JP2000013173A - Surface acoustic wave device - Google Patents

Surface acoustic wave device

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JP2000013173A
JP2000013173A JP10179174A JP17917498A JP2000013173A JP 2000013173 A JP2000013173 A JP 2000013173A JP 10179174 A JP10179174 A JP 10179174A JP 17917498 A JP17917498 A JP 17917498A JP 2000013173 A JP2000013173 A JP 2000013173A
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JP
Japan
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bonding pad
acoustic wave
surface acoustic
wave device
electrically connected
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Osamu Furukawa
修 古川
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Toshiba Corp
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  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface acoustic wave device which does not need external parts at the time of connecting an inductance and whose performance is improved without considerably raising the resistance value of a wiring. SOLUTION: Relating to a surface acoustic wave device, terminals are formed at the side and the back of a package 1 and bonding pad parts 3a, 3b, 3c, 3d, 3e and 3f are given in accordance with the terminals. A bonding pad part 15 which is not connected to any terminal and a bonding pad part 18 which is not electrically connected to others are provided. The bonding pad parts 7 and 3e of a surface acoustic wave element 5 are wire-bonded by a wire 11, bonding pad parts 17 and 15 by a wire 19a, bonding pad parts 15 and 18 by a wire 19b and bonding pad parts 18 and 3b by a wire 19c. Then, they are electrically connected. The wires 19a, 19b and 19c are connected in series and a function as an inductor is given.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、適切なインダクタ
ンスを有する弾性表面波装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave device having an appropriate inductance.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、弾性表面波装置は、性能向上の
ために入力端子および出力端子の少なくともいずれか一
方に直列にインダクタンスを接続する場合がある。
2. Description of the Related Art In general, a surface acoustic wave device may have an inductance connected in series to at least one of an input terminal and an output terminal in order to improve performance.

【0003】そして、従来は、このようなインダクタン
スを接続する方法として、たとえば弾性表面波装置の入
力端子または出力端子に隣接して外付けでインダクタン
スとしてのチップコイルを接続している。
Conventionally, as a method of connecting such an inductance, for example, an external chip coil as an inductance is connected adjacent to an input terminal or an output terminal of a surface acoustic wave device.

【0004】しかしながら、この方法では外付け部品と
なるチップコイルを別に必要とするため、プリント基板
などに弾性表面波装置を実装する場合に、実装面積が大
きくなってしまう。また、多くの場合、必要とされるイ
ンダクタンス値は数nHなのに対して、外付け部品のコ
イルではインダクタンスの値自体が大きすぎてしまい、
困難な調整が必要となる。
However, in this method, since a chip coil as an external component is separately required, a mounting area becomes large when the surface acoustic wave device is mounted on a printed circuit board or the like. Also, in many cases, the required inductance value is several nH, whereas the value of the inductance itself is too large in the external component coil,
Difficult adjustments are required.

【0005】また、他の方法としては、図6ないし図9
に示す弾性表面波装置が知られている。なお、図7ない
し図9は半製品状態を示している。
FIGS. 6 to 9 show another method.
Are known. 7 to 9 show a semi-finished product state.

【0006】この弾性表面波装置は、絶縁性セラミック
スまたはプラスチックなどのパッケージ1を有し、この
パッケージ1の側面および背面にかけて図示しない2つ
の端子と、端子2b,2c,2e,2fが形成されている。ま
た、パッケージ1の表面にはこれら6つの端子2b,2c,
2e,2fに対応してボンディングパッド部3a,3b,3c,3
d,3e,3fがそれぞれの端子2b,2c,2e,2fに電気的に
接続されている。
This surface acoustic wave device has a package 1 made of insulating ceramics or plastic, and two terminals (not shown) and terminals 2b, 2c, 2e and 2f are formed on the side and back of the package 1. I have. On the surface of the package 1, these six terminals 2b, 2c,
Bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3 corresponding to 2e, 2f
d, 3e, 3f are electrically connected to the respective terminals 2b, 2c, 2e, 2f.

