FR3003089A1 - Plaquette de silicium monolithique a multi-jonctions p/n verticales. - Google Patents

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Abstract

La présente invention concerne une plaquette (10) de silicium monolithique à multi-jonctions p/n verticales (2), présentant, dans au moins un plan vertical de coupe, une alternance de zones (110) dopées n et de zones (120) dopées p, chacune des zones s'étendant sur toute l'épaisseur (e) de la plaquette, caractérisée en ce que : - lesdites zones dopées n (110) et dopées p (120) présentent chacune, dans le plan de coupe, une largeur (L1, L2) d'au moins 1 mm ; - les zones dopées n (110) présentent une concentration en donneurs thermiques à base d'oxygène distincte de celle des zones dopées p (120) ; et - lesdites zones dopées n (110) et lesdites zones dopées p (120) sont séparées entre elles par des zones d'isolation électrique (130). Elle concerne encore des procédés de fabrication d'une telle plaquette.

Description

La présente invention se rapporte à une nouvelle plaquette de silicium monolithique à multi-jonctions p/n verticales, et à différentes variantes de procédé pour sa préparation. Une telle plaquette est particulièrement avantageuse dans le cadre de l'élaboration de cellules et modules photovoltaïques. Actuellement, les modules photovoltaïques (PV) sont majoritairement fabriqués à partir de l'assemblage de cellules en silicium mono- ou multi-cristallin, ces cellules étant généralement réalisées à partir de plaquettes, également appelées « wafers », de conductivité électrique p.
Dans des modules PV de taille raisonnable, de l'ordre du m2, le standard de taille pour les plaquettes (156 x 156 mm) fait que les tensions de circuit ouvert (Vo, en terminologie anglo-saxonne) des modules PV sont limitées à quelques dizaines de Volts. Différentes voies ont été explorées pour tenter d'augmenter la tension Vo, des modules PV.
Une première option pourrait consister à utiliser des matériaux autres que le silicium (Si) cristallin, notamment des semi-conducteurs présentant des amplitudes de bande interdite (ou « band gap » en langue anglaise) supérieures au 1,1 eV (électron-volt) du silicium, comme par exemple un matériau de type Si amorphe sur Si cristallin, issu de la technologie dite à hétéroj onction, ou encore des matériaux du type CdTe (tellurure de cadmium). Malheureusement, l'amélioration en termes de tensions de circuit ouvert est limitée, car l'utilisation de semi-conducteurs à bande interdite trop élevée (>2 eV) conduit à une baisse significative de la quantité de photons absorbée et à une perte en rendement de conversion énergétique. Une autre possibilité serait de réduire la taille des cellules par rapport au standard actuel de 156 x 156 mm, ce qui permettrait, par mise en série d'un plus grand nombre de cellules formant le module, d'accroître la valeur de la tension Vo,. Cependant cette solution rendrait plus délicate les opérations de manutention pour l'élaboration des modules. Par ailleurs, la nécessité de garder un espace entre cellules formant le module PV pour la connectique conduit à une perte de surface utile (i.e. permettant la photogénération de porteurs électriques). Cette perte de surface est plus importante avec la mise en oeuvre d'un plus grand nombre de cellules de taille réduite. Enfin, sauf à utiliser une technologie de cellule à contacts arrière (RCC, Rear Contact Cell en terminologie anglo saxonne), cette solution pose des problèmes délicats de métallisation et de connectique. Pour tenter de réduire cette perte de surface utile, il pourrait être envisagé de réaliser une plaquette monolithique de taille standard 156 x 156 mm, et de graver a posteriori des tranchées, par exemple par ablation laser, ce qui aurait pour effet de créer effectivement une pluralité de cellules de plus petite taille. Cependant, le traitement de gravure est susceptible de conduire à une fragilisation de la plaquette, et donc à des problèmes de tenue mécanique. Par ailleurs, le problème de l'isolation entre les sous-cellules est complexe, surtout si une résistance d'isolement importante est nécessaire pour les applications visées. Enfin, comme évoqué ci-dessus, sauf à utiliser une technologie RCC, cette solution pose des problèmes délicats de métallisation et de connectique. Plus récemment, Pozner et al. [1] ont envisagé par modélisation la mise en série de cellules à plans de jonction p/n verticaux, à la différence de la configuration des wafers classiques où le plan de jonction est horizontal. L'intérêt de cette approche est de pouvoir envisager un traitement de type collectif, sur substrat monolithique, pour la réalisation des cellules. Toutefois, de nombreuses questions techniques restent ouvertes quant à la réalisation en pratique d'une telle structure, dont le coût risque, par ailleurs, d'être très élevé. Gatos et al. [2] proposent de tirer parti de l'incorporation hétérogène d'oxygène au cours de la croissance d'un cristal de silicium par solidification dirigée selon le procédé Czochralski. L'origine de ces fluctuations de concentration d'oxygène est mal connue, mais ce principe est utilisé par Gatos et al. pour obtenir des structures de conductivité alternée n/p par recuit thermique. Il est en effet connu de l'état de l'art [3] que, dans des plaquettes de silicium contenant de l'oxygène, des recuits thermiques à des températures de 400-500 °C, permettent la formation de donneurs thermiques (DT), petits agglomérats d'oxygène (typiquement formés de l'association de 3 à 20 atomes d'oxygène) qui se comportent en donneurs d'électrons dans le silicium. Ainsi, lorsque ces donneurs thermiques sont générés dans le silicium de type p, ils peuvent entraîner une compensation du matériau et son changement de conductivité. La libération d'électrons étant fonction de la concentration locale en oxygène, un recuit, par exemple à une température de 450 °C pendant 50 heures d'une plaquette découpée dans un lingot Czochralski parallèlement à la direction de solidification, permet ainsi d'obtenir des structures p/n. Malheureusement, les fluctuations de concentration n'étant pas maitrisées, la taille des zones n et p, typiquement de l'ordre de la centaine de microns [2], ne peut être contrôlée. Il n'est donc pas possible de définir la tension de sortie d'une telle structure, ce qui représente un obstacle majeur pour l'intégration de ces structures dans un système solaire complet. Par ailleurs, dans une configuration où les sous-cellules sont connectées en série pour obtenir des tensions élevées, il est alors impossible d'équilibrer les courants, ce qui est une limitation très forte vis-à-vis du rendement de conversion énergétique de 1 ' ensemble. En outre, la variation de taille entre les différentes sous-cellules sur la surface d'une plaquette ([2], figure 1) induit une complexité, d'un point de vue technologique, qui représente un inconvénient majeur pour la réalisation des cellules photovoltaïques. Enfin, il n'est pas possible, dans la structure obtenue par Gatos et al. [2], de spécifier une résistance d'isolement entre les sous-cellules. Une telle limitation est préjudiciable au rendement de conversion énergétique de la cellule photovoltaïque. Par conséquent, il demeure un besoin de disposer de plaquettes de silicium, appropriées pour la réalisation de modules PV à haute tension de circuit ouvert et minimisant les surfaces inactives (i.e. ne permettant pas la collecte des porteurs photogénérés). La présente invention vise précisément à proposer une nouvelle plaquette de silicium monolithique à multi-jonctions verticales permettant de pallier les inconvénients précités, ainsi que des procédés pour accéder à une telle plaquette.
