FR3037205A1 - Capteur optique - Google Patents

Abstract

La présente invention concerne un capteur optique qui comporte un ou plusieurs pixels (10) à transfert de charge comportant chacun une photodiode (11) générant une charge photoélectrique sous éclairement, un élément de conversion (12) recevant au moins une partie de cette charge photoélectrique et tendant à imposer à la photodiode un potentiel satisfaisant à une relation non linéaire avec l'intensité de génération de la charge photoélectrique, et un élément de transfert de charge (14) pour lire la charge stockée par la photodiode (11).

Description

1 La présente invention concerne un capteur optique comportant un ou plusieurs pixels de technologie CMOS à transfert de charge comportant chacun une photodiode générant un courant photoélectrique sous éclairement. Aujourd'hui ce type de pixel comporte comme illustré à la figure 1 une photodiode enterrée PD qui collecte des charges électriques induites par le rayonnement lumineux incident et un transistor de transfert TX pour lire la charge ainsi collectée. Le transistor de transfert présente l'une de ses bornes qui en contact avec la photodiode et permet de transférer la charge collectée par la photodiode vers un autre dispositif de réception telle qu'un noeud capacitif FD, soit pour la lecture soit pour y être stockée. La photodiode enterrée est typiquement composée d'un dopage N dans un substrat du type P, recouvert d'une fine couche de dopage en sa surface ( encore appelée « pinning layer »), également du type P, souvent de forte concentration, de sorte que la zone de charge d'espace ZCE n'entre pas en contact avec la surface du silicium où sont concentrés les défauts en tout genre.

La figure 2 représente la structure largement répandue d'un pixel dit « à 4 transistors » ou pixel 4T. Le transistor de transfert TX est connecté sur un noeud capacitif formé d'une diffusion flottante FD (en anglais « floating diffusion »). Avant d'activer le transistor de transfert, le noeud capacitif FD est pré-chargé à une tension initiale via un transistor de réinitialisation dit « transistor de reset » RST commandé par un créneau de tension VRST. Une première lecture de la tension du noeud capacitif FD est faite grâce au signal COL après cette opération de réinitialisation. Une deuxième lecture est faite après l'activation par le signal TX du transistor de transfert TX. La différence entre ces deux lectures est représentative de la quantité de charges transférées de la photodiode enterrée vers le noeud capacitif FD. Cette lecture différentielle permet de supprimer le bruit induit par l'action du transistor de reset RST sur le noeud capacitif, dit bruit KTC. Un signal SEL est appliqué sur un transistor de sélection SEL pendant la lecture. Il est souhaitable dans une telle structure connue d'assurer un transfert de charge complet de la photodiode enterrée vers le noeud capacitif FD, pour qu'après l'activation du transistor de transfert TX, la charge mobile soit nulle dans la zone dopée de la photodiode enterrée. En effet, si la charge mobile n'est pas complètement transférée vers le noeud capacitif FD, on observe un bruit additionnel proportionnel à la racine carrée de la 3037205 2 charge transférée de la photodiode enterrée. La charge résiduelle dans la photodiode engendre une traînée sur l'image suivante. Le transfert complet de charge dépend de deux conditions de base : 1) la tension de polarisation de la cathode de la photodiode enterrée à laquelle 5 tous les électrons mobiles sont chassés, encore appelée « pinning voltage » ou Vpin, et 2) la tension de pré-charge et la capacitance de la diffusion flottante. Il faut ainsi que la tension du noeud capacitif FD, après avoir reçu la charge de la photodiode enterrée par l'action du transistor de transfert TX, reste supérieure à la tension Vpin.

10 Dans une conception classique où le pixel donne une réponse linéaire, la tension Vpin est généralement fixée par construction entre 0.5V et 1V. La figure 3 illustre un résultat de simulation TCAD avec une photodiode enterrée ayant une tension Vpin égale à 1V, et l'on peut observer que la zone de désertion envahit toute la cathode quand la tension de polarisation atteint cette valeur.

15 Par approximation, il est possible de considérer que la charge mobile stockée, sous forme d'électrons libres dans le cas considéré, dans la photodiode enterrée est proportionnelle à la différence entre la tension sur la photodiode VPD et la tension Vpin. Quand la tension de la photodiode devient égale à la tension Vpin, la charge mobile est nulle.

20 Approximativement, la charge stockée dans la photodiode QPD est proportionnelle à (Vpin - VPD) on a: QPD = CPD (VpD-Vpin) La tension de réinitialisation du noeud capacitif FD est en général fixée entre 2V et 3V et la variation de tension utilisable est ainsi de l'ordre de 1V. La capacitance du 25 noeud capacitif FD détermine dans ce cas la quantité maximale de charge que peut réceptionner le noeud capacitif FD. Par exemple, pour une capacitance de lfF, la capacité de réception est de lfC, équivalent à 6250 électrons. Si l'on augmente cette capacitance à 10fF, alors cette capacité monte à 62500 électrons. Cette capacité est appelée « Full Well Capacity » (FWC). Compte tenu du bruit de grenaille, le meilleur rapport signal/bruit 30 obtenu à FWC est égal à la racine carrée de FWC. Par exemple, il est de 79 pour FWC=6250 et de 250 pour FWC=62500. Pour une meilleure qualité d'image, il est préférable d'avoir une grande valeur de FWC. Toutefois la capacitance ne peut être 3037205 3 augmentée sans conséquences négatives sur certaines caractéristiques du pixel, comme expliqué ci-dessous. La tension induite par un électron sur le noeud capacitif FD est définie comme étant le gain de conversion. Par exemple, pour une capacitance du noeud capacitif FD de 5 1 fF, on obtient un gain de conversion de 160 1.1V/e. Ce gain descend à 161.1V/e quand la capacitance est augmentée à 10fF. Le transistor de lecture au sein du pixel ainsi que le circuit de lecture génèrent un bruit de lecture dont l'impact est inversement proportionnel au gain de conversion. Par exemple, pour un bruit de lecture de 3201.1V, un gain de conversion de 1601.1V/e donne un bruit équivalent à 2 électrons, mais un gain de conversion 10 de 161.1V/e donne un bruit de 20 électrons. Le rapport entre la capacité FWC et le bruit de lecture définit la plage dynamique (« Dynamic Range » ou DR). Par exemple, pour une capacitance du noeud capacitif FD de lfF, DR=6250/2 soit 70dB. Pour une capacitance du noeud capacitif FD de 10fF on a également une plage dynamique DR égale à 70dB, mais le seuil de détection 15 pour une capacitance du noeud FD égale à lfF est bien meilleur (2 électrons) que pour une capacitance du noeud FD égale à 10fF (20 électrons). Par conséquent, il est difficile d'avoir une très grande dynamique et une bonne sensibilité avec la technologie de pixel conventionnelle telle que décrite ci-dessus. Or, pour beaucoup d'applications telles que la surveillance ou la vision automobile, une dynamique 20 supérieure à 120dB est souhaitable. Pour un pixel 4T à réponse linéaire, il faudrait une capacité FWC 106 fois supérieure au bruit d'obscurité équivalent en électrons. A supposer que l'on utilise une capacité de noeud FD de 10fF avec un bruit de lecture de 3201.1V, la capacité FWC devrait être d'au moins 20 106 électrons, et génèrerait une variation de tension de 640V, ce qui est quasiment impossible à réaliser.

