HU207587B

HU207587B - Combined generator and measuring device for supplying circuit elements by voltage or current and measuring generated current or voltage

Info

Publication number: HU207587B
Application number: HU722690A
Authority: HU
Inventors: Andras Balogh; Tamas Hajos; Attila Cservenka
Original assignee: Miki Merestechnikai Fejlesztoe
Priority date: 1990-11-21
Filing date: 1990-11-21
Publication date: 1993-04-28
Also published as: HU907226D0; HUT61107A

Abstract

A találmány kombinált generátor és mérőberendezés áramköri elemek feszültséggel vagy árammal történő megtáplálására és a fellépő áram vagy feszültség mérésére, amely berendezésnek beállítható feszültségforrása (1), ennek feszültségével arányos feszültséget vagy áramot a mérendő áramköri elem (9) kivezetése- in (11, 13) előállító szerve, és a mérendő áramköri elemen (9) átfolyó áramot vagy a mérendő áramköri elem (9) kivezetésein (11,13) fellépő feszültséget mérő mérőegysége (2) van. A találmány szerint a beállítható feszültségforrás (1) és a mérendő áramköri elem (9) közé első erősítő (7) van beiktatva, amelynek CQ HU 207 587 A leírás terjedelme: 6 oldal (ezen belül 1 lap ábra)FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a combined generator and measuring apparatus for supplying circuit elements with voltage or current and for measuring current or voltage that can be set by a voltage source (1), voltage or current proportional to its voltage at the terminal (11, 13) of the circuit element to be measured (11, 13). and a measuring unit (2) for measuring the current flowing through the circuit element (9) to be measured or the voltage at the terminals (11) of the circuit element (9) being measured. According to the invention, a first amplifier (7) is provided between the adjustable voltage source (1) and the circuit element (9) to be measured having a CQ HU 207 587 Scope of the description: 6 pages (including 1 sheet)

Description

A leírás terjedelme: 6 oldal (ezen belül 1 lap ábra)Scope of the description: 6 pages (including 1 page figure)

HU 207 587 Β egyik bemenete (18) vezérelhető üzemmód kapcsolón (5) keresztül vagy a mérendő áramköri elem (9) kivezetésein (11, 13) fellépő feszültséggel arányos jelet adó második erősítőhöz (4) vagy a mérendő áramköri elemen (9) átfolyó árammal arányos jelet adó áram-feszültség átalakítóhoz (8) van csatlakoztatva, és a feszültségmérőként kialakított mérőegység (2) bemenete az üzemmód kapcsolón (5) keresztül vagy az áram-feszültség átalakítóhoz (8), vagy a második erősítőhöz (4) van csatlakoztatva.HU 207 587 Β one of the inputs (18) via a controllable mode switch (5) or a second amplifier (4) providing a signal proportional to the voltage at the terminals (9, 13) of the circuit element to be measured, or a current passing through the circuit element (9) to be measured is connected to a current-to-voltage converter (8) providing a proportional signal, and the input of the measuring unit (2) formed as a voltage meter is connected to the current-to-voltage converter (8) or to the second amplifier (4) via the mode switch (5).

A találmány tárgya kombinált generátor és mérőberendezés áramköri elemek feszültséggel vagy árammal történő megtáplálására és a fellépő áram vagy feszült- 10 ség mérésére. A találmány révén olyan feszültségfonás és árammérő, vagy áramfonás és feszültségmérő berendezés készíthető, amellyel meg lehet határozni a mérendő áramköri elem (pl. integrált áramkör) tetszőleges egyenáramú paramétereit. 15Field of the Invention The present invention relates to a combined generator and measuring apparatus for supplying circuit elements with voltage or current and for measuring current or voltage. By means of the present invention, a voltage wiring and a current meter or a current and voltage measuring device can be made to determine any DC parameters of the circuit element to be measured (e.g., an integrated circuit). 15

Félvezetők, integrált áramkörök fejlesztésénél, gyártásközi- és végellenőrzésénél, valamint az ezeket felhasználó cégeknél a bejövő áru ellenőrzésénél elengedhetetlenül szükséges a gyártott vagy felhasználni kívánt áramköri elemek egyenáramú paramétereinek 20 gyors és pontos tömeges mérése. A mérendő nagy egyedszám, valamint az egyedenkénti nagyszámú (tipikusan 10-100) mérendő paraméter szükségessé teszi a mérés automatizálását, azaz mérőautomalával történő mérést, hiszen a mérés időtartama kihatással van az 25 integrált áramkör előállítási árára.For semiconductors, integrated circuits, in-house and end-to-end controls, and for companies that use them, the rapid and accurate mass measurement of the DC parameters of the circuit elements manufactured or intended to be used is indispensable for the control of incoming goods. The large number of individuals to be measured, as well as the large number of parameters (typically 10-100) to be measured per individual, make it necessary to automate the measurement, i.e. measurement with a measuring machine, since the duration of the measurement affects the production price of the integrated circuit 25.

