ITMI950272A1 - Fotosensibilizzazione di guide d'onda a fibra ottica e di silice - Google Patents
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Abstract
Procedimento per fabbricare una guida d'onda ottica fortemente fotosensibile comprendente il riscaldamento locale di almeno una parte di una guida ottica debolmente fotosensibile per un periodo di tempo sufficiente ad aumentare la densità dei difetti associati alla fotosensibilità nella parte riscaldata dell'anima della guida d'onda.
Description
D E S C R I Z I O N E
annessa a domanda di brevetto per INVENZIONE INDUSTRIALE dal titolo;
“FOTOSENSIBILIZZAZIONE DI GUIDE D'ONDA A FIBRA OTTICA E DI SILICE"
D E S C R I Z I O N E
La presente invenzione si riferisce a guide d'onda ottiche e, in particolare, a un procedimento di fabbricazione di guide d'onda fortemente fotosensibili da una guida d'onda debolmente fotosensibile .
Le guide d'onda ottiche possono mostrare proprietà di fotosensibilità, come permanente variazione dell'indice di rifrazione, indotta da luce, Esperimenti iniziali, come descritto nel brevetto statunitense 4,474,427, emesso il 2 ottobre 1884, inventato da K, 0, Hill et al, hanno dimostrato il fenomeno nelle fibre ottiche, ma recentemente è stato rivelato anche in strutture di vetro planari, comprese, per esempio, guide d'onda planari di silice su silicio e silice su silice,
La fotosensibilità può essere usata per realizzare reticoli di Bragg retroriflettenti, reticoli a convertitore di modo e rotatori oscillanti nelle guide d'onda ottiche; per fabbricare tali dispositivi, una modulazione dell’indice di rifrazione, spazialmente periodica, permanente , viene impressa con luce sulla lunghezza dell'anima fotosensibile della guida d'onda ottica.
Procedimenti di fabbricazione idi tali reticoli di Brago sono descritti nella domanda di brevetto statunitense serie N<e >969,774 depositata il 29 ottobre 1992, inventata da K,0, Hill, B, Malo, F, Bilodeau e D, Johnson e dal titolo "METHDD QF FABBRICATING BRAGG GRATINGS USING A SILICA GLASS FHASE GRATING MASK",
Lo spettro di assorbimento ultravioletto vicino dell'anima drogata con Ge della guida d'onda a fibra ottica di Ge;SiO2 su Si oppure Ge:SiO2 su SiO2 viene fortemente influenzato dal tipo e concentrazione dei difetti nell'anima, E' stato trovato che la fotosensibilà delle guide d'onda con anima drogata con Ge è collegata all'assorbimento dovuto a difetti di mancanza di ossigeno nella regione dell'UV a 240 nm, come descritto da G. Meltz et al, in "Qptical Lstters" 14, 823 (1989), La fibra ottica di elevata qualità, come la fibra Corning SMF-28 e le guide planari di silice su silicone NTT contengono concentrazioni di difetti comparativamente basse, Come risultato, entrambi i tipi di guida d'onda sono relativamente trasparenti vicino all'UV e sono caratterizzate da debole fotosens ibil ità ,
Abb iamo scope rto un proced imento semplice ed efficace per aumentare sostanzialmente la fotosens ibiil tà delle guide d 'onda ottiche ad anima drogata con Ge, di silice di elevata qualità, debolmente fotosensibili,
Agenti droganti differenti possono risultare nella fotosensibilità a differenti lunghezze d'onda, Sembra che il procedimento possa pure servire a fotosens ibil izzare altri tipi di guide d' onda ottiche a differenti lunghezze d'onda, per esempio quelle drogate con cerio o europio e co-drogate con allum ina, per esempio ,
Contrariamente ad altri procedimenti, come descritto da G,D, Maxwell et al, in "Electronic Letters" 28, 2106 11992) la fotosensibilizzazione nel nostro caso viene ottenuta con un trascurabile aumento della perd ita ne lle tre principa li finestre di comunicazione ottica per lunghezze de l dispositi vo retroriflettente tipico di Bragg,