25 Par ailleurs, il est connu qu'une réponse non-linéaire permet d'avoir à la fois une bonne sensibilité et une grande plage de fonctionnement. La réponse logarithmique de l'oeil humain en est l'un des meilleurs exemples. Comme illustré sur la figure 4, cette réponse logarithmique possède une pente initiale très forte quand le signal d'excitation est faible, donc une bonne sensibilité, et une pente progressivement aplatie quand le signal 30 d'excitation augmente en intensité, donc une très grande dynamique de fonctionnement. Les technologies existantes de pixel dit « logarithmique » se classent principalement en deux familles: (1) Association entre une photodiode générant un photo- 3037205 4 courant linéaire et un élément de conversion courant-tension non-linéaire et (2) lecture directe de la tension sur une photodiode en mode cellule solaire. La première famille se fonde sur l'association d'une photodiode polarisée en inverse produisant un courant photoélectrique proportionnel à l'intensité lumineuse et d'un 5 composant non-linéaire de conversion, constitué par un transistor MOS sous le seuil de fonctionnement. La deuxième, qui résulte des recherches de la demanderesse, repose sur l'utilisation d'une photodiode sans polarisation, la tension générée par la photodiode étant alors naturellement un logarithme de l'intensité lumineuse comme dans une cellule solaire.

10 Les solutions issues de ces familles technologiques utilisent toutes le mode « tension », c'est-à-dire que signal utile est constitué par une tension générée par la photodiode. Avec un tel mode de fonctionnement en tension, la qualité du signal est entachée par le bruit thermique et dans le cas de la deuxième famille, également par le bruit de réinitialisation. La performance en bas niveau de lumière incidente est ainsi 15 insuffisante pour certaines applications. La demanderesse a essayé en interne de faire travailler la photodiode en mode cellule solaire au sein d'un pixel 4T. Cette proposition tente de réduire le bruit KTC par un double échantillonnage corrélé (« Correlated Double Sampling » ou CDS), grâce à un transfert de charge. Toutefois, le fonctionnement en mode cellule solaire impose une 20 tension Vpin très proche de zéro, voire un peu négative, ce qui augmente la difficulté de réalisation et réduit l'efficacité de collecte en raison du faible champ électrique dans la jonction de la photodiode. Toutes ces solutions souffrent de plus d'une variation de la réponse photoélectrique en fonction de la température de fonctionnement. Pour des applications 25 telles que la surveillance ou la vision automobile, cette variation de la réponse en fonction de la température n'est pas acceptable car elle peut gêner la restitution des couleurs. La présente invention vise ainsi à remédier à tout ou partie des inconvénients des structures de pixel existantes et à proposer une structure de pixel ayant une réponse non-linéaire permettant à la fois une bonne sensibilité et une grande dynamique, dans une 30 plage de température étendue. L'invention atteint cet objectif grâce à un capteur optique qui comporte un ou plusieurs pixels à transfert de charge comportant chacun une photodiode générant une 3037205 5 charge photoélectrique sous éclairement, un élément de conversion recevant au moins une partie de cette charge photoélectrique et tendant à imposer à la photodiode un potentiel satisfaisant à une relation non linéaire avec l'intensité de génération de la charge photoélectrique, et un élément de transfert de charge pour lire la charge stockée par la 5 photodiode. La charge photoélectrique qui se forme au sein de la photodiode peut être évacuée en partie par l'élément de conversion, de sorte que la quantité de charge photoélectrique qui s'accumule effectivement au sein de la photodiode suite à l'arrivée de photons, peut suivre une progression non linéaire, au moins à partir d'un certain niveau de 10 charge accumulée. De préférence, la relation non linéaire correspond à une progression linéaire aux bas niveaux de lumière puis à une progression logarithmique aux niveaux de lumière plus élevés. La réponse est obtenue par l'accumulation des photo-électrons pendant le temps de pose ; la portion initiale linéaire de la réponse permet une bonne collecte des photo-électrons afin d'améliorer la sensibilité aux bas niveaux de lumière.

15 Ensuite, la réponse passe progressivement en régime logarithmique grâce à l'élément de conversion selon l'invention, qui génère une fuite plus importante de ces électrons hors de la photodiode. Cette portion de réponse logarithmique permet de compresser le signal et de créer une dynamique de fonctionnement plus étendue. L'élément de conversion présente de préférence une conductivité non linéaire 20 dépendant d'au moins un signal de commande qui lui est appliqué. L'élément de conversion peut être un transistor MOS, le ou les signaux de commande étant appliqués à la grille et/ou au drain du transistor. En variante, l'élément de conversion est un transistor bipolaire De préférence, l'élément de conversion est un transistor à grille ou base 25 virtuelle, dont le potentiel est ramené à celui du substrat par construction. Dans ce cas, le signal de commande peut être la tension de drain ou de collecteur. L'élément de transfert de charge peut comporter des moyens d'abaissement de barrière de potentiel induit par polarisation de drain (DIBL ou Drain Induced Barrier Lowering). Cet abaissement de barrière de potentiel peut se faire en agissant sur la tension 30 de drain ou de collecteur.Lorsque l'élément de conversion est un transistor bipolaire, celui- ci peut être de type BJT latéral ou BJT vertical, de préférence avec 1 l'émetteur réalisé avec 3037205 6 la zone dopée correspondant à la cathode de la photodiode et la base correspondant au substrat d'anode de la photodiode. Le phénomène DIBL correspond à l'extraction des électrons de la source par le champ électrique induit par le drain. Quand la tension du drain est élevée, les électrons 5 sortent plus facilement de la source. Ces électrons sont ensuite capturés par le drain, donnant naissance au courant drain/source. Ainsi, le courant drain/source est contrôlé à la fois par la tension de source et par la tension de drain. Le courant photoélectrique passe par la source et il est converti en une tension non-linéaire sur la source. Cette conversion est aussi contrôlée par la tension de drain, vue comme une commande.

