しても、プロセス
変動によりディレイ幅が伸びるとスペック値より緩いタ
イミングでテストしていることになり動作保証が出来な
くなる。
For example, in the case of confirming the operation at the specification value, even if the delay width according to the embodiment of the present invention is designed to have the same timing as the operation at the specification value, if the delay width is increased due to the process variation, the specification value is increased. Since the test is performed at a looser timing, the operation cannot be guaranteed.

【0053】したがって、本発明を使用してテストを行
うときに、ディレイ幅が変動しても動作保証をする例を
第4の実施の形態として説明する。
Therefore, an example in which operation is guaranteed even when the delay width fluctuates when a test is performed using the present invention will be described as a fourth embodiment.

【0054】第4の実施の形態の回路図を示した図7を
参照すると、外部RASバー信号をセット端子に入力す
るSRフリップフロップ回路と、このSRフリップフロ
ップ回路のリセット端子の一方に接続されWEバー信号
を入力するインバータ15と、SRフリップフロップ回
路のリセット端子の他方に接続されWEバー信号を入力
しディレイする遅延素子Delay4(16)と、この
Delay4(16)の出力端に接続されるインバータ
17と、このインバータ17の出力端が一方の入力端に
接続され他方の入力端にTM1信号が入力されるNAN
D18と、このNAND18およびSRフリップフロッ
プ回路の出力端gが接続されるNAND19とで構成さ
れる。
Referring to FIG. 7 showing a circuit diagram of the fourth embodiment, an SR flip-flop circuit for inputting an external RAS bar signal to a set terminal and one of the reset terminals of the SR flip-flop circuit are connected. An inverter 15 for inputting the WE bar signal, a delay element Delay4 (16) connected to the other reset terminal of the SR flip-flop circuit for inputting and delaying the WE bar signal, and an output terminal of the Delay4 (16). Inverter 17 and NAN having an output terminal connected to one input terminal and a TM1 signal input to the other input terminal.
D18 and an NAND 19 to which the output terminal g of the NAND 18 and the SR flip-flop circuit are connected.

【0055】この実施形態のときの動作波形図を示した
図8を参照すると、テストモード信号TM1を用い、T
M1が“H”レベルのときに本発明によるtRWLテス
トを行い、TM1が“L”レベルのときに通常動作を行
うようにする。まず通常動作から説明する。
Referring to FIG. 8, which shows an operation waveform diagram in this embodiment, the test mode signal TM1 is
The tRWL test according to the present invention is performed when M1 is at "H" level, and normal operation is performed when TM1 is at "L" level. First, the normal operation will be described.

【0056】テストモードを使用しない通常動作の場合
は、TM1は“L”レベルであり、外部RASバー信号
が“L”レベルになり活性化された場合、SRフリップ
フロップ回路の出力端gは“H”レベルであり、この
“H”レベルを入力するNAND19の出力端eの内部
RASバー信号eは常に“L”レベル(活性)である。
In the normal operation without using the test mode, TM1 is at "L" level, and when the external RAS bar signal is at "L" level and activated, the output terminal g of the SR flip-flop circuit is at "L" level. The RAS bar signal e at the output terminal e of the NAND 19 to which the "H" level is input is always at the "L" level (active).

【0057】外部RASバー信号が“L”レベルの状態
でWEバー信号を“L”レベルにすると、インバータ1
5により極性反転されてSRフリップフロップ回路のリ
セット端子に与えられ、このリセット端子の他の信号で
あるDelay4(16)の出力はまだ“H”レベルで
あるから、出力端fは“L”レベルとなり、内部RAS
バー信号eの“L”レベルの状態はラッチされる。すな
わち、この状態で外部RASバー信号を“H”レベルと
しても内部RASバー信号eは“H”レベルとならない
(タイミングt10)。
When the WE bar signal is set at "L" level while the external RAS bar signal is at "L" level, the inverter 1
5 is applied to the reset terminal of the SR flip-flop circuit, and the output of the other terminal of this reset terminal, Delay 4 (16), is still at the "H" level. And internal RAS
The "L" level state of the bar signal e is latched. That is, in this state, even if the external RAS bar signal is set to the "H" level, the internal RAS bar signal e does not become the "H" level (timing t10).