Plus précisément, la présente invention concerne, selon un premier de ses aspects, une plaquette de silicium monolithique à multi-jonctions p/n verticales, présentant, dans au moins un plan vertical de coupe, une alternance de zones dopées n et de zones dopées p, chacune des zones s'étendant sur toute l'épaisseur de la plaquette, caractérisée en ce que : - lesdites zones dopées n et dopées p présentent chacune, dans le plan de coupe, une largeur (Li, L2) d'au moins 1 mm ; - les zones dopées n présentent une concentration en donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel (DT) distincte de celle des zones dopées p ; et - lesdites zones dopées n et lesdites zones dopées p sont séparées entre elles par des zones d'isolation électrique.
Dans la suite du texte, et sauf indication contraire, la plaquette est caractérisée lorsqu'elle observée dans sa position horizontale. Ainsi, en particulier, la plaquette est définie comme présentant des jonctions « verticales » dans un plan vertical de coupe de la plaquette positionnée horizontalement. On parlera indifféremment dans la suite du texte de « plaquette » ou de « wafer ». On désignera par la suite par « donneurs thermiques », ou plus simplement sous l'abréviation « DT », les donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel. Par « zone d'isolation électrique », on entend une zone présentent une forte résistivité électrique, en particulier supérieure ou égale à 2 kflcm et avantageusement supérieure ou égale à 10 kflcm. De manière idéale, la zone d'isolation électrique peut être une zone dite intrinsèque, à savoir une zone de la plaquette dans laquelle les concentrations de porteurs de charge de type électrons et de porteurs de charge de type trous sont similaires. Selon un autre de ses aspects, la présente invention propose des procédés permettant d'accéder, de manière aisée, à une telle plaquette à multi-jonctions p/n, à partir d'une plaquette en silicium dopé p. Selon un premier mode de réalisation particulier, la présente invention concerne ainsi un procédé de fabrication d'une plaquette telle que définie précédemment, comprenant au moins les étapes consistant en : (i) disposer d'une plaquette en silicium dopé p comprenant une concentration en porteurs de charge de type trous (po) comprise entre 1014 et 2.1016 cm-3 et une concentration en oxygène interstitiel [0] comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3; (ii) soumettre ladite plaquette de l'étape (i) à un traitement thermique global, propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel et à la 30 conversion de l'ensemble de la plaquette en type n; (iii) soumettre des zones de la plaquette obtenue à l'issue de l'étape (ii), dédiées à former les zones dopées p, à un traitement thermique localisé propice à l'annihilation des donneurs thermiques et à la reconversion desdites zones de type n en type p ; et (iv) transformer, par traitement thermique, la portion de chaque zone de type n, 5 contigüe à une zone de type p, en une zone d'isolation électrique, pour obtenir la plaquette (10) attendue. Selon un seconde mode de réalisation particulier, la présente invention concerne un procédé de fabrication d'une plaquette telle que définie précédemment, comprenant au moins les étapes consistant en : 10 (a) disposer d'une plaquette en silicium dopé p comprenant une concentration en porteurs de charge de type trous (po) comprise entre 1014 et 2.1016 cm-2 et une concentration en oxygène interstitiel [O k] comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3 ; (b) doper en hydrogène les zones, dites (11) et (13), de la plaquette dédiées à former les zones dopées n et les zones d'isolation électrique ; et 15 (c) soumettre ladite plaquette de l'étape (b) à un traitement thermique global propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel au niveau des zones dopées en hydrogène, et à la conversion desdites zones (11) de type p en type n et desdites zones (13) en zones d'isolation électrique, pour obtenir la plaquette attendue. De manière avantageuse, ces procédés permettent, via le contrôle des 20 concentrations locales en donneurs thermiques, de maîtriser, avec précision, la taille des zones n et p formées, ainsi que la conductivité et la taille des zones d'isolation électrique. Egalement, il est possible selon l'invention, comme développé dans la suite du texte, de réaliser des structures bidimensionnelles, par exemple avec une disposition des zones n et p alternées en damier, ce qui permet avantageusement d'accroître encore le 25 nombre de sous-cellules en série formées sur la plaquette. Selon encore un autre de ses aspects, la présente invention concerne un dispositif photovoltaïque, en particulier une cellule photovoltaïque, comportant une plaquette de silicium telle que définie précédemment. Les plaquettes de silicium selon l'invention, divisées en une pluralité de sous- 30 cellules de tailles contrôlées, permettent avantageusement de produire des modules PV présentant une tension de circuit ouvert accrue, tout en conservant une taille raisonnable standard de l'ordre du m2.
