ITTO20010588A1

ITTO20010588A1 - Procedimento per la misurazione di proprieta' di particelle immerse in un corpo, e relativa apparecchiatura.

Info

Publication number: ITTO20010588A1
Application number: IT2001TO000588A
Authority: IT
Inventors: Doriano Brogioli; Marzio Giglio; Alberto Vailati
Original assignee: Infm Istituto Naz Per La Fisi
Priority date: 2001-06-18
Filing date: 2001-06-18
Publication date: 2002-12-18
Also published as: US20040239932A1; WO2002103332A2; JP4054759B2; WO2002103332A8; EP1409994A2; WO2002103332A3; US7268874B2; AU2002317481A1; JP2004532989A

Description

DESCRIZIONE dell'invenzione industriale dal titolo: "PROCEDIMENTO PER LA MISURAZIONE DI PROPRIETÀ DI PARTICELLE IMMERSE IN UN CORPO, E RELATIVA APPAREC-CHIATURA"

DESCRIZIONE

La presente invenzione si riferisce ad un procedimento per l'analisi di proprietà di particelle immerse in un corpo, ed in particolare ad un procedimento per determinare le dimensioni di particelle immerse in un corpo trasparente, ed alla relativa apparecchiatura .

Una particolare e vantaggiosa applicazione della presente invenzione consiste nella misura della distribuzione in diametro di materiale particolato, ad esempio di polveri, fumi, cementi, prodotti farmaceutici, o di particelle in sospensioni colloidali trasparenti, ad esempio in vernici, colle, o creme .

Il procedimento e l'apparecchiatura secondo la presente invenzione si basano sul seguente principio fisico: ogni particella investita da un campo elettromagnetico incidente genera un'onda sferica, definita onda di scattering sferica, con ampiezza che varia angolarmente a seconda del cosiddetto fattore di forma associato alla particella, dipendente dalla dimensione della particella. Tipicamente la maggior parte della potenza "scatterata" da una singola particella cade entro un angolo solido la cui apertura lineare è dell'ordine del rapporto fra la lunghezza d'onda della radiazione e la dimensione della particella. In un certo istante la radiazione diffusa da tutte le particelle immerse in un corpo è il risultato della somma delle onde generate dalle singole particelle. Ciò dà origine a fenomeni di interferenza stocastica che generano su un piano posto ad una determinata distanza un sistema di piccole macchie irregolari, o fluttuazioni dell'intensità della radiazione diffusa, note nel settore come speckles.

Le tecniche convenzionali di misurazione di proprietà di particelle, che utilizzano i principi sopra brevemente descritti, consentono di misurare l'intensità della luce scatterata a grande distanza dal campione. Tale intensità è sostanzialmente un'intensità media rispetto alle fluttuazioni sopraccitate, al variare di un angolo di rilevazione. Di conseguenza in uno strumento tradizionale è necessario poter disporre di sensori in grado di muoversi fra diverse posizioni angolari, oppure di speciali sensori a molti elementi in grado di rilevare contemporaneamente in una pluralità di posizioni angolari tale intensità mediata sulle speckles. In ogni caso è sempre necessario un delicato sistema di componenti ottici di allineamento per il corretto funzionamento dell'apparecchiatura. Di conseguenza gli strumenti tradizionali sono alquanto complessi, ingombranti, e con parti meccaniche ed ottiche di costo rilevante.

Nel documento Physical Review Lettere, voi. 85, n. 7, 14 Agosto 2000, tra i cui autori due sono inventori designati della presente invenzione, è descritta un'apparecchiatura comprendente una sorgente di un ampio fascio laser, ed un sensore CCD, che rileva sostanzialmente solo la radiazione diffusa per scattering del fascio laser da parte di un corpo sottoposto a misura, posto a poca distanza dal sensore tale che siano verificate le relazioni

e

dove λ è la lunghezza d'onda del fascio laser, z è la distanza del sensore dal corpo, D è il diametro del fascio laser, e d è una dimensione caratteristica delle particelle contenute nel corpo, ad esempio il diametro medio. In questa condizione, anche se il corpo è illuminato per una superficie pari alla sezione del fascio laser, la radiazione diffusa si propaga in modo tale che ciascun elemento sensibile del CCD, o pixel, riceve una radiazione diffusa sostanzialmente solo dai punti del corpo nelle direzioni comprese in un angolo solido, avente vertice nel pixel, pari all'angolo solido con cui viene emessa la radiazione diffusa. Una conseguenza di questo fenomeno consiste nel fatto che il diametro delle speckles è uguale al diametro delle particelle, ed il valore di tale diametro non dipende dalla distanza del sensore dal corpo, purché rimangano valide le relazioni (1) e (2).

