1 ANALYSEUR DE COUCHE DE POLISSAGE DE TAMPON DE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE ET PROCEDE CORRESPONDANT [0001] La présente invention concerne d'une manière générale le domaine de la fabrication des tampons de polissage mécano-chimique. En particulier, la présente invention concerne un tampon de polissage mécano-chimique, un analyseur de couche de polissage, et des procédés correspondants. [0002] Dans la fabrication des circuits intégrés et d'autres dispositifs électroniques, de multiples couches de matériaux conducteurs, semiconducteurs et diélectriques sont déposées sur ou retirées d'une surface d'une plaquette semi-conductrice. Des couches minces de matériaux conducteurs, semi-conducteurs et diélectriques peuvent être déposées par un certain nombre de techniques de dépôt. Les techniques de dépôt courantes dans les traitements modernes incluent le dépôt physique en phase vapeur (PVD), connu aussi sous le nom de pulvérisation le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et le plaquage électrochimique (ECP). [0003] Quand des couches de matériaux sont successivement déposées et retirées, la surface supérieure de la plaquette devient non plane. Du fait que le traitement subséquent des semi-conducteurs (par exemple la métallisation) exige que la plaquette ait une surface plane, la plaquette doit être aplanie. La planarisation est utile pour retirer une topographie de surface indésirable et les défauts de surface, comme les surfaces rugueuses, les matériaux agglomérés, les détériorations du réseau cristallin, les éraflures et les couches contaminées ou les matériaux contaminés. [0004] La planarisation mécano-chimique, ou polissage mécano- chimique (CMP), est une technique courante utilisée pour aplanir des 30 substrats, comme les plaquettes semi-conductrices. Dans la CMP 3031184 2 conventionnelle, une plaquette est montée sur un ensemble formant support et positionnée en contact avec un tampon de polissage dans un appareil de CMP. L'ensemble formant support applique une pression réglable sur la plaquette, en la pressant contre le tampon de polissage. Le 5 tampon est déplacé (par exemple entraîné en rotation) par rapport à la plaquette par une force d'entraînement externe. En même temps, une composition chimique ("suspension" ou "slurry") ou une autre solution de polissage est introduite entre la plaquette et le tampon de polissage. Ainsi, la surface de la plaquette est polie et rendue plane par l'action chimique et 10 mécanique de la surface du tampon et de la suspension. [0005] Dans le brevet U.S. No. 5 578 362, Reinhardt et al. décrivent un exemple de tampon de polissage connu dans la technique. Le tampon de polissage de Reinhardt comprend une matrice polymérique dans laquelle sont dispersées des microsphères. En général, les microsphères 15 sont combinées et mélangées avec un matériau polymérique liquide et transférées dans un moule pour le durcissement. L'article moulé est ensuite découpé pour former des couches de polissage. Malheureusement, les couches de polissage formées de cette manière peuvent présenter des défauts indésirables qui, lorsqu'ils sont incorporés dans un tampon de 20 polissage, peuvent entraîner des défauts dans un substrat poli avec le tampon. [0006] Une approche revendiquée pour traiter le problème concernant les défauts potentiels dans les couches de polissage de tampons de polissage mécano-chimique est décrite par Park et al. dans le 25 brevet U.S. No. 7 027 640. Park et al. décrivent un appareil pour détecter ou inspecter les défauts sur un tampon destiné à être utilisé pour réaliser le polissage mécano-chimique d'une plaquette, comprenant: un dispositif d'entraînement de tampon pour charger le tampon sur lui et déplacer le tampon; un appareil photographique installé de manière à faire face au tampon pour convertir une image du tampon en un signal électrique et 3031184 3 émettre le signal électrique converti; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour convertir le signal électrique transmis par l'appareil photographique en un signal numérique; et une unité de traitement de données d'image pour traiter les données d'image et 5 détecter les défauts sur le tampon, où l'unité de traitement de données d'image calcule une ou plusieurs valeurs caractéristiques quantitatives de lumière sur la base des données d'image sur l'un quelconque des points qui sont acquis par le dispositif d'acquisition de données d'image, et détermine un emplacement sur le tampon, où une différence entre une 10 valeur de niveau obtenue en combinant une ou plusieurs des valeurs caractéristiques quantitatives acquises et une valeur de niveau obtenue à partir d'une surface normale du tampon est supérieure à une valeur prédéterminée, comme étant un défaut. [0007] Néanmoins, l'appareil et le procédé décrits par Park et al. 15 sont conçus pour l'inspection de tampons de polissage mécano-chimique achevés qui sont dans une configuration prête pour le polissage en utilisant la lumière réfléchie. L'utilisation de la lumière réfléchie pour inspecter des tampons de polissage mécano-chimique et les couches de polissage incorporées dans de tels tampons, en particulier, présente des 20 inconvénients sensibles. L'utilisation de la lumière réfléchie a une capacité limitée pour identifier les défauts situés sous la surface dans les couches de polissage incorporées, lesquels défauts ne sont pas proches de la surface de la couche de polissage. Cependant, quand un tampon de polissage mécano-chimique est utilisé, la surface de la couche de 25 polissage s'use progressivement. Ainsi, les défauts qui étaient initialement distants de la surface d'une couche de polissage d'un tampon de polissage mécano-chimique donné se rapprochent progressivement de la surface de polissage pendant la durée de vie utile du tampon. De plus, les tampons de polissage mécano-chimique dans une configuration prête pour le 30 polissage incluent de manière conventionnelle des modifications de la 3031184 4 surface de polissage de la couche de polissage pour faciliter le polissage d'un substrat (par exemple rainures, perforations), lesquelles modifications compliquent la détection automatique des défauts au moyen d'une échelle de gris comme décrit par Park et al. 5 [0008] Ainsi, il subsiste un besoin de procédés améliorés de fabrication de tampons de polissage mécano-chimique comportant peu de défauts ayant des couches de polissage qui utilisent des procédés d'inspection automatiques ayant des capacités accrues d'identification de défauts des couches de polissage. 10 [0009] La présente invention fournit un analyseur de couche de polissage de tampon de polissage mécano-chimique, comprenant: un magasin pour contenir une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de 15 microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de 20 luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de _. 50 nm; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; où le 25 séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté 30 pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 3031184 5 transmis à travers l'épaisseur, T5, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré 5 pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et 10 pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. 15 [0010] La présente invention fournit un procédé pour analyser des feuilles polymériques concernant leur aptitude à être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, comprenant: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de 20 microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; la fourniture d'un système 25 d'inspection automatique, comprenant: une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 50 nm; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et une unité de 30 traitement de données d'image; le transport de la pluralité de feuilles 3031184 6 polymériques, une à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 5 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; où le signal électrique provenant du détecteur de 10 lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour 15 classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. BREVE DESCRIPTION DES DESSINS 20 [0011] La figure 1 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. [0012] La figure 2 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. [0013] La figure 3 représente une vue en coupe transversale d'un 25 tampon de polissage mécano-chimique incorporant, comme couche de polissage, une feuille polymérique.FIELD OF THE INVENTION The present invention generally relates to the field of the manufacture of chemical mechanical polishing pads. BACKGROUND OF THE INVENTION In particular, the present invention relates to a chemical mechanical polishing pad, a polishing layer analyzer, and methods thereof. In the manufacture of integrated circuits and other electronic devices, multiple layers of conductive, semiconductive and dielectric materials are deposited on or removed from a surface of a semiconductor wafer. Thin layers of conductive, semiconductor and dielectric materials can be deposited by a number of deposition techniques. Depositing techniques common in modern processes include physical vapor deposition (PVD), also known as chemical vapor deposition (CVD) sputtering, plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD), and electrochemical plating (ECP). When layers of materials are successively deposited and removed, the upper surface of the wafer becomes non-planar. Since the subsequent processing of the semiconductors (eg metallization) requires the wafer to have a flat surface, the wafer must be flattened. Planarization is useful for removing undesirable surface topography and surface defects, such as rough surfaces, agglomerated materials, crystal lattice damage, scrapes and contaminated layers or contaminated materials. [0004] Mechano-chemical planarization, or chemical mechanical polishing (CMP), is a common technique used to flatten substrates, such as semiconductor wafers. In the conventional CMP 3031184 2, a wafer is mounted on a support assembly and positioned in contact with a polishing pad in a CMP apparatus. The support assembly applies an adjustable pressure to the wafer, pressing it against the polishing pad. The pad is moved (e.g. rotated) relative to the wafer by an external drive force. At the same time, a chemical composition ("suspension" or "slurry") or other polishing solution is introduced between the wafer and the polishing pad. Thus, the surface of the wafer is polished and made flat by the chemical and mechanical action of the surface of the pad and the slurry. In U.S. Patent No. 5,578,362, Reinhardt et al. describe an example of a polishing pad known in the art. The Reinhardt polishing pad comprises a polymeric matrix in which microspheres are dispersed. In general, the microspheres are combined and mixed with a liquid polymeric material and transferred to a mold for curing. The molded article is then cut to form polishing layers. Unfortunately, the polishing layers formed in this manner may have undesirable defects which, when incorporated in a polishing pad, may cause defects in a polished substrate with the pad. [0006] One approach claimed to address the problem of potential defects in polishing layers of chemical mechanical polishing pads is described by Park et al. in U.S. Patent No. 7,027,640. Park et al. disclose an apparatus for detecting or inspecting defects on a pad for use in electrochemical polishing of a wafer, comprising: a pad drive for loading the pad onto it and moving the pad; a camera mounted to face the pad to convert an image of the pad into an electrical signal and output the converted electrical signal; a digital image data acquisition device for converting the electrical signal transmitted by the camera into a digital signal; and an image data processing unit for processing the image data and detecting defects on the buffer, wherein the image data processing unit calculates one or more quantitative characteristic values of light on the basis of image data on any of the points that are acquired by the image data acquisition device, and determines a location on the buffer, where a difference between a level value obtained by combining one or more of the acquired quantitative characteristic values and a level value obtained from a normal surface of the buffer is greater than a