ITMI951084A1 - Trasduttore con elementi ottici di riproduzione diffrattivi - Google Patents

Abstract

Il trasduttore ottico lavora nel procedimento di riflessione, trasmettitore e ricevitore sono disposti sullo stesso lato del corpo graduato di misura, per cui sono ottenibili altezze di costruzione molto piccole. Il ricevitore presenta un campo di ricezione fotosensibile reticolato (array di pixel) per la rivelazione di punti di luce (spot) e il corpo graduato di misura porta una microstruttura, la quale viene riprodotta sul reticolo fotosensibile per mezzo di mezzi ottici agenti diffrattivamente. Il mezzo ottico diffrattivo può essere integrato nel corpo graduato di misura se come sorgente di luce si impiega un laser, il mezzo ottico diffrattivo può essere disposto tra il corpo graduato di misura e il reticolo fotosensibile, se la sorgente di luce è un LED. La

Description

produzione è molto favorevole se esso è eseguito come trasduttore girevole e se il corpo graduato di misura è un disco di impulsi con una microstruttura, prodotto secondo il procedimento per compact disc. (Figura 8)

Descrizione del trovato

L'invenzione si trova nel campo dei trasduttori ottici, in particolare dei trasduttori girevoli, e concerne un trasduttore secondo la definizione introduttiva della rivendicazione 1.

Il principio di base sinora impiegato in trasduttori ottici consiste nel fatto che su un corpo di misura, in trasduttori girevoli per esempio un disco circolare, viene applicato un reticolo a trattini altamente preciso. Questo reticolo può essere codificato tanto in modo strettamente periodico quanto anche aperiodico. Per riconoscere l'informazione di posizione e di velocità da questo reticolo, questo reticolo viene illuminato in modo passante e gli scostamenti di luce, i quali risultano dalla differente codifica oppure, nel caso di reticoli periodici, mediante il movimento, vengono misurati con l'ausilio di elementi fotosensibili. Questo principio ha dato una prova molto buona, poiché la digitalizzazione viene già realizzata sul corpo di misura. Invero da ciò risultano anche delle serie limitazioni. In seguito alla divergenza non evitabile il reticolo non può essere reso piccolo/stretto a piacere. Questa è una limitazione sostanziale nella realizzazione di risoluzioni molto elevate oppure nella fabbricazione di trasduttori girevoli con diametri molto piccoli dei dischi. Sinora si è cercato di spostare questo limite in quanto si sono posizionate le corrispondenti teste di lettura molto vicine al reticolo oppure in quanto si sono introdotti ulteriori diaframmi e lenti nel percorso dei raggi.

La soluzione più attrattiva relativamente ai costi, vale a dire la riduzione della distanza della testa di lettura, risulta particolarmente di ostacolo se i trasduttori non possiedono una supportazione propria. Per poter impiegare questa modalità di costruzione di per sé favorevole relativamente ai costi, per ottenere la desiderata ed anche possibile precisione di misurazione è necessario eseguire le supportazioni della macchina (trasduttore di lunghezze), rispettivamente del motore (trasduttore girevole) in modo sostanzialmente più preciso, e quindi più costoso, di quanto richiederebbe il funzionamento della macchina, rispettivamente del motore.

Sussiste ora la possibilità, invece di produrre un'immagine proiettata ad ombra sull'elemento fotosensibile, di proiettare su fotodiodi una reale riproduzione del reticolo. A tale scopo non deve ora essere realizzata, come per esempio ci si dovrebbe aspettare, un'ottica di elementi singoli di lenti e di diaframmi, bensì con l'invenzione qui presentata nel seguito funzioni ottiche sono collocate, come strutture fini e diffrangenti di reticolo, nel reticolo di codifica e su modelli di diodi corrispondenti agli elementi fotosensibili. Ciò viene realizzato, secondo l'invenzione, con elementi ottici diffrattivi, cosiddetti DOE.

