FR3149052A1 - Turbomolecular Vacuum Pump and Insulation Kit - Google Patents
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Abstract
Pompe à vide (1) turbomoléculaire comportant un dispositif d’isolation thermique (30) entourant une enveloppe périphérique (19) du stator (2) et comportant au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et une couche isolante externe (36) entourant la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives. Figure 1Turbomolecular vacuum pump (1) comprising a thermal insulation device (30) surrounding a peripheral casing (19) of the stator (2) and comprising at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) wound around the peripheral casing (19) of the stator (2) and an external insulating layer (36) surrounding the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the peripheral casing (19) of the stator (2), the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) being interposed between the peripheral casing (19) of the stator (2) and the external insulating layer (36), the intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the external insulating layer (36) being respectively held wound by at least one respective retaining element (35) joining their respective end edges. Figure 1
Description
La présente invention concerne une pompe à vide turbomoléculaire. La présente invention concerne également un kit d’isolation pour pompe à vide turbomoléculaire.The present invention relates to a turbomolecular vacuum pump. The present invention also relates to an insulation kit for a turbomolecular vacuum pump.
La génération d’un vide poussé dans une enceinte nécessite l'utilisation de pompes à vide turbomoléculaire composées d'un stator dans lequel un rotor est entraîné en rotation rapide, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute.Generating a high vacuum in an enclosure requires the use of turbomolecular vacuum pumps consisting of a stator in which a rotor is driven in rapid rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute.
Dans les applications sous vide, en particulier dans l'industrie du semi-conducteur, panneaux photovoltaïques ou LED ou dans les procédés de dépôt de couches minces, les pompes à vide véhiculent divers types de gaz et substances évaporées qui peuvent, du fait de changements dans les conditions de pression ou de température ou de changements de nature des réactions chimiques, se déposer sur les surfaces internes de la pompe à vide. Ces dépôts peuvent entraîner une restriction de jeu entre le stator et le rotor pouvant provoquer un grippage du rotor, voire un crash de la pompe à vide.In vacuum applications, particularly in the semiconductor industry, photovoltaic panels or LEDs or in thin film deposition processes, vacuum pumps convey various types of gases and evaporated substances which can, due to changes in pressure or temperature conditions or changes in the nature of chemical reactions, deposit on the internal surfaces of the vacuum pump. These deposits can cause a clearance restriction between the stator and the rotor which can cause the rotor to seize or even crash the vacuum pump.
Il est connu de chauffer la pompe à vide pour prévenir la condensation de produits de réaction et ainsi limiter la formation de dépôts pour augmenter la durée de vie de la pompe à vide.It is known to heat the vacuum pump to prevent condensation of reaction products and thus limit the formation of deposits to increase the life of the vacuum pump.
Les pompes à vide chauffées comportent généralement une ceinture isolante cousue, sanglée autour du stator, permettant d’isoler thermiquement le corps de stator chauffé pour réduire les déperditions thermiques et pour protéger les personnes.Heated vacuum pumps typically have a sewn-in insulating belt strapped around the stator to thermally insulate the heated stator body to reduce heat loss and protect people.
Cependant, la réalisation de cette ceinture isolante est relativement coûteuse et ne permet pas une adaptation facile en fonction de la configuration de la pompe à vide, notamment pour adapter la forme de la ceinture à la position des vannes ou tuyaux du gaz de purge ou de circulation d’eau de refroidissement, ou à la position des passages de câbles électriques ou de l’orifice de refoulement de la pompe à vide, qui peuvent différer selon les applications de pompage.However, the production of this insulating belt is relatively expensive and does not allow easy adaptation according to the configuration of the vacuum pump, in particular to adapt the shape of the belt to the position of the purge gas or cooling water circulation valves or pipes, or to the position of the electrical cable passages or the discharge port of the vacuum pump, which may differ according to the pumping applications.
Un but de la présente invention est donc de proposer une pompe à vide turbomoléculaire résolvant au moins partiellement les inconvénients de l’état de la technique.An aim of the present invention is therefore to propose a turbomolecular vacuum pump at least partially resolving the drawbacks of the state of the art.
A cet effet, l’invention a pour objet une pompe à vide turbomoléculaire comportant :
- un stator,
- un rotor configuré pour tourner dans le stator,
- un dispositif de chauffage configuré pour chauffer le stator,
- un dispositif d’isolation thermique entourant une enveloppe périphérique du stator.
Le dispositif d’isolation thermique comporte :
- au moins une couche isolante intercalaire enroulée autour de l’enveloppe périphérique du stator, et
- une couche isolante externe entourant la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator, la au moins une couche isolante intercalaire étant interposée entre l’enveloppe périphérique du stator et la couche isolante externe, la couche isolante intercalaire et la couche isolante externe étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives.For this purpose, the invention relates to a turbomolecular vacuum pump comprising:
- a stator,
- a rotor configured to rotate in the stator,
- a heating device configured to heat the stator,
- a thermal insulation device surrounding a peripheral envelope of the stator.
The thermal insulation device includes:
- at least one intermediate insulating layer wound around the peripheral envelope of the stator, and
- an outer insulating layer surrounding the at least one intermediate insulating layer and the peripheral envelope of the stator, the at least one intermediate insulating layer being interposed between the peripheral envelope of the stator and the outer insulating layer, the intermediate insulating layer and the outer insulating layer being respectively held wound by at least one respective retaining element joining their respective end edges.
