JP2000012284A - Plasma arc generating device - Google Patents

Plasma arc generating device

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JP2000012284A
JP2000012284A JP10178430A JP17843098A JP2000012284A JP 2000012284 A JP2000012284 A JP 2000012284A JP 10178430 A JP10178430 A JP 10178430A JP 17843098 A JP17843098 A JP 17843098A JP 2000012284 A JP2000012284 A JP 2000012284A
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Japan
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gas
electrode
arc
heating chamber
negative electrode
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JP10178430A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiko Mitsuda
正彦 満田
Shigeyoshi Tagashira
成能 田頭
Takeshi Oda
剛 織田
Hiroyuki Ban
浩之 伴
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Kobe Steel Ltd
Original Assignee
Kobe Steel Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shield a negative electrode from an oxygen component by a shield gas with sufficient reliability. SOLUTION: Argon gas and an air containing oxygen component are supplied from one negative electrode 3 side situated in the upstream of these gases toward the other positive electrode situated in the downstream thereof in this order, heated by the arc generated between both the electrodes with flowing in a state of rotating an arc heating chamber 5 provided between both the electrodes, and taken out from the other electrode side. The feeding speed Ua of the argon gas is set higher than the feeding speed Ub of the air, and the feeding area length Lb of the argon gas is set 3 times or more the protruding length La to the arc-heating chamber 5 of the negative electrode 3.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電気アークにより
ガスを加熱して超高温のガスを生成するプラズマアーク
発生装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a plasma arc generator for generating an ultra-high temperature gas by heating a gas with an electric arc.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プラズマアーク発生装置は、図9
に示すように、ガスおよびアーク56を流通させるアー
ク加熱室52を備えたアーク保持部53の両端部に陽電
極50および陰電極54のプラズマアーク用電極をそれ
ぞれ配置し、陰電極54側から酸素や窒素等のガスを旋
回状に送り込む。そして、ガスの旋回によりアーク加熱
室52の内周側を外周側よりも低圧にすることによっ
て、両電極50・54間にアーク56を安定に生じさ
せ、アーク加熱室52を流動するガスをアーク56によ
り超高温に加熱して陽電極50側から排出させる構成に
されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a plasma arc generator is shown in FIG.
As shown in FIG. 3, plasma arc electrodes of a positive electrode 50 and a negative electrode 54 are arranged at both ends of an arc holding portion 53 provided with an arc heating chamber 52 through which a gas and an arc 56 flow. And gas such as nitrogen are sent in a swirling shape. By turning the inner circumference of the arc heating chamber 52 to a lower pressure than the outer circumference by turning the gas, an arc 56 is stably generated between the electrodes 50 and 54, and the gas flowing through the arc heating chamber 52 is discharged by the arc. A configuration is adopted in which the material is heated to an extremely high temperature by 56 and discharged from the positive electrode 50 side.

【0003】また、プラズマアーク発生装置は、電極5
4の寿命を長くして稼働率を高めるため、陰電極54が
高温下で優れた耐腐食性を有するタングステンにより形
成されている。さらに、プラズマアーク発生装置は、タ
ングステンが酸化すると、耐腐食性が低下するため、ガ
スを導入する際の酸素成分で陰電極54が酸化しないよ
うに、窒素ガスやアルゴンガス等の不活性ガス(シール
ドガス)と酸素成分を含む酸化性ガスとを陰電極54側
からこの順に流入させ、陰電極54を不活性ガス(シー
ルドガス)で覆って酸素成分から遮蔽する構成にされて
いる。
[0003] The plasma arc generator includes an electrode 5
The cathode 54 is formed of tungsten having excellent corrosion resistance at high temperatures in order to prolong the life of the device 4 and increase the operation rate. Furthermore, since the plasma arc generator reduces the corrosion resistance when tungsten is oxidized, an inert gas such as a nitrogen gas or an argon gas is used to prevent the cathode 54 from being oxidized by an oxygen component when the gas is introduced. A shield gas) and an oxidizing gas containing an oxygen component are caused to flow in this order from the negative electrode 54 side, and the negative electrode 54 is covered with an inert gas (shield gas) to shield from the oxygen component.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成では、不活性ガス(シールドガス)が旋回状に
流入されることにより内周側の圧力が低下すると、圧力
の低下の程度によっては酸素成分のガスが逆流して陰電
極54に到達することがあるため、遮蔽の信頼性が低い
という問題がある。
However, in the above-described conventional configuration, when the pressure on the inner peripheral side is reduced by the inert gas (shielding gas) flowing in a swirl shape, the oxygen may be reduced depending on the degree of the pressure reduction. Since the component gas may flow backward and reach the negative electrode 54, there is a problem that the reliability of shielding is low.

【0005】特に、航空宇宙分野での大気圏再突入試験
において超高温の空気を使用する場合のように、加熱さ
れたガス成分を所定成分に調整する必要がある場合に
は、不活性ガス(シールドガス)の流入量が少ないほど
調整を正確に行うことができるが、不活性ガス(シール
ドガス)の流入量が少ないと、上述の内周側の圧力の低
下が顕著となり、遮蔽の信頼性が極めて低いものにな
る。尚、加熱対象が空気である場合には、空気中に多量
に含まれる窒素ガスをシールドガスとして用いることに
よって、大量のシールドガスにより内周側の圧力低下を
低減することができる。ところが、この場合には、窒素
と酸素とが適正に混合された状態で得られない可能性が
あるという問題が発生する。従って、この場合であって
も、シールドガスはできるだけ少ない流入量であること
が望ましい。
[0005] In particular, when it is necessary to adjust a heated gas component to a predetermined component, such as when using ultra-high temperature air in a re-entry test in the aerospace field, an inert gas (shielding) is used. The smaller the inflow of gas (gas), the more accurate the adjustment can be made. However, if the amount of inflow of the inert gas (shield gas) is small, the above-mentioned decrease in the pressure on the inner peripheral side becomes remarkable, and the reliability of shielding is reduced. It will be extremely low. When the object to be heated is air, the nitrogen gas contained in the air in a large amount is used as the shielding gas, so that a large amount of the shielding gas can reduce the pressure drop on the inner peripheral side. However, in this case, there is a problem that nitrogen and oxygen may not be obtained in a properly mixed state. Therefore, even in this case, it is desirable that the shielding gas has an inflow amount as small as possible.

