FR3041098A1 - Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe - Google Patents
Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe Download PDFInfo
- Publication number
- FR3041098A1 FR3041098A1 FR1558699A FR1558699A FR3041098A1 FR 3041098 A1 FR3041098 A1 FR 3041098A1 FR 1558699 A FR1558699 A FR 1558699A FR 1558699 A FR1558699 A FR 1558699A FR 3041098 A1 FR3041098 A1 FR 3041098A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- particle
- optical
- particles
- deposition surface
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 105
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 73
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 53
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 49
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 11
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 4
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 claims description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 4
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0612—Optical scan of the deposits
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
- G01N15/0606—Investigating concentration of particle suspensions by collecting particles on a support
- G01N15/0637—Moving support
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
L'invention concerne un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprenant : - une surface (1) transparente de dépôt des particules ; - un système (2) optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules, le système optique comprenant un système de focalisation configuré pour émettre un faisceau optique focalisé depuis une source (21) optique sur la surface de dépôt des particules transparente pour la longueur d'onde du faisceau optique ; - un système (3) de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules, le système (3) de détection étant configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules ; - un système (4) de balayage auquel le système (2) optique, la source (21) optique et le système (3) de détection sont liés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions permettant une mesure en continu.
Description
DOMAINE TECHNIQUE GENERAL L'invention concerne un système et un procédé pour mesurer la concentration surfacique de particules dans une salle propre (en anglais, « deanroom »), c'est-à-dire compter le nombre de particules sur une surface.
ETAT DE LA TECHNIQUE
Une salle propre est une pièce présentant un environnement contrôlé (température, taux d'humidité, concentration de particules, etc.) utilisée dans les domaines industriels ou de la recherche, domaines pour lesquels la maîtrise de la contamination particulaire est importante.
On utilise donc une salle propre par exemple dans le domaine de la microélectronique, de l'industrie spatiale, de l'optique.
Ces salles propres sont habituellement classifiées en fonction de la quantité de particules dans un volume d'air selon la norme ISO 14644-1. Cette norme spécifie pour chaque taille de particule considérée la concentration maximale admissible dans une salle propre et permet en conséquence de caractériser les performances de la salle propre selon l'application visée.
Depuis quelques années, un besoin de pouvoir caractériser les performances d'une salle propre selon la propreté des surfaces est apparu de sorte qu'une telle classification est proposée par la norme ISO 14644-9.
Afin de classifier les salles propres selon cette norme un certain nombre de dispositifs ont été développés.
Ces dispositifs sont toutefois de grandes dimensions et/ou ne permettent pas de mesurer des particules de taille inférieure à 5μΐτι et en tout état de cause ne permettent pas de fournir une mesure dans un environnement restreint du fait de leurs dimensions et/ou en temps réel.
PRESENTATION DE L'INVENTION L'invention propose de pallier au moins un de ces inconvénients. A cet effet, l'invention propose un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprenant : - une surface transparente de dépôt des particules ; - un système optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules, le système optique étant configuré pour émettre un faisceau optique focalisé depuis une source optique sur la surface de dépôt des particules transparente pour la longueur d'onde du faisceau optique ; - un système de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules, le système de détection étant configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules ; - un système de balayage auquel le système optique et le système de détection sont attachés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions permettant une mesure en continu. L'invention est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, prises seules ou en une quelconque de leur combinaison techniquement possible.
Le système optique comprend un système de focalisation disposé entre la source optique et la surface de dépôt des particules.
Le système de focalisation est constitué par au moins deux lentilles asphériques.
La source optique est une source Laser constituée typiquement par une Diode Laser.
La Diode Laser est monomode et monochromatique.
Le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique ayant un diamètre sur la surface de dépôt des particules de Ιμίτι.
Le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique de puissance comprise entre 1 et 4 mW, typiquement entre 2,5 mW et 3,5 mW.