Inoltre, la nostra tecnica permette fotosensibilizzazione localizzata di guide d'onda ottiche di elevata qualità disponibili in commercio, Secondo un'altra forma di realizzazione dell'invenzione, un procedimento di fabbricazione di una guida d'onda ottica fortemente fotosensibile comprende il riscaldamento locale di una parte di una guida d'onda ottica debol mente fotosensibile per un periodo di tempo sufficiente ad aumentare la densità dei difetti nella guida d'onda a un livello richiesto per aumentare la risposta fotosensibile della guida d 'onda ,
Secondo un 'altra forma d i realizzaz ione , una lun ghezza d i guida d 'onda ott ica. debo lmente foto sensibile ha una sezi one locali zzata sign ificativanente fotosens ib ile ,
Una migliore comprensione dell'invenzione si otterrà con riferimento alla descrizione dettagliata che segue, considerata congiuntamente agli allegati disegni , in cui:
- la figura 1 illustra una fibra ottica spazzolata" alla fiamma,
- la figura 2 è un grafico della variazione degli indici come funzione del tempo di "spazzolamento" alla fiamma osservato nella fibra ottica;
- la figura 3, curva (a), illustra la dispersione del coefficiente di assorbimento dello strato di guida d'onda a piastirina ,drogata con Ge , misurata normale al substrato prima del trattamento;
- la figura 3, curva (b), illusta la dispersione del coefficiente di assorbimento dello strato di guida d'onda a piastrina dopo il trattamento con "spazzola men to " alla fiaroma ;
-- la figura 3, curva (c), illustra una misurazione sperimentale della modifica foto-indotta nella dispersione del coe fficiarite di ass orbimento con lunghezza d'onda per lo strato di guida d'onda a piastrina drogato con Ge fotosensibilizzato causata da irradiazione di luce UV;
la figura 4 illustra una misurazione della risposta di lunghezza d'onda di un reticolo di Bragg nell'anima di una guida d'onda a tre dimensioni, planare, dopo lavorazione secondo la presente invenz ione ;
- la figura 5 è una sezione trasversale di una parte di una fibra ottica contenente un reticolo di Bragg; - la figura 6 è una sezione trasversale di un frammento di una maschera con faccia a reticolo, La figura 1 illustra una sezione di guida d'onda nella forma di fibra ottica comprendente anima 1 circondata da rivestimento 3, Una regione della guida d'onda viene immersa in una fiamma 5 e viene "spazzolata" "avanti e indietro" ripetutamente in una regione localizzata con la fiamma lungo la regione nella direzione indicata dalle frecce, Tuttavia, potrebbe essere riscaldata localmente mediante qualche altra sorgente di calore adatta, come laser a CO2 o arco elettrico,
Lo “spazzolamento" viene effettuato per aumentare la dimensione della regione trattata; in caso contrario non sarebbe necessario effettuarlo.
In una forma di realizzazione preferita dell'invenzione, la regione della guida d'onda ottica debolmente ( compreso trascurabilmente) fotosens ibile che deve esse re fotosens ibi lizzata viene ripetutamente "spazzolata" dalla fiamma 5 alimentata da un combustibile, come idrogeno o propano, ma alla quale viene a volte aggiunta una piccola quantità di ossigeno (la temperatura della fiamma è circa 1700°C),
E ' stato trovato che il comple tamento della fotosensibil izzazione avviene in circa 20 minuti per il maissimo effetto alle condizioni usate nei nostri esperimenti (guida d'onda di fibra Corning 3MF28), benché si sia effettuato il procedimento con successo usando 10 minuti di "spazzo lamento" alla fiamma, Poiché può essere usata una fiamma relativamente piccola per "spazzolare" la guida d'onda, il procedimento dà luogo a fo tosensibi lizzazione altemente locali zzata ,
La temperatura alla quale viene riscaldato il vetro della guida d'onda è approssimativamente uguale al calore bianco (approssimativamente il punto di fusione del vetro).