【0006】そこで、本発明は、シールドガスにより陰
電極54を酸素成分から十分な信頼性でもって遮蔽する
ことができるプラズマアーク発生装置を提供しようとす
るものである。
Accordingly, the present invention aims to provide a plasma arc generator capable of shielding the negative electrode 54 from the oxygen component with sufficient reliability by using a shielding gas.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1の発明は、不活性ガスからなるシールドガ
スと酸素成分を含む酸化性ガスとを一方の電極側から他
方の電極側にかけてこの順に供給し、これら電極間に設
けられたアーク加熱室を旋回状態で流動させながら、両
電極間に生成されたアークにより加熱して他方の電極側
から取り出すプラズマアーク発生装置であって、前記シ
ールドガスの供給速度が前記酸化性ガスの供給速度以上
に設定されていると共に、前記シールドガスの供給領域
の長さが前記一方の電極のアーク加熱室への突出長の3
倍以上に設定されていることを特徴としている。
In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is directed to a method in which a shielding gas comprising an inert gas and an oxidizing gas containing an oxygen component are supplied from one electrode side to the other electrode side. A plasma arc generator that is heated by an arc generated between the two electrodes and taken out from the other electrode side while flowing the arc heating chamber provided between the electrodes in a swirling state, The supply speed of the shield gas is set to be equal to or higher than the supply speed of the oxidizing gas, and the length of the supply region of the shield gas is 3 of the length of the one electrode protruding into the arc heating chamber.
It is characterized by being set to more than twice.

【0008】上記の構成によれば、シールドガスの旋回
により内周側の圧力が低下することによって、シールド
ガスよりも下流側に供給された酸化性ガスの酸素成分が
上流側の一方の電極方向に逆流した場合であっても、酸
素成分が上流側の電極にまでは到達しないため、電極に
対して酸素成分を確実に遮蔽することができる。
According to the above configuration, the pressure on the inner peripheral side decreases due to the swirling of the shield gas, so that the oxygen component of the oxidizing gas supplied to the downstream side of the shield gas is reduced toward the one electrode on the upstream side. Even if the gas flows backward, the oxygen component does not reach the electrode on the upstream side, so that the oxygen component can be reliably shielded from the electrode.

【0009】請求項2の発明は、請求項1記載のプラズ
マアーク発生装置であって、前記アーク加熱室は、前記
シールドガスの供給領域の一部箇所の断面積が他の部分
の断面積よりも小さくなるように形成されていることを
特徴としている。
According to a second aspect of the present invention, there is provided the plasma arc generating apparatus according to the first aspect, wherein the arc heating chamber has a cross-sectional area of a part of a supply region of the shield gas which is larger than a cross-sectional area of another part. Is also formed to be small.

【0010】上記の構成によれば、シールドガスが旋回
しながら流動する際に、供給領域における断面積の小さ
な部分で内周側に集合することによって、この部分にお
いてはシールドガスの内周側の圧力が上昇する。従っ
て、シールドガスの旋回により内周側の圧力が低下する
ことによって、酸化性ガスの酸素成分が上流側の一方の
電極方向に逆流した場合であっても、圧力が上昇した断
面積の小さな部分で酸素成分を確実に遮蔽することがで
きる。
According to the above arrangement, when the shield gas flows while swirling, it gathers on the inner peripheral side in a portion having a small cross-sectional area in the supply area, so that in this portion, the shield gas on the inner peripheral side of the shield gas flows. Pressure rises. Therefore, even when the oxygen component of the oxidizing gas flows backward in the direction of one electrode on the upstream side due to the decrease in the pressure on the inner peripheral side due to the turning of the shield gas, the portion where the pressure increases and the cross sectional area is small Thus, the oxygen component can be reliably shielded.

【0011】請求項3の発明は、請求項1または2記載
のプラズマアーク発生装置であって、前記一方の電極の
表面に沿わせながら前記シールドガスをアーク加熱室に
噴出させる電極表面流動手段を有していることを特徴と
している。上記の構成によれば、電極の表面に沿ってシ
ールドガスを流動させることによって、コアンダ効果に
より一層確実に電極に対する酸素成分の遮蔽を行うこと
ができる。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the plasma arc generator according to the first or second aspect, wherein the electrode surface flow means for ejecting the shield gas to the arc heating chamber along the surface of the one electrode. It is characterized by having. According to the above configuration, by flowing the shield gas along the surface of the electrode, the oxygen component can be more reliably shielded from the electrode by the Coanda effect.

【0012】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれか1項に記載のプラズマアーク発生装置であって、
前記一方の電極は、内部から表面に前記シールドガスを
噴出させるように形成されていることを特徴としてい
る。上記の構成によれば、電極の内部から表面に噴出し
たシールドガスによって、電極方向に進行する酸素成分
を押し戻すことができるため、一層確実に電極に対する
酸素成分の遮蔽を行うことができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the plasma arc generator according to any one of the first to third aspects,
The one electrode is formed so as to eject the shield gas from the inside to the surface. According to the above configuration, the oxygen component traveling toward the electrode can be pushed back by the shield gas ejected from the inside of the electrode to the surface, so that the oxygen component can be more reliably shielded from the electrode.

