FR3032274A1 - polishing layer of analyzer and method of analysis using - Google Patents

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FR3032274A1
FR3032274A1 FR1650727A FR1650727A FR3032274A1 FR 3032274 A1 FR3032274 A1 FR 3032274A1 FR 1650727 A FR1650727 A FR 1650727A FR 1650727 A FR1650727 A FR 1650727A FR 3032274 A1 FR3032274 A1 FR 3032274A1
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polymeric
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FR1650727A
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French (fr)
Inventor
Scott Chang
Jeff Tsai
Francis V Acholla
Andrew R Wank
Mark Gazze
William A Heeschen
James David Tate
Leo H Chiang
Swee-Teng Chin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc
Dow Global Technologies LLC
Original Assignee
Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc
Dow Global Technologies LLC
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Abstract

L'invention concerne un analyseur de couche de polissage pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage (120) dans des tampons de polissage mécanochimique (110) qui est configuré pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuille polymériques comme acceptables ou comme suspectes, et un procédé pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique qui utilise cet analyseur. The invention relates to a polishing layer of analyzer for analyzing polymeric sheets to be used as a polishing layer (120) in chemical mechanical polishing pads (110) that is configured to detect macro-inhomogeneities in the polymeric sheets and classify the polymeric sheet as acceptable or as suspicious, and a method for analyzing polymer sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads using this analyzer.

Description

ARRIERE-PLAN [0001] La présente invention concerne d'une manière générale le domaine de la fabrication des tampons de polissage mécano-chimique. BACKGROUND [0001] The present invention relates generally to the field of the manufacture of chemical mechanical polishing pads. En particulier, la présente invention concerne un analyseur de couche de 5 polissage et des procédés correspondants. In particular, the present invention relates to a layer of polishing analyzer 5 and corresponding methods. [0002] Dans la fabrication des circuits intégrés et d'autres dispositifs électroniques, de multiples couches de matériaux conducteurs, semiconducteurs et diélectriques sont déposées sur ou retirées d'une surface d'une galette semi-conductrice. [0002] In the fabrication of integrated circuits and other electronic devices, multiple layers of conductive materials, semiconductors and dielectrics are deposited on or removed from a surface of a semiconductor wafer. Des couches minces de matériaux 10 conducteurs, semi-conducteurs et diélectriques peuvent être déposées par un certain nombre de techniques de dépôt. Thin layers of materials 10 conductors, semiconductor and dielectric can be deposited by a number of deposition techniques. Les techniques de dépôt courantes dans les traitements modernes incluent le dépôt physique en phase vapeur (PVD), connu aussi comme étant la pulvérisation cathodique, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt chimique 15 en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) et le plaquage électrochimique (ECP). Common deposition techniques in modern processing include physical vapor deposition (PVD), also known as sputtering, chemical vapor deposition (CVD), chemical deposition 15 vapor plasma enhanced (PECVD ) and electrochemical plating (ECP). [0003] Quand des couches de matériaux sont successivement déposées et retirées, la surface supérieure de la galette devient non plane. [0003] When layers of materials are sequentially deposited and removed, the upper surface of the wafer becomes non-planar. Du fait que le traitement subséquent des semi-conducteurs (par exemple 20 la métallisation) exige que la galette ait une surface plane, la galette doit être planarisée. Since the subsequent processing of semiconductor (e.g., 20 metallization) requires the wafer to have a flat surface, the wafer needs to be planarized. La planarisation est utile pour retirer une topographie de surface indésirable et les défauts de surface, comme les surfaces rugueuses, les matériaux agglomérés, les détériorations du réseau cristallin, les éraflures et les couches contaminées ou les matériaux 25 contaminés. Planarization is useful for removing undesired surface topography and surface defects, such as rough surfaces, agglomerated materials, crystal lattice damage of, scratches and contaminated layers or materials involved 25. [0004] La planarisation mécano-chimique, ou polissage mécano- chimique (CMP), est une technique courante utilisée pour planariser des substrats, comme les galettes semi-conductrices. [0004] The chemical-mechanical planarization, or chemical mechanical polishing (CMP), is a common technique used to planarize substrates such as semiconductor wafers. Dans la CMP conventionnelle, une galette est montée sur un ensemble formant support 30 et positionnée en contact avec un tampon de polissage dans un appareil de CMP. In conventional CMP, a wafer is mounted on a support assembly 30 and positioned in contact with a polishing pad in a CMP apparatus. L'ensemble formant support applique une pression réglable sur la galette, en la pressant contre le tampon de polissage. The support assembly applies an adjustable pressure on the wafer, by pressing it against the polishing pad. Le tampon est déplacé (par exemple entraîné en rotation) par rapport à la galette par une force d'entraînement externe. The pad is moved (e.g. rotated) with respect to the wafer by an external driving force. En même temps, une composition chimique ("suspension" ou "slurry") ou une autre solution de polissage est introduite entre la galette et le tampon de polissage. At the same time, a chemical composition ( "slurry" or "slurry") or other polishing solution is introduced between the wafer and the polishing pad. Ainsi, la surface de la galette est polie et rendue plane par l'action chimique et mécanique de la surface du tampon et de la suspension. Thus, the wafer surface is polished and made planar by chemical and mechanical action of the pad surface and slurry. [0005] Dans le brevet US No. 5 578 362, Reinhardt et al. [0005] In US Patent No. 5,578,362, Reinhardt et al. décrivent un exemple de tampon de polissage connu dans la technique. describe an exemplary polishing pad known in the art. Le tampon de polissage de Reinhardt comprend une matrice polyrnérique dans laquelle sont dispersées des microsphères. Reinhardt of the polishing pad comprises a polyrnérique matrix in which are dispersed microspheres. En général, les microsphères sont combinées et mélangées avec un matériau polymérique liquide et transférées dans un moule pour le durcissement. In general, the microspheres are combined and mixed with a liquid polymeric material and transferred into a mold for curing. L'article moulé est ensuite découpé pour former des couches de polissage. The molded article is then cut to form polishing layers. Malheureusement, les couches de polissage formées de cette manière peuvent présenter des défauts indésirables qui, lorsqu'ils sont incorporés dans un tampon de polissage, peuvent entraîner des défauts dans un substrat poli avec le tampon. Unfortunately, polishing layers formed in this manner can have undesirable defects which, when incorporated into a polishing pad, can cause defects in a polished substrate with buffer. [0006] Une approche revendiquée pour traiter le problème concernant les défauts potentiels dans les couches de polissage de tampons de polissage mécano-chimique est décrite par Park et al. [0006] One approach to address the problem claimed on potential defects in the polishing layer polishing pad chemical mechanical described by Park et al. dans le brevet US No. 7 027 640. Park et al. in US Patent No. 7 027 640. Park et al. décrivent un appareil pour détecter ou inspecter les défauts sur un tampon destiné à être utilisé pour réaliser le polissage mécano-chimique d'une galette, comprenant: un dispositif d'entraînement de tampon pour charger le tampon sur lui et déplacer le tampon; describe an apparatus for detecting or inspecting defects in a buffer to be used to perform chemical mechanical polishing a wafer, comprising: a buffer driving device for charging the buffer thereon and move the buffer; un appareil photographique installé de manière à faire face au tampon pour convertir une image du tampon en un signal électrique et émettre le signal électrique converti; a camera installed to face the buffer for converting an image of the pad into an electrical signal and outputting the converted electrical signal; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour convertir le signal électrique transmis par l'appareil photographique en un signal numérique; a digital image data acquisition device for converting the electrical signal transmitted by the camera into a digital signal; et une unité de traitement de données d'image pour traiter les données d'image et détecter les défauts sur le tampon, où l'unité de traitement de données d'image calcule une ou plusieurs valeurs caractéristiques quantitatives de lumière sur la base des données d'image sur l'un quelconque des points qui sont acquis par le dispositif d'acquisition de données d'image, et détermine un emplacement sur le tampon, où une différence entre une valeur de niveau obtenue en combinant une ou plusieurs des valeurs caractéristiques quantitatives acquises et une valeur de niveau obtenue à partir d'une surface normale du tampon est supérieure à une valeur prédéterminée, comme étant un défaut. and an image data processing unit for processing the image data and detect defects on the buffer, where the image data processing unit calculates one or more quantitative feature values ​​of light based on the data image on any points that are acquired by the data acquisition device image, and determines a location on the pad, wherein a difference between a level value obtained by combining one or more characteristic values quantitative acquired and a level value obtained from a normal surface of the pad is greater than a predetermined value, as a default. [0007] Néanmoins, l'appareil et le procédé décrits par Park et al. [0007] However, the apparatus and method described by Park et al. sont conçus pour l'inspection de tampons de polissage mécano-chimique achevés qui sont dans une configuration prête pour le polissage en utilisant la lumière réfléchie. are designed for the inspection of finished chemical mechanical polishing pads that are in a ready configuration for polishing using the reflected light. L'utilisation de la lumière réfléchie pour inspecter des tampons de polissage mécano-chimique et les couches de polissage incorporées dans de tels tampons, en particulier, présente des inconvénients sensibles. The use of reflected light for inspecting chemical mechanical polishing pads and polishing the layers incorporated into such pads, especially, has substantial disadvantages. L'utilisation de la lumière réfléchie a une capacité limitée pour identifier les défauts situés sous la surface dans les couches de polissage incorporées, lesquels défauts ne sont pas proches de la surface de la couche de polissage. The use of the reflected light has a limited ability to identify defects under the surface in the incorporated polishing layer, which defects are not near the surface of the polishing layer. Cependant, quand un tampon de polissage mécano-chimique est utilisé, la surface de la couche de polissage s'use progressivement. However, when a chemical mechanical polishing pad is used, the surface of the polishing layer wears gradually. Ainsi, les défauts qui étaient initialement distants de la surface d'une couche de polissage d'un tampon de polissage mécano-chimique donné se rapprochent progressivement de la surface de polissage pendant la durée de vie utile du tampon. Thus, the defects that were initially distant from the surface of a polishing layer of a chemical mechanical polishing pad given progressively approach the polishing surface during the useful life of the pad. De plus, les tampons de polissage mécano-chimique dans une configuration prête pour le polissage incluent de manière conventionnelle des modifications de la surface de polissage de la couche de polissage pour faciliter le polissage d'un substrat (par exemple rainures, perforations), lesquelles modifications compliquent la détection automatique des défauts au moyen d'une échelle de gris comme décrit par Park et al. In addition, the chemical mechanical polishing pads in a ready configuration for polishing include conventionally changes the polishing surface of the polishing layer to facilitate polishing a substrate (e.g., grooves, perforations) which changes complicate the automatic detection of defects using a gray scale as described by Park et al. [0008] Ainsi, il subsiste un besoin de procédés améliorés de fabrication de tampons de polissage mécano-chimique comportant peu de défauts ayant des couches de polissage qui utilisent des dispositifs d'inspection automatiques et des procédés ayant des capacités accrues d'identification de défauts des couches de polissage. [0008] Thus, there remains a need for improved methods of manufacture of chemical mechanical polishing pads having few defects having polishing layers that use automatic inspection devices and methods having enhanced capacity to identify defects polishing layers. [0009] La présente invention fournit un analyseur de couche de polissage pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, l'analyseur de couche de polissage comprenant: un magasin ; [0009] The present invention provides a polishing layer analyzer for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the polishing layer analyzer comprising: a magazine; et une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale avec une surface supérieure, une surface inférieure et un bord périphérique; and a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central section with a transparent top surface, a bottom surface and a peripheral edge; où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et une région de maintien, entourant le bord périphérique de la section transparente centrale; and a holding region surrounding the peripheral edge of the transparent central section; où la région de maintien comprend une surface de contact, une pluralité de rainures concentriques, et une pluralité d'orifices de vide; where the holding area comprises a contact surface, a plurality of concentric grooves, and a plurality of vacuum ports; où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques; wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves; où la surface de contact est sensiblement de niveau avec la surface supérieure de la section transparente centrale; where the contact surface is substantially flush with the upper surface of the transparent central section; où la pluralité de rainures concentriques ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves have a groove width W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et (b) est configuré pour maintenir une feuille polmérique sensiblement à plat contre la surface supérieure de la section transparente centrale; and (b) is configured to maintain a polmérique sheet substantially flat against the upper surface of the transparent central section; où la feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; where the polymeric sheet (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission, une surface d'incidence et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmitting surface, an incident surface and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; où le magasin a une capacité pour stocker la pluralité de plateaux de support; where the tray has a capacity for storing the plurality of support plates; et où le magasin est conçu pour charger, stocker et distribuer la pluralité de plateaux de support pour faciliter une analyse d'une pluralité de feuilles polymériques. and wherein the store is designed to load, store and distribute the plurality of support plates to facilitate analysis of a plurality of polymeric sheets. [0010] La présente invention fournit un analyseur de couche de polissage pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, l'analyseur de couche de polissage comprenant: un magasin; [0010] The present invention provides a polishing layer analyzer for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the polishing layer analyzer comprising: a magazine; et une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale avec une surface supérieure, une surface inférieure et un bord périphérique; and a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central section with a transparent top surface, a bottom surface and a peripheral edge; où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et une région de maintien, entourant le bord périphérique de la section transparente centrale; and a holding region surrounding the peripheral edge of the transparent central section; où la région de maintien comprend une surface de contact, une pluralité de rainures concentriques, et une pluralité d'orifices de vide; where the holding area comprises a contact surface, a plurality of concentric grooves, and a plurality of vacuum ports; où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques; wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves; où la surface de contact est sensiblement de niveau avec la surface supérieure de la section transparente centrale; where the contact surface is substantially flush with the upper surface of the transparent central section; où la pluralité de rainures concentriques ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves have a groove width W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et (b) est configuré pour maintenir une feuille polymérique sensiblement à plat contre la surface supérieure de la section transparente centrale; and (b) is configured to maintain a substantially polymeric foil flat against the upper surface of the transparent central section; où la feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; where the polymeric sheet (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission, une surface d'incidence et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmitting surface, an incident surface and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; un séquenceur; a sequencer; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; a light source, wherein the light source emits a beam; un détecteur de lumière; a light detector; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière; a digital image data acquisition device coupled to the light detector; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; and an image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device; où le magasin a une capacité pour stocker la pluralité de plateaux de support; where the tray has a capacity for storing the plurality of support plates; où le magasin est conçu pour charger, stocker et distribuer la pluralité de plateaux de support pour faciliter une analyse d'une pluralité de feuilles polymériques; where the store is designed to load, store and distribute the plurality of support plates to facilitate analysis of a plurality of polymeric sheets; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de plateaux de support, un à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; wherein the sequencer is configured to extract from the magazine and transporting the plurality of support plates, one at a time, to a position disposed between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale et frapper la surface d'incidence; wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section and hit the impact surface; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la section transparente centrale et l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam which is transmitted through the transparent central section and thickness, Ts, and since the transmitting surface; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; wherein the light detector is configured for converting an intensity of the transmitted light into an electrical signal; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; wherein the data acquisition device coupled to the digital image light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; where the unit of image coupled to the digital image data acquisition device data processor is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device for detecting macro-inhomogeneities and sorting acceptable polymeric sheets to be used as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. wherein the plurality of polymeric sheets is divided into a population of acceptable sheets and a population of suspect sheets. [0011] La présente invention fournit un procédé pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, comprenant: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique dans la pluralité de feuilles polymériques (i) comprend: un composite de polymère et de microélérnents, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de rnicroéléments sont dispersés dans le polymère; [0011] The present invention provides a method for analyzing polymer sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pad, comprising: providing a plurality of polymeric sheets, wherein each polymeric sheet in the plurality of polymeric sheets (i) comprises: a composite of polymer and microélérnents comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of rnicroéléments are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission, une surface d'incidence et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmitting surface, an incident surface and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; la fourniture d'un analyseur de couche de polissage, comprenant: un magasin; providing an analyzer polishing layer, comprising: a magazine; et une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale avec une surface supérieure, une surface inférieure et un bord périphérique; and a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central section with a transparent top surface, a bottom surface and a peripheral edge; où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et une région de maintien, entourant le bord périphérique de la section transparente centrale; and a holding region surrounding the peripheral edge of the transparent central section; où la région de maintien comprend une surface de contact, une pluralité de rainures concentriques, et une pluralité d'orifices de vide; where the holding area comprises a contact surface, a plurality of concentric grooves, and a plurality of vacuum ports; où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques; wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves; où la surface de contact est sensiblement de niveau avec la surface supérieure de la section transparente centrale; where the contact surface is substantially flush with the upper surface of the transparent central section; où la pluralité de rainures concentriques ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves have a groove width W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et (b) est configuré pour maintenir une seule feuille polymérique de la pluralité de feuilles polymériques sensiblement à plat contre la surface supérieure de la section transparente centrale; and (b) is configured to maintain a single polymeric sheet of the plurality of polymeric sheets substantially flat against the upper surface of the transparent central section; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; a light source, wherein the light source emits a beam; un détecteur de lumière; a light detector; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; a data acquisition device for digital image; et une unité de traitement de données d'image; and an image data processing unit; l'appariement de la pluralité de feuilles polymériques avec la pluralité de plateaux de support pour former une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille; matching the plurality of polymeric sheets with the plurality of support plates to form a plurality of support plates provided with a sheet; où chaque plateau de support muni d'une feuille dans la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille comprend une feuille polymérique associée maintenue sur lui par la région de maintien de sorte que la surface d'incidence de la feuille polymérique associée est maintenue à plat contre la surface supérieure; wherein each support plate provided with a sheet in the plurality of support plates provided with a sheet comprises a polymeric sheet associated held thereon by the holding region such that the incident surface of the associated polymeric sheet is held flat against the upper surface; le transport de la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; transporting the plurality of support plates provided with a sheet, one at a time, between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale et frapper la surface d'incidence; wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section and hit the impact surface; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la section transparente centrale et l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam which is transmitted through the transparent central section and thickness, Ts, and since the transmitting surface; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; where the transmitted light has at least one detectable property; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; wherein the at least one detectable property includes an intensity of the transmitted light; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; where the intensity of the transmitted light is converted into an electric signal by the light detector; où le signal électrique provenant du détecteur de lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; where the electrical signal from the light detector is converted to a digital signal by the data acquisition device for digital image; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou comme suspectes; and wherein the digital signal from the digital image data acquisition device is processed by the image data processing unit, wherein the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities and to classify the polymeric sheets as acceptable or as suspicious; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. and wherein the plurality of polymeric sheets is divided into a population of acceptable sheets and a population of suspect sheets.

