FR3063675A1 - MATERIAL COMPRISING A THIN LAYER OF AN ALLOY COMPRISING TITANIUM AND GOLD, AND PROCESS FOR OBTAINING SUCH MATERIAL - Google Patents

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Abstract

La présente invention a pour objet un matériau comprenant un substrat de base et une couche mince d'un alliage comprenant du titane et de l'or. La présente invention vise par ailleurs un procédé pour obtenir un tel alliage, ledit procédé comprenant en particulier, après avoir déposé un substrat à recouvrir, deux substrats cibles en titane pur et un substrat cible en or pur dans une chambre de dépôt ; - le réglage de la pression dans la chambre de dépôt ; l'injection d'un gaz inerte dans la chambre de dépôt ; - le bombardement du premier substrat cible en titane pur par un premier magnétron ; - le bombardement dudit substrat cible en or pur par un deuxième magnétron ; le bombardement du deuxième substrat cible en titane pur par un troisième magnétron ; de façon à provoquer la formation d'un plasma comprenant des ions titane et des ions or dans des proportions stoechiométriques déterminées ; - le dépôt d'une couche mince de l'alliage comprenant du titane et de l'or sur le substrat à recouvrir.The present invention relates to a material comprising a base substrate and a thin layer of an alloy comprising titanium and gold. The present invention also relates to a process for obtaining such an alloy, said process comprising in particular, after having deposited a substrate to be coated, two target substrates made of pure titanium and a target substrate made of pure gold in a deposition chamber; - adjusting the pressure in the deposition chamber; injecting an inert gas into the deposition chamber; the bombardment of the first target substrate of pure titanium by a first magnetron; - the bombardment of said target substrate in pure gold by a second magnetron; bombarding the second target substrate of pure titanium with a third magnetron; so as to cause the formation of a plasma comprising titanium ions and gold ions in determined stoichiometric proportions; - the deposition of a thin layer of the alloy comprising titanium and gold on the substrate to be covered.

Description

Domaine de l'InventionField of Invention

L’invention se rapporte à un alliage comprenant du titane et de l’or, et vise en particulier un matériau comprenant un substrat de base et une couche mince d’un tel alliage comportant du titane et de l’or, ainsi qu’un procédé de fabrication d’un tel matériau.The invention relates to an alloy comprising titanium and gold, and relates in particular to a material comprising a base substrate and a thin layer of such an alloy comprising titanium and gold, as well as a process for manufacturing such a material.

Etat de la techniqueState of the art

Le contexte est celui de la conception de matériaux résistant aux rayures et à l’abrasion. Dans le domaine de l’horlogerie notamment, comme dans le domaine de la bijouterie, de la lunetterie ou des accessoires de mode, ces domaines étant donnés à titre d’exemples non limitatifs, l’homme de l’art cherche à développer de nouveaux matériaux présentant de telles propriétés.The context is that of the design of materials resistant to scratches and abrasion. In the field of watchmaking in particular, as in the field of jewelry, eyewear or fashion accessories, these fields being given by way of nonlimiting examples, the person skilled in the art seeks to develop new materials with such properties.

Une problématique générale réside dans la mise au point de matériaux présentant une dureté supérieure à celle des matériaux classiquement utilisés dans ces domaines, comme le titane ou l’acier par exemple. A cette fin, des développements sont notamment menés pour concevoir de nouveaux alliages présentant des caractéristiques de dureté améliorées.A general problem resides in the development of materials having a hardness greater than that of materials conventionally used in these fields, such as titanium or steel for example. To this end, developments are being carried out in particular to design new alloys having improved hardness characteristics.

Un alliage particulièrement dur a par ailleurs été récemment mis au point, à base de titane et d’or. Ce nouvel alliage intéresse en particulier la recherche biomédicale car il s’agit d’un alliage biocompatible très dur et très résistant à l’abrasion. Cet alliage présente la formule atomique Ti3Au et a pu être synthétisé en phase β. Cette découverte a fait l’objet d’une étude publiée : E. Svanidze et al., « High hardness in the biocompatible intermetallic compound p-Ti3Au >>.A particularly hard alloy has also been recently developed, based on titanium and gold. This new alloy is of particular interest to biomedical research because it is a very hard biocompatible alloy very resistant to abrasion. This alloy has the atomic formula Ti 3 Au and has been able to be synthesized in the β phase. This discovery was the subject of a published study: E. Svanidze et al., "High hardness in the biocompatible intermetallic compound p-Ti 3 Au".

Dans le cadre de cette étude, des qualités de dureté exceptionnelles de l’alliage P-Ti3Au, atteignant 800 HV, ont été mises en évidence. La publication montre ainsi que βTi3Au est quatre fois plus dur que le titane et huit fois plus dur que l’or.As part of this study, exceptional hardness qualities of the P-Ti 3 Au alloy, reaching 800 HV, were highlighted. The publication thus shows that βTi 3 Au is four times harder than titanium and eight times harder than gold.

Pour les auteurs, les qualités intrinsèques de bio-intégrabilité du titane et de l’or font de cet alliage un candidat intéressant pour la production de prothèses.For the authors, the intrinsic qualities of bio-integrability of titanium and gold make this alloy an interesting candidate for the production of prostheses.

Dans ce contexte, les chercheurs sont incités à explorer des méthodes de production d’un tel alliage dans la masse, c’est-à-dire en « bulk >> selon le terme en anglais connu de l’homme de l’art.In this context, researchers are encouraged to explore methods of producing such an alloy in the mass, that is to say in "bulk" according to the term in English known to those skilled in the art.

Cependant, d’une part, la production de cet alliage p-Ti3Au en bulk s’avère délicate car ce composé présente notamment une relative instabilité. L’exploitation des propriétés intrinsèques d’un alliage titane-or dans une des applications précitées n’est par conséquent pas évidente, notamment en raison de la difficulté à obtenir des pièces formées en bulk dans un tel alliage, présentant une solidité acceptable et assurant l’intégrité desdites pièces.However, on the one hand, the production of this bulk p-Ti 3 Au alloy turns out to be tricky because this compound in particular has relative instability. Exploitation of the intrinsic properties of a titanium-gold alloy in one of the abovementioned applications is therefore not obvious, in particular because of the difficulty in obtaining parts formed in bulk in such an alloy, having an acceptable solidity and ensuring the integrity of said parts.

D’autre part, sur le plan économique, la production d’un tel alliage en bulk présenterait un coût élevé.On the other hand, economically, the production of such a bulk alloy would be expensive.

La solution proposée consiste à déposer une couche mince d’un alliage comprenant du titane et de l’or, en particulier de p-Ti3Au, sur un substrat, en particulier un substrat en titane, en acier, en laiton ou en céramique.The proposed solution consists in depositing a thin layer of an alloy comprising titanium and gold, in particular p-Ti 3 Au, on a substrate, in particular a titanium, steel, brass or ceramic substrate. .

La présente invention concerne aussi un procédé relatif à la fabrication d’un tel matériau, en particulier formé de β-ThAu déposé en couche mince sur un substrat.The present invention also relates to a method relating to the manufacture of such a material, in particular formed of β-ThAu deposited in a thin layer on a substrate.

Exposé de l'inventionStatement of the invention

Plus précisément, l’invention a pour objet un matériau comprenant un substrat de base et une couche mince constituée d’un alliage comprenant du titane et de l’or.More specifically, the invention relates to a material comprising a base substrate and a thin layer made of an alloy comprising titanium and gold.

Grâce au matériau selon l’invention, il est possible de concevoir des pièces particulièrement dures et/ou résistantes à l’abrasion.Thanks to the material according to the invention, it is possible to design particularly hard and / or abrasion resistant parts.