Come elementi sostanziali per l'invenzione vanno menzionati in tal caso il corpo graduato di misura diffrattivo e la testa di lettura, accordata su di esso, con la disposizione o array fotosensibile su un chip (preferìbilmente un opto-ASIC). Il corpo graduato di misurazione diffrattivo contiene oltre al reticolo di codifica, per esempio al reticolo incrementale periodico, il reticolo assoluto o radiale o tangenziale e tipi analoghi di reticoli con una risoluzione di 10 μιπ - 20.000 μιη, addizionalmente ancora un reticolo diffrangente con una costante di reticolo nel campo dei submicron, per esempio 0,6 μιη. Il reticolo diffrattivo ha funzioni ottiche come per esempio la concentrazione della luce e la deviazione della luce in determinate direzioni, rispettivamente ordini della diffrazione. La parte di lettura è costituita da una parte ibrida (funzionale), la quale contiene la sorgente di luce, l'unità di ricezione sensibile alla luce (per esempio un chip con array di diodi) e un ripartitore di raggi con elementi ottici diffrattivi (DOE) integrati.

I vantaggi della soluzione secondo l'invenzione sono i seguenti:

- la distanza della testa di lettura si trova a 2 mm al posto dei 60 /im necessari secondo la tecnica nota; il raggio di luce del trasmettitore non deve avere alcuna divergenza particolarmente stretta, non sono più necessari accorgimenti speciali per la supportazione precisa;

- il reticolo diffrattivo consente funzioni ottiche, le quali rendono particolarmente favorevole un'esplorazione a riflessione, per cui è possibile un montaggio più semplice della parte di lettura e l'altezza di costruzione del sensore viene praticamente dimezzata;

- il reticolo diffrattivo può essere applicato su quarzo, vetro, silicio, policarbonato, nichel, acciaio, alluminio o altri materiali adatti nella tecnica di attacco chimico o di riproduzione ed è in tal modo particolarmente favorevole relativamente ai costi per la produzione di grandi serie, ciò in particolare se per esempio possono essere impiegati metodi di fabbricazione come per i compact disc;

- un trasduttore girevole, ovvero di rotazione, o un trasduttore di lunghezza è costituito sostanzialmente solamente da tre parti di montaggio: il corpo graduato di misura, la sorgente di luce/parte di lettura e l'ottica diffrattiva intermedia. Qualora venga utilizzata luce laser, utilizzando l'effetto di fan-out si può rinunciare ad un'ottica intermedia, la quale è necessaria solamente nell'impiego di una sorgente di luce favorevole relativamente ai costi, come per esempio diodi LED;

- la compattezza della testa di lettura in unione con il corpo graduato di misura diffrattivo consente di impiegare una codifica mista, vale a dire un reticolo incrementale e un reticolo assoluto, per cui viene molto aumentata la sicurezza inerente del sistema;

- mediante la grande distanza della testa di lettura si può "utilizzare concomitantemente" la supportazione prevista nel motore, rispettivamente nella macchina;

- anche nel caso di una risoluzione o definizione molto elevata sono ora possibili diametri molto piccoli dei dischi per i trasduttori girevoli;

- il montaggio su un motore miniaturizzato viene sostanzialmente facilitato dalle dimensioni piccole ora possibili dell'unità di codifica (in tre parti, compatta).

Un trasduttore con questi vantaggi può essere realizzato in base all'invenzione indicata nelle rivendicazioni. L'invenzione viene ora discussa in dettaglio con l'ausilio delle figure indicate nel seguito.

La figura 1 mostra un primo concetto di base della disposizione di una sorgente di luce, di un disco di impulsi e di un ricevitore fotosensibile per l'illuminazione obliqua del disco degli impulsi e per la riflessione diretta sul ricevitore.

La figura 2 mostra un secondo concetto di base della disposizione di una sorgente di luce, di un disco degli impulsi e di un ricevitore sensibile alla luce per l'illuminazione perpendicolare del disco degli impulsi con l'ausilio di un suddivisore dei raggi e con riflessione perpendicolare diretta sul ricevitore.