10 Quand le réglage de la conversion non linéaire se fait par le phénomène DIBL la conversion non linéaire se fait avec la relation courant-tension entre le drain et la source ou entre l'émetteur et le collecteur, la grille ou la base ne jouant aucun rôle. Dans ce cas, on fixe par construction le potentiel du canal entre le drain et la source ou entre l'émetteur et le collecteur à celui du substrat, c'est-à-dire que l'on a une grille ou base virtuelle.

15 Les notions de transistor MOS à grille virtuelle ou de transistor BJT à base virtuelle tendent ainsi à se confondre. Pour cette raison, dans le texte suivant, on ne fait pas toujours de distinction entre les deux. De préférence, ledit au moins un signal de commande est dépendant de la température. L'invention permet alors une compensation de la variation de la réponse du 20 capteur en fonction de la température, en contrôlant en fonction de la température les propriétés électriques de l'élément de conversion, notamment sa conductivité électrique. Le capteur comporte avantageusement au moins un pixel de référence ayant même structure que le ou les pixels illuminés, mais protégé de la lumière incidente et recevant une injection de charges simulant une condition d'éclairement et la génération de 25 la charge photoélectrique par la photodiode. Le signal de commande peut être asservi à un signal de sortie du pixel de référence ou d'un groupe de pixels de référence afin de maintenir le signal de sortie du pixel de référence ou de ce groupe de pixels de référence à une valeur constante quand la température varie. Le même signal de commande ainsi déterminé peut être envoyé à tous 30 les pixels du capteur. On peut ainsi compenser l'influence de la température sur la réponse des pixels actifs par une telle boucle de régulation.

3037205 7 Le signal de commande peut être dépendant de la nature de l'illumination, par exemple lumière du flash ou lumière non impulsionnelle, car il permet de contrôler via l'élément de conversion l'intensité de formation de charge photoélectrique à partir de laquelle la progression de la tension de la photodiode passe de linéaire à non linéaire.

5 En particulier, si le capteur doit pouvoir réagir convenablement à un flash de lumière et que les pixels ne sont pas tous lus simultanément, il peut y avoir un intérêt à ce que le signal résultant de l'intégration dans le temps de l'éclairement soit prépondérant. On peut décaler en agissant sur le signal de commande la transition linéaire vers non linéaire de la progression de la tension de façon à avoir une plage de progression linéaire la plus 10 étendue possible Le signal de commande peut ainsi être différent selon que lumière correspond à une prise de vue sous flash, ou à une prise de vue sous lumière naturelle. La photodiode est de préférence enterrée. De préférence, le pixel est réalisé de telle sorte que la charge résiduelle soit nulle après la lecture par transfert.

15 L'élément de conversion peut être un transistor formé par une zone dopée constituant le drain, avec de préférence un dopage de confinement sous cette zone de drain et un dopage de surface ( « pinning layer ») de la photodiode se prolongeant à la surface du substrat en direction de la zone de drain, sans toutefois couvrir tout le canal. Le signal de commande peut être appliqué au drain du transistor de 20 conversion, le drain du transistor étant formé par un dopage enterré s'étendant à une profondeur supérieure ou égale à celle de transistors de lecture du pixel, notamment le transistor de sélection SEL. Cet arrangement renforce le phénomène DIBL et facilite le contrôle de l'élément de conversion par la tension de drain. Le transistor de conversion peut comporter un drain ou collecteur enterré 25 s'étendant au sein du substrat sous la photodiode. Ce drain ou collecteur enterré peut être commun à plusieurs pixels du capteur, voire à l'ensemble des pixels, tous les drains étant fusionnés en une seule couche. Cela simplifie la fabrication du capteur. La photodiode au-dessus du drain enterré peut aussi être vue comme constituant l'émetteur d'un transistor bipolaire.

30 Dans des variantes de réalisation, la photodiode est éclairée par la face arrière du substrat. La zone dopée correspondant à la cathode de la photodiode peut se prolonger au-dessous de la zone dopée correspondant au drain du transistor. La zone dopée de 3037205 8 surface de la photodiode peut se prolonger au-delà de la zone dopée correspondant à la cathode de la photodiode. L'élément de transfert de charge peut être un transistor MOS ou un transistor bipolaire exploitant un phénomène de DIBL extrême dit de Punch Through (ou PT), avec 5 une tension suffisamment élevée sur le drain pour arracher des électrons de la source (zone dopée de la photodiode). L'élément de transfert de charge peut comporter un canal de transfert déclenché par DIBL. L'invention a encore pour objet, selon un autre de ses aspects, un procédé de compensation en température d'un capteur selon l'invention, dans lequel on agit sur ledit 10 au moins signal de commande précité pour compenser l'influence de la température sur la fuite des charges photoélectriques de la photodiode. En effet, la température module la facilité de fuite des électrons de la photodiode. Si la température augmente, les électrons fuient plus facilement, la réponse logarithmique arrive plus tôt. A l'inverse, quand la température diminue, la réponse logarithmique arrive plus tard. On peut agir sur l'élément 15 de conversion afin de compenser cette variation et obtenir une réponse stable. Une boucle de régulation peut être utilisée, associée à un ou plusieurs pixels de référence, pour maintenir ledit au moins un signal de commande à un niveau permet de compenser l'influence de la température. Le ou les pixels de référence sont de préférence des pixels qui reçoivent ledit au moins un signal de commande mais dans lesquels l'éclairement est 20 simulé par injection d'un courant correspondant à un certain niveau d'illumination, ce ou ces pixels de référence étant masqués de la lumière incidente. La modulation de la commande de l'élément de conversion tend à maintenir inchangée la réponse du ou des pixels de référence. La même commande que celle appliquée au(x) pixel(s) de référence est appliquée aux pixels actifs, exposés à la lumière pour la formation de l'image..

