JP2000009528A - 超音波槽内の干渉波分布測定方法およびその測定装置 - Google Patents
超音波槽内の干渉波分布測定方法およびその測定装置Info
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- JP2000009528A JP2000009528A JP10174378A JP17437898A JP2000009528A JP 2000009528 A JP2000009528 A JP 2000009528A JP 10174378 A JP10174378 A JP 10174378A JP 17437898 A JP17437898 A JP 17437898A JP 2000009528 A JP2000009528 A JP 2000009528A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 超音波槽内の干渉波の分布測定を容易にし、
作業性および再現性に優れる方法および装置を提供する
こと。 【解決手段】 一対の基板間に強誘電性液晶または反強
誘電性液晶を狭持した液晶パネルを、超音波が発生して
いる超音波槽内の液体中に浸漬することによって、超音
波槽内の干渉波分布を測定する。
作業性および再現性に優れる方法および装置を提供する
こと。 【解決手段】 一対の基板間に強誘電性液晶または反強
誘電性液晶を狭持した液晶パネルを、超音波が発生して
いる超音波槽内の液体中に浸漬することによって、超音
波槽内の干渉波分布を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はメッキや塗装工程で
行われる基板の前処理、あるいは半導体製造時に行われ
る洗浄工程などで使用される超音波洗浄装置に使用され
る技術であり、詳しくは超音波洗浄装置における超音波
槽内の干渉波の分布を測定する方法および測定装置に関
するものである。
行われる基板の前処理、あるいは半導体製造時に行われ
る洗浄工程などで使用される超音波洗浄装置に使用され
る技術であり、詳しくは超音波洗浄装置における超音波
槽内の干渉波の分布を測定する方法および測定装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般にメッキや塗装工程、あるいは半導
体製造工程等においては、基板を超音波洗浄装置を用い
て洗浄することが行われている。超音波洗浄装置では、
媒質中に超音波を発生させ、洗浄対象物の表面に付着し
た汚染物を除去させている。この超音波を発生させた超
音波槽内の干渉波の強弱が洗浄効果に大きく影響してお
り、洗浄を効率的に行うためには、干渉波の分布を測定
することが必要とされている。
体製造工程等においては、基板を超音波洗浄装置を用い
て洗浄することが行われている。超音波洗浄装置では、
媒質中に超音波を発生させ、洗浄対象物の表面に付着し
た汚染物を除去させている。この超音波を発生させた超
音波槽内の干渉波の強弱が洗浄効果に大きく影響してお
り、洗浄を効率的に行うためには、干渉波の分布を測定
することが必要とされている。
【０００３】超音波槽内における干渉波の分布を測定す
ることは、槽内の媒質、たとえば液体の種類や量によっ
て変化するため、非常に困難である。従来の干渉波の分
布を測定する方法としては、棒状の干渉計やアルミ箔穿
孔法などが一般に知られているが、いずれの方法におい
てもそれぞれ問題点を有していた。
ることは、槽内の媒質、たとえば液体の種類や量によっ
て変化するため、非常に困難である。従来の干渉波の分
布を測定する方法としては、棒状の干渉計やアルミ箔穿
孔法などが一般に知られているが、いずれの方法におい
てもそれぞれ問題点を有していた。
【０００４】このアルミ箔穿孔法とは、ワイヤなどの方
形枠にごく薄いアルミ箔を張り付け、これを超音波槽内
の液体に浸漬する方法である。超音波の振動エネルギー
によって、部分的にアルミ箔が穿孔し、この穿孔の分布
によって超音波の分布を測定する。
形枠にごく薄いアルミ箔を張り付け、これを超音波槽内
の液体に浸漬する方法である。超音波の振動エネルギー
によって、部分的にアルミ箔が穿孔し、この穿孔の分布
によって超音波の分布を測定する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た棒状の干渉計においては、超音波槽内の干渉波を線方