Selon un mode de réalisation, ledit alliage présente la formule atomique Ti(i-Xy)Au(X)M(y), où M est un élément chimique ou une combinaison d’éléments chimiques, avec 0,15 < x < 0,40 ; 0,00 < y < 0,15.According to one embodiment, said alloy has the atomic formula Ti ( i- X y) Au ( X ) M (y), where M is a chemical element or a combination of chemical elements, with 0.15 <x <0 , 40; 0.00 <y <0.15.

Selon un mode de réalisation, y est égal à 0.According to one embodiment, y is equal to 0.

Selon un mode de réalisation, M comprend l’un des métaux ou une combinaison de plusieurs des métaux suivants : Ag, Cu, Zn, Pt, Pd, Ni, Zn, Cd, Fe, Al, Ga, ln.According to one embodiment, M comprises one of the metals or a combination of several of the following metals: Ag, Cu, Zn, Pt, Pd, Ni, Zn, Cd, Fe, Al, Ga, ln.

Selon un mode de réalisation, M est un élément chimique non métallique ou une combinaison d’éléments chimiques non nécessairement métalliques. Par exemple M comprend de l’azote (N). Dans un autre exemple, M peut comprendre de l’azote et un élément métallique tel que le cuivre.According to one embodiment, M is a non-metallic chemical element or a combination of non-metallic chemical elements. For example M includes nitrogen (N). In another example, M may include nitrogen and a metallic element such as copper.

La présence de l’élément chimique ou de la combinaison d’éléments chimiques M permet un réglage de la coloration de l’alliage.The presence of the chemical element or the combination of chemical elements M allows an adjustment of the coloring of the alloy.

Selon un mode de réalisation, ledit alliage présente une forme cristalline.According to one embodiment, said alloy has a crystalline shape.

Avantageusement, ledit alliage est de formule atomique Ti3Au.Advantageously, said alloy has the atomic formula Ti 3 Au.

En particulier, ledit alliage peut être Ti3Au en phase β.In particular, said alloy can be Ti 3 Au in the β phase.

Selon un autre mode de réalisation, ledit alliage présente une forme amorphe.According to another embodiment, said alloy has an amorphous shape.

Avantageusement, la couche mince présente une épaisseur inférieure ou égale à 50 pm.Advantageously, the thin layer has a thickness less than or equal to 50 μm.

Selon un mode de réalisation, le substrat de base est constitué de titane, par exemple de titane de grade 2, ou d’acier, ou de laiton ou de céramique.According to one embodiment, the base substrate consists of titanium, for example grade 2 titanium, or steel, or brass or ceramic.

La présente invention vise aussi une pièce de mouvement d’horlogerie comprenant le matériau brièvement décrit ci-dessus. Cet exemple d’utilisation ne saurait être interprété de façon limitative.The present invention also relates to a timepiece movement part comprising the material briefly described above. This example of use should not be interpreted in a limiting manner.

La présente invention vise également un boîtier de montre comprenant le matériau brièvement décrit ci-dessus. Cet exemple d’utilisation ne saurait être interprété de façon limitative.The present invention also relates to a watch case comprising the material briefly described above. This example of use should not be interpreted in a limiting manner.

Par ailleurs, la présente invention vise un procédé de dépôt d’une couche mince d’un alliage comprenant du titane et de l’or sur un substrat, ledit procédé comprenant les étapes suivantes :Furthermore, the present invention relates to a method of depositing a thin layer of an alloy comprising titanium and gold on a substrate, said method comprising the following steps:

la mise en place d’un substrat à recouvrir, d’au moins un substrat cible en titane pur et d’au moins un substrat cible en or pur dans une chambre de dépôt ;placing a substrate to be covered, at least one target substrate made of pure titanium and at least one target substrate made of pure gold in a deposition chamber;

le réglage de la pression dans la chambre de dépôt ;adjusting the pressure in the deposition chamber;

l’injection d’un gaz inerte pour permettre la formation d’un plasma, ledit gaz inerte pouvant être de l’argon, dans la chambre de dépôt ;injecting an inert gas to allow the formation of a plasma, said inert gas possibly being argon, in the deposition chamber;

le bombardement dudit au moins un substrat cible en titane pur par un premier magnétron ;bombarding said at least one target substrate made of pure titanium with a first magnetron;

le bombardement dudit au moins un substrat cible en or pur par un deuxième magnétron ;bombarding said at least one pure gold target substrate with a second magnetron;

de façon à provoquer la formation d’un plasma comprenant des ions titane et des ions or dans des proportions stoechiométriques déterminées ;so as to cause the formation of a plasma comprising titanium ions and gold ions in determined stoichiometric proportions;

le dépôt d’une couche mince de l’alliage comprenant du titane et de l’or sur le substrat à recouvrir.depositing a thin layer of the alloy comprising titanium and gold on the substrate to be covered.

Grâce à ce procédé, il est possible de réaliser le dépôt d’une couche mince d’un alliage comprenant du titane et de l’or sur un substrat de base.Thanks to this process, it is possible to deposit a thin layer of an alloy comprising titanium and gold on a base substrate.

Selon un mode de réalisation, le procédé comprend par ailleurs le chauffage du substrat à recouvrir, pour le dépôt de l’alliage en phase cristalline.According to one embodiment, the method also comprises heating the substrate to be covered, for depositing the alloy in the crystalline phase.

Avantageusement, le réglage de la pression dans la chambre de dépôt consiste en une mise sous pseudo-vide à une pression comprise entre 1.10-4 et 10.104 Pa.Advantageously, the adjustment of the pressure in the deposition chamber consists in placing under pseudo-vacuum at a pressure between 1.10 -4 and 10.10 4 Pa.

Avantageusement, la puissance de chacun desdits magnétrons est configurée de manière indépendante pour obtenir le dépôt de ladite couche mince de l’alliage comprenant du titane et de l’or sur le substrat à recouvrir.Advantageously, the power of each of said magnetrons is configured independently to obtain the deposition of said thin layer of the alloy comprising titanium and gold on the substrate to be covered.

Selon un mode de réalisation, un premier et un deuxième substrats cibles en titane pur et un substrat cible en or pur étant mis en place dans la chambre de dépôt, trois magnétrons indépendants sont mis en œuvre, le premier magnétron mettant en œuvre une puissance comprise entre 20,3 et 61,2 kW/m2 pour bombarder le premier substrat cible en titane pur relié à une source radiofréquence, le deuxième magnétron mettant en œuvre une puissance comprise entre 0,5 et 20,4 kW/m2 pour bombarder le substrat cible en or pur relié à une source de courant continu et un troisième magnétron mettant en œuvre une puissance comprise entre 20,3 et 61,2 kW/m2 pour bombarder le deuxième substrat cible en titane pur relié à une source de courant pulsé.According to one embodiment, a first and a second target substrate made of pure titanium and a target substrate made of pure gold being placed in the deposition chamber, three independent magnetrons are used, the first magnetron using a power included between 20.3 and 61.2 kW / m 2 to bombard the first target substrate made of pure titanium connected to a radiofrequency source, the second magnetron using a power of between 0.5 and 20.4 kW / m 2 to bombard the pure gold target substrate connected to a direct current source and a third magnetron using a power of between 20.3 and 61.2 kW / m 2 to bombard the second pure titanium target substrate connected to a current source pulsed.

Selon un mode de réalisation, la puissance mise en œuvre par chacun desdits magnétrons est configurée pour réaliser le dépôt d’une couche de Ti3Au en phase β sur ledit substrat à recouvrir.According to one embodiment, the power used by each of said magnetrons is configured to deposit a layer of Ti 3 Au in β phase on said substrate to be covered.