D'autres caractéristiques, avantages et modes d'application des plaquettes selon l'invention et des procédés pour sa préparation, ressortiront mieux à la lecture de la description détaillée qui va suivre, des exemples de réalisation de l'invention et à l'examen des dessins annexés, sur lesquels : - la figure 1 représente, de manière schématique, dans un plan vertical de coupe, la structure d'une plaquette de silicium selon l'invention ; - la figure 2 représente, de manière schématique, les différentes étapes du procédé de fabrication d'une plaquette selon l'invention, selon un premier mode de réalisation ; - la figure 3 représente, de manière schématique, les différentes étapes du procédé de fabrication d'une plaquette selon l'invention, selon un second mode de réalisation ; - la figure 4 représente, en vue de dessus, pour le procédé de l'exemple 1, les zones (12) irradiées au laser de la plaquette lors de l'étape (iii) pour la formation des zones dopées p (figure 4a) et lors de l'étape (iv) pour la formation des zones d'isolation électrique (figure 4b) ; - la figure 5 représente, en vue de dessus, pour le procédé de l'exemple 2, le masquage en étape (b) des zones (12) de la plaquette lors de la première étape d'implantation ionique (figure 5a) et le masquage des zones (12) et (13) lors de la seconde étape d'implantation ionique (figure 5b) ; et la répartition des zones formées à l'issue de l'étape (c) (figure 5c). Il convient de noter que, pour des raisons de clarté, les différents éléments sur les figures sont représentés en échelle libre, les dimensions réelles des différentes parties n'étant pas respectées.
Dans la suite du texte, les expressions « compris entre ... et ... », « allant de ... a ... » et « variant de ... à ... » sont équivalentes et entendent signifier que les bornes sont incluses, sauf mention contraire. Sauf indication contraire, l'expression « comportant/comprenant un(e) » doit 30 être comprise comme « comportant/comprenant au moins un(e) ».
PLAQUETTE A 1VIULTI-JONCTIONS PIN VERTICALES Il est fait référence, dans la description qui suit, à la figure 1 annexée. Une plaquette selon l'invention peut présenter une épaisseur (e) allant de 100 à 500 iam, en particulier de 150 à 300 iam.
Elle peut présenter une longueur totale (L), allant de 10 à 30 cm, en particulier de 15 à 20 cm. Selon un mode de réalisation particulier, une plaquette selon l'invention comporte une concentration en oxygène interstitiel comprise entre 1017 et 2.1018 CM-3, en particulier comprise entre 5.1017 et 1,5.1018 CM-3. Cette concentration prend en compte la teneur en oxygène interstitiel, qui ne sont pas sous forme d'agglomérats (donneurs thermiques) dans la plaquette de silicium. La concentration en oxygène interstitiel peut être par exemple obtenue par analyse par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier (en langue anglaise « Fourier Transformed InfraRed Spectroscopy » (FTIR)).
Comme décrit précédemment, une plaquette de silicium selon l'invention présente une alternance de zones dopées n (110) et de zones dopées p (120), séparées entre elles par des zones d'isolation électrique (130). En particulier, les zones dopées n (110) de la plaquette peuvent présenter, indépendamment les unes des autres, une densité de porteurs de charge de type électrons allant de 1014 à 2.1016 cm-3, en particulier de 5.1014 à 5.1015 cm-3. La concentration en porteurs de charge de type électrons peut être par exemple déterminée par mesure de l'effet Hall (qui permet de déterminer le type de dopage). Elles peuvent présenter, indépendamment les unes des autres, une largeur (Li) dans le plan de coupe allant de 1 mm à 10 cm, en particulier de 5 mm à 5 cm.
Les zones dopées p (120) de la plaquette peuvent présenter, indépendamment les unes des autres, une densité en porteurs de charge de type trous allant de 1014 à 2.1016 cm-3, en particulier de 5.1014 à 5.1015 cm-3. La concentration en porteurs de charge de type trous peut être par exemple déduite d'une mesure de la résistivité, par exemple par la méthode de mesure d'effet Hall.
Elles peuvent présenter, indépendamment les unes des autres, une largeur (L2) dans le plan de coupe allant de 1 mm à 10 cm, en particulier de 5 mm à 5 cm.
Par l'expression « indépendamment les unes des autres », on entend signifier que la largeur peut différer d'une zone dopée n à une autre zone dopée n, ou d'une zone dopé p à une autre zone dopée p. De manière avantageuse, ces largeurs (Li, L2) peuvent être ajustées selon les 5 connaissances de l'homme du métier. En particulier, les matériaux de type n étant généralement moins sensibles aux impuretés métalliques que les matériaux de type p, les courants photogénérés sont généralement plus élevés dans des zones dopées n que dans des zones dopées p. Ainsi, les largeurs (Li, L2) des zones dopées p et dopées n peuvent être adaptées lors de la préparation de la plaquette, en vue notamment d'égaler au mieux ces 10 courants dans la plaquette de silicium finale. Les zones dopées n (110) de la plaquette selon l'invention présentent une concentration en donneurs thermiques à base d'oxygène (DT) distincte de celle des zones dopées p (120). Comme il ressort des procédés de réalisation de la plaquette décrits ci-dessous, 15 le contrôle de la concentration locale en DT permet d'accéder à la conductivité électrique alternée n et p de la plaquette. Il est à noter qu'un recuit global d'une plaquette conforme à l'invention, par exemple à une température supérieure ou égale à 600 °C, notamment comprise entre 600 et 700 °C, permet la dissolution (encore appelée « annihilation ») de l'ensemble des DT et 20 conduit à retrouver une plaquette de conductivité homogène. Cette caractéristique peut être avantageusement utilisée pour distinguer une plaquette selon l'invention, de plaquettes qui ne seraient pas obtenues par un procédé conforme à l'invention. Les zones d'isolation électrique (130), séparant une zone dopée n (110) et une zone dopée p (120), présentent de préférence une résistivité supérieure ou égale à 2 kflcm, 25 en particulier supérieure ou égale à 10 kflcm. La résistivité peut être mesurée par toute méthode conventionnelle, comme par exemple, par la méthode de mesure dite des 4 pointes, ou encore par mesure de l'effet des courants de Foucault induit par un champ magnétique alternatif Selon un mode de réalisation particulier, chacune des zones d'isolation 30 électrique (130) présente avantageusement une largeur (L3) dans le plan de coupe allant de 50 i.tm à 5 mm, en particulier de 200 i.tm à 1 mm.