Abbiamo usato il metodo dello "spazzo lamento" alla fiamma per aumentare la fotosensibilità di fibre standard per telecomunicazioni (Corning SMF28 con anima drogata con Ge) di un fattore maggiore di dieci (modifica dell'indice di rifrazione foto indotta > 10<-3 >a = 1530 nrn),
La figura 2 é un grafico della modifica dell'indice foto indotta massima. (satura) osservata in fibra Corning SMS-28 come funzione del tempo di lavorazione sotto "spazzolamento" alla fiamma, Le condizioni di esposizione alla luce UV usate erano; λ = 243 nm, fluenza = 300 mj/cm<2>/per impulso, frequenza di ripetizione dell 'impulso (PRF) = SO Hz , tempo di esposizione = 15 min e durata dell'impulso = 12 nsec , In un campione di fibra non "spazzolata" alla fiamma abbiamo osservato una modifica dell'indice fotoindotta soltanto di 1,2 10<4>; dopo 20 minuti di "spazzo lamento" alla fiamma, la modifica dell'indice di rifrazione foto indotta osservata in un campione di fibra simile arrivava a un picco di 1,4 10<-3 >,
Abbiamo trovato che il metodo di "spazzolamento" alla fiamma rendeva pure fortemente fotosensibile l'anima della guida d'onda dei nostri campioni di guide d'onda tridimensionali di Ge:SiO 2 su Si di elevata qualità e delle guide d'onda planari a due dimensioni di Ge:SiO2 su SiO2 che erano tascur abilmerite fotosensibili prima del trattamento, Abbiamo sperimentalmente osservato un maggiore effetto di fotosens ibilizzazione in queste guide d'onda planari che abbiamo realizzato in fibra SMF—28 : la modifica dell'indice di rifrazione foto indotta nell'an ima della guida d 'onda di guide d'onda planari non lavorate era al di sotto della nostra soglia di rilevazione, ma con un trattamento di "spazzolamento" alla fiamma diventava maggiore della modifica dell'indice di rifrazione foto indotta in fibra SMF-28 “spazzolata" alla fiamma allo stesso modo e alle stesse condizioni di esposizione all'UV, Le guide d'onda di film a piastrina planari sono state fabbricate mediante deposizione elettrolitica alla fiamma di SiO2 drogato con Ge su substrato di silice. La fase indice, Δ n, dello strato drogato con Ge, spesso 5 μm, sul SiO2 è stata misurata a lunghezza d'onda = A 663 nm per essere 1,14 ± 0,04 x 10<-2 >prima del trattamento ed aumentata a 1,32 ± 0,04 x 10<-2 >dopo 10 minuti di trattamento di "spazzolamento" alla fiamma, Associato a questa modifica dell'indice di rifrazionne vi era un aumento del coefficiente di assorbimento dell'anima della guida d'onda nella regione dello spettro dell'ultravioletto,
La curva (a) di figura 3 illustra la dispersione nel coefficiente di assorbimento (moltiplicato per 200) dello strato della guida d'onda misurata normale al substrato prìma del trattamento di "spazzolamento " alla fiamma ,
La curva (b) illustra la dispersione nel coefficiente di assorbimento per lo strato di guida d'onda misurata dopo trattamento di "spazzolamento" alla fiamma. L'enorme aumento di assorbimento dell'UV dello strato di guida d’onda risultante dal trattamento di "spazzolamento" alla fiamma è evidente: circa 1000 dB/mm a 240 nm, La casualità di Kramers-Kronig prevede che un aumento dell'assorbimento a corte lunghezze d'onda causi un aumento dell'indice di rifrazione a lunghe lunghezze d'onda, come osservato.
