IT201900006974A1

IT201900006974A1 - Condizionamento termico di dispositivi elettronici sotto test basato su elementi estensibili

Info

Publication number: IT201900006974A1
Application number: IT102019000006974A
Authority: IT
Inventors: Fabrizio Scocchetti
Original assignee: Eles Semiconductor Equipment S P A
Priority date: 2019-05-17
Filing date: 2019-05-17
Publication date: 2020-11-17
Also published as: US20220214396A1; EP3969921B1; CN114096861A; EP3969921C0; WO2020234907A1; US11726137B2; EP3969921A1

Description

DESCRIZIONE

Settore tecnico

La presente invenzione riguarda il settore del test di dispositivi elettronici. Più specificamente, tale invenzione riguarda il condizionamento termico di dispositivi elettronici sotto test.

Sfondo tecnologico

Lo sfondo della presente invenzione è nel seguito introdotto con la discussione di tecniche relative al suo contesto. Comunque, anche quando questa discussione riguarda documenti, atti, manufatti e simili, essa non suggerisce o riconosce che le tecniche discusse fanno parte dell’arte nota o sono conoscenze generali nel settore rilevante per la presente invenzione.

I dispositivi elettronici (ad esempio, ciascuno basato su uno o più circuiti integrati) sono generalmente soggetti a test per verificare il loro corretto funzionamento. Per ciascun dispositivo elettronico sotto test (anche noto come Device Under Test, o DUT), i test sono finalizzati a individuare difetti che sono evidenti (ossia, che si manifestano immediatamente) o potenziali (ossia, che si potrebbero verificare dopo un breve periodo di utilizzo del dispositivo elettronico). In quest’ultimo caso, i dispositivi elettronici possono essere sottoposti a un test termico (burn-in). A tale scopo, i dispositivi elettronici sono testati in condizioni di stress termico, facendoli lavorare a temperature molto alte o molto basse (ad esempio, da -50 °C a 150 °C), con ciò simulando un lungo periodo di funzionamento degli stessi dispositivi elettronici a temperatura ambiente (ad esempio, 10-30 °C).

In particolare, i dispositivi elettronici possono essere testati in una loro forma finale a livello di contenitore (package), ossia, con i circuiti integrati incapsulati in contenitori per proteggerli e fornire terminali di accesso ad essi. In tale caso, i dispositivi elettronici sono alloggiati temporaneamente su schede di test (ad esempio, Burn-In Board, o BIB, nel caso del test di burn-in). Le schede di test sono utilizzate per interfacciare i dispositivi elettronici con un sistema di test. A tale scopo, ciascuna scheda di test è dotata di una pluralità di zoccoli (socket). Ogni zoccolo blocca meccanicamente il contenitore di un dispositivo elettronico e collega elettricamente i suoi terminali al sistema di test; allo stesso tempo, lo zoccolo consente di rimuovere il dispositivo elettronico senza danni sostanziali al termine del test. Gli zoccoli sono in genere disposti in una matrice a densità elevata, al fine di incrementare un parallelismo delle schede di test e quindi una resa dei test.

I dispositivi elettronici durante il loro funzionamento producono calore che ne provoca un riscaldamento. In particolare, tale riscaldamento è notevole nel caso di dispositivi elettronici ad alta potenza. In ogni caso, la crescente miniaturizzazione dei dispositivi elettronici incrementa significativamente il loro riscaldamento. Un riscaldamento eccessivo dei dispositivi elettronici riduce le loro prestazioni, e può provocare usura, malfunzionamenti o anche rotture dei dispositivi elettronici. Pertanto, dissipatori di calore (heat sink) sono in genere previsti per disperdere il più possibile il calore prodotto dai dispositivi elettronici. In particolare, nel caso in cui i dispositivi elettronici (ad alta potenza e/o miniaturizzazione) producano una grande quantità di calore, il loro raffreddamento tramite aria (sia per convezione naturale sia per ventilazione forzata) può non essere sufficiente a garantire il loro corretto funzionamento. Per questo motivo, negli ultimi anni si è assistito a una larga diffusione di complessi sistemi di raffreddamento, come a tubo di calore (heat-pipe) o liquido, in grado di fornire una elevata capacità di raffreddamento.

Tuttavia, l’uso di tali sistemi di raffreddamento in fase di test è difficile (se non impossibile).

Infatti, l’elevata densità degli zoccoli nelle schede di test può impedire l’applicazione dei sistemi di raffreddamento ai dispositivi elettronici in essi alloggiati. Inoltre, i sistemi di raffreddamento possono ostacolare o addirittura impedire il carico/scarico automatico dei dispositivi elettronici dalle schede di test (con un effetto deleterio sulla resa dei test).

In ogni caso, i sistemi di raffreddamento (a causa delle loro dimensioni) agiscono a livello globale su tutti i dispositivi elettronici alloggiati su ogni scheda di test. Tuttavia, i dispositivi elettronici (anche se della stessa tipologia) sono soggetti a un riscaldamento disuniforme (con differenze anche dell’ordine di 40-60%). Ciò rende difficile controllare con precisione la temperatura dei dispositivi elettronici, e comunque impedisce di applicare uno stesso stress termico ai dispositivi elettronici (con conseguente riduzione dell’affidabilità dei test).

Quanto sopra ha effetti negativi sull’efficacia dei test dei dispositivi elettronici, il che si ripercuote sulla qualità di un loro processo di produzione.

Sommario

Un sommario semplificato della presente invenzione è qui presentato al fine di fornire una comprensione di base della stessa; tuttavia, il solo scopo di questo sommario è di introdurre alcuni concetti dell’invenzione in forma semplificata come preludio alla sua seguente descrizione più dettagliata, e non è da interpretare come un’identificazione dei suoi elementi chiave né come una delimitazione del suo ambito.

In termini generali, la presente invenzione è basata sull’idea di condizionamento termicamente i dispositivi elettronici tramite corrispondenti elementi estensibili.

In particolare, un aspetto fornisce un dispositivo di condizionamento termico, in cui un fluido termoconduttore di processo è fatto circolare in una pluralità di elementi estensibili; una pressione del fluido termoconduttore di processo è regolata per allungare gli elementi estensibili in modo che siano premuti contro corrispondenti dispositivi elettronici sotto test per condizionarli termicamente.

Un ulteriore aspetto fornisce un apparato di test comprendente tale dispositivo di condizionamento termico.

Un ulteriore aspetto fornisce un corrispondente metodo per condizionare termicamente dispositivi elettronici sotto test.

Un ulteriore aspetto fornisce un corrispondente metodo per testare dispositivi elettronici.