L'apparato strumentale descritto nei documenti sopraccitati comprende inoltre una lente, interposta fra il corpo ed il sensore, ed un filo metallico, esteso nel piano focale di detta lente fra la lente ed il sensore, e passante per il fuoco di detta lente. La lente è in grado di ingrandire le * dimensioni delle speckles sul sensore, in modo tale che ciascuna speckle copra una pluralità di pixels. Inoltre la lente coopera con il filo metallico in modo tale da focalizzare su di esso la porzione del campo incidente trasmessa attraverso il campione, e da deflettere tale porzione trasmessa affinché essa non raggiunga il sensore.

Il sensore CCD rileva contemporaneamente una pluralità di valori dell'intensità della radiazione diffusa, uno per ciascuno degli elementi sensibili, e fornisce corrispondenti segnali ad una unità di elaborazione. Tale pluralità di valori dell'intensità della radiazione diffusa corrisponde alla configurazione di speckles che viene rilevata dal sensore CCD.

Un esempio di procedimento di misurazione effettuato da tale apparecchiatura è illustrato nella figura 1.

Affinché un'elaborazione 100 di tali segnali consenta di raggiungere una valutazione accurata delle dimensioni delle particelle, è necessario che sia effettuata una serie di acquisizioni istantanee consecutive, ad esempio un numero N di acquisizioni, dell'intensità rilevata sul sensore CCD della radiazione diffusa dallo stesso corpo.

Come si può apprezzare, l'elaborazione dei segnali 100 comprende, all'inizio, una determinazione di una pluralità di funzioni di correlazione spaziale. dell'intensità 110 corrispondente alla pluralità di valori dell'intensità di detta radiazione diffusa rilevati in detta serie di acquisizioni. Tale operazione comprende un calcolo, per ciascun pixel, dell'intensità media 111 fra i valori dell'intensità ottenuti nella serie di acquisizioni nello stesso pixel; un calcolo della media 112, fra i valori di tale intensità media ottenuti in tutti i pixels; un calcolo di una pluralità di funzioni di correlazione spaziale dell'intensità 113, una per ogni acquisizione; ed un calcolo di una funzione di correlazione spaziale dell'intensità media suddetta 114 . Il calcolo delle funzioni di correlazione può essere effettuato mediante metodi noti, quali la trasformata veloce di Fourier, correggendo il risultato tenendo conto delle dimensioni finite dell'immagine. Nelle figure, è il valore dell'intensità della radiazione diffusa rilevato nel pixel di coordinate x nell'acquisizione nesima, è l'intensità media fra i valori dell'intensità ottenuti nella serie di acquisizioni per ogni pixel, è la media fra tutti i valori dell'intensità media rispetto ad è una funzione di correlazione spaziale dell'intensità fra due pixel aventi una distanza vettoriale l'uno dall'altro, relativamente all'acquisizione n-esima, e una funzione di correlazione spaziale dell'intensità media

L'elaborazione dei segnali 100 comprende quindi una derivazione, da detta pluralità di funzioni di correlazione spaziale dell'intensità, di una funzione di correlazione spaziale del campo elettrico 120. Tale operazione comprende un calcolo della media delle funzioni di correlazione spaziale dell'intensità 121 relative alla serie di acquisizioni; ed un calcolo di una funzione di correlazione del campo elettrico 122. Il calcolo 122 viene effettuato utilizzando la cosiddetta relazione di Siegert, che mette in relazione la funzione di correlazione dell'intensità con la funzione di correlazione del campo elettrico. Di conseguenza è possibile calcolare la funzione di correlazione del campo elettrico in relazione con le altre grandezze precedentemente calcolate. Nelle figure, è la media delle funzioni di correlazione spaziale dell'intensità, e è la funzione di correlazione del campo elettrico.