BREVE DESCRIPTION DES DESSINS [0012] La figure 1 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS [0012] Figure 1 shows a perspective view of a polymeric sheet. [0013] La figure 2 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique. [0013] Figure 2 shows a perspective view of a polymeric sheet. [0014] La figure 3 représente une vue en perspective d'une feuille polymérique maintenue à plat contre la surface supérieure d'un plateau de support. [0014] Figure 3 shows a perspective view of a polymeric sheet held flat against the upper surface of a support plate. [0015] La figure 4 représente une vue de dessus d'un plateau de support suivant la ligne 203-203 de la figure 3. [0016] La figure 5 est une vue en coupe suivant la ligne BB de la figure 4. [0017] La figure 6 est une vue en coupe suivant la ligne CC de la figure 4. [0018] La figure 7 représente une vue en coupe partielle d'un tampon de polissage mécano-chimique incorporant, comme couche de polissage, une feuille polymérique. [0015] Figure 4 shows a top view of along line support tray 203-203 of Figure 3. [0016] Figure 5 is a BB sectional view along line of FIG 4. [0017 ] Figure 6 is a CC sectional view along line of FIG 4. [0018] Figure 7 shows a partial sectional view of a chemical mechanical polishing pad incorporating, as a polishing layer, a polymeric sheet. DESCRIPTION DETAILLEE [0019] Le procédé de la présente invention fournit une amélioration significative dans la qualité des tampons de polissage mécano-chimique terminés (prêts à l'emploi). DETAILED DESCRIPTION [0019] The process of the present invention provides a significant improvement in the quality of chemical mechanical polishing pads ended (ready to use). Le procédé de la présente invention améliore largement les aspects de contrôle de la qualité de la production des tampons de polissage mécano-chimique utilisant des feuilles polymériques formées à partir d'un composite de polymère et de microéléments comprenant un polymère et une pluralité de microéléments dispersés dans le polymère en réalisant une première inspection des feuilles polymériques pour identifier les feuilles acceptables parmi une pluralité de feuilles polymériques et en cartographiant les surfaces de transmission de feuilles suspectes pour faciliter l'inspection visuelle ciblée des parties des feuilles suspectes contenant des macro-inhomogénéités. The method of the present invention largely improves the quality control aspects of the production of chemical mechanical polishing pads using polymeric sheets formed from a composite of polymer and microelements comprising a polymer and a plurality of microelements dispersed in the polymer by conducting a first inspection of the polymeric sheets to identify acceptable sheets from a plurality of polymeric sheets and mapping the suspect sheets transmission surfaces to facilitate visual inspection of the targeted portions of the suspect sheets containing macro-inhomogeneities. De cette manière, la fatigue des opérateurs est largement réduite (c'est-à-dire que les opérateurs ne sont pas contraints de passer de longues heures à observer les feuilles polymériques pour localiser des macro-inhomogénéités). In this way, operator fatigue is greatly reduced (that is to say that the operators are not forced to spend long hours observing the polymeric sheets to locate the macro-inhomogeneities). Ainsi, ceci permet aux opérateurs de porter une plus grande attention là où elle est la plus importante (c'est-à-dire l'évaluation d'inhomogénéités spécifiques dans les feuilles polymériques pour déterminer leur aptitude à l'emploi). So, this allows operators to pay greater attention where it is most important (that is to say the assessment of specific inhomogeneities in the polymeric sheets to determine their suitability for use). [0020] Le terme "poly(uréthane)" tel qu'il est utilisé ici englobe (a) les polyuréthanes formés par la réaction de (i) des isocyanates et (ii) des polyols (y compris des diols); [0020] The term "poly (urethane)" as used herein encompasses (a) polyurethanes formed by the reaction of (i) isocyanates and (ii) polyols (including diols); et (b) un poly(uréthane) formé par la réaction de (i) des isocyanates avec (ii) des polyols (y compris des diols) et (iii) de l'eau, des amines ou une combinaison d'eau et d'amines. and (b) poly (urethane) formed by the reaction of (i) isocyanates with (ii) polyols (including diols) and (iii) water, amines or a combination of water and amines. [0021] Le terme "épaisseur moyenne de feuille polymérique, Ts_avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) ayant une surface de transmission (14) et une surface d'incidence (17) signifie la moyenne de l'épaisseur, Ts, de la feuille polymérique (20) mesurée dans une direction perpendiculaire au plan (28) de la surface de transmission (14), de la surface de transmission (14) à la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20). [0021] The term "average thickness of polymeric sheet, Ts_avg" as used herein in reference to a polymeric sheet (20) having a transmission surface (14) and an incident surface (17) means the average thickness, Ts, of the polymer sheet (20) measured in a direction perpendicular to the plane (28) of the transmission surface (14) of the transmission surface (14) to the incident surface (17) of the polymeric sheet (20). (Voir Figures 1-2). (See Figures 1-2). [0022] Le terme "épaisseur moyenne de couche de base, TB- avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-chimique (110) ayant un sous-tampon (125) comportant une interface avec une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de l'épaisseur, TB, du sous-tampon (125) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface inférieure (127) du sous-tampon (125) à la surface supérieure (126) du sous-tampon (125). [0022] The term "average thickness basecoat, TB- avg" as used herein in reference to a chemical mechanical polishing pad (110) having a sub-buffer (125) having an interface with a polymeric foil incorporated as a polishing layer (120) having a polishing surface (114) means the average of the thickness TB of the sub-buffer (125) measured in a direction perpendicular to the polishing surface (114) the bottom surface (127) of the sub-buffer (125) to the upper surface (126) of the sub-buffer (125). (Voir Figure 7). (See Figure 7). [0023] Le terme "épaisseur totale moyenne, TT-avg" tel qu'il est utilisé ici en référence à un tampon de polissage mécano-chimique (110) ayant une feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) ayant une surface de polissage (114) signifie la moyenne de 5 l'épaisseur, TT, du tampon de polissage mécano-chimique (110) mesurée dans une direction perpendiculaire à la surface de polissage (114), de la surface de polissage (114) à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125). [0023] The term "average total thickness, TT-avg" as used herein in reference to a chemical mechanical polishing pad (110) having a polymeric foil incorporated as a polishing layer (120) having a surface polishing (114) means the average of 5 thickness, TT, chemical mechanical polishing pad (110) measured in a direction perpendicular to the polishing surface (114) of the polishing surface (114) on the surface lower (127) of the sub-buffer (125). (Voir Figure 7). (See Figure 7). [0024] Le terme "section droite sensiblement circulaire" tel 10 qu'il est utilisé ici en référence à une feuille polymérique (20) signifie que le plus grand rayon, r, de la feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20), depuis un axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille polymérique (20) est 5 20% plus long que le plus petit rayon, r, de la 15 feuille polymérique (20) projetée sur le plan (28) de la surface de transmission (14) de la feuille polymérique (20) depuis l'axe central, A, jusqu'au périmètre externe (15) de la feuille polymérique (20). [0024] The term "substantially circular cross section" as used herein 10 with reference to a polymeric sheet (20) means that the largest radius, r, of the polymeric sheet (20) projected onto the plane (28 ) of the transmission surface (14) of the polymeric sheet (20) from a central axis a, to the outer perimeter (15) of the polymeric sheet (20) Est 5 20% longer than the smallest radius , r, of the polymeric sheet 15 (20) projected onto the plane (28) of the transmission surface (14) of the polymeric sheet (20) from the central axis A, to the outer perimeter (15) the polymeric sheet (20). (Voir Figures 1 & 2). (See Figures 1 & 2). [0025] Le terme "sensiblement parallèle" tel qu'il est utilisé ici en 20 référence à une feuille polymérique (20) signifie que l'axe central, A, (et toutes les parallèles à celui-ci) perpendiculaire à un plan (30) de la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique (20) rencontrera un plan (28) de la surface de transmission (14) sous un angle, y; [0025] The term "substantially parallel" as used herein in reference 20 to a polymeric sheet (20) means that the central axis, A, (and all parallel thereto) perpendicular to a plane ( 30) of the impact surface (17) of the polymeric sheet (20) meet a plane (28) of the transmission surface (14) at an angle, y; où l'angle, y, est entre 89 et 91°. where the angle, there is between 89 and 91 °. (Voir Figures 1 & 2). (See Figures 1 & 2). 25 [0026] Le terme "sensiblement lisse" tel qu'il est utilisé ici signifie que la surface est plate à ± 0,001 mm. 25 [0026] The term "substantially smooth" as used herein means that the surface is flat within ± 0.001 mm. [0027] Le terme "sensiblement de niveau" tel qu'il est utilisé ici signifie que les surfaces concernées sont de niveau à ± 0,001 mm. [0027] The term "substantially level" as used herein means that the affected surfaces are level to ± 0.001 mm. [0028] Le terme "sensiblement plate" tel qu'il est utilisé ici en 30 référence à une feuille polymérique maintenue contre une surface supérieure d'une section transparente centrale d'un plateau de support signifie que la surface de transmission de la feuille polymérique est plate à ± 1 mm. [0028] The term "substantially flat" as used herein in reference 30 to a polymeric sheet held against an upper surface of a central section of a transparent carrier plate means that the transmission surface of the polymeric sheet is flat within ± 1 mm. [0029] Le terme "sensiblement circulaire" tel qu'il est utilisé ici en référence à une section transparente centrale (220) d'un plateau de support (200) signifie que le bord périphérique (235) a une circularité de ? [0029] The term "substantially circular" as used herein with reference to a central transparent section (220) of a support plate (200) means that the peripheral edge (235) has a circularity? 0,6. 0.6. (voir Figures 3-6). (See Figures 3-6). [0030] Le terme "essentiellement circulaire" tel qu'il est utilisé ici en référence à une section transparente centrale (220) d'un plateau de support (200) signifie que le bord périphérique (235) a une circularité de - 0,9. [0030] The term "substantially circular" as used herein with reference to a central transparent section (220) of a support plate (200) means that the peripheral edge (235) has a circularity - 0, 9. (voir Figures 3-6). (See Figures 3-6). [0031] Le terme "matériau rigide" tel qu'il est utilisé ici en référence à un matériau de construction d'une région de maintien (240) d'un plateau de support (200) signifie que le matériau de construction ne se déforme pas dans les conditions de son utilisation envisagée ici. [0031] The term "rigid material" as used herein with reference to a construction of a holding region of material (240) of a support plate (200) indicates that the building material will deform not under the conditions of use envisaged. [0032] Le terme "macro-inhomogénéité" tel qu'il est utilisé ici signifie une région localisée sur la surface de transmission d'une feuille polymérique entourée par une région adjacente sur la surface de transmission de la feuille polymérique, où l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région localisée est supérieure ou inférieure à l'intensité détectée de la lumière transmise à travers la région adjacente d'une quantité 0,1 °h de la plage d'intensités détectable du détecteur de lumière; [0032] The term "macro-inhomogeneity" as used herein means a localized region on the surface for transmitting a polymeric foil surrounded by a region adjacent the transmission surface of the polymeric sheet where the intensity detected light transmitted through the localized region is higher or lower than the detected intensity of the light transmitted through the adjacent region by an amount h 0.1 ° of the range of detectable intensity of the light detector; et où la région localisée englobe une partie de la surface de transmission suffisamment grande pour occlure un cercle ayant un 25 diamètre de 15,875 mm dans le plan de la surface de transmission. and where the localized region comprises a portion of the transmitting surface large enough to occlude a circle having a diameter 25 of 15.875 mm in the plane of the transmission surface. [0033] Le terme "défaut de densité" tel qu'il est utilisé ici désigne une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une concentration de microéléments sensiblement réduite par rapport à la région environnante de la feuille polymérique. [0033] The term "density failure" as used herein refers to a macro-inhomogeneity in a polymer sheet having a concentration of microelements substantially reduced relative to the surrounding area of ​​the polymeric sheet. Les défauts de densité 30 présentent une transparence nettement plus élevée (c'est à dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. The density of defects 30 have a substantially higher transparency (i.e. greater detected intensity of the transmitted light) than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. [0034] Le terme "soufflure" tel qu'il est utilisé ici désigne une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant une inclusion d'air qui conduit à une transparence nettement plus élevée (c'est-à-dire une plus grande intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0034] The term "bubble" as used herein refers to a macro-inhomogeneity in a polymer sheet having an air inclusion that leads to a significantly higher transparency (that is to say a greater intensity detected the transmitted light) than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. [0035] Le terme "défaut d'inclusion" tel qu'il est utilisé ici désigne une nnacro-inhomogénéité dans une feuille polymérique ayant un contaminant étranger qui conduit à une transparence nettement plus basse (c'est-à-dire une plus faible intensité détectée de la lumière transmise) que la région environnante de la feuille polymérique. [0035] The term "inclusion error" as used herein means a nnacro-inhomogeneity in a polymer sheet having a foreign contaminant that led to a significantly lower transparency (that is to say, a lower detected intensity of the transmitted light) than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. [0036] De préférence, l'analyseur de couche de polissage de la présente invention comprend: un magasin; [0036] Preferably, the polishing layer analyzer of the present invention comprises: a magazine; et une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale (de préférence, où la section transparente centrale est une section transparente en forme de cylindre droit) (220) avec une surface supérieure (225), une surface inférieure (230) et un bord périphérique (235); and a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central transparent portion (preferably, in which the central transparent section is a transparent section in the form of right cylinder) ( 220) with an upper surface (225), a bottom surface (230) and a peripheral edge (235); où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; (de préférence, où le bord périphérique est sensiblement circulaire; de préférence encore, où le bord périphérique est essentiellement circulaire); (Preferably where the peripheral edge is substantially circular, preferably, wherein the peripheral edge is substantially circular); et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et une région de maintien (240), entourant le bord périphérique de la section transparente centrale; and a holding region (240) surrounding the peripheral edge of the transparent central section; où la région de maintien (240) comprend une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) comprises a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques (250) pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques (250); wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves (250) to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves (250); où la surface de contact (245) est sensiblement de niveau avec la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); wherein the contact surface (245) is substantially flush with the upper surface (225) of the central transparent section (220); où la pluralité de rainures concentriques (250) ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves (250) have a groove width, W, and a groove pitch P; et où W < P (de préférence, où W < 1/2 P; de préférence encore, où W < 1/3 P; de manière particulièrement préférable, où W < 1/4 P); and wherein W <P (preferably, wherein W <P 1/2, preferably, wherein W <P 1/3; most preferably, wherein W <1/4 P); et (b) est configuré pour maintenir une feuille polymérique sensiblement à plat contre la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); and (b) is configured to maintain a substantially polymeric foil flat against the upper surface (225) of the central transparent section (220); où la feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; where the polymeric sheet (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission, une surface d'incidence et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmitting surface, an incident surface and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; où le magasin a une capacité pour stocker la pluralité de plateaux de support; where the tray has a capacity for storing the plurality of support plates; et où le magasin est conçu pour charger, stocker et distribuer la pluralité de plateaux de support pour faciliter une analyse d'une pluralité de feuilles polymériques. and wherein the store is designed to load, store and distribute the plurality of support plates to facilitate analysis of a plurality of polymeric sheets. (Voir Figures 3-6). (See Figures 3-6). [0037] De préférence, le magasin est conçu pour contenir, stocker et distribuer une pluralité de plateaux de support De préférence encore, le magasin est conçu pour contenir, stocker et distribuer une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support est associé avec une feuille polymérique de sorte que la feuille polymérique est maintenue sensiblement à plat contre la surface supérieure de sa section transparente centrale. [0037] Preferably, the store is designed to hold, store and distribute a plurality of preferably support plates still, the store is designed to hold, store and distribute a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of support plates is associated with a polymeric sheet so that the polymer sheet is maintained substantially flat against the upper surface of its transparent central section. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 plateaux de support avec les feuilles polymériques associées (de préférence encore, au moins 15 plateaux de support avec les feuilles polymériques associées; de préférence encore, au moins 20 plateaux de support avec les feuilles polymériques associées; de manière particulièrement préférable, au moins 30 plateaux de support avec les feuilles polymériques associées). Preferably, the store has a capacity determined to contain at least 10 support plates with polymeric sheets associated (more preferably, at least 15 support plates with polymeric sheets associated; more preferably, at least 20 support plates with polymeric sheets associated; most preferably, at least 30 support plates associated with polymeric sheets). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger une pluralité de plateaux de support avec les feuilles polymériques associées dans un système d'inspection automatique. The calculated capacity of the store enables an operator to load a plurality of support plates with polymeric sheets associated in an automatic inspection system. Lorsque la pluralité de plateaux de support avec les feuilles polymériques associées sont chargés dans le magasin, l'opérateur est capable d'accomplir d'autres tâches tandis que le système d'inspection automatique traite et classe les feuilles polymériques associées comme acceptables ou comme suspectes. When the plurality of support plates associated with polymeric sheets are loaded in the store, the operator is able to perform other tasks while the automatic inspection system processes and classifies polymeric sheets associated acceptable or as suspicious . [0038] De préférence, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); [0038] Preferably, each support plate (200) has a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) a une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) has a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où chaque rainure concentrique (250) a une paire de parois latérales (255) et une base (253). wherein each concentric groove (250) has a pair of side walls (255) and a base (253). De préférence encore, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); More preferably, each support plate (200) has a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) a une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) has a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où chaque rainure concentrique (250) a une paire de parois latérales (255) et une base (253); wherein each concentric groove (250) has a pair of side walls (255) and a base (253); où chaque paroi latérale (255) est sensiblement perpendiculaire à la surface de contact (245). wherein each side wall (255) is substantially perpendicular to the contact surface (245). [0039] De préférence, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); [0039] Preferably, each support plate (200) has a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) a une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) has a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques (250) pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques (250); wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves (250) to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves (250); et où chaque rainure concentrique (250) a au moins un orifice de vide (260) en communication avec elle pour faciliter l'application d'un vide dans celle-ci quand une feuille polymérique (20) est disposée contre la région de maintien (240). and wherein each concentric groove (250) has at least one vacuum port (260) in communication with it to facilitate application of a vacuum therein when a polymeric sheet (20) is disposed against the holding region ( 240). (Voir Figure 3). (See Figure 3). De préférence encore, chaque rainure concentrique (250) a 4 à 20 orifices de vide (260). More preferably, each concentric groove (250) has 4 to 20 vacuum ports (260). De manière particulièrement préférable, chaque rainure concentrique (250) a 4 à 20 orifices de vide (260) distribués uniformément suivant la base (253) de chaque rainure concentrique (250). Most preferably, each concentric groove (250) has 4 to 20 vacuum ports (260) uniformly distributed along the base (253) of each concentric groove (250). De préférence, chaque orifice de vide (260) a une ouverture (265) dans la base (253) de la rainure concentrique (250). Preferably, each vacuum port (260) has an opening (265) in the base (253) of the concentric groove (250). De préférence, chaque ouverture (265) dans la base (253) de la rainure concentrique (250) a une section droite circulaire avec un diamètre, D; Preferably, each aperture (265) in the base (253) of the concentric groove (250) has a circular cross section with a diameter, D; où 0,75*W 5. D 5. W (de préférence, où 0,9*W 5 D 5 W; de préférence encore, où 0,95*W 5 DW; de manière particulièrement préférable, où D = W). where W * 0.75 5. D 5. W (preferably 0.9 where W * 5 D 5 W, more preferably, where .95 * DW W 5; most preferably, where D = W) . [0040] De préférence, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240); [0040] Preferably, each support plate (200) has a holding region (240); où la région de maintien (240) est construite en un matériau rigide. where the holding region (240) is constructed of a rigid material. De préférence, la région de maintien (240) est construite en un matériau choisi dans le groupe consistant en les métaux; Preferably, the holding region (240) is constructed of a material selected from the group consisting of metals; les matériaux de type roche (par exemple granite et marbre); type of rock materials (eg granite and marble); les matériaux céramiques; ceramic materials; et les matières plastiques dures (par exemple polyamides aliphatiques comme le Nylon 6-6). and hard plastics (e.g., aliphatic polyamides such as nylon 6-6). De préférence encore, la région de maintien (240) est construite en un matériau choisi dans le groupe consistant en les alliages métalliques. More preferably, the holding region (240) is constructed of a material selected from the group consisting of metallic alloys. De préférence encore, la région de maintien (240) est construite en un alliage métallique, où l'alliage métallique est choisi dans le groupe consistant en les alliages d'aluminium, les alliages de carbone (par exemple acier à outils), les alliages de fer, les alliages de nickel (par exemple aciers inoxydables (comme l'acier inoxydable 304, l'acier inoxydable 316); les Hastelloyel (comme Hastelloy&C)); More preferably, the holding region (240) is constructed of a metal alloy, wherein the metal alloy is selected from the group consisting of aluminum alloys, carbon alloys (e.g. tool steel), alloys iron, nickel alloys (e.g., stainless steels (such as stainless steel 304, stainless steel 316) the Hastelloyel (as Hastelloy & C)); et les alliages de titane. and titanium alloys. De manière particulièrement préférable, la région de maintien (240) est construite en un alliage métallique, où l'alliage métallique est un acier inoxydable (par exemple l'acier inoxydable 304, l'acier inoxydable 316). Most preferably, the holding region (240) is constructed of a metal alloy, wherein the metal alloy is a stainless steel (e.g. 304 stainless steel, 316 stainless steel). [0041] De préférence, chaque plateau de support (200) a une section transparente centrale (220), où la section transparente centrale (220) a un facteur de transmission de 90% pour le faisceau émis par la source de lumière. [0041] Preferably, each support plate (200) has a central transparent section (220), wherein the transparent central section (220) has a transmittance of 90% for the beam emitted by the light source. De préférence encore, chaque plateau de support (200) a une section transparente centrale (220), où la section transparente centrale (220) a un facteur de transmission de 90% pour une lumière ayant une longueur d'onde de 440 à 490 nm. More preferably, each support plate (200) has a central transparent section (220), wherein the transparent central section (220) has a 90% transmittance for light having a wavelength of 440 to 490 nm . [0042] De préférence, chaque plateau de support (200) a une section transparente centrale (220) qui est faite d'un matériau choisi parmi le verre, le quartz et une matière plastique. [0042] Preferably, each support plate (200) has a central transparent portion (220) which is made of a material selected from glass, quartz and plastic. De préférence encore, chaque plateau de support (200) a une section transparente centrale (220) qui est faite d'un matériau choisi parmi le verre et le quartz. More preferably, each support plate (200) has a central transparent portion (220) which is made of a material selected from glass and quartz. De manière particulièrement préférable, chaque plateau de support (200) a une section transparente centrale (220) qui est faite de verre. Most preferably, each support plate (200) has a central transparent portion (220) which is made of glass. [0043] De préférence, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), où la région de maintien (240) est un anneau. [0043] Preferably, each support plate (200) has a holding region (240), wherein the holding region (240) is a ring. [0044] De préférence, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), où la région de maintien (240) comprend en outre un rebord (247) qui s'étend depuis le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220) suivant une partie de la surface inférieure (230). [0044] Preferably, each support plate (200) has a holding region (240), wherein the holding region (240) further comprises a flange (247) extending from the peripheral edge (235) of the transparent central section (220) along a portion of the lower surface (230). De préférence encore, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), où la région de maintien (240) comprend en outre un rebord (247) qui s'étend depuis le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220) suivant une partie de la surface inférieure (230) et où la section transparente centrale (220) est fixée au rebord (247) de la région de maintien (240) avec un adhésif. More preferably, each support plate (200) has a holding region (240), wherein the holding region (240) further comprises a flange (247) extending from the peripheral edge (235) of the section transparent central (220) along a portion of the lower surface (230) and wherein the central transparent section (220) is fixed to the flange (247) of the holding region (240) with an adhesive. (Voir Figures 5-6). (See Figures 5-6). [0045] Chaque plateau de support (200), dans la pluralité de plateaux de support, est configuré pour maintenir une feuille polymérique (20) sensiblement à plat contre la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); [0045] Each support plate (200), the plurality of support plates, is configured to maintain a polymeric sheet (20) substantially flat against the upper surface (225) of the central transparent section (220); où la feuille polymérique (20) (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; where the polymeric sheet (20) (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission (14), une surface d'incidence (17) et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission (14) et la surface d'incidence (17); and (ii) has a transmission surface (14), an incidence surface (17) and a thickness Ts between the transmission surface (14) and the incident surface (17); où la surface de transmission (14) et la surface d'incidence (17) sont sensiblement parallèles. wherein the transmission surface (14) and the impact surface (17) are substantially parallel. De préférence, chaque feuille polymérique (20) a une épaisseur moyenne, Ts-avg, de 500 à 5000 pm (de préférence, de 750 à 4000 pm; de préférence encore, de 1000 à 3000 pm; de manière particulièrement préférable, de 1200 à 2100 pm). Preferably each polymeric sheet (20) has an average thickness, T s avg, of 500 to 5000 pm (preferably 750-4000 microns; more preferably, from 1000 to 3000 microns; most preferably, 1200 2100 pm). De préférence, chaque feuille polymérique (20) a un rayon moyen, ravg, de 20 à 100 cm (de préférence encore, de 25 à 65 cm; de manière particulièrement préférable, de 40 à 60 cm). Preferably each polymeric sheet (20) has a mean radius, RAVG, 20 to 100 cm (more preferably 25 to 65 cm, most preferably from 40 to 60 cm). (Voir Figures 1-3). (See Figures 1-3). [0046] De préférence, chaque feuille polymérique (20) comprend un composite de polymère et de microéléments; [0046] Preferably, each polymer sheet (20) comprises a composite of polymer and microelements; où le composite de polymère et de microéléments, comprend: un polymère et une pluralité de microéléments; wherein the polymer composite and micro-elements, comprises: a polymer and a plurality of microelements; et où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère. and wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer. De préférence, le composite de polymère et de microéléments comprend: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère selon un motif. Preferably, the polymer composite and microelements comprises: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer in a pattern. De préférence encore, le composite de polymère et de microéléments comprend: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère selon un motif choisi dans le groupe consistant en un motif uniforme et un motif de gradient. More preferably, the polymer composite and microelements comprises: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer in a pattern selected from the group consisting of a uniform pattern and a gradient pattern. De manière particulièrement préférable, le composite de polymère et de microéléments comprend: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés uniformément dans le polymère. Most preferably, the polymer composite and microelements comprises: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are uniformly dispersed in the polymer. De préférence, le composite de polymère et de microéléments est préparé au moyen d'un prépolymère liquide, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le prépolymère liquide; Preferably, the polymer composite and microelements is prepared by means of a liquid prepolymer, wherein the plurality of microelements are dispersed into the liquid prepolymer; et où le prépolymère liquide est ensuite durci pour former le polymère. and wherein the liquid prepolymer is then cured to form the polymer. [0047] De préférence, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments se polymérise pour former un matériau choisi parmi un poly(uréthane), une polysulfone, une polyéther sulfone, un nylon, un polyéther, un polyester, un polystyrène, un polymère acrylique, une polyurée, un polyamide, un poly(chlorure de vinyle), un poly(fluorure de vinyle), un polyéthylène, un polypropylène, un polybutadiène, une polyéthylèneimine, un polyacrylonitrile, un poly(oxyde d'éthylène), une polyoléfine, un poly(acrylate d'alkyle), un poly(méthacrylate d'alkyle), un