向においてしか測定できず、面方向での評価は困難であ
った。またアルミ箔穿孔法においては、アルミ箔がある
一定の強度で穿孔してしまい、穿孔の有無のみで干渉波
の強度を検知するために、強度の度合いを定量的に知る
ことが困難であった。またアルミ箔の厚さは１０〜２０
μｍと、かなり薄いためにアルミ箔の取り扱いに関して
は慎重にならざるおえず、さらにアルミ箔の穿孔が媒質
の干渉度合いに必ずしも対応していなかったり、破断さ
れたアルミ片が干渉波に影響を及ぼすこと等も懸念さ
れ、作業性および再現性に問題点を有していた。
た棒状の干渉計においては、超音波槽内の干渉波を線方
向においてしか測定できず、面方向での評価は困難であ
った。またアルミ箔穿孔法においては、アルミ箔がある
一定の強度で穿孔してしまい、穿孔の有無のみで干渉波
の強度を検知するために、強度の度合いを定量的に知る
ことが困難であった。またアルミ箔の厚さは１０〜２０
μｍと、かなり薄いためにアルミ箔の取り扱いに関して
は慎重にならざるおえず、さらにアルミ箔の穿孔が媒質
の干渉度合いに必ずしも対応していなかったり、破断さ
れたアルミ片が干渉波に影響を及ぼすこと等も懸念さ
れ、作業性および再現性に問題点を有していた。
【０００６】本発明は前述した従来の方法における問題
点を解決し、超音波槽内の干渉波の分布測定を容易に
し、作業性および再現性に優れる方法および装置を提供
することにある。
点を解決し、超音波槽内の干渉波の分布測定を容易に
し、作業性および再現性に優れる方法および装置を提供
することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は一対の基板間に
強誘電性液晶または反強誘電性液晶を狭持した液晶パネ
ルを、超音波が発生している超音波槽内の液体中に浸漬
することによって、超音波槽内の干渉波分布を測定する
ものである。
強誘電性液晶または反強誘電性液晶を狭持した液晶パネ
ルを、超音波が発生している超音波槽内の液体中に浸漬
することによって、超音波槽内の干渉波分布を測定する
ものである。
【０００８】また、本発明の装置は一対の基板間に強誘
電性液晶または反強誘電性液晶を狭持した液晶パネル
と、この液晶パネルを超音波が発生している超音波層内
の液体中に浸漬する手段と、液晶パネル面の配向分布を
読みとる手段とを有するものである。
電性液晶または反強誘電性液晶を狭持した液晶パネル
と、この液晶パネルを超音波が発生している超音波層内
の液体中に浸漬する手段と、液晶パネル面の配向分布を
読みとる手段とを有するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】一般に強誘電性液晶分子または反
強誘電性液晶分子は自発分極を持ち、これら液晶分子を
ある距離に保った一対の基板間に狭持させると、液晶分
子の長軸方向が揃い、基板間に液晶分子の層を形成する
ことが知られている。この液晶分子の層は振動などの外
的要因に非常に敏感で、局所的に外力を加えると、容易
にその領域の層構造が変化する。つまり液晶分子が一定
の方向を向いている状態、いわゆる配向状態に乱れが生
ずるのである。
強誘電性液晶分子は自発分極を持ち、これら液晶分子を
ある距離に保った一対の基板間に狭持させると、液晶分
子の長軸方向が揃い、基板間に液晶分子の層を形成する
ことが知られている。この液晶分子の層は振動などの外
的要因に非常に敏感で、局所的に外力を加えると、容易
にその領域の層構造が変化する。つまり液晶分子が一定
の方向を向いている状態、いわゆる配向状態に乱れが生
ずるのである。
【００１０】そこで一対の基板間に強誘電性液晶または
反強誘電性液晶を狭持させた液晶パネルを作成し、これ
を超音波槽内の媒質中に浸漬する。すると液晶パネル内
の液晶分子は超音波の干渉波の影響を受け、局所的に配
向状態の変化がみられる。よって、浸漬前後の液晶パネ
ルの配向状態を観察することで、超音波槽内の干渉波の
強弱やうねりの状態を面方向で知ることが出来る。
反強誘電性液晶を狭持させた液晶パネルを作成し、これ
を超音波槽内の媒質中に浸漬する。すると液晶パネル内
の液晶分子は超音波の干渉波の影響を受け、局所的に配
向状態の変化がみられる。よって、浸漬前後の液晶パネ