D’autres caractéristiques et avantages de l’invention apparaîtront lors de la description qui suit faite en regard des figures annexées données à titre d’exemples non limitatifs.Other characteristics and advantages of the invention will become apparent from the following description given with reference to the appended figures given by way of nonlimiting examples.

Brève description des dessinsBrief description of the drawings

La figure 1 illustre un diagramme d’équilibre de phase des composés Ti-Au.Figure 1 illustrates a phase balance diagram of Ti-Au compounds.

La figure 2 montre une vue transverse de p-Ti3Au au microscopique à balayage électronique.FIG. 2 shows a transverse view of p-Ti 3 Au under the scanning electron microscope.

Les figures 3 et 4 représentent la comparaison entre une surface brute d’un substrat recouvert d’une couche mince de p-Ti3Au (FIG. 3) et une surface polie d’un même substrat également recouvert d’une couche mince de p-Ti3Au polie (FIG. 4).Figures 3 and 4 show the comparison between a raw surface of a substrate covered with a thin layer of p-Ti 3 Au (FIG. 3) and a polished surface of the same substrate also covered with a thin layer of p-Ti 3 Au polished (FIG. 4).

La figure 5 montre la dureté de l’alliage obtenu en fonction du pourcentage d’or dans la couche mince déposée.Figure 5 shows the hardness of the alloy obtained as a function of the percentage of gold in the thin layer deposited.

La figure 6 montre le module de Young de l’alliage obtenu en fonction du pourcentage d’or dans la couche mince déposée.Figure 6 shows the Young's modulus of the alloy obtained as a function of the percentage of gold in the thin layer deposited.

Description détaillée de modes de réalisation de l'inventionDetailed description of embodiments of the invention

Le matériau selon l’invention et le procédé d’obtention de ce matériau sont susceptibles d’être utilisés dans tout domaine, pour la fabrication de pièces présentant une dureté et/ou une résistance à l’abrasion élevées.The material according to the invention and the process for obtaining this material can be used in any field, for the manufacture of parts having high hardness and / or abrasion resistance.

S’agissant de réaliser un alliage de titane et d’or, il faut d’abord constater que le titane (Ti) et l'or (Au) ont une taille atomique presque identique, mais présentent des structures cristallines, des électronégativités et des structures électroniques différentes. Le titane est un métal de transition possédant un faible nombre d'électrons d par rapport au métal noble qu’est l’or, qui a un plus grand nombre d'électrons d. Par conséquent, lors de la formation d’un alliage de ces deux éléments, une redistribution et un chevauchement significatifs des charges est attendu, ce qui peut aboutir à une grande variété de structures et de propriétés physiques.With regard to producing an alloy of titanium and gold, it must first be noted that titanium (Ti) and gold (Au) have an almost identical atomic size, but have crystalline structures, electronegativities and different electronic structures. Titanium is a transition metal with a lower number of d electrons compared to the noble metal of gold, which has a higher number of d electrons. Therefore, when forming an alloy of these two elements, significant redistribution and overlap of charges is expected, which can result in a wide variety of structures and physical properties.

En référence à la figure 1, le diagramme de phase d'équilibre des composés de Ti-Au donne ainsi un aperçu des structures stoechiométriques qui peuvent être formées.With reference to FIG. 1, the equilibrium phase diagram of the Ti-Au compounds thus gives an overview of the stoichiometric structures which can be formed.

Le diagramme de phase de l’alliage Ti-Au révèle ainsi quatre composés d’équilibre : Ti3Au, de structure cristalline cubique, TiAu, orthorhombique, TiAu2, tétragonale et TiAu4, autrement tétragonale.The phase diagram of the Ti-Au alloy thus reveals four equilibrium compounds: Ti 3 Au, of cubic crystal structure, TiAu, orthorhombic, TiAu 2 , tetragonal and TiAu 4 , otherwise tetragonal.

Parmi ces quatre composés, l’étude précitée (E. Svanidze et al.) a montré que Ti3Au, en phase β, présentait la dureté la plus élevée, dépassant les 800 HV (soit environ 7,85 GPa), ce qui constitue, comme déjà évoqué, une dureté quatre fois supérieure à celle du titane pur et huit fois supérieure à celle de l’or pur.Among these four compounds, the aforementioned study (E. Svanidze et al.) Showed that Ti 3 Au, in the β phase, exhibited the highest hardness, exceeding 800 HV (or approximately 7.85 GPa), which constitutes, as already mentioned, a hardness four times that of pure titanium and eight times that of pure gold.

Pour expliquer les raisons d’une dureté aussi élevée du composé Ti3Au, il a été émis l’hypothèse que cela provenait soit du caractère intermétallique de la structure cristalline qui impose un arrangement unique des atomes, soit de sa structure électronique particulière, qui se caractérise par une densité d'électrons de valence élevée, une longueur de liaison réduite et la formation de pseudo-gaps.To explain the reasons for such a high hardness of the Ti 3 Au compound, it was hypothesized that this came either from the intermetallic character of the crystal structure which requires a unique arrangement of atoms, or from its particular electronic structure, which is characterized by a high valence electron density, a reduced bond length and the formation of pseudo-gaps.

Le composé Ti3Au se forme en deux phases distinctes, a et β, toutes deux en structure de réseau cubique.The Ti 3 Au compound is formed in two distinct phases, a and β, both in a cubic lattice structure.

La phase β se forme préférentiellement à température élevée et, comme d'autres composés intermétalliques de formule moléculaire A3B, cristallise sous la forme d’un réseau cubique de type A15, groupe d’espace n° 223, dans lequel deux atomes d’or occupent les positions atomiques (0, 0, 0 ; 1/>, 1/>, Vz) et six atomes de titane occupent les positions atomiques (%, 0, 1/> 0, 0, 1/>, 1/>, %, 0, 1/>, %, 0, 0, 1/>, %, 0, 1/>, %). L'arrangement particulier des atomes de titane sur les sites positionnés à (%, 0, %) génère des chaînes orthogonales non interactives avec des atomes d'or situés au coin et au centre des cellules unitaires du réseau cubique, mais forment des chaînes linéaires mutuellement orthogonales qui courent à travers le réseau cristallin.The β phase preferably forms at high temperature and, like other intermetallic compounds of molecular formula A 3 B, crystallizes in the form of a cubic network of type A15, space group No. 223, in which two atoms d 'gold occupy the atomic positions (0, 0, 0; 1 />, 1 />, Vz) and six titanium atoms occupy the atomic positions (%, 0, 1 /> 0, 0, 1 />, 1 / >,%, 0, 1 />,%, 0, 0, 1 />,%, 0, 1 />,%). The particular arrangement of the titanium atoms on the sites positioned at (%, 0,%) generates orthogonal non-interactive chains with gold atoms located at the corner and in the center of the unit cells of the cubic network, but form linear chains mutually orthogonal which run through the crystal lattice.

La phase a, qui se trouve favorisée à des températures plus basses, se développe sous la forme d’un réseau cubique de type L12, groupe d'espace n° 221, où les atomes d'or occupent les sites positionnés (0, 0, 0) et les atomes de titane occupent les sites positionnés (0,1/>, 1/2).Phase a, which is favored at lower temperatures, develops in the form of a cubic network of type L12, space group n ° 221, where the gold atoms occupy the positioned sites (0, 0 , 0) and the titanium atoms occupy the positioned sites (0, 1 />, 1/2).