【0058】WEバー信号を“L”レベルにした後、一
度“L”レベルになった出力端fはDelay4(1
6)の分遅れて再び“H”レベルとなる。このとき外部
RASバー信号が“H”レベルであれば、出力端gは
“L”レベルとなり、出力端eの内部RASバー信号e
は“H”レベルになる。
After the WE bar signal has been set to the "L" level, the output terminal f which has once attained the "L" level is applied to Delay4 (1
The signal again goes to the “H” level after a delay of 6). At this time, if the external RAS bar signal is at "H" level, the output terminal g becomes "L" level, and the internal RAS bar signal e at the output terminal e is output.
Becomes "H" level.

【0059】この動作におけるWEバー信号の“L”レ
ベルへの立下りタイミングから内部RASバー信号の立
ち上がりタイミング(WE↓〜内部RAS↑)までの時
間はt12−t11=delay4+インバータ3段分
である。
In this operation, the time from the falling timing of the WE bar signal to the “L” level to the rising timing of the internal RAS bar signal (WE ↓ to internal RAS ↑) is t12−t11 = delay4 + 3 inverters. .

【0060】一方、テストモードの動作波形を示した図
9を参照すると、Delay4(16)によりディレイ
されたWEバー信号によりNAND18の出力は“L”
レベルになり、したがってNAND19の出力端eの内
部RASバー信号eはリセットされる(タイミングt1
5)。
On the other hand, referring to FIG. 9 showing operation waveforms in the test mode, the output of NAND 18 is set to “L” by the WE bar signal delayed by Delay 4 (16).
Level, and the internal RAS bar signal e at the output terminal e of the NAND 19 is reset (at timing t1).
5).

【0061】このときのWEバー信号の“L”レベルへ
の立下りタイミングから内部RASバー信号eの立ち上
がりタイミング(WE↓〜内部RAS↑)までの時間は
t15−t13=delay4(16)+インバータ3
段分である。
At this time, the time from the falling timing of the WE bar signal to the “L” level to the rising timing of the internal RAS bar signal e (WE ↓ to internal RAS ↑) is t15−t13 = delay4 (16) + inverter 3
It is a step.

【0062】このテストモード使用時および通常動作時
のtRWLのWE↓〜内部RAS↑時間を比較すると、
Delay4(16)の時間までは同じ遅延素子を使用
するため全く同一である。その後のインバータ3段分の
時間を、同じ時間か、もしくはテストモード動作時の方
が短い時間になるようにあらかじめ設定する。
When comparing the time WE ↓ to the internal RAS ↑ of tRWL in the test mode and in the normal operation,
Until the time of Delay 4 (16), the same delay element is used, so that it is completely the same. The time for the subsequent three stages of inverters is set in advance so as to be the same time or shorter in the test mode operation.

【0063】全く異なるパスのディレイを同じ時間にす
るのは難しいが、この回路例のようにディレイ素子を通
常動作時およびテストモード時で共通化する場合は、設
計が容易である。このような回路構成により、通常動作
時に外部信号のWE↓〜RAS↑を短くしても、内部R
ASバー信号はテスト時より早いタイミングで“H”レ
ベルになることはない。したがって、テストモード時に
動作が問題なければ、通常動作でのtRWLは保証でき
る。
Although it is difficult to make the delays of completely different paths the same time, it is easy to design when the delay element is shared between the normal operation and the test mode as in this circuit example. With such a circuit configuration, even if the external signals WE ↓ to RAS 外部 are shortened during normal operation, the internal R
The AS bar signal does not become "H" level earlier than the test. Therefore, if there is no problem in the operation in the test mode, tRWL in the normal operation can be guaranteed.

【0064】以上本発明の実施の形態としてDRAMに
ついて説明したが、これに限定されるものではなく、あ
る2信号間のタイミングを規格値以内で動作テストをす
る場合に応用できることは明らかである。
Although a DRAM has been described as an embodiment of the present invention, the present invention is not limited to this, and it is apparent that the present invention can be applied to an operation test in which the timing between certain two signals is within a standard value.

