ITMO20040332A1 - Sistema per il rilevo multiplo di microchip da un wafer costituito da una pluralita' di microchip. - Google Patents

Sistema per il rilevo multiplo di microchip da un wafer costituito da una pluralita' di microchip.

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ITMO20040332A1
ITMO20040332A1 ITMO20040332A ITMO20040332A1 IT MO20040332 A1 ITMO20040332 A1 IT MO20040332A1 IT MO20040332 A ITMO20040332 A IT MO20040332A IT MO20040332 A1 ITMO20040332 A1 IT MO20040332A1
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IT
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microchip
survey
wafer consisting
wafer
multiple microchip
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Marcello Lolli
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Windinglab S R L
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67132—Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape

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