【0007】さらに、パッケージ1の表面には、ボンデ
ィングパッド部3a,3b,3c,3d,3e,3fより低い位置に
載置面4が形成され、この載置面4には弾性表面波素子
5と、この弾性表面波素子5に電気的に接続された引き
回し配線のインダクタンス6とが形成されている。ま
た、弾性表面波素子5およびインダクタンス6にはそれ
ぞれボンディングパッド部7,8が電気的に接続されて
形成されている。
Further, on the surface of the package 1, a mounting surface 4 is formed at a position lower than the bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f. And an inductance 6 of a routing wiring electrically connected to the surface acoustic wave element 5. Further, bonding pad portions 7 and 8 are formed so as to be electrically connected to the surface acoustic wave element 5 and the inductance 6, respectively.

【0008】そして、弾性表面波素子5のボンディング
パッド部7とボンディングパッド部3eとはアルミニウム
または金のワイヤ11でワイヤボンディングされており、
インダクタンス6のボンディングパッド部8とボンディ
ングパッド部3bとはワイヤ12でワイヤボンディングさ
れ、それぞれ電気的に接続されている。
The bonding pad 7 and the bonding pad 3e of the surface acoustic wave element 5 are wire-bonded with aluminum or gold wire 11.
The bonding pad portion 8 and the bonding pad portion 3b of the inductance 6 are wire-bonded by wires 12, and are electrically connected to each other.

【0009】このように、インダクタンス6を引き回し
配線で形成すれば、弾性表面波素子5を入れたパッケー
ジ1の大きさが変わらず、また、チップコイルのような
外付け部品を必要としない。
As described above, if the inductance 6 is formed by routing the wiring, the size of the package 1 containing the surface acoustic wave element 5 does not change, and no external component such as a chip coil is required.

【0010】しかしながら、引き回し配線のインダクタ
ンス6は、配線自体の抵抗値を極端に上げてしまい、イ
ンダクタンス6のQを下げてしまう。
[0010] However, the inductance 6 of the routing wiring extremely increases the resistance value of the wiring itself, and lowers the Q of the inductance 6.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】上述のように、インダ
クタを外付けする場合には、外付け部品となるチップコ
イルを別に必要とするため、プリント基板などへの弾性
表面波装置を実装する実装面積が大きくなってしまう。
また、多くの場合、必要とされるインダクタンス値は数
nHなのに対して、外付け部品のコイルではインダクタ
ンスの値自体が大きすぎてしまい、困難な調整が必要と
なる。
As described above, when an inductor is externally mounted, a chip coil to be an external component is separately required, so that a surface acoustic wave device is mounted on a printed circuit board or the like. The area becomes large.
Further, in many cases, the required inductance value is several nH, whereas the value of the inductance itself is too large in the case of a coil of an external component, and a difficult adjustment is required.

【0012】一方、引き回し配線でインダクタンス6を
構成する場合は、配線自体の抵抗値を極端に上げてしま
い、インダクタンス6のQを下げてしまう問題を有して
いる。
On the other hand, when the inductance 6 is formed by the lead wiring, there is a problem that the resistance value of the wiring itself is extremely increased and the Q of the inductance 6 is reduced.

【0013】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、直列にインダクタンスを接続する場合に外付け部品
を必要とせず、配線の抵抗値を極端に上げることなく性
能向上を図った弾性表面波装置を提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and does not require external parts when connecting an inductance in series, and has an elastic surface which improves performance without extremely increasing the resistance value of wiring. It is an object to provide a wave device.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明は、弾性表面波素
子と、端子と、この端子と電気的に接続されるボンディ
ングパッド部と、前記端子と電気的に接続されないボン
ディングパッド部と、前記弾性表面波素子を前記端子と
電気的に接続されないボンディングパッド部を介して前
記端子と電気的に接続されるボンディングパッド部を接
続するワイヤとを具備したものである。
According to the present invention, there is provided a surface acoustic wave device, a terminal, a bonding pad portion electrically connected to the terminal, a bonding pad portion not electrically connected to the terminal, And a wire for connecting a bonding pad portion electrically connected to the terminal via a bonding pad portion not electrically connected to the terminal.