Più specificamente, uno o più aspetti della presente invenzione sono indicati nelle rivendicazioni indipendenti e caratteristiche vantaggiose della stessa sono indicate nelle rivendicazioni dipendenti, con il testo di tutte le rivendicazioni che è incorporato nella presente alla lettera per riferimento (con qualsiasi caratteristica vantaggiosa fornita con riferimento a ogni specifico aspetto che si applica mutatis mutandis a ogni altro aspetto).

Breve descrizione delle figure

La soluzione della presente invenzione, come pure ulteriori caratteristiche e i relativi vantaggi, sarà meglio compresa con riferimento alla seguente descrizione dettagliata, fornita puramente a titolo indicativo e non limitativo, da leggersi congiuntamente alle figure allegate (in cui, per semplicità, elementi corrispondenti sono indicati con riferimenti uguali o simili e la loro spiegazione non è ripetuta, e il nome di ogni entità è in generale usato per indicare sia il suo tipo sia suoi attributi, quali valore, contenuto e rappresentazione). A tale riguardo, è espressamente inteso che le figure non sono necessariamente in scala (con alcuni particolari che possono essere esagerati e/o semplificati) e che, a meno di indicazione contraria, esse sono semplicemente utilizzate per illustrare concettualmente le strutture e le procedure descritte. In particolare:

FIG.1 mostra una rappresentazione illustrativa con parti in trasparenza di un dispositivo di condizionamento termico in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione,

FIG.2 mostra una rappresentazione illustrativa con parti rimosse di un apparato di test in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione, FIG.3 mostra una vista in sezione di un particolare del dispositivo di condizionamento termico in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione, e

FIG.4A-FIG.4E mostrano le fasi principali di un processo di test in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento in particolare alla FIG.1, è mostrata una rappresentazione illustrativa (con parti in trasparenza) di un dispositivo di condizionamento termico 100 in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione.

Il dispositivo di condizionamento termico 100 è utilizzato per condizionare termicamente una pluralità di dispositivi elettronici (DUT) sotto test alloggiati in corrispondenti zoccoli di una scheda di test (non mostrati nella figura). Il dispositivo di condizionamento termico 100 comprende i seguenti componenti.

Una pluralità di elementi estensibili 105 (ad esempio, a soffietto) sono utilizzati per condizionare termicamente in modo individuale i dispositivi elettronici, ad esempio, raffreddandoli, durante un loro test. Ogni elemento estensibile 105 ha un lunghezza variabile, in modo da poter allungarsi e accorciarsi. Gli elementi estensibili 105 sono disposti in una matrice (ad esempio, con 2-10 righe e 5-20 colonne solo in parte rappresentate nella figura), con un passo di 3,0-4,0 cm (o superiore). Per ogni dispositivo elettronico, è previsto un corrispondente elemento estensibile 105 (per raffreddarlo quando a contatto con esso). Un fluido di processo 110 è fatto circolare negli elementi estensibili 105. Il fluido di processo 110 è una sostanza termoconduttrice allo stato liquido (ad esempio, una miscela di acqua e glicole), la quale accumula e trasporta calore dai dispositivi elettronici (raffreddandoli). La circolazione del fluido di processo 110 negli elementi estensibili 105 è ottenuta tramite un sistema di circolazione (di processo) 115, ad esempio, basato su corrispondenti giranti (descritto in dettaglio nel seguito). Un sistema di scambio calore (di processo), ad esempio, uno scambiatore di calore 120 scambia calore con il fluido di processo 110 (trasferendo il calore assorbito dai dispositivi elettronici). Un sistema di regolazione pressione, ad esempio, un pistone 125 è utilizzato per regolare una pressione del fluido di processo 110. Ciò consente di muovere gli elementi estensibili 105 tra una condizione accorciata (bassa pressione) e una condizione allungata (alta pressione). Come descritto in dettaglio nel seguito, a riposo gli elementi estensibili 105 sono accorciati, mentre durante il test gli elementi estensibili 105 sono allungati per essere premuti contro i corrispondenti dispositivi elettronici.

La soluzione sopra descritta consente di condizionare termicamente (ad esempio, raffreddandoli) i dispositivi elettronici in modo efficace anche in fase di test.

In particolare, il dispositivo di condizionamento termico 100 può essere applicato ai dispositivi elettronici pure quando la scheda di test in cui essi sono alloggiati ha una elevata densità degli zoccoli (anche con un passo di poche decine di millimetri). Inoltre, il dispositivo di condizionamento termico 100 non ostacola sostanzialmente il carico/scarico automatico dei dispositivi elettronici dalla scheda di test (per cui non impatta la resa dei test).

La pressione esercitata dal fluido di processo 110 migliora significativamente un accoppiamento meccanico, e quindi uno scambio termico, tra gli elementi estensibili 105 e i dispositivi elettronici 205.

Quanto sopra ha effetti positivi sull’efficacia dei test dei dispositivi elettronici, il che si ripercuote sulla qualità di un loro processo di produzione.

Con riferimento ora alla FIG.2, è mostrata una rappresentazione illustrativa (con parti rimosse) di un apparato di test 200 in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione.

L’apparato di test 200 è utilizzato per testare dispositivi elettronici, indicati con il riferimento 205, a livello di contenitore; ad esempio, i dispositivi elettronici 205 sono soggetti a un test di burn-in (in cui i dispositivi elettronici 205 sono testati in condizioni di stress termico). A tale scopo, l’apparato di test 200 comprende una scheda di test 210 (per alloggiare temporaneamente i dispositivi elettronici 205) e il dispositivo di condizionamento 100 di cui sopra (per condizionare termicamente i dispositivi elettronici 205 alloggiati sulla scheda di test 210). In genere, un impianto di test (non mostrato nella figura) ospita svariati esemplari dell’apparato di test 200, unitamente a corrispondenti schede di pilotaggio (disposte in una zona di controllo mantenuta a temperatura ambiente e collegate ai corrispondenti apparti di test 200 per alimentarli e per scambiare segnali) e un caricatore/scaricatore (per caricare/scaricare i dispositivi elettronici 205 dalle schede di test 210).

In particolare, la scheda di test 210 comprende i seguenti componenti.