【0013】[0013]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図1ないし
図8に基づいて以下に説明する。本実施の形態に係るプ
ラズマアーク発生装置は、タングステン製の陰電極を有
した陰電極部と、ガスおよびアークを流通させるアーク
加熱室を備えたアーク保持部と、タングステン製の陽電
極を有した陽電極部とを直列状態に連結した構成にされ
ている。尚、各電極は、高温下で優れた耐腐食性を有し
ていれば、タングステン以外の材質で形成されていても
良い。そして、アーク保持部は、熱損失やアークの安定
化等を考慮し、可能な限り小さな内径に設定されてい
る。また、陽電極部は、上述の陽電極を環状に形成し、
陽電極の周囲に磁界発生部材を配置した構成にされてお
り、ローレンツ力によりアークを陽電極に沿って周回移
動させるようになっている(図9参照)。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. The plasma arc generator according to the present embodiment has a negative electrode portion having a negative electrode made of tungsten, an arc holding portion provided with an arc heating chamber for flowing gas and an arc, and a positive electrode made of tungsten. The positive electrode unit is connected in series. Each electrode may be formed of a material other than tungsten as long as it has excellent corrosion resistance at high temperatures. The arc holding portion is set to the smallest possible inner diameter in consideration of heat loss, arc stabilization, and the like. In addition, the positive electrode part is formed by forming the above-mentioned positive electrode in a ring shape,
The magnetic field generating member is arranged around the positive electrode, and the arc is moved around the positive electrode by Lorentz force (see FIG. 9).

【0014】一方、図1に示すように、陰電極部1は、
円盤形状に形成された電極ブロック2を有している。電
極ブロック2の内部には、冷却水路2aが形成されてお
り、冷却水路2aには、図示しない冷却水供給系から冷
却水が供給されるようになっている。また、電極ブロッ
ク2の中心部には、上述のタングステン製の陰電極3が
設けられている。陰電極3は、電極ブロック2の中心部
を貫設された円筒形状の柱状部3aと、柱状部3aのア
ーク加熱室5側の一端部から外周方向に形成された外周
支持部3bと、柱状部3aの一端面からアーク加熱室5
内に突設されたアーク生成部3cとを有している。
On the other hand, as shown in FIG.
It has an electrode block 2 formed in a disk shape. A cooling water passage 2a is formed inside the electrode block 2, and cooling water is supplied to the cooling water passage 2a from a cooling water supply system (not shown). At the center of the electrode block 2, the above-described negative electrode 3 made of tungsten is provided. The negative electrode 3 has a cylindrical columnar portion 3a penetrating through the center of the electrode block 2, an outer peripheral support portion 3b formed in an outer peripheral direction from one end of the columnar portion 3a on the side of the arc heating chamber 5, and a columnar portion. Arc heating chamber 5 from one end face of section 3a
And an arc generating unit 3c protruding from the inside.

【0015】また、電極ブロック2の側面には、円筒形
状のアーク保持部4が電気的に絶縁された状態で接合さ
れている。アーク保持部4は、環状に形成された多数の
コンストリクタ6の集合体からなっている。隣接するコ
ンストリクタ6・6間には、Oリング7が介装されてお
り、Oリング7は、アーク保持部4内のアーク加熱室5
と装置外部とを気密状態に遮断している。また、コンス
トリクタ6・6間には、ガスインジェクションリング8
がOリング7の内周側(アーク加熱室5側)に介装され
ている。ガスインジェクションリング8には、図2
(a)に示すように、外周面から内周面にかけて連通さ
れた複数の連通穴8aが形成されており、これらの連通
穴8aは、半径方向に対して同方向に傾斜されることに
よりガスをコンストリクタ6の内壁面に沿って噴出させ
るようになっている。
A cylindrical arc holding portion 4 is joined to the side surface of the electrode block 2 in a state of being electrically insulated. The arc holding part 4 is composed of an aggregate of a number of constrictors 6 formed in an annular shape. An O-ring 7 is interposed between the adjacent restrictors 6. The O-ring 7 is connected to the arc heating chamber 5 in the arc holding unit 4.
And the outside of the device are sealed in an airtight state. In addition, a gas injection ring 8 is provided between the restrictors 6.
Are provided on the inner peripheral side of the O-ring 7 (on the side of the arc heating chamber 5). As shown in FIG.
As shown in (a), a plurality of communication holes 8a communicating from the outer peripheral surface to the inner peripheral surface are formed, and these communication holes 8a are inclined in the same direction with respect to the radial direction so that the gas flows. Is ejected along the inner wall surface of the constrictor 6.

【0016】また、図1に示すように、各コンストリク
タ6には、ガス供給路6aおよび冷却水路6bが外周側
および内周側にそれぞれ形成されている。冷却水路6b
は、図示しない冷却水供給系に接続されており、冷却水
供給系からの冷却水が流動することによって、アーク加
熱時におけるコンストリクタ6の過熱を防止するように
なっている。一方、ガス供給路6aは、コンストリクタ
6の外周面からガスインジェクションリング8およびO
リング7間の壁面にかけて連通されている。各ガス供給
路6aには、アルゴンガス(シールドガス)を供給する
シールドガス供給系および空気を供給する空気供給系の
うちの何れか一方のガス供給系が接続されている。尚、
シールドガス供給系は、窒素ガス等の他の不活性ガスを
シールドガスとして供給するようになっていても良い。
また、空気供給系は、酸素成分を含む酸化性ガスの代表
例として空気を供給するようになっているが、空気以外
の含有率で酸素成分を含む酸化性ガスを供給するガス供
給系に置き換えることができる。
As shown in FIG. 1, a gas supply passage 6a and a cooling water passage 6b are formed in each of the constrictors 6 on the outer peripheral side and the inner peripheral side, respectively. Cooling channel 6b
Are connected to a cooling water supply system (not shown), and the cooling water from the cooling water supply system flows to prevent overheating of the constrictor 6 during arc heating. On the other hand, the gas supply path 6a is connected to the gas injection ring 8 and the O.O.
It is communicated to the wall between the rings 7. Each gas supply path 6a is connected to one of a shield gas supply system for supplying an argon gas (shield gas) and an air supply system for supplying air. still,
The shield gas supply system may supply another inert gas such as nitrogen gas as a shield gas.
The air supply system supplies air as a representative example of an oxidizing gas containing an oxygen component, but is replaced with a gas supply system that supplies an oxidizing gas containing an oxygen component at a content other than air. be able to.