polyamide, un polyétherimide, une polycétone, un époxyde, un silicone, un polymère formé à partir d'éthylène propylène diène monomère, une protéine, un polysaccharide, un polyacétate et une combinaison d'au moins deux des précédents. [0047] Preferably, the liquid prepolymer used in preparing the polymer and microelements of the composite polymerizes to form a material selected from poly (urethane), polysulfone, polyether sulfone, nylon, polyether, polyester, polystyrene, acrylic polymer, polyurea, polyamide, poly (vinyl chloride), poly (vinyl fluoride), polyethylene, polypropylene, polybutadiene, polyethylene imine, polyacrylonitrile, poly (oxide ethylene), polyolefin, poly (alkyl acrylate), poly (alkyl methacrylate), polyamide, polyetherimide, polyketone, epoxy, silicone, polymer formed from ethylene propylene diene monomer , a protein, a polysaccharide, a polyacetate and a combination of at least two of the foregoing. De préférence, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments se polymérise pour former un matériau comprenant un poly(uréthane). Preferably, the liquid prepolymer used in the preparation of polymer and microelements of the composite polymerizes to form a material comprising a poly (urethane). De préférence encore, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments se polymérise pour former un matériau comprenant un polyuréthane. More preferably, the liquid prepolymer used in the preparation of polymer and microelements of the composite polymerizes to form a material comprising a polyurethane. De manière particulièrement préférable, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments se polymérise (durcit) pour former un polyuréthane. Most preferably, the liquid prepolymer used in the preparation of polymer and microelements of the composite cures (hardens) to form a polyurethane. [0048] De préférence, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments comprend un matériau contenant un polyisocyanate. [0048] Preferably, the liquid prepolymer used in the preparation of the polymer composite and microelements comprises a material containing a polyisocyanate. De préférence encore, le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments comprend le produit de la réaction d'un polyisocyanate (par exemple, un diisocyanate) et d'un matériau hydroxylé. More preferably, the liquid prepolymer used in the preparation of the polymer composite and microelements comprises the reaction product of a polyisocyanate (e.g., diisocyanate) and a hydroxylated material. [0049] De préférence, le polyisocyanate utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments est choisi parmi le 5 méthylène-bis-4,4'-cyclohexyl-isocyanate; [0049] Preferably the polyisocyanate used in preparing the polymer composite and microelements is selected from 5-methylene-bis-4,4'-cyclohexyl diisocyanate; le cyclohexyldiisocyanate; the cyclohexyl diisocyanate; l'isophoronediisocyanate; isophorone diisocyanate; l'hexaméthylènediisocyanate; hexamethylene diisocyanate; le propylène-1,2- diisocyanate; propylene-1,2-diisocyanate; le tétraméthylène-1,4-diisocyanate; tetramethylene-1,4-diisocyanate; le 1,6-hexaméthylènediisocyanate; 1,6-hexamethylene diisocyanate; le dodécane-1,12-diisocyanate; dodecane-1,12-diisocyanate; le cyclobutane-1,3- diisocyanate; cyclobutane-1,3-diisocyanate; le cyclohexane-1,3-diisocyanate; cyclohexane-1,3-diisocyanate; le cyclohexane-1,4- diiso10 cyanate; cyclohexane-1,4 diiso10 cyanate; le 1-isocyanato-3,3,5-triméthy1-5-isocyanatométhyl-cyclohexane; 1-isocyanato-3,3,5-isocyanatomethyl-cyclohexane-triméthy1-5; le rnéthylcyclohexylènediisocyanate; the rnéthylcyclohexylènediisocyanate; le triisocyanate d'hexaméthylènediisocyanate; triisocyanate of hexamethylene diisocyanate; le triisocyanate de 2,4,4-triméthy1-1,6- hexanediisocyanate; triisocyanate triméthy1-1,6- 2,4,4-hexane diisocyanate; l'uretdione d'hexaméthylènediisocyanate; the uretdione of hexamethylene diisocyanate; l'éthylènediisocyanate; the ethylene diisocyanate; le 2,2,4-tri méthyl hexa méthylènediisocyanate; 2,2,4-tri-methyl hexa methylenediisocyanate; le 2,4,4-tri méthyl hexa- 15 méthylènediisocyanate; 2,4,4-tri-methyl hexa-methylenediisocyanate 15; le dicyclohexylméthane-diisocyanate; dicyclohexylmethane diisocyanate; et leurs combinaisons. and combinations thereof. De manière particulièrement préférable, le polyisocyanate utilisé dans la préparation du composite de polymère et de microéléments est aliphatique et a moins de 14 pourcent de groupes isocyanate qui n'ont pas réagi. Most preferably, the polyisocyanate used in preparing the polymer composite and microelements is aliphatic and has less than 14 percent of isocyanate groups unreacted. 20 [0050] De préférence, le matériau hydroxylé utilisé dans la présente invention est un polyol. 20 [0050] Preferably, the hydroxylated material used in the present invention is a polyol. Les exemples de polyols incluent, par exemple, les polyéther polyols, le polybutadiène à terminaison hydroxyle (y compris les dérivés partiellement et totalement hydrogénés), les polyester polyols, les polycaprolactone polyols, les polycarbonate polyols, et leurs mélanges. Examples of polyols include, for example, polyether polyols, hydroxyl-terminated polybutadiene (including partially and fully hydrogenated derivatives), polyester polyols, polycaprolactone polyols, polycarbonate polyols, and mixtures thereof. 25 [0051] Les polyols préférés incluent les polyéther polyols. 25 [0051] Preferred polyols include polyether polyols. Les exemples de polyéther polyols incluent le polytétraméthylène éther glycol ("PTMEG"), le polyéthylène propylène glycol, le polyoxypropylène glycol, et leurs mélanges. Examples of polyether polyols include polytetramethylene ether glycol ( "PTMEG"), polyethylene propylene glycol, polyoxypropylene glycol, and mixtures thereof. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées et des groupes aromatiques et cycliques substitués 30 ou non substitués. The hydrocarbon chain can have saturated or unsaturated bonds and aromatic and cyclic groups, substituted 30 or unsubstituted. De préférence, le polyol de la présente invention inclut du PTMEG. Preferably, the polyol of the present invention includes PTMEG. Les polyester polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, le polyéthylène adipate glycol; The suitable polyester polyols include, but are not limited to, polyethylene adipate glycol; le polybutylène adipate glycol; polybutylene adipate glycol; le polyéthylène propylène adipate glycol; polyethylene propylene adipate glycol; le o-phtalate-1,6-hexanediol; o-phthalate-1,6-hexanediol; le poly(hexannéthylène adipate) glycol; poly (hexannéthylène adipate) glycol; et leurs mélanges. and mixtures thereof. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées ou des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. The hydrocarbon chain can have saturated or unsaturated bonds or aromatic and cyclic groups, substituted or unsubstituted. Les polycaprolactone polyols appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, la polycaprolactone initiée par le 1,6-hexanediol; Polycaprolactone polyols suitable include, but are not limited to, polycaprolactone initiated by 1,6-hexanediol; la polycaprolactone initiée par le diéthylèneglycol; polycaprolactone initiated by diethylene glycol; la polycaprolactone initiée par le trinnéthylol- propane; polycaprolactone initiated by propane trinnéthylol-; la polycaprolactone initiée par le néopentylglycol; polycaprolactone initiated by neopentyl glycol; la polycaprolactone initiée par le 1,4-butanediol; polycaprolactone initiated by 1,4-butanediol; la polycaprolactone initiée par le PTMEG; polycaprolactone initiated by the PTMEG; et leurs mélanges. and mixtures thereof. La chaîne hydrocarbonée peut avoir des liaisons saturées ou insaturées, ou des groupes aromatiques et cycliques substitués ou non substitués. The hydrocarbon chain can have saturated or unsaturated bonds, or aromatic cyclic groups and substituted or unsubstituted. Les polycarbonates appropriés incluent, mais ne sont pas limités à, le polyphtalate carbonate et le poly(hexaméthylène carbonate) glycol. Suitable polycarbonates include, but are not limited to, polyphthalate carbonate and poly (hexamethylene carbonate) glycol. [0052] De préférence, la pluralité de microéléments utilisés dans la préparation du composite de polymère et de microéléments sont choisis parmi les bulles de gaz piégées, les matériaux polynnériques à noyau creux (c'est à dire les microsphères), les matériaux polymériques à noyau creux remplis de liquide, les matériaux solubles dans l'eau (par exemple, cyclodextrine) et un matériau en phase insoluble (par exemple, huile minérale). [0052] Preferably, the plurality of microelements used in preparing the polymer and the composite microelements are selected from entrapped gas bubbles, the materials polynnériques hollow core (i.e. microspheres), polymeric materials hollow core filled with liquid, the water soluble materials (e.g., cyclodextrin) and an insoluble phase material (e.g., mineral oil). De préférence, la pluralité de microéléments utilisés dans la préparation du composite de polymère et de microéléments sont des microsphères, comme des poly(alcools vinyliques), la pectine, la polyvinyl- pyrrolidone, l'hydroxyéthylcellulose, la méthylcellulose, l'hydropropylméthylcellulose, la carboxyméthylcellulose, l'hydroxypropylcellulose, les poly(acides acryliques), les polyacrylamides, les polyéthylèneglycols, les polyhydroxyétheracrylates, les amidons, les copolymères de l'acide maléique, le poly(oxyde d'éthylène), les polyuréthanes, la cyclodextrine et 3032 2 74 22 leurs combinaisons (par exemple, ExpancelTM de Akzo Nobel de Sundsvall, Suède). Preferably, the plurality of microelements used in preparing the polymer and the composite microelements are microspheres, such as poly (vinyl alcohol), pectin, polyvinyl pyrrolidone, hydroxyethylcellulose, methylcellulose, hydroxypropylmethylcellulose, the carboxymethylcellulose, hydroxypropylcellulose, poly (acrylic acids), polyacrylamides, polyethylene glycols, polyhydroxyétheracrylates, starches, copolymers of maleic acid, poly (ethylene oxide), polyurethanes, cyclodextrin and 3032 2 74 22 combinations thereof (e.g., ExpancelTM from Akzo Nobel of Sundsvall, Sweden). Les microsphères peuvent être modifiées chimiquement pour changer la solubilité, le gonflement et d'autres propriétés par ramification, blocage et réticulation, par exemple. The microspheres can be chemically modified to change the solubility, swelling and other properties by branching, blocking, and crosslinking, for example. De préférence, les microsphères ont 5 un diamètre moyen qui est inférieur à 150 lim, et de préférence encore un diamètre moyen inférieur à 50 p,m. Preferably, the microspheres have a 5 an average diameter which is smaller than 150 lim, and more preferably an average diameter of less than 50 p, m. De manière particulièrement préférable, les microsphères ont un diamètre moyen qui est inférieur à 15 itm. Most preferably, the microspheres have an average diameter which is less than 15 itm. On notera que le diamètre moyen des microsphères peut être amené à varier et qu'il est possible d'utiliser différentes tailles ou différents 10 mélanges de différentes microsphères. Note that the average diameter of the microspheres may be varied and it is possible to use different sizes or mixtures of different microspheres 10. Un matériau particulièrement préféré pour les microsphères est un copolymère d'acrylonitrile et de chlorure de vinylidène (par exemple, Expance1C) disponible auprès de Akzo Nobel). A particularly preferred material for the microspheres is a copolymer of acrylonitrile and vinylidene chloride (e.g., Expance1C) available from Akzo Nobel). [0053] Le prépolymère liquide utilisé dans la préparation du 15 composite de polymère et de microélérnents comprend en outre éventuellement un agent de durcissement. [0053] The liquid prepolymer used in the preparation of the polymer composite 15 and microélérnents optionally further comprises a curing agent. Les agents de durcissement préférés incluent les diamines. Preferred curing agents include diamines. Les polydiamines appropriées incluent les amines primaires et les amines secondaires. Appropriate polydiamines include primary amines and secondary amines. Les polydiamines préférées incluent, mais ne sont pas limitées à, la diéthyltoluènediamine ("DETDA"); Preferred polydiamines include, but are not limited to, diethyl toluene diamine ( "DETDA"); 20 la 3,5-diméthylthio-2,4-toluènediamine et ses isomères; 20 3,5-dimethylthio-2,4-toluenediamine and isomers thereof; la 3,5-diéthyl- toluène-2,4-diamine et ses isomères (par exemple, la 3,5-diéthyltoluène-2,6-diamine); 3,5-diethyltoluene-2,4-diamine and isomers thereof (e.g., 3,5-diethyltoluene-2,6-diamine); le 4,4'-bis-(sec-butylamino)-diphénylméthane; 4,4'-bis (sec-butylamino) diphenylmethane; le 1,4-bis-(sec-butylamino)-benzène; 1,4-bis- (sec-butylamino) -benzene; la 4,4'-méthylène-bis-(2-chloroaniline); 4,4'-methylene-bis- (2-chloroaniline); la 4,4'-méthylène-bis-(3-chloro-2,6-diéthylaniline) ("MCDEA"); 4,4'-methylene-bis- (3-chloro-2,6-diethylaniline) ( "MCDEA"); le polytétra- 25 méthylèneoxyde-di-p-aminobenzoate; polytetramethylene 25 méthylèneoxyde-di-p-aminobenzoate; un N,N'-dialkyldiaminodiphénylméthane; N, N'-dialkyldiaminodiphénylméthane; la p,p'-méthylènedianiline ("MDA"); p, p'-methylene dianiline ( "MDA"); la m-phénylène-diamine ("MPDA"); m-phenylenediamine ( "MPDA"); la méthylène-bis-2-chloroaniline ("MBOCA"); the methylene-bis-2-chloroaniline ( "MBOCA"); la 4,4'-méthylènebis-(2-chloroaniline) ("MOCA"); 4,4'-methylenebis (2-chloroaniline) ( "MOCA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,6-diéthylaniline) ("MDEA"); 4,4'-methylene-bis- (2,6-diethylaniline) ( "MDEA"); la 4,4'-méthylène-bis-(2,3-dichloroaniline) ("MDCA"); 4,4'-methylene-bis- (2,3-dichloroaniline) ( "MDCA"); le 30 4,4'-diamino-3,3'-diéthy1-5,5'-diméthyldiphénylméthane, le 2,2',3,3'-tétra- chlorodiaminodiphénylméthane; 30 4,4'-diamino-3,3'-diéthy1-5,5'-dimethyldiphenylmethane, 2,2 ', 3,3'-tetra- chlorodiaminodiphénylméthane; le di-p-aminobenzoate de tri méthylène-glycol; di-p-aminobenzoate tri methylene glycol; et leurs mélanges. and mixtures thereof. De préférence, l'agent de durcissement diamine est choisi parmi la 3,5-diméthyl-thio-2,4-toluènediamine et ses isomères. Preferably, the diamine curing agent is selected from 3,5-dimethyl-thio-2,4-toluenediamine and isomers thereof. [0054] Les agents de durcissement peuvent inclure aussi des diols, des triols, des tétraols et des agents de durcissement à terminaison hydroxyle. [0054] Curing agents may also include diols, triols, tetraols and curing agents hydroxyl terminated. Les diols, triols et tétraols appropriés incluent l'éthylèneglycol; Diols, triols and tetraols suitable include ethylene glycol; le diéthylèneglycol; diethylene glycol; le polyéthylèneglycol; polyethylene glycol; le propylèneglycol; propylene glycol; le polypropylèneglycol; polypropylene glycol; le polytétraméthylène éther glycol de masse moléculaire relativement faible; the relatively low molecular weight polytetramethylene ether glycol; le 1,3-bis(2-hydroxyéthoxy)benzène; 1,3-bis (2-hydroxyethoxy) benzene; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]benzène; 1,3-bis- [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] benzene; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxy- éthoxy)éthoxy]éthoxylbenzène; 1,3-bis- {2- [2- (2-hydroxy- ethoxy) ethoxy] éthoxylbenzène; le 1,4-butanediol; 1,4-butanediol; le 1,5-pentanediol; 1,5-pentanediol; le 1,6-hexanediol; 1,6-hexanediol; le résorcinol-di-(bêta-hydroxyéthypéther; l'hydroquinone-di-(bêta-hydroxyéthyl)éther; et leurs mélanges. Les agents de durcissement à terminaison hydroxyle préférés incluent le 1,3-bis- (2-hydroxyéthoxy)benzène; le 1,3-bis-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]- benzène; le 1,3-bis-{2-[2-(2-hydroxyéthoxy)éthoxy]éthoxy}-benzène; le 1,4-butanediol; et leurs mélanges. Les agents de durcissement à terminaison hydroxyle et diamine peuvent inclure un ou plusieurs groupes saturés, insaturés, aromatiques et cycliques. De plus, les agents de durcissement à terminaison hydroxyle et diamine peuvent inclure un ou plusieurs groupes halogène. [0055] De préférence, l'analyseur de couche de polissage de la présente invention comprend en outre: un séquenceur; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; un détecteur de lumière; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière; et une unité de traitement de donné resorcinol-di- (beta-hydroxyéthypéther; hydroquinone-di- (beta-hydroxyethyl) ether, and mixtures thereof Preferred hydroxy-terminated curatives include 1,3-bis (2-hydroxyethoxy) benzene. 1,3-bis- [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] - benzene; 1,3-bis {2- [2- (2-hydroxyethoxy) ethoxy] ethoxy} -benzenesulfonamide; 1,4 butanediol, and mixtures thereof curing agents for hydroxyl-terminated and diamine may include one or more unsaturated groups, unsaturated, aromatic and cyclic Also, hydroxyl and diamine-terminated curing agents may include one or more halogen [... 