Un supporto 215 di materiale isolante circuitizzato (ad esempio, una scheda a circuito stampato, o PCB) svolge una funzione di sostegno meccanico e di collegamento elettrico per gli altri componenti della scheda di test 210. Una pluralità di zoccoli 220 (solo in parte rappresentati nella figura) sono montati su una superfice principale (superiore nella figura) del supporto 215. Gli zoccoli 220 sono disposti con una geometria corrispondente a quella degli elementi estensibili 105 (in modo che quando la scheda di test 210 e il dispositivo di condizionamento 100 sono coassiali (con la scheda di test 210 sotto il dispositivo di condizionamento 100 nella figura), gli zoccoli 220 sono allineati ai corrispondenti elementi estensibili 105. Ogni zoccolo 220 è utilizzato per alloggiare un dispositivo elettronico 205 in modo rimovibile. In particolare, lo zoccolo 220 blocca meccanicamente il dispositivo elettronico 205 (agendo su un suo contenitore) e collega elettricamente il dispositivo elettronico 205 al circuito elettrico del supporto 215 (contattando suoi terminali); allo stesso tempo, lo zoccolo 220 consente di rilasciare meccanicamente il dispositivo elettronico 205 (per rimuoverlo dalla scheda di test 210 senza danni sostanziali). Ad esempio, lo zoccolo 220 è basato su una piattaforma per appoggiare il dispositivo elettronico 205, con piazzole (pad) conduttive per ricevere i terminali del dispositivo elettronico 205; un coperchio, con una finestra per lasciare accessibile il contenitore del dispositivo elettronico 205, è incernierato alla base, in modo da poter essere chiuso e aperto (per bloccare e rilasciare, rispettivamente, il dispositivo elettronico 205).

Con riferimento ora alla FIG.3, è mostrata una vista in sezione di un particolare del dispositivo di condizionamento termico 100 in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione.

Lo scambiatore di calore 120 realizza uno scambio di calore tra il fluido di processo 110 e un fluido di servizio 303 (una analoga sostanza termoconduttrice allo stato liquido, ad esempio, ancora una miscela di acqua e glicole). Lo scambio di calore avviene a contatto indiretto, attraverso una superficie che separa comparti distinti in cui circolano il fluido di processo 110 e il fluido di servizio 303 (in modo che essi non siano in contatto tra loro). In particolare, una camera (di servizio) 306 contiene il fluido di servizio 303 e una camera (di processo) 309 contiene il fluido di processo 110. La camera di servizio 306 e la camera di processo 309 hanno una parete (di scambio calore) 312 in comune. A tale scopo, la parete 312 è realizzata in materiale termicamente conduttore (ad esempio, rame); inoltre, la parete 312 è dotata di alettature 315 rivolte verso la camera di processo 309 per facilitare ulteriormente lo scambio di calore con il fluido di processo 110. Un tubo di mandata 318 (o più) e un tubo di aspirazione 321 (o più) collegano la camera di servizio 306 a un sistema di scambio calore (di servizio), ad esempio, un raffreddatore (chiller) 324 comune a tutti gli apparati di test dell’impianto di test (non mostrati nella figura), il quale scambia calore con il fluido di servizio 303 (trasferendo il calore assorbito dal fluido di processo 110).

Per ogni elemento estensibile 105 sono previsti i seguenti componenti. Una coppia di fori 327 e 330 (uguali e coassiali) sono formati nella parete 312 e in una parete (di lavoro) 333 della camera di servizio 306 opposta ad essa, rispettivamente. Un manicotto 336 con una sezione coniugata ai fori 327,330 attraversa la camera di servizio 306 tra di essi; un bordo del manicotto 336 è sigillato a un bordo del foro 327 e un altro bordo del manicotto 336 sporge oltre la parete 333 (cui una superficie laterale del manicotto 336 è sigillata in corrispondenza del foro 330). In questo modo, il manicotto 336 definisce una foro passante 339 che attraversa la camera di servizio 306 tra le pareti 312 e 333. Un soffietto 342 ha un bordo fissato al bordo del manicotto 336 sporgente dalla parete 333. Il soffietto 342 è flessibile (ad esempio, pieghevole a fisarmonica), in modo da potersi allungare e accorciare. Un bicchiere 345 ha un bordo fissato a un altro bordo del soffietto 342. Il manicotto 336, il soffietto 342 e il bicchiere 345 definiscono l’elemento estensibile 105. In questo modo, l’elemento estensibile 105 si estende dalla camera di processo 309 attraverso il foro passante 339 della camera di servizio 306, con una base del bicchiere 345 che sporge oltre la parete 333 a definire una superfice di contatto 348 con il corrispondente dispositivo elettronico (non mostrato nella figura). Un elemento di riscaldamento 351 è disposto in corrispondenza della superfice di contatto 348 per riscaldare il dispositivo elettronico (ad esempio, realizzato tramite una bobina di materiale elettricamente conduttivo, come costantana, annegato nella base del bicchiere 345). Un sensore di temperatura 354 è associato alla superfice di contatto 348 (ad esempio, disposto all’esterno del bicchiere 345 di fianco ad essa) per rilevare una temperatura del dispositivo elettronico. L’elemento di riscaldamento 351 e il sensore (di temperatura) 354 sono collegati elettricamente alla scheda di controllo, ad esempio, attraverso fori ricavati in steli di viti di accoppiamento meccanico tra la camera di processo 309 e la camera di servizio 306 (non mostrati nella figura). Un tubo di mandata 357 si estende lungo l’elemento estensibile 105, con un ingresso (superiore) sporgente sopra la parete 312 e un’uscita (inferiore) in prossimità della base del bicchiere 345. In questo modo, un condotto di mandata 360 è definito tra il tubo di aspirazione 357 e una parete laterale dell’elemento estensibile 105. Per ogni elemento estensibile 105, il sistema di circolazione 115 comprende una girante 363 e una corona di elettromagneti 366. La girante 363 (ad esempio, di tipo tangenziale) è disposta in una camera di aspirazione, non mostrata nella figura, per aspirare il fluido di processo 110 dalla camera di processo 309 e inviarlo nel tubo di mandata 357 (in direzione perpendicolare a un suo asse longitudinale). La corona di elettromagneti 366 è disposta in asse con la girante 363 all’esterno della camera di processo 309 per azionare (senza accoppiamento meccanico) la girante 363, a sua volta dotata di magneti permanenti (non mostrati nella figura). Una valvola di blocco è disposta all’ingresso (superiore) del tubo di mandata 357 (per bloccare un afflusso del fluido di processo 110 al tubo di aspirazione 357 quando la girante 363 è fermata). La valvola di blocco è formata da un tappo, o spillo, 369 (a profilo svasato) e da un elettromagnete 372. Il tappo 369 è disposto sopra l’ingresso del tubo di mandata 357 nella camera di processo 309 (montato su una corrispondente guida verticale, non mostrata nella figura); il tappo 369 ha un peso specifico superiore a quello del fluido di processo 110, per cui esso è mantenuto abbassato sull’ingresso del tubo di aspirazione 357 per forza di gravità. L’elettromagnete 372 è disposto sopra il tappo 369 all’esterno della camera di processo 309 per sollevare il tappo 369 agendo su un magnete permanente in esso incorporato (non mostrato nella figura). Una valvola di blocco 375 è disposta a un’uscita (superiore) del condotto di aspirazione 360 (per bloccare un efflusso del fluido di processo 110 dal condotto di aspirazione 360 per effetto della convezione naturale quando la girante 363 è ferma). La valvola di blocco 375 è formata da un anello (a profilo svasato) calzato sul tubo di aspirazione 357; la valvola di blocco 375 ha un peso specifico superiore a quello del fluido di processo 110, per cui anche essa è mantenuta abbassata sull’uscita del condotto di mandata 360 per forza di gravità quando non è spinta verso l’alto dalla prevalenza del flusso del fluido di processo 110 generata dalla rotazione della girante 363.