Dès lors, les deux phases a et β diffèrent dans l’environnement atomique du titane et de l’or, respectivement, et il peut être attendu que Ti3Au en phase β présente une dureté plus élevée que Ti3Au en phase a, d’une part parce que le titane est coordonné 14 fois dans la phase β contre 12 fois dans la phase a, et d'autre part parce que la longueur de la liaison titane-or est plus courte dans la phase β que dans la phase a.Therefore, the two phases a and β differ in the atomic environment of titanium and gold, respectively, and it can be expected that Ti 3 Au in β phase has a higher hardness than Ti 3 Au in a phase, on the one hand because the titanium is coordinated 14 times in the β phase against 12 times in the phase a, and on the other hand because the length of the titanium-gold bond is shorter in the β phase than in the phase at.

En pratique, dans la suite de la description détaillée, il est souvent fait référence à l’alliage particulier Ti3Au, en particulier en phase β. Néanmoins, même lorsqu’il est fait référence à Ti3Au, et sauf s’il est explicitement indiqué que seul cet alliage est visé dans un mode de réalisation particulier, il doit être entendu que tout alliage de formule atomique Ti 1. xAux est adapté. En particulier, pour x = 0,25, l’alliage obtenu est Ti3Au, en phase a ou β. Pour d’autres valeurs de x, différentes formules atomiques peuvent être obtenues, dont TiAu, TiAu2, TiAu4 ou des phases mixtes composées d’alliages comprenant Ti3Au et/ou TiAu et/ou TiAu2 et/ou TiAu4.In practice, in the following detailed description, reference is often made to the particular alloy Ti 3 Au, in particular in the β phase. However, even when reference is made to Ti 3 Au, and unless it is explicitly indicated that only this alloy is targeted in a particular embodiment, it should be understood that any alloy of atomic formula Ti 1. xAu x is adapted. In particular, for x = 0.25, the alloy obtained is Ti 3 Au, in phase a or β. For other values of x, different atomic formulas can be obtained, including TiAu, TiAu 2 , TiAu 4 or mixed phases composed of alloys comprising Ti 3 Au and / or TiAu and / or TiAu 2 and / or TiAu 4 .

La préparation traditionnelle de Tii-xAux par fusion des quantités stoechiométriques des constituants nécessite des températures élevées, pour la fusion et le recuit éventuel des échantillons.The traditional preparation Tii- x x melt stoichiometric amounts of the components requires high temperatures for melting and possible annealing of the samples.

Comme évoqué en préambule, la formation de Ti3Au, notamment en phase β, de façon massique, autrement dit en bulk, est compliquée par une grande fragilité de ce matériau.As mentioned in the preamble, the formation of Ti 3 Au, in particular in the β phase, by mass, in other words in bulk, is complicated by the great brittleness of this material.

Or, la croissance à partir de la phase vapeur, au moyen d’un plasma, peut être obtenue à des températures notablement plus basses.However, growth from the vapor phase, using plasma, can be achieved at significantly lower temperatures.

Dans ce contexte, il est ici proposé la mise au point d’un alliage à base de titane et d’or, apposé en couche mince sur un substrat, par une méthode de mélange d'ions sous plasma énergétique. Ainsi, il est proposé de former un plasma de titane et d’or, dans les proportions stoechiométriques et des conditions de forme voulues, en particulier pour constituer une couche mince de Tii-xAux déposée sur un substrat à recouvrir.In this context, it is proposed here the development of an alloy based on titanium and gold, applied in a thin layer on a substrate, by a method of mixing ions under energetic plasma. Thus, it is proposed to form a plasma of titanium and gold, in stoichiometric proportions and shape desired conditions, in particular to form a thin Au layer Tii- x x deposited on a substrate to be coated.

Description du procédé de dépôt d’une couche mince de Tii-xAux sur un substrat :Description of the process for depositing a thin layer of Tii- x Au x on a substrate:

Pour réaliser le dépôt d’une couche mince de Tii-xAux, et en particulier de Ti3Au en phase β, un réacteur spécifique et des conditions de mise en forme particulières peuvent être mis en œuvre.To deposit a thin layer of Tii- x Au x , and in particular Ti 3 Au in the β phase, a specific reactor and specific shaping conditions can be used.

S’agissant du réacteur de dépôt utilisé, selon un mode de réalisation, ce dernier est constitué d'une chambre cylindrique en acier inoxydable de 400 mm de diamètre et 500 mm de hauteur. Il est bien entendu que d’autres formes de chambres de dépôt et d’autres dimensions peuvent être tout à fait adaptées, notamment en fonction de la forme et de la quantité du substrat à recouvrir et/ou des substrats cibles.As regards the deposition reactor used, according to one embodiment, the latter consists of a cylindrical stainless steel chamber 400 mm in diameter and 500 mm in height. It is understood that other shapes of deposition chambers and other dimensions may be entirely suitable, in particular as a function of the shape and the amount of the substrate to be covered and / or of the target substrates.

Trois sources de pulvérisation, à savoir des magnétrons, sont de préférence mises en œuvre. Le nombre de magnétrons mis en œuvre peut cependant être adapté en fonction du nombre de substrats cibles.Three spray sources, namely magnetrons, are preferably used. The number of magnetrons used can however be adapted as a function of the number of target substrates.

Les trois magnétrons présentent typiquement des têtes flexibles, sont équipés de volets et sont montées symétriquement à 120 ° chacun par rapport au plan de base de la chambre de dépôt.The three magnetrons typically have flexible heads, are fitted with flaps and are mounted symmetrically at 120 ° each relative to the base plane of the deposition chamber.

En pratique, la flexibilité des têtes de magnétron permet soit de co-pulvériser sous des positions confocales, soit de former des revêtements multicouches en faisant tourner le substrat à recouvrir alternativement devant chaque cible. Les substrats cibles des magnétrons peuvent être connectés à une source de courant continu, à une source radiofréquence ou à une source d'énergie pulsée.In practice, the flexibility of the magnetron heads makes it possible either to co-spray under confocal positions, or to form multilayer coatings by rotating the substrate to be covered alternately in front of each target. Target substrates of magnetrons can be connected to a direct current source, a radio frequency source or a pulsed energy source.

Selon un mode de réalisation, le substrat à recouvrir peut par exemple être introduit dans la chambre du réacteur à partir d’un plateau supérieur, de même que des traverses pour l’alimentation électrique prévue pour chauffer et polariser ainsi que pour mesurer la température du substrat à recouvrir. De préférence, la présence d'une unité de déplacement linéaire et d'alignement permet un réglage précis de la distance entre les substrats cibles, constitués respectivement de titane pur et d’or pur, et la surface du substrat à recouvrir. Selon un mode de réalisation, dans le réacteur choisi, le substrat peut être chauffé jusqu’à 850° C et tourner à une vitesse de 1 à 60 tours par minute.According to one embodiment, the substrate to be covered can for example be introduced into the reactor chamber from an upper plate, as well as crosspieces for the electrical supply intended to heat and polarize as well as to measure the temperature of the substrate to be covered. Preferably, the presence of a linear displacement and alignment unit allows precise adjustment of the distance between the target substrates, consisting respectively of pure titanium and pure gold, and the surface of the substrate to be covered. According to one embodiment, in the chosen reactor, the substrate can be heated to 850 ° C and rotate at a speed of 1 to 60 revolutions per minute.

Dès lors, différentes expérimentations ont permis de réaliser des dépôts de couches minces de Tii-xAux sur un substrat, tel qu’un substrat en silicium, en titane ou en acier notamment. Il est à noter que le substrat à recouvrir peut aussi être de la céramique par exemple. Dans le cas où le substrat de base est en céramique, ce matériau présentant déjà une dureté très élevée, le dépôt d’une couche mince de Tii-xAux présente l’avantage d’une amélioration de l’aspect visuel du matériau obtenu.Consequently, various experiments have made it possible to deposit thin layers of Ti x Au x on a substrate, such as a substrate made of silicon, titanium or steel in particular. It should be noted that the substrate to be covered can also be ceramic for example. In the case where the base substrate is ceramic, this material already having a very high hardness, the deposition of a thin layer of Tii- x Au x has the advantage of improving the visual appearance of the material obtained .