A mérési időtartam csökkentése azért is fontos, mert a megengedettnél hosszabb ideig történő mérés esetén a mérendő áramköri elem hőmérséklete megváltozik (disszipáció), így a hőmérsékletfüggő paraméte- 30 rek mért értéke pontatlan lesz.The reduction of the measurement time is also important because the temperature of the circuit element to be measured changes (dissipation), so the measured value of the temperature dependent parameter will be inaccurate.

A gyors tömegmérés igénye mellett a mérés pontossági követelményei szigorúak. A pontossági követelmények betartása csak olyan berendezésekkel valósítható meg, amelyek a mérések közötti időben a bérén- 35 dezés és a mérendő áramköri elem összekapcsolásának lényeges változtatása nélkül önhitelesítésre képesek.In addition to the need for rapid mass measurement, the accuracy requirements of the measurement are strict. Compliance requirements can only be met by devices that can self-authenticate without interruption of wiring and connection of the circuit element to be measured between the measurements.

Az önhitelesítés lényege az, hogy a berendezés hőmérséklet- és/vagy légnedvesség változás, öregedés stb. hatására történő specifikáció változásait a mindenkori 40 mérés folyamán ismerjük, és az egyedi mérési eredményeket ezek ismeretében korrigáljuk.The essence of self-authentication is that the equipment changes in temperature and / or humidity, aging, etc. The changes in the specification by the effect of the test are known during the respective 40 measurements and the individual measurement results are corrected with their knowledge.

Az ismertetett feladatra különféle mérőautomaták ismeretesek, pl. a MIKI Méréstechnikai Fejlesztő Vállalat által gyártott AIK-TEST típusú mérőautomata, 45 ezek közös jellemzői az alábbiak:Various measuring machines are known for the described task, e.g. AIK-TEST type measuring machine manufactured by MIKI Measurement Technology Development Company, 45 of which have the following characteristics:

- A mérőautomata számítógép által vezérelt egyfunkciós mérő- és generátor modulok halmaza (feszültségmérő, árammérő, feszültséggenerátor, áramgenerátor). Ezen modulok és a mérendő 50 áramköri elem esetenkénti összekapcsolásával (hálózat) hozzák létre a kívánt mérési konfigurációt. A konfiguráció lehet fix (a mérési folyamat közben nem változtatható), vagy a számítógép által vezérelt (a mérési folyamat közben - két 55 mérés között - változtatható).- The measuring machine is a set of computer-controlled single-function metering and generator modules (voltage gauge, current meter, voltage generator, current generator). By occasionally connecting these modules and the circuit element 50 to be measured (network), the desired measurement configuration is created. The configuration can be fixed (cannot be changed during the measurement process) or computer controlled (during the measurement process - between two 55 measurements).

- Az egyfunkciós modulokból felépített mérőautomata erősen redundáns, mert minden konkrét mérésnél a szükséges számú modul dolgozik, míg a többi modul a további mérésekhez készen- 60 létben áll. Feszültségmérés esetén az árammérő, feszültség generálás esetén az áramgenerátor nincs használva.- The measuring machine built from single-function modules is highly redundant because the required number of modules are working for each specific measurement, while the other modules are ready for 60 measurements. In the case of voltage measurement, the current generator is not used in the case of a current meter or voltage generator.

- A redundáns felépítés ellenére az összes modul ki- és bemenetének a hálózaton keresztül el kell érnie a mérendő áramköri elemet. A hálózatnak így teljes kiépítésűnek kell lennie. A hálózat bonyolultsága miatt paramétereinek hőmérsékletre (pl. kontaktpotenciál), légnedvességre (pl. átvezetés, szigetelési ellenállás) és öregedésre történő megváltozásai a mérési hiba meghatározó részei lehetnek.- In spite of the redundant design, the input and output of all modules must reach the circuit element to be measured over the network. The network must therefore be fully deployed. Due to the complexity of the network, changes in its parameters to temperature (eg, contact potential), humidity (eg throughput, insulation resistance) and aging can be a determining part of the measurement error.