Con rifermento ora alle FIG.4A-FIG.4E, sono mostrate le fasi principali di un processo di test in accordo con una forma di realizzazione della presente invenzione.

Partendo dalla FIG.4A, all’inizio del test (non mostrato nelle figure), i dispositivi elettronici 205 sono trasportati in un vassoio vicino al caricatore/scaricatore, il quale si trova di fronte alla scheda di test 210 allontanata lateralmente dal dispositivo di condizionamento termico 100. Il caricatore/scaricatore raccoglie i dispositivi elettronici 205 dal vassoio e li deposita sugli zoccoli 220 (aperti) in successione. Una volta che la scheda di test 210 è stata riempita (totalmente o parzialmente), gli zoccoli 220 sono chiusi e la scheda di test 210 è riportata sotto il dispositivo di condizionamento termico 100, come mostrato nella figura, per cui ogni dispositivo elettronico 205 si trova allineato con il corrispondente elemento estensibile 105.

Passando alla FIG.4B, a questo punto il dispositivo di condizionamento termico 100 e la scheda di test 210 sono avvicinati tra loro (ad esempio, abbassando il dispositivo di condizionamento termico 100). L’avvicinamento è tale per cui, ove i corrispondenti dispositivi elettronici 205 sono presenti negli zoccoli 220 (come mostrato a sinistra nella figura), ogni elemento estensibile 105 si porta in prossimità del dispositivo elettronico 205, con la sua superficie di contatto 348 a una corrispondente distanza di avvicinamento (ad esempio, 0-1 mm). Pertanto, qualora nessun dispositivo elettronico 205 sia presente nei corrispondenti zoccoli 220 (come mostrato a destra nella figura), ogni elemento estensibile 105 rimane distanziato da un fondo dello zoccolo 220 (vuoto), con la sua superficie di contatto 348 a una distanza uguale alla distanza di avvicinamento più uno spessore dei dispositivi elettronici 205 (ad esempio, per un totale di 1-2 cm).

Passando alla FIG.4C, il pistone 125 è azionato per aumentare la pressione del fluido di processo 110. Di conseguenza, ove i corrispondenti dispositivi elettronici 205 sono presenti negli zoccoli 220 (come mostrato a sinistra nella figura), ogni elemento estensibile 105 si allunga (ad esempio, di 1-2 mm) sino ad arrestarsi a battura contro il dispositivo elettronico 205, con ciò premendo la superficie di contatto 348 contro lo stesso (direttamente o tramite un inserto elastico, di materiale termicamente conduttivo, non mostrata nella figura). In particolare, il soffietto 342 è in grado di adattarsi anche al caso in cui la superficie di contatto 348 e il dispositivo elettronico 205 non siano perfettamente paralleli; ciò garantisce il loro buon accoppiamento meccanico in qualsiasi situazione, migliorando ulteriormente lo scambio termico.

Invece, qualora nessun dispositivo elettronico 205 sia presente nei corrispondenti zoccoli 220 (come mostrato a destra nelle figura), ogni elemento estensibile 105 si allungherebbe senza alcun riscontro, almeno sino a quando la superficie di contatto 348 raggiunge il fondo dello zoccolo 220 (vuoto). Pertanto, in una forma di realizzazione dell’invenzione un sistema di limitazione è previsto per limitare l’allungamento degli elementi estensibili 105, ad esempio, comprendente un corrispondente elemento di limitazione 405 per ogni elemento estensibile 105. L’elemento di limitazione 405 è formato da un vaso fissato sotto la parete 312, attorno all’elemento estensibile 105. L’elemento di limitazione 405 si estende leggermente oltre il soffietto 342 quando l’elemento estensibile 105 è nella condizione accorciata, per una lunghezza superiore alla distanza di avvicinamento di cui sopra (ad esempio, 1,2-2,0 volte se non nulla e almeno uguale a 1-2 mm in ogni caso). Un foro è praticato su un fondo dell’elemento di limitazione 405. Il foro ha un diametro coniugato al bicchiere 345 per consentire il suo passaggio (in modo che la superficie di contatto 348 sporga oltre l’elemento di limitazione 405); il foro è invece più stretto del soffietto 342 (più largo del bicchiere 345), per cui la parte rimanente del fondo dell’elemento di limitazione 405 (bordo esterno) definisce un riscontro per il soffietto 342.

Pertanto, ove i corrispondenti dispositivi elettronici 205 sono presenti negli zoccoli 220, ogni elemento estensibile 105 si allunga come sopra (con il bicchiere 345 che scorre nel foro dell’elemento di limitazione 405 (per cui esso non interferisce in alcun modo con il funzionamento dell’elemento estensibile 105). Al contrario, ove nessun dispositivo elettronico 205 è presente nei corrispondenti zoccoli 220, ogni elemento estensibile 105 si allunga ma solo sino a quando il soffietto 342 si assesta a battuta contro il riscontro dell’elemento di limitazione 405. Ciò evita, o perlomeno riduce notevolmente, il rischio di danneggiamento del soffietto 342.

Passando alla FIG.4D, inizialmente tutti gli elementi di riscaldamento 351 sono spenti, tutte le corone di elettromagneti 366 sono disattivate per cui tutte le giranti 363 sono ferme, tutti gli elettromagneti 372 sono disattivati per cui tutti i tappi 369 sono abbassati sui tubi di aspirazione 357 per forza di gravità (valvole di aspirazione 369,372 chiuse) e tutte le valvole di mandata 375 sono abbassate sui condotti di mandata 360 per forza di gravità (chiuse). Una temperatura di soglia inferiore e una temperatura di soglia superiore definiscono un intervallo di regolazione attorno a una temperatura obiettivo da mantenere per i dispositivi elettronici 205 durante il test (ad esempio, ± 5-10°C).

Per ogni dispositivo elettronico 205, la scheda di pilotaggio (non mostrata nella figura) monitora una sua temperatura (effettiva) rilevata dal sensore 354. Se la temperatura effettiva è minore della temperatura di soglia inferiore, la scheda di pilotaggio attiva l’elemento di riscaldamento 351 (con una potenza crescente con una distanza della temperatura effettiva dalla temperatura di soglia inferiore, ad esempio, applicando una tensione di 12-24 V per generare 0,1-10 kJ di calore per effetto Joule). L’elemento di riscaldamento 351 aumenta la temperatura della superfice di contatto 348 e quindi del dispositivo elettronico 205. Appena la temperatura effettiva supera la temperatura di soglia inferiore, la scheda di pilotaggio disattiva l’elemento di riscaldamento 351.