predetermined value as a defect. Nevertheless, the apparatus and method described by Park et al. 15 are designed for inspection of finished chemical mechanical polishing pads which are in a polishing ready configuration using reflected light. The use of reflected light for inspecting chemical-mechanical polishing pads and the polishing layers incorporated in such buffers, in particular, has significant disadvantages. The use of reflected light has a limited ability to identify sub-surface defects in embedded polishing layers, which defects are not close to the surface of the polishing layer. However, when a chemical mechanical polishing pad is used, the surface of the polishing layer gradually wears out. Thus, defects that were initially distant from the surface of a polishing layer of a given chemical-mechanical polishing pad are progressively closer to the polishing surface during the useful life of the pad. In addition, the chemical mechanical polishing pads in a polishing-ready configuration conventionally include modifications to the polishing surface of the polishing layer to facilitate polishing of a substrate (eg, grooves, perforations, etc.). ), which modifications complicate the automatic detection of defects by means of a gray scale as described by Park et al. [0008] Thus, there remains a need for improved methods of making low-defect chemical-mechanical polishing pads having polishing layers that utilize automated inspection methods having increased capabilities for identifying defects in the layers. polishing. The present invention provides a chemical mechanical polishing pad polishing layer analyzer, comprising: a magazine for holding a plurality of polymeric sheets, wherein each polymeric sheet (i) comprises: a polymer and microelement composite comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; and (ii) has a thickness, Ts, between a transmission surface and an incident surface; where the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; a sequencer; a light source, wherein the light source emits a beam having a luminescence spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm and a half-height width, LMH, of _. 50 nm; a light detector; a digital image data acquisition device coupled to the light detector; and an image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device; wherein the sequencer is configured to extract from the magazine and transport the plurality of polymeric sheets, one polymeric sheet at a time, to a position disposed between the light source and the light detector; where the beam emitted by the light source is oriented to strike the incident surface; and wherein the light detector is oriented to detect transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, T5, and from the transmission surface; wherein the light detector is configured to convert an intensity of the transmitted light into an electrical signal; wherein the digital image data acquisition device coupled to the light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; wherein the image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device to detect macro-inhomogeneities and to classify the polymeric sheets as acceptable for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; wherein the plurality of polymeric sheets is divided into an acceptable leaf population and a suspicious leaf population. The present invention provides a method for analyzing polymeric sheets as to their suitability for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, comprising: providing a plurality of polymeric sheets, wherein each polymeric sheet (i) comprises: a polymer and microelement composite, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; and (ii) has a thickness, Ts, between a transmission surface and an incident surface; where the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; providing an automatic inspection system, comprising: a light source, wherein the light source emits a beam having a luminescence spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm and a mid-height width, LMH, 50 nm; a light detector; a digital image data acquisition device; and an image data processing unit; transporting the plurality of polymeric sheets, one at a time, between the light source and the light detector; where the beam emitted by the light source is oriented to strike the incident surface; and wherein the light detector is oriented to detect transmitted light from the beam which is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface; where the transmitted light has at least one detectable property; wherein the at least one detectable property includes an intensity of the transmitted light; where the intensity of the transmitted light is converted into an electrical signal by the light detector; wherein the electrical signal from the light detector is converted to a digital signal by the digital image data acquisition device; and wherein the digital signal from the digital image data acquisition device is processed by the image data processing unit, wherein the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities and to classify the polymeric sheets as acceptable or suspect; and wherein the plurality of polymeric sheets is divided into an acceptable leaf population and a suspicious leaf population. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS [0011] Fig. 1 shows a perspective view of a polymeric sheet. Figure 2 shows a perspective view of a polymeric sheet. [0013] FIG. 3 is a cross-sectional view of a chemical mechanical polishing pad incorporating, as a polishing layer, a polymeric sheet.
3031184 7 DESCRIPTION DETAILLEE [0014] Le procédé de la présente invention fournit une amélioration significative dans la qualité des tampons de polissage mécano-chimique terminés (prêts à l'emploi). Le procédé de la présente invention améliore 5 largement les aspects de contrôle de la qualité de la production des tampons de polissage mécano-chimique utilisant des feuilles polymériques formées à partir d'un composite de polymère et de microéléments comprenant un polymère et une pluralité de microéléments dispersés dans le polymère en réalisant une première inspection des feuilles polymériques 10 pour identifier les feuilles acceptables parmi une pluralité de feuilles polymériques et en cartographiant les surfaces de transmission de feuilles suspectes pour faciliter l'inspection visuelle ciblée des parties des feuilles suspectes contenant des macro-inhomogénéités. De cette manière, la fatigue des opérateurs est largement réduite (c'est-à-dire que les 15 opérateurs ne sont pas contraints de passer de longues heures à observer les feuilles polymériques acceptables pour localiser des macroinhomogénéités). Ainsi, ceci permet aux opérateurs de porter une plus grande attention là où elle est la plus importante (c'est-à-dire l'évaluation d'inhomogénéités spécifiques dans les feuilles polymériques pour 20 déterminer leur aptitude à l'emploi). [0015] Le terme "poly(uréthane)" tel qu'il est utilisé ici englobe (a) les polyuréthanes formés par la réaction de (i) des isocyanates et (ii) des polyols (y compris des diols); et (b) un poly(uréthane) formé par la réaction de (i) des isocyanates avec (ii) des polyols (y compris des diols) 25 et (iii) de l'eau, des amines ou une combinaison d'eau et d'amines. [0016] Le terme "épaisseur moyenne de feuille polymérique, Ts-avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) ayant une surface de transmission (14) et une surface d'incidence (17) signifie la moyenne de l'épaisseur, Ts, de la feuille polymérique (20) 30 mesurée dans une direction perpendiculaire au plan (28) de la surface de 3031184 8 transmission (14), de la surface de transmission (14) à la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20). (Voir Figure 3). [0017] Le terme "épaisseur moyenne de couche de base, TB- avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-5 chimique (110) ayant un sous-tampon (125) comportant une interface avec une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de l'épaisseur, TB, du sous-tampon (125) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface inférieure 10 (127) du sous-tampon (125) à la surface supérieure (126) du sous-tampon (125). (Voir Figure 3). [0018] Le terme "épaisseur totale moyenne, Tr.avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-chimique (110) ayant une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage 15 (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de l'épaisseur, TT, du tampon de polissage mécano-chimique (110) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface de polissage (114) à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125). (Voir Figure 3). 20 [0019] Le terme "section droite sensiblement circulaire" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) signifie que le plus grand rayon, r, de la feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20), depuis un axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille 25 polymérique (20) est 5_ 20% plus long que le plus petit rayon, r, de la feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20) depuis l'axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille polymérique (20). (Voir Figures 1 & 2). 303 1 1 8 4 9 [0020] Le terme "sensiblement parallèle" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) signifie que l'axe central, A, (et toutes les parallèles à celui-ci) perpendiculaire à un plan (30) de la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20) rencontrera un 5 plan (28) de la surface de transmission (14) sous un angle, y; où l'angle, y, est entre 89 et 91°. (Voir Figures 1 & 2). [0021] Le terme "macro-inhomogénéité" tel qu'il est utilisé ici signifie une région localisée sur la surface de transmission d'une feuille polymérique entourée par une région adjacente sur la surface de 10 transmission de la feuille polymérique, où l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région localisée est supérieure .ou inférieure à l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région adjacente d'une quantité k 0 , 1 % de la plage d'intensités détectable du détecteur de lumière; et où la région localisée englobe une partie de la surface de 15 transmission suffisamment grande pour occlure un cercle ayant un diamètre de 15,875 mm dans le plan de la surface de transmission. [0022] Le terme "défaut de densité" tel qu'il est utilisé ici désigne une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une concentration de microéléments sensiblement réduite par rapport à la 20 région environnante de la feuille polymérique. Les défauts de densité présentent une transparence nettement plus élevée (c'est à dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0023] Le terme "soufflure" tel qu'il est utilisé ici désigne une 25 macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une inclusion d'air qui conduit à une transparence nettement plus élevée (c'est-à-dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0024] Le terme "défaut d'inclusion" tel qu'il est utilisé ici désigne 30 une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant un 3031184 10 contaminant étranger qui conduit à une transparence nettement plus basse (c'est-à-dire une plus faible intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0025] De préférence, l'analyseur de couche de polissage de tampon 5 de polissage mécano-chimique de la présente invention comprend: un magasin pour contenir une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le 10 polymère; et (ii) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 15 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5. 50 nm (de préférence, 5_ 40 nm; de préférence encore, 5. 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm); un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données 20 d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de 25 lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une 30 intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif 3031184 11 d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image 5 numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la 10 pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. [0026] De préférence, les feuilles polymériques comprennent un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont 15 dispersés dans le polymère. De préférence, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère dans un motif. De préférence encore, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de 20 microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère dans un motif choisi dans le groupe consistant en un motif uniforme et un motif en gradient. De manière particulièrement préférable, le composite de polymère et de microéléments comprend un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont 25 uniformément dispersés dans le polymère. De préférence, le composite de polymère et de microéléments est préparé au moyen d'un prépolymère liquide, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le prépolymère liquide; et où le prépolymère liquide est durci pour former le polymère. 