JP2000003514A - Pulse signal generation circuit for laser texture processing - Google Patents

Pulse signal generation circuit for laser texture processing

Info

Publication number
JP2000003514A
JP2000003514A JP16530698A JP16530698A JP2000003514A JP 2000003514 A JP2000003514 A JP 2000003514A JP 16530698 A JP16530698 A JP 16530698A JP 16530698 A JP16530698 A JP 16530698A JP 2000003514 A JP2000003514 A JP 2000003514A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pulse
laser
integration
circuit
texture processing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP16530698A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuji Sato
勝司 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP16530698A priority Critical patent/JP2000003514A/en
Publication of JP2000003514A publication Critical patent/JP2000003514A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To precisely perform a texture processing in a short time by using a high power laser beam. SOLUTION: This pulse signal generation circuit is provided with a detector 6 detecting an input laser beam, an integration circuit 7 integrating the output of the detector 6, a comparator 8 outputting a pulse width decision signal based on the output of the integration circuit 7 and a pulse generation circuit 3 outputting a pulse based on the pulse width decision signal, and is constituted so as to intensity-modulate the input laser beam by the output of the pulse generation circuit 3. That is, this circuit is constituted so as to perform the laser texture processing for a hard disk substrate surface after the laser energy is fixed by controlling pulse width for every one pulse.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザテクスチャ
加工用のパルス信号発生回路に関し、特に、出力が不安
定な高出力レーザを変調するためのパルス信号発生回路
に関する。
The present invention relates to a pulse signal generating circuit for laser texture processing, and more particularly to a pulse signal generating circuit for modulating a high-output laser whose output is unstable.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ハードディスクの表面は、磁気ヘ
ッドとの吸着を防止するため、テクスチャ加工を施され
る。このテクスチャ加工により、精度良く微少突起を形
成するために、レーザ加工が利用されている。このよう
なレーザ加工方法は、たとえば、特開平9−19777
号公報の「突起形成方法」に開示されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, the surface of a hard disk is subjected to texture processing in order to prevent attraction with a magnetic head. Laser processing is used to form minute projections with high accuracy by this texture processing. Such a laser processing method is described in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-19777.
The disclosure is disclosed in “Protrusion Forming Method” in Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2000-163,086.

【0003】この突起形成方法においては、ルビーレー
ザ等の高出力のレーザが用いられている。具体的には、
図4に示すように、外部光源14で固体レーザ結晶棒1
3を励起し、Qスイッチ15に与える電圧の立ち上がり
を緩やかにして、平板表面に微少突起を形成するのに適
した時間の長いレーザビームパルスを得ている。尚、図
4中、半透鏡16は、Qスイッチ15と一対でレーザ共
振器を構成する。
In this projection forming method, a high-output laser such as a ruby laser is used. In particular,
As shown in FIG.
3 is excited, the rise of the voltage applied to the Q switch 15 is made gentle, and a long-time laser beam pulse suitable for forming minute projections on the surface of the flat plate is obtained. In FIG. 4, the semi-transparent mirror 16 and the Q switch 15 constitute a laser resonator in a pair.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の技術では、レーザ発振のQ値が低いため、レーザ発振
が安定しないために、形成される微小突起の形状がばら
つくという問題があった。
However, in the above-mentioned prior art, there is a problem that the shape of the minute projections formed varies because the laser oscillation is not stable because the Q value of the laser oscillation is low.

【0005】一方、発振の安定したガスレーザ等の場合
には、レーザエネルギーが低く、テクスチャ加工に時間
がかかるという問題があった。
On the other hand, in the case of a gas laser or the like whose oscillation is stable, there is a problem that the laser energy is low and the texture processing takes a long time.