Passando alla FIG.4E, se la temperatura effettiva (rilevata dal sensore 354) è maggiore della temperatura di soglia superiore, la scheda di pilotaggio (non mostrata nella figura) attiva l’elettromagnete 372 per sollevare il tappo 369 in opposizione alla forza di gravità (valvola di mandata 369,372 aperta), con ciò liberando l’ingresso del tubo di mandata 357. La scheda di pilotaggio attiva quindi la corona di elettromagneti 366 in modo da fare ruotare la girante 363 (a una velocità angolare crescente con una distanza della temperatura effettiva dalla temperatura di soglia superiore, ad esempio 5-20 giri/minuto). In questo modo, la girante 363 aspira il fluido di processo 110 dalla camera di processo 309 e lo invia nel tubo di mandata 357 verso la superfice di contatto 348. Il fluido di processo 110 diminuisce la temperatura della superfice di contatto 348 e quindi del dispositivo elettronico 205; in particolare, il raffreddamento del dispositivo elettronico 205 dipende dalla portata del fluido di processo 110, la quale a sua volta dipende dalla velocità angolare della girante 363 (con il raffreddamento che aumenta con la velocità angolare). Il fluido di processo 110 (riscaldato) risale nel condotto di aspirazione 360; il flusso del fluido di processo 110 solleva la valvola di aspirazione 375 contro la forza di gravità (aprendola), con ciò liberando l’uscita del condotto di aspirazione 360. Il fluido di processo 110 può così ritornare dal condotto di aspirazione 360 nella camera di processo 309. Il fluido di processo 110 lambisce la parete 312 (e in particolare le sue alettature 315) con ciò raffreddandosi (a scapito del fluido di servizio 303 che si riscalda ed è quindi raffreddato dal raffreddatore 324 che a sua volta disperde il calore nell’ambiente esterno).

Ritornando alla FIG.4D, appena la temperatura effettiva scende sotto la temperatura di soglia superiore, la scheda di pilotaggio disattiva la corona di elettromagneti 366, per cui la girante 363 si ferma. Inoltre, la scheda di pilotaggio disattiva l’elettromagnete 372, per cui il tappo 369 scende per forza di gravità sul tubo di mandata 357 (valvola di blocco 369,372 chiusa), con ciò ostruendo il suo ingresso. Di conseguenza, il flusso del fluido di processo 110 nel tubo di aspirazione 357 e quindi nel condotto di mandata 360 viene a mancare, per cui anche la valvola di mandata 375 scende per forza di gravità sul condotto di aspirazione 360 (chiudendosi), con ciò ostruendo la sua uscita. Le valvola di blocco 369,372 e la valvola di aspirazione 375 bloccano qualsiasi moto convettivo del fluido di processo 110 nell’elemento estensibile 105, evitando così di raffreddare ulteriormente il dispositivo elettronico 205.

In questo modo, la temperatura di ogni dispositivo elettronico 205 può essere controllata individualmente con precisione (con un controllo a isteresi); in particolare, in questo modo è possibile applicare uno stesso stress termico ai dispositivi elettronici 205, anche quando essi sono soggetti a un riscaldamento non uniforme (con conseguente incremento dell’affidabilità dei test).

Tale risultato è ottenuto in modo semplice ed efficace utilizzando un unico fluido di servizio 303 per tutti gli elementi estensibili 105. In particolare, il fluido di servizio 303 può essere condizionato (in funzione della potenza dissipata dai dispositivi elettronici 205) a una temperatura tale da centrare, intorno alla temperatura obiettivo, l’intervallo di regolazione della temperatura sotto l’azione della girante 363 e dell’elemento di riscaldamento 351 (così da limitare il più possibile il loro intervento).

In questo modo, i dispositivi elettronici 205 possono essere testati dalla scheda di pilotaggio (inviando segnali di stimolo e ricevendo corrispondenti segnali di risultato) mentre la loro temperatura è mantenuta al valore desiderato.

Alla fine del test (non mostrato nelle figure), le operazioni sopra descritte sono ripetute in ordine inverso. In particolare, la scheda di test 210 è portata di fronte al caricatore/scaricatore (allontanandola lateralmente dal dispositivo di condizionamento termico 100) e gli zoccoli 220 sono aperti. Il caricatore/scaricatore raccoglie i dispositivi elettronici 205 dalla scheda di test 210 e li deposita sul vassoio in successione.

Modifiche

Naturalmente, al fine di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, una persona esperta del ramo potrà apportare numerose modifiche e varianti logiche e/o fisiche alla presente invenzione. Più specificamente, sebbene tale invenzione sia stata descritta con un certo livello di dettaglio con riferimento a una o più sue forme di realizzazione, resta inteso che varie omissioni, sostituzioni e cambiamenti nella forma e nei dettagli così come altre forme di realizzazione sono possibili. In particolare, diverse forme di realizzazione della presente invenzione possono essere messe in pratica anche senza gli specifici dettagli (come i valori numerici) esposti nella precedente descrizione per fornire una loro più completa comprensione; al contrario, caratteristiche ben note possono essere state omesse o semplificate al fine di non oscurare la descrizione con particolari non necessari. Inoltre, è espressamente inteso che specifici elementi e/o passi di metodo descritti in relazione a ogni forma di realizzazione della presente invenzione possono essere incorporati in qualsiasi altra forma di realizzazione come una normale scelta di progetto. Inoltre, elementi presentati in uno stesso gruppo e diverse forme di realizzazione, esempi o alternative non vanno interpretati come equivalenti de facto l’uno dell’altro (ma sono entità separate e autonome). In ogni caso, qualsiasi valore numerico dovrebbe essere letto come modificato in accordo con le tolleranze applicabili; in particolare, i termini "sostanzialmente", "circa" "approssimativamente" e simili vanno intesi come "entro il 10%". Inoltre, ogni intervallo di valori numerici dovrebbe essere inteso come espressamente specificare qualsiasi numero possibile lungo il continuum all'interno dell’intervallo (compresi i suoi estremi). Qualificatori ordinali o altro sono usati meramente come etichette per distinguere elementi con lo stesso nome ma non connotano per sé stessi alcuna priorità, precedenza od ordine. Inoltre, i termini includere, comprendere, avere, contenere, comportare e simili dovrebbero essere intesi con un significato aperto e non esauriente (ossia, non limitato agli elementi recitati), i termini basato su, dipendente da, in accordo con, secondo, in funzione di e simili dovrebbero essere intesi con un rapporto non esclusivo (ossia, con eventuali ulteriori variabili coinvolte), il termine uno/una dovrebbe essere inteso come uno o più elementi (a meno di espressa indicazione contraria), e il termine mezzi per (o qualsiasi formulazione funzionale) dovrebbe essere inteso come qualsiasi struttura adatta o configurata per eseguire la funzione rilevante.