En particulier, des couches minces de Tii-xAux ont été obtenues à partir de substrats cibles de 50 mm en titane pur (à 99,995 %) et en or pur (à 99,997 %). Comme déjà indiqué, les dimensions de ces substrats cibles peuvent bien entendu être adaptées. La chambre de dépôt est placée, selon un mode de réalisation, à une pression comprise entre 1.10-4 et 2.104 Pa. Ensuite, un gaz inerte, tel que de l’argon, est introduit dans la chambre, en tant que gaz de plasma pour la pulvérisation et l’ionisation des atomes de titane et d’or.In particular, thin layers of Tii- x Au x were obtained from 50 mm target substrates made of pure titanium (99.995%) and pure gold (99.997%). As already indicated, the dimensions of these target substrates can of course be adapted. The deposition chamber is placed, according to one embodiment, at a pressure between 1.10 -4 and 2.10 4 Pa. Then, an inert gas, such as argon, is introduced into the chamber, as plasma for atomizing and ionizing titanium and gold atoms.

Selon un mode de réalisation préféré, deux substrats cibles en titane pur et un substrat cible en or pur sont disposés dans la chambre. Selon ce mode de réalisation, un substrat cible en titane est relié à une source radiofréquence tandis que l’autre substrat cible en titane est relié à une source de courant pulsé à une fréquence comprise entre 10 kHz et 100 kHz, avec une durée de puise de 2 à 5 microsecondes, chaque substrat cible en titane étant par ailleurs chacun bombardé au moyen d’un magnétron, chaque magnétron appliquant une puissance comprise entre 20,3 et 61,2 kW/m2. Selon ce mode de réalisation, le substrat cible en or est quant à lui relié à une source de courant continu avec une puissance appliquée comprise entre 0,5 et 20,4 kW/m2.According to a preferred embodiment, two target substrates made of pure titanium and a target substrate made of pure gold are arranged in the chamber. According to this embodiment, a titanium target substrate is connected to a radio frequency source while the other titanium target substrate is connected to a pulsed current source at a frequency between 10 kHz and 100 kHz, with a pulse duration from 2 to 5 microseconds, each target titanium substrate also being each bombarded by means of a magnetron, each magnetron applying a power of between 20.3 and 61.2 kW / m 2 . According to this embodiment, the target substrate in gold is in turn connected to a direct current source with an applied power of between 0.5 and 20.4 kW / m 2 .

Selon un mode de réalisation, en maintenant constante la puissance appliquée aux substrats cibles en titane et en faisant varier la puissance appliquée au substrat cible en or, la composition stoechiométrique du composé Tii-xAux varie, x évoluant entre 0,15 et 0,40.According to one embodiment, by maintaining constant the power applied to the target substrates in titanium and by varying the power applied to the target substrate in gold, the stoichiometric composition of the compound Tii- x Au x varies, x evolving between 0.15 and 0 , 40.

Par ailleurs, selon le mode de réalisation proposé, la température du substrat à recouvrir a été ajustée entre la température ambiante et 650 °C, mesurée sur la face arrière du substrat à recouvrir, en vue de former en particulier le composé Ti3Au sous forme quasiamorphe ou totalement cristalline en phase β.Furthermore, according to the proposed embodiment, the temperature of the substrate to be covered has been adjusted between ambient temperature and 650 ° C., measured on the rear face of the substrate to be covered, with a view to forming in particular the Ti 3 Au compound under quasiamorphic or totally crystalline form in β phase.

Selon un mode de réalisation, les substrats cibles sont par ailleurs disposés à une distance comprise entre 40 et 200 mm du substrat à recouvrir afin de favoriser la formation de phase β et d’optimiser le taux de dépôt et l’adhésion de la couche mince de Tii-xAux sur le substrat à recouvrir.According to one embodiment, the target substrates are moreover arranged at a distance of between 40 and 200 mm from the substrate to be covered in order to promote the formation of β phase and to optimize the deposition rate and the adhesion of the thin layer. of Tii- x Au x on the substrate to be covered.

L’épaisseur du dépôt de Tii-xAux réalisé sur le substrat à recouvrir a été mesurée au moyen d’un profilomètre de type Tencor alpha step D500, à une valeur comprise entre 2 et 10 pm, en fonction du substrat à recouvrir. Il est bien entendu que l’épaisseur de la couche mince peut être adaptée au besoin.The thickness of the Tiix x Au x deposit produced on the substrate to be covered was measured using a Tencor alpha step D500 type profilometer, at a value between 2 and 10 μm, depending on the substrate to be covered. It is understood that the thickness of the thin layer can be adapted as required.

Il est à noter que par couche « mince >>, on entend une couche dont l’épaisseur est inférieure ou égale à 50 pm.It should be noted that by "thin" layer is meant a layer whose thickness is less than or equal to 50 μm.

Précédemment, il a été décrit un procédé selon l’invention d’obtention d’un alliage formé d’une couche mince de titane et d’or déposée sur un substrat à recouvrir.Previously, a method has been described according to the invention for obtaining an alloy formed from a thin layer of titanium and gold deposited on a substrate to be covered.

Dans ce qui suit, certains résultats expérimentaux obtenus vont être présentés.In the following, certain experimental results obtained will be presented.

Résultats expérimentaux constatés sur des alliages produits au moyen du procédé décrit ci-dessus :Experimental results observed on alloys produced by the process described above:

Les résultats donnés ci-dessous ont été obtenus sur la base de tests réalisés sur un matériau produit conformément au procédé selon l’invention dans la configuration particulière donnée à titre d’exemple ci-dessus.The results given below were obtained on the basis of tests carried out on a material produced in accordance with the method according to the invention in the particular configuration given by way of example above.

La dureté et le module de Young des échantillons obtenus ont été déterminés à partir de courbes de chargement-déchargement, effectuées par nanoindentation, au moyen d'une pointe de diamant Berkovich à trois côtés et fonctionnant en mode de mesure de raideur continue. Pour chaque échantillon, il a été appliqué un jeu de quatre fois quatre indentations à des intervalles de 35 pm et pour une profondeur de 1 pm. La dureté comme le module de Young ont été calculés en fonction de la profondeur de pénétration ou de la charge appliquée en utilisant la méthode décrite par Oliver et Pharr dans W.C. Oliver, G.M. Pharr, « Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology >>, J. Mater. Res. 19 (2004) 320. La plage de profondeurs d'indentation utilisée a été choisie de manière à ne pas dépasser environ 10 % de l'épaisseur de la couche mince déposée, afin de minimiser les effets du substrat. Par exemple, pour une couche mince déposée d’environ 2 pm d’épaisseur, les indentations mises en œuvre n’ont pas dépassé, dans les tests réalisés, environ 200 nm.The hardness and Young's modulus of the samples obtained were determined from loading-unloading curves, carried out by nanoindentation, using a three-sided Berkovich diamond tip and operating in continuous stiffness measurement mode. For each sample, a set of four times four indentations was applied at 35 µm intervals and for a depth of 1 µm. Hardness like Young's modulus were calculated as a function of penetration depth or applied load using the method described by Oliver and Pharr in WC Oliver, GM Pharr, "Measurement of hardness and elastic modulus by instrumented indentation: Advances in understanding and refinements to methodology >>, J. Mater. Res. 19 (2004) 320. The range of indentation depths used was chosen so as not to exceed approximately 10% of the thickness of the deposited thin layer, in order to minimize the effects of the substrate. For example, for a thin layer deposited around 2 μm thick, the indentations used did not exceed, in the tests carried out, approximately 200 nm.