Le système de balayage comprend deux bras solidaires pivotant disposés de part et d'autre de la surface de dépôt des particules et sont configurés pour déplacer en même temps le système optique et le système de détection.
Le dispositif comprend une unité d'alimentation électrique autonome telle qu'une batterie rechargeable.
Le dispositif comprend une unité de traitement configurée pour commander le système optique et le système de balayage, le système de détection étant configuré pour détecter le faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules, l'unité de traitement détectant une particule dès lors que l'intensité optique est inférieure à un seuil et associant alors à cette particule détectée, une taille de particule à une vitesse de balayage, l'unité de traitement étant en outre configurée pour déterminer après que toute la surface de dépôt des particules a été balayée, une concentration particulaire surfacique.
Le dispositif comprend une unité de communication sans fil configurée pour transmettre des données relatives à une concentration surfacique de particules : nombre de particules, taille des particules, forme des particules. L'invention concerne également un procédé pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre au moyen d'un dispositif selon l'invention, le procédé comprenant les étapes consistant à : positionner le dispositif selon l'une des revendications précédentes sur un plan dans un environnement à atmosphère contrôlé à surveiller ; balayer la surface de dépôt des particules afin de déterminer une concentration particulaire surfacique de référence ; balayer régulièrement la surface de dépôt des particules afin de déterminer, régulièrement, une concentration particulaire surfacique ; comparer à la concentration particulaire surfacique de référence la ou les concentration(s) particulaire(s) surfacique(s) régulièrement obtenue(s).
Les avantages de l'invention sont multiples.
Le dispositif de l'invention est peu encombrant et peut donc être placé au plus proche de la zone à surveiller en fournissant une mesure locale afin de mesurer au plus près des surfaces critiques donc dans une zone bien définie sans gêner la réalisation des opérations. L'invention permet de mesurer des particules de diamètre supérieur à 1 μίτι. L'invention permet de mesurer en temps réel la contamination particulaire surfacique et donc d'alerter rapidement en cas d'événement de contamination.
PRESENTATION DES FIGURES D'autres caractéristiques, buts et avantages de l'invention ressortiront de la description qui suit, qui est purement illustrative et non limitative, et qui doit être lue en regard des dessins annexés sur lesquels : - la figure 1 illustre un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique selon un premier mode de réalisation, - la figure 2 illustre un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique selon un second mode de réalisation, - la figure 3 illustre un procédé pour évaluer une concentration particulaire surfacique.
Sur l'ensemble des figures les éléments similaires portent des références identiques.
DESCRIPTION DETAILLEE DE L'INVENTION
En relation avec la figure 1, un dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprend : - une surface 1 transparente de dépôt des particules ; - un système 2 optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules ; - un système 3 de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules ; - un système 4 de balayage auquel le système optique et le système de détection sont attachés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions référencées par x et y sur la figure 1.
Surface de dépôt
La surface 1 de dépôt des particules est de préférence constituée par un disque en matériau transparent tel que du verre ou du plastique. D'autres formes peuvent être envisagées pour la surface de dépôt des particules.
Par « matériau transparent », on entend un matériau qui laisse passer une partie du faisceau optique. La notion de transparence dépend de la longueur d'onde du faisceau optique utilisé.
La surface 1 de dépôt des particules est de préférence supérieure à 1 cm2 afin d'obtenir des données significatives. Dans le cas d'un disque ce dernier présente typiquement un diamètre supérieur à 1,2 cm.
Système optique
Le système 2 optique comprend un système 22 de focalisation disposé entre la source 21 optique et la surface 1 de dépôt des particules. Le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique focalisé sur la surface 1 de dépôt des particules.
Le faisceau optique 24 doit être dirigé perpendiculairement à la surface de dépôt des particules.
La source 21 optique est typiquement constituée par une Diode Laser, monochromatique et de préférence monomode.
Pour guider précisément le faisceau optique issu de la Diode Laser cette dernière est avantageusement connectée à une fibre optique monomode et monochromatique au moyen d'un connecteur de type FC/PC par exemple. En effet, la fibre optique monomode et monochromatique permet d'avoir un unique spot de forme circulaire qui balaie la surface de dépôt des particules.
