FR3005825A1 - Generateur de plasma etendu comprenant des generateurs elementaires integres - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- REVENDICATIONS1. Générateur d'un plasma dans une enceinte sous vide comprenant au moins un générateur élémentaire (la) débouchant dans l'enceinte (12), le 5 générateur élémentaire (1a) comprenant : un générateur de micro-ondes (2), un adaptateur d'impédance (10) s'étendant selon une direction coaxiale (dcoax), l'adaptateur (10) étant configuré pour adapter l'impédance du plasma à l'impédance du générateur de micro-ondes (2) et pour assurer 10 la protection du générateur de micro-ondes (2), le générateur de micro-ondes (2) étant situé dans le prolongement de l'adaptateur (10) et connecté directement à l'adaptateur (10).
- 2. Générateur selon la revendication 1 dans lequel l'adaptateur (10) est connecté à une première extrémité (11a) au générateur de micro-ondes (2) 15 et à une deuxième extrémité (11b) à l'enceinte sous vide (12), l'adaptateur (10) comprend : - un tronçon de ligne coaxiale (13) s'étendant selon une direction coaxiale (dcoax) et un coulisseau (14) conducteur mobile en translation selon la direction coaxiale (dcoax) à l'intérieur du tronçon de ligne coaxiale (13), une 20 première distance (dl) entre le coulisseau (14) et la deuxième extrémité (11b) permettant de faire varier une composante inductive de l'adaptateur d'impédance (10).
- 3. Générateur selon l'une des revendications 1 ou 2 dans lequel l'adaptateur (10) comprend en outre une fenêtre isolante (9) disposée à 25 proximité de la deuxième extrémité (11b). 3 005 8 2 5 26
- 4. Générateur selon l'une des revendications précédentes dans lequel le tronçon de ligne coaxiale (13) comprend une âme centrale conductrice (15) s'étendant selon la direction coaxiale (dcoax), un premier milieu électriquement isolant (16) entourant l'âme centrale (15) et un blindage conducteur externe (17) entourant le premier milieu électriquement isolant (16), une deuxième distance (d2) selon une direction transverse (dtrans) à la direction coaxiale (dcoax) entre une paroi de l'âme centrale (15) et une paroi interne (17a) du blindage étant variable entre les deux extrémités (11a ; 11b) du tronçon de ligne coaxiale (13).
- 5. Générateur selon la revendication 4 dans lequel le blindage (17) comprend au moins une portion tronconique s'étendant selon la direction coaxiale (dcoax) permettant de faire varier la composante capacitive de l'adaptateur.
- 6. Générateur selon l'une des revendications 2 à 5 dans lequel une longueur du coulisseau (14) selon la direction coaxiale (dcoax) est inférieure à À/4 avec À = À0 / (ER(16))1, OÙ ER(16) est la permittivité relative du premier milieu électriquement isolant (16) et À0 la longueur d'onde dans le vide ou dans l'air des micro-ondes générées par le générateur de micro-ondes (2).
- 7. Générateur selon l'une des revendications 4 à 6 dans lequel le premier milieu électriquement isolant (16) est un fluide diélectrique.
- 8. Générateur selon l'une des revendications 3 à 7 dans lequel la longueur de la fenêtre isolante (9) selon la direction coaxiale (dcoax) est inférieure à À/4 avec À = À0 / (cR(0))1/2, où ER(6) est la permittivité relative du matériau de la fenêtre isolante (9) et À0 la longueur d'onde dans le vide ou dans l'air des micro-ondes générées par le générateur de micro-ondes (2).
- 9. Générateur de plasma selon la revendication 2 en combinaison avec l'une des revendications 3 à 8 dans lequel le coulisseau (14) est relié à un doigt de manoeuvre isolant (19) débouchant dans une rainure (18) de la paroi du blindage (17), la rainure (18) s'étendant selon la direction coaxiale 3 005 8 2 5 27 (dcoax), le doigt de manoeuvre (19) étant destiné à être connecté à un système de déplacement selon la direction coaxiale (dcoax).
- 10. Générateur selon l'une des revendications 3 à 9 dans lequel la fenêtre isolante (9) comprend un matériau diélectrique de permittivité diélectrique 5 relative supérieure à la permittivité diélectrique relative du premier milieu électriquement isolant (16).