【0015】そして、端子と電気的に接続されないボン
ディングパッド部を介して端子と電気的に接続されるボ
ンディングパッド部をワイヤで接続することにより、こ
のワイヤにインダクタンスの機能を持たせるため、外部
にインダクタを接続する場合に比べて実装面積が大型化
することなく、引き回し配線によりインダクタを形成す
る場合に比べてインダクタのQが低下することも防止で
きる。
By connecting a bonding pad portion electrically connected to the terminal via a bonding pad portion not electrically connected to the terminal with a wire, the wire has an inductance function. The mounting area is not increased as compared with the case where the inductor is connected, and the Q of the inductor can be prevented from being reduced as compared with the case where the inductor is formed by the lead wiring.

【0016】また、弾性表面波素子と、端子と、この端
子と電気的に接続されるボンディングパッド部と、電気
的に接続されていないボンディングパッド部を介して、
電気的に接続されるボンディングパッド部に前記端子と
前記弾性表面波素子を接続するワイヤとを具備したもの
である。
In addition, a surface acoustic wave element, a terminal, a bonding pad portion electrically connected to the terminal, and a bonding pad portion that is not electrically connected,
The bonding pad portion electrically connected includes the terminal and a wire connecting the surface acoustic wave element.

【0017】そして、電気的に接続されないボンディン
グパッド部を介して端子と電気的に接続されるボンディ
ングパッド部をワイヤで接続することにより、ボンディ
ングパッド部を新たに形成することなく既存のものを利
用し、ワイヤにインダクタンスの機能を持たせるため、
外部にインダクタを接続する場合に比べて実装面積が大
型化することなく、引き回し配線によりインダクタを形
成する場合に比べてインダクタのQが低下することも防
止できる。
[0017] By connecting the bonding pad portion electrically connected to the terminal via a bonding pad portion that is not electrically connected with a wire, an existing one can be used without newly forming a bonding pad portion. To make the wire have an inductance function,
It is possible to prevent the mounting area from being increased as compared with the case where an inductor is connected to the outside, and to prevent the Q of the inductor from being reduced as compared with the case where the inductor is formed by the routing wiring.

【0018】さらに、端子にはインダクタが接続される
もので、外部にインダクタを接続することによりより大
きなインダクタにも対応する。
Further, since an inductor is connected to the terminal, a larger inductor can be accommodated by connecting the inductor to the outside.

【0019】またさらに、ボンディングパッド部は、印
刷形成されたもので、形成が簡単である。
Furthermore, the bonding pad portion is formed by printing, and is easy to form.

【0020】また、ボンディングパッド部は、溝にてそ
れぞれ電気的に絶縁されているもので、溝により沿面距
離を長くして絶縁を確実にする。
The bonding pad portions are electrically insulated by the grooves, and the creepage distance is increased by the grooves to ensure insulation.

【0021】さらに、端子と電気的に接続されないボン
ディングパッド部は、複数形成され、これら端子と電気
的に接続されないボンディングパッド部はワイヤにて順
次直列に接続されるもので、ワイヤの数、すなわち全体
の長さを異ならせることにより任意の値のインダクタと
なる。
Further, a plurality of bonding pad portions that are not electrically connected to the terminals are formed, and the bonding pad portions that are not electrically connected to the terminals are sequentially connected in series by wires. By making the overall length different, an inductor having an arbitrary value is obtained.

【0022】また、ワイヤは、アルミニウムワイヤおよ
び金ワイヤのいずれかであるもので、抵抗値を必要以上
に大きくすることなく、加工性が容易である。
The wire is either an aluminum wire or a gold wire, and the workability is easy without increasing the resistance value more than necessary.