En vue transverse, la morphologie des différents composés de titane-or est variable. En particulier, selon le mode de réalisation préféré, dans lequel l’or représente 25 at.% de la couche mince en proportions stœchiométriques, le composé étant par conséquent Ti3Au, les structures colonnaires sont nettement prononcées, comme le montre la figure 2. Par ailleurs, lesdites colonnes semblent s’étendre sur toute l'épaisseur de la couche mince.In transverse view, the morphology of the different titanium-gold compounds is variable. In particular, according to the preferred embodiment, in which gold represents 25 at.% Of the thin layer in stoichiometric proportions, the compound therefore being Ti 3 Au, the columnar structures are clearly pronounced, as shown in FIG. 2 Furthermore, said columns seem to extend over the entire thickness of the thin layer.

La morphologie de la surface après le dépôt des couches minces et la rugosité obtenue sont des paramètres importants des couches minces parce qu'ils relient les mécanismes de croissance (orientation aléatoire ou privilégiée, effets d'ombrage, mobilité de l'atome, flux ionique, diffusion de surface, etc.) aux propriétés fonctionnelles (mécanique, optique, etc.). Pour une couche mince donnée, par exemple Ti3Au, la morphologie de la surface et la rugosité dépendent de la vitesse de dépôt de ladite couche mince, de la texture de croissance, du type de bombardement ionique, de l'épaisseur de la couche réalisée et du profil du substrat sous-jacent. Ces paramètres peuvent être réglés, selon l’invention, pour réaliser le matériau souhaité, constitué d’une couche mince de Tii_ xAux déposée sur un substrat.The morphology of the surface after the deposition of the thin layers and the roughness obtained are important parameters of the thin layers because they link the growth mechanisms (random or preferred orientation, shading effects, atom mobility, ion flux , surface diffusion, etc.) with functional properties (mechanical, optical, etc.). For a given thin layer, for example Ti 3 Au, the surface morphology and the roughness depend on the deposition speed of said thin layer, on the growth texture, on the type of ion bombardment, on the thickness of the layer. profile of the underlying substrate. These parameters can be adjusted, according to the invention, to produce the desired material, consisting of a thin layer of Tii_ xAu x deposited on a substrate.

Les figures 3 et 4 montrent respectivement une vue réalisée au microscope à balayage électronique d’un matériau formé d’un substrat de base en titane de grade 2 recouvert d’une couche mince de Ti3Au en phase β déposée à une température supérieure à 350 °C. Dans le cas de la figure 4, le substrat de base a été poli avant le dépôt de la couche mince, contrairement à celui de la figure 3. L’échantillon obtenu comporte des cristallites présentant une certaine localisation, car le dépôt de la couche mince s’effectue d’abord de façon à combler les trous et les porosités de la surface sablée pour finalement générer une surface plus lisse que la surface d’origine.FIGS. 3 and 4 respectively show a view carried out under the scanning electron microscope of a material formed from a base substrate of grade 2 titanium covered with a thin layer of Ti 3 Au in the β phase deposited at a temperature above 350 ° C. In the case of FIG. 4, the base substrate was polished before the deposition of the thin layer, unlike that of FIG. 3. The sample obtained has crystallites having a certain localization, because the deposition of the thin layer is done first to fill the holes and porosities of the sanded surface to finally generate a smoother surface than the original surface.

Ainsi, comme le montre la figure 4 en particulier, grâce au dépôt d’une couche mince de Ti3Au sur un substrat tel qu’un substrat en titane de grade 2, il est possible d’obtenir un effet poli. A minima, le dépôt d’une telle couche mince diminue significativement la rugosité de surface d’un substrat en titane de grade 2, matériau connu pour être difficile à polir.Thus, as shown in FIG. 4 in particular, by depositing a thin layer of Ti 3 Au on a substrate such as a grade 2 titanium substrate, it is possible to obtain a polished effect. At a minimum, the deposition of such a thin layer significantly decreases the surface roughness of a grade 2 titanium substrate, a material known to be difficult to polish.

Selon un mode de réalisation préféré, la présente invention propose la réalisation d’un matériau constitué du dépôt d’une couche mince de Ti3Au en phase β (βTi3Au) sur un substrat de base, tel qu’un substrat en titane, en acier, en laiton ou en céramique par exemple.According to a preferred embodiment, the present invention provides the production of a material consisting of the deposition of a thin layer of Ti 3 Au in β phase (βTi 3 Au) on a base substrate, such as a titanium substrate. , steel, brass or ceramic for example.

Pour réaliser un tel dépôt d’une couche mince de β-Τί3Αυ de façon stable, le procédé selon l’invention peut en particulier comprendre, d’une part, le réglage des paramètres de dépôt, essentiellement des puissances appliquées à chacun des trois magnétrons, afin d’obtenir le rapport entre ions de titane et ions d’or dans la plasma qui soit de 75 at.% d’ions de titane pour 25 at.% d’or, requis pour obtenir la composition Ti3Au, et, d’autre part, l’optimisation de la phase β entièrement cristalline en ajustant la température de dépôt de la couche mince.To achieve such a deposition of a thin layer of β-Τί 3 Αυ in a stable manner, the method according to the invention can in particular comprise, on the one hand, the adjustment of the deposition parameters, essentially of the powers applied to each of the three magnetrons, in order to obtain the ratio between titanium ions and gold ions in the plasma which is 75 at.% of titanium ions per 25 at.% of gold, required to obtain the composition Ti 3 Au , and, on the other hand, the optimization of the entirely crystalline β phase by adjusting the deposition temperature of the thin layer.

Avantageusement, il est par ailleurs possible d’optimiser les conditions de dépôt de la couche mince pour obtenir des couches minces fortement adhérentes, sans fissures, et dures.Advantageously, it is also possible to optimize the conditions for depositing the thin layer in order to obtain strongly adherent thin layers, without cracks, and hard.

En particulier, la température de dépôt a été déterminée comme devant être supérieure à 350° C pour obtenir le dépôt d’une couche mince de fi-Ti3Au totalement cristalline.In particular, the deposition temperature was determined to be greater than 350 ° C to obtain the deposition of a thin layer of totally crystalline fi-Ti 3 Au.

Il est à noter que, comme déjà évoqué, selon le mode de réalisation préféré, trois magnétrons sont effectivement mis en œuvre, deux magnétrons étant utilisés pour bombarder respectivement deux substrats cibles en titane pur, le troisième magnétron étant utilisé pour bombarder un unique substrat cible en or pur.It should be noted that, as already mentioned, according to the preferred embodiment, three magnetrons are actually used, two magnetrons being used to bombard two target substrates of pure titanium respectively, the third magnetron being used to bombard a single target substrate in pure gold.

Dans le but d’obtenir le dépôt d’une couche mince de Tii-xAux adhérant de façon optimale au substrat à recouvrir, le paramétrage desdits trois magnétrons peut être optimisé. En particulier, le troisième magnétron est configuré pour permettre la production d'ions or à haute énergie et cela permet de réduire la distance entre les substrats cibles et le substrat à recouvrir. La mise en rotation du substrat à recouvrir favorise également la réduction de la distance entre les substrats cibles et le substrat à recouvrir, comparé à la pulvérisation confocale. Par ailleurs, l'utilisation d'une source d'énergie radiofréquence sur un premier substrat cible en titane, et le recours à une source d'énergie pulsée sur le deuxième substrat cible en titane permet de régler l’énergie des ions titane. Cela permet également d’assurer la proportionnalité entre les ions titane et les ions or étant donné que le taux de pulvérisation de l’or est nettement plus élevé que celui du titane. En outre, l'application d'une polarisation négative sur le substrat à recouvrir favorise également le dépôt d’une couche mince en Tii-xAux souhaité, en fonction de tous les paramètres cidessus.In order to obtain the deposition of a thin layer of Tii- x Au x adhering optimally to the substrate to be covered, the configuration of said three magnetrons can be optimized. In particular, the third magnetron is configured to allow the production of high energy gold ions and this makes it possible to reduce the distance between the target substrates and the substrate to be covered. The rotation of the substrate to be covered also promotes the reduction of the distance between the target substrates and the substrate to be covered, compared to confocal spraying. Furthermore, the use of a radio frequency energy source on a first titanium target substrate, and the use of a pulsed energy source on the second titanium target substrate makes it possible to adjust the energy of the titanium ions. This also ensures proportionality between the titanium ions and the gold ions since the atomization rate of gold is significantly higher than that of titanium. In addition, the application of a negative polarization on the substrate to be covered also promotes the deposition of a thin layer of desired Ti x Au x , as a function of all the above parameters.