0055] preferably, the polishing layer analyzer of the present invention further comprises: a sequencer, a light source, wherein the light source emits a beam, a light detector, a data acquisition device digital image coupled to the light detector, and a given processing unit es d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; image are coupled to the digital image data acquisition device; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de plateaux de support, un à la fois, jusqu'à une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale et frapper la surface d'incidence; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la section transparente centrale et l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. [0056] De préférence, le séquenceur est configuré pour charger et extraire des plateaux de support du magasin. De préférence, le séquenceur est configuré pour charger et extraire des plateaux de support du magasin un à la fois. De préférence, le séquenceur est configuré en outre pour transporter les plateaux de support avec les feuilles polymériques associées, un à la fois, jusqu'à une position disposée entre une source de lumière et un détecteur de lumière; et pour renvoyer les plateaux de support avec les feuilles polymériques associées, un à la fois, dans le magasin. De préférence, le séquenceur inclut au moins un moteur linéaire. De préférence encore, le séquenceur inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 5_ 1 pm. [0057] De préférence, la source de lumière émet un faisceau. De préférence, le faisceau émis par la source de lumière présente un spectre d'émission incluant des longueurs d'onde choisies parmi au moins l'une des régions visible, ultraviolette et infrarouge. De préférence, la source de lumière est choisie parmi une source à bande large (par exemple une source de lumière blanche) et une source à bande étroite (par exemple une source de lumière bleue à bande étroite). De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite. De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite qui émet un faisceau, où le faisceau présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5. 50 nm (de préférence, 5 40 nm; de préférence encore, 5_ 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5. 30 nm). L'homme du métier moyen sera capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. [0058] De préférence, le détecteur de lumière est capable de convertir au moins une propriété détectable d'une lumière transmise provenant d'un faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence encore, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à 3032 2 74 26 travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. De préférence, le détecteur de lumière et un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un signal électrique.

5 De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). 5 Preferably, the light detector is an array of charge coupled devices (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD monochromatiques et les CCD couleurs. Preferably, the charge coupled devices (CCD) used are selected from the CCD and the CCD monochromatic colors. De préférence encore, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au 10 moins 8) dispositifs convertisseurs opto-électriques. More preferably, the light detector comprises a row of at least 5 (most preferably, at least 8 10) opto-electric converters. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 20 pm (de préférence, 5 16 pm) et un champ optique de 100 mm (de préférence, k 120 mm). Most preferably, the light detector comprises a row of at least 8 picture to CCD sensor devices (CCD) having a resolution of 20 microns (preferably from 5 16 pm) and an optical field 100 mm (preferably 120 mm k). 15 [0059] De préférence, le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur de lumière. 15 [0059] Preferably, the data acquisition device converts the digital image signal into a digital electric signal from the light detector. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. Digital image data acquisition device suitable for use with the present invention are well known in the art. 20 [0060] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques comprenant un composite de polymère et de microéléments rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. 20 [0060] The heterogeneous nature of the composition of polymeric sheets comprising a polymer composite and microelements makes it impossible to refer to a hypothetical standard sheet. C'est-à-dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au 25 moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique. That is to say that the existence of different production artifacts harmless in such polymeric sheets renders ineffective the simple comparison, 25 using a gray scale, with a standard value for use in an automatic system for inspection of polymeric sheets for incorporation as layers in polishing of chemical mechanical polishing pads. [0061] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation 30 générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente invention sont bien connues dans la technique. [0061] Image data processing units use 30 general and specialized appropriate for use with the present invention are well known in the art. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique utilisé dans la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. Preferably, the image data processing unit in the automatic inspection system used in the present invention includes a CPU coupled to a non-volatile data storage unit. [0062] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0062] Preferably, the central unit is further coupled to one or more user input interface control devices (e.g., mouse, keyboard) and at least an output display device. [0063] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhornogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0063] Preferably, the image data processing unit is configured to detect macro-inhornogénéités in the polymeric sheets and to classify polymeric sheets as acceptable or suspicious. De préférence, la classification des feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Preferably, the classification of polymeric acceptable suspicious or sheets is carried out by the image data processing unit based on a quality control criteria menu. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. Various faults can occur during the manufacture of polymeric sheets including, for example, the density of defects, defects of bubbles and defects inclusion. On notera que l'un quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. Note that any of these defects or any combination of these defects can be a macro-inhomogeneity in a polymer sheet according to the size of the affected part of the transmission surface. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment au détecteur de lumière. Note that different types of defects arise differently to the light detector. Pour les défauts de densité et les soufflures, la région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. For the density of defects and blowholes, the defective region will be more transparent than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. For defects of inclusion, the defective region will be less transparent than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. The fact that such defects are acceptable depends on a number of conditions, including, for example, the substrate as the chemical mechanical polishing pad incorporating the polymeric sheet will for polishing. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique fabriqués pour leur polissage. Some substrates are more sensitive than others, so they require more stringent controls on the homogeneity of the polymeric sheets to be used as a polishing layer in chemical mechanical polishing pads manufactured for their polishing. [0064] De préférence, dans l'analyseur de couche de polissage de la présente invention, l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; [0064] Preferably, in the analyzer of polishing layer of the present invention, the image data processing unit is preferably configured to generate and store in a nonvolatile memory a map of the at least one suspect sheet where population suspicious sheets includes at least one suspect sheet and wherein the at least one suspect sheet contains at least one detected macro-inhomogeneity; où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is positioned. [0065] De préférence, dans l'analyseur de couche de polissage de la présente invention, l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macro-inhomogénéité détectée; [0065] Preferably, in the analyzer of polishing layer of the present invention, the image data processing unit is preferably configured to generate and store in a nonvolatile memory a map of the at least one suspect sheet where population suspicious sheets includes at least one suspect sheet and wherein the at least one suspect sheet contains at least one detected macro-inhomogeneity; où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné; where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is positioned; et où l'analyseur comprend en outre: un dispositif d'affichage; and wherein the analyzer further comprises: a display device; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. where an image of the selected sheet is displayed on the display device. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. The displayed image of the selected sheet on the display device may be an image of the entire transmission area of ​​the selected sheet. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macro-inhomogénéité détectée. Preferably, the image of the selected sheet is a partial image showing a magnification of at least one macro-detected inhomogeneity. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device includes all of the macro-inhomogeneity and the surrounding area of ​​the transmitting surface of the selected sheet. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une inspection visuelle de la feuille sélectionnée. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device can be enlarged to enhance the detail of the displayed image to facilitate a visual inspection of the selected sheet. [0066] De préférence, le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, comprend: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques, où chaque feuille polymérique dans la pluralité de feuilles polymériques (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; [0066] Preferably, the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pad, comprises: providing a plurality of polymeric sheets, wherein each polymeric sheet in the plurality of polymeric sheets (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission, une surface d'incidence et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmitting surface, an incident surface and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; la fourniture d'un analyseur de couche de polissage, comprenant: un magasin; providing an analyzer polishing layer, comprising: a magazine; et une pluralité de plateaux de support, où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale avec une surface supérieure, une surface inférieure et un bord périphérique; and a plurality of support plates, wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central section with a transparent top surface, a bottom surface and a peripheral edge; où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et une région de maintien, entourant le bord périphérique de la section transparente centrale; and a holding region surrounding the peripheral edge of the transparent central section; où la région de maintien comprend une surface de contact, une pluralité de rainures concentriques, et une pluralité d'orifices de vide; where the holding area comprises a contact surface, a plurality of concentric grooves, and a plurality of vacuum ports; où la pluralité d'orifices de vide sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques; wherein the plurality of vacuum ports in communication with the plurality of concentric grooves to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves; où la surface de contact est sensiblement de niveau avec la surface supérieure de la section transparente centrale; where the contact surface is substantially flush with the upper surface of the transparent central section; où la pluralité de rainures concentriques ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves have a groove width W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et (b) est configuré pour maintenir une seule feuille polymérique de la pluralité de feuilles polymériques sensiblement à plat contre la surface supérieure de la section transparente centrale; and (b) is configured to maintain a single polymeric sheet of the plurality of polymeric sheets substantially flat against the upper surface of the transparent central section; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; a light source, wherein the light source emits a beam; un détecteur de lumière; a light detector; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; a data acquisition device for digital image; et une unité de traitement de données d'image; and an image data processing unit; l'appariement de la pluralité de feuilles polymériques avec la pluralité de plateaux de support pour former une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille; matching the plurality of polymeric sheets with the plurality of support plates to form a plurality of support plates provided with a sheet; où chaque plateau de support muni d'une feuille dans la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille comprend une feuille polymérique associée maintenue sur lui par la région de maintien de sorte que la surface d'incidence de la feuille polymérique associée est maintenue sensiblement à plat contre la surface supérieure; wherein each support plate provided with a sheet in the plurality of support plates provided with a sheet comprises a polymeric sheet associated held thereon by the holding region such that the incident surface of the associated polymeric sheet is held substantially flat against the upper surface; le transport de la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; transporting the plurality of support plates provided with a sheet, one at a time, between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale et frapper la surface d'incidence; wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section and hit the impact surface; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la section transparente centrale et l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam which is transmitted through the transparent central section and thickness, Ts, and since the transmitting surface; où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; where the transmitted light has at least one detectable property; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; wherein the at least one detectable property includes an intensity of the transmitted light; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière; where the intensity of the transmitted light is converted into an electric signal by the light detector; où le signal électrique 20 provenant du détecteur de lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; wherein the electric signal 20 from the light detector is converted to a digital signal by the data acquisition device for digital image; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des 25 macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou comme suspectes; and wherein the digital signal from the digital image data acquisition device is processed by the image data processing unit, wherein the image data processing unit is configured to detect macro 25 inhomogeneities and to classify polymeric sheets as acceptable or as suspicious; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. and wherein the plurality of polymeric sheets is divided into a population of acceptable sheets and a population of suspect sheets. [0067] De préférence, dans le procédé de la présente invention 30 pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, l'analyseur de couche de polissage comprend un magasin conçu pour contenir, stocker et distribuer une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille. [0067] Preferably, in the method of the present invention 30 for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the polishing layer analyzer comprises a magazine adapted to contain, storing and dispensing a plurality of support plates provided with a sheet. De préférence, le magasin est conçu pour contenir, stocker et distribuer une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille, où chaque plateau de support muni d'une feuille comprend une feuille polymérique liée maintenue sur lui par la région de maintien de sorte que la surface d'incidence de la feuille polymérique liée est maintenue sensiblement à plat contre la surface supérieure. Preferably, the store is designed to hold, store and distribute a plurality of support plates provided with a leaf, wherein each support plate provided with a sheet comprises a polymeric sheet bonded held thereon by the holding