Le dispositif d’isolation thermique est ainsi facile à assembler et à adapter aux différentes options possibles de la pompe à vide par simple découpe dans des panneaux isolants à plats. On profite de la forme générale cylindrique de l’enveloppe périphérique du stator de la pompe à vide pour enrouler une ou plusieurs couches isolantes flexibles prédécoupées autour du corps du stator chauffé. Cette solution est peu coûteuse, inférieure au coût de la ceinture isolante cousue de l’art antérieur. De plus, le dispositif d’isolation thermique est modulable, car il permet d’adapter facilement le niveau d’isolation thermique à un besoin spécifique. Il est notamment possible d’augmenter le nombre de couches isolantes intercalaires superposées pour réduire les pertes thermiques, en particulier si l’encombrement le permet autour de la pompe à vide. Il est facile et peu coûteux d’adapter le dispositif d’isolation thermique en déplaçant/créant/supprimant des découpes dans les différentes couches isolantes intercalaires en fonction des options de la pompe à vide. Également, l’accès autour de la pompe à vide est simplifié pour les opérateurs de maintenance car le dispositif d’isolation thermique peut facilement être compressé à la main. Par ailleurs, ce dispositif d’isolation thermique forme un dispositif de protection mécanique pour la pompe à vide, utile notamment pour son transport.The thermal insulation device is thus easy to assemble and adapt to the various possible options of the vacuum pump by simply cutting into flat insulating panels. The general cylindrical shape of the peripheral casing of the vacuum pump stator is taken advantage of to wrap one or more pre-cut flexible insulating layers around the heated stator body. This solution is inexpensive, lower than the cost of the sewn insulating belt of the prior art. In addition, the thermal insulation device is modular, because it allows the level of thermal insulation to be easily adapted to a specific need. In particular, it is possible to increase the number of superimposed intermediate insulating layers to reduce heat losses, in particular if the space around the vacuum pump allows it. It is easy and inexpensive to adapt the thermal insulation device by moving/creating/removing cutouts in the various intermediate insulating layers depending on the options of the vacuum pump. Also, access around the vacuum pump is simplified for maintenance operators because the thermal insulation device can easily be compressed by hand. In addition, this thermal insulation device forms a mechanical protection device for the vacuum pump, useful in particular for its transport.
La pompe à vide peut en outre comporter une ou plusieurs des caractéristiques qui sont décrites ci-après, prises seules ou en combinaison.The vacuum pump may further include one or more of the features described below, taken alone or in combination.
Selon un exemple de réalisation, la au moins une couche isolante intercalaire et/ou la couche isolante externe comporte une mousse souple et une feuille aluminium recouvrant une face de la mousse souple.According to an exemplary embodiment, the at least one intermediate insulating layer and/or the external insulating layer comprises a flexible foam and an aluminum sheet covering one side of the flexible foam.
Le dispositif d’isolation thermique comporte par exemple au moins une première et une deuxième couches isolantes intercalaires superposées.The thermal insulation device comprises, for example, at least a first and a second superimposed intermediate insulating layer.
Selon un exemple de réalisation, les bordures d’extrémité des couches isolantes intercalaires superposées adjacentes se rejoignent le long d’une ligne de fermeture respective dont les positionnements angulaires sont distincts.According to an exemplary embodiment, the end edges of the adjacent superimposed intermediate insulating layers meet along a respective closing line whose angular positions are distinct.
Les bordures d’extrémité d’au moins une couche isolante intercalaire peuvent présenter des formes complémentaires formant au moins un orifice dans une ligne de fermeture.The end edges of at least one intermediate insulating layer may have complementary shapes forming at least one orifice in a closing line.
Selon un exemple de réalisation, le stator comporte :
- une partie statorique turbomoléculaire recevant au moins un étage d’ailettes du stator et dans laquelle un étage de pales du rotor est susceptible de tourner, et
- une douille fixée à la partie statorique turbomoléculaire et dans laquelle une jupe cylindrique du rotor est susceptible de tourner.According to an exemplary embodiment, the stator comprises:
- a turbomolecular stator part receiving at least one stage of stator blades and in which a stage of rotor blades is capable of rotating, and
- a sleeve fixed to the turbomolecular stator part and in which a cylindrical skirt of the rotor is capable of rotating.
Le dispositif d’isolation thermique peut comporter au moins une couche isolante intercalaire entourant au moins une partie de la partie statorique turbomoléculaire et au moins une couche isolante intercalaire entourant au moins une partie de la douille.The thermal insulation device may comprise at least one intermediate insulating layer surrounding at least a portion of the turbomolecular stator portion and at least one intermediate insulating layer surrounding at least a portion of the sleeve.
Le dispositif de chauffage est par exemple configuré pour chauffer la douille, par exemple à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C, par exemple au moyen d’une ou plusieurs cartouches chauffantes ou résistances électriques reçues dans le corps de la douille.The heating device is for example configured to heat the socket, for example to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C, for example by means of one or more heating cartridges or electrical resistors received in the body of the socket.
La couche isolante externe entoure la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator par exemple sur la hauteur de la douille et de la partie statorique turbomoléculaire.The outer insulating layer surrounds the at least one intermediate insulating layer and the peripheral envelope of the stator, for example over the height of the sleeve and the turbomolecular stator part.
Le dispositif d’isolation thermique comporte par exemple un nombre de couches isolantes intercalaires agencées autour de la douille supérieur au nombre de couches isolantes intercalaires agencées autour de la partie statorique turbomoléculaire.The thermal insulation device comprises, for example, a number of intermediate insulating layers arranged around the sleeve greater than the number of intermediate insulating layers arranged around the turbomolecular stator part.