3031184 12 [0027] De préférence, le prépolymère liquide se polymérise (c'est à dire durcit) pour former un matériau choisi parmi un poly(uréthane), une polysulfone, une polyéther sulfone, un nylon, un polyéther, un polyester, un polystyrène, un polymère acrylique, une polyurée, un polyamide, un 5 poly(chlorure de vinyle), un poly(fluorure de vinyle), un polyéthylène, un polypropylène, un polybutadiène, une polyéthylèneimine, un polyacrylonitrile, un poly(oxyde d'éthylène), une polyoléfine, un poly(alkyl)acrylate, un poly(alkyl)méthacrylate, un polyamide, un polyétherimide, une polycétone, un époxyde, un silicone, un polymère formé à partir 10 d'éthylène propylène diène monomère, une protéine, un polysaccharide, un polyacétate et une combinaison d'au moins deux des précédents. De préférence, le prépolymère liquide se polymérise pour former un matériau comprenant un poly(uréthane). De préférence encore, le prépolymère liquide se polymérise pour former un matériau comprenant un 15 polyuréthane. De manière particulièrement préférable, le prépolymère liquide se polymérise (durcit) pour former un polyuréthane. [0028] De préférence, le prépolymère liquide comprend un matériau contenant un polyisocyanate. De préférence encore, le prépolymère liquide comprend le produit de la réaction d'un polyisocyanate (par 20 exemple, un diisocyanate) et d'un matériau hydroxyle. [0029] De préférence, le polyisocyanate est choisi parmi le méthylène-bis-4,4'-cyclohexyl-isocyanate; le cyclohexyldiisocyanate; l'isophoronediisocyanate; l'hexaméthylènediisocyanate; le propylène-1,2diisocyanate; le tétraméthylène-1,4-diisocyanate; le 1,6-hexaméthylène- 25 diisocyanate; diisocyanate; diisocyanate; cyclohexane; le dodécane-1,12-diisocyanate; le le cyclohexane-1,3-diisocyanate; le le 1-isocyanato-3,3,5-triméthy1-5- le méthylcyclohexylènediisocyanate; cyclobutane-1,3- cyclohexane-1,4- isocyanatométhylle triisocyanate 2,4,4-triméthy1-1,6- d'hexaméthylènediisocyanate; le triisocyanate de 30 hexanediisocyanate; l'uretdione d'hexaméthylène-diisocyanate; l'éthylène- 3031184 13 diisocyanate; le 2,2,4-triméthylhexa méthylène diisocyanate; le 2,4,4-tri méthylhexaméthylènediisocyanate; le dicyclohexylméthane- diisocyanate; et leurs combinaisons. De manière particulièrement préférable, le polyisocyanate est aliphatique et a moins de 14 pourcent de 5 groupes isocyanate qui n'ont pas réagi. [0030] De préférence, le matériau hydroxylé utilisé dans la présente invention est un polyol. Les exemples de polyols incluent, par exemple, les polyéther polyols, le polybutadiène terminé par hydroxyle (y compris les dérivés partiellement et totalement hydrogénés), les polyester polyols, les 10 polycaprolactone polyols, les polycarbonate polyols, et leurs mélanges. [0031] Les polyols préférés incluent les polyéther polyols. Les exemples de polyéther polyols incluent le polytétraméthylène éther glycol ("PTMEG"), le polyéthylène propylène glycol, le polyoxypropylène glycol, et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons 15 saturées ou insaturées et des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. De préférence, le polyol de la présente invention inclut du PTMEG. Les polyester polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, le polyéthylène adipate glycol; le polybutylène adipate glycol; le polyéthylène propylène adipate glycol; le o-phtalate-1,6-hexanediol; le 20 poly(hexaméthylène adipate) glycol; et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées ou des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. Les polycaprolactone polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, la polycaprolactone initiée par le 1,6-hexanediol; la polycaprolactone initiée 25 par le diéthylèneglycol; la polycaprolactone initiée par le triméthylol- propane; la polycaprolactone initiée par le néopentylglycol; la polycaprolactone initiée par le 1,4-butanediol; la polycaprolactone initiée par le PTMEG; et leurs mélanges. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées, ou des groupes aromatiques et cycliques 30 substitués ou non substitués. Les polycarbonates appropriés incluent, mais 3031184 14 ne sont pas limités à, le polyphtalate carbonate et le poly(hexaméthylène carbonate) glycol. [0032] De préférence, la pluralité de microéléments sont choisis parmi les bulles de gaz piégées, les matériaux polymériques à noyau creux 5 (c'est à dire les microsphères), les matériaux polymériques à noyau creux remplis de liquide, les matériaux solubles dans l'eau (par exemple, cyclodextrine) et un matériau en phase insoluble (par exemple, huile minérale). De préférence, la pluralité de microéléments sont des microsphères, comme des poly(alcools vinyliques), la pectine, la polyvinyl- 10 pyrrolidone, l'hydroxyéthylcellulose, la méthylcellulose, l'hydropropylméthylcellulose, la carboxyméthylcellulose, l'hydroxypropylcellulose, les poly(acides acryliques), les polyacrylamides, les polyéthylèneglycols, les polyhydroxyétheracrylites, les amidons, les copolymères de l'acide maléique, le poly(oxyde d'éthylène), les polyuréthanes, la cyclodextrine et 15 leurs combinaisons (par exemple, ExpancelTM de Akzo Nobel de Sundsvall, Suède). Les microsphères peuvent être modifiées chimiquement pour changer la solubilité, le gonflement et d'autres propriétés par ramification, blocage et réticulation, par exemple. De préférence, les microsphères ont un diamètre moyen qui est inférieur à 150 pim, et de préférence encore un 20 diamètre moyen inférieur à 50 lm. De manière particulièrement préférable, les microsphères 48 ont un diamètre moyen qui est inférieur à 15 lm. On notera que le diamètre moyen des microsphères 48 peut être amené à varier et qu'il est possible d'utiliser différentes tailles ou différents mélanges de différentes microsphères. Un matériau particulièrement 25 préféré pour les microsphères est un copolymère d'acrylonitrile et de chlorure de vinylidène (par exemple, Expancel® disponible auprès de Akzo Nobel). [0033] Le prépolymère liquide utilisé dans le procédé de la présente invention comprend en outre éventuellement un agent de durcissement.DETAILED DESCRIPTION [0014] The method of the present invention provides a significant improvement in the quality of finished chemical mechanical polishing pads (ready for use). The method of the present invention greatly improves the quality control aspects of the production of chemical mechanical polishing pads using polymeric sheets formed from a polymer and microelement composite comprising a polymer and a plurality of microelements. dispersed in the polymer by performing a first inspection of the polymeric sheets to identify acceptable sheets from a plurality of polymeric sheets and mapping suspicious leaf transmission surfaces to facilitate targeted visual inspection of suspect leaf portions containing macro-sheets. inhomogeneities. In this way, operator fatigue is greatly reduced (i.e., operators are not forced to spend long hours observing acceptable polymeric sheets to locate macroinomogeneities). Thus, this allows the operators to pay more attention where it is most important (ie the evaluation of specific inhomogeneities in the polymeric sheets to determine their suitability for use). [0015] The term "polyurethane" as used herein includes (a) polyurethanes formed by the reaction of (i) isocyanates and (ii) polyols (including diols); and (b) a polyurethane formed by the reaction of (i) isocyanates with (ii) polyols (including diols) and (iii) water, amines or a combination of water and amines. The term "polymeric sheet average thickness, Ts-avg" as used herein with reference to a polymeric sheet (20) having a transmission surface (14) and an incidence surface (17) means the average thickness, Ts, of the polymeric sheet (20) measured in a direction perpendicular to the plane (28) of the transmission surface (14), of the transmission surface (14) at the surface of the incidence (17) of the polymeric sheet (20). (See Figure 3) The term "base layer average thickness, TB-avg" as used herein with reference to a chemical-mechanical polishing pad (110) having a sub-pad (125) having an interface therewith a polymeric sheet incorporated as a polishing layer (120) having a polishing surface (114) means the average of the thickness, TB, of the sub-pad (125) measured in a direction perpendicular to the polishing surface (114), from the lower surface (127) of the sub-pad (125) to the upper surface (126) of the sub-pad (125). (See Figure 3) The term "average total thickness, Tr.avg" as used herein with reference to a chemical mechanical polishing pad (110) having a polymeric sheet incorporated as a polishing layer (120) having a surface area. method (114) means the average thickness, TT, of the chemical-mechanical polishing pad (110) measured in a direction perpendicular to the polishing surface (114), from the polishing surface (114) to the surface lower (127) of the sub-buffer (125). (See Figure 3) The term "substantially circular cross-section" as used herein with reference to a polymeric sheet (20) means that the largest radius, r, of the polymeric sheet (20) projected on the plane (28) ) of the transmission surface (14) of the polymeric sheet (20) from a central axis A to the outer perimeter (15) of the polymeric sheet (20) is 5% longer than the smallest radius, r, of the polymeric sheet (20) projected on the plane (28) of the transmission surface (14) of the polymeric sheet (20) from the central axis, A, to the outer perimeter (15) of the polymeric sheet (20). (See Figures 1 & 2) The term "substantially parallel" as used herein with reference to a polymeric sheet (20) means that the central axis, A, (and all parallels thereto) perpendicular to a plane (30) of the incident surface (17) of the polymeric sheet (20) will meet a plane (28) of the transmission surface (14) at an angle, y; where the angle, y, is between 89 and 91 °. (See Figures 1 & 2) [0021] The term "macro-inhomogeneity" as used herein means a region located on the transmission surface of a polymeric sheet surrounded by an adjacent region on the transmission surface of the polymeric sheet, where the detected intensity of the light transmitted through the localized region is greater than or less than the detected intensity of the light transmitted through the adjacent region by an amount of 0.1% of the detectable intensity range of the light detector ; and wherein the localized region includes a portion of the transmission area large enough to occlude a circle having a diameter of 15.875 mm in the plane of the transmission surface. [0022] The term "density defect" as used herein refers to macro-inhomogeneity in a polymeric sheet having a substantially reduced concentration of microelements relative to the surrounding region of the polymeric sheet. The density defects have a much higher transparency (i.e., greater detected intensity of the transmitted light) than the surrounding region of the polymeric sheet. [0023] The term "blister" as used herein refers to macro-inhomogeneity in a polymeric sheet having an inclusion of air which leads to a significantly higher transparency (i.e., greater detected intensity of the transmitted light) than the surrounding region of the polymeric sheet. [0024] The term "inclusion defect" as used herein refers to macro-inhomogeneity in a polymeric sheet having a foreign contaminant which leads to a significantly lower transparency (i.e. a lower detected intensity of the transmitted light) than the surrounding region of the polymeric sheet. [0025] Preferably, the chemical mechanical polishing pad polishing layer analyzer of the present invention comprises: a magazine for holding a plurality of polymeric sheets, wherein each polymeric sheet (i) comprises: a polymer composite