region so the incidence surface of the bonded polymeric sheet is held substantially flat against the upper surface. De préférence, le magasin a une capacité calculée pour contenir au moins 10 plateaux de support munis d'une feuille (de préférence encore, au moins 15 plateaux de support munis d'une feuille; de préférence encore, au moins 20 plateaux de support munis d'une feuille; de manière particulièrement préférable, au moins 30 plateaux de support munis d'une feuille). Preferably, the store has a capacity determined to contain at least 10 support plates provided with a sheet (more preferably, at least 15 support plates provided with a sheet; more preferably, at least 20 support plates provided a sheet; most preferably, at least 30 support plates provided with a sheet). La capacité calculée du magasin permet à un opérateur de charger une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille dans un analyseur de couche de polissage. The calculated capacity of the store enables an operator to load a plurality of support plates provided with a sheet in a polishing layer analyzer. Lorsque la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille est chargée dans le magasin, l'opérateur est capable d'accomplir d'autre tâches tandis que l'analyseur de couche de polissage classe la pluralité de feuilles polymériques appariées avec la pluralité de plateaux de support comme acceptables ou comme suspectes. When the plurality of support plates provided with a sheet is loaded in the magazine, the operator is able to perform other tasks while the class polishing layer analyzer the plurality of polymeric sheets paired with the plurality of support plates as acceptable or as suspicious. [0068] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, 25 chaque plateau de support (200) dans la pluralité de plateaux de support a une région de maintien (240), entourant un bord périphérique (235) d'une section transparente centrale (220); [0068] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, 25 each support plate (200) in the plurality of support plates has a holding region (240) surrounding a peripheral edge (235) of a central transparent section (220); où la région de maintien (240) a une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) has a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où chaque rainure 30 concentrique (250) a une paire de parois latérales (255) et une base (253). where each groove 30 concentric (250) has a pair of side walls (255) and a base (253). De préférence encore, chaque plateau de support (200) a une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); More preferably, each support plate (200) has a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) a une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250), et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) has a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250), and a plurality of vacuum ports (260); où chaque rainure concentrique (250) a une paire de parois latérales (255) et une base (253); wherein each concentric groove (250) has a pair of side walls (255) and a base (253); où chaque paroi latérale (255) est sensiblement perpendiculaire à la surface de contact (245). wherein each side wall (255) is substantially perpendicular to the contact surface (245). [0069] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, l'analyseur de couche de polissage comprend en outre un séquenceur; [0069] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the polishing layer analyzer further comprises a sequencer; où le séquenceur est configuré pour charger et extraire des plateaux de support munis d'une feuille du magasin. wherein the sequencer is configured to load and extract support plates provided with a sheet store. De préférence, le séquenceur est configuré pour charger et extraire des plateaux de support munis d'une feuille du magasin un à la fois. Preferably, the sequencer is configured to load and extract support plates provided with a sheet store one at a time. De préférence, le séquenceur est configuré en outre pour transporter les plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, jusqu'à une position disposée entre une source de lumière et un détecteur de lumière; Preferably, the sequencer is further configured to carry the support plates provided with a sheet, one at a time, to a position disposed between a light source and a light detector; et pour renvoyer les plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, dans le magasin. and for returning the support plates provided with a sheet, one at a time in the store. De préférence, le séquenceur inclut au moins un moteur linéaire. Preferably, the sequencer includes at least one linear motor. De préférence encore, le séquenceur inclut au moins un moteur linéaire ayant une résolution d'échelle linéaire de 5. 1 pm. More preferably, the sequencer includes at least one linear motor having a linear scale resolution 5. 1 pm. [0070] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, l'analyseur de couche de polissage comprend en outre un séquenceur, où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter les plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, jusqu'à une position 30 disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; [0070] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the polishing layer analyzer further comprises a sequencer, where the sequencer is configured to retrieve from the store and transport support plates provided with a sheet, one at a time, to a position 30 disposed between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale du plateau de support muni d'une feuille et frapper la surface d'incidence de la feuille polymérique liée; wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section of the support plate provided with a sheet and striking the impact surface of the bonded polymeric sheet; et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission; and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam transmitted through the thickness, Ts, and since the transmitting surface; où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; wherein the light detector is configured for converting an intensity of the transmitted light into an electrical signal; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; wherein the data acquisition device coupled to the digital image light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; where the unit of image coupled to the digital image data acquisition device data processor is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device for detecting macro-inhomogeneities and sorting acceptable polymeric sheets to be used as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. wherein the plurality of polymeric sheets is divided into a population of acceptable sheets and a population of suspect sheets. [0071] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, la source de lumière émet un faisceau. [0071] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the light source emits a beam. De préférence, le faisceau émis par la source de lumière présente un spectre d'émission incluant des longueurs d'onde choisies parmi au moins l'une des régions visible, ultraviolette et infrarouge. Preferably, the beam emitted by the light source has an emission spectrum including wavelengths selected from at least one of the visible regions, ultraviolet and infrared. De préférence, la source de lumière est choisie parmi une source à bande large (par exemple une source de lumière blanche) et une source à bande étroite (par exemple une source de lumière bleue à bande étroite). Preferably, the light source is selected from a broadband source (e.g., a white light source) and a narrowband source (e.g., a blue light source narrowband). De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite. More preferably, the light source is a blue light source narrowband. De préférence encore, la source de lumière est une source de lumière bleue à bande étroite qui émet un faisceau, où le faisceau présente un spectre d'émission ayant une longueur d'onde de pic d'émission de 460 à 490 nm (de préférence, de 460 à 480 nm; de préférence encore, de 460 à 470 nm; de manière particulièrement préférable, de 463 à 467 nm) et une largeur à mi-hauteur, LMH, de 5_ 50 5 nm (de préférence, 5. 40 nm; de préférence encore, 5. 35 nm; de manière particulièrement préférable, 5. 30 nm). More preferably, the light source is a blue light source which emits narrow-band beam, wherein the beam has an emission spectrum having an emission peak wavelength of 460 to 490 nm (preferably , from 460 to 480 nm; more preferably, from 460 to 470 nm; most preferably, of 463-467 nm) and a full width at half maximum, FWHM, of 5_ 5 50 nm (preferably, 5. 40 nm; more preferably, 5. 35 nm; most preferably, 30 5 nm). L'homme du métier moyen sera capable de choisir une source de lumière appropriée pour fournir un faisceau ayant un spectre d'émission dans la région souhaitée. The ordinarily skilled artisan will be able to choose an appropriate light source to provide a beam having an emission spectrum in the selected region. De préférence, dans le procédé de la présente invention, le système 10 d'inspection automatique comprend une source de lumière, où la source de lumière est une diode électroluminescente. Preferably, in the method of the present invention, system 10 comprises an automatic inspection light source, where the light source is a light emitting diode. [0072] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, le 15 détecteur de lumière est capable de convertir la au moins une propriété détectable de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. [0072] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, 15 light detector is capable of converting the at least one detectable property of the transmitted light from the beam transmitted through the thickness, Ts, and from the transmission surface of a polymeric sheet. De préférence encore, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées 20 comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission d'une feuille polymérique. More preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets to be used 20 as a polishing layer in chemical mechanical polishing pads, the light detector is capable of converting a transmitted light intensity from the beam which is transmitted through the thickness Ts, and from the transmission surface of a polymeric sheet. De manière particulièrement préférable, dans le procédé de 25 la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, le détecteur de lumière est capable de convertir une intensité et un spectre de longueurs d'onde de la lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers l'épaisseur, Ts, et depuis 30 la surface de transmission d'une feuille polymérique. Most preferably, in the method 25 of this invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, the light detector is capable of converting an intensity and a length spectrum wave of the transmitted light from the beam transmitted through the thickness, Ts, and since 30 the transmission surface of a polymeric sheet. De préférence, le détecteur de lumière est un dispositif convertisseur opto-électrique qui convertit la au moins une propriété détectable de la lumière transmise qui le frappe en un signal électrique. Preferably, the light detector is an opto-electrical converter device which converts the at least one detectable property of the transmitted light that hits it into an electrical signal. De préférence, le détecteur de lumière est une rangée de dispositifs à couplage de charge (CCD). Preferably, the light detector is an array of charge coupled devices (CCD). De préférence, les dispositifs à couplage de charge (CCD) utilisés sont choisis parmi les CCD monochromatiques et les CCD couleurs. Preferably, the charge coupled devices (CCD) used are selected from the CCD and the CCD monochromatic colors. De préférence encore, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 5 (de manière particulièrement préférable, d'au moins 8) dispositifs convertisseurs optoélectriques. More preferably, the light detector comprises a row of at least 5 (most preferably, at least 8) devices optoelectrical converters. De manière particulièrement préférable, le détecteur de lumière comprend une rangée d'au moins 8 capteurs d'image à dispositifs à couplage de charge (CCD) ayant une résolution de 5 20 pm (de préférence, 5. 16 pm) et un champ optique de 100 mm (de préférence, 120 mm). Most preferably, the light detector comprises a row of at least eight image sensor charge-coupled devices (CCD) having a resolution of 5 20 microns (preferably, 5. 16 pm) and an optical field 100 mm (preferably 120 mm). [0073] Le dispositif d'acquisition de données d'image numérique convertit en un signal numérique le signal électrique émis par le détecteur de lumière. [0073] The digital image data acquisition device converts the signal into a digital electric signal from the light detector. Des dispositifs d'acquisition de données d'image numérique appropriés pour être utilisés avec la présente invention sont bien connus dans la technique. Digital image data acquisition device suitable for use with the present invention are well known in the art. [0074] La nature hétérogène de la composition des feuilles polymériques comprenant un composite de polymère et de nnicroéléments rend impossible la référence à une feuille standard hypothétique. [0074] The heterogeneous nature of the composition of polymeric sheets comprising a polymer composite and nnicroéléments makes it impossible to refer to a hypothetical standard sheet. C'est-à-dire que l'existence de différents artéfacts de production inoffensifs dans de telles feuilles polymériques rend inefficace la simple comparaison, au moyen d'une échelle de gris, avec une valeur standard pour une utilisation dans un système automatique pour l'inspection de feuilles polymériques en vue de leur incorporation comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique. That is to say that the existence of different production artifacts harmless in such polymeric sheets renders ineffective the simple comparison, using a gray scale, with a standard value for use in an automatic system for inspection of polymeric sheets for incorporation as layers in polishing of chemical mechanical polishing pads. [0075] Des unités de traitement de données d'image d'utilisation générale et spécialisées appropriées pour une utilisation avec la présente invention sont bien connues dans la technique. [0075] Image data processing units for general use and specialized appropriate for use with the present invention are well known in the art. De préférence, l'unité de traitement de données d'image dans le système d'inspection automatique utilisé dans le procédé de la présente invention comprend une unité centrale couplée à une unité de stockage de données non volatile. Preferably, the image data processing unit in the automatic inspection system used in the process of the present invention includes a CPU coupled to a non-volatile data storage unit. [0076] De préférence, l'unité centrale est couplée en outre à un ou plusieurs dispositifs de commande d'interface d'entrée d'utilisateur (par exemple, souris, clavier) et au moins un dispositif d'affichage de sortie. [0076] Preferably, the central unit is further coupled to one or more user input interface control devices (e.g., mouse, keyboard) and at least an output display device. [0077] De préférence, l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités dans les feuilles polymériques et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes. [0077] Preferably, the image data processing unit is configured to detect macro-inhomogeneities in the polymeric sheets and to classify polymeric sheets as acceptable or suspicious. De préférence, la classification des feuilles polymériques comme acceptables ou suspectes est réalisée par l'unité de traitement de données d'image sur la base d'un menu de critères de contrôle de la qualité. Preferably, the classification of polymeric acceptable suspicious or sheets is carried out by the image data processing unit based on a quality control criteria menu. Différents défauts peuvent apparaître pendant la fabrication des feuilles polymériques y compris, par exemple, les défauts de densité, les défauts de soufflures et les défauts d'inclusion. Various faults can occur during the manufacture of polymeric sheets including, for example, the density of defects, defects of bubbles and defects inclusion. On notera que l'un quelconque de ces défauts ou une combinaison quelconque de ces défauts peut constituer une macro-inhomogénéité dans une feuille polymérique selon la taille de la partie affectée de la surface de transmission. Note that any of these defects or any combination of these defects can be a macro-inhomogeneity in a polymer sheet according to the size of the affected part of the transmission surface. On notera que les différents types de défauts se présenteront différemment au détecteur de lumière. Note that different types of defects arise differently to the light detector. Pour les défauts de densité et les soufflures, la région défectueuse sera plus transparente que la région environnante