【0006】そこで、本発明は、パルス発振/連続発振
を問わず高出力のレーザ光を用いて、短時間で精度良く
テクスチャ加工を行うようにすることを課題としてい
る。
Accordingly, an object of the present invention is to perform texture processing with high accuracy in a short time by using high-power laser light regardless of pulse oscillation / continuous oscillation.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めの本発明は、レーザ光のビームを変調して平板表面に
微少突起を形成するレーザテクスチャ加工用の前記変調
信号を発生するレーザテクスチャ加工用パルス信号発生
回路であって、前記レーザ光の一部を光電変換して時間
積分し、前記時間積分の値に基づいて、パルス巾決定信
号を出力する積分比較部と、前記パルス巾決定信号に基
づいてパルスを出力するパルス生成部とを備え、変調さ
れたレーザ光の1パルスごとに、そのパルス巾を制御
し、パルスごとのレーザ光エネルギーが等しくなるよう
にしている。
According to the present invention, there is provided a laser texture for generating a modulation signal for laser texture processing for modulating a laser beam to form minute projections on a flat plate surface. A pulse signal generating circuit for processing, an integral comparator for photoelectrically converting a part of the laser light, time integrating the same, and outputting a pulse width determination signal based on a value of the time integration; A pulse generator for outputting a pulse based on a signal, wherein the pulse width is controlled for each pulse of the modulated laser light so that the laser light energy is equal for each pulse.

【0008】[0008]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0009】図1は、本発明のレーザテクスチャ加工用
パルス信号発生回路の構成を示すブロック図である。図
1に示すように、本発明のレーザテクスチャ加工用パル
ス信号発生回路は、レーザ光の一部を検出器6で光電変
換して積分回路7で積分し、前記積分の値に基づいて、
パルス巾決定信号を出力する積分比較部10と、前記パ
ルス巾決定信号に基づいてパルスを出力するパルス生成
部20とを備えている。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a pulse signal generating circuit for laser texture processing according to the present invention. As shown in FIG. 1, the pulse signal generating circuit for laser texture processing of the present invention photoelectrically converts a part of the laser light by the detector 6 and integrates the integrated light by the integrating circuit 7. Based on the value of the integration,
The apparatus includes an integration / comparing unit 10 that outputs a pulse width determination signal and a pulse generation unit 20 that outputs a pulse based on the pulse width determination signal.

【0010】本発明のレーザテクスチャ加工用パルス信
号発生回路の入力は、テクスチャ加工用のレーザ光の一
部であり、これを検出器6に入力して光電変換し、この
光電変換出力を積分することによりレーザ光強度をモニ
タしている。
The input of the pulse signal generating circuit for laser texture processing according to the present invention is a part of the laser beam for texture processing, which is input to the detector 6 to be photoelectrically converted, and this photoelectrically converted output is integrated. Thus, the laser beam intensity is monitored.

【0011】又、本発明のレーザテクスチャ加工用パル
ス信号発生回路の出力は、レーザ変調器30に入力さ
れ、レーザ光強度が変調され、この強度変調されたレー
ザ光は、集束光学系40を通って平板50の表面で微少
なスポットとされる。ここで、平板50はモータ60で
回転されており、微少なレーザ光スポットを所定時間照
射することにより平板50の表面がテクスチャ加工され
る。平板50の表面全体をテクスチャ加工するために
は、図示しない移動手段により、集束光学系40と平板
50を相対的に移動させればよい。
The output of the pulse signal generating circuit for laser texture processing according to the present invention is input to a laser modulator 30 where the intensity of the laser light is modulated. The intensity-modulated laser light passes through a focusing optical system 40. Thus, a minute spot is formed on the surface of the flat plate 50. Here, the flat plate 50 is rotated by a motor 60, and the surface of the flat plate 50 is textured by irradiating a minute laser beam spot for a predetermined time. In order to texture the entire surface of the flat plate 50, the focusing optical system 40 and the flat plate 50 may be relatively moved by moving means (not shown).

【0012】以下、更に、本発明のレーザテクスチャ加
工用パルス信号発生回路の各構成要素について説明す
る。
Hereinafter, each component of the pulse signal generating circuit for laser texture processing according to the present invention will be described.

【0013】上述した積分比較部10は、レーザ光の一
部を光電変換するフォトダイオード等の検出器6と、検
出器6出力を積分する積分回路7と、積分回路7の出力
が所定の設定値に等しくなったときにパルス巾決定信号
を出力する比較器8とを備えている。
The above-mentioned integration comparing section 10 includes a detector 6 such as a photodiode for photoelectrically converting a part of the laser beam, an integration circuit 7 for integrating the output of the detector 6, and an output of the integration circuit 7 having a predetermined setting. A comparator 8 for outputting a pulse width determination signal when the value becomes equal to the value.