La curva (c) illustra una misurazione sperimentale di Δ α : modifica fotoindotta nella dispersione del coefficiente di assorbimento per lo strato di guida d'onda fotosensibilizzato alla fiamma, causata da irradiazione di luce UV a 243 nm per 40 minuti con fluenza per impulso di 112 mJ/cm<2 >a 50 Hz PRF , L'effetto dell'irradiazione è di indebolire l'assorbimento a 240 nm e simultaneamente aumentarlo su entrambi i lati della banda (a 213 nm e a 231 nm), Il risultato è che l'irradiazione dell ' UV aurnenta l'assorbimen to netto dell'UV del cam pione, pertanto aumenta, in concomitanza, come osservato, l'indice di rifrazione a lunghezze d’onda maggiori. Per confronto, abbiamo misurato la variazione dell'assorbimento dovuta a trattamento di "spazzolamento" alla fiamma di un substrato di silice omogeneo, Il substrato era identico a quello usato per la deposizione elettrolitica alla fiamma della guida d'onda ottica planare di Ge:SiO2 sopra descritta, L'assorbimento del substrato non era fondamentalmente influenzato dalla lavorazione (modifica inferiore al 2% nell'assorbimento a 240 nm). Pertanto, abbiamo attribuito l'aumento dell'assorbimento in campioni lavorati mediante "spazzolamento" alla fiamma interamente all'effetto della lavorazione sulle proprietà ottiche dello strato della guida d'onda di Ge:SiO2 ,
Abbiamo postulato su questa evidenza che lo "spazzolamento" alla fiamma di una guida d'onda influisce preferibilmente sulle proprietà ottiche dell 'anima di silice drogata con Ge e lascia immutate le proprietà del rivestimento, In questo senso, esso è un procedimento di fotosensibilizzazione ideale poiché il rivestimento può rimanere trasparente, in tal modo permettendo alla luce di attivazione di raggiungere non attenuata l'anima della guida d'onda, Allo stesso tempo, la lavorazione crea nell'anima drogata con Ge assorbimento molto forte, rendendola altamente fotosensibile in modo che la luce UV possa influenzare la modifica del suo indice di rifrazione ,
Per ragioni di flessibilità, i dispositivi a reticolo vengono solitamente scritti in una guida d'onda fotosensibile illuminando la guida d'onda dal lato con luce UV, Tipicamente, l'anima della guida d'onda ottica è circondata da materiale idi rivestimento diverse volte la dimensione trasversale dell'anima, Per scrittura laterale di successo, non soltanto la luce UV attivante deve essere trasmessa dal rivestimento, ma deve anche essere assorbita sufficientemente dall'anima per permettere alla luce di foto indurre efficacemente una variazione dell’indice, ivi. Pertanto, poiché le dimensioni trasversali di una guida d'onda ottica sono dell'ordine di pochi micron soltanto, come necessità primaria per elevata fotosensibilità, l'assorbimento dovuto alici presenza di agente drogante dell'anima deve essere il più alto possibile, E' stato trovato che lo "spazzo lamento" alla fiamma crea queste vantaggiose condizioni per efficace scri ttura laterale .
Nelle guide d’onda ottiche fotosensib ilizzate con il nostro procedimento abbiamo scritto forti reticoli di Bragg 10, come illustrato in figura 5, in guide d’onda tridimensionali planari e a fibra ottica con radiazione KrF C249 nm) incidente sui campioni attraverso una maschera di fase a reticolo fotolitografico di ordine zero 12, come illustrato in figura S , disegnato con un passo richiesto per risonanza di Bragg della guida d'onda ottica a circa 1540 nnt,
La figura 4 illustra la risposta della lunghezza d'onda misurata di un reticolo di Bragg di guida d'onda planare di Se :Si su Si lunga 1 mm,
La rifletti vità dell'81 % corrisponde a un ' ampiezza di modulazione dell'indice di rifrazione dell'anima di 8,9 x 10<-4 >per ognuno dei due principali stati di polarizzazione. Per scrivere il reticolo di Bragg, la guida d'onda è stata fotosensibilizzata con IO minuti di "spazzolamento" alla fiamma prima di irradiazione con un fascio laser a ectimeri KrF che era incidente sulla guida d'onda a 50 PRF per 15 minuti attraverso una maschera di fase a reticolo fotoli tograf ico,
La scrittura dei reticoli di Bragg è molto utile per cara tterizzare la risposta fotosens ible delle guide d 'onda ottiche , Possono essere controlla te sia la variazione media dell'indice covi esposizione che la corrispondente profondità di modulazione dell'indice. Lo spostamento della lunghezza d'onda della risonanza di Bragg come funzione della dose di esposizione fotolitografica alla luce UV fornisce una misura in tempo reale della variazione media del l'indice di rifrazione causata dall'esposizione. L'intensità della risonanza di Bragg dà la profondità della modulazione spaziale fotoindotta, Con fotolitografia di maschera di fase sulla fibra, il rapporto della modulazione rispetto alla variazione media dell'indice che abbiamo ottenuto costantemente era circa 0,4, All'alta fluenza per livelli di impulso necessari a scrivere il reticolo di Bragg nell'anima, abbiamo scritto simultaneamente un reticolo a rilievo superficiale di elevata qualità nell'interfaccia silicone-silice che abbiamo attribuito alla fusione del silicone indotta dalla luce, assieme a rilassamento da sollecitazione all' interfaccia.
