FR3097078B1 - Empilement multicouche piézoélectrique de nitrure d’aluminium, dispositif comprenant l’empilement et procédé de réalisation - Google Patents

Empilement multicouche piézoélectrique de nitrure d’aluminium, dispositif comprenant l’empilement et procédé de réalisation Download PDF

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Empilement multicouche piézoélectrique de nitrure d’aluminium, dispositif comprenant l’empilement et procédé de réalisation. L’invention concerne un empilement multicouche 1, un dispositif comprenant l’empilement 1 et son procédé de réalisation pour des applications piézoélectriques. L’empilement multicouche 1 comprend un substrat 10 ; une première couche 11 mince, dense, texturée à base de nitrure d’aluminium ; une deuxième couche 12 dense à base de nitrure, voire une troisième couche 13. L’empilement multicouche 1 selon l’invention est configuré de façon à améliorer les propriétés piézoélectriques des empilements multicouches de nitrure d’aluminium, par exemple en termes de puissance récupérable et de fréquence de fonctionnement. Figure pour l’abrégé : Fig. 4
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