【0023】さらに、ワイヤは、直径20μmないし4
0μmであるもので、強度と、抵抗およびインダクタの
値とをそれぞれ適切に設定しやすい。
Further, the wire has a diameter of 20 μm to 4 μm.
Since it is 0 μm, it is easy to appropriately set the strength and the values of the resistance and the inductor.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下、本発明の弾性表面波装置の
一実施の形態を図面を参照して説明する。なお、図6な
いし図9に示す従来例に対応する部分には、同一符号を
付して説明し、図2ないし図5は半製品状態を示してい
る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention will be described below with reference to the drawings. Parts corresponding to the conventional example shown in FIGS. 6 to 9 are denoted by the same reference numerals and described, and FIGS. 2 to 5 show semi-finished products.

【0025】この弾性表面波装置は、絶縁性セラミック
スまたはプラスチックなどのパッケージ1を有し、この
パッケージ1の側面および背面にかけて6つの端子2a,
2b,2c,2d,2e,2fが形成されている。また、パッケー
ジ1の表面にはこれら6つの端子2a,2b,2c,2d,2e,
2fに対応してボンディングパッド部3a,3b,3c,3d,3
e,3fがそれぞれの端子2a,2b,2c,2d,2e,2fに電気
的に接続され、ボンディングパッド部3aの一部にいずれ
の端子2a,2b,2c,2d,2e,2fにも接続されないボンデ
ィングパッド部15が形成されている。なお、ボンディン
グパッド部3a,3b,3c,3d,3e,3f,15はスクリーン印
刷法などで形成されてそれぞれ溝16にて分離され、隣り
合うボンディングパッド部3a,3b,3c,3d,3e,3f,15
と電気的に絶縁されている。
This surface acoustic wave device has a package 1 made of insulating ceramics or plastic, and has six terminals 2a,
2b, 2c, 2d, 2e and 2f are formed. On the surface of the package 1, these six terminals 2a, 2b, 2c, 2d, 2e,
2f, the bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3d, 3
e, 3f are electrically connected to the respective terminals 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f, and connected to any of the terminals 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f at a part of the bonding pad portion 3a. An unbonded bonding pad portion 15 is formed. The bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 15 are formed by a screen printing method or the like, and are separated by grooves 16, respectively, so that adjacent bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 15
And are electrically insulated.

【0026】さらに、パッケージ1の表面には、ボンデ
ィングパッド部3a,3b,3c,3d,3e,3fより低い位置に
載置面4が形成され、この載置面4には弾性表面波素子
5が形成されている。また、弾性表面波素子5にはそれ
ぞれボンディングパッド部7,17が電気的に接続されて
形成されるとともに、他のものとは電気的に接続されて
いないボンディングパッド部18が形成されている。
Further, on the surface of the package 1, a mounting surface 4 is formed at a position lower than the bonding pad portions 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f. Are formed. The surface acoustic wave element 5 is formed with bonding pads 7 and 17 electrically connected thereto, respectively, and also formed with a bonding pad 18 not electrically connected to other components.

【0027】そして、弾性表面波素子5のボンディング
パッド部7とボンディングパッド部3eとは直径20μm
ないし40μmのアルミニウムまたは金のワイヤ11でワ
イヤボンディングされており、ボンディングパッド部17
とボンディングパッド部15とはワイヤ19a でワイヤボン
ディングされ、ボンディングパッド部15とボンディング
パッド部18とはワイヤ19b でワイヤボンディングされ、
ボンディングパッド部18とボンディングパッド部3bとは
ワイヤ19c でワイヤボンディングされ、それぞれ電気的
に接続されている。なお、ワイヤ19a ,19b ,19c は直
列的に接続されてインダクタとしての機能を有してい
る。
The bonding pad 7 and the bonding pad 3e of the surface acoustic wave element 5 have a diameter of 20 μm.
To 40 μm aluminum or gold wire 11 and bonding pad portion 17
And the bonding pad portion 15 are wire-bonded with a wire 19a, the bonding pad portion 15 and the bonding pad portion 18 are wire-bonded with a wire 19b,
The bonding pad section 18 and the bonding pad section 3b are wire-bonded by wires 19c, and are electrically connected to each other. The wires 19a, 19b, and 19c are connected in series and have a function as an inductor.