【0014】又、パルス生成部20は、所定周期のパル
ス信号を発生するパルス発振器2と、前記パルス巾決定
信号で前記パルス信号の各パルスをリセットするパルス
生成回路3とを備えている。
The pulse generator 20 includes a pulse generator 2 for generating a pulse signal having a predetermined period, and a pulse generator 3 for resetting each pulse of the pulse signal with the pulse width determination signal.

【0015】次に、図2を参照して、本発明のレーザテ
クスチャ加工用パルス信号発生回路の動作について説明
する。
Next, the operation of the pulse signal generating circuit for laser texture processing according to the present invention will be described with reference to FIG.

【0016】パルス発振器2からは一定周期のパルス信
号が出力されパルス生成回路3に入力されている。
A pulse signal having a constant period is output from the pulse oscillator 2 and input to the pulse generation circuit 3.

【0017】パルス生成回路3は、それらのパルスの立
ち上がりで積分回路7にトリガをかけて、積分を開始さ
せる。
The pulse generation circuit 3 triggers the integration circuit 7 at the rise of those pulses to start integration.

【0018】そして、積分回路7の出力は比較器8に入
力されて、所定の設定値と比較される。ここで、所定の
設定値は、テクスチャ加工に最適なレーザ露光量に対応
する積分レベルであり、レーザ光のスポット径、平板の
回転数、形成すべき微少突起の形状、平板材料等によっ
て定まる値である。従って、積分値がこの設定値に等し
くなった時刻T1で、平板には最適形状の微少突起が形成
されることになる。
The output of the integrating circuit 7 is input to a comparator 8 and compared with a predetermined set value. Here, the predetermined set value is an integral level corresponding to a laser exposure amount optimal for texture processing, and is a value determined by a spot diameter of a laser beam, the number of rotations of a flat plate, a shape of a minute projection to be formed, a flat plate material, and the like. It is. Therefore, at time T1 when the integral value becomes equal to the set value, the microprojection having the optimal shape is formed on the flat plate.

【0019】従って、比較器8は、時刻T1で、パルス巾
決定信号をパルス生成回路2に送出する。そして、パル
ス生成回路2は、このパルス巾決定信号をリセット信号
として、パルス巾(T1-T0)のパルスを生成し、レーザ変
調器30の入力としている。
Accordingly, the comparator 8 sends a pulse width determination signal to the pulse generation circuit 2 at time T1. Then, the pulse generation circuit 2 uses this pulse width determination signal as a reset signal to generate a pulse having a pulse width (T1-T0), and uses it as an input to the laser modulator 30.

【0020】このようにして、生成されるパルス巾は、
検出器出力6の変動に伴って、変動するものである。図2
に示した例では、検出器出力がV1のときに生成されたパ
ルスの巾(T1-T0)は、検知器出力がV2(>V1)のとき
に生成されたパルスの巾(T3-T2)より大きい。この
ことにより、レーザ光強度が変動しても、1パルス当た
りのレーザ光エネルギーは一定に保たれている。
The pulse width generated in this way is:
It fluctuates with the fluctuation of the detector output 6. Figure 2
In the example shown in (1), the pulse width (T1-T0) generated when the detector output is V1 is the pulse width (T3-T2) generated when the detector output is V2 (> V1). Greater than. Thus, even if the laser light intensity fluctuates, the laser light energy per pulse is kept constant.

【0021】このような変調信号を、電気光学変調器や
音響光学変調器等のレーザ変調器30に入力することに
より、入射レーザ光の強度が変調される。
By inputting such a modulation signal to a laser modulator 30 such as an electro-optic modulator or an acousto-optic modulator, the intensity of the incident laser light is modulated.

【0022】ハードディスクのレーザテクスチャ加工は
パルスモード出力のレーザを上述のように変調して行う
こともできるが、アルゴンレーザやエキシマレーザ等の
CWモード(連続発振モード)出力のレーザ光を、上述
のように変調し、パルス化してハードディスクに照射し
てもよい。
The laser texture processing of the hard disk can be performed by modulating the laser of the pulse mode output as described above. However, the laser light of the CW mode (continuous oscillation mode) such as an argon laser or an excimer laser is used for the laser texture processing. The light may be modulated in such a manner as to be pulsed and irradiated to the hard disk.