ルの配向状態を観察することで、超音波槽内の干渉波の
強弱やうねりの状態を面方向で知ることが出来る。
【００１１】本発明で使用される液晶パネルは電気的な
制御を必要としないので、電極等を形成する必要はな
く、その構成はいたってシンプルである。また、超音波
槽内に浸漬した使用後の液晶パネルであっても、等方性
処理を加えることによって、液晶分子の配向を再度揃
え、容易に浸漬前の状態に戻すことができる。つまり同
一の液晶パネルを何度でも使用することが可能であり、
作業性、再現性に優れている。
制御を必要としないので、電極等を形成する必要はな
く、その構成はいたってシンプルである。また、超音波
槽内に浸漬した使用後の液晶パネルであっても、等方性
処理を加えることによって、液晶分子の配向を再度揃
え、容易に浸漬前の状態に戻すことができる。つまり同
一の液晶パネルを何度でも使用することが可能であり、
作業性、再現性に優れている。
【００１２】また液晶パネルの配向状態を定量化すれ
ば、超音波槽内の干渉波の強度を面方向で知ることがで
きる。
ば、超音波槽内の干渉波の強度を面方向で知ることがで
きる。
【００１３】液晶パネルは任意の大きさで作成できるの
で、実際に超音波槽内で使用される対象物の大きさに合
わせて作成すれば、超音波洗浄される対象物と同等の影
響を測定でき、より信頼性の高い測定結果を得ることが
可能である。その際、対象物と一緒に超音波槽へ入れる
ことも可能なので、洗浄ラインの管理等の目的に好適で
ある。
で、実際に超音波槽内で使用される対象物の大きさに合
わせて作成すれば、超音波洗浄される対象物と同等の影
響を測定でき、より信頼性の高い測定結果を得ることが
可能である。その際、対象物と一緒に超音波槽へ入れる
ことも可能なので、洗浄ラインの管理等の目的に好適で
ある。
【００１４】
【実施例】液晶パネルは一般的な方法で形成した。一対
の透明基板に配向膜を形成し、その表面を液晶分子が一
方向に揃うように配向処理を行った。配向膜は有機材料
でも無機材料でもかまわない。次に配向処理した面同士
を対向させスペーサーを介して、２μｍの距離に保って
基板を固定し、強誘電性液晶あるいは反強誘電性液晶を
封入して液晶パネルを得た。ここで基板間の距離は液晶
分子が、よりよく配向するために１．５〜３μｍの範囲
であることが望ましいが、液晶分子が配向すればこの範
囲内でなくともよい。
の透明基板に配向膜を形成し、その表面を液晶分子が一
方向に揃うように配向処理を行った。配向膜は有機材料
でも無機材料でもかまわない。次に配向処理した面同士
を対向させスペーサーを介して、２μｍの距離に保って
基板を固定し、強誘電性液晶あるいは反強誘電性液晶を
封入して液晶パネルを得た。ここで基板間の距離は液晶
分子が、よりよく配向するために１．５〜３μｍの範囲
であることが望ましいが、液晶分子が配向すればこの範
囲内でなくともよい。
【００１５】この液晶パネルを等方性処理して配向を均
一化させた後、液晶パネル面の配向分布を読みとる手段
として、偏光板を張り付け、超音波槽内に浸漬させた。
その結果、図１に見られるように液晶パネルの面内に配
向の分布がみられた。これは超音波槽の干渉波分布に対
応するものである。干渉波の強度が強いところと弱いと
ころや干渉波のうねり等が、液晶パネルの輝度変化、つ
まり配向の変化を見ることによって、容易に観察、測定
することが出来た。
一化させた後、液晶パネル面の配向分布を読みとる手段
として、偏光板を張り付け、超音波槽内に浸漬させた。
その結果、図１に見られるように液晶パネルの面内に配
向の分布がみられた。これは超音波槽の干渉波分布に対
応するものである。干渉波の強度が強いところと弱いと
ころや干渉波のうねり等が、液晶パネルの輝度変化、つ
まり配向の変化を見ることによって、容易に観察、測定
することが出来た。
【００１６】本実施例では結果が分かりやすいように、
偏光板を液晶パネルに設置して測定を行ったが、液晶パ
ネルは超音波槽内から取り出したあとも、その配向状態
を維持する特性を有している。そのため偏光板を液晶パ
ネルに設置しない状態で超音波槽内に浸漬し、取り出し
た後に、偏光板を設置して、面内の配向分布を観察し、
干渉波の測定を行ってもよい。
偏光板を液晶パネルに設置して測定を行ったが、液晶パ
ネルは超音波槽内から取り出したあとも、その配向状態
