ITMI971532A1

ITMI971532A1 - SERIES VAPORIZER FOR VACUUM METALLIC SYSTEMS

Info

Publication number: ITMI971532A1
Application number: IT97MI001532A
Authority: IT
Inventors: Martin Hornung
Original assignee: Leybold Systems Gmbh
Priority date: 1996-08-13
Filing date: 1997-06-27
Publication date: 1998-12-27
Also published as: GB2316095B; ITMI971532A0; GB9715044D0; IT1295700B1; DE19632581B4; GB2316095A; DE19632581A1

Description

DESCRIZIONE dell'invenzione industriale DESCRIPTION of the industrial invention

L'invenzione riguarda un vaporizzatore in serie per impianti di metallizzazione sotto vuoto, in particolare per impianti di metallizzazione di nastri, costituito da più singoli vaporizzatori supportati da sostegni, riscaldati da un passaggio di corrente, di potenza regolabile, in cui i sostegni sono supportati da un corpo portante elettricamente conduttivo, estendentesi sull'intera lunghezza, e i reofori della prima polarità sono collegati in modo elettricamente conduttivo con il corpo portante, mentre i reofori della seconda polarità sono collegati con elementi di compressione a forma di perno, introdotti isolati attraverso aperture nei sostegni. The invention relates to a series vaporizer for vacuum metallization plants, in particular for strip metallization plants, consisting of several individual vaporizers supported by supports, heated by a current passage, of adjustable power, in which the supports are supported by an electrically conductive bearing body, extending over the entire length, and the leads of the first polarity are electrically conductively connected with the bearing body, while the leads of the second polarity are connected with pin-shaped compression elements, introduced insulated through openings in the supports.

E' noto un vaporizzatore in serie (US 3.387.116), nel quale la navetta a vaschetta del vaporizzatore è incastrata fra un reoforo fisso a forma di sostegno e un elemento di compressione posto .sotto la tensione di una molla, supportato e guidato da un secondo reoforo fisso. A series vaporizer is known (US 3,387,116), in which the tub-shaped shuttle of the vaporizer is wedged between a fixed rheophore in the form of a support and a compression element placed under the tension of a spring, supported and guided by a second fixed rheophore.

E' inoltre noto un vaporizzatore in serie, in cui le estremità delle navette sono supportate ciascuna da una coppia di ganasce, che supportano le estremità delle navette a modo di tenaglie, la forza di serraggio di ciascuna coppia di perni venendo supportata da una rispettiva molla (US 2.969.448). A series vaporizer is also known, in which the ends of the shuttles are each supported by a pair of jaws, which support the ends of the shuttles in the manner of pincers, the clamping force of each pair of pins being supported by a respective spring. (US 2,969,448).

Tali noti dispositivi hanno in particolare lo svantaggio che la sostituzione delle navette di vaporizzazione è dispendiosa, perchè per la sostituzione la forza di richiamo deve venire ridotta con l'ausilio di utensili, e il prelievo della navetta è scomodo, perchè essa è difficilmente accessibile. In particular, these known devices have the disadvantage that the replacement of the steaming shuttles is expensive, because for the replacement the return force must be reduced with the aid of tools, and the pick-up of the shuttle is inconvenient, because it is difficult to access.