【0017】上記のシールドガス供給系は、陰電極3の
一端面からの距離をシールドガスの供給領域長Lbとし
たとき、陰電極3におけるアーク生成部3cの突出長L
aに対して3倍以上のシールドガスの供給領域長Lbに
存在するコンストリクタ6のガス供給路6aに接続され
ている。一方、空気供給系は、シールドガス供給領域を
除いた下流側領域に存在するコンストリクタ6のガス供
給路6aに接続されている。これにより、アーク加熱室
5のシールドガス供給領域には、シールドガス供給系か
らのアルゴンガスがガス供給路6aおよびガスインジェ
クションリング8を介して旋回状態で供給される一方、
下流側領域には、空気供給系からの空気が旋回状態で供
給されるようになっている。
In the above shield gas supply system, when the distance from one end surface of the cathode 3 is defined as the supply region length Lb of the shield gas, the projection length L of the arc generating portion 3c in the cathode 3 is set.
The shield gas is connected to the gas supply path 6a of the restrictor 6 which is at least three times as long as the shield gas supply area Lb. On the other hand, the air supply system is connected to a gas supply path 6a of the restrictor 6 existing in a downstream area excluding the shield gas supply area. Thereby, the shield gas supply region of the arc heating chamber 5 is supplied with the argon gas from the shield gas supply system in a swirling state via the gas supply path 6a and the gas injection ring 8, while
The downstream area is supplied with air from the air supply system in a swirling state.

【0018】また、シールドガス供給系および空気供給
系は、アーク加熱室5内に流入するときのアルゴンガス
のシールドガス供給速度Ua(m/s)が空気供給速度
Ub(m/s)以上となるように、アルゴンガスおよび
空気の供給圧力や供給量が制御されている。
The shield gas supply system and the air supply system are arranged such that the argon gas shield gas supply speed Ua (m / s) when flowing into the arc heating chamber 5 is equal to or higher than the air supply speed Ub (m / s). Thus, the supply pressure and supply amount of the argon gas and the air are controlled.

【0019】上記の構成において、プラズマアーク発生
装置の動作について説明する。先ず、電極ブロック2の
冷却水路2aおよびコンストリクタ6のガス供給路6a
に冷却水が供給されることによって、電極ブロック2お
よびコンストリクタ6が冷却される。この後、プラズマ
アーク発生装置のアーク加熱室5が真空状態に減圧され
た後、アルゴンガス供給系および空気供給系からアルゴ
ンガスおよび空気が各コンストリクタ6のガス導入口4
aにそれぞれ供給される。
The operation of the plasma arc generator in the above configuration will be described. First, the cooling water passage 2a of the electrode block 2 and the gas supply passage 6a of the restrictor 6
Is supplied with cooling water, thereby cooling the electrode block 2 and the constrictor 6. Thereafter, the pressure in the arc heating chamber 5 of the plasma arc generator is reduced to a vacuum state, and then argon gas and air are supplied from the argon gas supply system and the air supply system to the gas inlet 4 of each of the constrictors 6.
a.

【0020】各ガス供給路6aに供給されたアルゴンガ
スおよび空気は、ガス供給路6aからコンストリクタ6
・6とOリング7とガスインジェクションリング8とで
囲まれた空間部に流動し、図2(a)のガスインジェク
ションリング8の連通穴8aを介してアーク加熱室5に
流入する。この際、各連通穴8aは、半径方向に対して
同方向に傾斜して形成されている。従って、アルゴンガ
スおよび空気は、傾斜された連通穴8aの形成方向に噴
出することによって、アーク加熱室5(コンストリクタ
6)の内壁面に沿って流動する。そして、アーク加熱室
5において旋回状態に流動しながら下流側に進行するこ
とによって、アーク加熱室5の内周側が外周側よりも圧
力が低下した状態にされる。
The argon gas and air supplied to each gas supply path 6a are supplied from the gas supply path 6a to the restrictor 6a.
Flows into a space surrounded by 6, the O-ring 7, and the gas injection ring 8, and flows into the arc heating chamber 5 through the communication hole 8a of the gas injection ring 8 in FIG. At this time, each communication hole 8a is formed to be inclined in the same direction with respect to the radial direction. Therefore, the argon gas and the air flow along the inner wall surface of the arc heating chamber 5 (the constrictor 6) by jetting in the direction in which the inclined communication hole 8a is formed. Then, by proceeding to the downstream side while flowing in a swirling state in the arc heating chamber 5, the pressure on the inner peripheral side of the arc heating chamber 5 becomes lower than that on the outer peripheral side.

【0021】次に、図示しないアーク電源装置が作動さ
れ、陰電極3および陽電極間に所定の電圧が印加される
ことによって、アークが生成される。アークは、アーク
加熱室5の低圧の内周側を安定して進行し、アーク加熱
室5を旋回しながら流動するアルゴンガスおよび空気を
加熱する。そして、これらのアルゴンガスおよび空気
は、超高温のガスとして排出され、各種の試験および実
験に使用される。
Next, an arc power supply device (not shown) is operated, and a predetermined voltage is applied between the negative electrode 3 and the positive electrode to generate an arc. The arc proceeds stably on the low-pressure inner peripheral side of the arc heating chamber 5 and heats the flowing argon gas and air while rotating in the arc heating chamber 5. Then, these argon gas and air are discharged as an ultra-high temperature gas and used for various tests and experiments.

【0022】ところで、アルゴンガスによるシールドガ
ス供給領域の圧力が空気による下流側領域の圧力よりも
低い場合には、下流側領域の空気がシールドガスの供給
領域に逆流し、陰電極3方向に移動する。そして、移動
量が大きい場合には、図3に示すように、空気が陰電極
3に到達し、空気中の酸素成分により陰電極3を酸化さ
せる。これにより、陰電極3は、高温時における陰電極
3の耐腐食性が低下するため、アーク放電に適した使用
が短時間で困難になる。
When the pressure of the shield gas supply region by the argon gas is lower than the pressure of the downstream region by the air, the air in the downstream region flows back to the shield gas supply region and moves in the negative electrode 3 direction. I do. When the movement amount is large, as shown in FIG. 3, the air reaches the cathode 3, and the cathode 3 is oxidized by the oxygen component in the air. As a result, the negative electrode 3 has a reduced corrosion resistance at a high temperature, so that it is difficult to use the negative electrode 3 suitable for arc discharge in a short time.