Ad esempio, una forma di realizzazione fornisce un dispositivo di condizionamento termico. Comunque, il dispositivo di condizionamento termico può essere utilizzato per applicare qualsiasi tipo di condizionamento termico (ad esempio, raffreddare, riscaldare, raffreddare/riscaldare a qualsiasi temperatura, e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico è utilizzabile per condizionare termicamente una pluralità di dispositivi elettronici sotto test. Comunque i dispositivi elettronici possono essere in qualsiasi numero e di qualsiasi tipo (ad esempio, basati su circuiti integrati e/o componenti discreti, forniti in qualsiasi tipo di contenitore, con qualsiasi numero e tipo di terminali, e così via), e possono essere soggetti a qualsiasi tipo di test (ad esempio, di affidabilità, funzionale, parametrico eseguiti in qualsiasi condizione di stress termico o anche semplicemente mantenendo la loro temperatura in un intervallo predeterminato, e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una pluralità di elementi estensibili a lunghezza variabile, ciascuno per condizionare termicamente uno corrispondente dei dispositivi elettronici. Comunque, gli elementi estensibili possono essere in numero qualsiasi (per condizione termicamente un corrispondente numero massimo di dispositivi elettronici) e di qualsiasi tipo (ad esempio, a soffietto, telescopici, elastici e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un sistema di circolazione di processo per far circolare un fluido termoconduttore di processo negli elementi estensibili. Comunque, il sistema di circolazione di processo può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, per controllare la circolazione del fluido termoconduttore di processo individualmente in ciascun elemento estensibile o a livello globale, per spingere e/o aspirare il fluido di processo negli elementi estensibili, e così via) e utilizzante qualsiasi fluido termoconduttore di processo (ad esempio, liquido, gas e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un sistema di scambio calore di processo per scambiare calore con il fluido termoconduttore di processo. Comunque, il sistema di scambio calore di processo può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, globale per tutti gli elementi estensibili, con componenti distinti ciascuno per un insieme di uno o più degli elementi estensibili, a liquido, a olio, ad aria e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un sistema di regolazione pressione per regolare una pressione del fluido termoconduttore di processo. Comunque, il sistema di regolazione pressione può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, meccanico, idraulico e così via) per regolare la pressione del fluido termoconduttore di processo in qualsiasi modo (ad esempio, semplicemente attivandolo/disattivandolo, impostando la pressione a qualsiasi valore selezionato in modo continuo/discreto, e così via).

In una forma di realizzazione, la regolazione della pressione è utilizzata per muovere gli elementi estensibili tra una condizione accorciata e una condizione allungata. Comunque, la condizione accorciata e la condizione allungata possono essere definite in qualsiasi modo (ad esempio, con gli elementi estensibili nella condizione accorciata che sono separati dai dispositivi elettronici a una qualsiasi distanza o sono già a contatto con essi, con la condizione allungata definita da un qualsiasi allungamento rispetto alla condizione accorciata, e così via).

In una forma di realizzazione, ognuno degli elementi estensibili nella condizione allungata è premuto contro il corrispondente dispositivo elettronico. Comunque, gli elementi estensibili possono essere premuti contro i dispositivi elettronici con qualsiasi forza (ad esempio, fissa, regolabile, e così via).

In una forma di realizzazione, il sistema di circolazione di processo comprende una pluralità di elementi di circolazione di processo, ciascuno per far circolare il fluido termoconduttore di processo in uno corrispondente degli elementi estensibili. Comunque, gli elementi di circolazione di processo possono essere di qualsiasi tipo (ad esempio, giranti tangenziali, circonferenziali o assiali, pompe di aspirazione, e così via, azionate da corrispondenti corone di elettromagneti, corone di bobine a solenoide direttamente integrate in un circuito stampato multistrato, e così via).

In una forma di realizzazione, gli elementi di circolazione di processo sono controllabili individualmente per regolare in modo indipendente una portata del fluido termoconduttore di processo nei corrispondenti elementi estensibili. Comunque, gli elementi di circolazione di processo possono essere controllati individualmente in qualsiasi modo (ad esempio, accesi/spenti, a portata regolata secondo qualsiasi legge, come in base a qualsiasi funzione lineare o non-lineare della distanza dalla temperatura obiettivo o del tasso di avvicinamento ad essa, e così via) da qualsiasi sistema di controllo (ad esempio, corrispondente scheda di pilotaggio, computer centrale dell’intero impianto di test, e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una pluralità di dispositivi di blocco, ciascuno per bloccare un moto convettivo del fluido termoconduttore di processo in uno corrispondente degli elementi estensibili in una condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo. Comunque, i dispositivi di blocco possono essere di qualsiasi tipo (ad esempio, di ingresso e/o uscita, attivi, passivi e così via) o possono anche essere del tutto omessi.

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una pluralità di elementi di riscaldamento, ciascuno disposto in uno corrispondente degli elementi estensibili per riscaldare il corrispondente dispositivo elettronico. Comunque, gli elementi di riscaldamento possono essere di qualsiasi tipo (ad esempio, a effetto Joule, a induzione magnetica e così via) o possono anche essere del tutto omessi.

In una forma di realizzazione, gli elementi di riscaldamento sono controllabili individualmente per riscaldare in modo indipendente i corrispondenti dispositivi elettronici. Comunque, gli elementi di riscaldamento possono essere controllati individualmente in qualsiasi modo (ad esempio, accesi/spenti, a potenza controllata secondo qualsiasi legge, come in base a qualsiasi funzione lineare o non lineare della distanza dalla temperatura obiettivo o del tasso di avvicinamento ad essa, e così via) da qualsiasi sistema di controllo (uguale o diverso rispetto a sopra); in ogni caso, la possibilità di controllare gli elementi di riscaldamento in modo globale non è esclusa.

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una pluralità di sensori di temperatura ciascuno per rilevare una temperatura di uno corrispondente dei dispositivi elettronici. Comunque, i sensori di temperatura possono essere di qualsiasi tipo e disposti in qualsiasi posizione; in ogni caso, la possibilità non è esclusa di avere un numero inferiore di sensori di temperatura, ciascuno associato a più dispositivi elettronici (al limite, uno solo per tutti), o anche di ometterli completamente.