25 D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention ressortiront à la lecture de la description détaillée qui va suivre, d'exemples de mise en oeuvre non limitatifs de celle-ci, et à l'examen du dessin annexé, sur lequel : - Les figures 1 à 4, précédemment décrites, illustrent l'état de la technique, - la figure 5 est un schéma électronique d'un pixel selon l'invention, 30 - la figure 6 illustre l'utilisation d'un transistor CMOS pour réaliser l'élément de conversion non-linéaire, 3037205 9 - la figure 7 représente la tension de cathode de la photodiode en fonction du courant photoélectrique, - les figures 8 et 9 illustrent la charge stockée dans la photodiode correspondant à deux tensions Vpin différentes, 5 - la figure 10 illustre l'évolution de la réponse de la charge QPD d'un pixel en fonction de la variation de la tension de grille VG ou de la tension Vpin, - les figures 11 et 12 sont des vues analogues aux figures 8 et 9, mais correspondant à deux températures différentes de fonctionnement du pixel, - la figure 13 illustre la variation de la réponse d'un pixel en fonction de la 10 température, - la figure 14 illustre l'abaissement de la quantité de charge stockée en fonction de la tension de grille, en fonction du niveau d'illumination, par l'effet de la température, - la figure 15 illustre la variation de la réponse du capteur en fonction de la 15 tension de grille VG, - la figure 16 illustre l'injection d'un courant au sein d'un pixel de référence, - la figure 17 représente un exemple de traitement des signaux issus des pixels de référence du capteur à l'aide d'une boucle de régulation, - la figure 18 illustre la relation entre ID et VGS en présence du phénomène 20 DIBL, - la figure 19 illustre la modulation du courant ID et de la tension Vs par le phénomène DIBL, - la figure 20 illustre l'utilisation d'un transistor bipolaire pour réaliser l'élément de conversion, 25 - les figures 21 à 27 représentent des exemples de réalisation de structures de pixel, - la figure 28 est un chronogramme de lecture d'un pixel, - la figure 29 illustre la possibilité d'associer plusieurs photodiodes à un même noeud capacitif, 30 - la figure 30 illustre la possibilité de réaliser une structure tampon dans un pixel, et - la figure 31 représente un exemple de capteur optique selon l'invention.

3037205 10 La figure 31 représente un exemple de capteur 100 selon l'invention. Ce capteur 100 comporte de façon conventionnelle une matrice (N lignes et M colonnes) de pixels actifs 10 et un ou plusieurs pixels de référence 10' protégés de la lumière incidente. Le ou les pixels 10' sont identiques aux pixels actifs 10, mis à part le fait qu'il sont 5 protégés de la lumière incidente, et qu'un niveau d'éclairement non nul est simulé par injection d'un courant, comme expliqué plus loin. Le capteur 100 peut comporter des moyens permettant d'adresser les pixels, tels qu'un contrôleur de ligne 101 et des circuits de lecture 102 et de balayage colonne 103, de façon classique, ainsi qu'un circuit d'interface 105. Le contrôleur de ligne 101 génère 10 des signaux de contrôle pour chaque ligne sélectionnée. Pour chaque ligne sélectionnée, le chronogramme de la figure 2 peut être appliqué. L'ensemble de sortie de cette ligne sélectionnée entre dans le circuit de lecture 102 où les doubles lectures sont traitées. Ce circuit est contrôlé par le circuit de balayage de colonne permettant de lire les pixels. Le circuit de lecture peut être soit analogique soit numérique où une conversion analogique- 15 numérique est incorporée. Conformément à un aspect avantageux de l'invention, le capteur peut comporter un circuit 106 de compensation de la température. Le pixel ou groupe de pixels de référence 10' reçoit les mêmes signaux de contrôle et génère un signal de sortie qui est traité dans le circuit de compensation en comparant avec un niveau de référence prédéfini.

20 Ce circuit génère un signal de pilotage vers tous les pixels, y compris le ou les pixels de référence, afin de compenser la variation de réponse du pixel en fonction de la température, ainsi que cela sera expliqué plus en détail par la suite. Pour des applications où la variation de la réponse de pixel en fonction de la température est tolérée, il est possible de supprimer ce circuit de compensation ainsi que le 25 ou les pixels de référence. Dans ce cas, un signal électrique fixe est appliqué aux pixels dans la matrice. L'exemple d'un tel cas est un capteur monté sur un TEC (thermal electric cooler) régulé en température. Ce signal de commande fixe vise par exemple à conserver une progression linéaire à la réponse du capteur aux bas niveaux de lumière, en fonction des applications visées.

30 L'invention n'est pas limitée à un nombre de pixels particulier ni à un agencement des pixels sous forme matricielle ; les pixels peuvent être réduits à une ligne ; à la limite, le capteur peut ne comporter qu'un seul pixel actif 3037205 11 La figure 5 représente de façon schématique un exemple de pixel 10 d'un capteur optique selon l'invention. Ce pixel 10 comporte une photodiode 11, de préférence enterrée, qui est connectée à un élément de conversion courant-tension non-linéaire 12, de préférence ayant 5 une relation courant-tension proche d'une fonction logarithmique, notamment aux forts éclairements afin de générer une tension non-linéaire sur la cathode 13 de la photodiode. Un dispositif de transfert de charge 14 vers un dispositif 15 de réception de la charge permet d'avoir accès à la charge stockée dans la photodiode, représentative du niveau d'exposition à la lumière de la photodiode.

10 L'élément de conversion non-linéaire 12 peut être contrôlé par un signal électrique provenant d'un circuit de contrôle non apparent sur la figure 5, tel que produit par le circuit 106 mentionné plus haut, ce signal électrique étant de préférence une fonction de la température de façon à compenser son influence mais pouvant aussi en variante résulter d'une programmation volontaire. Ce circuit de contrôle est préférentiellement 15 intégré sur la même puce que les pixels. Dans un exemple de mise en oeuvre de l'invention, illustré à la figure 6, un transistor MOS constitue l'élément de conversion non-linéaire 12 et le dispositif de transfert de charge 14 est lui aussi constitué par un transistor MOS. Dans un pixel de taille courante allant de quelques microns jusqu'à quelques 20 dizaines de microns, le photo-courant généré par la photodiode est très faible. Par exemple, une photodiode de 101.1m par 101.1m ne génère environ que 10nA avec une illumination directe de 100 Klux. A ce niveau de courant, le transistor de conversion non-linéaire 12 opère en mode sous-seuil (« subthreshold » en anglais). Le courant de drain ID peut alors être 25 exprimé par l'équation suivante : v, vs vo ID = (e VT e VT ) (1) Dans cette équation, VG désigne la tension de grille de l'élément de conversion, Vs la tension de la source, VD la tension du drain, VT = kT/q , k représentant la constante de Bolzmann et T la température absolue et ri est une constante légèrement supérieure à 1.