L'elaborazione dei segnali 100 comprende infine una determinazione di uno spettro di potenza del campo elettrico 130 corrispondente a detta funzione di correlazione del campo elettrico. Tale operazione comprende un calcolo di uno spettro mediante trasformata veloce di Fourier della funzione di correlazione del campo elettrico 131, ed un calcolo della media di tale spettro 132 sui valori del vettore d'onda trasferito aventi lo stesso modulo, in modo tale da ottenere uno spettro di potenza del campo elettrico. Nelle figure, s(q) è lo spettro di potenza del campo elettrico in funzione del vettore d'onda trasferito q, ed s(q) è lo spettro di potenza del campo elettrico, in funzione del modulo del vettore d'onda trasferito q.

Lo spettro del campo elettrico così ottenuto consente di determinare la distribuzione delle dimensioni delle particelle con metodi noti, normalmente utilizzati nelle tecniche convenzionali di misura di dimensioni di particelle mediante misura di luce diffusa per scattering, i quali non verranno quindi descritti.

Il procedimento sopra descritto può richiedere di effettuare un numero di acquisizioni elevato per poter abbattere il rumore che inevitabilmente affligge la misurazione, e ottenere quindi una determinazione adeguata delle proprietà delle particelle. Inoltre, per poter calcolare le funzioni di correlazione del campo a partire dalle funzioni di correlazione dell'intensità, è necessario che la radiazione diffusa sia descrivibile come un processo gaussiano random. Inoltre l'apparecchiatura, pur essendo di semplice costruzione, è comunque condizionata dal corretto posizionamento del filo riflettente nel fuoco della lente.

Scopo della presente invenzione è realizzare un procedimento ed un'apparecchiatura che non necessitino di configurazioni ottiche complesse, che non dipendano da un accurato posizionamento dei componenti dell'apparecchiatura, e che permettano una analisi statistica più accurata che non quella già descritta e particolarmente adatta ai fini della determinazione della distribuzione di diametri delle particelle.

Tale scopo viene raggiunto secondo l'invenzione da un procedimento per l'analisi di proprietà di particelle immerse in un corpo, e da una relativa apparecchiatura, aventi le caratteristiche definite nelle rivendicazioni.

Verrà ora descritta una forma di realizzazione preferita ma non limitativa dell'invenzione, facendo riferimento ai disegni allegati, in cui:

la figura 1 è uno schema a blocchi che illustra un procedimento di misurazione secondo la tecnica nota;

la figura 2 è una vista schematica di un'apparecchiatura per effettuare un procedimento di misurazione secondo l'invenzione; e

la figura 3 è uno schema a blocchi che illustra un procedimento di misurazione secondo la presente invenzione.

Nella figura 2 è schematicamente illustrata un'apparecchiatura per effettuare un procedimento di misurazione secondo l'invenzione. Tale apparecchiatura comprende una sorgente 151 di un fascio laser 152, avente una lunghezza d'onda predetenninata λ, ed una larghezza predeterminata D. Tale sorgente 151 è composta da un generatore di luce temporalmente coerente, preferibilmente laser, ad esempio ad He-Ne o a semiconduttore, che emette nel visibile, un filtro spaziale, ed una lente collimatrice (non illustrati). Le frecce parallele uscenti dalla sorgente 151 indicano la direzione di propagazione del fascio laser 152.

Allineati lungo la direzione principale di propagazione del fascio laser, sono disposti mezzi sensori 153, in grado di rilevare una pluralità di valori dell'intensità di una radiazione elettromagnetica in una pluralità di punti contemporaneamente. Preferibilmente, tali mezzi sensori sono conformati in modo tale da formare una matrice rettangolare di una pluralità di elementi sensibili, ognuno dei quali è in grado di rilevare in un punto distinto un valore di tale intensità della radiazione elettromagnetica. Ancora più preferibilmente, i mezzi sensori 153 comprendono un sensore CCD.

Un corpo B sottoposto a misura viene collocato in una posizione interposta fra la sorgente 151 e i mezzi sensori 153, e allineata con questi. Tale corpo è formato in generale da materiale trasparente al fascio laser 152, nel quale sono immerse particelle aventi una determinata distribuzione di dimensioni, in cui una dimensione caratteristica, ad esempio il diametro medio, è indicata generalmente con d. Nel caso in cui il materiale trasparente in cui sono immerse le particelle è fluido, il corpo B è contenuto in un opportuno contenitore trasparente al fascio laser 152. Le particelle possono essere composte di un materiale qualunque, e per poter essere misurate devono avere dimensioni maggiori o uguali rispetto alla lunghezza d'onda λ.