【0065】[0065]

【発明の効果】上述したように本発明の半導体記憶装置
は、テスト時に、第1の外部入力信号(例えば外部RA
Sバー信号)からこの信号よりもパルス幅の狭いテスト
用内部信号(例えば内部RASバー信号)を生成し、こ
のテスト用内部信号により擬似的に所望の動作をさせる
ことにより、第1の外部入力信号のタイミング変化を待
たずに規恪値よりも短い時間で動作させてテスト時間を
短縮するするテスト時間制御手段を有するので、テスト
装置で決まっているWEバー信号の立下りタイミングか
ら外部RASバー信号の立ち上がりタイミング(t3−
t1)よりも短い時間のtRWLでの動作をテストした
い場合に、本発明を適用することでテストを行うことが
できる。
As described above, the semiconductor memory device of the present invention is capable of receiving a first external input signal (for example, an external RA signal) during a test.
By generating a test internal signal (for example, an internal RAS bar signal) having a smaller pulse width than this signal from the (S bar signal) and performing a desired operation in a pseudo manner using the test internal signal, the first external input Since there is a test time control means for shortening the test time by operating in a time shorter than the normal value without waiting for a signal timing change, the external RAS signal is determined from the fall timing of the WE signal determined by the test apparatus. Signal rising timing (t3-
When it is desired to test the operation at tRWL for a shorter time than t1), the test can be performed by applying the present invention.

【0066】また測定したいtRWLのタイミング、W
Eバー信号の立下りタイミングから内部RASバー信号
の立ち上がりタイミング(t2−t1)はディレイ幅を
調節することで、可変とすることが出来る。
The timing of tRWL to be measured, W
The rising timing (t2-t1) of the internal RAS bar signal from the falling timing of the E bar signal can be made variable by adjusting the delay width.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態としてtRWLにつ
いてテストする場合の回路図である。
FIG. 1 is a circuit diagram in a case where a test is performed on tRWL as a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施の形態としてtRWL(W
E↓〜RAS↑)についてテストしたときの波形図であ
る。
FIG. 2 shows tRWL (W
FIG. 9 is a waveform diagram when a test is performed for E ↓ to RAS ↑).

【図3】本発明の第2の実施の形態としてtRPについ
てテストする場合の回路図である。
FIG. 3 is a circuit diagram in a case where a tRP is tested as a second embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態としてtRP(RA
S↑〜RAS↓)についてテストしたときの波形図であ
る。
FIG. 4 shows a second embodiment of the present invention, tRP (RA
FIG. 9 is a waveform diagram when a test is performed for S ↑ to RAS ↓).

【図5】本発明の第3の実施の形態としてテストモード
信号を使用してtRWLのテストする場合の回路図であ
る。
FIG. 5 is a circuit diagram in a case where a test of tRWL is performed using a test mode signal as a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3の実施の形態としてtRWL(W
E↓〜RAS↑)についてテストモード信号を使用して
テストしたときの波形図である。
FIG. 6 shows a third embodiment of the invention, tRWL (W
FIG. 9 is a waveform diagram when a test is performed using a test mode signal for E ↓ to RAS ↑).

【図7】本発明の第4の実施の形態としてテストモード
信号を使用してtRWLのテストする場合の回路図であ
る。
FIG. 7 is a circuit diagram in a case where a test of tRWL is performed using a test mode signal as a fourth embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4の実施の形態としてテストモード
信号を”L”レベルにした通常動作状態のtRWL(W
E↓〜RAS↑)をテストしたときの波形図である。
FIG. 8 shows tRWL (W) in a normal operation state in which a test mode signal is set to “L” level as a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a waveform diagram when E ↓ to RAS ↑) are tested.

【図9】本発明の第4の実施の形態としてテストモード
信号を”H”レベルにしたテストモードのtRWL(W
E↓〜RAS↑)をテストしたときの波形図である。
FIG. 9 shows a test mode tRWL (W) in which a test mode signal is set to “H” level as a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 9 is a waveform diagram when E ↓ to RAS ↑) are tested.