La figura 3 mostra un terzo concetto di base della disposizione di una sorgente di luce, di un disco degli impulsi e di un ricevitore fotosensibile per l'illuminazione obliqua del disco degli impulsi e per la riflessione perpendicolare diretta sul ricevitore.

La figura 4 mostra diverse disposizioni di diffrazione di reticolo nelle (quattro) larghezze di banda spettrali scelte di una sorgente di luce.

Le figure 5 a e b mostrano varianti di elementi multifocali diffrattivi, e

le figure 6 a e b mostrano come si forma su un corpo graduato di misura la riflessione "idonea array" da faccette mosse transitanti davanti con elementi multifocali diffrattivi, nella quale macchie di luce puntiformi o spot vengono elaborate sull'elemento fotosensibile.

La figura 7 mostra una costruzione di principio di un trasduttore girevole con un'ottica di riproduzione generale tra disco degli impulsi e rivelatore, laddove sul rivelatore è rappresentata schematicamente una disposizione o array di diodi fotosensibili, e

la figura 8 mostra una forma di esecuzione preferita di un trasduttore girevole secondo l'invenzione con ottica diffrattiva tripla tra il disco degli impulsi e il rivelatore.

La figura 9 mostra, in correlazione con la codifica, una struttura esemplificativa su un corpo graduato di misura, disco degli impulsi o corpo di misurazione di lunghezze. Le figure 10 a e b mostrano le funzioni di trasferimento per un trasduttore con la (più elevata) risoluzione corrispondentemente ad un numero base o cardinale e per un trasduttore con la (più bassa) risoluzione corrispondentemente a numeri base o cardinali plurimi.

La rivelazione della luce modulata attraverso il corpo graduato di misura ha luogo nel trasduttore secondo l'invenzione non mediante trasmissione, come in altri sistemi noti, bensì mediante riflessione. La sorgente di radiazione e il rivelatore sono quindi disposti sullo stesso lato del corpo graduato di misura, la qual cosa riduce in via di principio la lunghezza di costruzione del trasduttore. L'informazione, producente impulsi, del corpo graduato di misura, per esempio la distribuzione di chiaro/scuro, viene trasmessa sui segmenti di rivelatore (pixel) per esempio di un opto-ASIC. Ciò ha luogo o mediante un'ottica di riproduzione tra il corpo graduato di misura e il rivelatore oppure mediante una microstruttura sul corpo graduato di misura, la quale produce la desiderata distribuzione di luminosità nel piano del rivelatore, quindi sull'array.

Le figure da 1 fino a 3 mostrano diverse modalità di costruzione di, per esempio, trasduttori girevoli con le loro specifiche particolarità:

1) un'illuminazione obliqua con la sorgente di luce L sul disco degli impulsi M e valutazione della riflessione diretta sul rivelatore R, presenta lo svantaggio che mediante un eventuale colpo in altezza del disco si viene ad originare uno spostamento dell'immagine che nel caso di un array di pixel produce un errore. Per l'esclusione di questo svantaggio,

2) può essere scelta un'illuminazione verticale, ovvero perpendicolare, del disco degli impulsi M e la valutazione della riflessione diretta con l'ausilio di un ripartitore di raggi B, la qual cosa richiede questa parte costruttiva B addizionale. Qualora si voglia evitare il ripartitore di raggi, può

3) essere scelta una illuminazione obliqua e la rivelazione verticale di luce diffusa anziché di luce riflessa direttamente, la qual cosa esclude i due svantaggi delle modalità di costruzione secondo le figure 1 e 2. La deviazione di luce, irraggiata obliquamente sul disco degli impulsi M in direzione normale viene realizzata mediante un'indicatrice I, prodotta dalla microstruttura, sul disco degli impulsi, laddove sul percorso di siffatte microstrutture la luce incidente può essere sempre deviata preferibilmente nella direzione di rivelazione, dove si disporrà anche sempre il rivelatore. Mediante la scelta dell'ordine diffrattivo viene anche assicurata la sufficiente 2 intensità di irraggiamento (almeno 1 mW/cm ). L'indicatrice di una microstruttura, per esempio determinata, è disegnata nel percorso dei raggi ed è indicata con I.