En effet, une zone d'isolation électrique trop longue dans la plaquette de silicium finale est susceptible de conduire à une perte de manière active et donc une baisse du rendement énergétique au niveau du module qui sera formé à partir de ces plaquettes. En revanche, une zone d'isolation électrique trop courte peut s'avérer insuffisante pour assurer une bonne isolation entre les sous-cellules (zones dopées n et zones dopées p), ce qui peut également conduire à une baisse de rendement au niveau du module résultant. Selon un mode de réalisation particulier, les zones n et p peuvent être agencées de manière à former un motif bidimensionnel. Par exemple, dans une vue de dessus de la plaquette, la disposition des zones n et p alternées peut former un motif de type damier. Le côté d'un carré (zones n et p) du damier peut être compris entre 1 mm et 10 cm, de préférence entre 5 mm et 5 cm. Dans le cadre de ce mode de réalisation particulier, les zones d'isolation électrique (130) forment alors le pourtour de chacune des zones n et des zones p. Cette configuration est par exemple mise en oeuvre dans les exemples qui suivent.
Bien entendu, l'invention n'est nullement limitée à une telle disposition ; différentes configurations, autres qu'un motif damier, peuvent être envisagées dans le cadre de la présente invention (par exemple motifs rectangulaires, polygonaux, etc.). FABRICATION DE LA PLAQUETTE Comme évoqué précédemment, une plaquette (10) selon l'invention peut être élaborée, suivant différentes variantes de réalisation, à partir d'une plaquette (1) en silicium dopée p, comprenant une concentration en porteurs de charge de type trous (po) comprise entre 1014 et 2.1016 cm-3 et une concentration en oxygène interstitiel [0i] comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3.
Selon un mode de réalisation particulier, la plaquette (1) en silicium dopé p présente une concentration en porteurs de charge de type trous (po) allant de 5.1014 à 1016, en particulier de 5.1014 à 5.1015 cm-3. Selon un mode de réalisation particulier, la plaquette (1) en silicium dopé p présente une concentration en oxygène interstitiel [0i] allant de 5.1017 à 1 ,5.1018 cm-3.
De manière avantageuse, la variation relative de la concentration en oxygène interstitiel dans la plaquette en silicium (1) est inférieure à 40 %, en particulier inférieure à 20 % et de préférence inférieure à 10 %.
Une telle plaquette (1) en silicium dopé p peut être par exemple obtenue par découpe d'un lingot de silicium formé, selon des techniques connues de l'homme du métier, par solidification dirigée d'un bain fondu, en particulier par la technique de refroidissement sous gradient (encore connue sous l'appellation « gradient freeze » en langue anglaise) ou par épitaxie en voie liquide ou gazeuse. Les procédés selon l'invention, décrits ci-dessous, mettent en oeuvre une ou plusieurs étapes d'activation ou d'annihilation des DT. On entend par « activation », la formation de ces donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel. Ils se forment généralement lors d'un recuit à une température de 300-500 °C. Un tel recuit permet l'association d'atomes d'oxygène pour former une espèce à la stoechiométrie plus complexe qui a un comportement donneur d'électrons dans le silicium. Les donneurs thermiques ainsi formés sont stables à température ambiante, mais un recuit à une température supérieure à 600 °C permet leur dissociation, ce qui annule les effets de l'activation thermique précédemment réalisée. On parle alors d'« annihilation » ou « dissolution » des DTs. Les traitements d'activation/annihilation mis en oeuvre selon l'invention peuvent être opérés sous air ou sous atmosphère inerte. 1" mode de réalisation Il est fait référence dans la description qui suit de ce premier mode de réalisation, à la figure 2 annexée. Selon cette première variante, une plaquette (10) selon l'invention peut être obtenue via un procédé comprenant au moins les étapes suivantes : (i) disposer d'une plaquette (1) en silicium dopé p telle que décrite précédemment ; (ii) soumettre ladite plaquette de l'étape (i) à un traitement thermique global, propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel et à la conversion de l'ensemble de la plaquette en type n; (iii) soumettre des zones (12) de la plaquette (1') obtenue à l'issue de l'étape (ii), dédiées à former les zones dopées p, à un traitement thermique localisé propice à l'annihilation des donneurs thermiques et à la reconversion desdites zones (12) de type n en type p ; et (iv) transformer, par traitement thermique, la portion (13) de chaque zone de type n, contigüe à une zone de type p, en une zone d'isolation électrique (130), pour obtenir 5 la plaquette (10) attendue. Le traitement thermique global en étape (ii) peut être par exemple réalisé par recuit thermique de la totalité de la plaquette, par exemple dans un four. Il appartient à l'homme du métier d'ajuster les conditions de recuit pour la 10 conversion de l'ensemble de la plaquette (1) de départ en type n. Le recuit peut être par exemple opéré à une température supérieure ou égale à 300 °C et strictement inférieure à 600 °C, en particulier allant de 400 à 500 °C et plus particulièrement d'environ 450 °C. La durée du recuit thermique peut être supérieure ou égale à 30 minutes, en 15 particulier être comprise entre 1 heure et 20 heures, notamment être d'environ 4 heures. A l'issue de l'étape (ii), la plaquette (1') obtenue, en silicium dopé n, peut présenter une teneur en porteurs de charge de type électrons (no) allant de 1014 à 2.1016, en particulier de 5.1014 à 5.1015 cm-3. 20 De même, l'homme du métier est à même d'ajuster les conditions du traitement thermique localisé en étape (iii) propices à l'annihilation des donneurs thermiques dans les zones (12) de la plaquette dédiées à former des zones dopées p et la reconversion de ces zones de type n en type p. Par « localisé », on entend que le traitement thermique affecte uniquement les 25 zones déterminées (12) de la plaquette, à la différence d'un traitement thermique global qui affecte la totalité de la plaquette. Bien entendu, ces zones (12) de la plaquette soumises au traitement thermique, par exemple à l'irradiation par laser, sont déterminées au regard de l'architecture de la plaquette finale souhaitée. Les zones (12) de la plaquette dont on souhaite qu'elles deviennent de type p 30 peuvent être portées à une température supérieure ou égale à 600 °C, notamment allant de 600 à 1000 °C, en particulier pendant au moins 10 secondes.