L’épaisseur de la au moins une couche isolante intercalaire peut être comprise entre 5mm et 25mm, tel que 15mm.The thickness of the at least one interlayer insulating layer may be between 5mm and 25mm, such as 15mm.
L’invention a aussi pour objet un kit d’isolation pour pompe à vide turbomoléculaire telle que décrite précédemment, la pompe à vide comportant un stator, un rotor configuré pour tourner dans le stator, un dispositif de chauffage configuré pour chauffer le stator. Le kit d’isolation comporte un dispositif d’isolation thermique destiné à entourer une enveloppe périphérique du stator, le dispositif d’isolation thermique comportant :
- au moins une couche isolante intercalaire destinée à être enroulée autour de l’enveloppe périphérique du stator, et
- une couche isolante externe destinée à entourer la au moins une couche isolante intercalaire et l’enveloppe périphérique du stator, la au moins une couche isolante intercalaire étant interposée entre l’enveloppe périphérique du stator et la couche isolante externe, la couche isolante intercalaire et la couche isolante externe étant respectivement destinées à être maintenues enroulées par au moins un élément de retenue respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives.The invention also relates to an insulation kit for a turbomolecular vacuum pump as described above, the vacuum pump comprising a stator, a rotor configured to rotate in the stator, a heating device configured to heat the stator. The insulation kit comprises a thermal insulation device intended to surround a peripheral envelope of the stator, the thermal insulation device comprising:
- at least one intermediate insulating layer intended to be wound around the peripheral envelope of the stator, and
- an external insulating layer intended to surround the at least one intermediate insulating layer and the peripheral envelope of the stator, the at least one intermediate insulating layer being interposed between the peripheral envelope of the stator and the external insulating layer, the intermediate insulating layer and the external insulating layer being respectively intended to be kept wound by at least one respective retaining element joining their respective end edges.
Le kit d’isolation peut ainsi être vendu comme accessoire et/ou livré indépendamment de la pompe à vide turbomoléculaire. Il est par exemple prévu pour être agencé autour d’une pompe à vide déjà installée. Par ailleurs, il est ainsi possible pour une même référence de pompe à vide de disposer de différents kits d’isolation présentant par exemple chacun un nombre de couches isolantes intercalaires différent ou des couches isolantes intercalaires présentant des épaisseurs différentes, afin de répondre au mieux à l’encombrement disponible autour de la pompe à vide et/ou de réduire au mieux la consommation énergétique du chauffage de la pompe à vide.The insulation kit can thus be sold as an accessory and/or delivered independently of the turbomolecular vacuum pump. For example, it is designed to be arranged around an already installed vacuum pump. Furthermore, it is thus possible for the same vacuum pump reference to have different insulation kits, each having, for example, a different number of intermediate insulating layers or intermediate insulating layers having different thicknesses, in order to best meet the space available around the vacuum pump and/or to reduce the energy consumption of the vacuum pump heating as much as possible.
D'autres avantages et caractéristiques apparaîtront à la lecture de la description de l'invention, ainsi que des dessins annexés sur lesquels :Other advantages and characteristics will appear on reading the description of the invention, as well as the attached drawings in which:
Sur ces figures, les éléments identiques portent les mêmes numéros de référence.In these figures, identical elements have the same reference numbers.
Les réalisations suivantes sont des exemples. Bien que la description se réfère à un ou plusieurs modes de réalisation, ceci ne signifie pas nécessairement que chaque référence concerne le même mode de réalisation, ou que les caractéristiques s'appliquent seulement à un seul mode de réalisation. De simples caractéristiques de différents modes de réalisation peuvent également être combinées ou interchangées pour fournir d'autres réalisations, sans s’écarter de la portée de l’invention, telle que définie par les revendications.The following embodiments are examples. Although the description refers to one or more embodiments, this does not necessarily mean that each reference is to the same embodiment, or that the features apply only to a single embodiment. Single features of different embodiments may also be combined or interchanged to provide other embodiments, without departing from the scope of the invention, as defined by the claims.
On entend par « en amont », un élément qui est placé avant un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper. A contrario, on entend par « en aval », un élément placé après un autre par rapport au sens de circulation du gaz à pomper."Upstream" means an element that is placed before another in relation to the direction of flow of the gas to be pumped. Conversely, "downstream" means an element placed after another in relation to the direction of flow of the gas to be pumped.
On définit la direction axiale de la pompe à vide 1 comme la direction parallèle à l’axe de rotation I-I de la pompe à vide 1.The axial direction of vacuum pump 1 is defined as the direction parallel to the axis of rotation I-I of vacuum pump 1.
La
La pompe à vide 1 turbomoléculaire comporte un stator 2 dans lequel un rotor 3 est configuré pour tourner à grande vitesse en rotation axiale, par exemple une rotation à plus de trente mille tours par minute, de manière à entraîner des gaz à pomper dans un chemin d’écoulement des gaz interposé entre le stator 2 et le rotor 3.The turbomolecular vacuum pump 1 comprises a stator 2 in which a rotor 3 is configured to rotate at high speed in axial rotation, for example rotation at more than thirty thousand revolutions per minute, so as to drive gases to be pumped in a gas flow path interposed between the stator 2 and the rotor 3.