を維持する特性を有している。そのため偏光板を液晶パ
ネルに設置しない状態で超音波槽内に浸漬し、取り出し
た後に、偏光板を設置して、面内の配向分布を観察し、
干渉波の測定を行ってもよい。
【００１７】また、一度浸漬した液晶パネルを再度等方
処理すると、浸漬以前の均一な配向状態に戻り、再度使
用することが可能だった。
処理すると、浸漬以前の均一な配向状態に戻り、再度使
用することが可能だった。
【００１８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、容易に超
音波槽内の干渉波の分布を再現性よく測定することが出
来る。また液晶パネルを等方処理すれば何度も使用する
ことができるので、作業性にすぐれている。さらに液晶
パネルの表面は物理的なダメージを受けないので、超音
波槽内の媒体に影響を与えることがなく、また超音波槽
に洗浄対象物と同時に浸漬することもできるので、洗浄
ライン等の行程管理等にも使用できる。
音波槽内の干渉波の分布を再現性よく測定することが出
来る。また液晶パネルを等方処理すれば何度も使用する
ことができるので、作業性にすぐれている。さらに液晶
パネルの表面は物理的なダメージを受けないので、超音
波槽内の媒体に影響を与えることがなく、また超音波槽
に洗浄対象物と同時に浸漬することもできるので、洗浄
ライン等の行程管理等にも使用できる。
【図１】本発明の実施例を示す図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 一対の基板間に強誘電性液晶または反強
誘電性液晶を狭持した液晶パネルを、超音波が発生して
いる超音波槽内の媒質中に浸漬することにより、超音波
槽内の干渉波分布を測定する方法。 - 【請求項２】 一対の基板間に強誘電性液晶または反強
誘電性液晶を狭持した液晶パネルと、この液晶パネルを
超音波が発生している超音波層内の媒質中に浸漬する手
段と、液晶パネル面の配向分布を読みとる手段とを有す
る超音波槽内の干渉波分布測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10174378A JP2000009528A (ja) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | 超音波槽内の干渉波分布測定方法およびその測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10174378A JP2000009528A (ja) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | 超音波槽内の干渉波分布測定方法およびその測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000009528A true JP2000009528A (ja) | 2000-01-14 |
Family
ID=15977576
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10174378A Pending JP2000009528A (ja) | 1998-06-22 | 1998-06-22 | 超音波槽内の干渉波分布測定方法およびその測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000009528A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009285524A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Sakura Seiki Kk | 超音波洗浄用インジケータ |
-
1998
- 1998-06-22 JP JP10174378A patent/JP2000009528A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009285524A (ja) * | 2008-05-27 | 2009-12-10 | Sakura Seiki Kk | 超音波洗浄用インジケータ |
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