【0023】ところが、本実施形態においては、アーク
加熱室5内に流入するときのアルゴンガスのシールドガ
ス供給速度Ua(m/s)が空気供給速度Ub(m/
s)以上となるように、アルゴンガスおよび空気の供給
圧力や供給量が制御されている(第1条件)。さらに、
シールドガス供給領域がアーク生成部3cの突出長La
に対して3倍以上に設定されている(第2条件)。従っ
て、これら第1条件および第2条件を満足しているた
め、図2(b)に示すように、空気が陰電極3方向に逆
流した場合でも、逆流の移動量が陰電極3に到達する程
度に至らない。これにより、陰電極3は、空気の酸素成
分で酸化されることなくタングステンの状態を維持する
ため、長時間の使用が可能になる。
However, in the present embodiment, the shield gas supply speed Ua (m / s) of the argon gas when flowing into the arc heating chamber 5 is equal to the air supply speed Ub (m / s).
s) As described above, the supply pressure and the supply amount of the argon gas and the air are controlled (first condition). further,
The shield gas supply area is the protrusion length La of the arc generating unit 3c.
Is set to be three times or more (second condition). Therefore, since the first condition and the second condition are satisfied, even if the air flows backward in the direction of the negative electrode 3, the moving amount of the backward flow reaches the negative electrode 3 as shown in FIG. Not much. Thereby, the cathode 3 maintains the state of tungsten without being oxidized by the oxygen component of the air, so that it can be used for a long time.

【0024】次に、上記の第1条件および第2条件を満
足するように構成すれば、空気が逆流しても陰電極3に
到達しないことを実験により確認した。
Next, it was confirmed by experiments that if the first condition and the second condition were satisfied, the air would not reach the negative electrode 3 even if the air flowed backward.

【0025】即ち、アーク生成部3cの突出長Laを1
5mm、シールドガスの供給領域長Lbを50mmに設
定したプラズマアーク発生装置を作成した。そして、シ
ールドガス供給速度Ua(m/s)と空気供給速度Ub
(m/s)との速度比率(Ub/Ua)を変更しなが
ら、アーク加熱を実施したときの陰電極3のエロージョ
ンレート(腐食率)を測定した。尚、アーク加熱室5の
圧力を4atmに設定した。
That is, the protrusion length La of the arc generation unit 3c is set to 1
A plasma arc generator was prepared in which the length Lb of the shield gas was set at 5 mm and the supply region length Lb of the shield gas was set at 50 mm. Then, the shield gas supply speed Ua (m / s) and the air supply speed Ub
While changing the speed ratio (Ub / Ua) with respect to (m / s), the erosion rate (corrosion rate) of the negative electrode 3 when performing the arc heating was measured. In addition, the pressure of the arc heating chamber 5 was set to 4 atm.

【0026】この結果、図4に示すように、シールドガ
ス供給速度Uaを10(m/s)とし、空気供給速度U
bを40(m/s)としたときのエロージョンレート
は、1.2(μg/c)であり、シールドガス供給速度
Uaを40(m/s)とし、空気供給速度Ubを40
(m/s)としたときのエロージョンレートは、0.0
3(μg/c)である関係を示すことが判明した。
As a result, as shown in FIG. 4, the shield gas supply speed Ua is set to 10 (m / s), and the air supply speed Ua
The erosion rate when b is 40 (m / s) is 1.2 (μg / c), the shield gas supply speed Ua is 40 (m / s), and the air supply speed Ub is 40 (m / s).
(M / s), the erosion rate is 0.0
3 (μg / c).

【0027】また、アーク加熱室5の圧力を1.2at
mに設定し、シールドガス供給速度Uaを53.3(m
/s)、空気供給速度Ubを32.7(m/s)とした
ときのエロージョンレートを測定したところ、0.00
04(μg/c)であることが判明した。さらに、アー
ク加熱室5の圧力を2.3atmに設定し、シールドガ
ス供給速度Uaを11.6(m/s)、空気供給速度U
bを17.1(m/s)としたときのエロージョンレー
トを測定したところ、0.007(μg/c)であるこ
とが判明した。
The pressure of the arc heating chamber 5 is set at 1.2 at.
m, and the shield gas supply speed Ua is 53.3 (m
/ S), and the erosion rate when the air supply speed Ub was 32.7 (m / s) was measured.
04 (μg / c). Further, the pressure of the arc heating chamber 5 is set to 2.3 atm, the shield gas supply speed Ua is 11.6 (m / s), and the air supply speed U
When the erosion rate when b was set to 17.1 (m / s) was measured, it was found to be 0.007 (μg / c).

【0028】これにより、上記の関係によれば、シール
ドガスの供給領域長Lbがアーク生成部3cの突出長L
aの3倍以上である第1条件と、シールドガス供給速度
Uaが空気供給速度Ub以上である第2条件とを満足す
るようにプラズマアーク発生装置を構成すれば、陰電極
3を酸素成分から確実に遮断し、陰電極3の寿命を延ば
すことが可能になることが確認された。
Thus, according to the above relationship, the supply region length Lb of the shield gas is equal to the protrusion length L of the arc generating portion 3c.
If the plasma arc generator is configured so as to satisfy the first condition that is three times or more a and the second condition that the shield gas supply speed Ua is equal to or more than the air supply speed Ub, the negative electrode 3 is converted from the oxygen component. It was confirmed that it was possible to reliably shut off and extend the life of the negative electrode 3.