Ce système 22 de focalisation est de préférence constitué par au moins deux lentilles asphériques.
Le diamètre du faisceau optique doit être du même ordre de grandeur que la plus petite particule à mesurer soit ici de 1 pm. D'autres montages sont possibles, dès lors que l'ouverture du système optique permet d'obtenir une tâche de diffraction (spot) de diamètre égal à 1 pm.
Le système optique est de préférence configuré pour émettre un faisceau optique de longueur d'onde comprise entre 500 nm et 700 nm, typiquement 635 nm et de puissance comprise entre 1 et 4 mW, typiquement entre 2,5 mW et 3,5 mW. D'autres longueurs d'ondes sont possibles notamment dans le domaine de l'ultraviolet.
De manière avantageuse, la longueur totale du système optique est inférieure ou égale à 15 mm et le système 22 de focalisation est d'une pièce moulée pour favoriser la compacité du dispositif.
Ainsi, le système optique est tel qu'il permet de générer un spot sur la surface de dépôt des particules ayant un diamètre qui correspond au diamètre de particules le plus petit. Ce diamètre correspond donc à la résolution de la mesure.
Système de détection
Le système 3 de détection est configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis à travers la surface de dépôt des particules.
Il s'agit par exemple d'une photodiode.
Le système de détection est capable de détecter des particules présentant un diamètre compris entre 1 pm et 20 pm.
Ceci est rendu possible du fait que le faisceau optique est dirigé perpendiculairement à la surface de dépôt des particules.
Système de balayage
Le dispositif comprend un système 4 de balayage auquel le système 2 optique, la source 21 optique et le système 3 de détection sont liés.
Ainsi, au cours du balayage, le système 2 optique, la source 21 optique et le système 3 de détection se déplacent simultanément et de manière solidaire.
En outre, le système 4 de balayage est configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions.
Sur la figure 2, le système de balayage est constitué par deux bras 41 pivotant disposés de part et d'autre de la surface 1 de dépôt des particules et sont configurés pour déplacer en même temps le système 2 optique, la source 21 optique et le système 3 de détection selon deux dimensions (selon les axes x et y sur les figures 1 et 2).
Un moteur 42 commande les deux bras 41.
Le système de balayage permet de scanner une surface circulaire suivant deux dimensions grâce au couplage d'une rotation et d'une translation effectuées par les deux bras solidaires. La surface de dépôt reste immobile pour que les particules ne bougent pas au cours du balayage ce qui pourrait fausser la mesure.
Unité de traitement
De manière complémentaire, le dispositif comprend une unité 5 de traitement configurée pour commander la source 21 optique et le système 4 de balayage. Cette unité 5 de traitement est de manière avantageuse constituée par un processeur programmé pour exploiter via le système 3 de détection les données détectées par le système 3 de détection.
En particulier, le système 3 de détection est configuré pour détecter le faisceau optique transmis à travers la surface 1 de dépôt des particules, l'unité 5 de traitement détectant alors une particule dès lors que l'intensité optique est inférieure à un seuil défini. Puis est associée à la taille de particule, une vitesse de balayage.
En outre, l'unité de traitement est configurée pour déterminer après que toute la surface 1 de dépôt des particules ait été balayée, une concentration surfacique de particules.
La concentration surfacique dépend du niveau de propreté de la salle propre et des tailles de particules considérées (les grosses particules sont plus rares que les petites particules).
Les concentrations surfaciques acceptables en fonction des tailles des particules sont décrites dans la norme ISO 14644-9.
Unité de communication, système d'alimentation et d'alarme
Le dispositif comprend également une unité 6 de communication sans fil comprenant une antenne 61 configurée pour transmettre des données depuis l'unité 5 de traitement vers une unité distante (non représentée). Les données transmises sont notamment les différentes concentrations obtenues.