【図10】従来例の一つとしてtRWL(WE↓〜RA
S↑)についてテストしたときの波形図である。
FIG. 10 shows tRWL (WE ↓ to RA) as one of the conventional examples.
It is a waveform diagram at the time of testing about S ^).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,5,7,8,10,15,17 インバータ 2 Delay1 3,6,11,12,13,14,18,19 NA
ND 4 Delay2 9 Delay3 16 Delay4 a,b,d,e 内部RASバー信号
1, 5, 7, 8, 10, 15, 17 Inverter 2 Delay 1 3, 6, 11, 12, 13, 14, 18, 19 NA
ND 4 Delay 2 9 Delay 3 16 Delay 4 a, b, d, e Internal RAS bar signal

Claims (11)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 所定の第1の外部入力信号の変化タイミ
ングと、続いて入力する所定の第2の外部入力信号の変
化タイミングとのタイミング間隔があらかじめ所定値に
規定され、この所定値にしたがって動作するように各種
制御信号が設定された半導体記憶装置において、テスト
時に、前記第1の外部入力信号からこの信号よりもパル
ス幅の狭いテスト用内部信号を生成し、このテスト用内
部信号により内部回路を擬似的に所望動作させることに
よって、前記第1の外部入力信号の前記タイミング変化
を待たずに前記所定値よりも短い時間で動作させてテス
ト時間を短縮するするテスト時間制御手段を有すること
を特徴とする半導体記憶装置。
A timing interval between a predetermined first external input signal change timing and a subsequently input predetermined second external input signal change timing is defined in advance as a predetermined value, and according to the predetermined value, In a semiconductor memory device in which various control signals are set to operate, a test internal signal having a pulse width smaller than that of the first external input signal is generated from the first external input signal during a test. Test time control means for shortening the test time by operating the circuit in a shorter time than the predetermined value without waiting for the timing change of the first external input signal by simulating a desired operation. A semiconductor memory device characterized by the above-mentioned.
【請求項2】 前記テスト時間制御手段における、前記
第1の外部入力信号が半導体記憶装置内部の動作開始お
よび活性化を決定するロウアドレスストローブ(RA
S)バー信号でかつ前記第2の外部入力信号がメモリセ
ルへの書き込みを許可するライトイネーブル(WE)バ
ー信号あり、前記WEバー信号の立ち上がりタイミング
から前記RASバー信号の立下りタイミングまでの前記
所定値に代えて前記WEバー信号の立ち上がりタイミン
グから前記テスト用内部信号の立下りタイミングまでの
タイミング間隔に設定してテストする請求項1記載の半
導体記憶装置。
2. The test time control means according to claim 1, wherein said first external input signal determines a start and activation of an operation inside a semiconductor memory device by a row address strobe (RA).
S) There is a write enable (WE) bar signal that is a bar signal and the second external input signal permits writing to a memory cell, and the write enable (WE) bar signal from the rising timing of the WE bar signal to the falling timing of the RAS bar signal. 2. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein a test is performed by setting a timing interval from a rising timing of the WE bar signal to a falling timing of the test internal signal instead of a predetermined value.
【請求項3】 前記テスト時間制御手段における、前記
第1の外部入力信号がRASバー信号であり、前記RA
Sバー信号の立ち上がりタイミングから立下りタイミン
グまでの前記所定値に代えて前記RASバー信号の立ち
上がりタイミングから前記テスト用内部信号の立下りタ
イミングまでのタイミング間隔に設定してテストする請
求項1記載の半導体記憶装置。
3. The test time control means, wherein the first external input signal is a RAS bar signal,
2. The test according to claim 1, wherein the test is performed by setting a timing interval from a rising timing of the RAS bar signal to a falling timing of the internal signal for testing instead of the predetermined value from the rising timing to the falling timing of the S-bar signal. Semiconductor storage device.
【請求項4】 内部回路に供給される前記RASバー信
号として、テストおよび通常動作時とも前記テスト用内
部信号により動作させる請求項1または2記載の半導体
記憶装置。
4. The semiconductor memory device according to claim 1, wherein the RAS bar signal supplied to an internal circuit is operated by the test internal signal both during a test and during a normal operation.
【請求項5】 前記テスト時間制御手段は、前記RAS
バー信号とこのRASバー信号をあらかじめ定める時間
だけ遅延させた信号の極性反転した信号との論理積で前
記テスト用内部信号を生成する構成とする請求項4記載
の半導体記憶装置。