In una forma di realizzazione, gli elementi di circolazione di processo e/o gli elementi di riscaldamento sono controllabili in accordo con la temperatura dei corrispondenti dispositivi elettronici. Comunque, è possibile controllare solo gli elementi di circolazione di processo, solo gli elementi di riscaldamento o entrambi in qualsiasi modo in accordo con la temperatura dei corrispondenti dispositivi elettronici (ad esempio, in base al loro valore o alla loro variazione nel tempo, con qualsiasi legge lineare o non-lineare, e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un elemento di accoppiamento termico per scambiare calore tra il fluido termoconduttore di processo e un fluido termoconduttore di servizio. Comunque, l’elemento di accoppiamento termico può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, a piastra o a tubi, con i fluidi in equi-corrente, in contro-corrente o a correnti incrociate, e così via) per scambiare calore con qualsiasi fluido termoconduttore di servizio (uguale o diverso rispetto al fluido termoconduttore di processo).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un sistema di scambio calore di servizio per scambiare calore con il fluido termoconduttore di servizio. Comunque, il sistema di scambio calore di servizio può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, un raffreddatore, una pompa di calore e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una camera di processo per contenere il fluido termoconduttore di processo e una camera di servizio per contenere il fluido termoconduttore di servizio. Comunque, la camera di processo e la camera di servizio possono essere di qualsiasi materiale, forma e dimensione (uguali o diversi tra loro).

In una forma di realizzazione, la camera di processo e la camera di servizio sono separate da una parete di scambio calore. Comunque, la parete di scambio calore può essere di qualsiasi materiale, forma e dimensione (ad esempio, con qualsiasi numero e tipo di alettature, senza alettature, e così via).

In una forma di realizzazione, la camera di servizio è attraversata da una pluralità di fori passanti che si estendono dalla parete di scambio calore a una parete di lavoro opposta alla parete di scambio calore. Comunque, i fori passanti possono essere di qualsiasi forma, dimensione e tipo (ad esempio, definiti dagli elementi estensibili, integrati nella camera di servizio indipendentemente dagli elementi estensibili, e così via).

In una forma di realizzazione, gli elementi estensibili si estendono dalla camera di processo ciascuno attraversando uno corrispondente dei fori passanti, dalla parete di scambio calore alla parete di lavoro, con una superfice di contatto dell’elemento estensibile che sporge dalla parete di lavoro per contattare il corrispondente dispositivo elettronico. Comunque, gli elementi estensibili possono sporgere dalla parete di lavoro a qualsiasi distanza con una qualsiasi loro superfice di contatto (ad esempio, piana, bombata, rigida, elastica, per contatto diretto/indiretto, e così via).

In una forma di realizzazione, il sistema di circolazione di processo è configurato per far circolare il fluido termoconduttore di processo in ciascuno degli elementi estensibili dalla camera di processo alla superfice di contatto e dalla superfice di contatto alla parete di scambio calore. Comunque, il fluido di processo può essere fatto circolare negli elementi estensibili in qualsiasi modo (ad esempio, lungo un qualsiasi percorso predefinito, in modo indiscriminato, e così via).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende una pluralità di tubi di aspirazione del fluido termoconduttore di processo ciascuno dei quali si estende all’interno di uno corrispondente degli elementi estensibili dalla camera di processo a una posizione prossimale alla superfice di contatto. Comunque, ogni tubo di aspirazione può essere di qualsiasi forma e dimensione, e può estendersi in qualsiasi modo nel corrispondente elemento estensibile (ad esempio, sporgendo oltre la parete di scambio termico a qualsiasi distanza anche nulla, fermandosi a qualsiasi distanza dalla superfice di contatto anche nulla se dotato di una o più finestre laterali in corrispondenza di essa, e così via).

In una forma di realizzazione, il tubo di aspirazione è separato da una superfice laterale dell’elemento estensibile a definire un condotto di mandata del fluido termoconduttore di processo. Comunque, il tubo di aspirazione può essere separato in qualsiasi modo dalla parete laterale (ad esempio, in modo simmetrico o non simmetrico, a qualsiasi distanza, e così via).

In una forma di realizzazione, ciascuno dei dispositivi di blocco comprende una valvola di aspirazione per bloccare un afflusso del fluido termoconduttore di processo dalla camera di processo al tubo di aspirazione nella condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo. Comunque, la valvola di aspirazione può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, a comando di apertura e/o di chiusura, a tappo, a farfalla, a sfera e così via).

In una forma di realizzazione, ciascuno dei dispositivi di blocco comprende una valvola di mandata per bloccare un efflusso del fluido termoconduttore di processo dal condotto di mandata alla camera di processo nella condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo. Comunque, la valvola di mandata può essere di qualsiasi tipo (uguale o diverso rispetto alla valvola di aspirazione).

In una forma di realizzazione, il dispositivo di condizionamento termico comprende un sistema di limitazione per limitare la lunghezza di ciascuno degli elementi estensibili quando mosso verso la condizione allungata in assenza del corrispondente dispositivo elettronico. Comunque, il sistema di limitazione può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, con un elemento di limitazione per ogni elemento allungabile o gruppo di essi, unico per tutti gli elementi allungabili, passivo, attivo e così via) o può anche essere del tutto omesso.

In una forma di realizzazione, la valvola di aspirazione è normalmente chiusa per forza di gravità. Comunque, la valvola di aspirazione può avere un qualsiasi peso specifico (superiore a quello del fluido di processo) per chiudere il tubo di aspirazione con qualsiasi forza.

In una forma di realizzazione, la valvola di aspirazione si apre in risposta a un comando esterno in opposizione alla forza di gravità. Comunque, il comando esterno può essere di qualsiasi tipo (ad esempio, magnetico, come tramite elettromagnete o bobina a solenoide direttamente integrata in un circuito stampato multistrato, meccanico e così via).

In una forma di realizzazione, la valvola di mandata è normalmente chiusa per forza di gravità. Comunque, la valvola di mandata può avere un qualsiasi peso specifico (superiore a quello del fluido di processo) per chiudere il condotto di mandata con qualsiasi forza.

In una forma di realizzazione, la valvola di mandata si apre in risposta a detto far circolare il fluido termoconduttore di processo in opposizione alla forza di gravità. Comunque, la valvola di mandata può aprirsi in risposta a una qualsiasi pressione esercitata dal flusso del fluido termoconduttore di processo.

Una forma di realizzazione fornisce un apparato di test comprendente il dispositivo di condizionamento termico di cui sopra e una o più schede di test. Comunque, l’apparato di test può comprendere un numero qualsiasi di schede di test di qualsiasi tipo.

In una forma di realizzazione, ogni scheda di test ha una pluralità di zoccoli ciascuno per alloggiare uno dei dispositivi elettronici in modo rimovibile. Comunque, ogni scheda di test può avere un numero qualsiasi di zoccoli (uguale o inferiore al numero di elementi estensibili del dispositivo di condizionamento termico) di qualsiasi tipo (ad esempio, a piazzole/fori per ricevere i terminali dei dispositivi elettronici, a coperchio/chiavistello per bloccare i contenitori dei dispositivi elettronici, e così via).