30 Quand on applique une tension Vd suffisamment grande devant VT et sachant que ri est proche de 1, la formule (1) peut être simplifiée en : 3037205 12 VG-Vs ID = IOe VT Etant donné que Vs = VPD et que ID = Iph±idark, avec ID le courant de drain de l'élément de conversion, Iph le photo-courant et Idark le courant dans l'obscurité, la tension sur la cathode de la photodiode est donnée par la relation : 5 V pD V VG VT10g(1 ph ± I dark) VT log I (2) L'intensité de formation de la charge photoélectrique correspond au photocourant Iph. La figure 7 est une représentation graphique de la tension de cathode de la photodiode en fonction du courant photoélectrique Iph, laquelle est logarithmique, sauf à très faible niveau de lumière. Cette tension décroissante signifie que le nombre d'électrons 10 libres stockés dans la cathode de la photodiode augmente en fonction de l'intensité lumineuse, de façon essentiellement logarithmique si l'on ignore la variation de la capacité de jonction de la photodiode. Cette approximation est valable car la variation de la tension est faible en raison de la compression logarithmique apportée par le transistor de conversion.

15 Quand la photodiode est une photodiode enterrée, les électrons désertent totalement la cathode quand la tension de la cathode atteint la valeur Vpin. La figure 8 illustre le cas où la tension Vpin est inférieure à la tension maximale possible si la photodiode n'est pas une photodiode enterrée. Dans ce cas, quand le photo-courant est en dessous d'un certain niveau et la tension sur la cathode atteint la valeur Vpin, il n'y a plus 20 de charge stockée dans la photodiode. Toute charge photo-électrique est évacuée par le transistor de conversion non-linéaire. Quand la tension Vpin est supérieure à la tension maximale possible sur la source du transistor de conversion non-linéaire, comme illustré à la figure 9, la cathode de la photodiode est chargée à la tension Vpin par le transistor de transfert après un transfert 25 de charge complet. Dans ce cas, la tension de la source du transistor, qui est également la tension de la cathode de la photodiode, est aussi polarisée à la valeur Vpin. D'après la relation (1') ci-dessus, le courant dans le transistor de conversion est quasi-nul. L'excès de courant correspondant à Io idark crée une accumulation de charges dans la photodiode au début de son exposition à la lumière, après le transfert complet de sa charge par le 30 transistor de transfert TX.

3037205 13 Cette accumulation est essentiellement linéaire jusqu'à ce que la tension de la photodiode VPD touche la courbe de réponse non-linéaire fixée par le transistor de conversion où pratiquement toute charge photoélectrique est évacuée par ce transistor de conversion. Ensuite l'évolution de la quantité de charge stockée suit le triangle 5 logarithmique comme dans le cas de la figure 8. Si l'on trace la quantité de charge stockée dans la photodiode en fonction de l'évolution de la tension Vpin et de la tension VG, on obtient une famille de courbes telle qu'illustrée par la figure 10. La valeur maximale possible de la tension de la cathode VPD de la photodiode est conditionnée par la tension VG sur la grille du transistor de conversion 10 selon la relation (3) ci-dessus. La tension Vpin étant fixe par construction, la variation de la tension de grille VG du transistor de conversion provoque une variation de même nature que la variation de la tension Vpp\I mais dans un sens opposé. Une plus grande valeur Vpin ou une plus faible valeur VG créent une réponse initiale essentiellement linéaire suivie par une réponse 15 logarithmique. Il est préférable de créer une réponse non-linéaire ayant une portion initiale linéaire car elle permet de conserver toute la charge photo-électrique à bas niveau de lumière. Le dispositif de réception de charge peut être un noeud de diffusion flottante, comme cela est connu pour un pixel 4T.

20 Avant la lecture de la charge de la photodiode, le noeud capacitif FD est pré- chargé à une tension initiale plus haute que la tension Vpin de la photodiode. Le transistor de transfert TX est actionné ensuite. Une partie de la charge stockée dans la jonction de la photodiode est transférée au noeud capacitif FD via ce transistor de transfert TX. La tension de la photodiode 25 augmente et celle du noeud capacitif FD diminue jusqu'à atteindre un équilibre. La variation de la tension du noeud capacitif FD renseigne sur la quantité de charge transférée de la photodiode vers le noeud capacitif FD. De préférence, la tension initiale du noeud capacitif FD est suffisamment haute pour que la tension sur la photodiode puisse atteindre la tension Vpin à la fin du transfert. Dans ce cas, le transfert est total et la photodiode est 30 complètement vidée de charges mobiles. La tension sur la grille du transistor MOS de conversion peut être choisie pour que quand la tension Vpin est atteinte, le courant dans le transistor MOS de conversion soit 3037205 14 très faible, et idéalement génère moins d'un électron avec le temps de pose utilisé. Après qu'un transfert de charge complet ait eu lieu, un nouveau cycle d'acquisition peut commencer. Dans une variante, comme illustré à la figure 30, le dispositif de réception de 5 charge est une structure tampon PD2 ayant même structure que la photodiode enterrée PD1 et jouant un rôle de mémoire de charge, étant protégée de la lumière incidente par un masque 210. Cette structure tampon PD2 est réalisée avec une tension Vpin plus haute que celle de la photodiode PD1, de façon à permettre l'écoulement de la charge de la photodiode PD1 vers la structure tampon PD2. Elle peut être de plus petite dimensions que 10 la photodiode dont elle reçoit la charge, car elle n'a pas à générer de courant photoélectrique. Cette configuration est utile pour réaliser un capteur dit « snapshot », où les charges respectives de toutes les photodiodes sont transférées simultanément dans les structures tampon associées, lesquelles sont lues ensuite séquentiellement, ce qui évite la déformation de l'image dans le cas d'objets en mouvement. Le transfert de la charge d'une 15 photodiode enterrée PD1 vers la structure tampon associée PD2 peut s'effectuer via un élément de transfert tel qu'un transistor MOS par exemple, commandé par un signal TX1. Le transfert de la charge de la structure tampon PD2 vers un noeud capacitif FD en vue de sa lecture peut être effectué à l'aide d'un autre élément de transfert tel qu'un autre transistor MOS par exemple, commandé par un signal TX2. Le signal TX1 est appliqué à 20 tous les transistors de transfert vers les structures tampon PD2, tandis que le signal TX2 est appliqué séquentiellement. La dépendance thermique de la réponse du pixel de la présente invention, selon l'équation (2) ci-dessus, provient de VT, Io et Idark. Idark peut être négligé car le courant d'obscurité dans une photodiode enterrée 25 peut être réduit à une très faible valeur par un procédé de fabrication moderne. La dépendance de VT avec la température est proportionnelle à la température absolue. Elle peut être corrigée assez facilement avec une correction de gain telle que rencontrée classiquement au sein d'une caméra. Le courant Io du transistor de conversion a une forte dépendance à la 30 température car typiquement il double tous les 6-7°C. Cette variation déforme la courbe de réponse en changeant la tension maximale possible sur la cathode de la photodiode comme le montrent les figures 11 et 12. La quantité de charge stockée dans la photodiode est aussi 3037205 15 impactée par la température, comme illustré sur la figure 13 où l'on voit que l'augmentation de la température réduit la quantité de charge stockée dans la cathode de la photodiode. Enfin, bien que la tension Vpin soit fixée par construction par la structure physique de la photodiode, elle change aussi avec la température T.