- A felsorolt tulajdonságok miatt az egyfunkciós modulokból felépített mérőautomaták egy része önhitelesítő rendszerrel nem rendelkezik, ha van önhitelesítő rendszer, az a hálózat bonyolultságát tovább növeli.- Due to the listed features, some of the measuring machines built from single-function modules do not have a self-authentication system, if there is a self-authentication system, it increases the complexity of the network.

- Az önhitelesítő rendszer nélküli automaták csak szűk hőmérséklet és légnedvesség tartományban garantálják a mérési pontosságot, hitelesítésükről (öregedés hatásának kompenzálása) rendszeres időközönkénti gondoskodni kell.- Automata without self-authentication system guarantee measurement accuracy only in narrow temperature and humidity ranges, regular verification of their authentication (compensating for the effect of aging).

A találmány célja olyan többfunkciós berendezés kialakítása, amely egyrészt az egyfunkciós mérő és generátor modulok halmazának kiváltására alkalmas, másrészt a mérési hibát meghatározó hálózatot, valamint a rendszer redundanciáját minimálisra csökkenti, miközben hatékony önhitelesítést tesz lehetővé. A kitűzött célt a találmány szerint úgy érjük el, hogy az áramköri részegységek speciális kombinációjával egyes részegységek funkcióját az üzemmódnak megfelelően változtatjuk, és ezáltal a részegységek mindegyik üzemmódban ki vannak használva.It is an object of the present invention to provide a multifunctional device that is capable of replacing a set of single-function metering and generator modules, while minimizing the network defining the measurement error and minimizing system redundancy while allowing effective self-authentication. The object of the present invention is achieved by varying the function of the individual components with a particular combination of circuit components in accordance with the mode, and thereby using the components in each mode.

A találmány tehát kombinált generátor és mérőberendezés áramköri elemek feszültséggel vagy árammal történő megtáplálására és a fellépő áram vagy feszültség mérésére, amely berendezésnek beállítható feszültségforrása, ennek feszültségével arányos feszültséget vagy áramot a mérendő áramköri elem kivezetésein előállító szerve, a mérendő áramköri elemen átfolyó áramot vagy a mérendő áramköri elein kivezetésein fellepő feszültséget mérő mérőegysége van. A találmány szerint a beállítható feszültségforrás és a mérendő áramköri elem közé első erősítő van beiktatva, amelynek egyik bemenete vezérelhető üzemmód kapcsolón keresztül vagy a mérendő áramköri elem kivezetésein fellépő feszültséggel arányos jelet adó második erősítőhöz vagy a mérendő áramköri elemen átfolyó árammal arányos jelet adó áram-feszültség átalakítóhoz van csatlakoztatva, és a feszültségmérőként kialakított mérőegység bemenete az üzemmód kapcsolón keresztül vagy az áram-feszültség átalakítóhoz, vagy a második erősítőhöz van csatlakoztatva.The invention therefore relates to a combined generator and measuring apparatus for supplying circuit elements with voltage or current and for measuring the current or voltage which can be set by an adjustable voltage source, a voltage or current proportional to its voltage at the terminals of the circuit element to be measured, the current flowing through the circuit element to be measured, or the meter to be measured. There is a measuring unit measuring surge voltage at the terminals of the circuit. According to the invention, a first amplifier is mounted between the adjustable voltage source and the circuit element to be measured, one of the inputs of which can be controlled by a controllable mode switch or a voltage-proportional signal to a second amplifier providing a signal proportional to the voltage at the terminals of the circuit to be measured. connected to a transducer, and the input of the measuring unit as a voltage meter is connected via the mode switch to either the current voltage converter or the second amplifier.