In generale, considerazioni analoghe si applicano se il dispositivo di condizionamento termico e l’apparato di test ciascuno ha una diversa struttura o comprende componenti equivalenti (ad esempio, in diversi materiali) o ha altre caratteristiche di funzionamento. In ogni caso, qualsiasi suo componente può essere separato in più elementi, o due o più componenti possono essere combinati in un singolo elemento; inoltre, ogni componente può essere replicato per supportare l’esecuzione delle corrispondenti operazioni in parallelo. Inoltre, a meno di indicazione contraria, qualsiasi interazione tra diversi componenti generalmente non necessita di essere continua, e può essere diretta o indiretta tramite uno o più intermediari.

Una forma di realizzazione fornisce un metodo per condizionare termicamente una pluralità di dispositivi elettronici sotto test. Il metodo comprende far circolare un fluido termoconduttore di processo in una pluralità di elementi estensibili a lunghezza variabile. Il metodo comprende scambiare calore con il fluido termoconduttore di processo. Il metodo comprende regolare una pressione del fluido termoconduttore di processo per muovere gli elementi estensibili tra una condizione accorciata e una condizione allungata. Ognuno degli elementi estensibili nella condizione allungata è premuto contro uno corrispondente dei dispositivi elettronici per condizionare termicamente il dispositivo elettronico.

Una forma di realizzazione fornisce un metodo per testare una pluralità di dispositivi elettronici. Il metodo comprende alloggiare i dispositivi elettronici in corrispondenti zoccoli di una o più schede di test in modo rimovibile. Il metodo comprende condizionare termicamente i dispositivi elettronici come sopra. Il metodo comprende testare i dispositivi elettronici condizionati termicamente.

In generale, considerazioni analoghe si applicano se la stessa soluzione è implementata con metodi equivalenti (usando passi simili con le stesse funzioni di più passi o loro porzioni, rimovendo alcuni passi non essenziali o aggiungendo ulteriori passi opzionali); inoltre, i passi possono essere eseguiti in ordine diverso, in parallelo o sovrapposti (almeno in parte).

Claims

RIVENDICAZIONI 1. Un dispositivo di condizionamento termico (100) per condizionare termicamente una pluralità di dispositivi elettronici (205) sotto test, caratterizzato dal fatto che il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: una pluralità di elementi estensibili (105) a lunghezza variabile ciascuno per condizionare termicamente uno corrispondente dei dispositivi elettronici (205), un sistema di circolazione di processo (115) per far circolare un fluido termoconduttore di processo (110) negli elementi estensibili (105), un sistema di scambio calore di processo (120) per scambiare calore con il fluido termoconduttore di processo (110), e un sistema di regolazione pressione (125) per regolare una pressione del fluido termoconduttore di processo (110) per muovere gli elementi estensibili (105) tra una condizione accorciata e una condizione allungata, ognuno degli elementi estensibili (105) nella condizione allungata essendo premuto contro il corrispondente dispositivo elettronico (205).
2. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 1, in cui il sistema di circolazione di processo (115) comprende: una pluralità di elementi di circolazione di processo (363-366) ciascuno per far circolare il fluido termoconduttore di processo (110) in uno corrispondente degli elementi estensibili (105), gli elementi di circolazione di processo (363-366) essendo controllabili individualmente per regolare in modo indipendente una portata del fluido termoconduttore di processo (110) nei corrispondenti elementi estensibili (105).
3. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 2, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: una pluralità di dispositivi di blocco (369-375) ciascuno per bloccare un moto convettivo del fluido termoconduttore di processo (110) in uno corrispondente degli elementi estensibili (105) in una condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo (363-366).
4. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 2 o 3, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: una pluralità di elementi di riscaldamento (351) ciascuno disposto in uno corrispondente degli elementi estensibili (105) per riscaldare il corrispondente dispositivo elettronico (205), gli elementi di riscaldamento (351) essendo controllabili individualmente per riscaldare in modo indipendente i corrispondenti dispositivi elettronici (205).
5. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 2 a 4, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: una pluralità di sensori di temperatura (354) ciascuno per rilevare una temperatura di uno corrispondente dei dispositivi elettronici (205), gli elementi di circolazione di processo (363-366) e/o gli elementi di riscaldamento (351) essendo controllabili in accordo con la temperatura dei corrispondenti dispositivi elettronici (205).
6. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 1 a 5, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: un elemento di accoppiamento termico (312) per scambiare calore tra il fluido termoconduttore di processo (110) e un fluido termoconduttore di servizio (303), e un sistema di scambio calore di servizio (318-324) per scambiare calore con il fluido termoconduttore di servizio (303).
7. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 6, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende una camera di processo (309) per contenere il fluido termoconduttore di processo (110) e una camera di servizio (306) per contenere il fluido termoconduttore di servizio (303), la camera di processo (309) e la camera di servizio (306) essendo separate da una parete di scambio calore (312), in cui la camera di servizio (306) è attraversata da una pluralità di fori passanti (339) estendentisi dalla parete di scambio calore (312) a una parete di lavoro (333) opposta alla parete di scambio calore (312), gli elementi estensibili (105) estendendosi dalla camera di processo (309) ciascuno attraversando uno corrispondente dei fori passanti (339) dalla parete di scambio calore (312) alla parete di lavoro (333) con una superfice di contatto (348) dell’elemento estensibile (105) che sporge dalla parete di lavoro (333) per contattare il corrispondente dispositivo elettronico (205), e in cui il sistema di circolazione di processo (120) è configurato per far circolare il fluido termoconduttore di processo (110) in ciascuno degli elementi estensibili (105) dalla camera di processo (309) alla superfice di contatto (348) e dalla superfice di contatto (348) alla parete di scambio calore (312).
8. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 7, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende: una pluralità di tubi di aspirazione (357) del fluido termoconduttore di processo (110) ciascuno estendentesi all’interno di uno corrispondente degli elementi estensibili (105) dalla camera di processo (309) a una posizione prossimale alla superfice di contatto (348), il tubo di aspirazione (357) essendo separato da una superfice laterale dell’elemento estensibile (105) a definire un condotto di mandata (360) del fluido termoconduttore di processo (110).
9. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo la rivendicazione 8 quando dipendente dalla rivendicazione 3, in cui ciascuno dei dispositivi di blocco (369-375) comprende: una valvola di aspirazione (369-372) per bloccare un afflusso del fluido termoconduttore di processo (110) dalla camera di processo (309) al tubo di aspirazione (357) nella condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo (363-366), e/o una valvola di mandata (375) per bloccare un efflusso del fluido termoconduttore di processo (110) dal condotto di mandata (360) alla camera di processo (309) nella condizione disattivata del corrispondente elemento di circolazione di processo (363-366).
10. Il dispositivo di condizionamento termico (100) secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 1 a 9, in cui il dispositivo di condizionamento termico (100) comprende un sistema di limitazione (405) per limitare la lunghezza di ciascuno degli elementi estensibili (105) quando mosso verso la condizione allungata in assenza del corrispondente dispositivo elettronico (205).