FR3108716B1 - Capteur MEMS de déformation comprenant un élément déformable - Google Patents

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Abstract

La présente invention concerne un capteur de déformation de type MEMS adapté pour mesurer un déplacement relatif entre deux zones, comprenant :un élément de poussée (4) fixe par rapport à une première partie,une première électrode (A) et une deuxième électrode (B) fixes par rapport à une deuxième partie,une partie de raccordement comprenant un élément déformable (I2) présentant une position ouverte (I2(2)) et une position fermée (I2(1)), formant liaison électrique entre la première électrode (A) et la deuxième électrode (B) dans la position fermée (I2(1)), l’élément de poussée (4) étant configuré pour solliciter l’élément déformable (I2) depuis l’une vers l’autre des position ouverte ou fermée lorsque la première partie se déplace par rapport à la deuxième partie,une butée (6) autorisant un déplacement de l’élément de poussée (4) vers l’élément déformable (I2) jusqu’à solliciter l’élément déformable (I2), et pour empêcher un déplacement ultérieur de l’élément de poussée (4). Figure pour l’abrégé : Fig. 3a
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