I mezzi sensori 153 sono disposti a sostanzialmente una distanza z dal corpo B tale che sia valida la relazione (1), in modo tale che i mezzi suddetti ricevano la radiazione di scattering che proviene da tutte le direzioni con le quali le particelle sono sostanzialmente in grado di diffondere. Deve inoltre essere valida la relazione (2), in modo tale che ciascun elemento sensibile riceva la radiazione diffusa di un numero grande di particelle, così da consentire un'elaborazione dei dati mediante analisi statistica delle misure, che verrà meglio descritta nel seguito.

Il fascio laser 152 interagisce con le particelle del corpo B, generando una radiazione diffusa per scattering 155. Inoltre il corpo B è attraversato da una porzione trasmessa 156 del fascio laser 152, indicata da una linea tratteggiata, che non interagisce con le particelle. La porzione trasmessa 156 e la radiazione diffusa 155 si mescolano interferendo l'una con l'altra. Il sensore 153 è quindi in grado di rilevare una pluralità di valori dell'intensità della radiazione complessivamente proveniente da detto corpo in una pluralità di elementi sensibili contemporaneamente. La porzione trasmessa 156 e la radiazione diffusa 155 formano cioè per interferenza sul sensore 153 sostanzialmente un'immagine a speckle, corrispondente alla pluralità di valori differenti di intensità rilevati nella pluralità di elementi sensibili.

Se le particelle contenute nel campione B sono molto piccole, possono generare sui mezzi sensori 153 speckles più piccole di ciascun singolo elemento sensibile, il qual fatto non consente di effettuare misure utili.

Quindi, mezzi a lente di ingrandimento 154 sono preferibilmente interposti fra il corpo B e i mezzi sensori 153, in modo tale da ottenere sul sensore 153 immagini ingrandite delle speckles. Con questa configurazione, la distanza z che appare nelle relazioni (1) e (2) è la distanza dal corpo B di un piano 158 vicino a tale corpo B, coniugato per mezzo della lente 154 ad un piano immagine 159. La rilevazione della pluralità di valori dell'intensità avviene così indirettamente mediante rilevazione dei valori corrispondenti nel piano immagine (159) otticamente coniugato con il piano (158). Il piano immagine 159 è individuato dalla posizione dei mezzi sensori 153. I mezzi a lente 154 sono disposti a sostanzialmente una distanza p dal piano 158, e ad una distanza q dal sensore 153 (e quindi dal piano immagine 159), notevolmente più grande di una distanza focale f dei mezzi a lente 154. In questo modo l'immagine che si formerebbe sul piano 158 viene ingrandita sul sensore 153 di un fattore pari al rapporto fra q e p. Come si potrà apprezzare nel seguito, sul sensore 153 non si forma un'immagine a fuoco del corpo B, bensì del campo 158 a distanza z dal corpo B. E' importante che i mezzi a lente 154 riportino sul sensore 153, secondo una legge nota, gli angoli con i quali viene diffusa la radiazione 155, senza distorsioni o limitazioni. Inoltre, i mezzi a lente 154 devono avere un'apertura numerica sufficiente affinché le dimensioni delle particelle più piccole da analizzare siano risolte. I mezzi a lente 154 possono così comprendere ad esempio un opportuno obiettivo da microscopio.

Il sensore 153 fornisce inoltre ad una unità di elaborazione (non illustrata) segnali corrispondenti alla pluralità di valori rilevati dell'intensità della radiazione complessivamente proveniente da detto corpo, tipicamente una matrice di dati.

Un esempio di procedimento di misurazione secondo la presente invenzione è illustrato nella figura 3, in cui per maggiore chiarezza le operazioni uguali o simili a quelle della figura 1 sono state indicate con gli stessi riferimenti numerici.

Affinché un'elaborazione statistica 100 dei segnali suddetti consenta di raggiungere una valutazione accurata delle dimensioni delle particelle, può essere necessario che sia effettuata una serie di acquisizioni istantanee consecutive, ad esempio un numero N di acquisizioni, dell'intensità rilevata dai mezzi sensori 153 della radiazione complessivamente proveniente dallo stesso corpo.

Se le particelle contenute nel corpo (B) sono in movimento, ogni acquisizione dev'essere effettuata in un tempo piccolo rispetto al tempo in cui varia l'immagine a speckles, e quindi piccolo rispetto al tempo in cui varia la disposizione delle particelle nel corpo (B).