Abbiamo effettuato misurazioni della stabilità della temperatura su un reticolo di Bragg fotoindotto la cui risposta è riportata in figura 4, Dopo che il campione era. stato tenuto a 500°C per 17 ore, la modulazione dell'indice di rifrazione si stabilizzava a 3,6 x 10<- 4 >, che rappresentava una diminuzione del 40% del suo valore originale.
La guida d'onda fotosensibilizzata potrebbe semplificare la scrittura di impulsi singoli di reticoli di Bragg in fibra e dare dispositivi sensor i utili,
La presente invenzione fornisce un proced imento efficace per fotosensibil izzare guide d'onda ottiche con elevata selettività spaziale (soltanto la parte scelta della guida d'onda necessita di essere fotosensibilizzata) e per fabbricare efficienti reticoli di Bragg in almeno guide d'onda di fibra ottica di GeiSiO2 su Si e anima drogata con Ge , E' stato trovato che il riscaldamento localizzato con una fiamma è un procedimento semplice ed efficace per aumentare sostanzialmente la fotosensibilità di guide d'onda ottiche di silice di elevata qualità alla luce ultravioletta, Il procedimento aumenta la fotosensibilità delle fibre per telecomunicazioni standard (anima drogata con Ge) di un fattore maggiore di dieci (/in fotoindotto > 10<-3 >> e rende fortemente fotosensibili guide d ' onda planari di 6e :SiO2 su Si, Ge;SiO2 su SiO2 e Ge; SiOsi su Alati:» di elevata qualità che erano trascurab ilmente fotosensibili prima del traitamiento ,
Usando guide d'onda fotosensibilizzate mediante la presente invenzione, forti reticoli di Bragg sono stati scritti nella fibra e guida d'onda ottica planare con radiazione KrF (249 nm) indidente sulle guide d'onda attraverso una maschera di fase zero.
Bisogna notare che la fotosensibilizzazione con il nostro procedimento si ottiene con un trascurabile aumento di perdita alle tre principali finestre di comunicazione ottica,
Mentre il procedimento di "spazzo lamento'' alla fiamma sopra menzionato viene descritto come utilizzante preferibilmente una fiamma alimentata da un combustibile come idrogeno o propano, ma al quale viene a volte aggiunta una piccola quantità di ossigeno, è stato trovato che si ottiene un miglioramento usando una fiamma alimentata da deuterio piiuttosto che da idrogeno, E' stato trovato che la risultante guida d'onda ottica fotosensibilizzata ha perdite inferiori di una guida d'onda ottica "spazzolata" a fiamma alimentata da idrogeno alla lunghezza d'onda di circa 1550 nm, e ad altre lunghezze d'onda idi interesse nelle cou nicazion i ottiche e ne lle ap plicazion i di rilevaz ione ,
E' stato anche trovato che il procedimento riportato nella presente descrizione renderà una guida d'onda debolmente fotosensibile, for temente fotosensibile quando la guida d'onda comprende silice drogato con fosforo, I reticoli di Bragg, per esempio, possono essere realizzati con fibre ottiche aventi un'anima drogata con fosforo, fotosensibilizzate usando "spazzolamento" alla fiamma, oppure carico di idrogeno e irradiate con radiazione attinica di, per esempio, 193 nm, che può essere prodotta con un laser XCIMER, Il rivestimento della fibra ottica o altra guida d'onda potrebbe essere essenzialmente trasparente alla radiazione attinica.
Secondo un'altra forma di realizzazione dell’invenzione, anziché "spazzolare" alla fiamma la guida d'onda ottica debolmente fotosensibile, essa potrebbe essere posta in un plasma, ove il plasma viene generato in gas d'idrogeno o deuterio. Il plasma mantiene la guida d'onda a una temperatura inferiore alla temperatura ottenuta localmente con "spazzolamento" alla fiamma, che vantaggiosamente riduce la possibilità di diffusione dell'agente drogante durante il processo di fotosensibilizzazione .