Enfin, la polarisation négative du substrat à recouvrir peut également être optimisée pour minimiser le risque de fissuration de l’alliage obtenu. Grâce au réglage de cette polarisation négative du substrat, l’adhésion de la couche mince au substrat se trouve par ailleurs renforcée.Finally, the negative polarization of the substrate to be covered can also be optimized to minimize the risk of cracking of the alloy obtained. By adjusting this negative polarization of the substrate, the adhesion of the thin layer to the substrate is also reinforced.

Pour mesurer la dureté des matériaux obtenus au moyen du procédé décrit précédemment, différents types d’indentation ont été mises en œuvre, basées respectivement sur une charge constante, une profondeur relative constante et la mesure de raideur continue.To measure the hardness of the materials obtained by the method described above, different types of indentation have been implemented, based respectively on a constant load, a constant relative depth and the measurement of continuous stiffness.

Selon le mode d'indentation à charge constante ou à profondeur relative constante, plusieurs charges ont été appliquées pour mesurer la dureté et le module de Young, notamment afin de mettre en évidence d’éventuels effets du substrat et la modification probable de la dureté en fonction de l'épaisseur de la couche mince. Ces mesures sont moyennées sur quatre fois quatre tests d'indentation pour chaque ensemble de mesures.Depending on the indentation mode at constant load or at constant relative depth, several loads were applied to measure the hardness and Young's modulus, in particular in order to highlight possible effects of the substrate and the probable modification of the hardness in depending on the thickness of the thin layer. These measurements are averaged over four times four indentation tests for each set of measurements.

Comme le montrent les figures 5 et 6, les valeurs de dureté et de module de Young mesurées présentent un maximum pour le composé p-Ti3Au, allant notamment jusqu’à plus de 12 GPa pour la dureté.As shown in FIGS. 5 and 6, the hardness and Young's modulus values measured present a maximum for the p-Ti 3 Au compound, going in particular up to more than 12 GPa for the hardness.

En résumé, la présente invention concerne la production d’un matériau comportant une couche mince d’un alliage comprenant du titane et de l’or, en particulier de formule atomique de Tii-xAux, en particulier de formule Ti3Au, notamment en phase β, déposée sur un substrat de base, en particulier un substrat en titane, en acier, en laiton, ou en céramique.In summary, the present invention relates to the production of a material comprising a thin layer of an alloy comprising titanium and gold, in particular of atomic formula of Ti- x Au x , in particular of formula Ti 3 Au, in particular in β phase, deposited on a base substrate, in particular a titanium, steel, brass, or ceramic substrate.

Les résultats expérimentaux ont montré qu’un tel matériau présentait une dureté exceptionnelle, bien supérieure à 8 GPa, et jusqu’à plus de 12 GPa selon les tests menés. Un tel matériau peut notamment être utilisé dans le domaine de l’horlogerie, soit pour fabriquer des boîtiers de montres particulièrement solides, avec un substrat de base en titane par exemple, soit pour fabriquer des pièces de mouvements d’horlogerie particulièrement résistantes à l’abrasion, comme des engrenages ou des paliers, avec un substrat de base en laiton par exemple. Les exemples précédents sont bien entendu donnés à titre d’illustrations et ne sauraient être considérés comme limitatifs.Experimental results have shown that such a material has exceptional hardness, well above 8 GPa, and up to more than 12 GPa according to the tests carried out. Such a material can in particular be used in the field of watchmaking, either to manufacture particularly solid watch cases, with a titanium base substrate for example, or to manufacture parts of watch movements particularly resistant to abrasion, such as gears or bearings, with a basic brass substrate for example. The preceding examples are of course given by way of illustration and should not be considered as limiting.

Dans d’autres domaines, où la production de pièces résistantes aux rayures ou à l’abrasion est recherchée, comme en bijouterie, en lunetterie ou pour des accessoires de mode par exemple, le matériau selon l’invention peut en effet également être avantageusement exploité.In other fields, where the production of parts resistant to scratches or abrasion is sought, such as in jewelry, eyewear or for fashion accessories for example, the material according to the invention can indeed also be advantageously exploited .

Par ailleurs, il est à noter que, dans le cadre de la présente invention, l’alliage déposé en couche mince sur un substrat peut comprendre, outre du titane et de l’or, un métal ou une combinaison de métaux dont l’adjonction permet en particulier de régler la teinte de l’alliage, ou bien encore, plus généralement, un élément chimique ou une combinaison d’éléments chimiques métalliques et/ou non métalliques.Furthermore, it should be noted that, in the context of the present invention, the alloy deposited in a thin layer on a substrate can comprise, in addition to titanium and gold, a metal or a combination of metals whose addition allows in particular to adjust the color of the alloy, or even, more generally, a chemical element or a combination of metallic and / or non-metallic chemical elements.

Selon l’invention, l’alliage déposé en couche mince sur un substrat présente par conséquent la formule atomique Ti(i-x-y)Au(X)M(y), avec 0,15 < x < 0,40 ; 0,00 < y<0,15.According to the invention, the alloy deposited as a thin layer on a substrate consequently has the atomic formula Ti (i- x - y ) Au ( X ) M ( y ), with 0.15 <x <0.40; 0.00 <y <0.15.

Comme indiqué, M est un élément chimique ou une combinaison d’éléments chimiques. Plus précisément, M est Ag, Cu, Zn, ou une combinaison de ces métaux, en particulier pour obtenir une teinte jaune de l’alliage, M est Cu, en particulier pour obtenir une teinte rouge de l’alliage, M est Ag, Cu, ou une combinaison de ces métaux, en particulier pour obtenir des teintes rose et rose vif de l’alliage, M est Pt, Pd, Ni, Zn, ou une combinaison de ces métaux, en particulier pour obtenir une teinte blanche de l’alliage, M est Ag, Cu, Cd, ou une combinaison de ces métaux, en particulier pour obtenir une teinte verte de l’alliage, et M est Fe, Al, Ga, ln, ou une combinaison de ces métaux, en particulier pour obtenir des teintes bleu et violet de l’alliage.As noted, M is a chemical element or a combination of chemical elements. More precisely, M is Ag, Cu, Zn, or a combination of these metals, in particular to obtain a yellow tint of the alloy, M is Cu, in particular to obtain a red tint of the alloy, M is Ag, Cu, or a combination of these metals, in particular to obtain pink and hot pink hues of the alloy, M is Pt, Pd, Ni, Zn, or a combination of these metals, in particular to obtain a white hue of l alloy, M is Ag, Cu, Cd, or a combination of these metals, in particular to obtain a green tint of the alloy, and M is Fe, Al, Ga, ln, or a combination of these metals, in particular to get blue and purple hues of the alloy.