Infine, è noto un vaporizzatore in serie (DE 40 15 385), costituito da più vaporizzatori la cui potenza è regolabile singolarmente, riscaldati da passaggio di corrente, fissati su reofori elettrici eseguiti a forma di sostegno, in cui i reofori a forma di sostegno sono supportati da un corpo portante elettricamente conduttivo, estendentesi sull'intera lunghezza del vaporizzatore in serie, e i reofori di una polarità sono collegati in modo elettricamente conduttivo con il corpo portante, mentre i reofori dell'altra polarità sono condotti isolati attraverso il corpo portante e collegati con fili di collegamento disposti isolati, in cui i reofori a forma di sostegno fatti passare con gioco attraverso il corpo portante sono sollecitati da elementi a molla, che agiscono circa parallelamente alle estensioni longi-•tudinali dei vaporizzatori e premono le parti di testa dei reofori contro le superfici frontali ad essi rivolte dei vaporizzatori, gli elementi a molla essendo supportati essi stessi in modo elettricamente isolato e guidati rispetto al corpo portante oppure essendo formati da materiali isolanti, e i fili di collegamento collegati a questi reofori essendo conduttori attraversati da un refrigerante oppure eseguiti come tubi flessibili di raffreddamento o tubi di raffreddamento, che sono posati parallelamente ai fili di collegamento e sboccano in camere o canali che sono previsti nei reofori. Finally, a series vaporizer is known (DE 40 15 385), consisting of several vaporizers whose power is individually adjustable, heated by the passage of current, fixed on electric leads made in the form of a support, in which the leads in the form of a support are supported by an electrically conductive carrier body, extending over the entire length of the series vaporizer, and the leads of one polarity are electrically conductively connected to the carrier body, while the leads of the other polarity are conducted insulated through the carrier body and connected with connecting wires arranged in isolation, in which the support-shaped leads passed with play through the supporting body are stressed by spring elements, which act approximately parallel to the longitudinal extensions of the vaporizers and press the head parts of the leads against the front surfaces of the vaporizers facing them, the spring elements being supported themselves yes electrically insulated and guided with respect to the supporting body or being formed by insulating materials, and the connecting wires connected to these leads being conductors crossed by a refrigerant or executed as flexible cooling pipes or cooling pipes, which are laid parallel to the wires of connection and lead into chambers or channels which are provided in the leads.

E' scopo della presente invenzione creare un vaporizzatore in serie con il quale non si abbiano gli inconvenienti del dispositivo noto e il quale soprattutto consenta una sostituzione particolarmente rapida e senza problemi delle navette. It is an object of the present invention to create a vaporizer in series which does not have the drawbacks of the known device and which above all allows a particularly rapid and problem-free replacement of the shuttles.

Questo scopo viene raggiunto secondo l'invenzione per il fatto che gli elementi di compressione della seconda polarità sono attraversati dal refrigerante e sono supportati in modo spostabile longitudinalmente in bussole di materiale elettricamente isolante nelle aperture dei sostegni, le bussole essendo eseguite come stantuffi a gradino e i corrispondenti fori come fori a gradino, i quali insieme delimitano un rispettivo vano anulare, che corrisponde con un canale del fluido in pressione, attraverso il quale ciascun vano anulare è aumentabile con fluido in pressione, che sposta il perno contro la forza della molla. This object is achieved according to the invention due to the fact that the compression elements of the second polarity are traversed by the coolant and are supported in a longitudinally displaceable manner in sleeves of electrically insulating material in the openings of the supports, the sleeves being formed as stepped pistons and the corresponding holes as step holes, which together define a respective annular compartment, which corresponds to a channel of the pressurized fluid, through which each annular compartment can be increased with pressurized fluid, which moves the pin against the force of the spring.

Altre forme di esecuzione e caratteristiche sono meglio descritte e caratterizzate nelle rivendicazioni. Other embodiments and features are better described and characterized in the claims.

L'invenzione consente le forme di esecuzione più diverse; una di esse è meglio rappresentata nell'accluso disegno, che mostra in vista laterale e parzialmente in sezione un dispositivo per il supporto di un vaporizzatore di un impianto di metallizzazione sotto vuoto. The invention allows the most diverse embodiments; one of them is better represented in the enclosed drawing, which shows in side view and partially in section a device for supporting a vaporizer of a vacuum metallization plant.