【0028】また、パッケージ1は図示しない蓋にて閉
塞される。
The package 1 is closed with a lid (not shown).

【0029】このように、ワイヤ19a ,19b ,19c にイ
ンダクタとしての機能を持たせることにより、チップコ
イルなどの外付け部品を特に必要とせず、配線の抵抗値
を極端に上げることないとともに外形寸法を大きくする
ことなく、性能向上を図れる。なお、必要に応じて外付
け部品を接続してもよい。また、ワイヤの全体の長さを
伸長することにより、インダクタも任意の値に設定可能
である。
As described above, by providing the wires 19a, 19b, and 19c with a function as an inductor, external components such as a chip coil are not particularly required, the resistance value of the wiring is not extremely increased, and the external dimensions are reduced. Performance can be improved without increasing. In addition, you may connect an external component as needed. Also, by extending the entire length of the wire, the inductor can be set to any value.

【0030】また、パッケージ1は6端子のものについ
て説明したが、6端子以外のものでもよい。
Although the package 1 has been described as having six terminals, the package 1 may have other terminals.

【0031】さらに、電気的に接続されていないボンデ
ィングパッド部15は、ひとつに限らず複数個設け、それ
ぞれワイヤで接続するようにしてもよい。また、ボンデ
ィングパッド部15を中継点として、端子などと電気的に
接続されていない金属部分を使用し、中継点としてボン
ディングパッド部で他と電気的に接続されていないボン
ディングパッド部を使用してもよく、引き回し配線の場
合のように抵抗値の増加によるインダクタンスのQの低
下を招くことがない。また、外付け部品のコイルを必要
としないため、外形寸法を大きくすることもない。
Further, the number of the bonding pad portions 15 not electrically connected is not limited to one, and a plurality of bonding pad portions 15 may be provided and connected by wires. In addition, a bonding pad portion 15 is used as a relay point, a metal portion that is not electrically connected to a terminal or the like is used, and a bonding pad portion that is not electrically connected to another is used as a relay point. Also, unlike the case of the lead-out wiring, the Q of the inductance does not decrease due to the increase in the resistance value. Further, since no external component coil is required, the external dimensions are not increased.

【0032】[0032]

【発明の効果】本発明によれば、外付け部品を特に必要
とせず、配線の抵抗値を極端に上げることなく性能向上
を図ることができる。
According to the present invention, it is possible to improve the performance without particularly requiring external parts and without increasing the resistance value of the wiring extremely.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の弾性表面波装置の一実施の形態を示す
平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a surface acoustic wave device according to the present invention.

【図2】同上弾性表面波装置の半製品の状態を示す平面
図である。
FIG. 2 is a plan view showing a state of a semi-finished product of the surface acoustic wave device.

【図3】同上図2に示す弾性表面波装置のIII −III 断
面図である。
FIG. 3 is a sectional view of the surface acoustic wave device shown in FIG. 2 taken along the line III-III.

【図4】同上図2に示す弾性表面波装置のIV−IV断面図
である。
4 is a sectional view of the surface acoustic wave device shown in FIG. 2 taken along the line IV-IV.

【図5】同上図2に示す弾性表面波装置のV−V断面図
である。
FIG. 5 is a sectional view taken along line VV of the surface acoustic wave device shown in FIG. 2;

【図6】従来例の弾性表面波装置を示す平面図である。FIG. 6 is a plan view showing a conventional surface acoustic wave device.

【図7】同上弾性表面波装置の半製品の状態を示す平面
図である。
FIG. 7 is a plan view showing a state of a semi-finished product of the surface acoustic wave device.