Afin d'avoir un dispositif autonome, ce dernier comprend un système d'alimentation (non représenté) comprenant par exemple une ou plusieurs batterie(s) rechargeable(s). Le système d'alimentation permet d'alimenter tous les éléments du dispositif.
Enfin, afin de prévenir d'une éventuelle concentration particulaire surfacique, le dispositif pourra comprendre un système d'alarme (non représenté). Cette alarme pourra être soit visuelle soit auditive.
Procédé
Le dispositif décrit ci-dessus est avantageusement utilisé dans le cadre d'un procédé pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre.
En relation avec la figure 3, un tel procédé comprend les étapes suivantes.
On positionne El le dispositif sur un plan dans la pièce à surveiller. Compte tenu du faible encombrement du dispositif, on pourra le positionner au plus près de l'endroit où la surveillance est nécessaire (sur un plan d'assemblage d'un satellite par exemple).
Ensuite, on procède à un étalonnage du dispositif en ce qu'on balaye E2 la surface 1 de dépôt des particules afin de déterminer une concentration particulaire surfacique de référence. En effet, lorsqu'est positionné le dispositif, on considère que la pièce à surveiller est propre. Ainsi, c'est par comparaison à cette valeur de référence que l'on pourra déterminer si la concentration particulaire surfacique caractérise que les surfaces ont vu leur niveau de propreté évoluer.
Ensuite, régulièrement, on balaie E3 la surface 1 de dépôt des particules afin de déterminer, régulièrement, une concentration particulaire surfacique.
Puis on compare E4 à la concentration particulaire surfacique de référence les concentrations particulaires surfaciques régulièrement obtenues afin de déterminer une propreté surfacique de la pièce surveillée.
De manière complémentaire, on pourra prévoir de signaler E5 qu'une concentration particulaire est différente de la concentration particulaire surfacique de référence.
Par concentration particulaire différente on entend la concentration maximale admissible sur les surfaces suivant la classification de la salle propre par la norme ISO 14644-9 qui fournit des valeurs seuils à respecter.
Claims (12)
- REVENDICATIONS1. Dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre, le dispositif comprenant : - une surface (1) transparente de dépôt des particules ; - un système (2) optique disposé au-dessus de la surface de dépôt des particules, le système optique comprenant un système de focalisation configuré pour émettre un faisceau optique focalisé depuis une source (21) optique sur la surface de dépôt des particules transparente pour la longueur d'onde du faisceau optique ; - un système (3) de détection disposé au-dessous de la surface de dépôt des particules, le système (3) de détection étant configuré pour détecter une intensité d'un faisceau optique transmis par la surface de dépôt des particules ; - un système (4) de balayage auquel le système (2) optique, la source (21) optique et le système (3) de détection sont liés, le système de balayage étant configuré pour balayer la surface de dépôt des particules selon deux dimensions permettant une mesure en continu.
- 2. Dispositif selon la revendication 1, dans lequel le système (2) optique comprend un système de focalisation disposé entre la source optique et la surface (1) de dépôt des particules.
- 3. Dispositif selon la revendication 2, dans lequel le système de focalisation est constitué par au moins deux lentilles asphériques.
- 4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, dans lequel la source optique (21) comprend une source Laser constituée typiquement par une Diode Laser.
- 5. Dispositif selon la revendication 4, dans lequel la Diode Laser est monomode et monochromatique.
- 6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, dans lequel le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique ayant un diamètre sur la surface de dépôt des particules de Ιμίτι.
- 7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 6, dans lequel le système optique est configuré pour émettre un faisceau optique de puissance comprise entre 1 et 4 mW, typiquement entre 2,5 mW et 3,5 mW.
- 8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, dans lequel le système (4) de balayage comprend deux bras (4) pivotant disposés de part et d'autre de la surface (1) de dépôt des particules et sont configurés pour déplacer en même temps le système (2) optique, la source (21) optique et le système de détection.