Il appartient à l'homme du métier de mettre en oeuvre des moyens connus pour canaliser les flux de chaleur et limiter la propagation latérale de la chaleur pour garder des zones n/p bien délimitées. Le traitement thermique localisé peut être avantageusement opéré par exposition des zones (12) à traiter à un faisceau laser, de préférence un laser à large spot si l'on souhaite irradier des zones de taille importante, par exemple avec une taille de spot de l'ordre du cm. Le laser peut par exemple fonctionner à une longueur d'onde supérieure ou égale à 500 nm, en particulier allant de 500 nm à 1100 nm, ce qui permet une propagation de la chaleur en profondeur dans le matériau. L'ajustement des conditions du traitement thermique en étape (iv) pour transformer les portions (13) de chacune des zones de type n, contigües à une zone de type p, en zones d'isolation électrique, relève également des compétences de l'homme du métier.
L'étape (iv) peut être avantageusement opérée par exposition de chaque portion (13) à un faisceau laser, en particulier de faible taille de spot, par exemple de 20 à 100 1.1m de largeur. En effet, ce traitement laser additionnel doit être plus localisé que celui mis en oeuvre en étape (iii) pour atteindre la largeur (L3) des zones d'isolation électrique souhaitée, et parvenir ainsi à un bon compromis entre qualité d'isolation et limitation de la taille de la zone compensée, inactive du point de vue photovoltaïque. Les paramètres de durée d'irradiation et de puissance laser peuvent être ajustés pour obtenir l'annihilation d'une fraction des donneurs thermiques dans les zones traitées (13) et leur conversion en des zones d'isolation électrique de forte résistivité.
Selon un mode de réalisation particulier, la plaquette peut être soumise, ultérieurement à l'étape (iv), à un traitement de surface, en particulier par attaque chimique, pour supprimer les éventuelles régions surfaciques écrouies résultant du traitement par laser.
Tout type de techniques d'attaque chimique connues peuvent être utilisées. Par exemple, l'attaque chimique peut être effectuée à l'aide d'une solution formée d'un mélange HNO3, HF et CH3COOH, également connu sous le nom de CP133. 2" mode de réalisation Il est fait référence dans la description qui suit de ce second mode de réalisation, à la figure 3 annexée.
Selon cette seconde variante, une plaquette (10) selon l'invention peut être obtenue via un procédé comprenant au moins les étapes suivantes : (a) disposer d'une plaquette (1) en silicium dopé p telle que décrite précédemment ; (b) doper en hydrogène les zones, dites (11) et (13), de la plaquette dédiées à 10 former les zones dopées n et les zones d'isolation électrique ; et (c) soumettre ladite plaquette de l'étape (b) à un traitement thermique global propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel au niveau des zones (11) et (13) dopées en hydrogène, et à la conversion desdites zones (11) de type p en type n et desdites zones (13) en zones d'isolation électrique, pour obtenir la plaquette (10) 15 attendue. Il appartient à l'homme du métier d'ajuster les taux de dopage en hydrogène des zones (11) et (13) en étape (b) pour obtenir la conversion souhaitée des zones en étape (c), sans affecter les zones (12) dépourvues en hydrogène et dédiées à former les zones p 20 de la plaquette finale. De préférence, le dopage est opéré de manière à permettre une distribution volumique uniforme de l'hydrogène dans les zones concernées et sur toute l'épaisseur de la plaquette. Selon un mode de réalisation particulier, le dopage en étape (b) peut être opéré 25 via une première étape (bl) d'implantation d'hydrogène à la surface ou en sub-surface des zones à doper, suivie d'une seconde étape (b2) de diffusion de l'hydrogène sur toute l'épaisseur (e) de la plaquette. On entend par l'implantation d'hydrogène en « sub-surface », une implantation à des profondeurs allant de quelques nanomètres à quelques dizaines de nanomètres. 30 L'implantation de l'hydrogène peut être effectuée par des techniques classiques, par exemple par traitement plasma, notamment par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) ou par plasma d'hydrogène distant induit par micro-ondes (MIRHP). Elle peut encore être opérée par une technique d'implantation ionique, notamment par une technique de type SmartCut®.
Avantageusement, pour limiter le temps de diffusion de l'hydrogène et les risques d' exo-diffusion, le traitement plasma est réalisé sur les deux faces de la plaquette. Les zones d'implantation d'hydrogène peuvent être définies à l'aide d'un masque (par exemple, une grille métallique), laissant accessibles uniquement les surfaces des zones à doper, comme illustré dans l'exemple 2 qui suit, par exemple par PECVD.