HU 207 587 ΒEN 207.587 Β

A találmány szerinti elrendezésnél feszültséggenerátoros üzemmódban a második erősítőn keresztül zárul egy visszacsatolt szabályozási kör, és a mérőegység számára a mérendő jelet az áram-feszültség átalakító szolgáltatja, míg áramgenerátoros üzemmódban a szabályozási kör az áram-feszültség átalakítón keresztül zárul, és a mérendő jelet a második erősítő szolgáltatja.In the arrangement according to the invention, in a voltage generator mode, a feedback loop is closed through the second amplifier, and for the measuring unit the signal to be measured is supplied by the current-to-voltage converter, while in the current generator mode, the control circuit is closed through the current-to-voltage converter and the signal to be measured by the second amplifier.

A találmány egy előnyös kiviteli alakjánál az üzemmód kapcsoló és a mérőegység közé vezérelhető kapcsolóegység van beiktatva, amely mérő állásában az üzemmód kapcsolót, önhitelesítő állásában, illetve állásaiban jelforrásegységet csatlakoztat a mérőegységhez. Ezáltal a mérés közben a mérési konfiguráció változtatása nélkül elvégezhető az önhitelesítés.In a preferred embodiment of the invention, a switching unit is operable between the mode switch and the measuring unit, which in its measuring position connects the mode switch to the measuring unit in its self-authentication position or positions. This allows self-authentication to be performed during the measurement without changing the measurement configuration.

Előnyösen a jelforrásegység nagypontosságú feszültségetalont, hőmérséklet-feszültség jelátalakítót és légnedvesség-feszültség jelátalakítót tartalmaz. Célszerű, ha önhitelesítéskor a feszültségforrás kimenete is csatlakoztatható a mérőegységhez a kapcsolóegység útján.Preferably, the source unit comprises a high-precision voltage standard, a temperature voltage transducer, and an air humidity voltage transducer. It is advisable, when self-authentication, to connect the output of the voltage source to the measuring unit via the switching unit.

Egy további célszerű kiviteli alakban a programozható feszültségforrást digitális-analóg átalakító alkotja, amely számítógéppel digitális úton az adott mérési programnak megfelelően vezérelhető.In a further preferred embodiment, the programmable voltage source is comprised of a digital-to-analog converter that can be controlled digitally by a computer in accordance with a given measurement program.

A második erősítő változtatható erősítésű, és az áram-feszültség átalakító változtatható átviteli tényezőjű kialakításával - ahol a változtatás előnyösen szintén számítógépről vezérelhető - a berendezés feszültség, illetve áramforrás jeltartománya, valamint áram-, illetve feszültségmérési méréshatára a kívánt mérési programnak megfelelően változtatható. A mérések számítógépes kiértékeléséhez célszerű, ha a mérőegységet analóg-digitális átalakító alkotja.The second amplifier can be variably amplified, and the variable voltage factor of the current-to-voltage converter, where the change is preferably controlled from a computer, can vary the signal range of the device's voltage or power source, as well as the current and voltage measurement limits for the desired measurement program. For the computerized evaluation of measurements, it is recommended that the measuring unit is made up of an analog-to-digital converter.

A találmány szerinti berendezés akár egyedi laboratóriumi műszerként, akár programvezéreit mérőautomatában - többfunkciójú modulként - alkalmazható.The apparatus according to the invention can be used either as a single laboratory instrument or as a program controller in a measuring machine as a multifunctional module.

A találmányt a továbbiakban rajz alapján ismertetjük.The invention will now be described with reference to the drawing.

Az ábra a találmány szerinti berendezés egy kiviteli alakjának egyszerűsített tömbvázlatát szemlélteti.The figure shows a simplified block diagram of an embodiment of the apparatus according to the invention.