【0023】以上、図1乃至図2を参照して、本発明の
一つの実施形態について説明した。本発明は、以上の実
施形態にとどまらず、図3に示したように、検出器6と
積分回路7の間にスイッチ9を設けてもよい。
As described above, one embodiment of the present invention has been described with reference to FIGS. The present invention is not limited to the above embodiment, and a switch 9 may be provided between the detector 6 and the integrating circuit 7 as shown in FIG.

【0024】図3によれば、積分回路7は、検出器6に
レーザ光が入射されていないとき出力(電圧または電
流)は零であるが実回路では必ずノイズが発生する。積
分回路7ではそのノイズ成分も積分されるため、特にレ
ーザ光パルスの幅が繰り返し周期と比較して短い場合、
無視できなくなる場合がある。その場合、パルス生成回
路3で信号が出力されている間のみスイッチ9を導通状
態(ON)とすることにより、ノイズが重畳せず、回路
の信頼性をよくすることができる。また、これは、積分
回路7の積分開始時間を設定しても同様の効果がある。
According to FIG. 3, the output (voltage or current) of the integrating circuit 7 is zero when the laser beam is not incident on the detector 6, but noise always occurs in the actual circuit. Since the noise component is also integrated in the integration circuit 7, especially when the width of the laser light pulse is shorter than the repetition period,
May not be ignored. In this case, by setting the switch 9 to the conductive state (ON) only while the pulse generation circuit 3 is outputting a signal, noise is not superimposed and the reliability of the circuit can be improved. This has the same effect even when the integration start time of the integration circuit 7 is set.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上説明した本発明によれば、元となる
レーザ発振器の安定度に依存しない安定なハードディス
クへのテクスチャ加工が行える。
According to the present invention described above, a stable hard disk can be texture-processed without depending on the stability of the original laser oscillator.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のレーザパルス安定化装置のブロック
図。
FIG. 1 is a block diagram of a laser pulse stabilizer according to the present invention.

【図2】本発明のレーザパルス安定化装置の動作を説明
するタイムチャート。
FIG. 2 is a time chart for explaining the operation of the laser pulse stabilizing device of the present invention.

【図3】レーザノイズの影響を低減させるレーザパルス
安定化装置のブロック図。
FIG. 3 is a block diagram of a laser pulse stabilizing device for reducing the influence of laser noise.

【図4】従来の突起形成方法。FIG. 4 shows a conventional projection forming method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 パルス発振器 3 パルス巾生成回路 6 検出器 7 積分回路 8 比較器 9 スイッチ 10 積分比較部 20 パルス生成部 30 レーザ変調器 40 集束光学系 50 平板 60 モータ Reference Signs List 2 pulse oscillator 3 pulse width generation circuit 6 detector 7 integration circuit 8 comparator 9 switch 10 integration comparison section 20 pulse generation section 30 laser modulator 40 focusing optical system 50 flat plate 60 motor