M peut également comprendre un élément chimique non nécessairement métallique : M peut par exemple comprendre de l’azote (N), permettant d’obtenir des teintes plus vives. M peut également être une combinaison d’azote et d’un élément métallique. Par exemple M peut être une combinaison d’azote et de cuivre, pour obtenir une teinte rouge vif.M can also include a chemical element which is not necessarily metallic: M can for example include nitrogen (N), making it possible to obtain more vivid colors. M can also be a combination of nitrogen and a metallic element. For example M can be a combination of nitrogen and copper, to obtain a bright red hue.

Il est précisé, en outre, que la présente invention n’est pas limitée aux exemples décrits ci-dessus et est susceptible de variantes accessibles à l’homme de l’art.It is further specified that the present invention is not limited to the examples described above and is susceptible to variants accessible to those skilled in the art.

Claims (15)

REVENDICATIONS 1. Matériau comprenant un substrat de base et une couche mince constituée d’un alliage comprenant du titane et de l’or.1. Material comprising a base substrate and a thin layer made of an alloy comprising titanium and gold. 2. Matériau selon la revendication 1, ledit alliage présentant la formule atomique Ti(i-x-y)Au(x)M(y), où M est un élément chimique ou une combinaison d’éléments chimiques, avec 0,15 < x < 0,40 ; 0,00 < y < 0,15.2. Material according to claim 1, said alloy having the atomic formula Ti (i- x -y) Au (x) M (y), where M is a chemical element or a combination of chemical elements, with 0.15 < x <0.40; 0.00 <y <0.15. 3. Matériau selon la revendication 2, dans lequel M comprend l’un des métaux ou une combinaison de plusieurs des métaux suivants : Ag, Cu, Zn, Pt, Pd, Ni, Zn, Cd, Fe, Al, Ga, ln.3. Material according to claim 2, wherein M comprises one of the metals or a combination of several of the following metals: Ag, Cu, Zn, Pt, Pd, Ni, Zn, Cd, Fe, Al, Ga, ln. 4. Matériau selon la revendication 2 ou 3, dans lequel M comprend de l’azote.4. Material according to claim 2 or 3, wherein M comprises nitrogen. 5. Matériau selon la revendication 1, ledit alliage étant de formule atomique Ti3Au.5. Material according to claim 1, said alloy being of atomic formula Ti 3 Au. 6. Matériau selon la revendication précédente, dans lequel ledit alliage est Ti3Au en phase β.6. Material according to the preceding claim, wherein said alloy is Ti 3 Au in β phase. 7. Matériau selon l’une des revendications précédentes, dans lequel la couche mince présente une épaisseur inférieure ou égale à 50 pm.7. Material according to one of the preceding claims, in which the thin layer has a thickness less than or equal to 50 μm. 8. Matériau selon l’une des revendications précédentes, dans lequel le substrat de base est constitué de titane, par exemple de titane de grade 2, ou d’acier, ou de laiton ou de céramique.8. Material according to one of the preceding claims, in which the base substrate consists of titanium, for example grade 2 titanium, or steel, or brass or ceramic. 9. Pièce de mouvement d’horlogerie comprenant le matériau selon l’une des revendications précédentes.9. Timepiece movement part comprising the material according to one of the preceding claims. 10. Boîtier de montre comprenant le matériau selon l’une des revendications 1 à 8.10. Watch case comprising the material according to one of claims 1 to 8. 11. Procédé de dépôt d’une couche mince d’un alliage comprenant du titane et de l’or sur un substrat, comprenant les étapes suivantes :11. A method of depositing a thin layer of an alloy comprising titanium and gold on a substrate, comprising the following steps: la mise en place d’un substrat à recouvrir, d’au moins un substrat cible en titane pur et d’au moins un substrat cible en or pur dans une chambre de dépôt ;placing a substrate to be covered, at least one target substrate made of pure titanium and at least one target substrate made of pure gold in a deposition chamber; le réglage de la pression dans la chambre de dépôt ;adjusting the pressure in the deposition chamber; l’injection d’un gaz inerte pour permettre la formation d’un plasma, ledit gaz inerte pouvant être de l’argon, dans la chambre de dépôt ;injecting an inert gas to allow the formation of a plasma, said inert gas possibly being argon, in the deposition chamber; le bombardement dudit au moins un substrat cible en titane pur par un premier magnétron ;bombarding said at least one target substrate made of pure titanium with a first magnetron; le bombardement dudit au moins un substrat cible en or pur par un deuxième magnétron ;bombarding said at least one pure gold target substrate with a second magnetron; de façon à provoquer la formation d’un plasma comprenant des ions titane et des ions or dans des proportions stoechiométriques déterminées ;so as to cause the formation of a plasma comprising titanium ions and gold ions in determined stoichiometric proportions; le dépôt d’une couche mince de l’alliage comprenant du titane et de l’or sur le substrat à recouvrir.depositing a thin layer of the alloy comprising titanium and gold on the substrate to be covered. 12. Procédé selon la revendication précédente, comprenant par ailleurs le chauffage du substrat à recouvrir, pour le dépôt de l’alliage en phase cristalline.12. Method according to the preceding claim, further comprising heating the substrate to be covered, for the deposition of the alloy in the crystalline phase. 13. Procédé selon l’une des revendications 11 à 12, dans lequel le réglage de la pression dans la chambre de dépôt consiste en une mise sous pseudo-vide à une pression comprise entre 1.10-4 et 10.104 Pa.13. Method according to one of claims 11 to 12, wherein the adjustment of the pressure in the deposition chamber consists of placing under pseudo-vacuum at a pressure between 1.10 -4 and 10.10 4 Pa. 14. Procédé selon l’une des revendications 11 à 13, dans lequel la puissance de chacun desdits magnétrons est configurée de manière indépendante pour obtenir le dépôt de ladite couche mince de l’alliage comprenant du titane et de l’or sur le substrat à recouvrir.14. Method according to one of claims 11 to 13, wherein the power of each of said magnetrons is configured independently to obtain the deposition of said thin layer of the alloy comprising titanium and gold on the substrate to cover. 15. Procédé selon l’une des revendications 11 à 14, dans lequel, un premier et un deuxième substrats cibles en titane pur et un substrat cible en or pur étant mis en place dans la chambre de dépôt, trois magnétrons indépendants sont mis en oeuvre, le premier magnétron mettant en oeuvre une puissance comprise entre 20,3 et 61,2 kW/m2 pour bombarder le premier substrat cible en titane pur relié à une source radiofréquence, le deuxième magnétron mettant en oeuvre une puissance comprise entre 0,5 et 20,4 kW/m2 pour bombarder le substrat cible en or pur relié à une source de courant continu et un troisième magnétron mettant en oeuvre une puissance comprise entre 20,3 et 61,2 kW/m2 pour bombarder le deuxième substrat cible en titane pur relié à une source de courant pulsé.15. Method according to one of claims 11 to 14, in which, a first and a second target substrates made of pure titanium and a target substrate made of pure gold being placed in the deposition chamber, three independent magnetrons are used , the first magnetron using a power of between 20.3 and 61.2 kW / m 2 to bombard the first target substrate made of pure titanium connected to a radio frequency source, the second magnetron using a power of between 0.5 and 20.4 kW / m 2 for bombarding the target substrate in pure gold connected to a direct current source and a third magnetron using a power of between 20.3 and 61.2 kW / m 2 for bombarding the second substrate pure titanium target connected to a pulsed current source. 1/31/3 Température [ °C ]Temperature [° C] Pourcentage massique Au [wt.%]Mass percentage Au [wt.%] 0 20 30 40 500 20 30 40 50 1800.....,-U1800 ....., - U 100100 Pourcentage atomique Au [at.%Atomic percentage Au [at.% 100100
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