and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; and (ii) has a thickness, Ts, between a transmission surface and an incident surface; where the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; a sequencer; a light source, wherein the light source emits a beam having a luminescence spectrum having an emission peak wavelength of from 460 to 490 nm (preferably from 460 to 480 nm, more preferably from 460 to 470 nm, particularly preferably 463 to 467 nm) and a mid-height width, LMH, of 5.50 nm (preferably 5 to 40 nm, more preferably 5 to 35 nm; particularly preferably 5 nm); a light detector; a digital image data acquisition device coupled to the light detector; and an image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device; wherein the sequencer is configured to extract from the magazine and transport the plurality of polymeric sheets, one polymeric sheet at a time, to a position disposed between the light source and the light detector; where the beam emitted by the light source is oriented to strike the incident surface; and wherein the light detector is oriented to detect transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface; wherein the light detector is configured to convert an intensity of the transmitted light into an electrical signal; wherein the digital image data acquisition device coupled to the light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; wherein the image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device to detect macro-inhomogeneities and to classify the polymeric sheets as acceptable for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; wherein the plurality of polymeric sheets is divided into an acceptable leaf population and a suspicious leaf population. [0026] Preferably, the polymeric sheets comprise a polymer and microelement composite, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer. Preferably, the polymer and microelement composite comprises a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer in a pattern. More preferably, the polymer and microelement composite comprises a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer in a pattern selected from the group consisting of a uniform pattern and a gradient pattern. Most preferably, the polymer and microelement composite comprises a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are uniformly dispersed in the polymer. Preferably, the polymer and microelement composite is prepared using a liquid prepolymer, wherein the plurality of microelements are dispersed in the liquid prepolymer; and wherein the liquid prepolymer is cured to form the polymer. Preferably, the liquid prepolymer polymerizes (i.e. cures) to form a material selected from polyurethane, polysulfone, polyether sulfone, nylon, polyether, polyester, polystyrene, an acrylic polymer, a polyurea, a polyamide, a polyvinyl chloride, a polyvinyl fluoride, a polyethylene, a polypropylene, a polybutadiene, a polyethyleneimine, a polyacrylonitrile, a poly (vinyl ether), ethylene), a polyolefin, a poly (alkyl) acrylate, a poly (alkyl) methacrylate, a polyamide, a polyetherimide, a polyketone, an epoxide, a silicone, a polymer formed from ethylene propylene diene monomer, a protein , a polysaccharide, a polyacetate and a combination of at least two of the foregoing. Preferably, the liquid prepolymer polymerizes to form a material comprising polyurethane. More preferably, the liquid prepolymer polymerizes to form a material comprising a polyurethane. Particularly preferably, the liquid prepolymer polymerizes (cures) to form a polyurethane. [0028] Preferably, the liquid prepolymer comprises a material containing a polyisocyanate. More preferably, the liquid prepolymer comprises the reaction product of a polyisocyanate (for example, a diisocyanate) and a hydroxyl material. Preferably, the polyisocyanate is chosen from methylene-bis-4,4'-cyclohexyl-isocyanate; cyclohexyldiisocyanate; isophorone diisocyanate; hexamethylene diisocyanate; propylene-1,2-diisocyanate; tetramethylene-1,4-diisocyanate; 1,6-hexamethylene diisocyanate; diisocyanate; diisocyanate; cyclohexane; dodecane-1,12-diisocyanate; cyclohexane-1,3-diisocyanate; 1-isocyanato-3,3,5-trimethyl-5-methylcyclohexylenediisocyanate; cyclobutane-1,3-cyclohexane-1,4-isocyanatomethyl triisocyanate 2,4,4-trimethyl-1,6-hexamethylene diisocyanate; hexanediisocyanate triisocyanate; hexamethylene diisocyanate uretdione; ethylene diisocyanate; 2,2,4-trimethylhexa methylene diisocyanate; 2,4,4-tri methylhexamethylenediisocyanate; dicyclohexylmethane diisocyanate; and their combinations. Most preferably, the polyisocyanate is aliphatic and has less than 14 percent unreacted isocyanate groups. [0030] Preferably, the hydroxylated material used in the present invention is a polyol. Examples of polyols include, for example, polyether polyols, hydroxyl terminated polybutadiene (including partially and fully hydrogenated derivatives), polyester polyols, polycaprolactone polyols, polycarbonate polyols, and mixtures thereof. Preferred polyols include polyether polyols. Examples of polyether polyols include polytetramethylene ether glycol ("PTMEG"), polyethylene propylene glycol, polyoxypropylene glycol, and mixtures thereof. The hydrocarbon chain may have saturated or unsaturated bonds and substituted or unsubstituted aromatic and cyclic groups. Preferably, the polyol of the present invention includes PTMEG. Suitable polyester polyols include, but are not limited to, polyethylene adipate glycol; polybutylene adipate glycol; polyethylene propylene adipate glycol; o-phthalate-1,6-hexanediol; poly (hexamethylene adipate) glycol; and their mixtures. The hydrocarbon chain can have saturated or unsaturated bonds or substituted or unsubstituted aromatic and cyclic groups. Suitable polycaprolactone polyols include, but are not limited to, polycaprolactone initiated by 1,6-hexanediol; polycaprolactone initiated by diethylene glycol; polycaprolactone initiated by trimethylolpropane; polycaprolactone initiated by neopentyl glycol; polycaprolactone initiated by 1,4-butanediol; polycaprolactone initiated by PTMEG; and their mixtures. The hydrocarbon chain may have saturated or unsaturated bonds, or substituted or unsubstituted aromatic and cyclic groups. Suitable polycarbonates include, but are not limited to, polyphthalate carbonate and poly (hexamethylene carbonate) glycol. Preferably, the plurality of microelements are chosen from entrapped gas bubbles, hollow core polymer materials (ie microspheres), hollow core polymer materials filled with liquid, soluble materials from water (e.g., cyclodextrin) and insoluble phase material (e.g., mineral oil). Preferably, the plurality of microelements are microspheres, such as polyvinyl alcohols, pectin, polyvinylpyrrolidone, hydroxyethylcellulose, methylcellulose, hydropropylmethylcellulose, carboxymethylcellulose, hydroxypropylcellulose, polyacids, and the like. acrylics), polyacrylamides, polyethylene glycols, polyhydroxyetheracrylites, starches, maleic acid copolymers, polyethylene oxide, polyurethanes, cyclodextrin and combinations thereof (for example, ExpancelTM from Akzo Nobel de Sundsvall, Sweden). The microspheres can be chemically modified to change solubility, swelling and other properties by branching, blocking and crosslinking, for example. Preferably, the microspheres have an average diameter of less than 150 microns, and more preferably an average diameter of less than 50 microns. Particularly preferably, the microspheres 48 have an average diameter that is less than 15 microns. Note that the average diameter of the microspheres 48 can be varied and it is possible to use different sizes or different mixtures of different microspheres. A particularly preferred material for the microspheres is a copolymer of acrylonitrile and vinylidene chloride (for example, Expancel® available from Akzo Nobel). [0033] The liquid prepolymer used in the process of the present invention further optionally comprises a curing agent.
30 Les agents de durcissement préférés incluent les diamines. Les 3031184 15 polydiamines appropriées incluent les amines primaires et les amines secondaires. Les polydiamines préférées incluent, mais ne sont pas limitées à, la diéthyltoluènediamine ("DETDA"); la 3,5-diméthylthio-2,4- toluènediamine et ses isomères; la 3,5-diéthyltoluène-2,4- diamine et ses 5 isomères (par exemple, la 3,5-diéthyl-toluène-2,6-diamine); le 4,4'-bis-(sec-butylamino)-diphénylméthane; le 1,4-bis-(sec-butylamino)- benzène; la 4,4'-méthylène-bis-(2-chloroaniline); la 4,4'-méthylène-bis(3-chloro-2,6-diéthylaniline) ("MCDEA"); le polytétraméthylèneoxyde-di-p- aminobenzoate; un N,N'-dialkyldiamino-diphénylméthane; la 10 p,p'-méthylènedianiline ("MDA"); la m-phénylène-diamine ("MPDA"); la méthylène-bis-2-chloroaniline ("MBOCA"); la 4,4'-méthylène-bis- (2-chloroaniline) ("MOCA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,6-diéthylaniline) ("MDEA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,3-dichloroaniline) ("MDCA"); le 4,4'-diamino-3,3'-diéthyl-5,5'-diméthyldiphénylméthane, le 2,2',3,3'-tétra- 15 chlorodiaminodiphénylméthane; le di-p-aminobenzoate de triméthylène- glycol; et leurs mélanges. De préférence, l'agent de durcissement diamine est choisi parmi la 3,5-diméthyl-thio-2,4-toluènediamine et ses isomères. [0034] Les agents de durcissement peuvent inclure aussi des diols, des triols, des tétraols et des agents de durcissement terminés par 20 hydroxyle. Les diols, triols et tétraols appropriés incluent l'éthylèneglycol; le diéthylèneglycol; le polyéthylèneglycol; le propylèneglycol; le polypropylèneglycol; le polytétraméthylène éther glycol de masse moléculaire relativement faible; le 1,3-bis(2-hydroxyéthoxy)benzène; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]benzène; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxy- 25 éthoxy)éthoxy]éthoxy}benzène; le 1,4-butanediol; le 1,5-pentanediol; le 1,6-hexanediol; le résorcinol-di-(bêta-hydroxyéthyl)éther; l'hydroquinone-di-(bêta-hydroxyéthypéther; et leurs mélanges. Les agents de durcissement terminés par hydroxyle préférés incluent le 1,3-bis(2-hydroxyéthoxy)benzène; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)- 30 éthoxy]benzène; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]éthoxy}- 3031184 16 benzène; le 1,4-butanediol; et leurs mélanges. Les agents de durcissement terminés par hydroxyle et diamine peuvent incluent un ou plusieurs groupes saturés, insaturés, aromatiques et cycliques. De plus, les agents de durcissement terminés par hydroxyle et diamine peuvent 5 incluent un ou plusieurs groupes halogène. [0035] De préférence, dans le procédé de la présente invention, les feuilles polymériques ont une épaisseur moyenne, Ts_avg, de 500 to 5000 pm (de préférence, de 750 à 4000 pm; de préférence encore, de 1000 to 3000 pm; de manière particulièrement préférable, de 1200 to 2100 pm). 10 [0036] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un magasin conçu pour contenir, stocker et distribuer les feuilles polymériques. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 feuilles polymériques (de préférence encore, au moins 15 feuilles polymériques; 15 de préférence encore, au moins 20 feuilles polymériques; de manière particulièrement préférable, au moins 30 feuilles polymériques). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger un certain nombre de feuilles polymériques dans le système d'inspection automatique. Lorsque la pluralité de feuilles polymériques sont chargées 20 dans le magasin, l'opérateur est capable d'accomplir d'autres tâches tandis que le système d'inspection automatique traite et classe la pluralité de feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0037] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un séquenceur configuré 25 pour extraire des feuilles polymériques du magasin, une à la fois, et transporter les feuilles polymériques, une à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; et pour renvoyer les feuilles polymériques, une à la fois, dans le magasin. De préférence, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire. De 3031184 17 préférence encore, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 5 1 dam. [0038] De préférence, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite qui émet un faisceau. De préférence encore, 5 la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite où le faisceau qu'elle émet présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5 50 10 nm (de préférence, 5 40 nm; de préférence encore, 5_ 35 nrry, de manière particulièrement préférable, 5 30 nm). L'homme du métier moyen sera capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système 15 d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. [0039] De préférence, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir la au moins une propriété détectable de la lumière transmise provenant du faisceau qui est 20 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence encore, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De manière particulièrement 25 préférable, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence, le détecteur de lumière est un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au 30 moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un 3031184 18 signal électrique. De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD monochromatiques et les CCD couleurs. De préférence encore, le 5 détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au moins 8) dispositifs convertisseurs optoélectriques. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 20 pm (de 10 préférence, 16 pm) et un champ optique de 100 mm (de préférence, 120 m m ) [0040] Le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur de lumière. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique 15 appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. [0041] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques contenant un composite de microélément et de polymère rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. C'est-à- 20 dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation sous forme de feuilles de polissage dans des 25 tampons de polissage mécano-chimique. [0042] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente invention sont bien connues dans la technique. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique 3031184 19 utilisé dans le procédé de la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. [0043] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par 5 exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0044] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. De préférence, la classification des feuilles polymériques 10 comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. On notera que l'un 15 quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment au détecteur de lumière. Pour les défauts de densité et les soufflures, la 20 région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le 25 tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique 30 fabriqués pour leur polissage. 303 1 1 84 20 [0045] De préférence, dans l'analyseur de la présente invention, l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes 5 inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. [0046] De préférence, dans l'analyseur de la présente invention, 10 l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où un 15 emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné; et où l'analyseur comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission 20 de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macro-inhomogénéité détectée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de 25 transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une inspection visuelle de la feuille sélectionnée. [0047] De préférence, le procédé pour analyser des feuilles 30 polymériques concernant leur aptitude à être utilisées comme couche de 3031184 21 polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique de la présente invention, comprend: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique (i) a une épaisseur, Ts, entre une surface de transmission et une surface d'incidence; où la surface de transmission 5 et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; et (ii) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; la fourniture d'un système d'inspection automatique, comprenant: une source de lumière, où la source de lumière 10 émet un faisceau ayant un spectre de luminescence présentant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi- hauteur, LMH, de 50 nm (de préférence, 5. 40 nm; de préférence 15 encore, 5 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm); un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et une unité de traitement de données d'image; le transport de la pluralité de feuilles polymériques, une à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de 20 lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de 25 la lumière transmise; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; où le signal électrique provenant du détecteur de lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image 30 numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où 3031184 22 l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de 5 feuilles suspectes. [0048] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend en outre un magasin conçu pour contenir, stocker et distribuer des feuilles polymériques. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 10 feuilles polymériques (de préférence encore, au moins 15 feuilles polymériques; de préférence encore, au moins 20 feuilles polymériques; de manière particulièrement préférable, au moins 30 feuilles polymériques). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger un certain nombre de feuilles polymériques dans le système 15 d'inspection automatique. Lorsque la pluralité de feuilles polymériques sont chargées dans le magasin, l'opérateur est capable de réaliser d'autres tâches tandis que le système d'inspection automatique traite et classe la pluralité de feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0049] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 20 système d'inspection automatique comprend un séquenceur configuré pour extraire des feuilles polymériques du magasin, une à la fois et transporter les feuilles polymériques, une à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; et pour renvoyer les feuilles polymériques, une à la fois, dans le magasin. De 25 préférence, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire. De préférence encore, le mécanisme inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 1 pm. [0050] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la 30 pluralité de feuilles polymériques, une feuille polymérique à la fois, jusqu'à 3031184 23 une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est 5 transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en 10 un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplé au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être 15 utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. [0051] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 20 système d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite, qui émet un faisceau. De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite, où le faisceau qu'elle émet présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic 25 d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 50 nm (de préférence, 5.. 40 nm; de préférence encore, 5_ 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5 30 nm). L'homme du métier moyen sera 30 capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un 3031184 24 faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. 5 [0052] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir la au moins une propriété détectable de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De 10 préférence encore, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De manière particulièrement préférable, dans le 15 procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend un détecteur de lumière capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence, le détecteur de 20 lumière est un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un signal électrique. De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD 25 monochromatiques et les CCD couleurs. De préférence encore, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au moins 8) dispositifs convertisseurs optoélectriques. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs 30 à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 20 pm (de 303 1 1 8 4 25 préférence, 5_ 16 dam) et un champ optique de 100 mm (de préférence, 120 mm). [0053] Le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur 5 de lumière. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. [0054] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques provenant d'un gâteau de matériau polymérique contenant 10 une pluralité de microéléments rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. C'est-à-dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique 15 pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation sous forme de feuilles de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique. [0055] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente 20 invention sont bien connues dans la technique. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique utilisé dans le procédé de la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. [0056] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou 25 plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0057] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables 30 ou suspectes. De préférence, la classification des feuilles polymériques 3031184 26 comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les 5 défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. On notera que l'un quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment 10 au détecteur de lumière. Pour les défauts de densité et les soufflures, la région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un 15 certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme 20 couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique fabriqués pour leur polissage. [0058] De préférence, dans le procédé de la présente invention, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro- 25 inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. 3 0 3 1 1 84 27 [0059] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient 5 au moins une macro-inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné. 10 [0060] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; où l'unité de traitement de 15 données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné; et où le système d'inspection automatique comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image 20 de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macro- 25 inhomogénéité détectée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être 30 agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une 3031184 28 inspection visuelle de la feuille sélectionnée. De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée, où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif 5 d'affichage; et (i) le reclassement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à la population de feuilles acceptables; ou (ii) le classement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à une population 10 de feuilles défectueuses. [0061] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée 15 pour polir un substrat, comprend: la formation d'une surface de polissage (114) par au moins l'un de (a) la formation par formation par usinage d'au moins une rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures et (b) la formation de perforations qui s'étendent au moins en partie à travers l'épaisseur, Ts, de la feuille acceptable. De préférence 20 encore, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend la formation d'une surface de polissage (114) par formation par usinage d'au moins une 25 rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures. De manière particulièrement préférable, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un 30 substrat, comprend la formation d'une surface de polissage (114) par 3 03 1 1 84 29 formation par usinage d'au moins une rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures; où le motif de rainures est adapté pour polir the substrat. (Voir Figure 3). [0062] De préférence, le procédé de la présente invention fournit des 5 tampons de polissage mécano-chimique (110) de préférence adaptés pour la rotation autour d'un axe central (112). (Voir Figure 3). De préférence, la au moins une rainure est disposée pour former une surface de