FR3113125B1 - Procede de realisation d’un micro-bolometre d’imagerie infrarouge et micro-bolometre associe - Google Patents

Procede de realisation d’un micro-bolometre d’imagerie infrarouge et micro-bolometre associe Download PDF

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Abstract

L’invention concerne un procédé de réalisation d’un micro-bolomètre d’imagerie infrarouge (10a) comportant les étapes suivantes :– formation de clous d’ancrage (14) à travers une couche sacrificielle (12) et une couche de support (13) ;– dépôt et structuration d’un absorbeur (16) ;– dépôt d’une couche diélectrique (15) ;– structuration de ladite couche diélectrique (15) pour former des ouvertures (17) ;– dépôt d’un matériau conducteur (20) à base de tungstène pour remplir lesdites ouvertures (17) ;– polissage mécano-chimique dudit matériau conducteur (20) de sorte à former une surface plane (Sp) ;– dépôt d’un matériau thermométrique (21) sur ladite surface plane (Sp) de sorte que ledit matériau thermométrique (21) soit connecté thermiquement et électriquement audit matériau absorbeur (16) par l’intermédiaire dudit matériau conducteur (20) déposé dans les ouvertures (17) de ladite couche diélectrique (15) ; et– suppression de ladite couche sacrificielle (12). Figure pour abrégé : Fig 2i
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