La figura 4 mostra la grandezza relativa di ordini di diffrazione di reticolo -6..0..6 sull'ascissa nelle quattro larghezze di banda spettrali scelte O fino /- 100 nm di una sorgente di luce. Fondamentalmente è di vantaggio il fatto che la funzione ottica per la produzione della distribuzione di luce necessaria nel piano del rivelatore è integrata direttamente nella struttura del corpo graduato di misura. La possibilità attrattiva di suddividere con microstrutture diffrattive un fascio di raggio laser in una pluralità di fasci parziali di differente direzione di allargamento (elementi fan-out) è nota dalla letteratura. Nel caso più semplice possono essere utilizzati gli ordini di diffrazione di un reticolo, laddove tuttavia l'intensità diminuisce ad ordine di diffrazione crescente. Nel caso di una sorgente di luce con una certa larghezza di banda spettrale gli ordini di diffrazione divengono irregolari e possono anche sovrapporsi, la qual cosa è anche rappresentata schematicamente nella figura 4 or ora discussa.

Con un LED, la cui larghezza di banda spettrale è più piccola di più/meno 50 nm, l'errore cromatico sarebbe tollerabile se non vengono impiegati più di 3-4 ordini di diffrazione. Con elementi fan-out diffrattivi si può soddisfare queste condizioni, poiché essi sono costituiti di una combinazione di differenti strutture di reticolo, delle quali viene a prevalere solamente il rispettivo primo ordine di diffrazione. Mediante un'adatta combinazione di questi reticoli di base questi elementi possono essere concepiti in modo tale che in tutti i fasci di raggi parziali è presente la stessa intensità. Siffatti elementi del cosiddetto tipo "reticolo Damman", i quali separano o scindono solamente in raggi parziali, richiedono invero ancora un'ottica addizionale per la messa a fuoco.

Fondamentalmente è possibile integrare la funzione di messa a fuoco nella struttura diffrattiva S, cosicché verrebbe prodotto direttamente un disegno o reticolo puntiforme nel piano del rivelatore D. In relazione a ciò vi sono due tipi basilari di elementi, come gli stessi sono mostrati nelle figure 5a/b. Nel tipo della figura 5a l'apertura dell'elemento comprende parecchi fasci di raggi parziali, mentre nel tipo in figura 5b a ciascun fascio di raggi parziali è associata un'apertura parziale. L'apertura numerica di un fascio di raggi parziali nel tipo della figura 5a è chiaramente più grande, per cui il diametro delle macchie di luce nel piano focale, rispettivamente nel piano D del rivelatore, può essere più piccolo che nel tipo mostrato in figura 5b. La suddivisione dei raggi secondo la figura 5a è ora eseguibile con strutture diffrattive, mentre una suddivisione in aperture parziali, come mostrato in figura 5b, è possibile anche con elementi ottici convenzionali, come per esempio con un reticolo o griglia di piccoli specchi cavi. Elementi del tipo secondo la figura 5a sono meno adatti, per l'impiego sul corpo graduato di misura, di quelli secondo la figura 5b, perché l'intensità di illuminazione degli spot nel piano D del rivelatore varierebbe molto fortemente con la rotazione del disco o con lo spostamento della scala di misura.