Dans l’exemple de réalisation de la
Dans l’étage turbomoléculaire 4, le rotor 3 comporte au moins deux étages de pales 9 et le stator 2 comporte au moins un étage d’ailettes 10. Les étages de pales 9 et d’ailettes 10 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3 dans l’étage turbomoléculaire 4. Le rotor 3 comporte par exemple plus de quatre étages de pales 9, comme entre quatre et douze étages de pales 9 (sept dans l’exemple illustré sur la
Chaque étage de pales 9 du rotor 3 comporte des pales inclinées qui partent en direction sensiblement radiale d’un moyeu 11 du rotor 3 fixé à un arbre d’entraînement 12 de la pompe à vide 1, par exemple par vissage. Les pales sont réparties régulièrement en périphérie du moyeu 11.Each stage of blades 9 of the rotor 3 comprises inclined blades which extend in a substantially radial direction from a hub 11 of the rotor 3 fixed to a drive shaft 12 of the vacuum pump 1, for example by screwing. The blades are regularly distributed around the periphery of the hub 11.
Chaque étage d’ailettes 10 du stator 2 comporte une couronne de laquelle partent, en direction sensiblement radiale, des ailettes inclinées, réparties régulièrement sur le pourtour intérieur de la couronne. Les ailettes d’un étage d’ailettes 10 du stator 2 viennent s’engager entre les pales de deux étages de pales 9 du rotor 3 successifs. Les pales 9 du rotor 3 et les ailettes 10 du stator 2 sont inclinées pour guider les molécules de gaz pompés vers l’étage moléculaire 5.Each stage of fins 10 of the stator 2 comprises a crown from which extend, in a substantially radial direction, inclined fins, distributed regularly around the inner periphery of the crown. The fins of a stage of fins 10 of the stator 2 engage between the blades of two successive stages of blades 9 of the rotor 3. The blades 9 of the rotor 3 and the fins 10 of the stator 2 are inclined to guide the pumped gas molecules towards the molecular stage 5.
Le stator 2 comporte une partie statorique turbomoléculaire 20 recevant les au moins deux étages d’ailettes 10. Cette partie statorique turbomoléculaire 20 est ouverte à une extrémité sur l’orifice d’aspiration 6 de la pompe à vide 1. Elle peut comporter une bride annulaire d’entrée 8 entourant l’orifice d’aspiration 6 pour raccorder la pompe à vide 1 à une enceinte dont on souhaite abaisser la pression.The stator 2 comprises a turbomolecular stator part 20 receiving the at least two stages of fins 10. This turbomolecular stator part 20 is open at one end on the suction port 6 of the vacuum pump 1. It can comprise an annular inlet flange 8 surrounding the suction port 6 to connect the vacuum pump 1 to an enclosure whose pressure is to be lowered.
Ici, dans l’étage moléculaire 5, le rotor 3 comporte en outre une jupe cylindrique 13, dite jupe Holweck, en aval des au moins deux étages de pales 9, formée par un cylindre lisse, qui tourne en regard d’une douille 22 du stator 2, dit stator Holweck, fixée à la partie statorique turbomoléculaire 20 et dans laquelle sont ménagées des rainures hélicoïdales 14. Les rainures hélicoïdales 14 sont agencées les unes au-dessus des autres. Il y a par exemple entre trois et dix rainures hélicoïdales 14, telle que six. Les rainures hélicoïdales 14 du stator 2 permettent de comprimer et guider les gaz pompés vers un refoulement de la pompe à vide 1 ménagé dans la douille 22 et débouchant par l’orifice de refoulement 7.Here, in the molecular stage 5, the rotor 3 further comprises a cylindrical skirt 13, called the Holweck skirt, downstream of the at least two blade stages 9, formed by a smooth cylinder, which rotates opposite a sleeve 22 of the stator 2, called the Holweck stator, fixed to the turbomolecular stator part 20 and in which helical grooves 14 are formed. The helical grooves 14 are arranged one above the other. For example, there are between three and ten helical grooves 14, such as six. The helical grooves 14 of the stator 2 make it possible to compress and guide the pumped gases towards a discharge of the vacuum pump 1 formed in the sleeve 22 and opening through the discharge orifice 7.
La partie statorique turbomoléculaire 20 et la douille 22 se succèdent axialement le long de l’axe de rotation I-I du rotor 3. La surface externe de la partie statorique turbomoléculaire 20 et de la douille 22 forme l’enveloppe périphérique 19 de la pompe à vide 1 et présente une forme générale cylindrique.The turbomolecular stator part 20 and the sleeve 22 follow one another axially along the axis of rotation I-I of the rotor 3. The external surface of the turbomolecular stator part 20 and of the sleeve 22 forms the peripheral casing 19 of the vacuum pump 1 and has a generally cylindrical shape.
Le rotor 3 comporte en outre un bol interne 15, coaxial à l’axe de rotation I-I, formé sous la jupe 13 et agencé en vis-à-vis d’une cloche 17 du stator 2, dont une embase est fixée à la douille 22, la cloche 17 saillant sous le rotor 3. En fonctionnement, le rotor 3 tourne dans le stator 2 sans contact entre le bol interne 15 et la cloche 17.The rotor 3 further comprises an internal bowl 15, coaxial with the axis of rotation I-I, formed under the skirt 13 and arranged opposite a bell 17 of the stator 2, a base of which is fixed to the sleeve 22, the bell 17 projecting under the rotor 3. In operation, the rotor 3 rotates in the stator 2 without contact between the internal bowl 15 and the bell 17.