Si deve notare che l'invenzione é applicabile a varie guide d'onda ottiche, come guide d'onda planari o scanalate e non è limitata a guide d'onda a fibre ottiche .
Una persona che comprende la presente invenzione può ora concepire strutture e forme di realizzazione alternative o variazioni della stessa. Tutte quelle che cadono nell'ambito delle rivendicazioni allegate sono considerate parte della presente invenzione.
Claims (1)
- R I V E N D I C A Z I O N I 1 , Procedimento per fabbricare una guida d'onda ottica fortemente fotosensibile comprendente il riscaldamento locale di una parte della guida d'onda ottica debolmente fotosensibile per un periodo di tempo sufficiente ad aumentare la concentrazione dei difetti associati alla fotosensibilità nella parte riscaldata di detta guida d'onda, 2, procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è una fibra ottica, 3, Procedimento secondo la rivendicazione 2, caratterizzato dal fatto che detta guida d'onda debolmente fotosensibile comprende uno dei seguenti substrati: GeiSiO2 su Si, Ge;SiO2 su SiO3: e Ge:SiO2 su Al2O3. 4 , Proceciimento se cond o la riven d icazione 2 , caratterizzato dal fatto che detta guida. d'onda debolmente fotosensibile comprende silice drogata con germanio, cerio o europio, 5, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è una guida d'onda planare, 6, Procedimento secondo la rivendicazione 5, caratterizzato dal fatto che detta guida d'onda debolmente fotosensibile comprende silice drogata con germanio, o materiale di substrato di silicone, silice e zaffiro, 7, Procedimento secondo la rivendicazione 5, caratter izzato dal fatto che detta guida d'onda debol mente fotosensib ile comprende silice d rogata con germanio, cerio o europio, 8, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratter izzato dal fatto che detti difetti sono dovuti a deficienza di ossigeno, 3, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che detta guida d'onda viene fabbricata fortemente fotosensibile a lunghezze d'onda di circa 248 nm, 10, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizz a to dal fatto che il riscaldamento locale de lla guida d 'onda ottica debolmente fotosens ibίle viene condotto muovendo una sorgente di calore locale lungo detta guida d'onda per aumentare la dimensione di una regione contenente detti difetti. 11, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che la sorgente di riscaldamento locale è una fiamma usata per "spazzolare" la guida d'onda ottica, la fiamma essendo alimentata da un gas. 12, Procedimento secondo la rivend icazione caratterizzato dal fatto che la temperatura della fiamma è circa 1700°0 , 13, Procedimento secondo la rivendicazioene 12, caratterizzato dal fatto che il gas è iidrogeno, 14, Procedimento secondo la rivendicazione 12, caratter izzato dal fatto che lo "spazzolamento" alla fiamma viene continuato per circa 10 - 20 minuti, 15, Procedimento secondo la rivendicazione 5, caratter izzato dal fatto di comprendere le fasi iniziali di fabbricare la guida d'onda planare mediante idrolisi alla fiamma di SiO2 drogato con Ge su un substrato di silice per formare una strato spesso circa 5 μm , 16, Procedimento secondo la rivendicazione 1 cara tterizzat o dal fatto chie detta gu ida d 'onda debolmente fotosensibile comprende silice drogata con germanio, cerio o eurοpio , 17, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratter izzato dal fatto di comprendere le ulteriori fasi di creare almeno un reticolo a superficie in rilievo o di B ragg comprendente il posizionamento di una maschera di fase di reticolo sul latcì della parte fortemente fotosensibilizzata della guida d'onda con il suo piano parallelo all ' asse della guida d'onda, e irradiare detta parte fortemente fotosens ibίlissata della guida d'onda attraverso la maschera di fase con luce monocromatica ad una lunghezza d'onda alla quale detta guida d'onda è fortemente fotosensibile. 