polissage (114) de sorte que, lors de la rotation du tampon (110) autour de l'axe central (112) pendant le polissage, au moins une rainure balaie le substrat. De 10 préférence, la au moins une rainure est choisie parmi les rainures incurvées, les rainures linéaires et leurs combinaisons. De préférence, la au moins une rainure présente une profondeur de k 0,25 mm (10 mils) de préférence, 0,25 mm à 3,81 mm (10 à 150 mil)s. De préférence, la au moins une rainure forme un motif de rainures qui comprend au moins deux rainures ayant une 15 combinaison d'une profondeur choisie parmi k 0,25 mm (10 mils), k 0,38 mm (15 mils) et 0,38 mm à 3,81 mm (15 à 150 mils); d'une largeur choisie parmi k 0,25mm (10 mils) et 0,25 mm à 2,54 mm (10 à 100 mils); et d'un pas choisi parmi k 0,76 mm (30 mils), k 1,27 mm (50 mils), 1, 27 mm à 5,08 mm (50 à 200 mils), 1,78 mm à 5,08 mm (70 à 200 mils), et 2,29 mm à 5,08 20 mm (90 à 200 mils). [0063] De préférence, la feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) dans le tampon de polissage mécano-chimique (110) contient < 1 ppm de particules abrasives incorporée à l'intérieur. [0064] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 25 traitement de la au moins une feuille acceptable comprend en outre: la fourniture d'un sous-tampon (125) ayant une surface supérieure (126) et une surface inférieure (127); la fourniture d'un adhésif (123) (de préférence, où l'adhésif est choisi parmi au moins l'un parmi un adhésif sensible à la pression, un adhésif thermofusible et un adhésif par contact; de préférence 30 encore où l'adhésif est choisi parmi un adhésif sensible à la pression- et un adhésif thermofusible; de manière particulièrement préférable, où l'adhésif 3031184 30 est un adhésif thermofusible); et l'application de la surface supérieure (126) du sous-tampon (125) à la surface de base (117) de la couche de polissage (120) au moyen de l'adhésif (123). (Voir Figure 3). [0065] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le 5 traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'une couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170) appliquée à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125). 10 [0066] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110); où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'une couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression 15 (170) appliquée à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125), et la fourniture d'un revêtement de séparation (175) appliqué sur la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170), où la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170) est disposée entre la surface inférieure (127) du sous-tampon (125) et le revêtement de séparation 20 (175). (Voir Figure 3). [0067] L'incorporation d'un sous-tampon (125) dans un tampon de polissage mécano-chimique (110) de la présente invention est souhaitable pour certaines applications de polissage. L'homme du métier moyen saura choisir un matériau de construction approprié et une épaisseur de sous- 25 tampon, TB, appropriée pour le sous-tampon (125) pour une utilisation dans le processus de polissage envisagé. De préférence, le sous-tampon (125) a une épaisseur de sous-tampon moyenne, TB-avg, de 0,38 mm (15 mils) (de préférence encore, 0,76 mm à 2,54 mm (30 à 100 mils); de manière particulièrement préférable de 0,76 mm à 1,90 mm (30 à 75 mils)). 30 3031184 31 [0068] De préférence, l'adhésif (123) est choisi dans le groupe consistant en un adhésif sensible à la pression, un adhésif thermofusible, un adhésif par contact et leurs combinaisons. De préférence encore, l'adhésif (123) est choisi dans le groupe consistant en un adhésif sensible 5 à la pression et un adhésif thermofusible. De manière particulièrement préférable, l'adhésif (123) est un adhésif thermofusible réactif. [0069] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110); où la 10 couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'au moins une couche supplémentaire (non représentée) comportant une interface avec et disposée entre la couche de polissage (120) et la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170). La au moins une couche supplémentaire (non 15 représentée) peut être incorporée dans le tampon de polissage mécano-chimique (110) au moyen d'un adhésif pour couche supplémentaire (non représenté). L'adhésif pour couche supplémentaire peut être choisi parmi les adhésifs sensibles à la pression, les adhésifs thermofusibles, les adhésifs par contact et leurs combinaisons. De préférence, l'adhésif pour 20 couche supplémentaire est un adhésif thermofusible ou un adhésif sensible à la pression. De préférence encore, l'adhésif pour couche supplémentaire est un adhésif thermofusible. [0070] De préférence, le procédé de la présente invention fournit des tampons de polissage mécano-chimique (110) conçus spécifiquement 25 pour faciliter le polissage d'un substrat choisi parmi au moins un substrat parmi un substrat magnétique, un substrat optique et un substrat semiconducteur. De préférence, les feuilles polymériques sont adaptées pour polir un substrat choisi parmi au moins un substrat parmi un substrat magnétique, un substrat optique et un substrat semi-conducteur (de 3031184 32 préférence encore, un substrat semi-conducteur; de manière particulièrement préférable, une plaquette semi-conductrice). [0071] Dans le procédé de la présente invention, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au 5 moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. 10 [0072] De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de 15 données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné. [0073] De préférence, le procédé de la présente invention 20 comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et 25 stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macroinhomogénéité détectée est positionné; et où le système d'inspection automatique comprend en outre: un dispositif d'affichage; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. L'image 30 affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une 3031184 33 image de la totalité de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macroinhomogénéité détectée. De préférence, l'image partielle de la feuille 5 sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une 10 inspection visuelle de la feuille sélectionnée. De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée, où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage; et (i) le reclassement de la feuille sélectionnée, sur la base de 15 l'inspection visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à la population de feuilles acceptables; ou (ii) le classement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à une population de feuilles défectueuses. 20Preferred curing agents include diamines. Suitable polydiamines include primary amines and secondary amines. Preferred polydiamines include, but are not limited to, diethyltoluenediamine ("DETDA"); 3,5-dimethylthio-2,4-toluenediamine and its isomers; 3,5-diethyltoluene-2,4-diamine and its isomers (e.g., 3,5-diethyl-toluene-2,6-diamine); 4,4'-bis- (sec-butylamino) -diphenylmethane; 1,4-bis (sec-butylamino) benzene; 4,4'-methylene-bis- (2-chloroaniline); 4,4'-methylene-bis (3-chloro-2,6-diethylaniline) ("MCDEA"); polytetramethyleneoxide-di-p-aminobenzoate; N, N'-dialkyldiamino-diphenylmethane; p, p'-methylenedianiline ("MDA"); m-phenylenediamine ("MPDA"); methylene-bis-2-chloroaniline ("MBOCA"); 4,4'-methylene-bis- (2-chloroaniline) ("MOCA"); 4,4'-methylenebis (2,6-diethylaniline) ("MDEA"); 4,4'-methylene-bis- (2,3-dichloroaniline) ("MDCA"); 4,4'-diamino-3,3'-diethyl-5,5'-dimethyldiphenylmethane, 2,2 ', 3,3'-tetrachlorodiaminodiphenylmethane; trimethylglycol di-p-aminobenzoate; and their mixtures. Preferably, the diamine curing agent is chosen from 3,5-dimethyl-thio-2,4-toluenediamine and its isomers. The curing agents may also include hydroxyl-terminated diols, triols, tetraols, and curing agents. Suitable diols, triols and tetraols include ethylene glycol; diethylene glycol; polyethylene glycol; propylene glycol; polypropylene glycol; polytetramethylene ether glycol of relatively low molecular weight; 1,3-bis (2-hydroxyethoxy) benzene; 1,3-bis [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] benzene; 1,3-bis- {2- [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] ethoxy} benzene; 1,4-butanediol; 1,5-pentanediol; 1,6-hexanediol; resorcinol-di- (beta-hydroxyethyl) ether; hydroquinone-di- (beta-hydroxyethyl) ether and mixtures thereof Preferred hydroxyl-terminated curing agents include 1,3-bis (2-hydroxyethoxy) benzene, 1,3-bis- [2- (2- (2-hydroxyethoxy) benzene; hydroxyethoxy) ethoxy] benzene; 1,3-bis- {2- [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] ethoxy} benzene; 1,4-butanediol; and mixtures thereof. The hydroxyl and diamine terminated compounds may include one or more saturated, unsaturated, aromatic and cyclic groups, and the hydroxyl and diamine terminated curing agents may include one or more halogen groups. According to the present invention, the polymeric sheets have an average thickness, Ts_avg, of 500 to 5000 μm (preferably 750 to 4000 μm, more preferably 1000 to 3000 μm, particularly preferably 1200 to 2100 μm). [0036] Preferably, in the method of the present invention, the system Automatic inspection includes a store designed to hold, store and distribute polymeric sheets. Preferably, the magazine has a capacity calculated to contain at least 10 polymeric sheets (more preferably at least 15 polymeric sheets, more preferably at least 20 polymeric sheets, particularly preferably at least 30 polymeric sheets). The calculated capacity of the magazine allows an operator to load a number of polymeric sheets into the automatic inspection system. When the plurality of polymeric sheets are loaded into the magazine, the operator is able to perform other tasks while the automatic inspection system processes and ranks the plurality of polymeric sheets as acceptable or suspect. [0037] Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a sequencer configured to extract polymeric sheets from the magazine one at a time and transport the polymeric sheets one at a time until at a position disposed between the light source and the light detector; and to return the polymeric sheets, one at a time, to the store. Preferably, the mechanism includes at least one linear motor. Also preferably, the mechanism includes at least one linear motor having a linear scale resolution of 1dB. Preferably, the light source is a narrow-band blue light source which emits a beam. More preferably, the light source is a narrow-band blue light source where the beam it emits has an emission spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm (preferably from 460 to 480 nm, more preferably from 460 to 470, particularly preferably from 463 to 467 nm) and a mid-height width, LMH, of 50 nm (preferably, 40 nm; more preferably, 5 nr, particularly preferably 5 nm). One of ordinary skill in the art will be able to choose a suitable light source to provide a beam having a transmission spectrum in the desired region. Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light source, wherein the light source is a light emitting diode. [0039] Preferably, the automatic inspection system comprises a light detector capable of converting the at least one detectable property of transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, Ts, and from the surface of the beam. transmission of a polymeric sheet. More preferably, the light detector is capable of converting an intensity of transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface of a polymeric sheet. Most preferably, the light detector is capable of converting intensity and wavelength spectrum of transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface of the beam. a polymeric sheet. Preferably, the light detector is an opto-electrical converter device that converts the at least one detectable property of the transmitted light that strikes it into an electrical signal. Preferably, the light detector is a row of charge coupled devices (CCDs). Preferably, the charge coupled devices (CCD) used are chosen from monochromatic CCDs and color CCDs. More preferably, the light detector comprises a row of at least 5 (particularly preferably at least 8) optoelectric converter devices. Most preferably, the light detector comprises a row of at least 8 charge coupled device (CCD) image sensors having a resolution of 20 μm (preferably 16 μm) and an optical field of 100 mm (preferably 120 mm) [0040] The digital image data acquisition device converts the electrical signal emitted by the light detector into a digital signal. Digital image data acquisition devices suitable for use with the present invention are well known in the art. The heterogeneous nature of the composition of the polymeric sheets containing a composite of microelement and polymer makes it impossible to refer to a hypothetical standard sheet. That is, the existence of different harmless production artifacts in such polymeric sheets renders ineffective the simple comparison, by means of a gray scale, with a standard value for use in an automatic system for inspecting polymeric sheets for incorporation as polishing sheets into chemical mechanical polishing pads. Generalized and specialized image data processing units suitable for use with the present invention are well known in the art. Preferably, the image data processing unit in the automatic inspection system used in the method of the present invention comprises a central unit coupled to a nonvolatile data storage unit. [0043] Preferably, the central unit is further coupled to one or more user input interface control devices (eg, mouse, keyboard) and at least one output display device. Preferably, the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities in the polymeric sheets and to classify the polymeric sheets as acceptable or suspect. Preferably, the classification of the polymeric sheets as acceptable or suspect is performed by the image data processing unit on the basis of a menu of quality control criteria. Various defects may occur during the manufacture of the polymeric sheets including, for example, density defects, blister defects and inclusion defects. It will be appreciated that any of these defects or any combination of these defects may constitute macro-inhomogeneity in a polymeric sheet depending upon the size of the affected portion of the transmission surface. It will be noted that the different types of faults will be different to the light detector. For density defects and blisters, the defective region will be more transparent than the surrounding region of the polymeric sheet. For inclusion defects, the defective region will be less transparent than the surrounding region of the polymeric sheet. The fact that such defects are acceptable depends on a number of conditions, including, for example, the substrate that the chemical mechanical polishing pad incorporating the polymeric sheet will be for polishing. Some substrates are more delicate than others, so they require more stringent controls regarding the homogeneity of polymeric sheets for use as polishing layers in chemical mechanical polishing pads manufactured for polishing. Preferably, in the analyzer of the present invention, the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one a suspect leaf where the suspicious leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macrohomogeneity; wherein a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is set. [0046] Preferably, in the analyzer of the present invention, the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a nonvolatile memory a map of the at least one suspect sheet where the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macro-inhomogeneity; wherein a location for the at least one detected macrohomogeneity is set; and wherein the analyzer further comprises: a display device; where an image of the selected sheet is displayed on the display. The displayed image of the selected sheet on the display may be an image of the entire transmission area of the selected sheet. Preferably, the image of the selected sheet is a partial image showing an enlargement of at least one detected macro-inhomogeneity. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device includes all of the macro-inhomogeneity and the surrounding region of the transmission surface of the selected sheet. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device may be enlarged to magnify the detail of the displayed image to facilitate visual inspection of the selected sheet. [0047] Preferably, the method for analyzing polymeric sheets as to their suitability for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad of the present invention, comprises: providing a plurality of polymeric sheets where each polymeric sheet (i) has a thickness, Ts, between a transmission surface and an incident surface; wherein the transmission surface 5 and the incident surface are substantially parallel; and (ii) comprises: a polymer and microelement composite, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; providing an automatic inspection system, comprising: a light source, wherein the light source 10 emits a beam having a luminescence spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm ( preferably from 460 to 480 nm, more preferably from 460 to 470 nm, particularly preferably from 463 to 467 nm) and a half-height width, LMH, of 50 nm (preferably 5.40 nm) more preferably, 35 nm, particularly preferably 5 nm); a light detector; a digital image data acquisition device; and an image data processing unit; transporting the plurality of polymeric sheets, one at a time, between the light source and the light detector; wherein the beam emitted by the light source is oriented to strike the incident surface; and wherein the light detector is oriented to detect transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface; where the transmitted light has at least one detectable property; wherein the at least one detectable property includes an intensity of the transmitted light; where the intensity of the transmitted light is converted into an electrical signal by the light detector; wherein the electrical signal from the light detector is converted to a digital signal by the digital image data acquisition device; and where the digital signal from the digital image data acquisition device is processed by the image data processing unit, where the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities and to classify polymeric sheets as acceptable or suspect; and wherein the plurality of polymeric sheets is divided into an acceptable leaf population and a suspicious leaf population. Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system further comprises a magazine adapted to contain, store and dispense polymeric sheets. Preferably, the magazine has a capacity calculated to contain at least 10 polymeric sheets (more preferably at least 15 polymeric sheets, more preferably at least 20 polymeric sheets, particularly preferably at least 30 polymeric sheets). The calculated magazine capacity allows an operator to load a number of polymeric sheets into the automatic inspection system. When the plurality of polymeric sheets are loaded into the magazine, the operator is able to perform other tasks while the automatic inspection system processes and ranks the plurality of polymeric sheets as acceptable or suspect. [0049] Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a sequencer configured to extract polymeric sheets from the magazine one at a time and transport the polymeric sheets one at a time until at a position disposed between the light source and the light detector; and to return the polymeric sheets, one at a time, to the store. Preferably, the mechanism includes at least one linear motor. More preferably, the mechanism includes at least one linear motor having a linear scale resolution of 1 μm. [0050] Preferably, in the method of the present invention, the sequencer is configured to extract from the magazine and transport the plurality of polymer sheets, one polymeric sheet at a time, to a position disposed between the source of light and light detector; where the beam emitted by the light source is oriented to strike the incident surface; and wherein the light detector is oriented to detect transmitted light from the beam which is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface; wherein the light detector is configured to convert an intensity of the transmitted light into an electrical signal; wherein the digital image data acquisition device coupled to the light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; wherein the image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device to detect macro-inhomogeneities and to classifying the polymeric sheets as acceptable for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; wherein the plurality of polymeric sheets is divided into an acceptable leaf population and a suspicious leaf population. [0051] Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light source, where the light source is a narrow-band blue light source, which emits a beam. More preferably, the light source is a narrow band blue light source, where the beam it emits has an emission spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm ( preferably from 460 to 480 nm, more preferably from 460 to 470, particularly preferably from 463 to 467 nm) and a half-height width, LMH, of 50 nm (preferably 5.40 nm). more preferably, 5 to 35 nm, particularly preferably 5 to 30 nm). One of ordinary skill in the art will be able to choose a suitable light source to provide a beam having an emission spectrum in the desired region. Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light source, wherein the light source is a light emitting diode. Preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light detector capable of converting the at least one detectable property of transmitted light from the beam that is transmitted through the thickness. , Ts, and from the transmission surface of a polymeric sheet. More preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light detector capable of converting an intensity of the transmitted light from the beam which is transmitted through the thickness, Ts, and since the transmission surface of a polymeric sheet. Particularly preferably, in the method of the present invention, the automatic inspection system comprises a light detector capable of converting intensity and wavelength spectrum of transmitted light from the beam which is transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface of a polymeric sheet. Preferably, the light detector is an opto-electrical converter device that converts the at least one detectable property of the transmitted light that strikes it into an electrical signal. Preferably, the light detector is a row of charge coupled devices (CCDs). Preferably, the charge coupled devices (CCDs) used are selected from monochromatic CCDs and color CCDs. More preferably, the light detector comprises a row of at least 5 (particularly preferably at least 8) optoelectric converter devices. Particularly preferably, the light detector comprises a row of at least 8 charge coupled device (CCD) image sensors having a resolution of 20 μm (preferably 30 μm). ) and an optical field of 100 mm (preferably 120 mm). The digital image data acquisition device converts the electrical signal emitted by the light detector 5 into a digital signal. Digital image data acquisition devices suitable for use with the present invention are well known in the art. The heterogeneous nature of the composition of the polymeric sheets from a cake of polymeric material containing a plurality of microelements makes it impossible to refer to a hypothetical standard sheet. That is, the existence of various innocuous production artifacts in such polymeric sheets makes it ineffective to simply compare, by means of a gray scale, with a standard value for use in an automatic system for inspecting polymeric sheets for incorporation as polishing sheets in chemical mechanical polishing pads. [0055] General purpose and specialized image data processing units suitable for use with the present invention are well known in the art. Preferably, the image data processing unit in the automatic inspection system used in the method of the present invention comprises a central unit coupled to a nonvolatile data storage unit. [0056] Preferably, the central unit is further coupled to one or more user input interface control devices (eg, mouse, keyboard) and at least one output display device. [0057] Preferably, the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities in the