En alternative, on peut déposer l'hydrogène de façon uniforme sur toute la surface de la plaquette, et graver le dépôt, par exemple avec de l'acide fluorhydrique (HF), dans les zones (12) dont on souhaite qu'elles restent de type p. Le taux de dopage en hydrogène est de préférence accru au niveau des zones (11) destinées à former les zones dopées n.
Selon un mode de réalisation particulier, l'implantation d'hydrogène au niveau des zones (11) et (13) peut ainsi comprendre : - une première étape d'implantation d'hydrogène en surface ou sub-surface des zones (11) dédiées à former les zones dopées n et des zones (13) dédiées à former les zones d'isolation électrique, en masquant les zones (12) dédiées à former les zones dopées p ; et - une seconde étape d'implantation d'hydrogène en surface ou sub-surface des zones (11) dédiées à former les zones dopées n, en masquant les zones (12) dédiées à former les zones dopées p et les zones (13) dédiées à former les zones d'isolation électrique. Il appartient à l'homme du métier d'ajuster les taux surfaciques d'hydrogène implanté, notamment au regard de l'épaisseur de la plaquette (1), de manière à obtenir les taux de dopage volumique souhaités, à l'issue de la diffusion de l'hydrogène sur toute l'épaisseur de la plaquette. Par exemple, le taux de dopage volumique des zones (11) dédiées à former les zones dopées n peut être compris entre 1 et 4.1013 cml, Le taux de dopage volumique des zones (13) dédiées à former les zones d'isolation électrique peut être compris entre 1 et 4.1011 cml.
La diffusion de l'hydrogène dans les zones à doper (étape (b2)) peut être par exemple opérée par exposition desdites zones aux ultrasons, en particulier à l'aide de transducteurs piézoélectriques. Par exemple, on peut utiliser des transducteurs piézoélectriques travaillant entre 20 kHz et 1 MHz, de préférence entre 50 et 500 kHz, des déformations acoustiques induites entre 5.10-6 et 2.10-5, et des durées de traitement entre 5 et 120 minutes, préférentiellement entre 10 et 60 minutes. En alternative, la diffusion de l'hydrogène en étape (b2) peut être opérée par recuit thermique de la plaquette, notamment dans un four, en particulier à une température allant de 400 °C à 1000 °C, et pendant une durée allant de 5 secondes à 5 heures. De fait, le dopage par l'hydrogène va permettre d'accélérer les cinétiques d'activation des donneurs thermiques dans les zones dopées. Un traitement thermique global de la plaquette peut ainsi être opéré dans des conditions propices à l'activation privilégiée des donneurs thermiques au niveau des zones pourvues en hydrogène, et sans affecter les zones qui en sont dépourvues. Le traitement thermique global en étape (c) peut être par exemple opéré par recuit thermique à une température supérieure ou égale à 300°C et strictement inférieure à 600 °C, en particulier de 400 à 500 °C, et plus particulièrement d'environ 450 °C. La durée du recuit peut être supérieure ou égale à 30 minutes, en particulier être comprise entre 1 heure et 20 heures, et plus particulièrement d'environ 3 heures. DISPOSITIFS PHOTOVOLTAIOUES L'homme du métier est à même de mettre en oeuvre les traitements adéquats 25 classiques, pour l'élaboration d'une cellule photovoltaïque (PV), à partir d'une plaquette (10) selon l'invention. De préférence, à l'issue du procédé de fabrication de la plaquette (10) selon l'invention, on utilise une technologie basse température de type hétérojonction (silicium amorphe sur silicium cristallin), pour la réalisation de la cellule photovoltaïque. 30 A titre d'exemples, peuvent être opérées, à l'issue de la fabrication de la plaquette (10) selon l'une ou l'autre des variantes de procédé décrites précédemment, une ou plusieurs étapes suivantes : - dépôt d'une première couche de silicium amorphe intrinsèque (typiquement d'une épaisseur de l'ordre de 5 nm) et d'une couche amorphe dopée p+ ou n+, sur chacune des faces de la plaquette ; - dépôt de couches d'oxyde transparent conducteur, notamment à base d'ITO, en surface desdites couches de silicium amorphe ; - formation d'une ou plusieurs métallisations (également appelées « contacts conducteurs ») en face avant et/ou arrière de la plaquette, notamment par sérigraphie de pâte d'argent, à basse température. Il est cependant également possible d'élaborer une cellule photovoltaïque en utilisant la technologie classique, à haute température. Dans le cadre de la mise en oeuvre d'une telle technologie, il est nécessaire de réaliser les étapes à haute température (par exemple, de diffusion gazeuse), préalablement aux traitements thermiques d'activation/annihilation des donneurs thermiques. A titre d'exemple, dans le cadre d'une technologie haute température, peuvent être opérées, préalablement aux traitements thermiques d'activation/annihilation des DT mis en oeuvre dans l'une ou l'autre des variantes de procédé de préparation de la plaquette, un ou plusieurs étapes suivantes : - dépôt d'une ou plusieurs couches de passivation et/ou anti-reflet ; - formation d'une ou plusieurs métallisations en face avant et/ou arrière de la plaquette, notamment par sérigraphie Ag ou Ag/Al. Une étape de recuit des métallisations est réalisée ensuite dans un four à passage à 800 °C environ, pendant quelques secondes. Les cellules PV obtenues selon l'invention peuvent alors être assemblées pour élaborer un module photovoltaïque de taille raisonnable, classiquement de dimension de l'ordre du m2, et présentant une tension accrue par rapport aux modules élaborés à partir de cellules classiques. Selon encore un autre de ses aspects, l'invention concerne ainsi un module photovoltaïque formé d'un ensemble de cellules photovoltaïques selon l'invention. L'invention va maintenant être décrite au moyen des exemples suivants, donnés bien entendu à titre illustratif et non limitatif de l'invention.