【0029】以上のように、本実施形態のプラズマアー
ク発生装置は、図1に示すように、アルゴンガスや窒素
ガス等の不活性ガスからなるシールドガスと酸素成分を
含む空気等の酸化性ガスとを、これらガスの上流側に位
置する一方の電極(陰電極3)側から下流側に位置する
他方の電極(陽電極)側にかけてこの順に供給し、これ
ら電極間に設けられたアーク加熱室5を旋回状態で流動
させながら、両電極間に生成されたアークにより加熱し
て他方の電極側から取り出すものであって、シールドガ
スの供給速度Uaが酸化性ガスの供給速度Ub以上に設
定されていると共に、シールドガスの供給領域長Lbが
一方の電極(陰電極3)のアーク加熱室への突出長La
の3倍以上に設定された構成にされている。
As described above, the plasma arc generator of the present embodiment, as shown in FIG. 1, uses a shield gas made of an inert gas such as an argon gas or a nitrogen gas and an oxidizing gas such as air containing an oxygen component. Are supplied in this order from one electrode (negative electrode 3) located on the upstream side to the other electrode (positive electrode) located on the downstream side, and an arc heating chamber provided between the electrodes. 5 is heated by an arc generated between the two electrodes and taken out from the other electrode side while flowing in a swirling state. The supply speed Ua of the shield gas is set to be equal to or higher than the supply speed Ub of the oxidizing gas. And the length Lb of the supply region of the shielding gas is such that the protruding length La of the one electrode (negative electrode 3) into the arc heating chamber is set.
Is set to be three times or more.

【0030】上記の構成によれば、シールドガスの旋回
により内周側の圧力が低下することによって、シールド
ガスよりも下流側に供給された酸化性ガスの酸素成分が
上流側の電極方向に逆流した場合であっても、酸素成分
が上流側の一方の電極(陰電極3)にまでは到達しない
ため、この電極(陰電極3)に対して酸素成分を確実に
遮蔽することができる。
According to the above configuration, the pressure on the inner peripheral side decreases due to the swirling of the shield gas, so that the oxygen component of the oxidizing gas supplied downstream of the shield gas flows backward in the direction of the upstream electrode. Even in this case, since the oxygen component does not reach one electrode (negative electrode 3) on the upstream side, the oxygen component can be reliably shielded from this electrode (negative electrode 3).

【0031】尚、本実施形態においては、同一形状のコ
ンストリクタ6を集合することによりアーク保持部4を
構成することによって、上流側から下流側にかけて同一
径(同一断面積)のアーク加熱室5とされているが、こ
れに限定されるものではなく、図5に示すように、シー
ルドガス供給領域の一部箇所の内径(断面積)が他の部
分の内径(断面積)よりも小さくされたアーク加熱室5
とされていても良い。
In this embodiment, the arc holding portion 4 is formed by assembling the constrictors 6 having the same shape, so that the arc heating chambers 5 having the same diameter (the same cross-sectional area) from the upstream side to the downstream side. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 5, the inner diameter (cross-sectional area) of a part of the shield gas supply region is made smaller than the inner diameter (cross-sectional area) of the other part. Arc heating room 5
It may be.

【0032】即ち、シールドガス供給領には、陰電極3
のアーク生成部3cの先端部から下流側位置に小径コン
ストリクタ20が配置されている。小径コンストリクタ
20は、下流側領域等に配置された通常のコンストリク
タ6の内径よりも小さな内径に設定されている。また、
小径コンストリクタ20の両側に配置されたコンストリ
クタ6の内周面は、小径コンストリクタ20側の一端部
から他端部にかけて径を拡大させるように傾斜されてい
る。これにより、アルゴンガスがアーク加熱室5に供給
されると、アルゴンガスが下流側に流動する際に、断面
積の小さな小径コンストリクタ20の部分で内周方向に
集合し、圧力を増大させる。そして、この圧力の増大に
より空気の逆流を阻止できることによって、陰電極3の
酸化を一層確実に防止することができる。
That is, the negative electrode 3 is provided in the shield gas supply area.
The small-diameter restrictor 20 is disposed at a position downstream from the tip of the arc generator 3c. The small-diameter constrictor 20 is set to have an inner diameter smaller than the inner diameter of a normal constrictor 6 arranged in a downstream region or the like. Also,
The inner peripheral surface of the constrictor 6 disposed on both sides of the small-diameter constrictor 20 is inclined so as to increase the diameter from one end to the other end on the small-diameter constrictor 20 side. Thus, when the argon gas is supplied to the arc heating chamber 5, when the argon gas flows downstream, it is gathered in the inner circumferential direction at the small diameter constrictor 20 having a small cross-sectional area, and the pressure is increased. Since the backflow of air can be prevented by the increase in the pressure, the oxidation of the negative electrode 3 can be more reliably prevented.

【0033】また、本実施形態においては、図6に示す
ように、アルゴンガスがコンストリクタ6・6間から噴
出されるように構成されているが、さらに、陰電極3側
からアルゴンガスが噴出されるように構成されていても
良い。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 6, the argon gas is ejected from between the constrainers 6, 6, and further, the argon gas is ejected from the cathode 3 side. May be configured to be performed.

【0034】即ち、プラズマアーク発生装置は、柱状の
陰電極21と、陰電極21を支持すると共に、陰電極2
1との間でガス流路22を形成する電極支持体23とを
電極ブロック2に貫設した構成の電極表面流動機構を有
することによって、ガス流路22を介してアルゴンガス
を陰電極21の表面に沿って流動させるようになってい
ても良い。そして、この構成であれば、アルゴンガスが
コアンダ効果により陰電極21の表面から剥離せずにア
ーク加熱室5に流入するため、陰電極3と酸素成分とを
十分に遮蔽し、陰電極21の酸化を一層十分に防止する
ことができる。
That is, the plasma arc generator supports the columnar negative electrode 21, the negative electrode 21, and the negative electrode 2.
1 and an electrode support 23 that forms a gas flow path 22 between the electrode block 2 and the electrode surface flow mechanism, so that argon gas is supplied to the negative electrode 21 through the gas flow path 22. You may make it flow along a surface. With this configuration, the argon gas flows into the arc heating chamber 5 without being separated from the surface of the negative electrode 21 by the Coanda effect, so that the negative electrode 3 and the oxygen component are sufficiently shielded, and Oxidation can be more sufficiently prevented.