L'elaborazione statistica dei segnali 100 comprende, all'inizio, una determinazione di una pluralità di valori di sostanzialmente una variazione dell'intensità 210 corrispondenti alla pluralità di valori dell'intensità della radiazione rilevati in tale serie di acquisizioni. Tale determinazione 210 comprende un calcolo, per ciascun elemento sensore, di una intensità media 111 fra i valori dell'intensità ottenuti nella serie di misurazioni nello stesso elemento sensore; un calcolo, per ciascun elemento .sensore, di una intensità quadratica media 212, ottenuta dalla media fra i quadrati dei valori ottenuti nella serie di misurazioni nello stesso elemento sensore; un filtraggio 213, mediante un filtro spaziale passabasso; ed un calcolo di sostanzialmente una variazione dell'intensità 214 secondo la relazione seguente:

dove è una grandezza simile ad una variazione dell'intensità, relativamente all'acquisizione nesima, è l'intensità ottenuta filtrando l'intensità media è l'intensità quadratica media suddetta.

L'elaborazione statistica dei segnali 100 comprende quindi una determinazione di una pluralità di funzioni di correlazione spaziale del campo elettrico 220 corrispondenti alla pluralità di valori di detta sostanzialmente variazione dell ' intensità. Tale operazione comprende un calcolo della funzione di correlazione spaziale del campo elettrico relativamente ad ogni acquisizione, mediante trasformata veloce di Fourier del segnale, tenendo conto delle dimensioni finite dell'immagine. Nelle figure, è la funzione di correlazione del campo elettrico, relativamente all'acquisizione nesima.

L'elaborazione statistica dei segnali 100 comprende infine una determinazione di uno spettro di potenza del campo elettrico 230 corrispondente a detta pluralità di funzioni di correlazione del campo elettrico. Tale operazione comprende un'antitrasformazione della funzione di correlazione 231 per ottenere uno spettro relativamente ad ogni acquisizione; un calcolo della media degli spettri 232 su tutte le acquisizioni; un calcolo della media 233 della funzione così ottenuta su tutti i valori del vettore d'onda trasferito aventi lo stesso modulo; e la sottrazione da tale media di uno spettro a vuoto 234, in modo tale da ottenere lo spettro di potenza del campo elettrico. La determinazione dello spettro a vuoto 235 viene effettuata seguendo il procedimento finora descritto, ma senza collocare alcun corpo B ad interagire con il fascio laser 2 . In tal modo è possibile sottrarre dalla misura l'effetto del rumore dell'elettronica dell'apparecchiatura. Nelle figure, è lo spettro del segnale è la media degli spettri

su tutte le acquisizioni, è la media di rispetto ai vettori d'onda q aventi lo stesso modulo q, ed è lo spettro a vuoto.

Lo spettro di potenza del campo elettrico così ottenuto consente infine di determinare la distribuzione delle dimensioni delle particelle con metodi noti, normalmente utilizzati nelle tecniche convenzionali di misura di dimensioni di particelle mediante misura di luce diffusa per scattering, le quali non verranno quindi descritte.

Come si potrà notare, la tecnica attuale, che permette la determinazione diretta delle funzioni di correlazione di campo, gode di un importante vantaggio rispetto alla tecnica omodina precedentemente descritta oggetto della pubblicazione su Physical Review Letters. Infatti i contributi dovuti a particelle di diametro diverso si sommano senza dar luogo a contributi misti, di difficile sottrazione, presenti nella tecnica omodina.

Inoltre, come potrà apprezzare un esperto del settore, con il procedimento secondo l'invenzione non è più necessario dover schermare la porzione trasmessa 156 del fascio laser per poter misurare le dimensioni delle particelle; la porzione trasmessa agisce anzi come un riferimento ad eterodina che consente una misura con una precisione accresciuta.

Si intende che l'invenzione non è limitata alla forma di realizzazione qui descritta ed illustrata, che è da considerarsi come un esempio di attuazione del procedimento per la misurazione di proprietà di particelle immerse in un corpo, e della relativa apparecchiatura; l'invenzione è invece suscettibile di modifiche relative a forma e disposizioni di parti, dettagli costruttivi e di procedimento.