- 9. Dispositif selon la revendication 8, comprenant une unité d'alimentation électrique autonome telle qu'une batterie rechargeable.
- 10. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 9, comprenant une unité (5) de traitement configurée pour commander le système optique (2) et le système (4) de balayage, le système (3) de détection étant configuré pour détecter le faisceau optique transmis par la surface (1) de dépôt des particules, l'unité (5) de traitement détectant une particule dès lors que l'intensité optique est inférieure à un seuil et associant alors à cette particule détectée, une taille de particule à une vitesse de balayage, l'unité de traitement étant en outre configurée pour déterminer après que toute la surface (1) de dépôt des particule ait été balayée, une concentration particulaire surfacique.
- 11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, comprenant une unité (6) de communication sans fil configurée pour transmettre des données relatives à une concentration surfacique de particules : nombre de particules, taille des particules, forme des particules.
- 12. Procédé pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre au moyen d'un dispositif selon l'une des revendications 1 à 11, le procédé comprenant les étapes consistant à : positionner (El) le dispositif selon l'une des revendications précédentes sur un plan dans un environnement à atmosphère contrôlée à surveiller ; balayer (E2) la surface (1) de dépôt des particules afin de déterminer une concentration particulaire surfacique de référence ; balayer (E3) régulièrement la surface (1) de dépôt des particules afin de déterminer, régulièrement, une concentration particulaire surfacique ; comparer (E4) à la concentration particulaire surfacique de référence la ou les concentration(s) particulaire(s) surfacique(s) régulièrement obtenue(s).
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR1558699A FR3041098B1 (fr) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe |
| PCT/EP2016/072009 WO2017046349A1 (fr) | 2015-09-16 | 2016-09-16 | Dispositif pour évaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement à atmosphère contrôlée tel qu'une salle propre et procédé associé |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR1558699A FR3041098B1 (fr) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR3041098A1 true FR3041098A1 (fr) | 2017-03-17 |
| FR3041098B1 FR3041098B1 (fr) | 2017-11-17 |
Family
ID=55236493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR1558699A Active FR3041098B1 (fr) | 2015-09-16 | 2015-09-16 | Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR3041098B1 (fr) |
| WO (1) | WO2017046349A1 (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107884323A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-04-06 | 深圳市兴业卓辉实业有限公司 | 一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5870186A (en) * | 1997-07-15 | 1999-02-09 | The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration | Detector for particle surface contamination |
| US6143247A (en) * | 1996-12-20 | 2000-11-07 | Gamera Bioscience Inc. | Affinity binding-based system for detecting particulates in a fluid |
| US6327031B1 (en) * | 1998-09-18 | 2001-12-04 | Burstein Technologies, Inc. | Apparatus and semi-reflective optical system for carrying out analysis of samples |
| US20040011975A1 (en) * | 2002-07-17 | 2004-01-22 | Nicoli David F. | Sensors and methods for high-sensitivity optical particle counting and sizing |
| US20100163761A1 (en) * | 2006-08-21 | 2010-07-01 | Antonio Febo | Apparatus and method for environmental monitoring |
| WO2015025880A1 (fr) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | シャープ株式会社 | Dispositif de détection de lumière |
-
2015
- 2015-09-16 FR FR1558699A patent/FR3041098B1/fr active Active
-
2016
- 2016-09-16 WO PCT/EP2016/072009 patent/WO2017046349A1/fr active Application Filing
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6143247A (en) * | 1996-12-20 | 2000-11-07 | Gamera Bioscience Inc. | Affinity binding-based system for detecting particulates in a fluid |
| US5870186A (en) * | 1997-07-15 | 1999-02-09 | The United States Of America As Represented By The Administrator National Aeronautics And Space Administration | Detector for particle surface contamination |