【0035】また、プラズマアーク発生装置は、陰電極
3が内部から表面にアルゴンガスを噴出させるように形
成されていても良い。即ち、陰電極3は、図7に示すよ
うに、陰電極3の軸心方向に貫通孔3dを形成し、この
貫通孔3dを介して陰電極3の先端部からアルゴンガス
を噴出させるように構成されていても良い。そして、こ
の構成であれば、アーク加熱室5の内周側に貫通孔3d
を介してアルゴンガスを供給することができるため、陰
電極3方向に進行する酸素成分をアルゴンガスで押し戻
すことができると共に、内周側の圧力の低下を防止して
酸素成分の逆流を確実に防止することができる。
In the plasma arc generator, the cathode 3 may be formed so that argon gas is ejected from the inside to the surface. That is, as shown in FIG. 7, the cathode 3 has a through hole 3d formed in the axial direction of the cathode 3, and an argon gas is ejected from the tip of the cathode 3 through the through hole 3d. It may be configured. With this configuration, the through hole 3 d is formed in the inner peripheral side of the arc heating chamber 5.
Since the argon gas can be supplied through the anode, the oxygen component traveling in the direction of the negative electrode 3 can be pushed back by the argon gas, and the back pressure of the oxygen component can be surely prevented by preventing the pressure on the inner peripheral side from lowering. Can be prevented.

【0036】また、陰電極3は、図8に示すように、陰
電極3を連続気孔からなる多孔体で形成し、陰電極3の
表面からアルゴンガスを噴出させるように構成されてい
ても良い。そして、この構成であれば、陰電極3方向に
進行する酸素成分をアルゴンガスで押し戻すことができ
るため、陰電極3の酸化を確実に防止することができ
る。
As shown in FIG. 8, the negative electrode 3 may be formed by forming the negative electrode 3 by a porous body having continuous pores and ejecting an argon gas from the surface of the negative electrode 3. . With this configuration, the oxygen component traveling in the negative electrode 3 direction can be pushed back by the argon gas, so that the oxidation of the negative electrode 3 can be reliably prevented.

【0037】[0037]

【発明の効果】請求項1の発明は、不活性ガスからなる
シールドガスと酸素成分を含む酸化性ガスとを一方の電
極側から他方の電極側にかけてこの順に供給し、これら
電極間に設けられたアーク加熱室を旋回状態で流動させ
ながら、両電極間に生成されたアークにより加熱して他
方の電極側から取り出すプラズマアーク発生装置であっ
て、前記シールドガスの供給速度が前記酸化性ガスの供
給速度以上に設定されていると共に、前記シールドガス
の供給領域の長さが前記一方の電極のアーク加熱室への
突出長の3倍以上に設定されている構成である。
According to the first aspect of the present invention, a shield gas composed of an inert gas and an oxidizing gas containing an oxygen component are supplied in this order from one electrode side to the other electrode side, and are provided between these electrodes. A plasma arc generator that is heated by an arc generated between the two electrodes and taken out from the other electrode side while flowing the arc heating chamber in a swirling state, wherein the supply rate of the shielding gas is The supply speed is set to be higher than or equal to the supply speed, and the length of the supply region of the shield gas is set to be at least three times the length of the one electrode protruding into the arc heating chamber.

【0038】上記の構成によれば、シールドガスの旋回
により内周側の圧力が低下することによって、シールド
ガスよりも下流側に供給された酸化性ガスの酸素成分が
上流側の一方の電極方向に逆流した場合であっても、酸
素成分が上流側の電極にまでは到達しないため、電極に
対して酸素成分を確実に遮蔽することができるという効
果を奏する。
According to the above configuration, the pressure on the inner peripheral side is reduced by the swirling of the shield gas, so that the oxygen component of the oxidizing gas supplied to the downstream side of the shield gas is reduced toward the one electrode on the upstream side. Even if the gas flows backward, the oxygen component does not reach the electrode on the upstream side, so that the oxygen component can be reliably shielded from the electrode.

【0039】請求項2の発明は、請求項1記載のプラズ
マアーク発生装置であって、前記アーク加熱室は、前記
シールドガスの供給領域の一部箇所の断面積が他の部分
の断面積よりも小さくなるように形成されている構成で
ある。
According to a second aspect of the present invention, in the plasma arc generator according to the first aspect, the arc heating chamber has a cross-sectional area of a portion of the shield gas supply region that is larger than a cross-sectional area of another portion. Is also configured to be small.

【0040】上記の構成によれば、シールドガスが旋回
しながら流動する際に、供給領域における断面積の小さ
な部分で内周側に集合することによって、この部分にお
いてはシールドガスの内周側の圧力が上昇する。従っ
て、シールドガスの旋回により内周側の圧力が低下する
ことによって、酸化性ガスの酸素成分が上流側の一方の
電極方向に逆流した場合であっても、圧力が上昇した断
面積の小さな部分で酸素成分を確実に遮蔽することがで
きるという効果を奏する。
According to the above configuration, when the shield gas flows while swirling, it gathers on the inner peripheral side in a portion having a small cross-sectional area in the supply area, and in this portion, the inner portion of the shield gas on the inner peripheral side of the shield gas flows. Pressure rises. Therefore, even when the oxygen component of the oxidizing gas flows backward in the direction of one electrode on the upstream side due to the decrease in the pressure on the inner peripheral side due to the turning of the shield gas, the portion where the pressure increases and the cross sectional area is small Thus, there is an effect that the oxygen component can be surely shielded.

【0041】請求項3の発明は、請求項1または2記載
のプラズマアーク発生装置であって、前記一方の電極の
表面に沿わせながら前記シールドガスをアーク加熱室に
噴出させる電極表面流動手段を有している構成である。
上記の構成によれば、電極の表面に沿ってシールドガス
を流動させることによって、コアンダ効果により一層確
実に電極に対する酸素成分の遮蔽を行うことができると
いう効果を奏する。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the plasma arc generator according to the first or second aspect, wherein the electrode surface flow means for jetting the shield gas into the arc heating chamber while following the surface of the one electrode. It is a configuration having
According to the above configuration, by flowing the shield gas along the surface of the electrode, there is an effect that the oxygen component can be more reliably shielded from the electrode by the Coanda effect.