Le figure 6a e 6b mostrano in direzione di movimento faccette (relative al codice) con elementi multifocali diffrattivi, la struttura S, sul corpo graduato di misura, come esse percorrono il raggio di luce dalla sorgente di luce, rispettivamente la macchia di luce. La figura 6a mostra la macchia di luce, come essa si estende sull'estensione di una singola faccetta e la figura 6b mostra la stessa macchia di luce, come essa si estende per metà su due faccette adiacenti. La traccia sul corpo graduato di misura sia una sequenza di faccette che sono di volta in volta elementi multifocali diffrattivi. Il corpo graduato di misura è mosso in una posizione, nella quale la faccetta N viene completamente illuminata, laddove nel piano del rivelatore vengono prodotti parecchi spot ugualmente luminosi. Dopo un ulteriore movimento del corpo graduato di misura in ragione della semilunghezza della faccetta N, questa e la faccetta adiacente N+i è illuminata rispettivamente per metà. Gli spot di luce generati da ciascuna faccetta sul piano D del rivelatore sono tra loro ancor sempre ugualmente luminosi, però l'intensità di radiazione per spot è solamente la metà, in confronto con la posizione, nella quale un'intera faccetta era completamente illuminata. Con l'ulteriore movimento la luminosità degli spot della faccetta N diminuisce ulteriormente e quella degli spot della faccetta N+l aumenta ulteriormente, sinché è raggiunta l'illuminazione completa della faccetta N+l e tutti gli spot (costantemente ugualmente chiari) irradiano nuovamente così fortemente come era il caso anche con l'illuminazione completa della faccetta N. Una siffatta variazione dell'intensità di irradiamento del rivelatore dovrebbe naturalmente essere evitata, per esempio per il fatto che a ciascun spot è associata una faccetta con focalizzazione individuale, la quale è eseguita come elemento diffrattivo oppure come piccolo specchio cavo, oppure per il fatto che il modello di modulazione del corpo graduato di misura viene riprodotto con l'ausilio di un elemento ottico nel piano del rivelatore.

Si rileva tuttavia che una funzione ottica per la produzione della distribuzione delle macchie di luce necessitata nel piano D del rivelatore può essere integrata solo in modo difficoltoso nel corpo graduato di misura se come sorgente di luce non viene impiegato un laser, bensì un LED. Qualora per ragioni di costo per lo sfruttamento dell'effetto di fan-out non deve essere impiegato un laser bensì un LED, la qual cosa si verificherebbe per la maggior parte degli impieghi, allora si dovrebbe preferire la forma di esecuzione, descritta nel seguito, con la riproduzione ottica nel piano del rivelatore.

La figura 7 mostra schematicamente un sistema con un'ottica O generalmente riproducente tra il corpo graduato di misura M e il rivelatore R. Il corpo graduato di misura M viene irradiato obliquamente dalla sorgente di luce L, come ciò venne già mostrato schematicamente in figura 3. L'ottica riproducente o di riproduzione 0 e la sua disposizione si trova sotto il vincolo oggettivo della dimensione, oppure espresso più precisamente, dell'estensione in termini di superfici del rivelatore R. Nell'esplorazione di tre tracce sul corpo graduato di misura il rivelatore, rispettivamente la sua superficie fotosensibile, può presentare una forma, come essa è illustrata in modo accennato (in forma di una T) nel disegno. Dopo tutti i calcoli si rileva che la piena larghezza di 3,5 mm di tutte le tracce del corpo graduato di misura non può essere riprodotta con una lente singola nel piano del rivelatore. Di contro a parecchi campi parziali devono essere associate di volta in volta lenti proprie, la qual cosa viene mostrata in figura 8 come una forma di esecuzione preferita.

Questa forma di esecuzione preferita impiega un reticolo di lenti DOE come elementi ottici diffrattivi per la riproduzione della microstruttura delle singole tracce sul campo fotosensibile dell'opto-ASIC R. Per evitare una interferenza tra le riproduzioni ottiche di lenti adiacenti devono essere previsti corrispondenti separatori di canale C, per esempio a guisa di nido d'ape. Questo accorgimento richiede una parte costruttiva addizionale, la qual cosa appare dapprima come svantaggio, questa parte costruttiva può però essere conformata nello stesso tempo come supporto per l'ottica DOE impiegata tra il corpo graduato di misura M e il rivelatore R. La macchia di luce sul corpo graduato di misura viene anche qui prodotta secondo la figura 3 mediante luce incidente in modo obliquo dalla sorgente di luce L.