| US6327031B1 (en) * | 1998-09-18 | 2001-12-04 | Burstein Technologies, Inc. | Apparatus and semi-reflective optical system for carrying out analysis of samples |
| US20040011975A1 (en) * | 2002-07-17 | 2004-01-22 | Nicoli David F. | Sensors and methods for high-sensitivity optical particle counting and sizing |
| US20100163761A1 (en) * | 2006-08-21 | 2010-07-01 | Antonio Febo | Apparatus and method for environmental monitoring |
| WO2015025880A1 (fr) * | 2013-08-23 | 2015-02-26 | シャープ株式会社 | Dispositif de détection de lumière |
| EP2980563A1 (fr) * | 2013-08-23 | 2016-02-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Dispositif de détection de lumière |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107884323A (zh) * | 2017-11-08 | 2018-04-06 | 深圳市兴业卓辉实业有限公司 | 一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2017046349A1 (fr) | 2017-03-23 |
| FR3041098B1 (fr) | 2017-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2084515B1 (fr) | Dispositif pour la detection exaltee de l'emission d'une particule cible | |
| EP2486412B1 (fr) | Dispositif de mesure de la vitesse du vent | |
| EP1183518B1 (fr) | Dispositif pour determiner les valeurs d'au moins un parametre de particules, notamment de gouttelettes d'eau | |
| FR3028951A1 (fr) | Systeme d'imagerie sans lentille comprenant une diode, un diaphragme et un diffuseur entre la diode et le diaphragme | |
| WO2010058102A1 (fr) | Procede et systeme d'analyse de particules solides dans un milieu | |
| EP3234555B1 (fr) | Système d'observation d'objets | |
| FR3066598A1 (fr) | Capteur pour la mesure de la concentration de particules dans l’air | |
| EP2356429A1 (fr) | Dispositif d'analyse d'un mélange polyphasique via un faisceau de lumière rétrodiffusée par celui-ci | |
| FR3041098A1 (fr) | Dispositif pour evaluer une concentration particulaire surfacique dans un environnement a atmosphere controlee tel qu'une salle propre et procede associe | |
| EP0310526B1 (fr) | Procédé et dispositif de contrôle de la pression régnant dans une enceinte ou capacité | |
| EP3436807B1 (fr) | Procede et systeme d'inspection par effet doppler laser de plaquettes pour la microelectronique ou l'optique | |
| WO2013060945A1 (fr) | Dispositif d'inspection de plaquettes semi - conductrices a champ sombre. | |
| WO2021136889A1 (fr) | Dispositif de detection de presence de pollens dans l'air, et procede de detection correspondant | |
| FR3066599A1 (fr) | Capteur pour la mesure de la concentration de particules dans l'air | |
| FR3032036A1 (fr) | Procedes et dispositifs de detection de la contamination surfacique par des particules evoluant en air libre | |
| EP3452807B1 (fr) | Système d'analyse comportant un dispositif de confinement à chambre de mesure de taille variable délimitée en partie par une membrane flexible | |
| FR2865545A1 (fr) | Lidar compact | |
| EP3899490B1 (fr) | Détecteur optique de particules | |
| FR3087541A1 (fr) | Procede de discrimination d'un plant sain ou malade par colorimetrie. | |
| EP3341678B1 (fr) | Procédé et dispositif de contrôle d'un fil de découpe à abrasifs liés | |
| EP0064110B1 (fr) | Appareil de photométrie par diffusion | |
| EP3548837B1 (fr) | Procédé et dispositif de détection et d'évaluation d'une variation d'épaisseur d'une pièce. | |
| EP1105712A1 (fr) | Dispositif de mesure de la taille de particules en deplacement, notamment pour des mesures pluviometriques | |
| FR3066600A1 (fr) | Capteur pour la mesure de la concentration de particules dans l'air | |
| FR2841983A1 (fr) | Procede et dispositif permettant de mesurer un flux lumineux retrodiffuse par un milieu disperse, non perturbe par les reflexions aux interfaces |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 2 |
|
| PLSC | Publication of the preliminary search report |
Effective date: 20170317 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 3 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 4 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 5 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 6 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 7 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 8 |
|
| PLFP | Fee payment |
Year of fee payment: 9 |