Le rotor 3 peut être réalisé d’une seule pièce (monobloc) ou il peut être un assemblage de plusieurs pièces. Il est par exemple réalisé en matériau aluminium (ou alliage d’aluminium) et/ou en nickel. Il peut présenter un revêtement, tel que du nickel, notamment pour mieux résister à la corrosion. Il est par exemple réalisé en aluminium nickelé.The rotor 3 may be made of a single piece (monobloc) or it may be an assembly of several parts. For example, it is made of aluminum (or aluminum alloy) and/or nickel. It may have a coating, such as nickel, in particular to better resist corrosion. For example, it is made of nickel-plated aluminum.
Le rotor 3 est entraîné en rotation dans le stator 2 par un moteur 16 de la pompe à vide 1. Le moteur 16 est par exemple agencé dans la cloche 17 du stator 2, elle-même agencée sous le bol interne 15 du rotor 3, l’arbre d’entraînement 12 traversant la cloche 17 du stator 2.The rotor 3 is driven in rotation in the stator 2 by a motor 16 of the vacuum pump 1. The motor 16 is for example arranged in the bell 17 of the stator 2, itself arranged under the internal bowl 15 of the rotor 3, the drive shaft 12 passing through the bell 17 of the stator 2.
Le rotor 3 est guidé latéralement et axialement par des paliers 18 magnétiques ou mécaniques supportant l’arbre d’entraînement 12 du rotor 3, situés dans le stator 2. Il y a par exemple des premiers paliers 18 supportant et guidant une première extrémité de l’arbre d’entraînement 12 dans l’embase de la cloche 17 du stator 2 et des seconds paliers 18 supportant et guidant une deuxième extrémité de l’arbre d’entraînement 12 agencés au sommet de la cloche 17.The rotor 3 is guided laterally and axially by magnetic or mechanical bearings 18 supporting the drive shaft 12 of the rotor 3, located in the stator 2. There are for example first bearings 18 supporting and guiding a first end of the drive shaft 12 in the base of the bell 17 of the stator 2 and second bearings 18 supporting and guiding a second end of the drive shaft 12 arranged at the top of the bell 17.
D’autres composants électriques ou électroniques peuvent être reçus dans la cloche 17 du stator 2, comme des capteurs de position.Other electrical or electronic components can be received in the bell 17 of the stator 2, such as position sensors.
La pompe à vide 1 comporte un dispositif de chauffage 21 configuré pour chauffer le corps du stator 2, en particulier la douille 22, par exemple à une température comprise entre 120°C et 200°C, telle que 150°C, par exemple au moyen d’une ou plusieurs cartouches chauffantes ou résistances électriques reçues dans le corps de la douille 22.The vacuum pump 1 comprises a heating device 21 configured to heat the body of the stator 2, in particular the sleeve 22, for example to a temperature between 120°C and 200°C, such as 150°C, for example by means of one or more heating cartridges or electrical resistors received in the body of the sleeve 22.
La pompe à vide 1 comporte en outre un dispositif d’isolation thermique 30 entourant l’enveloppe périphérique 19 du stator 2.The vacuum pump 1 further comprises a thermal insulation device 30 surrounding the peripheral casing 19 of the stator 2.
Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 enroulée autour de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 et une couche isolante externe 36 entourant la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et l’enveloppe périphérique 19 du stator 2, la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 étant interposée entre l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 et la couche isolante externe 36.The thermal insulation device 30 comprises at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 wound around the peripheral casing 19 of the stator 2 and an external insulating layer 36 surrounding the at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 and the peripheral casing 19 of the stator 2, the at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 being interposed between the peripheral casing 19 of the stator 2 and the external insulating layer 36.
La couche isolante externe 36 entoure la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 ici sur la hauteur (dans la direction axiale) de la douille 22 et de la partie statorique turbomoléculaire 20. La couche isolante externe 36 recouvre ainsi la partie chauffée de la pompe à vide 1 de haut en bas.The outer insulating layer 36 surrounds the at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 and the peripheral casing 19 of the stator 2 here over the height (in the axial direction) of the sleeve 22 and the turbomolecular stator part 20. The outer insulating layer 36 thus covers the heated part of the vacuum pump 1 from top to bottom.
La au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et/ou la couche isolante externe 36 comportent par exemple respectivement une mousse souple et une feuille étanche et/ou réflectrice, tel qu’une feuille aluminium, recouvrant une face de la mousse souple. La mousse est par exemple en matériau synthétique alvéolaire, comme en polymère, tel qu’en polyéther. La mousse forme un bon isolant thermique et la feuille aluminium assure l’étanchéité de la mousse et forme un écran thermique.The at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 and/or the external insulating layer 36 comprise, for example, respectively a flexible foam and a waterproof and/or reflective sheet, such as an aluminum sheet, covering one face of the flexible foam. The foam is, for example, made of cellular synthetic material, such as a polymer, such as polyether. The foam forms a good thermal insulator and the aluminum sheet ensures the sealing of the foam and forms a thermal screen.
L’épaisseur de la au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 est par exemple comprise entre et 5mm et 25mm, tel que 15mm. L’épaisseur des différentes couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peut être identique ou différente, notamment pour adapter le dispositif d’isolation thermique 30 au volume disponible.The thickness of the at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 is for example between 5 mm and 25 mm, such as 15 mm. The thickness of the different superimposed intermediate insulating layers 32, 33, 34 may be identical or different, in particular to adapt the thermal insulation device 30 to the available volume.