polymeric sheets and to classify the polymeric sheets as acceptable or suspect. Preferably, the classification of polymeric sheets 3031184 as acceptable or suspect is performed by the image data processing unit based on a quality control criteria menu. Various defects may occur during the manufacture of the polymeric sheets including, for example, density defects, blistering defects and inclusion defects. It will be appreciated that any of these defects or any combination of these defects may constitute macro-inhomogeneity in a polymeric sheet depending on the size of the affected portion of the transmission surface. It will be appreciated that the different types of defects will be different to the light detector. For density defects and blowholes, the defective region will be more transparent than the surrounding region of the polymeric sheet. For inclusion defects, the defective region will be less transparent than the surrounding region of the polymeric sheet. The fact that such defects are acceptable depends on a number of conditions, including, for example, the substrate that the chemical mechanical polishing pad incorporating the polymeric sheet will be for polishing. Some substrates are more delicate than others, so that they require more stringent controls regarding the homogeneity of polymeric sheets for use as polishing layers in chemical mechanical polishing pads manufactured for polishing. Preferably, in the method of the present invention, wherein the suspicious leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macrohomogeneity; the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is set. Preferably, the method of the present invention further comprises: selecting a selected leaf from the suspect leaf population; wherein the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macro-inhomogeneity; the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macroinomogeneity is set. [0060] Preferably, the method of the present invention further comprises: selecting a selected leaf from the suspect leaf population; where the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macrohomogeneity; wherein the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macroinomogeneity is set; and wherein the automatic inspection system further comprises: a display device; where an image 20 of the selected sheet is displayed on the display. The displayed image of the selected sheet on the display may be an image of the entire transmission area of the selected sheet. Preferably, the image of the selected sheet is a partial image showing an enlargement of at least one detected macro-inhomogeneity. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device includes all of the macro-inhomogeneity and the surrounding region of the transmission surface of the selected sheet. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device may be enlarged to magnify the detail of the displayed image to facilitate visual inspection of the selected sheet. Preferably, the method of the present invention further comprises: performing a visual inspection of the selected sheet, wherein the visual inspection is facilitated by the image of the selected sheet displayed on the display device; and (i) reclassifying the selected leaf, based on the visual inspection, as acceptable, where the selected leaf is then added to the acceptable leaf population; or (ii) grading the selected sheet, based on the visual inspection, as defective, where the selected sheet is then added to a population of defective sheets. Preferably, the method of the present invention further comprises: treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical mechanical polishing pad (110), wherein the polishing layer (120) is adapted for polishing a substrate, comprising: forming a polishing surface (114) by at least one of (a) forming by machining at least one groove in the acceptable sheet to form a pattern of grooves and (b) forming perforations which extend at least in part through the thickness, Ts, of the acceptable sheet. More preferably, in the process of the present invention, treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical-mechanical polishing pad (110), wherein the polishing layer (120) is adapted to polish a substrate, comprises forming a polishing surface (114) by machining at least one groove in the acceptable sheet to form a pattern of grooves. Particularly preferably, in the process of the present invention, treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical-mechanical polishing pad (110), wherein the polishing layer (120) is adapted to polish a substrate, comprises forming a polishing surface (114) by machining at least one groove in the acceptable sheet to form a pattern of grooves; wherein the groove pattern is adapted to polish the substrate. (See Figure 3) [0062] Preferably, the method of the present invention provides chemical mechanical polishing pads (110) preferably adapted for rotation about a central axis (112). (See Figure 3) Preferably, the at least one groove is disposed to form a polishing surface (114) so that, upon rotation of the pad (110) about the central axis (112) during polishing, at least one groove sweeps the substrate. Preferably, the at least one groove is selected from curved grooves, linear grooves and combinations thereof. Preferably, the at least one groove has a depth of k 0.25 mm (10 mils), preferably 0.25 mm to 3.81 mm (10 to 150 mil) s. Preferably, the at least one groove forms a pattern of grooves which comprises at least two grooves having a combination of a depth selected from k 0.25 mm (10 mils), k 0.38 mm (15 mils) and 0 38 mm to 3.81 mm (15 to 150 mils); a width selected from k 0.25mm (10 mils) and 0.25mm to 2.54mm (10 to 100 mils); and a pitch selected from 30 mils (k), 50 mils (1.27 mm), 1.27 mm to 5 mils, 1.27 mm to 5.08 mm (50 to 200 mils), 08 mm (70 to 200 mils), and 2.29 mm to 5.08 to 20 mm (90 to 200 mils). Preferably, the polymeric sheet incorporated as a polishing layer (120) in the chemical mechanical polishing pad (110) contains <1 ppm of abrasive particles incorporated inside. [0064] Preferably, in the method of the present invention, the treatment of the at least one acceptable sheet further comprises: providing a sub-pad (125) having a top surface (126) and a bottom surface (127); providing an adhesive (123) (preferably, wherein the adhesive is selected from at least one of a pressure sensitive adhesive, a hot melt adhesive and a contact adhesive, more preferably where the adhesive is selected from a pressure sensitive adhesive and a hot melt adhesive, particularly preferably wherein the adhesive is a hot melt adhesive); and applying the upper surface (126) of the sub-pad (125) to the base surface (117) of the polishing layer (120) by means of the adhesive (123). (See Figure 3) Preferably, in the process of the present invention, treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical mechanical polishing pad (110), where the polishing layer ( 120) is adapted to polish a substrate, further comprising: providing a layer of pressure sensitive tray adhesive (170) applied to the bottom surface (127) of the sub-pad (125). Preferably, in the method of the present invention, treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical mechanical polishing pad (110); wherein the polishing layer (120) is adapted to polish a substrate, further comprising: providing a layer of pressure sensitive tray adhesive (170) applied to the bottom surface (127) of the sub-pad (125), and providing a release liner (175) applied to the pressure-sensitive tray adhesive layer (170), wherein the pressure-sensitive tray adhesive layer (170) is disposed between the lower surface (127) of the sub-pad (125) and the release liner (175). (See Figure 3) Incorporating a sub-pad (125) into a chemical mechanical polishing pad (110) of the present invention is desirable for certain polishing applications. One of ordinary skill in the art will know how to choose a suitable building material and sub-buffer thickness, TB, suitable for the sub-pad (125) for use in the intended polishing process. Preferably, the subpad (125) has a mean sub-buffer thickness, TB-avg, of 0.38 mm (15 mils) (more preferably, 0.76 mm to 2.54 mm (30 to 100 mils), particularly preferably 0.76 mm to 1.90 mm (30 to 75 mils)). Preferably, the adhesive (123) is selected from the group consisting of pressure sensitive adhesive, hot melt adhesive, contact adhesive and combinations thereof. More preferably, the adhesive (123) is selected from the group consisting of a pressure sensitive adhesive and a hot melt adhesive. Particularly preferably, the adhesive (123) is a hot melt reactive adhesive. Preferably, in the process of the present invention, treating the at least one acceptable sheet to form the polishing layer (120) of the chemical mechanical polishing pad (110); wherein the polishing layer (120) is adapted to polish a substrate, further comprising: providing at least one additional layer (not shown) having an interface with and disposed between the polishing layer (120) and the layer of pressure sensitive tray adhesive (170). The at least one additional layer (not shown) may be incorporated into the chemical mechanical polishing pad (110) by means of additional layer adhesive (not shown). The additional layer adhesive may be selected from pressure sensitive adhesives, hot melt adhesives, contact adhesives and combinations thereof. Preferably, the additional layer adhesive is a hot melt adhesive or a pressure sensitive adhesive. More preferably, the additional layer adhesive is a hot melt adhesive. [0070] Preferably, the method of the present invention provides chemical mechanical polishing pads (110) specifically designed to facilitate polishing of a substrate selected from at least one of a magnetic substrate, an optical substrate and a substrate. semiconductor substrate. Preferably, the polymeric sheets are adapted to polish a substrate selected from at least one of a magnetic substrate, an optical substrate and a semiconductor substrate (more preferably, a semiconductor substrate; a semiconductor wafer). In the method of the present invention, wherein the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macro-inhomogeneity; the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is set. [0072] Preferably, the method of the present invention further comprises: selecting a selected leaf from the suspect leaf population; where the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macrohomogeneity; the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macroinomogeneity is set. [0073] Preferably, the method of the present invention further comprises: selecting a selected leaf from the suspect leaf population; where the suspect leaf population includes at least one suspect leaf and wherein the at least one suspect leaf contains at least one detected macrohomogeneity; the image data processing unit is preferably further configured to produce and store in a non-volatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macroinomogeneity is set; and wherein the automatic inspection system further comprises: a display device; where an image of the selected sheet is displayed on the display. The displayed image of the selected sheet on the display may be an image of the entire transmission area of the selected sheet. Preferably, the image of the selected sheet is a partial image showing an enlargement of at least one detected macroinomogeneity. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display includes all of the macro inhomogeneity and the surrounding region of the transmission surface of the selected sheet. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device may be enlarged to magnify the detail of the displayed image to facilitate visual inspection of the selected sheet. Preferably, the method of the present invention further comprises: performing a visual inspection of the selected sheet, wherein the visual inspection is facilitated by the image of the selected sheet displayed on the display device; and (i) reclassifying the selected leaf, based on the visual inspection, as acceptable, where the selected leaf is then added to the acceptable leaf population; or (ii) the classification of the selected sheet, based on the visual inspection, as defective, where the selected sheet is then added to a population of defective sheets. 20