【図8】同上図7に示す弾性表面波装置のVIII−VIII断
面図である。
FIG. 8 is a sectional view taken along line VIII-VIII of the surface acoustic wave device shown in FIG. 7;

【図9】同上図7に示す弾性表面波装置のIX−IX断面図
である。
9 is a cross-sectional view of the surface acoustic wave device shown in FIG. 7 taken along the line IX-IX.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2a,2b,2c,2d,2e,2f 端子 3a,3b,3c,3d,3e,3f,15 ボンディングパッド部 5 弾性表面波素子 16 溝 19a ,19b ,19c ワイヤ 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f Terminal 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 15 Bonding pad part 5 Surface acoustic wave element 16 Groove 19a, 19b, 19c Wire

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 弾性表面波素子と、 端子と、 この端子と電気的に接続されるボンディングパッド部
と、 前記端子と電気的に接続されないボンディングパッド部
と、 前記弾性表面波素子を前記端子と電気的に接続されない
ボンディングパッド部を介して前記端子と電気的に接続
されるボンディングパッド部を接続するワイヤとを具備
したことを特徴とする弾性表面波装置。
1. A surface acoustic wave device, a terminal, a bonding pad portion electrically connected to the terminal, a bonding pad portion not electrically connected to the terminal, and the surface acoustic wave device being connected to the terminal. A surface acoustic wave device comprising: a wire that connects a bonding pad portion that is electrically connected to the terminal via a bonding pad portion that is not electrically connected.
【請求項2】 弾性表面波素子と、 端子と、 この端子と電気的に接続されるボンディングパッド部
と、 電気的に接続されていないボンディングパッド部を介し
て、電気的に接続されるボンディングパッド部に前記端
子と前記弾性表面波素子を接続するワイヤとを具備した
ことを特徴とする弾性表面波装置。
2. A bonding pad electrically connected to a surface acoustic wave element, a terminal, a bonding pad portion electrically connected to the terminal, and a bonding pad portion not electrically connected to the terminal. A surface acoustic wave device, comprising: a wire connecting the terminal to the surface acoustic wave element.
【請求項3】 端子にはインダクタが接続されることを
特徴とする請求項1または2記載の弾性表面波装置。
3. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein an inductor is connected to the terminal.
【請求項4】 ボンディングパッド部は、印刷形成され
たことを特徴とする請求項1ないし3いずれか記載の弾
性表面波装置。
4. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the bonding pad portion is formed by printing.
【請求項5】 ボンディングパッド部は、溝にてそれぞ
れ電気的に絶縁されていることを特徴とする請求項1な
いし4いずれか記載の弾性表面波装置。
5. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein each of the bonding pad portions is electrically insulated by a groove.
【請求項6】 端子と電気的に接続されないボンディン
グパッド部は、複数形成され、これら端子と電気的に接
続されないボンディングパッド部はワイヤにて順次直列
に接続されることを特徴とする請求項1ないし5いずれ
か記載の弾性表面波装置。
6. The bonding pad section which is not electrically connected to the terminal is formed in a plurality, and the bonding pad sections which are not electrically connected to the terminal are sequentially connected in series by wires. A surface acoustic wave device according to any one of claims 5 to 5.
【請求項7】 ワイヤは、アルミニウムワイヤおよび金
ワイヤのいずれかであることを特徴とする請求項1ない
し6いずれか記載の弾性表面波装置。
7. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the wire is one of an aluminum wire and a gold wire.
【請求項8】 ワイヤは、直径20μmないし40μm
であることを特徴とする請求項1ないし7いずれか記載
の弾性表面波装置。
8. The wire has a diameter of 20 μm to 40 μm.
The surface acoustic wave device according to any one of claims 1 to 7, wherein
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Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4025257A1 (en) * 1990-08-09 1992-02-13 Bio Pack Verpackungs Gmbh Co Shock-absorbing wrapping cushioning material - has cushion filled with finely pulverised straw balls coated with hygroscopic material
JP2003218668A (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Oki Electric Ind Co Ltd Polarization type surface acoustic wave filter

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE4025257A1 (en) * 1990-08-09 1992-02-13 Bio Pack Verpackungs Gmbh Co Shock-absorbing wrapping cushioning material - has cushion filled with finely pulverised straw balls coated with hygroscopic material
JP2003218668A (en) * 2002-01-22 2003-07-31 Oki Electric Ind Co Ltd Polarization type surface acoustic wave filter

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