EXEMPLES EXEMPLE 1 (1) Plaquette de silicium dopé p On utilise une plaquette de silicium de type p de 220 um d'épaisseur, obtenue par découpe d'un lingot élaboré par solidification dirigée par la technique de refroidissement sous gradient (« gradient freeze »). Cette plaquette présente une teneur en porteurs de charge de type trous, déterminée via la mesure de la résistivité, de 5.1015 cm-3, et une concentration en oxygène interstitiel, déterminée par analyse FTIR, de 1 ,5.1018 cm-3. (ii) Conversion de la plaquette en type n La plaquette subit un recuit à 450 °C pendant 4 heures afin d'activer des donneurs thermiques. Ce recuit permet la conversion de la plaquette de type p en type n, avec une teneur en électrons, déterminée par mesure de l'effet Hall, de 2.1015 cm-3. (iii) Traitement thermique localisé La plaquette est ensuite positionnée sous un faisceau laser, mis en forme selon le motif représenté en figure 4a. Les zones non irradiées sont celles que l'on veut conserver de type n, et les zones irradiées (12) sont les zones que l'on souhaite refaire basculer de 20 type p. Les motifs sont de dimension 4x4 cm2. Le faisceau laser utilise une longueur d'onde dans le rouge/infrarouge, afin d'apporter de la chaleur en profondeur. La puissance laser est réglée dans le but d'élever la température du substrat au moins à 600°C, afin de dissoudre la majorité des donneurs thermiques en présence et reconvertir la zone en type p, tout en limitant autant que possible 25 la dégradation de la surface de l'échantillon. Une puissance de 30 W pour un diamètre de faisceau de 100 um constitue un bon exemple de point de fonctionnement, avec un balayage de zone. La durée du traitement laser est réglée de manière à permettre la montée en température de toutes les zones irradiées au-delà du seuil de 600 °C pendant au moins 10 30 secondes, tout en limitant la diffusion latérale de chaleur, afin d'obtenir une mosaïque de types aussi nette que possible. (iv) Formation des zones d'isolation électrique La plaquette subit une deuxième étape laser, visant à l'élaboration de zones très résistives entre les différentes régions de types opposés. Dans ce but, le faisceau est balayé sur le pourtour (13) de chaque sous élément de type n, sur une largeur de 1 mm (en noir sur la figure 4b). Les paramètres de durée d'irradiation et de puissance laser sont ajustés dans le but d'obtenir des zones localisées où seule une fraction des donneurs thermiques a été dissoute, permettant l'obtention d'une zone d'isolation électrique, et donc très résistive.
Enfin, la plaquette subit une attaque chimique type CP133 (HF, HNO3, CH3COOH) afin de supprimer les éventuelles zones surfaciques écrouies, résultant des étapes laser. EXEMPLE 2 (a) Plaquette de silicium dopé p On utilise une plaquette de silicium de type p de 200 jam d'épaisseur, avec une teneur en porteurs trous de 1015cm-3, et une concentration en oxygène de 7.1017 cm-3. Les surfaces de la plaquette sont préalablement polies par une attaque chimique type CP133. (b) Dopage en hydrogène Implantation ionique d'hydrogène - Une première étape de masquage, à l'aide d'une grille métallique posée au dessus du substrat, est effectuée conformément aux motifs, présentés sur la figure 5a. Les zones masquées (12) correspondent aux zones de la plaquette qui resteront de type p. Les zones découvertes correspondent aux zones (11) et (13) de la plaquette destinées à former les zones de type n et les zones d'isolation électrique. Les motifs sont de dimension 4x4 cm2. Cette première étape de masquage est suivie d'une implantation ionique d'hydrogène, par immersion plasma à l'aide d'un équipement standard, à une dose surfacique Dl de 4.109 cm-2, ce qui correspondra pour la plaquette de 200 jam d'épaisseur à une dose volumique de 2.1011 cm-3. L'énergie d'implantation de l'hydrogène utilisée pour cette application est voisine de 135 keV. - Cette première étape d'implantation ionique est ensuite suivie d'une nouvelle étape de masquage, comme représenté en figure 5b. Les zones masquées sont alors les zones de la plaquette (12) qui resteront de type p (zones non implantées) ainsi que les zones (implantées à la dose Dl) de la plaquette (13) destinées à former les zones d'isolation électrique. Cette seconde étape de masquage est suivie d'une seconde étape d'implantation ionique sous l'énergie 135 keV à une dose d'implantation D2 de 4.1011 cm-2, ce qui, dans une plaquette de 200 iam d'épaisseur, correspondra à une dose volumique de 2.1013 cm-3. Diffusion de l'hydrogène Les masques sont ensuite enlevés, et la plaquette subit un recuit thermique en four à une température de 700 °C pendant 10 minutes, pour permettre à l'hydrogène issu des couches implantées de se répartir de façon homogène sur l'épaisseur de la plaquette. (c) Traitement thermique global La plaquette subit un recuit thermique à une température voisine de 450 °C pendant une durée de 3 heures, afin de transformer les zones dopées p comprenant 20 l'hydrogène en zones dopées n, comme représenté schématiquement en figure 5c. A l'issue du traitement thermique, la plaquette présentent une alternance de zones dopées n et de zones dopées p, chacune des zones n et p étant séparées par une zone d'isolation électrique (130) de résistivité élevée.
25 Références : [1] Pozner et al., Progress in Photovoltaics 20 (2012), 197; 30 [2] US 4,320,247; [3] Wijaranakula, Appl. Phys. Lett. 59 (1991), 1608.

Claims (17)

  1. REVENDICATIONS1. Plaquette de silicium (10) monolithique à multi-jonctions pin verticales (2), présentant, dans au moins un plan vertical de coupe, une alternance de zones (110) dopées n et de zones (120) dopées p, chacune des zones s'étendant sur toute l'épaisseur (e) de la 5 plaquette, caractérisée en ce que : - lesdites zones (110) et (120) présentent chacune, dans le plan de coupe, une largeur (Li, L2) d'au moins 1 mm ; - les zones dopées n (110) présentent une concentration en donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel distincte de celle des zones dopées p (120) ; et 10 - lesdites zones dopées n (110) et lesdites zones dopées p (120) sont séparées entre elles par des zones d'isolation électrique (130).