Az ábrán programozható (1) feszültségforrás - előnyösen digitális-analóg átalakító - kimenete (7) erősítő célszerűen differenciálerősítő - egyik (10) bemenetére van csatlakoztatva, a (7) erősítő kimenete a mérendő (9) áramköri elem egyik (11) kivezetésére van kötve, ugyanerre a pontra kapcsolódik egy további (4) erősítő - vezérelhető erősítésű differencia erősítő - egyik (12) bemenete. A mérendő (9) áramköri elem másik (13) kivezetése egyrészt vezérelhető átviteli tényezőjű (8) áram-feszültség átalakító (14) bemenetére, másrészt a (4) erősítő másik (15) bemenetére van kötve. A (4) erősítő (16) kimenete (22) vezérlóbemeneten keresztül vezérelhető (5) üzemmód kapcsoló egyik bemenetére, míg a (8) áram-feszültség átalakító (17) kimenete az (5) üzemmód kapcsoló másik bemenetére van kötve. Az (5) üzemmód kapcsoló egyik kimenete a (7) erősítő másik (18) bemenetére, másik kimenete (23) vezérlóbemeneten keresztül vezérelhető (6) kapcsolóegység egyik (19) bemenetére van kötve. A (6) kapcsolóegység (20) kimenete feszültségmérő (2) mérőegység bemenetére, másik (21) bemenete önhitelesítő jelforrásokat tartalmazó (3) jelforrásegység kimenetére van kapcsolva. Az (5) üzemmód kapcsoló és a (6) kapcsolóegység pl. CMOS analóg kapcsolókkal valósítható meg.The output of the voltage source programmable (1), preferably a digital-to-analog converter (7), is preferably connected to one of the (10) inputs of the differential amplifier, amplifier output (7) is connected to one (11) of the circuit element (9) to be measured. , at the same point, one (12) of an amplifier (4) with amplifier-controllable gain is connected. The other terminal (13) of the circuit element (9) to be measured is connected to the input (14) of the current-to-voltage transducer (8) on the one hand and the other (15) of the amplifier (4) on the other. The output (22) of the amplifier (4) (22) can be controlled via a control input (5) to one of the inputs of the mode switch, while the output of the current voltage converter (8) is connected to the other input of the mode switch (5). One of the outputs of the mode switch (5) is connected to one of the other inputs (18) of the amplifier (7) and one of the inputs (19) of a switching unit (6) that can be controlled via a control input. The output of the switching unit (6) (20) is connected to the input of the voltage measuring unit (2), and the other input (21) is connected to the output of a source unit (3) containing self-authentication sources. The mode switch (5) and the switching unit (6) can e.g. Can be implemented with CMOS analog switches.

A (3) jelforrásegység előnyösen úgy van kialakítva, hogy a mérési pontosságot meghatározó külső tényezőkkel (hőmérséklet, légnedvesség stb.) arányos egyenfeszültségeket és/vagy nagypontosságú referencia feszültséget állít elő. Az ábrán szemléltetett kialakításnál nagypontosságú (25) feszültségetalon, (26) hőmérséklet-feszültség jelátalakító és (27) légnedvességfeszültség jelátalakító egyike kívülről vezérelhető (24) átkapcsolón keresztül van a (6) kapcsolóegység (21) bemenetére csatlakoztatva. A (24) átkapcsoló egyik állásában az (1) feszültségforrás kimenetét csatlakoztatja a (21) bemenetre.Preferably, the source unit (3) is designed to produce direct voltages and / or high-precision reference voltages that are proportional to the external factors (temperature, humidity, etc.) that determine the measurement accuracy. In the illustrated embodiment, one of the high precision (25) voltage standard, (26) temperature voltage transducer and (27) air humidity voltage transducer is connected via an external switch (24) connected to the input (21) of the switching unit (6). The switch (24) in one position connects the output of the voltage source (1) to the input (21).

A találmány szerint az (5) üzemmód kapcsolónak és a (6) kapcsolóegységnek az ábrán folyamatos vonallal jelölt állapotában a berendezés feszültségforrás és árammérő üzemmódban van. Ebben az üzemmódban az (1) feszültségforrás feszültségével arányos feszültség lép fel a mérendő (9) áramköri elemen, melyet a (9) áramköri elemből, a (4) erősítőből és a (7) erősítőből álló „feszültség” visszacsatoló hurok biztosít. Ekkor a (2) mérőegység a mérendő (9) áramköri elemen átfolyó árammal arányos feszültséget mér, melyet a (8) áram-feszültség átalakító biztosít. A (4) erősítő erősítésének változtatásával lehet a feszültségforrás jeltartományát, a (8) áram-feszültség átalakító átviteli tényezőjének változtatásával az árammérés mérési tartományát változtatni.According to the invention, the mode switch (5) and the switching unit (6), in the state indicated by a continuous line in the figure, are in the voltage source and current meter mode. In this mode, a voltage proportional to the voltage of the voltage source (1) occurs on the circuit element (9) to be measured by a "voltage" feedback loop consisting of the circuit element (9), the amplifier (4) and the amplifier (7). Then, the measuring unit (2) measures a voltage proportional to the current flowing through the circuit element (9) to be measured by the current-to-voltage transformer (8). By changing the gain of the amplifier (4), it is possible to change the measuring range of the current measurement by varying the voltage range of the voltage source, by changing the transmission factor of the current voltage converter (8).