5 La figure 10 montre qu'en modulant la tension de grille VG du transistor de conversion, on peut produire le même effet que la variation de la tension Vpin, et la variation de la réponse avec la température, illustrée par la figure 13, peut ainsi être compensée par une modulation adéquate de la tension VG en fonction de la température. La figure 14 montre qu'en baissant la tension de grille VG à VG-dVG quand la 10 température augmente, on peut augmenter la capacité de stockage initiale de charge pour la photodiode et ainsi obtenir la même courbe de réponse. De la formule (3), on peut constater qu'une modulation de la tension de grille VG permet de compenser cette variation si l'on peut garder la somme VG VT*Log Io constante.

15 La figure 15 illustre une possibilité de mise en oeuvre d'une compensation de la température, en utilisant un ou plusieurs pixels de référence, masqués par une couche opaque à la lumière, telle qu'une couche de métal par exemple, comme le ou les pixels 10' précités. On injecte comme illustré à la figure 16 un courant électrique dans la ou les photodiodes de ces pixels de référence en simulant le courant photo-électrique. Ce courant 20 est suffisamment fort pour que ce ou ces pixels de référence travaillent en régime logarithmique. L'injection de ce courant dans la photodiode d'un pixel de référence peut être effectuée à travers une résistance électrique reliée à une source de tension qui génère un courant dans le même sens que le courant photoélectrique généré par la photodiode sous l'effet de son illumination. En variante, cette injection de courant dans la photodiode d'un 25 pixel de référence est effectuée à travers une capacité reliée à une source de tension en rampe qui génère un courant dans le même sens que le courant photoélectrique généré par la photodiode. Ainsi, au lieu de créer un niveau de référence correspondant au niveau noir, on crée un niveau de référence à un certain niveau d'éclairement en simulant électriquement 30 cet éclairement sur le ou les pixels de référence. On évite ainsi les inconvénients liés à l'incidence sur le signal de référence de la lumière parasite, qui est relativement moindre à 3037205 16 un niveau d'éclairement élevé. Le courant injecté simule par exemple un niveau d'éclairement d'au moins 10 000 lux. Toute variation de température décale la transition linéaire-logarithmique et impacte la réponse de ce ou ces pixels de référence. On peut ajuster la tension de grille VG 5 pour que la réponse de ce ou ces pixels de référence soit toujours à un niveau prédéfini, grâce à une boucle de régulation telle qu'illustrée à la figure 17. Cette opération permet de supprimer efficacement la dépendance à la température de la réponse des pixels. On voit sur la figure 17 que les pixels 10 et 10' reçoivent le même signal de commande sur l'élément de conversion, en l'espèce la même tension de grille VG dans l'exemple illustré.

10 Ce signal de commande est généré de façon à maintenir le signal issu des pixels de référence à une valeur de consigne Vconsigne. Dans le cas d'une pluralité de pixels de référence 10', la valeur moyenne issue de ces pixels peut être utilisée comme signal de sortie. Le ou les pixels de référence 10' sont de préférence placés sur le substrat du 15 capteur afin d'avoir une température la plus proche possible de celle des pixels actifs. Plusieurs pixels ou groupes de pixels de référence peuvent être placés à différentes positions sur le capteur afin de bien mesurer la température du substrat. La valeur moyenne des pixels de référence peut être utilisée pour faire cette compensation. La régulation peut se faire de façon analogique. En variante, il est possible 20 d'effectuer une réalisation digitale à l'aide d'un ADC et d'un DAC associés à un processeur de traitement. Dans une variante, la compensation est réalisée à l'aide d'une sonde de température qui fournit la température à un circuit comportant un contrôleur muni d'une mémoire dans laquelle est enregistrée une table de correspondance qui génère directement 25 pour chaque valeur de température une valeur correspondante pour le signal de commande, par exemple la tension de grille VG du transistor de conversion dans l'exemple qui vient d'être décrit en référence à la figure 6. La table de correspondance peut être obtenue au préalable par une phase de calibration. Dans le cas où la température est peu variable lors de l'utilisation du capteur ou 30 dans le cas où la dépendance à la température est tolérée, il est possible d'appliquer une tension de commande fixe sur la grille VG en fonction de la réponse non-linéaire voulue.

3037205 17 Le ou les pixels de référence sont avantageusement utilisés pour effectuer une compensation de la température. L'élément de conversion peut être réalisé de multiples façons, en structure MOS ou bipolaire.