  2. 2. Plaquette selon la revendication 1, ladite plaquette comprenant une concentration en oxygène interstitiel comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3, en particulier comprise entre 5.1017 et 1,5.1018cm-3, 15
  3. 3. Plaquette selon la revendication 1 ou 2, dans laquelle lesdites zones dopées n (110) présentent, indépendamment les unes des autres, une largeur (Li) allant de 1 mm à 10 cm, en particulier de 5 mm à 5 cm.
  4. 4. Plaquette selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle lesdites zones dopées p (120) présentent, indépendamment les unes des autres, une 20 largeur (L2) allant de 1 mm à 10 cm, en particulier de 5 mm à 5 cm.
  5. 5. Plaquette selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans laquelle chacune desdites zones d'isolation électrique (130) présente une largeur (L3) allant de 50 iam à 5 mm, en particulier de 200 iam à 1 mm.
  6. 6. Plaquette selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans 25 laquelle la disposition desdites zones n et p alternées forme un motif bidimensionnel, en particulier de type damier, avec le côté d'un carré étant plus particulièrement compris entre 1 mm et 10 cm, lesdites zones d'isolation électrique formant un pourtour de chacune des zones n et p.
  7. 7. Procédé de fabrication d'une plaquette (10) selon l'une quelconque des 30 revendications 1 à 6, comprenant au moins les étapes consistant en :(i) disposer d'une plaquette (1) en silicium dopé p comprenant une concentration en porteurs de charge de type trous (po) comprise entre 1014 et 2.1016 cm-3 et une concentration en oxygène interstitiel [0] comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3 ; (ii) soumettre ladite plaquette de l'étape (i) à un traitement thermique global, 5 propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel et à la conversion de l'ensemble de la plaquette en type n; (iii) soumettre des zones (12) de la plaquette (1') obtenue à l'issue de l'étape (ii), dédiées à former les zones dopées p, à un traitement thermique localisé propice à l'annihilation des donneurs thermiques et à la reconversion desdites zones (12) de type n en 10 type p ; et (iv) transformer, par traitement thermique, la portion (13) de chaque zone de type n, contigüe à une zone de type p, en une zone d'isolation électrique (130), pour obtenir la plaquette (10) attendue.
  8. 8. Procédé selon la revendication 7, dans lequel ledit traitement thermique en 15 étape (ii) est opéré par recuit à une température supérieure ou égale à 300°C et strictement inférieure à 600 °C, en particulier allant de 400 à 500°C et plus particulièrement d'environ 450 °C.
  9. 9. Procédé selon la revendication 7 ou 8, dans lequel lesdites zones (12) dédiées à former des zones dopées p sont portées en étape (iii) à une température supérieure 20 ou égale à 600°C, notamment allant de 600 à 1000 °C, en particulier pendant au moins 10 secondes.
  10. 10. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 9, dans lequel ledit traitement thermique localisé en étape (iii) est opéré par exposition desdites zones (12) à un faisceau laser, en particulier avec une taille de spot de l'ordre du cm. 25
  11. 11. Procédé selon l'une quelconque des revendications 7 à 10, dans lequel l'étape (iv) est opérée par exposition de chaque portion (13) à un faisceau laser, en particulier de taille de spot allant de 20 à 100 üm.
  12. 12. Procédé de fabrication d'une plaquette (10) selon l'une quelconque des revendications 1 à 6, comprenant au moins les étapes consistant en : 30 (a) disposer d'une plaquette (1) en silicium dopé p comprenant une concentration en porteurs de charge de type trous (po) comprise entre 1014 et 2.1016 cm-3 et une concentration en oxygène interstitiel [0i] comprise entre 1017 et 2.1018 cm-3 ;(b) doper en hydrogène les zones, dites (11) et (13), de la plaquette dédiées à former les zones dopées n et les zones d'isolation électrique ; et (c) soumettre ladite plaquette de l'étape (b) à un traitement thermique global, propice à l'activation des donneurs thermiques à base d'oxygène interstitiel au niveau des 5 zones dopées en hydrogène, et à la conversion desdites zones (11) de type p en type n et desdites zones (13) en zones d'isolation électrique, pour obtenir la plaquette (10) attendue.
  13. 13. Procédé selon la revendication 12, dans lequel le dopage en étape (b) comprend une étape (b 1) d'implantation d'hydrogène à la surface ou en sub-surface des zones à doper, suivie d'une étape (b2) de diffusion de l'hydrogène sur toute l'épaisseur (e) 10 de la plaquette.
  14. 14. Procédé selon la revendication précédente, dans lequel l'implantation d'hydrogène en étape (b 1) est effectuée par traitement plasma, en particulier par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma, par plasma d'hydrogène distant induit par micro-ondes, ou par une technique d'implantation ionique. 15
  15. 15. Procédé selon la revendication 13 ou 14, dans lequel l'étape (b2) de diffusion de l'hydrogène dans les zones à doper est opérée par exposition desdites zones aux ultrasons, en particulier à l'aide de transducteurs piézoélectriques ; ou par recuit thermique de la plaquette, en particulier à une température allant de 400 °C à 1000 °C et pendant une durée allant de 5 secondes à 5 heures. 20
  16. 16. Procédé selon l'une quelconque des revendications 12 à 15, dans lequel l'étape (c) est opérée par recuit à une température supérieure ou égale à 300 °C et strictement inférieure à 600 °C, en particulier de 400 à 500 °C et plus particulièrement d'environ 450 °C.
  17. 17. Dispositif photovoltaïque, en particulier cellule photovoltaïque, comportant 25 une plaquette de silicium telle que définie selon l'une quelconque des revendications 1 à 6.
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