L’épaisseur de la au moins une couche isolante externe 36 peut être inférieure à l’épaisseur de la couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34, comme au moins deux fois inférieure.The thickness of the at least one external insulating layer 36 may be less than the thickness of the intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34, such as at least twice less.
La couche isolante externe 36 peut être également formée d’une mousse souple et d’une feuille aluminium.The outer insulating layer 36 can also be formed from a flexible foam and an aluminum sheet.
Le dispositif d’isolation thermique 30 peut comporter une coque semi-rigide ou rigide entourant la couche isolante externe 36, telle qu’une pièce en plastique, par exemple cintrée sur la couche isolante externe 36.The thermal insulation device 30 may comprise a semi-rigid or rigid shell surrounding the external insulating layer 36, such as a plastic part, for example curved on the external insulating layer 36.
Chaque couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et la couche isolante externe 36 sont respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue 35 respectif, et de préférence plusieurs, ici quatre, joignant les bordures d’extrémité respectives entre elles le long d’une ligne de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a (visible pour la couche isolante externe 36 sur la
Les éléments de retenue 35 sont par exemple des bandes adhésives ou des rubans auto-agrippant fixés sur les feuilles aluminium. Les différentes couches isolantes 31, 32, 33, 34, 36 peuvent donc maintenues entre elles indépendamment les unes des autres.The retaining elements 35 are for example adhesive strips or self-gripping tapes fixed to the aluminum sheets. The different insulating layers 31, 32, 33, 34, 36 can therefore be held together independently of each other.
La couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et la couche isolante externe sont par exemple enroulées sur un tour respectif autour de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 (
Alternativement, au moins une couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 fait au moins deux fois le tour de l’enveloppe périphérique 19 avant que les bordures d’extrémité de la couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 soient maintenues entre elles par au moins un élément de retenue 35, de sorte que le deuxième tour de la couche isolante intermédiaire 31, 32, 33, 34 se superpose au premier tour de la couche isolante intermédiaire 31, 32, 33, 34. La pompe à vide 1 comporte par exemple une seule couche isolante intercalaire faisant plusieurs fois le tour de l’enveloppe périphérique 19, tel qu’entre deux et quatre fois, avant d’être fixée par les éléments de retenue 35.Alternatively, at least one intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 goes around the peripheral casing 19 at least twice before the end edges of the intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 are held together by at least one retaining element 35, such that the second turn of the intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 overlaps the first turn of the intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34. The vacuum pump 1 comprises, for example, a single intermediate insulating layer going around the peripheral casing 19 several times, such as between two and four times, before being fixed by the retaining elements 35.
Les bordures d’extrémité des couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 et de la couche isolante externe 36 se rejoignent le long d’une ligne de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a respective sauf à l’endroit d’orifices respectifs éventuellement formés par ces bordures.The end edges of the intermediate insulating layers 31, 32, 33, 34 and of the external insulating layer 36 meet along a respective closing line 31a, 32a, 33a, 34a, 36a except at the location of respective orifices possibly formed by these edges.
Les bordures d’extrémité présentent des formes complémentaires formant des orifices et/ou des lignes de fermeture 31a, 32a, 33a, 34a, 36a droites, courbes, en créneau, zig-zag ou autre, formées par exemple par la juxtaposition bout à bout des bordures d’extrémité. Selon un autre exemple, les bordures d’extrémité peuvent présenter des formes complémentaires formant des lignes de fermeture par emboitement, par exemple via un assemblage à tenon et mortaise, à queue d‘aronde, à languette ou autre.The end edges have complementary shapes forming holes and/or straight, curved, crenellated, zig-zag or other closure lines 31a, 32a, 33a, 34a, 36a, formed for example by the end-to-end juxtaposition of the end edges. According to another example, the end edges may have complementary shapes forming closure lines by interlocking, for example via a mortise and tenon, dovetail, tongue or other assembly.
Les positionnements angulaires des lignes de fermeture 32a, 33a, 34a des couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peuvent être distincts. Autrement dit, on peut prévoir que les lignes de fermeture 32a, 33a, 34a de deux couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 adjacentes radialement ne se superposent pas. La non-superposition des lignes de fermeture 32a, 33a, 34a permet d’éviter les points faibles thermiques.The angular positions of the closing lines 32a, 33a, 34a of the superimposed intermediate insulating layers 32, 33, 34 may be distinct. In other words, it may be provided that the closing lines 32a, 33a, 34a of two radially adjacent intermediate insulating layers 32, 33, 34 do not overlap. The non-overlapping of the closing lines 32a, 33a, 34a makes it possible to avoid thermal weak points.
Les couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 superposées peuvent être en contact entre elles, avec l’enveloppe périphérique 19 et avec la couche isolante externe 36.The superimposed intermediate insulating layers 32, 33, 34 may be in contact with each other, with the peripheral envelope 19 and with the external insulating layer 36.
Le nombre de couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 n’est pas limitatif.The number of intermediate insulating layers 31, 32, 33, 34 is not limiting.
Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte par exemple au moins une première et une deuxième couches isolantes intercalaires superposées 32, 33.The thermal insulation device 30 comprises, for example, at least a first and a second superimposed intermediate insulating layer 32, 33.