5 Avantageusement, l'élément de conversion fait intervenir dans sa conception, notamment lorsqu'il s'agit d'un transistor MOS, le phénomène dit DIBL (abaissement de barrière induit par le drain, ou « Drain Induced Barrier Lowering »), qui peut être assez prononcé dans un transistor MOS à canal court. Ce même phénomène est observé aussi dans un transistor BJT quand la base est faiblement dopée, par exemple inférieure à 1017 10 atomes par cm3. Ce phénomène est une influence électrostatique du drain sur la source. Une tension plus haute du drain facilite la sortie des électrons depuis la source. Comme le montre la figure 18, l'augmentation de la tension du drain VD équivaut à une augmentation de la tension de grille VG avec la même tension de drain. On peut aussi dire que le phénomène DIBL module le courant Io dans un transistor MOS sous seuil. Cette 15 modulation du courant Io peut annuler la contribution liée à la température et ainsi réaliser une compensation de la réponse d'un pixel selon la présente invention. Dans un procédé de fabrication standard CMOS, le phénomène DIBL est minimisé par des dopages spéciaux dans la structure de transistor. Le chapitre sur la structure MOSFET du livre « Physics of Semiconductor Devices » par S.M. Sze édité par 20 John WILEY and Sons Inc. 1981 donne une description assez détaillée de ces optimisations. Dans le cadre de la présente invention, il est préférable de conserver suffisamment ce phénomène afin de pouvoir créer une compensation du courant dans la plage de variation en température. L'une des méthodes efficaces est de réduire le dopage du substrat sous la grille Par exemple, on peut réduire le dopage du substrat sous la grille à 25 un niveau compris entre 1014 et 1017 atomes par cm3 et d'augmenter la profondeur de dopage pour le drain, par exemple à la même valeur (à 30 % près) que la longueur du canal, sans trop réduire la longueur de canal, la profondeur étant ainsi par exemple comprise entre 0,25 micron et 2 microns. L'avantage de cette approche exploitant le phénomène DIBL est la possibilité 30 de mettre une tension fixe sur la grille et de créer la compensation par la modulation de la tension du drain du transistor de conversion. Dans ce cas, on peut choisir d'utiliser une tension VG égale à zéro pour la grille du transistor de conversion. Une grille polarisée à 3037205 18 OV est avantageusement remplacée par une fine couche 110 de fort dopage du type P en surface, en contact avec le substrat P tel qu'illustré à la figure 19, pour un substrat de type P dans lequel dans la cathode de la photodiode est constituée par un dopage N. La grille virtuelle ainsi constituée ne souffre pas d'une dispersion de la tension 5 de seuil induite par la charge piégée dans l'oxyde de la grille comme dans un transistor conventionnel. Un dopage suffisamment fort est préférable , par exemple supérieur à 1017 atomes par cm3 afin de rendre le niveau de Fermi stable en surface et aussi supprimer le courant de fuite en surface. On peut aussi utiliser un substrat sans dopage supplémentaire pour ce transistor de conversion, c'est-à-dire un transistor dit natif. Le dopage est assuré 10 simplement par le dopage uniforme pendant la fabrication du wafer silicium., le dopage le plus courant étant de 1015 atomes par cm3 La tension de modulation du drain du transistor de conversion peut être générée avec les mêmes méthodes que celles proposées plus haut pour la compensation en jouant sur la tension de grille VG, ici remplacée par une modulation de la tension de drain VD.

15 L'élément de conversion non-linéaire peut être également un transistor bipolaire comme illustre à la figure 20. Dans ce cas, le collecteur est assimilé au drain, la base à la grille et l'émetteur à la source du transistor MOS décrit plus haut. La formule (3) peut être réécrite sous la forme: V pD = VE = VB VT10g(1 ph ± I dark) VT1Og I 0 (4) 20 Avec VE la tension de l'émetteur et VB la tension de la base. Le même mécanisme de compensation s'y applique également, et l'on peut agir sur la tension de la base comme signal de commande, ou mieux jouer sur la tension du collecteur, comme décrit ci-après. La structure illustrée à la figure 21 a) est incompatible avec une photodiode 25 enterrée car il est nécessaire de créer une interconnexion explicite entre l'émetteur et la cathode de la photodiode enterrée. Un contact sur la cathode nécessite qu'une partie de la cathode touche la surface du silicium. La configuration préférée avec une photodiode enterrée est de connecter la base au substrat qui constitue l'anode de la photodiode enterrée, comme illustré à la figure 30 21 b). Dans ce cas, seule la modulation en tension du collecteur permet de créer une compensation en température.

3037205 19 Comme avec une grille virtuelle, le dopage dans la zone de la base est avantageusement faible pour deux raisons. La première est l'intérêt d'avoir un phénomène DIBL relativement prononcé, par exemple supérieur à 50mV/V (1V sur le drain induisant un changement du seuil de 50 mv) pour la compensation de la température. La seconde est 5 que l'on a besoin d'une tension maximale assez élevée sur la cathode de la photodiode afin de pouvoir atteindre la tension Vpin de la photodiode enterrée. Si ce dopage n'est pas faible, on doit travailler avec une tension Vpin très proche de zéro, voire négative, pour obtenir une progression linéaire initiale de la réponse, permettant d'assurer une bonne sensibilité en bas niveau de lumière.

10 Il est intéressant d'utiliser un substrat faiblement dopé réalisé par épitaxie sans dopage supplémentaire pour la base de ce transistor. L'utilisation du dopage natif dans un substrat réalisé par épitaxie donne aussi une meilleure uniformité en dopants dans un capteur faisant appel à ce type de pixel. Il est aussi à noter que le drain ou le collecteur du transistor de conversion non- 15 linéaire est polarisé à une tension haute, typiquement proche de la tension d'alimentation du capteur . Donc la diffusion drain ou du collecteur aspire aussi des électrons créés par la lumière incidente. Cette concurrence réduit le rendement quantique de la photodiode. Un dopage du type P peut former un écran électrostatique repoussant une partie de ces électrons vers la photodiode enterrée.

20 On a représenté sur la figure 22 une réalisation selon l'invention avec un transistor de conversion MOS classique. On peut utiliser comme illustré une diffusion flottante FD pour réceptionner et mesurer la quantité de charge stockée dans la photodiode enterrée, sous éclairement. La partie suiveur de tension pour la lecture de la tension sur la diffusion flottante FD est représentée de façon schématique car elle peut être réalisée 25 facilement avec des transistors conventionnels disponibles dans un procédé de fabrication CMOS classique. On a illustré sur la figure 23 une variante avec un dopage de confinement 140 sous la zone dopée de drain du transistor de transfert et sous celui du transistor de conversion. Ce dopage de confinement est dans l'exemple décrit de type p+, le substrat est 30 de type p. Le dopage de confinement s'étend à une profondeur supérieure à la zone dopée constituant la cathode de la photodiode.