5. The test time control means includes:
5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein said test internal signal is generated by a logical product of a bar signal and a signal obtained by delaying the RAS bar signal by a predetermined time and having a polarity inverted.
【請求項6】 前記テスト時間制御手段は、前記RAS
バー信号の極性反転信号と前記WEバー信号をあらかじ
め定める時間だけ遅延させた信号との論理積で前記テス
ト用内部信号を生成する構成とする請求項4記載の半導
体記憶装置。
6. The test time control means according to claim 1, wherein
5. The semiconductor memory device according to claim 4, wherein said test internal signal is generated by a logical product of a polarity inversion signal of a bar signal and a signal obtained by delaying said WE bar signal by a predetermined time.
【請求項7】 前記テスト時間制御手段は、前記WEバ
ー信号をあらかじめ定める時間だけ遅延させた信号の極
性反転した信号とテストプログラムで設定するテスト信
号との論理積結果の極性反転信号とを、さらに前記RA
Sバー信号の極性反転信号との論理積をとり、この論理
積で前記テスト用内部信号を生成する構成とする請求項
2記載の半導体記憶装置。
7. The test time control means outputs a logically inverted signal of a logical product of a signal obtained by delaying the WE signal by a predetermined time and a test signal set by a test program, and Further, the RA
3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein a logical product of the S bar signal and a polarity inversion signal is obtained, and the test internal signal is generated by the logical product.
【請求項8】 前記テスト時間制御手段は、前記RAS
バー信号をセット端子に入力するとともに、リセット端
子に前記WEバー信号の極性反転信号および前記WEバ
ー信号をあらかじめ定める時間だけ遅延させた信号を入
力するSRフリップフロップ回路のセット側出力信号
と、前記WEバー信号をあらかじめ定める時間だけ遅延
させた信号の極性反転した信号とテストプログラムで設
定するテスト信号との論理積結果の極性反転信号とを、
さらに論理積をとり、この論理積で前記テスト用内部信
号を生成する構成とする請求項2記載の半導体記憶装
置。
8. The test time control means, wherein
A set-side output signal of an SR flip-flop circuit, which inputs a bar signal to a set terminal, and inputs a polarity inversion signal of the WE bar signal and a signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time to a reset terminal; A signal obtained by ANDing a signal obtained by inverting the polarity of a signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time and a test signal set by a test program,
3. The semiconductor memory device according to claim 2, wherein a logical product is further obtained, and said test internal signal is generated by said logical product.
【請求項9】 前記WEバー信号をあらかじめ定める時
間だけ遅延させた信号の遅延量を可変量とする請求項
5,6,7または8記載の半導体記憶装置。
9. The semiconductor memory device according to claim 5, wherein a delay amount of a signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time is variable.
【請求項10】 内部回路に供給される前記RASバー
信号として、テスト時のみ前記テスト用内部信号により
動作させる請求項7または8記載の半導体記憶装置。
10. The semiconductor memory device according to claim 7, wherein said RAS bar signal supplied to an internal circuit is operated by said test internal signal only during a test.
【請求項11】 前記WEバー信号をあらかじめ定める
時間だけ遅延させた信号の変化タイミングから前記テス
ト用内部信号の立ち上がり変化タイミングまでの時間
は、通常動作時の信号経路の時間とテスト時の信号経路
の時間とが等しいかまたはテスト時の信号経路の時間の
方が短くなるようにトランジスタのサイズをあらかじめ
設定することにより、製造時のプロセス条件変動により
前記遅延量に変動があっても前記所定値を満たすように
動作する請求項8記載の半導体記憶装置。
11. The time from a change timing of a signal obtained by delaying the WE bar signal by a predetermined time to a rise change timing of the internal signal for test is a signal path time in a normal operation and a signal path in a test. By setting the size of the transistor in advance so that the time of the signal path is equal to or shorter than the time of the signal path at the time of the test, even if the delay amount fluctuates due to the process condition fluctuation at the time of manufacture, the predetermined value is obtained. 9. The semiconductor memory device according to claim 8, which operates so as to satisfy the following.
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