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ光のビームを変調して平板表面に
微少突起を形成するレーザテクスチャ加工用の前記変調
信号を発生するレーザテクスチャ加工用パルス信号発生
回路であって、 前記レーザ光の一部を光電変換して積分し、前記積分の
値に基づいて、パルス巾決定信号を出力する積分比較部
と、 前記パルス巾決定信号に基づいてパルスを出力するパル
ス生成部とを備えたことを特徴とするレーザテクスチャ
加工用パルス信号発生回路。
1. A laser texture processing pulse signal generating circuit for generating a laser texture processing modulation signal for modulating a laser light beam to form minute projections on a flat plate surface, wherein a part of the laser light And a pulse generation unit that outputs a pulse based on the pulse width determination signal, and an integration comparison unit that outputs a pulse width determination signal based on the value of the integration. Pulse signal generation circuit for laser texture processing.
【請求項2】 前記積分比較部は、前記レーザ光の一部
を光電変換する検出器と、前記検出器の出力を積分する
積分回路と、前記積分回路の出力が所定の設定値に等し
くなったときにパルス巾決定信号を出力する比較器とを
備え、 前記パルス生成部は、所定周期のパルス信号を発生する
パルス発振器と、前記パルス巾決定信号で前記パルス信
号の各パルスをリセットするパルス生成回路とを備えた
ことを特徴とする請求項1記載のレーザテクスチャ加工
用パルス信号発生回路。
2. An integration comparison unit comprising: a detector for photoelectrically converting a part of the laser light; an integration circuit for integrating an output of the detector; and an output of the integration circuit equal to a predetermined set value. A pulse generator for generating a pulse signal having a predetermined period, and a pulse for resetting each pulse of the pulse signal with the pulse width determination signal. The pulse signal generation circuit for laser texture processing according to claim 1, further comprising a generation circuit.
【請求項3】 前記積分比較部は、前記レーザ光の一部
を光電変換する検出器と、前記検出器の出力を積分する
積分回路と、前記積分回路の出力が所定の設定値に等し
くなったときにパルス巾決定信号を出力する比較とを備
え、 前記積分を開始するまでは、前記検出器と前記積分回路
との接続を絶つことを特徴とする請求項2記載のレーザ
テクスチャ加工用パルス信号発生回路。
3. An integration comparator, comprising: a detector for photoelectrically converting a part of the laser light; an integration circuit for integrating an output of the detector; and an output of the integration circuit equal to a predetermined set value. 3. A pulse for laser texture processing according to claim 2, further comprising a comparison for outputting a pulse width determination signal when the detection is performed, and disconnecting the detector and the integration circuit until the integration is started. Signal generation circuit.
JP16530698A 1998-06-12 1998-06-12 Pulse signal generation circuit for laser texture processing Pending JP2000003514A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16530698A JP2000003514A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Pulse signal generation circuit for laser texture processing

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP16530698A JP2000003514A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Pulse signal generation circuit for laser texture processing

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000003514A true JP2000003514A (en) 2000-01-07

Family

ID=15809838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP16530698A Pending JP2000003514A (en) 1998-06-12 1998-06-12 Pulse signal generation circuit for laser texture processing

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000003514A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7403266B2 (en) 2003-05-29 2008-07-22 Asml Holding N.V. Maskless lithography systems and methods utilizing spatial light modulator arrays

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7403266B2 (en) 2003-05-29 2008-07-22 Asml Holding N.V. Maskless lithography systems and methods utilizing spatial light modulator arrays

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4370251B2 (en) Method and apparatus for oscillator start-up control of a mode-locked laser
KR100639585B1 (en) Laser control method, laser apparatus, laser treatment method used for the same, laser treatment apparatus
KR20010110320A (en) Device and it's control method of q-switched frequency converted laser, the process and system using it's laser
JP2715206B2 (en) Laser recording device
JPH07254744A (en) Laser light generator
JPS6341091A (en) Laser oscillator
JP5988903B2 (en) Laser processing apparatus and laser processing method
JP2000003514A (en) Pulse signal generation circuit for laser texture processing
WO2020235222A1 (en) Passive q switching laser device, control method, and laser processing device
US6449297B1 (en) Power supply unit for solid-state laser, solid state laser, and laser beam generator
JP2002208750A (en) Laser oscillator and laser pulse control method thereof
JP2002148522A (en) Method of irradiating object with light of laser beam source
JP3968868B2 (en) Solid state laser equipment
JP2904189B2 (en) Optical parametric oscillator
JP3131079B2 (en) Q switch CO2 laser device
JPH02260479A (en) Laser oscillator
Lührmann et al. High-average power Nd: YVO4 regenerative amplifier seeded by a gain switched diode laser
JPH0422182A (en) Output device of q-switched pulse laser
JP4408246B2 (en) Mode-locked semiconductor laser
JP2003017787A (en) Solid laser apparatus and drive circuit of q switch driver
JP2003152255A (en) Laser oscillator
JPH09186381A (en) Laser
JPH02165974A (en) Modulator
JPH0316287A (en) Pulse light source
JP2002062512A (en) Method and controller for controlling pulse width of laser pulse