Il-vaporizzatore in serie è costituito sostanzialmente da un corpo portante 7 con tre sostegni 3, 4, 5 estendentisi nella direzione longitudinale del banco di vaporizzatori, sotto forma di spezzoni profilati con sezioni trasversali circa rettangolari, una molteplicità di vaporizzatori disposti l'uno'accanto all'altro, ciascuno con una navetta 6, 6',...., in cui queste navette sono disposte ciascuna sfalsate tra loro di una quota a, raccordi per tubo flessibile del refrigerante 17, 17',...., ciascuno dei quali sbocca in un elemento di compressione 10, 10',..., che è dotato di un foro di raffreddamento 18, 18', .... e la cui estremità libera o parte di testa 13, 13' , .... preme un vaporizzatore 6 contro un elemento di sostegno 19, 19' , ... fissato al sostegno 5, e molle di compressione 12, 12',..., che sono appoggiate ciascuna ad un collare 20, 20',... collegato con l'elemento di compressione 10, 10',.... e premono la parte di testa 13, 13', .... di ciascun elemento di compressione 10, 10', .... in direzione della freccia A contro la navetta 6, 6',... associata. The series vaporizer substantially consists of a supporting body 7 with three supports 3, 4, 5 extending in the longitudinal direction of the vaporizer bank, in the form of profiled lengths with approximately rectangular cross sections, a multiplicity of vaporizers arranged one ' next to each other, each with a shuttle 6, 6 ', ...., in which these shuttles are each arranged offset from each other by a height a, fittings for flexible refrigerant pipe 17, 17', ...., each of which opens into a compression element 10, 10 ', ..., which is equipped with a cooling hole 18, 18', ... and whose free end or head part 13, 13 ',. ... presses a vaporizer 6 against a support element 19, 19 ', ... fixed to the support 5, and compression springs 12, 12', ..., which each rest on a collar 20, 20 ', ... connected with the compression element 10, 10 ', .... and press the head part 13, 13', ... of each compression element 10, 10 ', .... in the direction of the arrow A against the associated shuttle 6, 6', ....

Ciascun elemento di compressione Ì0, 10',... è supportato in coppie di bussole rispettivamente 14, 14',.... e 21, 21',...., di ^materiale elettricamente isolante, le quali a loro volta sono supportate in aperture rispettivamente 8, 8',. .. e 9,.9',. ... nei sostegni rispettivamente 3 e 4, la bussola supportata nel primo sostegno 3 essendo eseguita a forma di stantuffo a gradino 14, 14', ..., che slitta a tenuta in un foro a gradino 22, 22', .... di forma corrispondente e forma una superficie anulare 23,.·'23', ..., che è alimentata da un fluido in pressione (in questo caso aria compressa) , il quale attraverso il canale 16 e un rispettivo foro 24 in ciascun sostegno 3 viene convogliato nel rispettivo vano anulare 15. Durante il processo di rivestimento, i vani anulari 15, 15'’,··· sono scaricati dalla pressione, per cui la forza delle molle di compressione 12, 12',... agisce pienamente su ciascuno dei collari 20, 20',... collegati con gli elementi di compressione 10, 10',... e le molle di compressione sostengono saldamente le navette 6, 6',... contro gli elementi di sostegno fissi 19, 19', Each compression element 10, 10 ', ... is supported in pairs of bushes 14, 14', .... and 21, 21 ', ..., respectively, of electrically insulating material, which in turn are supported in openings 8, 8 ', respectively. .. and 9, .9 ',. ... in the supports 3 and 4 respectively, the bush supported in the first support 3 being made in the form of a stepped piston 14, 14 ', ..., which slides sealingly in a step hole 22, 22', .. .. of corresponding shape and forms an annular surface 23,. '23 ', ..., which is fed by a pressurized fluid (in this case compressed air), which through the channel 16 and a respective hole 24 in each support 3 is conveyed into the respective annular compartment 15. During the coating process, the annular compartments 15, 15 '', ··· are relieved of the pressure, so that the force of the compression springs 12, 12 ', ... acts fully on each of the collars 20, 20 ', ... connected to the compression elements 10, 10', ... and the compression springs firmly support the shuttles 6, 6 ', ... against the supporting elements fixed 19, 19 ',