Les bordures d’extrémité de la première couche isolante 32 peuvent se rejoindre le long d’une ligne de fermeture 32a dont le positionnement angulaire est distinct (différent) de la ligne de fermeture 33a joignant les bordures d’extrémité de la deuxième couche isolante intercalaire 33. Les lignes de fermeture 32a, 33a de la première et de la deuxième couche isolante intercalaire 32, 33 sont par exemple diamétralement opposées (
Le dispositif d’isolation thermique 30 peut comporter au moins trois couches isolantes intercalaires superposées 32, 33, 34, une première couche isolante intercalaire 32 enroulée autour de l’enveloppe périphérique 19, ici autour de la douille 22, une deuxième couche isolante intercalaire 33 enroulée autour et sur la première couche isolante intercalaire 32 et une troisième couche isolante intercalaire 34 enroulée autour et sur la deuxième couche isolante intercalaire 32 (figures 1, 3 et 4).The thermal insulation device 30 may comprise at least three superimposed intermediate insulating layers 32, 33, 34, a first intermediate insulating layer 32 wound around the peripheral casing 19, here around the sleeve 22, a second intermediate insulating layer 33 wound around and on the first intermediate insulating layer 32 and a third intermediate insulating layer 34 wound around and on the second intermediate insulating layer 32 (figures 1, 3 and 4).
Etant donné que les couches isolantes intercalaires 32, 33, 34 sont superposées, la longueur à plat de la deuxième couche isolante intercalaire 33 est plus grande que celle de la première couche isolante intercalaire 32, la longueur à plat de la troisième couche isolante intercalaire 34 est plus grande que celle de la deuxième couche isolante intercalaire 33, et ainsi de suite (
Les bordures d’extrémité de la première couche et troisième couches isolantes intercalaires 32, 34 peuvent se rejoindre le long d’une ligne de fermeture 32a, 34a respective dont le positionnement angulaire est distinct (différent) de la ligne de fermeture 33a joignant les bordures d’extrémité de la deuxième couche isolante intercalaire 33. Les lignes de fermeture 32a, 34a de la première et troisième couche isolante intercalaire 32, 34 sont par exemple diamétralement opposées à la ligne de fermeture 33a de la deuxième couche isolante intercalaire 33 (
Les bordures d’extrémité d’au moins une couche isolante intercalaire 32, 34 peuvent présenter des formes complémentaires formant au moins un orifice 37, par exemple circulaire, dans une ligne de fermeture 32a, 34a (
Les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent en outre couvrir des zones séparées en hauteur et le nombre de couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peut varier le long de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2.The intermediate insulating layers 31, 32, 33, 34 may further cover areas separated in height and the number of intermediate insulating layers 31, 32, 33, 34 may vary along the peripheral casing 19 of the stator 2.
Le dispositif d’isolation thermique 30 comporte par exemple au moins une couche isolante intercalaire 31 entourant une partie de la partie statorique turbomoléculaire 20 et au moins une couche isolante intercalaire 32, 33, 34 entourant une partie de la douille 22.The thermal insulation device 30 comprises, for example, at least one intermediate insulating layer 31 surrounding a portion of the turbomolecular stator portion 20 and at least one intermediate insulating layer 32, 33, 34 surrounding a portion of the sleeve 22.
Le nombre de couches isolantes intercalaires 32, 33, 34, agencées autour de la douille 22, ici trois, peut être supérieur au nombre de couches isolantes intercalaires 31 agencées autour de la partie statorique turbomoléculaire 20, ici une seule. Un espace plus faible peut être laissé au niveau de la fixation entre la partie statorique turbomoléculaire 20 et la douille 22, cette zone pouvant être dépourvue de couche isolante intercalaire entre l’enveloppe périphérique 19 et la couche isolante externe 36.The number of intermediate insulating layers 32, 33, 34, arranged around the sleeve 22, here three, may be greater than the number of intermediate insulating layers 31 arranged around the turbomolecular stator part 20, here only one. A smaller space may be left at the level of the fixing between the turbomolecular stator part 20 and the sleeve 22, this area possibly being devoid of an intermediate insulating layer between the peripheral casing 19 and the external insulating layer 36.
Les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent être bloquées axialement par au moins une butée axiale 22a, 20a, par exemple annulaire, par exemple fixée ou formée dans le stator 2, par exemple dans la douille 22 et/ou la partie statorique turbomoléculaire 20 (
Alternativement, les couches isolantes intercalaires 31, 32, 33, 34 peuvent être fixées au stator 2 par des éléments de fixation réalisés en matériau non conducteur thermique, tel que des vis ou tiges en plastique.Alternatively, the intermediate insulating layers 31, 32, 33, 34 can be fixed to the stator 2 by fixing elements made of a non-thermally conductive material, such as screws or plastic rods.