【0042】請求項4の発明は、請求項1ないし3のい
ずれか1項に記載のプラズマアーク発生装置であって、
前記一方の電極は、内部から表面に前記シールドガスを
噴出させるように形成されている構成である。上記の構
成によれば、電極の内部から表面に噴出したシールドガ
スによって、電極方向に進行する酸素成分を押し戻すこ
とができるため、一層確実に電極に対する酸素成分の遮
蔽を行うことができるという効果を奏する。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the plasma arc generator according to any one of the first to third aspects,
The one electrode is formed so as to eject the shield gas from the inside to the surface. According to the above configuration, since the oxygen component traveling in the direction of the electrode can be pushed back by the shield gas ejected to the surface from the inside of the electrode, the effect that the oxygen component can be more reliably shielded from the electrode can be obtained. Play.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】プラズマアーク発生装置の要部拡大断面図であ
る。
FIG. 1 is an enlarged sectional view of a main part of a plasma arc generator.

【図2】アーク加熱室におけるガスの流動状態を示す説
明図であり、(a)は側面視した説明図、(b)は正面
視した説明図である。
FIGS. 2A and 2B are explanatory diagrams showing a gas flowing state in an arc heating chamber, wherein FIG. 2A is an explanatory diagram viewed from a side, and FIG.

【図3】アーク加熱室におけるガスの流動状態を示す説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a flow state of gas in an arc heating chamber.

【図4】エロージョンレートと速度比率(Ub/Ua)
との関係を示すグラフである。
Fig. 4 Erosion rate and speed ratio (Ub / Ua)
6 is a graph showing a relationship with the graph.

【図5】プラズマアーク発生装置の要部拡大断面図であ
る。
FIG. 5 is an enlarged sectional view of a main part of the plasma arc generator.

【図6】プラズマアーク発生装置の要部拡大断面図であ
る。
FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part of the plasma arc generator.

【図7】ガスの流動状態を示す説明図である。FIG. 7 is an explanatory diagram showing a flow state of gas.

【図8】ガスの流動状態を示す説明図である。FIG. 8 is an explanatory diagram showing a flow state of gas.

【図9】従来のプラズマアーク発生装置の一部を省略し
て示す概略構成図である。
FIG. 9 is a schematic configuration diagram showing a part of a conventional plasma arc generating apparatus with a part omitted.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 陰電極部 2 電極ブロック 3 陰電極 3a 柱状部 3b 外周支持部 3c アーク生成部 3d 貫通孔 4 アーク保持部 5 アーク加熱室 6 コンストリクタ 7 Oリング 8 ガスインジェクションリング 20 小径コンストリクタ 21 陰電極 22 ガス流路 23 電極支持体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Negative electrode part 2 Electrode block 3 Negative electrode 3a Column part 3b Peripheral support part 3c Arc generation part 3d Through hole 4 Arc holding part 5 Arc heating chamber 6 Contractor 7 O-ring 8 Gas injection ring 20 Small diameter restrictor 21 Negative electrode 22 Gas flow path 23 Electrode support

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 織田 剛 兵庫県神戸市西区高塚台1丁目5番5号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 伴 浩之 兵庫県高砂市荒井町新浜2丁目3番1号 株式会社神戸製鋼所高砂製作所内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Takeshi Oda 1-5-5 Takatsukadai, Nishi-ku, Kobe City, Hyogo Prefecture Inside Kobe Research Institute, Kobe Steel Co., Ltd. 2-3-1 in Kobe Steel, Ltd. Takasago Works

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 不活性ガスからなるシールドガスと酸素
成分を含む酸化性ガスとを一方の電極側から他方の電極
側にかけてこの順に供給し、これら電極間に設けられた
アーク加熱室を旋回状態で流動させながら、両電極間に
生成されたアークにより加熱して他方の電極側から取り
出すプラズマアーク発生装置であって、 前記シールドガスの供給速度が前記酸化性ガスの供給速
度以上に設定されていると共に、前記シールドガスの供
給領域の長さが前記一方の電極のアーク加熱室への突出
長の3倍以上に設定されていることを特徴とするプラズ
マアーク発生装置。
1. A shield gas comprising an inert gas and an oxidizing gas containing an oxygen component are supplied in this order from one electrode side to the other electrode side, and an arc heating chamber provided between these electrodes is swirled. A plasma arc generator heated by an arc generated between the two electrodes and taken out from the other electrode side while flowing at a rate of supply of the shield gas equal to or higher than the supply rate of the oxidizing gas. And a length of the shield gas supply region is set to be three times or more a length of the one electrode protruding into the arc heating chamber.
【請求項2】 前記アーク加熱室は、前記シールドガス
の供給領域の一部箇所の断面積が他の部分の断面積より
も小さくなるように形成されていることを特徴とする請
求項1記載のプラズマアーク発生装置。
2. The arc heating chamber according to claim 1, wherein a sectional area of a part of the supply region of the shield gas is smaller than a sectional area of another part. Plasma arc generator.
【請求項3】 前記一方の電極の表面に沿わせながら前
記シールドガスをアーク加熱室に噴出させる電極表面流
動手段を有していることを特徴とする請求項1または2
記載のプラズマアーク発生装置。
3. An electrode surface flowing means for injecting the shielding gas into an arc heating chamber along the surface of the one electrode.
The plasma arc generator according to any one of the preceding claims.
【請求項4】 前記一方の電極は、内部から表面に前記
シールドガスを噴出させるように形成されていることを
特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のプ
ラズマアーク発生装置。
4. The plasma arc generator according to claim 1, wherein said one electrode is formed so as to jet the shielding gas from the inside to the surface.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013071028A (en) * 2011-09-26 2013-04-22 Tocalo Co Ltd Plasma thermal spray apparatus with acceleration nozzle
JP2015513764A (en) * 2012-02-28 2015-05-14 スルザー メトコ (ユーエス) インコーポレーテッド Extended cascade plasma gun

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