La figura 9 mostra ora un esempio per la codifica come microstrutture di un corpo graduato di misura. Il disco qui disegnato a titolo di esempio (può essere parimenti una scala di misura) contiene 7 tracce: 2 tracce per i segnali di incremento A, B con 1024 posizioni (risoluzione); 2 tracce per il segnale N e 3 tracce per il codice assoluto ABS con 256 posizioni. Il principio della codifica assoluta si basa sulla codifica seriale. Le prime due tracce contengono il codice, la terza traccia serve a scegliere la zona maggiormente contrastante. L'esplorazione è differenziale, per cui tutte le tracce sono doppie. La corrispondente zona di ricezione di un opto-ASIC contiene: 2 diodi di esplorazione per ciascuna traccia A, B, quindi uno per il segnale A e uno per il segnale B; 2 diodi di esplorazione per il tratto N, anche qui uno per ciascuna traccia; 34 diodi di esplorazione per l'esplorazione del tratto ABS, vale a dire per le tracce 1 e 2 rispettivamente 8 coppie di diodi (una coppia per bit) e i due diodi, per la traccia 3, per bit. Il raddoppiamento del numero di diodi serve ad evitare problemi di posizionamento, come gli stessi vennero già discussi più sopra. La superficie massimale delle coppie di diodi per l'esplorazione delle tracce A, B e ABS non può superare la superficie di un bit di codice. Un siffatto ASIC dovrebbe allora presentare 40 diodi di esplorazione. Inoltre in figura 9 sono ancora indicate le dimensioni approssimative delle tracce, le quali ammontano ad alcune centinaia di micrometri.

Tutti i numeri di reticolo, i quali sono divisili per un numero cardinale o base, per esempio 2χ = 1024, 512, 256, 128 ..., possono essere elaborati puramente elettricamente con lo stesso corpo graduato di misura (che contiene il numero massimale di posizioni). Il mezzo più semplice per impiegare questa soluzione è l'impiego di un convertitore codice assoluto/codice di partenza, per esempio una ROM, per ciascuna risoluzione (codifica assoluta) e di un divisore di frequenza (codifica incrementale). Nel caso di numeri base plurimi il problema della risoluzione multipla appare soprattutto quando più di 2 diodi esplorano in serie la stessa pista, come è qui per esempio il caso nella codifica assoluta. Una soluzione meno dispendiosa per questo problema consiste nel fatto che ad una data rete di diodi nel ASIC si prevede addizionalmente ancora per ciascun numero di base un convertitore codice assoluto-in-codice di partenza. Esempio: la risoluzione o definizione è 720 posizioni, rispettivamente locazioni, il corpo graduato di misura ha però 1024 posizioni, rispettivamente locazioni; i bit superflui sono circa 300, vengono collegati singolarmente con gli altri. In questo modo si vengono ad originare circa 300 coppie di bit, per cui la precisione non si trova più in modo continuo 1/2-LSB bensì tra un semi LSB e un LSB intero, la qual cosa è mostrata nelle figure 10a e 10b con le funzioni di trasferimento, ascissa=posizione e ordinatale odice di partenza.

Il fattore costo limitante si trova oggigiorno ancora nella superficie sensibile dell'opto-ASIC. Quanto più grande viene scelto il campo di esplorazione, tanto più costoso è il AS1C. Quante meno tracce si esplorano, tanto più piccolo si può prevedere il ASIC. In tal modo un trasduttore incrementale senza esplorazione di traccia assoluta è più economico di un trasduttore assoluto, il quale presenta tracce addizionali. Si può però prevedere l'informazione "completa" (incremento e assoluto) sul corpo graduato di misura e con un "ASIC più piccolo" esplorare, e valutare, solamente una parte di esso. Il dispendio finanziario non si trova allora nel corpo graduato di misura bensì nel componente con il più grande campo di esplorazione fotosensibile .