A találmány szerint az (5) üzemmód kapcsolónak az ábrán szaggatott vonallal jelölt állapotában és a (6) kapcsolóegységnek folyamatos vonallal jelölt állapotában a berendezés áramforrás és feszültségmérő üzemmódban van. Ebben az üzemmódban az (1) feszültségforrás feszültségével arányos áram folyik át a (9) áramköri elemen, melyet a (9) áramköri elemből, a (8) áram-feszültség átalakítóból és a (7) erősítőből álló „áram” visszacsatoló hurok biztosít. A (2) mérőegység a mérendő (9) áramköri elem (11 és 13) kivezetései között fellépő feszültséggel arányos feszültséget mér, melyet a (4) erősítő biztosít. A (8) áram-feszültség átalakító átviteli tényezőjének változtatásával lehet az áramforrás jeltartományát, a (4) erősítő erősítésének változtatásával a feszültségmérés mérési tartományát változtatni.According to the invention, the mode switch (5) in the state indicated by a dashed line in the figure and the switching unit (6) is in a steady state, the apparatus is in the power source and in the voltage measuring mode. In this mode, a current proportional to the voltage of the voltage source (1) flows through the circuit element (9), which is provided by a "current" feedback loop consisting of the circuit element (9), the current voltage converter (8), and the amplifier (7). The measuring unit (2) measures a voltage proportional to the voltage between the terminals of the circuit element (11) to be measured and which is provided by the amplifier (4). By varying the transmission factor of the current-to-voltage converter (8), it is possible to change the measuring range of the voltage measurement by varying the amplitude of the current source (4).

A találmány szerint a (6) kapcsolóegységnek az ábrán szaggatott vonallal jelölt állapotában a berendezés önhitelesítő üzemmódban van. Ebben az üzemmódban a (2) mérőegység az öhitelesítésre szolgáló (25) feszültségetalon, (26) hőmérséklet-feszültség jelátalakító vagy (29) légnedvesség-feszültség jelátalakító kimenetén megjelenő feszültséget, vagy az (1) feszültségforrás kimenő feszültségét méri a (24) átkapcsoló állásának megfelelően.According to the invention, the switching unit (6) is in the self-authentication mode, as indicated by the dashed line in the figure. In this mode, the measuring unit (2) measures the voltage at the output voltage (25), the voltage voltage transducer (26) or the humidity voltage transducer output (29), or the voltage source output voltage (1) for the switch (24). properly.

Az önhitelesítő üzemmódban ellenőrizhető a nagypontosságú (25) feszültségetalon jelének felhasználásával a (2) mérőegység pontossága. Az (1) feszültségforrás jelének mérésével ellenőrizhető annak pontossága. A (26) hőmérséklet-feszültség jelátalakító, illetve a (29) légnedvesség-feszültség jelátalakító stb. segítségévelIn self-authentication mode, the accuracy of the measuring unit (2) can be checked using the high-precision (25) voltage signal. By measuring the voltage source signal (1), its accuracy can be checked. The temperature voltage transducer (26) and the air humidity voltage transducer (29), etc. help

HU 207 587 Β meghatározható a berendezésen belül, esetleg azon kívül (pl. a mérőhelyen) a hőmérséklet, illetve légnedvesség stb. értéke a mindenkori mérési időpontban függetlenül attól, hogy az érzékelőket hol helyezzük el. A berendezés és/vagy mérőrendszer előzetesen felvett pontossági adatai hőmérséklet és légnedvesség függésének ismeretében a mindenkori mérési adatok önmagában ismert módon, digitális úton korrigálhatok.EN 207 587 Β can be determined within the unit, or outside (eg at the measuring site) temperature, humidity, etc. value at the time of the measurement, regardless of where the sensors are located. Precision data of the equipment and / or measuring system recorded in advance with the knowledge of temperature and humidity dependence can be corrected by digital means in a manner known per se.