In particolare, l'esempio di analisi dei dati descritto in precedenza consiste nello studio della trasformata di Fourier bidimensionale della matrice di dati raccolta dal sensore CCD. È possibile però ottenere un'analisi dei dati equivalente a quella precedentemente descritta mediante altre tecniche, ad esempio operando mediante tecniche di autocorrelazione bidimensionale.

Inoltre, l'invenzione non è necessariamente limitata alla misurazione di dimensioni di particelle, ma può essere utilizzata per la misurazione di altre proprietà desumibili dallo spettro del campo elettrico, secondo le possibili varianti che appariranno opportune ai tecnici del settore, e che sono da intendersi comprese nell'ambito dell'invenzione, così come definito dalle seguenti rivendicazioni .

Claims

RIVENDICAZIONI 1 . Procedimento per la misurazione di proprietà di particelle immerse in un corpo (B), comprendente: effettuazione di una serie di acquisizioni istantanee mediante illuminazione di detto corpo con un fascio di luce temporalmente coerente, preferibilmente laser (152), avente larghezza predeterminata D e lunghezza d'onda predeterminata λ, tale da generare una radiazione diffusa (155) per interazione di scattering di detto fascio laser con dette particelle, e rilevazione di una pluralità di valori dell'intensità della radiazione complessivamente proveniente (155, 156) da detto corpo in una pluralità di punti contemporaneamente, aventi una distanza z da detto corpo tale che siano valide le relazioni

e

dove d è una dimensione caratteristica delle particelle contenute nel corpo; ed elaborazione (100) di detta serie di acquisizioni mediante analisi statistica, in modo tale da determinare dette proprietà di dette particelle.
2. Procedimento secondo la rivendicazione 1, in cui la radiazione complessivamente proveniente dal corpo (B) comprende una porzione trasmessa (156) attraverso il corpo (B) ed una porzione diffusa (155) dal corpo (B), le quali interferiscono l'una con l'altra.
3. Procedimento secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui detta rilevazione della radiazione è effettuata in una pluralità di punti appartenenti ad uno stesso piano (158).
4. Procedimento secondo la rivendicazione 3, in cui detta rilevazione avviene indirettamente mediante rilevazione di una pluralità di valori dell'intensità in un piano immagine (159) otticamente coniugato con il piano (158).
5. Procedimento secondo la rivendicazione 4, in cui detta illuminazione e detta rilevazione sono effettuate da parti opposte rispetto al corpo (B).
6. Procedimento secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui detta elaborazione comprende: determinazione di una pluralità di valori di sostanzialmente una variazione dell'intensità (210) corrispondenti alla pluralità di valori dell'intensità della radiazione rilevati in detta serie di acquisizioni; e determinazione di uno spettro di potenza del campo elettrico (230) corrispondente a detta pluralità di valori di sostanzialmente una variazione dell'intensità (210).
7. Procedimento secondo la rivendicazione 6, in cui detta determinazione di uno spettro di potenza del campo elettrico (230) è preceduta da una determinazione di una pluralità di funzioni di correlazione spaziale del campo elettrico (220) corrispondenti a detta pluralità di valori di sostanzialmente una variazione dell'intensità.
8. Procedimento secondo la rivendicazione 7, in cui detta elaborazione comprende inoltre un filtraggio mediante un filtro spaziale passabasso (213) di detta pluralità di valori dell'intensità della radiazione, prima di detta determinazione della pluralità di valori di sostanzialmente una variazione dell'intensità.
9. Apparecchiatura predisposta per attuare il procedimento di misurazione secondo una delle rivendicazioni precedenti, comprendente: una sorgente (151) di detto fascio laser, atta a detta illuminazione del corpo (B); mezzi sensori (153), atti a detta rilevazione della radiazione in una pluralità di punti contemporaneamente ed a rendere disponibile un segnale indicativo di detta rilevazione; e mezzi di elaborazione, atti a detta elaborazione della serie di acquisizioni mediante elaborazione di detto segnale.
10. Apparecchiatura secondo la rivendicazione 9, comprendente inoltre mezzi a lente di ingrandimento (154) interposti fra detto corpo e detti mezzi sensori, in modo tale da consentire detta rilevazione in modo indiretto mediante rilevazione della pluralità di valori dell'intensità nel piano immagine (159) otticamente coniugato con il piano (158) secondo una relazione di ingrandimento.
11. Apparecchiatura secondo le rivendicazioni 9 o 10, in cui detti mezzi sensori comprendono un sensore CCD.