Claims (12)

1. Rivendicazioni 1. Trasduttore ottico con corpo graduato di misura, trasmettitore di luce e ricevitore fotosensibile, caratterizzato dal fatto che il trasmettitore di luce (L) e il ricevitore (R) sono disposti sullo stesso lato del corpo graduato di misura (M) (procedimento di riflessione), dal fatto che il ricevitore (R) presenta un campo di ricevimento reticolato fotosensibile (D, array di pixel) per il rilevamento di punti luce (spot), e dal fatto che il corpo graduato di misura (M) presenta una microstruttura (S, faccetta), la quale viene riprodotta per mezzo di mezzi (DOE) ottici agenti diffrattivamente sul reticolo (D) fotosensibile nel ricevitore (R).
2. 2. Trasduttore secondo la rivendicazione l, caratterizzato dal fatto che il mezzo ottico diffrattivo (DOE) è integrato nel corpo graduato di misura (M) (la sorgente di luce è un laser).
3. 3. Trasduttore secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che il mezzo (DOE) ottico diffrattivo è disposto tra il corpo graduato di misura (M) e il reticolo fotosensibile (la sorgente di luce è un LED).
4. 4. Trasduttore secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che esso è eseguito come trasduttore rotante e il corpo graduato di misura (M) è un disco di impulsi con una microstruttura (S, faccetta), prodotto secondo il procedimento per compact disc.
5. 5. Trasduttore secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che esso è eseguito come trasduttore di misura di lunghezze e il corpo graduato di misura (M) è munito di una microstruttura (S, faccetta), la quale è prodotta secondo il procedimento di stampaggio o incisione per compact disc.
6. 6. Trasduttore secondo una delle rivendicazioni da 1 fino a 5, caratterizzato dal fatto che il campo di ricezione reticolato (array di pixel) nel rivelatore (R), il (piale riceve luce dal corpo graduato di misura (M) struttura, è un array di CCD.
7. 7. Trasduttore secondo una delle rivendicazioni da 1 fino a 5, caratterizzato dal fatto che il campo di ricezione reticolato (array di pixel) nel rivelatore (R), il quale riceve luce dal corpo graduato di misura (M) strutturato, è un opto-ASIC.
8. 8. Trasduttore secondo la rivendicazione 6 oppure 7, caratterizzato dal fatto che per diverse tracce di codice sul corpo graduato di misura (M) sono previsti campi di pixel associati nel campo di ricezione reticolato.
9. 9. Trasduttore secondo la rivendicazione 8, caratterizzato dal fatto che per l'associazione di tracce di codice e di campi di pixel sono previsti tanti mezzi ottici diffrattivi, rispettivamente lenti (DOE), quante correlazioni devono essere realizzate e i percorsi di raggi formati vengono impediti ad effettuare interferenze o diafonie mediante separatori di canale (C) disposti in modo corrispondente.
10. 10. Trasduttore secondo una delle rivendicazioni da 1 fino a 10, caratterizzato dal fatto che la sorgente di luce (L) e il ricevitore fotosensibile (R) sono disposti sullo stesso substrato e formano una unità costruttiva o componente.
11. 11. Trasduttore secondo la rivendicazione 10, caratterizzato dal fatto che il substrato comune per la sorgente di luce (L) e per il ricevitore fotosensibile (R) è eseguito come circuito ibrido nella tecnica dei semiconduttori.
12. 12. Trasduttore secondo una delle rivendicazioni da 9 fino a 11, caratterizzato dal fatto che il separatore di canali (C) con i mezzi ottici diffrattivi (DOE) disposti tra il corpo graduato di misura (M) e il ricevitore fotosensibile (R) è collegato con il substrato comune e rappresenta in questo modo una unità costruttiva di trasmettitore/ricevitore, la quale per la realizzazione di un trasduttore viene associata al corpo graduato di misura (M).