A találmány szerinti berendezés a rajzon ábrázolttól eltérően is kialakítható. így pl. a (8) áram-feszültség átalakító elhelyezhető az (1) feszültségforrás és a mérendő (9) áramköri elem között is, a lényeg csak az, hogy a (9) áramköri elem és a (8) áram-feszültség átalakító egymással sorba legyen kapcsolva. Kialakítható a berendezés úgy is, hogy a (6) kapcsolóegységnek öt állása van, ez esetben a (24) átkapcsolom nincs szükség.The apparatus according to the invention may also be designed differently from that shown in the drawing. Thus, e.g. the current-to-voltage transformer (8) can also be positioned between the voltage source (1) and the circuit element (9) to be measured, the only point being that the circuit element (9) and the current-voltage converter (8) are connected in series . The apparatus may also be configured to have five positions for the switching unit (6), in which case the switch (24) is not required.

A találmány jelentős előnye, hogy a többfunkciós berendezés a mérendő (9) áramköri elemhez mindöszsze két vagy négy vezetéken csatlakozik, továbbá a kívánt mérési üzemmódot belső (5) üzemmód kapcsolóval állítja be. így a szükséges hálózat - amely a hagyományos megoldásnál bonyolultsága miatt a mérési pontosságot meghatározó elem volt - itt csak minimális kiépítést igényel, a mérési pontosságot lényegesen nem befolyásolja. A belső (5) üzemmód kapcsoló kisimpedanciás, nagyjelszintű helyen van beiktatva, így annak hibája elhanyagolható.An important advantage of the invention is that the multifunction device is connected to the circuit element (9) to be measured by two or four wires, and the desired measuring mode is set by an internal (5) mode switch. Thus, the required network - which, due to the complexity of the conventional solution, was the element determining the measurement accuracy - only requires minimal construction here, and does not significantly affect the measurement accuracy. The internal (5) mode switch is installed in a low-impedance, high-level location, so its fault is negligible.

A találmány további előnye, hogy az önhitclesítő rendszer miatt a hálózatot nem kell bővíteni. így a berendezés szélesebb hőmérséklet- és légnedvesség tartományban képes működni a mérési pontosság lényeges romlása nélkül.A further advantage of the invention is that the network does not need to be expanded because of the self-leveling system. Thus, the apparatus is capable of operating in a wider range of temperature and humidity without significant deterioration in measuring accuracy.

A találmány szerinti megoldás gazdasági előnye abban rejlik, hogy a felépítés a hagyományos berendezéshez képest lényegesen kevésbé redundáns. Ez a tény a közvetlen anyagmegtakarításon túlmenően kimutatható gazdasági előnyöket mutat a berendezés megbízhatóságának növekedése, bemérési és szerviz munkaigényének csökkenése révén.The economic advantage of the present invention lies in the fact that the structure is substantially less redundant than conventional equipment. In addition to direct material savings, this fact has demonstrable economic benefits through increased equipment reliability, reduced measurement and service demands.

Claims

1. A combined generator and measuring apparatus for supplying and measuring a voltage or current to circuit elements, the apparatus having an adjustable voltage source, generating a voltage or current proportional thereto at the terminals of the circuit to be measured and the circuit to be measured. means for measuring the voltage at the terminals of a circuit element, characterized in that a first amplifier (7) is inserted between the adjustable voltage source (Ϊ) and the circuit element to be measured, one of whose inputs (18) is controllable via a mode switch (5) either a second amplifier (4) providing a signal proportional to the voltage across the terminals (11, 13) of the circuit board (9) to be measured or a current converter (8) providing a signal proportional to the current flowing through the circuit board (9) and the input of the voltage measuring unit (2) is connected via the mode switch (5) to either the current converter (8) or the second amplifier (4).

Device according to Claim 1, characterized in that a switching unit (6) which can be controlled between the mode switch (5) and the measuring unit (2) is provided, in which the mode switch (5), the signal source unit (5) 3) connect it to the measuring unit (2).

Apparatus according to claim 2, characterized in that the signal source unit (3) comprises a high-precision voltage standard (25), a temperature-voltage transducer (26) and an air-moisture-voltage transducer (27).

Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that, during self-calibration, the measuring unit (2) has a switching unit (6) which also connects the output of the voltage pressure (1).

5. Apparatus according to any one of the preceding claims, characterized in that the programmable voltage source (1) comprises a digital-to-analog converter.

6. Apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the second amplifier (4) has a high power amplitude.

7. Device according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the current-to-voltage converter (8) has a variable transmission factor.

8. Apparatus according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the measuring unit (2) comprises an analog-to-digital converter.