In caso di sostituzione delle navette 6, 6',..., la pressione nei vani anulari, 15, 15', .... viene aumentata fino a che le forze idrauliche (o pneumatiche) agenti in direzione della freccia B sulle superfici anulari 23, 23',... degli stantuffi a gradino 14, 14',... non .superino..le forze delle molle 12, 12',.... agenti in direzione della freccia A e spostino gli stantuffi a gradino 14, 14',.... e con essi anche gli elementi di compressione 10, 10',..., con i quali gli stantuffi a gradino 14, 14',... sono collegati ciascuno ad accoppiamento di forza tramite le bussole 25, 25',.... e gli anelli elastici 26, 26',...., in direzione della freccia B, per cui le navette sono scaricate e possono venire rimosse dal banco di vaporizzatori e sostituite. In case of replacement of the shuttles 6, 6 ', ..., the pressure in the annular compartments, 15, 15', ... is increased until the hydraulic (or pneumatic) forces acting in the direction of arrow B on the surfaces rings 23, 23 ', ... of the step plungers 14, 14', ... not .uperine ... the forces of the springs 12, 12 ', ... acting in the direction of the arrow A and move the plungers to step 14, 14 ', .... and with them also the compression elements 10, 10', ..., with which the step plungers 14, 14 ', ... are each connected by force coupling through the bushes 25, 25 ', .... and the elastic rings 26, 26', ...., in the direction of the arrow B, so that the shuttles are unloaded and can be removed from the vaporizer bank and replaced.

Elenco dei numeri di riferimento List of reference numbers

3 sostegno 3 support

4 sostegno 4 support

5 sostengo 5 I argue

6, 6' , . . . vaporizzatore, navetta 6, 6 ',. . . vaporizer, shuttle

7 corpo portante 7 bearing body

8 apertura 8 opening

9 apertura 9 opening

10, 10',... elemento di compressione 10, 10 ', ... compression element

11, 11',... reoforo 11, 11 ', ... rheophore

12, 12',... elemento a molla 12, 12 ', ... spring element

13, 13',... parte di testa 13, 13 ', ... head part

14, 14',... bussola, stantuffo a gradino 14, 14 ', ... sleeve, step plunger

15, 15',... vano anulare 15, 15 ', ... annular compartment

16 canale per fluido in pressione 16 channel for pressurized fluid

17, 17',. raccordo per tubo flessibile del refrigerante 17, 17 ',. connector for coolant hose

18, 18',... foro di raffreddamento 18, 18 ', ... cooling hole

19, 19',... elemento di sostegno 19, 19 ', ... support element

20, 20',... collare, anello di sostegno 20, 20 ', ... collar, support ring

21, 21',... bussola 21, 21 ', ... compass

22, 22',... foro a gradino 22, 22 ', ... step hole

23, 23', superficie di stantuffo, superficie anulare 23, 23 ', piston surface, annular surface

24, 24',... foro 24, 24 ', ... hole

25, 25' , . . . bussola 25, 25 ',. . . compass

26, 26',. .. anello elastico 26, 26 ',. .. elastic ring

Claims

CLAIMS 1) Vaporizer in series for vacuum metallization plants, in particular for strip metallization plants, consisting of several single vaporizers (6.6 ', ....) of adjustable power, heated by current passage, supported by supports (3, 4, 5), in which the supports {3, 4, 5) are supported by an electrically conductive supporting body (7), extending over the entire length, and the lead of the first polarity is electrically conductively connected with the bearing body (7), while the leads (11, 11 ', ...) of the second polarity are connected with pin-shaped compression elements (10, 10', ...), passed through insulated openings (8, 9) in the supports, in which the compression elements (10, 10 ', ....) made to pass with play through the openings are stressed by spring elements (12, 12', ...), which act approximately in the longitudinal extension of the vaporizers (6, 6 ', ...) and press the head parts (13, 13', ...) of the elements compression ments (10, 10 ', ...) against the front surfaces facing them of the vaporizers (6, 6', ...), in which the elastic elements (12, 12 ', _) are themselves supported electrically insulated and guided with respect to the load-bearing body (7) or are formed of insulating material, characterized in that the compression elements (10, 10 ' of the second polarity are traversed by coolant and are supported in a longitudinally displaceable manner in the openings of the supports in bushes (14, 14 ', ···) of electrically insulating material, the bushings (14, 14', ...) being made as step plungers and the corresponding holes as step holes, which together define each an annular compartment (15, 15 ', ...), which corresponds with a pressurized fluid channel (16), through which each annular compartment (15 , 15 ', ...) can be supplied with pressurized fluid, which moves the pin against the force of the spring (12, 12,...).