de la feuille polymérique. For the density of defects and blowholes, the defective region will be more transparent than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. Pour les défauts d'inclusion, la région défectueuse sera moins transparente que la région environnante de la feuille polymérique. For defects of inclusion, the defective region will be less transparent than the surrounding area of ​​the polymeric sheet. Le fait que de tels défauts soient acceptables dépend d'un certain nombre de conditions, y compris, par exemple, le substrat que le tampon de polissage mécano-chimique incorporant la feuille polymérique sera destiné à polir. The fact that such defects are acceptable depends on a number of conditions, including, for example, the substrate as the chemical mechanical polishing pad incorporating the polymeric sheet will for polishing. Certains substrats sont plus délicats que d'autres, de sorte qu'ils nécessitent des contrôles plus sévères concernant l'homogénéité des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans les tampons de polissage mécano-chimique fabriqués pour leur polissage. Some substrates are more sensitive than others, so they require more stringent controls on the homogeneity of the polymeric sheets to be used as a polishing layer in chemical mechanical polishing pads manufactured for their polishing. [0078] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme 5 couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macroinhomogénéité détectée; [0078] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as 5 polishing layers in chemical mechanical polishing pads, where the population of suspect sheets includes at least one suspect sheet and where the at least one suspect sheet contains at least one detected macroinhomogénéité; l'unité de traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire 10 non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. the data processing unit image is preferably configured to generate and store in a nonvolatile memory 10 a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is positioned. [0079] De préférence, dans le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme 15 couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macroinhomogénéité détectée; [0079] Preferably, in the method of the present invention for analyzing polymeric sheets to be used as 15 polishing layers in chemical mechanical polishing pads, where the population of suspect sheets includes at least one suspect sheet and where the at least one suspect sheet contains at least one detected macroinhomogénéité; le procédé comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; the method further comprises: selecting a selected sheet from the population of suspicious sheets; où l'unité de 20 traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné. where the unit 20 image data processing is preferably configured to generate and store in a nonvolatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one detected macro-inhomogeneity is positioned. [0080] De préférence, dans le procédé de la présente invention 25 pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, où la population de feuilles suspectes inclut au moins une feuille suspecte et où la au moins une feuille suspecte contient au moins une macroinhomogénéité détectée; [0080] Preferably, in the method of the present invention 25 for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, where the population of suspect sheets includes at least one suspect sheet and where the at least one suspect sheet contains at least one detected macroinhomogénéité; le procédé comprend en outre: le choix d'une 30 feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes; the method further comprises: selecting a selected sheet 30 among the population of suspicious sheets; où l'unité de 3032 2 74 38 traitement de données d'image est de préférence configurée encore pour produire et stocker dans une mémoire non volatile une carte de la au moins une feuille suspecte où un emplacement pour la au moins une macro-inhomogénéité détectée est positionné; where the unit of 3032 2 74 38 image data processing is preferably configured to generate and store in a nonvolatile memory a map of the at least one suspect sheet where a location for the at least one macro-inhomogeneity detected is set; et où l'analyseur de couche de polissage comprend en outre: un dispositif d'affichage; and wherein the polishing layer analyzer further comprises: a display device; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. where an image of the selected sheet is displayed on the display device. L'image affichée de la feuille sélectionnée sur le dispositif d'affichage peut être une image de la totalité de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. The displayed image of the selected sheet on the display device may be an image of the entire transmission area of ​​the selected sheet. De préférence, l'image de la feuille sélectionnée est une image partielle montrant un agrandissement d'au moins une macroinhomogénéité détectée. Preferably, the image of the selected sheet is a partial image showing a magnification of at least one detected macroinhomogénéité. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage inclut la totalité de la macro-inhomogénéité et la région environnante de la surface de transmission de la feuille sélectionnée. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device includes all of the macro-inhomogeneity and the surrounding area of ​​the transmitting surface of the selected sheet. De préférence, l'image partielle de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage peut être agrandie pour amplifier le détail de l'image affichée pour faciliter une inspection visuelle de la feuille sélectionnée. Preferably, the partial image of the selected sheet displayed on the display device can be enlarged to enhance the detail of the displayed image to facilitate a visual inspection of the selected sheet. De préférence, le procédé de la présente invention comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée, où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage; Preferably, the method of the present invention further comprises: performing a visual inspection of the selected sheet, wherein the visual inspection is facilitated by the image of the selected sheet displayed on the display device; et (i) le reclassement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à la population de feuilles acceptables; and (i) the reclassification of the selected sheet, based on visual inspection, to be acceptable, wherein the selected sheet is then added to the population of acceptable sheets; ou (ii) le classement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est alors ajoutée à une population de feuilles défectueuses. or (ii) the classification of the selected sheet, based on visual inspection, to be defective, where the selected sheet is then added to a population of defective sheets. [0081] De préférence, le procédé de la présente invention pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, 30 comprend en outre: le traitement d'au moins une feuille acceptable pour former une couche de polissage (120) d'un tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat; [0081] Preferably, the method of the present invention for analyzing polymeric sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pad 30 further comprising: treating at least one acceptable sheet to form a polishing layer (120) of a chemical mechanical polishing pad (110), wherein the polishing layer (120) is adapted for polishing a substrate; où le traitement comprend: la formation d'une surface de polissage (114) par au moins l'un de (a) la formation par usinage d'au moins une rainure dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures de polissage et (b) la formation de perforations qui s'étendent au moins en partie à travers l'épaisseur, Ts, de la feuille acceptable. wherein the treatment comprises: forming a polishing surface (114) by at least one of (a) forming by machining at least one groove in the acceptable sheet to form a pattern of grooves and polishing ( b) forming perforations which extend at least partially through the thickness, Ts, of the acceptable sheet. De préférence encore, le procédé comprend en outre: le traitement d'au moins une feuille acceptable pour former une couche de polissage (120) d'un tampon de polissage mécano-chimique (110), où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat; More preferably, the method further comprises: processing at least one acceptable sheet to form a polishing layer (120) of a chemical mechanical polishing pad (110), wherein the polishing layer (120) is adapted for polishing a substrate; où le traitement comprend: la formation d'une surface de polissage (114) par formation par usinage d'au moins une rainure de polissage dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures de polissage. wherein the treatment comprises: forming a polishing surface (114) by forming by machining at least one polishing groove in the acceptable sheet to form a pattern of polishing grooves. De manière particulièrement préférable, le procédé comprend en outre: le traitement d'au moins une feuille acceptable pour former une couche de polissage (120) d'un tampon de polissage mécano-chimique (110); Most preferably, the method further comprises: processing at least one acceptable sheet to form a polishing layer (120) of a chemical mechanical polishing pad (110); où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat; wherein the polishing layer (120) is adapted for polishing a substrate; où le traitement comprend la formation d'une surface de polissage (114) par formation par usinage d'au moins une rainure de polissage dans la feuille acceptable pour former un motif de rainures de polissage; wherein the treatment comprises forming a polishing surface (114) by forming by machining at least one polishing groove in the acceptable sheet to form a pattern of polishing grooves; où le motif de rainures de polissage est adapté pour polir le substrat. where the pattern of polishing grooves is adapted to polish the substrate. (Voir Figure 7). (See Figure 7). [0082] De préférence, le procédé de la présente invention fournit des tampons de polissage mécano-chimique (110) de préférence adaptés pour la rotation autour d'un axe central (112). [0082] Preferably, the method of the present invention provides chemical mechanical polishing pads (110) preferably adapted for rotation about a central axis (112). (Voir Figure 7). (See Figure 7). De préférence, la au moins une rainure de polissage est disposée pour former une surface de polissage (114) de sorte que, lors de la rotation du tampon (110) autour de l'axe central (112) pendant le polissage, au moins une rainure de polissage balaie le substrat. Preferably, the at least one polishing groove is arranged to form a polishing surface (114) so ​​that, upon rotation of the pad (110) about the central axis (112) during polishing, at least one polishing groove sweeps the substrate. De préférence, la au moins une rainure de polissage est choisie parmi les rainures de polissage incurvées, les rainures de polissage linéaires et leurs combinaisons. Preferably, the at least one polishing groove is selected from curved grooves polishing, the polishing linear grooves and combinations thereof. De préférence, la au moins une rainure de polissage présente une profondeur de 0,25 mm (10 mils = 10X10-3 pouce (1 pouce = 2,54 cm)) (de préférence, de 0,25 à 3,81 mm (10 à 150 mils)). Preferably, the at least one polishing groove has a depth of 0.25 mm (10 mils = 10X10-3 inch (1 inch = 2.54 cm)) (preferably, from 0.25 to 3.81 mm ( 10 to 150 mils)). De préférence, la au moins une rainure de polissage forme un motif de rainures de polissage qui comprend au moins deux rainures de polissage ayant une combinaison d'une profondeur choisie parmi k 0,25 mm (10 mils), 0,38 mm (15 mils) et 0,38 à 3,81 mm (15 à 150 mils); Preferably, the at least one polishing groove forms a pattern polishing grooves that includes at least two polishing grooves having a combination of a selected depth of k 0.25 mm (10 mils), 0.38 mm (15 mils) and 0.38 to 3.81 mm (15 to 150 mils); d'une largeur choisie parmi 0,25 mm (10 mils) et 0,25 à 2,54 mm (10 à 100 mils); a selected width from 0.25 mm (10 mils) and 0.25 to 2.54 mm (10 to 100 mils); et d'un pas choisi parmi 10 _k 0,76 mm (30 mils), _k 1,27 mm (50 mils), 1,27 à 5,08 mm (50 à 200 mils), 1,78 à 5,08 mm (70 à 200 mils), et 2,29 à 5,08 mm (90 à 200 mils). and a step selected from 10 _k 0.76 mm (30 mils) _k 1.27 mm (50 mils), 1.27 to 5.08 mm (50 to 200 mils), 1.78 to 5.08 mm (70 to 200 mils) and 2.29 to 5.08 mm (90 to 200 mils). [0083] De préférence, la feuille polymérique incorporée comme couche de polissage (120) dans le tampon de polissage mécano-chimique (110) contient < 1 ppm de particules abrasives incorporée à l'intérieur. 15 [0084] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable comprend en outre: la fourniture d'un sous-tampon (125) ayant une surface supérieure (126) et une surface inférieure (127); la fourniture d'un adhésif (123) (de préférence, où l'adhésif est choisi parmi au moins l'un parmi un adhésif 20 sensible à la pression, un adhésif thermofusible et un adhésif par contact; de préférence encore où l'adhésif est choisi parmi un adhésif sensible à la pression et un adhésif thermofusible; de manière particulièrement préférable, où l'adhésif est un adhésif thermofusible); et l'application de la surface supérieure (126) du sous-tampon (125) à la surface de base 25 (117) de la couche de polissage (120) au moyen de l'adhésif (123). (Voir Figure 7). [0085] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110), où la 30 couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'une couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170) appliquée à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125). [0086] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110); où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'une couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170) appliquée à la surface inférieure (127) du sous-tampon (125), et la fourniture d'un revêtement de séparation (175) appliqué sur la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170), où la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170) est disposée entre la surface inférieure (127) du sous-tampon (125) et le revêtement de séparation (175). (Voir Figure 7). [0087] L'incorporation d'un sous-tampon (125) dans un tampon de polissage mécano-chimique (110) de la présente invention est souhaitable pour certaines applications de polissage. L'homme du métier moyen saura choisir un matériau de construction approprié et une épaisseur de sous-tampon, TB, appropriée pour le sous-tampon (125) pour une utilisation dans le processus de polissage envisagé. De préférence, le sous-tampon (125) a une épaisseur de sous-tampon moyenne, TB.avg, de k 0,38 mm (15 mils) (de préférence encore, de 0,76 à 2,54 mm (30 à 100 mils); de manière particulièrement préférable de 0,76 à 1,90 mm (30 à 75 mils)). [0088] De préférence, l'adhésif (123) est choisi dans le groupe consistant en un adhésif sensible à la pression, un adhésif thermofusible réactif, un adhésif par contact et leurs combinaisons. De préférence encore, l'adhésif (123) est choisi dans le groupe consistant en un adhésif sensible à la pression et un adhésif thermofusible réactif. De manière particulièrement préférable, l'adhésif (123) est un adhésif thermofusible réactif. [0089] De préférence, dans le procédé de la présente invention, le traitement de la au moins une feuille acceptable pour former la couche de polissage (120) du tampon de polissage mécano-chimique (110); où la couche de polissage (120) est adaptée pour polir un substrat, comprend en outre: la fourniture d'au moins une couche supplémentaire (non représentée) comportant une interface avec et disposée entre la couche de polissage (120) et la couche d'adhésif pour plateau sensible à la pression (170). La au moins une couche supplémentaire (non représentée) peut être incorporée dans le tampon de polissage mécano- chimique (110) au moyen d'un adhésif pour couche supplémentaire (non représenté). L'adhésif pour couche supplémentaire peut être choisi parmi les adhésifs sensibles à la pression, les adhésifs thermofusibles, les adhésifs par contact et leurs combinaisons. De préférence, l'adhésif pour couche supplémentaire est un adhésif thermofusible ou un adhésif sensible à la pression. De préférence encore, l'adhésif pour couche supplémentaire est un adhésif thermofusible. [0090] De préférence, le procédé de la présente invention fournit des tampons de polissage mécano-chimique (110) conçus spécifiquement pour faciliter le polissage d'un substrat choisi parmi au moins un substrat 20 parmi un substrat magnétique, un substrat optique et un substrat semiconducteur. De préférence, les feuilles polymériques sont adaptées pour polir un substrat choisi parmi au moins un substrat parmi un substrat magnétique, un substrat optique et un substrat semi-conducteur (de préférence encore, un substrat semi-conducteur; de manière 25 particulièrement préférable, une galette semi-conductrice).

