FR884300A - Dispositif pour le traitement d'une matière introduite dans ce dispositif et notamment pour un traitement chimique ou métallurgique - Google Patents

Dispositif pour le traitement d'une matière introduite dans ce dispositif et notamment pour un traitement chimique ou métallurgique

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    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1271267B (de) * 1961-04-14 1968-06-27 Litton Systems Inc Niederdruck-Quecksilberdampfentladungsroehre
FR2476143A1 (fr) * 1980-02-20 1981-08-21 Fours Indls Cie Procede de traitement thermochimique de pieces par bombardement ionique et dispositif pour la mise en oeuvre du procede

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FR2476143A1 (fr) * 1980-02-20 1981-08-21 Fours Indls Cie Procede de traitement thermochimique de pieces par bombardement ionique et dispositif pour la mise en oeuvre du procede

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