18, Tratto di guida d'onda ottica debolmente fotosensibile avente una sezione localizzata significat ivamente fotosensibile, 13, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18 nella forma di una fibra ottica, 20, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18 nella forma di una guida d'onda planare, 21, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18, caratterizzata dal fatto di comprendere uno dei seguenti substrati; Ge:SiO2 su Si, Ge:SiO2 su SiO2, e Ge:SiO2 su Al2O3, 22, Guida d'onda secondo la rivendicazione 21 nella forma di una guida d'onda a piastrina, 23, Guida d'onda secondo la rivendicazione 21 nella forma di fibra ottica, 24, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18, caratterizzata dal fatto che detta sezione localizzata ha difetti di carenza di ossigeno più significativi delle sezioni adiacenti della guida d'onda , 25, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18, caratterizzata dal fatto che detta sezione localizzata è fortemente fotosensibile alle lunghezze d'onda di circa 240 nm . 26 , Gu ida d ' onda secondo la rivend icaz ione 18 , caratterizzata dal fatto che detta guida d'onda è una guida d'onda a piastrina comprendente silice drogata con germanio, ceri o, erbio o europio, 27, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18, caratterizzata dal fatto di comprendere almeno uno tra un retic«3lo a rilievo superficiale e un reticolo di Bragg, contenuto in detta sezione lc«calizzata , 28, Procedimento secondi} la rivendicazione 2, caratterizzato «dal fatto che la guida d 'onda έ co-d roga ta con allum ina , 23, Ρro cedi mento secondo la rivend icazione 7 , caratterizzato dal fatto che la «guida d'onda è co-d roga ta con allumi na , 30, ProceidimentiD secondo la r ivendic azione 1 1, caratterizzata dal fatto che viene aggiunto ossigeno al gas. 31, Procedi mento secondo la r ivendic azione 16, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è co- drogata con allumina, 32 , Guida d'onda secondi} la rivendicazione 21 nella forma di guida d'onda planare, 33, Guida d'onda secondo la rivendicazione 18, caratterizzata dal fatto che detta guida d'onda è una guida d'onda planare comprendente silice drogata con germanio, cerio, erbio o europio, 34, Procedimento secondo la rivendicazione 26, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è co-drogata con allumina, 35, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che la fase di riscaldamento comprende il porre la guida d'onda ottica debolmente fotosensibile in una fiamma alimentata da idrogeno o deuterio, 36, Procedimento secondo la rivendicazione 35, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è co-drogata con allumina, 37, Procedimento per fabbricare una guida d'onda ottica fortemente fotosensibile comprendente il porre una guida d'onda ottica debolmente fotosensibile in un plasma di gas d'idrogeno o di deuterio sufficientemente ad alta pressione per un periodo di tempo sufficiente ad aumentare la concentrazione dei difetti associati alla fotosensibilità nella parte riscaldata della guida d 'onda, 38, Procedimento secondo la rivendicazione 1, caratterizzato dal fatto che 'detta guida d'onda debolmente fotosensibile comprende silice drogata con germanio, cerio, europio o fosforo, 39, Procedimento secondo la rivendicazione 38, caratterizzato dal fatto che la guida d'onda è una fibra ottica, un canale o almeno parte di uno strato planare , 40, Procedimento di fotosensibilizzazione comprendente il riscaldamento locale di almeno una parte di una guida d'onda ottica di silice debolmente sensibile drogata con fosforo per un peri odo d i tempo suff icien te ad aumentare la concentrazione dei difetti associati alla fotosensibilità nella parte riscaldata della guida d'onda, e irradiare detta parte riscaldata con radiazione attinica allo scopo di causare una va riaz ione de ll 'ind ice di rifraz ione nella gu ida d 'onda , 41 , Procedimento secondo la rivendicazione 40, caratterizzato dal fatto che l'anima della guida d'onda è coperta da un rivestimento essenzialmente trasparente alla radiazione attiva, e dal fatto di far passare detta radiazione attraverso il rives timento all' anima de lla gu ida d 'onda , 42, Procedimento secondo la rivendicazione 41 caratter izzato dal fatto che la fase di riscaldamento comprende il trattenere detta guida d'onda debolmente sensibile in un plasma alimenta io da idrogeno o deuterio, 43, Procedimento secondo la rivendicazione 40, caratterizzato dal fatto che l'anima della guida d'onda è co-drogata con un agente drogante attivo a laser, come erbio ,
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