Claims (10)

  1. REVENDICATIONS1. REVENDICATIONS1. Analyseur de couche de polissage pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans 5 des tampons de polissage mécano-chimique, caractérisé en ce qu'il comprend: un magasin; polishing layer analyzer for analyzing polymeric sheets to be used as a polishing layer in 5 of chemical mechanical polishing pads, characterized in that it comprises: a magazine; et une pluralité de plateaux de support (200), où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: 10 (a) comprend: une section transparente centrale (220) avec une surface supérieure (225), une surface inférieure (230) et un bord périphérique (235); and a plurality of support plates (200), wherein each support plate in the plurality of support plates 10 (a) comprises: a central transparent section (220) with an upper surface (225), a lower surface (230 ) and a peripheral edge (235); où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la 15 surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the upper surface 15 is substantially smooth; et une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); and a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) comprend une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250) 20 et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) comprises a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250) 20 and a plurality of vacuum ports (260); où la pluralité d'orifices de vide (260) sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques (250) pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques (250); wherein the plurality of vacuum ports (260) are in communication with the plurality of concentric grooves (250) to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves (250); où la surface de contact (245) est sensiblement de 25 niveau avec la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); wherein the contact surface (245) is substantially 25 level with the upper surface (225) of the central transparent section (220); où la pluralité de rainures concentriques (250) ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves (250) have a groove width, W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et (b) est configuré pour maintenir une feuille polymérique (20) 30 sensiblement à plat contre la surface supérieure (225) de la sectiontransparente centrale (220); and (b) is configured to maintain a polymeric sheet (20) 30 substantially flat against the upper surface (225) of the central sectiontransparente (220); où la feuille polymérique (i) comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant: un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; where the polymeric sheet (i) comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission (14), une surface d'incidence (17) et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission (14) et la surface d'incidence (17); and (ii) has a transmission surface (14), an incidence surface (17) and a thickness Ts between the transmission surface (14) and the incident surface (17); où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; où le magasin a une capacité pour stocker la pluralité de plateaux 10 de support; where the tray has a capacity for storing the plurality of support trays 10; et où le magasin est conçu pour charger, stocker et distribuer la pluralité de plateaux de support pour faciliter une analyse d'une pluralité de feuilles polymériques. and wherein the store is designed to load, store and distribute the plurality of support plates to facilitate analysis of a plurality of polymeric sheets.
  2. 2. Analyseur de couche de polissage selon la revendication 1, 15 caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un séquenceur; 2. polishing layer analyzer according to claim 1, 15 characterized in that it further comprises: a sequencer; une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; a light source, wherein the light source emits a beam; un détecteur de lumière; a light detector; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au 20 détecteur de lumière; a digital image data acquisition device 20 coupled to the light detector; et une unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique; and an image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device; où le séquenceur est configuré pour extraire du magasin et transporter la pluralité de plateaux de support (200), un à la fois, jusqu'à 25 une position disposée entre la source de lumière et le détecteur de lumière; wherein the sequencer is configured to extract from the magazine and transporting the plurality of support plates (200), one at a time until a position 25 disposed between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale (220) et frapper la surface d'incidence (17); wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section (220) and hit the impact surface (17); et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la 30 section transparente centrale (220) et l'épaisseur, Ts, et depuis la surfacede transmission (14); and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam which is transmitted through the transparent central section 30 (220) and the thickness, Ts, and since the surfacede transmission (14); où le détecteur de lumière est configuré pour convertir une intensité de la lumière transmise en un signal électrique; wherein the light detector is configured for converting an intensity of the transmitted light into an electrical signal; où le dispositif d'acquisition de données d'image numérique couplé au détecteur de lumière est configuré pour convertir le signal électrique provenant du détecteur de lumière en un signal numérique; wherein the data acquisition device coupled to the digital image light detector is configured to convert the electrical signal from the light detector into a digital signal; où l'unité de traitement de données d'image couplée au dispositif d'acquisition de données d'image numérique est configurée pour traiter le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de données d'image numérique pour détecter des macro-inhormogénéités et pour classer les feuilles polymériques (20) comme acceptables pour être utilisées comme couche de polissage dans un tampon de polissage mécano-chimique, ou comme suspectes; where the image data processing unit coupled to the digital image data acquisition device is configured to process the digital signal from the digital image data acquisition device for detecting macro-inhormogénéités and classifying polymeric sheets (20) to be acceptable for use as a polishing layer in a chemical mechanical polishing pad, or as suspicious; où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. wherein the plurality of polymeric sheets is divided into a population of acceptable sheets and a population of suspect sheets.
  3. 3. Analyseur de couche de polissage selon la revendication 2, caractérisé en ce que le séquenceur est configuré en outre pour renvoyer la pluralité de plateaux de support (200) au magasin. 3. polishing layer analyzer according to Claim 2, characterized in that the sequencer is further configured to return the plurality of support plates (200) to the store.
  4. 4. Analyseur de couche de polissage selon la revendication 3, caractérisé en ce que la pluralité de plateaux de support (200) inclut au 20 moins 10 plateaux de support. 4. polishing layer analyzer according to claim 3, characterized in that the plurality of support plates (200) includes at least 20, 10 support plates.
  5. 5. Analyseur de couche de polissage selon l'une quelconque des revendications 2 à 4, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: un dispositif d'affichage pour faciliter l'inspection visuelle de la pluralité de feuilles polymériques (20). 5. polishing layer analyzer according to any one of claims 2 to 4, characterized in that it further comprises: a display device to facilitate visual inspection of the plurality of polymeric sheets (20). 25 25
  6. 6. Procédé pour analyser des feuilles polymériques destinées à être utilisées comme couches de polissage dans des tampons de polissage mécano-chimique, caractérisé en ce qu'il comprend: la fourniture d'une pluralité de feuilles polymériques (20), où chaque feuille polymérique dans la pluralité de feuilles polymériques (i) 30 comprend: un composite de polymère et de microéléments, comprenant:un polymère et une pluralité de microéléments, où la pluralité de microéléments sont dispersés dans le polymère; 6. A method for analyzing polymer sheets for use as the polishing layer in the chemical mechanical polishing pads, characterized in that it comprises: providing a plurality of polymeric sheets (20), wherein each polymeric sheet in the plurality of polymeric sheets (i) 30 comprises: a composite of polymer and microelements, comprising: a polymer and a plurality of microelements, wherein the plurality of microelements are dispersed in the polymer; et (ii) a une surface de transmission (14), une surface d'incidence (17) et une épaisseur, Ts, entre la surface de transmission et la surface d'incidence; and (ii) has a transmission surface (14), an incidence surface (17) and a thickness Ts between the transmission surface and the incident surface; où la surface de transmission et la surface d'incidence sont sensiblement parallèles; wherein the transmission surface and the incident surface are substantially parallel; la fourniture d'un analyseur de couche de polissage, comprenant: un magasin; providing an analyzer polishing layer, comprising: a magazine; et une pluralité de plateaux de support (200), où chaque plateau de support dans la pluralité de plateaux de support: (a) comprend: une section transparente centrale (220) avec une surface supérieure (225), une surface inférieure (230) et un bord périphérique (235); and a plurality of support plates (200), wherein each support plate in the plurality of carrier plates: (a) comprises: a central transparent section (220) with an upper surface (225), a bottom surface (230) and a peripheral edge (235); où la surface supérieure est sensiblement parallèle à la surface inférieure; where the upper surface is substantially parallel to the bottom surface; et où la surface supérieure est sensiblement lisse; and wherein the top surface is substantially smooth; et, une région de maintien (240), entourant le bord périphérique (235) de la section transparente centrale (220); and a holding region (240) surrounding the peripheral edge (235) of the central transparent section (220); où la région de maintien (240) comprend une surface de contact (245), une pluralité de rainures concentriques (250) et une pluralité d'orifices de vide (260); where the holding region (240) comprises a contact surface (245), a plurality of concentric grooves (250) and a plurality of vacuum ports (260); où la pluralité d'orifices de vide (260) sont en communication avec la pluralité de rainures concentriques (250) pour faciliter l'application d'un vide à la pluralité de rainures concentriques; wherein the plurality of vacuum ports (260) are in communication with the plurality of concentric grooves (250) to facilitate application of a vacuum to the plurality of concentric grooves; où la surface de contact (245) est sensiblement de niveau avec la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); wherein the contact surface (245) is substantially flush with the upper surface (225) of the central transparent section (220); où la pluralité de rainures concentriques (250) ont une largeur de rainure, W, et un pas de rainure, P; wherein the plurality of concentric grooves (250) have a groove width, W, and a groove pitch P; et où W < P; and wherein W <P; et(b) est configuré pour maintenir une seule feuille polymérique (20) de la pluralité de feuilles polymériques sensiblement à plat contre la surface supérieure (225) de la section transparente centrale (220); and (b) is configured to maintain a single polymeric sheet (20) of the plurality of polymeric sheets substantially flat against the upper surface (225) of the central transparent section (220); une source de lumière, où la source de lumière émet un faisceau; a light source, wherein the light source emits a beam; un détecteur de lumière; a light detector; un dispositif d'acquisition de données d'image numérique; a data acquisition device for digital image; et une unité de traitement de données d'image; and an image data processing unit; l'appariement de la pluralité de feuilles polymériques (20) avec la pluralité de plateaux de support (200) pour former une pluralité de plateaux de support munis d'une feuille; matching the plurality of polymeric sheets (20) with the plurality of support plates (200) to form a plurality of support plates provided with a sheet; où chaque plateau de support munis d'une feuille dans la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille comprend une feuille polymérique (20) associée maintenue sur lui par la région de maintien (240) de sorte que la surface d'incidence (17) de la feuille polymérique associée est maintenue sensiblement à plat contre la surface supérieure (225); wherein each support plate provided with a sheet in the plurality of support plates provided with a sheet comprises a polymeric sheet (20) associated held thereon by the holding region (240) so that the incident surface ( 17) of the associated polymeric sheet is held substantially flat against the upper surface (225); le transport de la pluralité de plateaux de support munis d'une feuille, un à la fois, entre la source de lumière et le détecteur de lumière; transporting the plurality of support plates provided with a sheet, one at a time, between the light source and the light detector; où le faisceau émis par la source de lumière est orienté pour traverser la section transparente centrale (220) et frapper la surface d'incidence (17); wherein the beam emitted by the light source is oriented to pass through the transparent central section (220) and hit the impact surface (17); et où le détecteur de lumière est orienté pour détecter une lumière transmise provenant du faisceau qui est transmis à travers la section transparente centrale (220) et l'épaisseur, Ts, et depuis la surface de transmission (14); and wherein the light detector is oriented to detect a transmitted light from the beam which is transmitted through the transparent central section (220) and the thickness, Ts, and from the transmission surface (14); où la lumière transmise a au moins une propriété détectable; where the transmitted light has at least one detectable property; où la au moins une propriété détectable inclut une intensité de la lumière transmise; wherein the at least one detectable property includes an intensity of the transmitted light; où l'intensité de la lumière transmise est convertie en un signal électrique par le détecteur de lumière;où le signal électrique provenant du détecteur de lumière est converti en un signal numérique par le dispositif d'acquisition de données d'image numérique; where the intensity of the transmitted light is converted into an electrical signal by the light detector; wherein the electrical signal from the light detector is converted to a digital signal by the data acquisition device for digital image; et où le signal numérique provenant du dispositif d'acquisition de 5 données d'image numérique est traité par l'unité de traitement de données d'image, où l'unité de traitement de données d'image est configurée pour détecter des macro-inhomogénéités et pour classer les feuilles polymériques comme acceptables ou comme suspectes; and wherein the digital signal from the acquisition of digital image data 5 of the device is processed by the image data processing unit, wherein the image data processing unit is configured to detect macro inhomogeneities and to classify polymeric sheets as acceptable or as suspicious; et où la pluralité de feuilles polymériques est divisée en une 10 population de feuilles acceptables et une population de feuilles suspectes. and wherein the plurality of polymeric sheets is divided over a 10 population of acceptable sheets and a population of suspect sheets.
  7. 7. Procédé selon la revendication 6, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: le choix d'une feuille sélectionnée parmi la population de feuilles suspectes. 7. A method according to claim 6, characterized in that it further comprises: selecting a selected sheet from the population of suspect sheets. 15 15
  8. 8. Procédé selon la revendication 7, caractérisé en ce que l'analyseur de couche de polissage comprend en outre: un dispositif d'affichage; 8. A method according to claim 7, characterized in that the polishing layer analyzer further comprises: a display device; où une image de la feuille sélectionnée est affichée sur le dispositif d'affichage. where an image of the selected sheet is displayed on the display device. 20 20
  9. 9. Procédé selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: l'accomplissement d'une inspection visuelle de la feuille sélectionnée, où l'inspection visuelle est facilitée par l'image de la feuille sélectionnée affichée sur le dispositif d'affichage; 9. The method of claim 8, characterized in that it further comprises: performing a visual inspection of the selected sheet, wherein the visual inspection is facilitated by the image of the selected sheet displayed on the device display; et 25 (i) le reclassement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme acceptable, où la feuille sélectionnée est ensuite ajoutée à la population de feuilles acceptables; and 25 (i) the reclassification of the selected sheet, based on visual inspection, to be acceptable, wherein the selected sheet is then added to the population of acceptable sheets; ou (ii) le classement de la feuille sélectionnée, sur la base de l'inspection visuelle, comme défectueuse, où la feuille sélectionnée est ensuite ajoutée à une 30 population de feuilles défectueuses. or (ii) the classification of the selected sheet, based on visual inspection, to be defective, where the selected sheet is then added to a 30 population of defective sheets.
  10. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 6 à 9, caractérisé en ce qu'il comprend en outre: la formation d'une surface de polissage (114) par formation par usinage d'au moins une rainure dans une feuille acceptable pour former un motif de rainures; 10. A method according to any one of claims 6 to 9, characterized in that it further comprises: forming a polishing surface (114) by forming by machining at least one groove in an acceptable sheet forming a pattern of grooves; où le motif de rainures est adapté pour polir un substrat; wherein the pattern of grooves is adapted for polishing a substrate; et l'incorporation de la feuille acceptable dans un tampon de polissage mécano-chimique (110) comme couche de polissage (120). and the incorporation of acceptable sheet in a chemical mechanical polishing pad (110) as a polishing layer (120).
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