3037205 20 Dans la réalisation illustrée à la figure 24, le signal de commande est constitué par la tension de drain du transistor de conversion. La grille est au même potentiel que le substrat, et elle est qualifiée de grille « virtuelle ». La zone de dopage de surface de la photodiode se prolonge en 115 au-delà de la zone dopée de la photodiode constituant la 5 cathode. Cette réalisation fait appel au phénomène DIBL dans un transistor de conversion à grille virtuelle polarisée à zéro. Afin d'accentuer le phénomène DIBL, le dopage du drain du transistor de conversion est fait avec une profondeur d supérieure à celle des transistors de lecture du pixel, réalisés de façon conventionnelle, notamment du transistor de sélection SEL. Cette profondeur peut être au moins égale à celle de la zone NPD de la photodiode 10 enterrée, comme illustré. La grille virtuelle en dopage P+ se connecte avec la couche de protection 110 de la photodiode enterrée. La zone NPD dopée N de la photodiode enterrée joue le rôle de la source du transistor de conversion. On peut éventuellement laisser un gap 150 entre la grille virtuelle et le drain afin de limiter le courant de fuite dû à l'effet tunnel causé par leur très forte 15 dose de dopage. Un dopage de confinement est avantageusement réalisé sous le drain du transistor de conversion, de même que sous le transistor de transfert. Dans la réalisation, illustrée à la figure 25, qui est relativement compacte, un transistor bipolaire ayant sa base connectée au substrat 169 constitué par l'anode de la 20 photodiode enterrée joue le rôle de l'élément de conversion non-linéaire. Le collecteur 170 du transistor de conversion avec le phénomène DIBL accentué est placé sous la photodiode enterrée Puisque les collecteurs des transistors des différents pixels partagent la même tension, on peut les fusionner ensemble. Le collecteur enterré 170 peut être polarisé pour l'ensemble des pixels via un contact en surface par un dopage n suffisamment profond 25 (non apparent sur la figure 25), traversant le premier substrat P 169. La réalisation illustrée à la figure 26 donne une configuration qui est adaptée à un pixel à éclairement par la face arrière 171. Le transistor de conversion est un transistor bipolaire dont la base est connectée au substrat constitué par l'anode de la photodiode et la compensation de la température se fait par le phénomène DIBL entre le collecteur et la 30 photodiode enterrée (de facto l'émetteur de ce transistor). Dans la réalisation illustrée à la figure 27, le transistor de transfert est un transistor BJT ou MOS à grille virtuelle dont la tension de grille est celle du substrat. On 3037205 21 exploite le phénomène DIBL pour extraire la charge stockée dans la photodiode. Une capacité CX est connectée entre le signal de command du transfert TX et le noeud capacitif FD. Après la réinitialisation du noeud capacitif FD, le signal TX passe à un niveau supérieur. Cette surtension est transmise sur le noeud capacitif FD via la capacité CX et 5 provoque un courant de passage par l'effet DIBL extrême (dit aussi PUNCH THROUGH ou PT). Ce courant permet de transférer la charge de la photodiode enterrée sur la capacité CX. Sur cette figure, la photodiode est éclairée par la face arrière, et la zone dopée constituant la cathode de la photodiode se prolonge par une zone 130 sous le drain 120 du transistor de conversion. La zone de dopage de surface, de type p+ dans le cas d'un 10 substrat de type p, se prolonge également en 115 au-dessus de la zone 130 vers le drain 120, pour supprimer le courant de fuite en surface. L'avantage est que le transfert par PUNCH THROUGH se fait dans le volume du silicium donc la couche P+ peut mieux couvrir la cathode de la photodiode enterrée. Ceci réduit encore le courant d'obscurité. Le procédé de fabrication peut être 15 éventuellement plus simple. Pour toutes ces réalisations, la lecture est faite de la même façon qu'un pixel 4T traditionnel dont le chronogramme des signaux est illustré à la figure 2. La figure 28 donne un chronogramme de fonctionnement applicable à toutes les réalisations. Les réalisations décrites ci-dessus peuvent gagner en compacité en fusionnant 20 le noeud capacitif FD et les transistors impliqués dans la lecture de la tension du noeud capacitif FD. Dans ce cas, plusieurs photodiodes enterrées associées à leur élément de conversion non-linéaire peuvent être connectées sur le même noeud capacitif FD via des transistors de transfert respectifs, comme illustré à la figure 29. Ces différentes photodiodes peuvent être lues séquentiellement, l'une après l'autre, avec le chronogramme 25 de contrôle de la figure 2. Cette technique de compactage est couramment utilisée dans des capteurs d'image à pitch réduit. L'invention n'est pas limitée aux exemples qui viennent d'être décrits. En particulier, les types de porteurs n et p peuvent être inversés, un substrat p devenant un substrat n, un dopant n devenant un dopant p et inversement.

30 Diverses modifications peuvent être apportées aux structures décrites. Par exemple, la réalisation de la figure 24 peut être réalisée sans le dopage de confinement sous le transistor de conversion non linéaire et le transistor de transfert.

Claims (14)

1. REVENDICATIONS1. Capteur optique qui comporte un ou plusieurs pixels (10) à transfert de charge comportant chacun une photodiode générant une charge photoélectrique sous éclairement, un élément de conversion (12) recevant au moins une partie de cette charge photoélectrique et tendant à imposer à la photodiode un potentiel satisfaisant à une relation non linéaire avec l'intensité de génération de la charge photoélectrique, et un élément de transfert de charge (14) pour lire la charge stockée par la photodiode.
2. 2. Capteur selon la revendication 1, la relation non linéaire correspondant à une progression linéaire suivie d'une progression logarithmique.
3. 3. Capteur selon l'une des revendications 1 et 2, l'élément de conversion ayant une conductivité non linéaire dépendant d'au moins un signal de commande qui lui est appliqué.
4. 4. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, l'élément de conversion étant un transistor MOS, le ou les signaux de commande étant appliqués à la grille et/ou au drain du transistor.
5. 5. Capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, l'élément de conversion étant un transistor bipolaire, notamment de type BJT latéral ou BJT vertical, de préférence avec l'émetteur réalisé par la zone dopée correspondant à la cathode de la photodiode et la base correspondant au substrat d'anode de la photodiode, le signal de commande étant appliqué sur le collecteur du transistor.
6. 6. Capteur selon la revendication 4 ou 5, comportant un dopage de confinement étant sous la zone de drain/collecteur.
7. 7. Capteur selon la revendication 4 ou 5, le drain/collecteur du transistor étant formé par un dopage ayant une profondeur supérieure ou égale à celle de transistors de lecture du pixel.
8. 8. Capteur selon l'une des revendications 4 et 5, l'élément de conversion comportant un drain ou collecteur enterré, commun à plusieurs pixels du capteur.
9. 9. Capteur selon la revendication 4 ou 5, la zone dopée correspondant à la cathode de la photodiode se prolongeant au-dessous d'une zone dopée correspondant au drain/collecteur du transistor de conversion. 3037205 23
10. 10. Capteur selon la revendication 9, la photodiode étant éclairée par une face arrière du substrat.
11. 11. Capteur selon l'une quelconque des revendications 3 à 10, ledit au moins un signal de commande étant dépendant de la température. 5
12. 12. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, comportant au moins un pixel de référence ayant même structure que le ou les pixels illuminés, protégé de la lumière incidente et recevant une injection de charges simulant une condition d'éclairement.
13. 13. Capteur selon les revendications 3 et 12, ledit au moins un signal de 10 commande étant asservi au signal de sortie du pixel de référence ou d'un groupe de pixels de référence, afin de maintenir le signal de sortie du pixel de référence ou de ce groupe de pixels de référence à une valeur constante.
14. 14. Capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, l'élément de transfert de charge étant un transistor MOS.