La couche isolante intercalaire 31, 32, 33, 34 et/ou la couche isolante externe 36 sont ainsi faciles à assembler et à adapter aux différentes options possibles de la pompe à vide 1 par simple découpe dans des panneaux isolants à plats. On profite de la forme générale cylindrique de l’enveloppe périphérique 19 du stator 2 de la pompe à vide 1 pour enrouler une ou plusieurs de ces couches isolantes flexibles prédécoupées autour du corps du stator 2 chauffé. Cette solution est peu coûteuse, inférieure au coût de la ceinture isolante cousue de l’art antérieur. De plus, le dispositif d’isolation thermique 30 est modulable, car il permet d’adapter facilement le niveau d’isolation thermique à un besoin spécifique. Il est notamment possible d’augmenter le nombre de couches isolantes intercalaires superposées pour réduire les pertes thermiques, en particulier si l’encombrement le permet autour de la pompe à vide 1. Il est facile et peu coûteux d’adapter le dispositif d’isolation thermique en déplaçant/créant/supprimant des découpes dans les différentes couches isolantes intercalaires en fonction des options de la pompe à vide 1. Également, l’accès autour de la pompe à vide 1 est simplifié pour les opérateurs de maintenance car le dispositif d’isolation thermique 30 peut facilement être compressé à la main. Par ailleurs, ce dispositif d’isolation thermique 30 forme un dispositif de protection mécanique pour la pompe à vide 1, utile notamment pour son transport.The intermediate insulating layer 31, 32, 33, 34 and/or the external insulating layer 36 are thus easy to assemble and adapt to the various possible options of the vacuum pump 1 by simply cutting them into flat insulating panels. The general cylindrical shape of the peripheral casing 19 of the stator 2 of the vacuum pump 1 is used to wind one or more of these pre-cut flexible insulating layers around the body of the heated stator 2. This solution is inexpensive, less than the cost of the sewn insulating belt of the prior art. In addition, the thermal insulation device 30 is modular, since it makes it possible to easily adapt the level of thermal insulation to a specific need. It is in particular possible to increase the number of superimposed intermediate insulating layers to reduce heat losses, in particular if the space around the vacuum pump 1 allows it. It is easy and inexpensive to adapt the thermal insulation device by moving/creating/removing cutouts in the different intermediate insulating layers depending on the options of the vacuum pump 1. Also, access around the vacuum pump 1 is simplified for maintenance operators because the thermal insulation device 30 can easily be compressed by hand. Furthermore, this thermal insulation device 30 forms a mechanical protection device for the vacuum pump 1, useful in particular for its transport.
Claims (11)
- un stator (2),
- un rotor (3) configuré pour tourner dans le stator (2),
- un dispositif de chauffage (21) configuré pour chauffer le stator (2),
- un dispositif d’isolation thermique (30) entourant une enveloppe périphérique (19) du stator (2),
caractérisée en ce que le dispositif d’isolation thermique (30) comporte :
- au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), et
- une couche isolante externe (36) entourant la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives.Turbomolecular vacuum pump (1) comprising:
- a stator (2),
- a rotor (3) configured to rotate in the stator (2),
- a heating device (21) configured to heat the stator (2),
- a thermal insulation device (30) surrounding a peripheral casing (19) of the stator (2),
characterized in that the thermal insulation device (30) comprises:
- at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) wound around the peripheral casing (19) of the stator (2), and
- an external insulating layer (36) surrounding the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the peripheral casing (19) of the stator (2), the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) being interposed between the peripheral casing (19) of the stator (2) and the external insulating layer (36), the intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the external insulating layer (36) being respectively held wound by at least one respective retaining element (35) joining their respective end edges.
- une partie statorique turbomoléculaire (20) recevant au moins un étage d’ailettes (10) du stator (2) et dans laquelle un étage de pales (9) du rotor (3) est susceptible de tourner, et
- une douille (22) fixée à la partie statorique turbomoléculaire (20) et dans laquelle une jupe cylindrique (13) du rotor (3) est susceptible de tourner.Vacuum pump (1) according to one of the preceding claims, characterized in that the stator (2) comprises:
- a turbomolecular stator part (20) receiving at least one stage of fins (10) of the stator (2) and in which a stage of blades (9) of the rotor (3) is capable of rotating, and
- a sleeve (22) fixed to the turbomolecular stator part (20) and in which a cylindrical skirt (13) of the rotor (3) is capable of rotating.
- au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) destinée à être enroulée autour de l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), et
- une couche isolante externe (36) destinée à entourer la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et l’enveloppe périphérique (19) du stator (2), la au moins une couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) étant interposée entre l’enveloppe périphérique (19) du stator (2) et la couche isolante externe (36), la couche isolante intercalaire (31, 32, 33, 34) et la couche isolante externe (36) étant respectivement destinées à être maintenues enroulées par au moins un élément de retenue (35) respectif joignant leurs bordures d’extrémité respectives.
Insulation kit for a turbomolecular vacuum pump (1) comprising a stator (2), a rotor (3) configured to rotate in the stator (2), a heating device (21) configured to heat the stator (2), characterized in that the insulation kit comprises a thermal insulation device (30) intended to surround a peripheral envelope (19) of the stator (2), the thermal insulation device (30) comprising:
- at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) intended to be wound around the peripheral casing (19) of the stator (2), and
- an external insulating layer (36) intended to surround the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the peripheral casing (19) of the stator (2), the at least one intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) being interposed between the peripheral casing (19) of the stator (2) and the external insulating layer (36), the intermediate insulating layer (31, 32, 33, 34) and the external insulating layer (36) being respectively intended to be kept wound by at least one respective retaining element (35) joining their respective end edges.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR2305048A FR3149052A1 (en) | 2023-05-23 | 2023-05-23 | Turbomolecular Vacuum Pump and Insulation Kit |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR2305048 | 2023-05-23 | ||
FR2305048A FR3149052A1 (en) | 2023-05-23 | 2023-05-23 | Turbomolecular Vacuum Pump and Insulation Kit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR3149052A1 true FR3149052A1 (en) | 2024-11-29 |
Family
ID=87554376
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR2305048A Pending FR3149052A1 (en) | 2023-05-23 | 2023-05-23 | Turbomolecular Vacuum Pump and Insulation Kit |
Country Status (1)
Country | Link |
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FR (1) | FR3149052A1 (en) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2023
- 2023-05-23 FR FR2305048A patent/FR3149052A1/en active Pending
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