- 11. Générateur selon la revendication 1 dans lequel l'adaptateur d'impédance (10) comprend un tronçon de ligne coaxiale (21) comprenant une âme centrale conductrice (22) d'un premier diamètre (d), un premier 10 milieu électriquement isolant (23) de permittivité diélectrique relative CR(23) entourant l'âme centrale (22) et un blindage d'un deuxième diamètre interne (D) entourant le premier milieu électriquement isolant (23), l'impédance de l'adaptateur (10) dépendant du rapport de D par d et de ER(23), l'adaptateur (10) assure l'adaptation d'impédance, la longueur du tronçon selon la 15 direction coaxiale (dcoax) étant de A/4, avec À = Ào / (ER(23))1, OÙ ER(23) est la permittivité relative du premier milieu électriquement isolant (23) et À0 la longueur d'onde dans le vide ou dans l'air de l'onde produite par le générateur de micro-ondes (2).
- 12. Générateur selon la revendication 2 en combinaison avec l'une des 20 revendications 3 à 11, dans lequel le générateur élémentaire (1a) comprend en outre un applicateur micro-onde (8) disposé dans le prolongement du tronçon de ligne coaxiale (13 ; 21) de l'adaptateur (10) selon la direction coaxiale (dcoax) et connecté directement au tronçon (13 ; 21) de l'adaptateur (10). 25
- 13. Générateur selon la revendication 12 dans lequel l'applicateur micro- onde (8) comprenant une extrémité débouchant à l'intérieur de l'enceinte et comprenant une âme centrale, un deuxième milieu électriquement isolant entourant l'âme centrale et un blindage entourant le deuxième milieu électriquement isolant, l'extrémité débouchant à l'intérieur de l'enceinte (12) comprenant des aimants permanents annulaires ou cylindriques de directions d'aimantation axiales ou radiales centrés sur l'âme centrale, les 3005 82 5 28 aimants annulaires ou cylindriques étant disposés pour générer à la sortie de l'applicateur coaxial (8) un champ magnétique statique à symétrie azimutale par rapport à l'âme centrale.
- 14. Générateur selon la revendication 2 en combinaison avec l'une des 5 revendications 3 à 13, comprenant en outre un circulateur (4) disposé selon la direction coaxiale (dcoax) et connecté entre le générateur de micro-ondes (2) et le tronçon (13 ; 21) de manière à protéger le générateur de micro-ondes (2).
- 15. Générateur selon l'une des revendications précédentes comprenant 10 en outre des moyens de modulation de la puissance micro-onde.
- 16. Générateur selon les revendications 12 et 15, dans lequel les moyens de modulation sont asservis par un détecteur de présence de plasma, le détecteur étant situé sur l'extrémité de l'applicateur micro-onde débouchant à l'intérieur de l'enceinte et permettant de contrôler l'allumage du plasma. 15
- 17. Générateur selon les revendications 12 et 15, dans lequel les moyens de modulation sont asservis à partir d'un détecteur de puissance réfléchie situé entre le générateur de micro-ondes et l'applicateur micro-onde.
- 18. Générateur de plasma comprenant une pluralité de générateurs élémentaires (1a) selon l'une des revendications 1 à 17, chacun des 20 générateurs élémentaires (1a) comprenant une alimentation en courant continu connectée directement au générateur de micro-ondes (2).
- 19. Générateur de plasma comprenant une pluralité de générateurs élémentaires (1a) selon l'une des revendications 1 à 17, chacun des générateurs élémentaires (1a) étant connecté à un réseau électrique 25 d'alimentation et comprenant un convertisseur de courant alternatif en courant continu disposé dans le prolongement du générateur de microondes (2) et connecté directement au générateur de microondes (2).
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR841603A (fr) * | 1938-01-27 | 1939-05-24 | Circuit d'accord réglable | |
US3413577A (en) * | 1966-07-28 | 1968-11-26 | Automatic Elect Lab | Absorption wavemeter |
US3792385A (en) * | 1972-11-06 | 1974-02-12 | Rca Corp | Coaxial magnetic slug tuner |
US5210466A (en) * | 1989-10-03 | 1993-05-11 | Applied Materials, Inc. | VHF/UHF reactor system |
WO2003103003A1 (fr) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Dispositif de production d'une nappe de plasma |
US20100096362A1 (en) * | 2007-06-11 | 2010-04-22 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, power supply apparatus and method for operating plasma processing apparatus |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR841603A (fr) * | 1938-01-27 | 1939-05-24 | Circuit d'accord réglable | |
US3413577A (en) * | 1966-07-28 | 1968-11-26 | Automatic Elect Lab | Absorption wavemeter |
US3792385A (en) * | 1972-11-06 | 1974-02-12 | Rca Corp | Coaxial magnetic slug tuner |
US5210466A (en) * | 1989-10-03 | 1993-05-11 | Applied Materials, Inc. | VHF/UHF reactor system |
WO2003103003A1 (fr) * | 2002-06-04 | 2003-12-11 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Dispositif de production d'une nappe de plasma |
US20100096362A1 (en) * | 2007-06-11 | 2010-04-22 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, power supply apparatus and method for operating plasma processing apparatus |
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